KR20140124026A - Carrier jig for flexible substrate and mounting device for flexible substrat on the carrier jig - Google Patents

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Abstract

The present invention provides a carrier jig for a flexible substrate and a device for mounting the flexible substrate on the same. The carrier jig comprises a plurality of magnets buried and installed in a base plate; a pressing means clamping the upper part of the flexible substrate which is combined to the base plate by a hinge and mounted on the base plate by the magnetic attraction of the magnet; and a hole which is provided at the base plate to expose the bottom surface of the pressing member and has an external clamping control pin inserted therein, thereby allowing the pressing means to move upward. The device for mounting the flexible substrate on the carrier jig is capable of fixing the flexible jig on the carrier jig by using the magnets while preventing deflection of the carrier, and has an effect of preventing decrease of yield due to foreign substance during a flexible substrate treatment process since the fixed state of the flexible substrate is maintained by magnetic force.

Description

플렉시블 기판의 반송 지그 및 그 반송 지그에 플렉시블 기판을 장착하는 장치{Carrier jig for flexible substrate and mounting device for flexible substrat on the carrier jig}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a carrier jig for a flexible substrate and a device for mounting a flexible substrate on the carrier jig.

본 발명은 플렉시블 기판의 반송 지그 및 그 반송 지그에 기판을 장착하는 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판의 처짐을 방지함과 아울러 이물의 발생을 방지할 수 있는 플렉시블 기판의 반송 지그 및 그 반송 지그에 기판을 장착하는 장치에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a conveying jig for a flexible substrate and an apparatus for mounting a substrate on the conveying jig, and more particularly to a conveying jig for a flexible substrate capable of preventing sagging of a substrate, To an apparatus for mounting a substrate on a jig.

일반적으로 휴대가 용이한 디스플레이 장치에 대한 수요가 증가하면서, 유기 전계 발광표시장치(Organic Light Emitting Diode Display)와 같은 플렉시블(flexibe) 디스플레이에 대한 수요가 증가하고 있다.2. Description of the Related Art In general, there is an increasing demand for a flexible display device such as an Organic Light Emitting Diode (OLED) display.

또한 휘어지는 디스플레이에 대한 연구 개발이 가속화되고 있는데 이때 필수적으로 필요한 것인 플렉시블 기판이다. 플렉시블 기판은 통상 박형의 유리, 메탈호일, 플라스틱을 재료로 할 수 있으며, 이러한 소재의 플렉시블 기판을 이용하여 플렉시블 디스플레이를 제조하기 위해서는 저온 공정용 무기 또는 유기 소재의 플렉시블 일렉트로닉스, 봉지 및 패키징 기술이 필요하다.
In addition, research and development on bending display has been accelerated. It is a flexible substrate which is essential in this case. In order to manufacture a flexible display using a flexible substrate made of such a material, a flexible substrate of inorganic or organic materials for low-temperature processing, encapsulation and packaging technology is required for the flexible substrate, which is usually made of thin glass, metal foil and plastic. Do.

상기 플렉시블 기판을 이용하여 디스플레이를 제조하기 위해서, 플렉시블 기판을 이송하며 세정, 건조, 노광 등 다양한 공정이 선택적으로 이루어져야 하며, 이때 플렉시블 기판이 처지거나, 휘어진 상태가 되면 정확한 공정이 이루어질 수 없기 때문에 플렉시블 기판은 평탄한 상태가 유지되어야 한다.In order to manufacture a display using the flexible substrate, various processes such as cleaning, drying, and exposure have to be selectively performed by transferring the flexible substrate. At this time, when the flexible substrate is sagged or bent, an accurate process can not be performed. The substrate must remain flat.

이처럼 플렉시블 기판을 공정 중 평탄하게 유지하기 위하여, 디스플레이 제조장치에서 공정이 진행되는 플렉시블 기판은 반송 지그에 고정되어 처짐이 발생하지 않은 상태에서 디스플레이 제조공정이 진행된다.
In order to keep the flexible substrate flat during the process, the flexible substrate on which the process is performed in the display manufacturing apparatus is fixed to the transporting jig, and the display manufacturing process proceeds without deflection.

대표적인 반송 지그의 구조로서 등록특허 10-0645647호의 도 3b, 도 3c에는 반송 지그의 상면에서 힌지(164)에 의해 구동되는 누름판(162)으로 플렉시블 기판을 처지지 않은 상태로 고정하는 구조가 개시되어 있다.As a typical structure of the transferring jig, a structure for fixing the flexible substrate in a non-sagging state is disclosed in Figs. 3B and 3C of the registered patent 10-0645647 with the presser plate 162 driven by the hinge 164 on the upper surface of the transfer jig have.

상기 등록특허에는 힌지에 의해 구동되는 누름판이 어떻게 계속 지그와 기판을 눌러 고정하는지에 대한 구체적인 구성은 기재되지 않았으나, 등록특허 10-1193889호와 같이 스프링 등의 탄성기재에 의해 작동되어야 함은 당업자 수준에서 충분히 예측할 수 있다.
Although the above-mentioned patent does not disclose a concrete structure of how the push plate driven by the hinge keeps pushing and fixing the jig and the substrate, it should be operated by an elastic base such as a spring as in the patent 10-1193889, Can be sufficiently predicted.

