KR20140020963A - 역학량 측정 장치 - Google Patents

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KR20140020963A
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KR1020137027306A
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기쇼 아시다
히로유키 오타
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가부시키가이샤 히타치세이사쿠쇼
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Abstract

피측정물(4)에 작용하는 역학량에 대응하는 센스 출력(S)을 출력하는 센서 칩(2)과, 센서 칩(2)을 지지하여 센스 출력(S)을 외부로 인출하기 위한 배선(6)을 구비하는 플렉시블 배선 기판(3)을 가지고, 역학량의 측정 시에는, 센서 칩(2)과 플렉시블 배선 기판(3)이 피측정물(4)에 부착되는 역학량 측정 장치(1)에 있어서, 센서 칩(2)의 근방 또한 센서 칩(2)에 대해 배선(6)이 배치되어 있는 측의 플렉시블 배선 기판(3)에, 컷아웃(5)이 설치되어 있다. 이것에 의해, 센스 출력(S)의 경시적인 변동을 억제할 수 있다.

Description

역학량 측정 장치{DYNAMIC QUANTITY MEASURING APPARATUS}
본 발명은, 센서 칩이 플렉시블 배선 기판에 지지되어 있는 역학량 측정 장치에 관한 것이다.
역학량 측정 장치는, 피측정물에 부착되어, 피측정물에 작용하는 역학량을 측정할 수 있다. 이 역학량 측정 장치로서는