위의 등록특허 10-0645647호 및 등록특허 10-1193889호에 기재된 바와 같이 플렉시블 기판의 서로 마주하는 양측변 또는 네 변을 모두 클램핑하는 구조일 수 있으며, 클램핑 후 유지를 위하여 스프링의 복원력을 이용할 수 있다.As described in the above Patent Documents 10-0645647 and 10-1193889, the flexible substrate may be a structure for clamping both opposite sides or both sides of the flexible substrate, and the restoring force of the spring may be utilized for holding after clamping have.

그러나 이러한 스프링 등 탄성체를 사용하는 경우에는 기계적인 동작이 반복되면서 이물이 발생하게 되며, 발생 된 이물이 플렉시블 기판에 부착되어 공정 불량이 발생할 수 있는 문제점이 있었다.However, when such an elastic body such as a spring is used, there is a problem that a mechanical operation is repeated and foreign matter is generated, and the generated foreign matter adheres to the flexible substrate, resulting in a process failure.

아울러 위의 종래 기술들에서는 특별히 언급되지는 않았으나, 클램프가 기계적인 동작을 할 때 충격이 발생하며, 그 충격에 의해 반송 지그와 플렉시블 기판의 정렬상태가 변동되어 플렉시블 기판이 틀어져 장착되거나, 처짐이 발생할 수 있는 문제점이 있었다.
In addition, although not particularly mentioned in the above conventional techniques, when the clamp is mechanically operated, an impact occurs, the alignment state of the transfer jig and the flexible substrate changes due to the impact, and the flexible substrate is tilted or mounted, There was a problem that could occur.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 플렉시블 기판을 처짐 없이 고정하되 이물의 발생을 방지할 수 있는 플렉시블 기판의 반송 지그를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a flexible jig for a flexible substrate which fixes the flexible substrate without deflection and prevents the generation of foreign matter.

또한 본 발명은 플렉시블 기판을 반송 지그에 장착할 때 정렬상태가 변동되는 것을 방지할 수 있는 장착장치를 제공함에 있다.
Another object of the present invention is to provide a mounting apparatus capable of preventing the alignment state from being changed when the flexible substrate is mounted on the carrying jig.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명 플렉시블 기판의 반송 지그는, 윈도우 프레임 형상의 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트에 매립 설치된 다수의 마그넷과, 상기 베이스 플레이트에 힌지로 결합 되어, 상기 마그넷의 인력에 의해 장착된 플렉시블 기판의 상부를 클램핑하는 누름수단과, 상기 베이스 플레이트에 마련되어 상기 누름수단의 저면을 노출시켜, 외부의 클램핑 제어핀의 삽입에 의해 상기 누름수단을 상향으로 회동시킬 수 있도록 하는 홀을 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a carrier jig for a flexible substrate, the carrier jig including a base frame in the form of a window frame, a plurality of magnets embedded in the base plate and a hinge coupled to the base plate, A pressing means provided on the base plate for exposing a bottom surface of the pressing means and capable of pivoting the pressing means upward by inserting an external clamping control pin, .

또한 본 발명 반송 지그에 플렉시블 기판을 장착하는 장치는, 상기 반송 지그와, 상기 반송 지그가 올려지는 고정프레임과, 상기 고정프레임의 하부에서 상하로 이동하는 이동프레임과, 상기 이동프레임에 고정되어 상기 홀을 통해 삽입되어 상기 반송 지그의 상기 누름판을 회동시키는 상기 클램핑 제어핀을 포함한다.
Further, an apparatus for mounting a flexible substrate on a carrier jig according to the present invention includes: a carrier jig; a fixed frame on which the carrier jig is mounted; a movable frame that moves up and down at a lower portion of the fixed frame; And the clamping control pin inserted through the hole to rotate the pressing plate of the conveying jig.

본 발명 플렉시블 기판의 반송 지그는, 마그넷을 이용하여 플렉시블 기판을 반송 지그에 처짐 없이 고정할 수 있으며, 플렉시블 기판의 고정상태가 자기력에 의해 유지되기 때문에 이물의 발생이 방지되어, 플렉시블 기판의 처리 과정에서 이물에 의한 수율 저하를 방지할 수 있는 효과가 있다.In the carrying jig of the present invention, the flexible substrate can be fixed to the carrying jig without deflection by using a magnet. Since the fixed state of the flexible substrate is maintained by the magnetic force, the generation of foreign matter is prevented, It is possible to prevent a decrease in the yield due to foreign matter.

또한 본 발명 장착 장치는, 마그넷을 사용하는 반송 지그에서 누름판을 들어 올릴 때 반송 지그의 베이스판이 유동되거나 함께 들어 올려지는 것을 방지하여, 정렬 상태의 변동을 방지함으로써, 정확한 정렬 상태로 반송 지그에 플렉시블 기판을 장착할 수 있는 효과가 있다.
Further, the mounting apparatus of the present invention prevents the base plate of the conveying jig from being lifted or lifted up when the presser plate is lifted from the conveying jig using the magnet, thereby preventing the alignment state from fluctuating, There is an effect that the substrate can be mounted.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 플렉시블 기판의 반송 지그의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 플렉시블 기판이 장착된 상태의 반송지그의 사시도이다.
도 3은 도 2의 평면 구성도이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반송 지그에 플렉시블 기판을 장착하는 장착 장치의 구성도이다.
도 5는 본 발명의 일부 확대 구성도이다.
도 6과 도 7은 각각 본 발명의 다른 실시예에 따른 반송 지그의 구성도이다.1 is a perspective view of a transfer jig of a flexible substrate according to a preferred embodiment of the present invention.
2 is a perspective view of a carrier in a state in which a flexible substrate is mounted according to a preferred embodiment of the present invention.
Fig. 3 is a plan view of the structure of Fig. 2. Fig.
4 is a configuration diagram of a mounting apparatus for mounting a flexible substrate on a carrier jig according to a preferred embodiment of the present invention.
5 is a partially enlarged view of the present invention.
Figs. 6 and 7 are diagrams showing the construction of a conveying jig according to another embodiment of the present invention, respectively.

이하, 본 발명 플렉시블 기판의 반송 지그 및 그 반송 지그에 플렉시블 기판을 장착하는 장치에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a transfer jig for a flexible substrate according to the present invention and an apparatus for mounting a flexible substrate on the transfer jig will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 플렉시블 기판의 반송 지그의 사시도이고, 도 2는 도 1의 플렉시블 기판의 장착상태 사시도이며, 도 3은 도 2의 평면도이며, 도 4는 도 1의 반송지그에 플렉시블 기판을 장착하기 위한 장치의 구성도이다.1 is a perspective view of a transfer jig of a flexible substrate according to a preferred embodiment of the present invention, Fig. 2 is a perspective view of the flexible substrate of Fig. 1, Fig. 3 is a plan view of Fig. 2, Fig. 2 is a configuration diagram of an apparatus for mounting a flexible substrate thereon. Fig.

도 1 내지 도 4을 각각 참조하면 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 플렉시블 기판의 반송 지그(100)는 윈도우 프레임 형상의 베이스 플레이트(110)와, 상기 베이스 플레이트(110)의 상부에 힌지(121)로 결합 되는 누름판(120)과, 상기 베이스 플레이트(110)에 설치되어 상기 누름판(120)이 닫힌 상태로 유지될 수 있도록 상기 누름판(120)에 인력을 제공하는 마그넷(111)과, 상기 베이스 플레이트(110)에 상하 방향으로 마련되어 마그넷(111)으로부터 상기 누름판(120)을 분리하여 들어 올리는 클램핑 제어핀(320)이 삽입되는 홀(112)과, 상기 누름판(120)과 상기 베이프 플레이트(110)에 각각 마련되어 플렉시블 기판(200)의 상하면 가장자리 일부를 클램핑하여 고정하는 상부 클램핑돌기부(123) 및 하부 클램핑돌기부(114)를 포함하여 구성된다. 1 to 4, the carrying jig 100 of the flexible substrate according to the preferred embodiment of the present invention includes a base plate 110 having a window frame shape, a hinge 121 formed on the base plate 110, A magnet 111 installed on the base plate 110 to provide a force to the pressure plate 120 so that the pressure plate 120 can be maintained in a closed state, A hole 112 through which the clamping control pin 320 is inserted into and lifted up from the magnet 111 so as to separate the pressing plate 120 from the magnet 111 and the pressing plate 120 and the baffle plate 110, And an upper clamping protrusion 123 and a lower clamping protrusion 114 for clamping and fixing a portion of the upper and lower edges of the flexible substrate 200, respectively.

미설명 부호 122와 113은 각각 드레인홀이며, 반송 지그(100)가 플렉시블 기판(200)에 장착된 상태로 이송되며 처리될 때 유체가 드레인될 수 있도록 한다.
Reference numerals 122 and 113 denote drain holes, respectively. The transfer jig 100 is transported while mounted on the flexible substrate 200, and allows the fluid to be drained when the transport jig 100 is mounted on the flexible substrate 200.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 플렉시블 기판의 반송 지그(100)와, 반송 지그(100)에 플렉시블 기판(200)을 장착하기 위한 장치의 구성과 작용을 보다 상세하게 설명한다.
Hereinafter, the structure and operation of the transfer jig 100 of the flexible substrate according to the preferred embodiment of the present invention and the apparatus for mounting the flexible substrate 200 on the transfer jig 100 will be described in more detail do.

먼저, 반송 지그(100)는 중앙부가 상하로 통공되는 사각형의 윈도우 프레임 형상의 베이스 플레이트(110)를 구비하며, 그 베이스 플레이트(110)의 중앙 통공 부분에 인접한 상부에 다수의 누름판(120)이 위치한다.The transfer jig 100 includes a base plate 110 in the form of a rectangular window frame having a central portion vertically penetrating the base plate 110. A plurality of pressure plates 120 are provided on an upper portion adjacent to the central through- Located.

상기 누름판(120)은 상기 베이스 플레이트(110)의 중앙부분에서 먼 위치에서 힌지(121)에 의해 상기 베이스 플레이트(110)에 고정되어, 그 베이스 플레이트(110)의 중앙 통공부분과 인접한 위치가 상하로 회동하게 된다.The pressing plate 120 is fixed to the base plate 110 by a hinge 121 at a position far from the central portion of the base plate 110 so that the position adjacent to the central through- .

상기 누름판(120)이 베이스 플레이트(110)에 접한 상태를 편의상 닫힌 상태, 누름판(120)이 회동하여 일측이 상기 베이스 플레이트(110)에서 멀어진 상태를 열린 상태로 표현하여 설명한다.
The state in which the pressure plate 120 is in contact with the base plate 110 for convenience is shown in a closed state and the state in which the pressure plate 120 is turned and one side is away from the base plate 110 is opened.

상기 누름판(120)은 닫힌 상태가 유지될 수 있도록 하기 위하여 닫힌 상태에서 상기 누름판(120)의 저면에 접하는 베이스 플레이트(110)에는 다수의 마그넷(111)이 매립되어 위치한다. 상기 다수의 마그넷(111)은 자성체인 상기 누름판(120)을 부착하여 고정한다.In order to maintain the closed state of the pressure plate 120, a plurality of magnets 111 are embedded in the base plate 110 in contact with the bottom surface of the pressure plate 120 in a closed state. The plurality of magnets 111 attach and fix the pressure plate 120, which is a magnetic body.

상기 누름판(120)이 비자성체인 경우에는 상기 누름판(120)에도 상기 베이스 플레이트(110)의 마그넷(111)과 인력이 작용하는 마그넷을 매립 설치하여 위의 누름판(120)의 닫힌 상태를 유지할 수 있게 된다.When the presser plate 120 is a non-magnetic material, a magnet, which is attracted to the magnet 111 of the base plate 110, is embedded in the presser plate 120 to keep the presser plate 120 in a closed state .

이처럼 본 발명은 탄성체를 사용하지 않고, 마그넷(111)을 사용하여 이물의 발생을 방지할 수 있게 된다.
As described above, according to the present invention, generation of foreign matter can be prevented by using the magnet 111 without using an elastic body.

상기 마그넷(111)은 2개의 마그넷이 한 쌍으로 상기 홀(112)을 사이에 두고 배치되며, 이러한 마그넷(111) 쌍은 소정의 거리 이격 되어 다수로 배치된다.
The magnet 111 is disposed with a pair of two magnets sandwiching the hole 112. The pairs of magnets 111 are spaced apart from each other by a predetermined distance.

상기 홀(112)은 하부측에서 클램핑 제어핀(320)이 삽입될 수 있는 공간을 제공하며, 그 클램핑 제어핀(320)이 상향으로 이동하는 경우 상기 누름판(120)을 밀어올려 회동시킴으로써, 닫힌 상태의 누름판(120)을 열린 상태가 되도록 한다.
The hole 112 provides a space through which the clamping control pin 320 can be inserted at the lower side and when the clamping control pin 320 is moved upwardly, the pushing plate 120 is pushed up and pivoted, So that the pressure plate 120 is in the open state.

상기 열린 상태에서 반송 지그(100)에 플렉시블 기판(200)을 얹거나 장착되었던 플렉시블 기판(200)을 분리할 수 있는 상태가 되며, 닫힌 상태에서는 반송 지그(100)를 이송하면서 플렉시블 기판(200)을 처리하게 된다.
The flexible substrate 200 is put on the transfer jig 100 in the opened state and the flexible substrate 200 that has been mounted is placed in a state where the flexible substrate 200 can be removed. In the closed state, while the transfer jig 100 is being transferred, .

상기 플렉시블 기판(200)은 상기 누름판(120)에서 상기 베이스 플레이트(110)의 중앙부를 향하여 돌출되는 상부 클램핑돌기부(123)와 상기 베이스 플레이트(110)에서 돌출되는 하부 클램핑돌기부(114)에 의해 가장자리 상부와 하부의 일부가 클램핑되어 고정된다.
The flexible substrate 200 includes an upper clamping protrusion 123 protruding from the pressing plate 120 toward the center of the base plate 110 and a lower clamping protrusion 114 protruding from the base plate 110, A part of the upper part and the lower part are clamped and fixed.

플렉시블 기판(200)을 반송 지그(100)에 장착하기 위하여, 도 4에 도시한 바와 같이 고정 프레임(340)의 상부에 반송 지그(100)가 올려진 상태에서 그 하부의 수직구동실린더(310)에 의해 상향으로 이동하는 이동프레임(330)과 그 이동프레임(330)에 장착되어 상기 홀(112)에 삽입되는 클램핑 제어핀(320)이 상향으로 이동하여 앞서 설명한 바와 같이 누름판(120)을 상향으로 회동시켜 열린 상태가 되도록 한다.
4, in order to mount the flexible substrate 200 on the transporting jig 100, the transporting jig 100 is mounted on the upper portion of the stationary frame 340, and the vertical drive cylinder 310, And the clamping control pin 320 mounted on the moving frame 330 and inserted into the hole 112 move upward to move the pressure plate 120 upward So as to be opened.

이때 상기 클램핑 제어핀(320)이 상향으로 이동하여 누름판(120)의 저면을 밀어 올리는 힘은 마그넷(111)에 의해 인력이 작용하는 베이스 플레이트(110)도 들어 올릴 수 있다. 이는 누름판(120)과 베이스 플레이트(110)가 닫힌 상태를 의미하게 되어 플렉시블 기판(200)을 장착할 수 없거나, 정렬 상태가 변화되어 정확한 장착을 할 수 없는 경우가 발생할 수 있다.At this time, the clamping control pin 320 moves upward to push up the bottom surface of the pressure plate 120, and the base plate 110 to which the attraction is applied by the magnet 111 can also be lifted. This means that the pressure plate 120 and the base plate 110 are in a closed state, so that the flexible substrate 200 can not be mounted, or the alignment state can not be changed due to a change in the alignment state.

이때 베이스 플레이트(110)를 충분히 무거운 것으로 하여 이러한 문제의 발생을 방지할 수 있으나, 보다 효과적인 방법으로 상기 클램핑 제어핀(320)으로 누름판(120)을 들어올려 회동시킬 때 상기 베이스 프레임(110)의 가장자리를 고정하는 고정척(360)을 사용할 수 있다.In this case, the base plate 110 may be made heavy enough to prevent the occurrence of such a problem. However, when the push plate 120 is lifted and rotated by the clamping control pin 320 in a more effective way, A fixing chuck 360 for fixing the edge may be used.

상기 고정척(360)은 수평구동실린더(350)에 의해 수평방향으로 이동하여 상기 베이스 프레임(110)의 측면 및 상부 일부에 접하도록 절곡된 것이며, 이에 의해 상기 누름판(120)이 회동할 때 베이스 플레이트(110)가 따라서 상향으로 이동되거나, 정렬 상태가 흐트러지는 것을 방지할 수 있게 된다.
The fixing chuck 360 is horizontally moved by the horizontal driving cylinder 350 and is bent so as to contact with a side surface and a part of an upper portion of the base frame 110. Thus, when the pressure plate 120 rotates, It is possible to prevent the plate 110 from moving upward or from being disturbed in the alignment state.

도 5는 반송 지그(100)가 열린 상태에서 플렉시블 기판(200)이 장착된 상태의 일부 확대 구성도이다.5 is a partially enlarged view of the state in which the flexible substrate 200 is mounted in a state that the carrying jig 100 is opened.

앞서 설명한 바와 같이 홀(112)을 통해 클램핑 제어핀(320)이 상향으로 올려지면서 눌림판(120)을 상향으로 밀어 올린다. 이때 눌림판(120)은 힌지(121)에 의개 베이스 플레이트(110)에 고정된 상태이므로 그 힌지(121)를 축으로 하여 회동하게 된다.The clamping control pin 320 is lifted up through the hole 112 to push up the pressing plate 120 upward as described above. At this time, since the pressing plate 120 is fixed to the cover base plate 110 at the hinge 121, the pressing plate 120 is rotated about the hinge 121 as an axis.

이때 상기 베이스 플레이트(110)의 측면과 상부일부는 고정척(160)들에 의해 고정된 상태이며, 따라서 베이스 플레이트(110)가 따라서 상향이동하거나, 배치 상태가 변경되지 않게 된다. 따라서 변위 발생에 따른 플렉시블 기판(200)의 오정렬 또는 처짐의 발생을 방지할 수 있다.
At this time, the side surface and a part of the upper surface of the base plate 110 are fixed by the fixing chucks 160, so that the base plate 110 is moved upwardly, and the arrangement state is not changed. Therefore, misalignment or sagging of the flexible substrate 200 due to the occurrence of displacement can be prevented.

상기와 같이 베이스 플레이트(110)로부터 누름판(120)이 회동하여 반송 지그(100)가 열린 상태가 된 후, 플렉시블 기판(200)이 로봇에 의해 이송되어 상기 베이스 플레이트(110)의 하부 클램핑돌기부(114)에 얹혀진 상태가 된다. After the push plate 120 is pivoted from the base plate 110 and the carrier jig 100 is opened as described above, the flexible substrate 200 is transferred by the robot to the lower clamping protrusions (not shown) of the base plate 110 114, respectively.

상기 도 5에서는 이해의 편의를 위하여 상기 클램핑 제어핀(320)의 상부와 상기 누름판(120)의 저면이 이격된 것으로 도시하였으나, 실제로는 클램핑 제어핀(320)의 상부는 누름판(120)의 저면에 접촉된 상태이다.
5, the upper portion of the clamping control pin 320 and the lower surface of the presser plate 120 are spaced apart from each other. However, in reality, the upper portion of the clamping control pin 320 is spaced apart from the bottom surface of the presser plate 120 As shown in Fig.

그 다음, 상기 플렉시블 기판(200)이 로딩된 상태에서 상기 수직구동실린더(310)에 의해 이동프레임(330)이 하향으로 이동하고, 그 이동프레임(330)에 고정된 클램핑 제어핀(320)도 하향으로 이동하게 된다.The movable frame 330 is moved downward by the vertical driving cylinder 310 while the flexible substrate 200 is loaded and the clamping control pin 320 fixed to the moving frame 330 And moves downward.

이때 상기 마그넷(111)에 의해 상기 누름판(120)은 마그넷(111) 측으로 인력이 작용하기 때문에 상기 클램핑 제어핀(320)의 상부에 저면이 접한 상태에서 하향으로 회동하게 되어 결국 누름판(120)이 마그넷(111)에 접하는 닫힌 상태가 된다.
At this time, since the push plate 120 is attracted to the magnet 111 side by the magnet 111, the push plate 120 rotates downward in a state where the bottom surface is in contact with the upper portion of the clamping control pin 320, And is in a closed state in contact with the magnet 111.

상기 닫힌 상태에서 상기 플렉시블 기판(200)은 가장자리 일부가 상부 클램핑돌기부(123)과 하부 클램핑돌기부(114)에 의해 맞물려 고정된다.
In the closed state, a portion of the edge of the flexible substrate 200 is engaged and fixed by the upper clamping protrusion 123 and the lower clamping protrusion 114.

상기 누름판(120)이 급격하게 닫히는 경우 플렉시블 기판(200)이 손상되거나 처짐이 발생할 수 있기 때문에 클램핑 제어핀(320)의 하향 이동 속도록 느리게 할 필요가 있으며, 이때의 속도는 적절하게 조절할 수 있다.
Since the flexible substrate 200 may be damaged or sagged when the pressure plate 120 abruptly closes, it is necessary to slow down the movement of the clamping control pin 320, and the speed of the clamping control pin 320 can be appropriately adjusted .

이처럼 상기 누름판(120)이 닫혀 플렉시블 기판(200)이 고정된 상태에서 상기 고정척(260)은 수평구동실린더(350)에 의해 후퇴하여 베이스 플레이트(110)에서 이격된다. 그 다음 상기 플렉시블 기판(200)이 장착된 반송 기판(100)을 처리장치로 반송하여 플렉시블 기판(200)을 처리하게 된다.
When the press plate 120 is closed and the flexible substrate 200 is fixed, the fixing chuck 260 is retracted by the horizontal driving cylinder 350 and is separated from the base plate 110. The flexible substrate 200 is processed by transporting the substrate 100 on which the flexible substrate 200 is mounted to the processing apparatus.

이와 같이 플렉시블 기판(200)을 처리한 후에는 다시 플렉시블 기판(200)을 반송 지그(100)로부터 분리할 필요가 있으며, 이는 앞서 상세하게 설명한 장착과정을 통해 충분히 이해될 수 있으므로 상세한 설명을 생략한다.
After the flexible substrate 200 is processed in this way, the flexible substrate 200 needs to be separated from the transfer jig 100 again, which can be fully understood through the mounting process described in detail above, and thus a detailed description thereof will be omitted .

상기 플렉시블 기판(200)이 장착된 상태에서 상기 베이스 플레이트(110)와 누름판(120)은 마그넷(111)의 자력에 의해 견고하게 닫힌 상태가 유지된다.
The base plate 110 and the pressure plate 120 are firmly closed by the magnetic force of the magnet 111 in a state where the flexible substrate 200 is mounted.

도 6 및 도 7은 각각 본 발명의 다른 실시예에 따른 플렉시블 기판의 반송 지그의 사시도이다.6 and 7 are perspective views of a carrying jig of a flexible substrate according to another embodiment of the present invention, respectively.

도 6과 도 7에 각각 도시된 본 발명의 다른 실시예에 따른 플렉시블 기판의 반송 지그는, 다른 구성은 앞서 설명한 도 1 및 도 2의 구성들과 동일하나 판상의 누름판(120)을 사용하지 않고 이를 소정의 크기로 분할한 누름블록(150)을 사용하는 점에서 차이가 있다.
The carrying jig of the flexible substrate according to another embodiment of the present invention shown in Figs. 6 and 7 has the same structure as that of Figs. 1 and 2 described above except that the plate-like press plate 120 is not used There is a difference in that a push block 150 obtained by dividing this into a predetermined size is used.

앞서 설명한 바와 같이 반송 지그(100)는 중앙부가 상하로 통공되는 사각형의 윈도우 프레임 형상의 베이스 플레이트(110)를 구비하며, 그 베이스 플레이트(110)의 중앙 통공 부분에 인접한 상부의 각 변에 누름판(120)이 하나씩 위치하는 구성이었으나, 누름판(120)의 제작에 소모되는 재료비용과 가공비용을 줄이기 위하여 각각 힌지(151)에 의해 상하로 회동하는 누름블록(150)들을 상기 베이스 플레이트(110)의 각 내측 변의 상부마다 다수로 설치한다.
As described above, the conveying jig 100 has a rectangular window frame-shaped base plate 110 whose center portion is vertically penetrated. The conveying jig 100 has a pressing plate (not shown) on each side of the upper portion adjacent to the central through- The pressing blocks 150 are vertically pivoted by the hinges 151 in order to reduce the material cost and the processing cost of the press plate 120. The pressing blocks 150 are disposed on the base plate 110, A large number of them are provided for each upper side of each inner side.

상기 베이스 플레이트(110)의 상기 누름블록(150)들에 대응하는 위치마다 마그넷(111)이 하나 또는 한 쌍으로 위치하게 되어, 상기 누름블록(150)들이 베이스 플레이트(110)에 접하는 상태인 닫힌 상태에서 누름블록(150)들이 회동하지 않도록 고정한다.The magnets 111 are positioned at a position corresponding to the pushing blocks 150 of the base plate 110 so that the pushing blocks 150 are in contact with the base plate 110 The pushing blocks 150 are fixed so as not to turn.

상기 누름블록(150)들은 자성체이거나 자성체가 아닌 경우에는 자성체 또는 마그넷이 삽입 설치된 것일 수 있다.
The pushing blocks 150 may be a magnetic body, or a magnetic body or a magnet may be inserted if the pushing block 150 is not a magnetic body.

상기 누름블록(150)들은 윈도우 프레임 형상인 베이스 플레이트(110)의 내측 통공부로 돌출되는 상부 클램핑돌기부(153)가 돌출되는 형상이며, 앞서 설명한 누름판(120)의 경우 유체를 배출할 드레인홀(122)이 필요하지만 누름블록(150)의 경우 그 누름블록(150)들 간에 이격되어 있어 별도의 누름블록(150)을 요구되지 않는다.
The pushing blocks 150 have a shape in which the upper clamping protrusions 153 protruding from the inner cylinder of the base plate 110 which is a window frame shape protrude. In the case of the pushing plate 120 described above, However, in the case of the pressing block 150, the pressing blocks 150 are spaced apart from each other, so that a separate pressing block 150 is not required.

상기 누름블록(150)이 닫힌 상태에서는 누름블록(150)의 상부 클램핑돌기부(153)와 베이스 플레이트(110)의 하부 클램핑돌기부(114)가 각각 플렉시블 기판(200)의 서로 마주하는 상부일부와 하부일부를 클램핑하여 플렉시블 기판(200)이 펼쳐진 상태에서 고정하게 된다.
The upper clamping protrusions 153 of the push block 150 and the lower clamping protrusions 114 of the base plate 110 are pressed against the upper and lower portions of the flexible substrate 200, So that the flexible substrate 200 is fixed in the unfolded state.

상기 도 6에서는 상기 누름블록(150)의 상부 클램핑돌기부(153)가 상기 하부 클램핑돌기부(114)와 이격되도록 누름블록(150)이 회동한 상태의 구성이며, 이와 같은 상태에서 상기 하부 클램핑돌기부(114)의 상부에 저면 일부가 접하도록 플렉시블 기판(200)이 로딩된다. 이때 상기 누름블록(150)은 홀(112)을 통해 상향으로 이동하는 클램핑 제어핀(320, 도 5 참고)들에 의해 상기 마그넷(111)으로부터 이탈되어 회동하게 된다.6, the pressing block 150 is rotated so that the upper clamping protrusion 153 of the pressing block 150 is separated from the lower clamping protrusion 114. In this state, the lower clamping protrusion The flexible substrate 200 is loaded such that a part of the bottom surface of the flexible substrate 200 abuts on the upper surface of the substrate. At this time, the pushing block 150 is detached from the magnet 111 by the clamping control pin 320 (see FIG. 5) moving upward through the hole 112 and is rotated.

상기 클램핑 제어핀(320)은 다수의 누름블록(150)과 동수로 마련되어 누름블록(150) 각각을 마그넷(111)으로부터 분리하여 힌지(151)를 통해 회동시킬 수 있다.The clamping control pin 320 may be provided in the same number as the plurality of pressing blocks 150 so that each of the pressing blocks 150 can be separated from the magnet 111 and rotated through the hinge 151.

이때 앞서 설명한 바와 같이 클램핑 제어핀(320)에 의해 다수의 누름블록(150)들이 상향으로 회동할 때의 안정성을 향상시키기 위하여, 상기 베이스 플레이트(110)의 측면에 고정척(360)이 밀착된다.
At this time, as described above, the fixing chuck 360 is closely attached to the side surface of the base plate 110 in order to improve the stability when the plurality of pushing blocks 150 are rotated upward by the clamping control pin 320 .

이와 같은 상태에서 상기 플렉시블 기판(200)이 안착되고, 다시 클램핑 제어핀(320)들이 하향으로 이동하여, 상기 누름블록(150)들이 하향으로 회동하여 마그넷(111)에 부착됨으로써 그 끝단의 상부 클램핑돌기부(153)가 플렉시블 기판(200)의 상부일부를 눌러 고정하게 된다.In this state, the flexible substrate 200 is seated, the clamping control pins 320 are moved downward, the pushing blocks 150 are rotated downward and attached to the magnet 111, The protrusion 153 presses the upper part of the flexible substrate 200 and fixes it.

이처럼 본 발명은 클램핑 제어핀(320)의 상하 구동에 따라 마그넷(111)으로부터 이격 또는 부착되는 누름판(120) 또는 누름블록(150)인 누름수단을 사용하여, 플렉시블 기판(200)이 구김 없이 펼쳐진 상태에서 고정할 수 있게 된다.
As described above, according to the present invention, when the clamping control pin 320 is driven up and down, the flexible board 200 can be unfolded without being wrinkled by using the pushing plate 120 or the pushing block 150 which is separated from or attached to the magnet 111 It can be fixed in the state.

전술한 바와 같이 본 발명에 대하여 바람직한 실시예를 들어 상세히 설명하였지만, 본 발명은 전술한 실시예들에 한정되는 것이 아니고, 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명에 속한다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, And this also belongs to the present invention.

100:반송 지그 110:베이스 플레이트
111:마그넷 112:홀
113:드레인홀 114:하부 클램핑돌기부
120:누름판 121:힌지
122:드레인홀 123:상부 클램핑돌기부
150:누름블록 151:힌지
153:상부 클램핑돌기부
200:플렉시블 기판 310:수직구동실린더
320:클램핑 제어핀 330:이동프레임
340:고정프레임 350:수평구동실린더
360:고정척100: conveying jig 110: base plate
111: Magnet 112: Hole
113: drain hole 114: lower clamping projection
120: presser plate 121: hinge
122: drain hole 123: upper clamping projection
150: push block 151: hinge
153: upper clamping projection
200: flexible substrate 310: vertical driving cylinder
320: clamping control pin 330: moving frame
340: stationary frame 350: horizontal drive cylinder
360: Fixing chuck

Claims (8)

윈도우 프레임 형상의 베이스 플레이트;
상기 베이스 플레이트에 매립 설치된 다수의 마그넷;
상기 베이스 플레이트에 힌지로 결합 되어, 상기 마그넷의 인력에 의해 장착된 플렉시블 기판의 상부를 클램핑하는 누름수단; 및
상기 베이스 플레이트에 마련되어 상기 누름수단의 저면을 노출시켜, 외부의 클램핑 제어핀의 삽입에 의해 상기 누름수단을 상향으로 회동시킬 수 있도록 하는 홀을 포함하는 플렉시블 기판의 반송 지그.
A window frame shaped base plate;
A plurality of magnets embedded in the base plate;
A pressing means coupled to the base plate by a hinge to clamp the upper portion of the flexible substrate mounted by the attraction of the magnet; And
And a hole provided on the base plate for exposing the bottom surface of the pressing means and capable of pivoting the pressing means upward by insertion of an external clamping control pin.
제1항에 있어서,
상기 마그넷은 상기 홀을 중심으로 한 쌍이 양측에 각각 위치하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 기판의 반송 지그.
The method according to claim 1,
Wherein the pair of magnets are located on both sides of the hole.
제1항에 있어서,
상기 플렉시블 기판은,
상기 누름수단에서 돌출되는 다수의 상부 클램핑돌기부와 상기 베이스 플레이트에서 돌출되는 다수의 하부 클램핑돌기부에 의해 가장자리 일부가 맞물려 고정되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 기판의 반송 지그.
The method according to claim 1,
The flexible substrate may include:
And a plurality of lower clamping protrusions protruding from the pressing means and a plurality of lower clamping protrusions protruding from the base plate.
제3항에 있어서,
상기 누름수단은,
윈도우 프레임 형상인 상기 베이스 플레이트의 중앙 통공 측면의 각 변 상부에 하나 씩 마련되는 누름판이거나,
상기 각 변의 상부에 다수로 마련되는 누름블록인 것을 특징으로 하는 플렉시블 기판의 반송지그.
The method of claim 3,
Wherein the pressing means comprises:
A pressing plate provided on each of upper and lower sides of the central through hole side of the base plate,
And a plurality of pushing blocks provided at upper portions of the respective sides of the conveying jig.
제4항에 있어서,
상기 베이스 플레이트와 상기 누름판에는,
상하로 관통되어 상기 플렉시블 기판을 처리하는 유체가 드레인되는 다수의 드레인홀을 포함하는 플렉시블 기판의 반송 지그.
5. The method of claim 4,
Wherein the base plate and the pressure plate are provided,
And a plurality of drain holes which are vertically penetrated to drain the fluid for processing the flexible substrate.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 기재된 반송 지그;
상기 반송 지그가 올려지는 고정프레임;
상기 고정프레임의 하부에서 상하로 이동하는 이동프레임;
상기 이동프레임에 고정되어 상기 홀을 통해 삽입되어 상기 반송 지그의 상기 누름수단을 회동시키는 상기 클램핑 제어핀을 포함하는 반송 지그에 플렉시블 기판을 장착하는 장치.
A transportation jig as set forth in any one of claims 1 to 5,
A fixing frame on which the carrying jig is lifted;
A moving frame moving up and down at a lower portion of the fixed frame;
And the clamping control pin fixed to the movable frame and inserted through the hole to rotate the pressing means of the conveying jig.
제6항에 있어서,
상기 베이스 플레이트의 가장자리에 밀착되어 상기 누름수단의 회동시 상기 베이스 플레이트의 변위를 방지하는 고정척을 더 포함하는 반송 지그에 플렉시블 기판을 장착하는 장치.
The method according to claim 6,
Further comprising a fixing chuck which is in close contact with an edge of the base plate and prevents displacement of the base plate when the pressing means is rotated.
제7항에 있어서,
상기 고정척은,
상부가 절곡되어 상기 베이스 플레이트의 측면과 상부에 밀착되는 것을 특징으로 하는 반송 지그에 플렉시블 기판을 장착하는 장치.
8. The method of claim 7,
Wherein the fixing chuck comprises:
And the upper portion is bent so as to be brought into close contact with the side surface and the upper surface of the base plate.
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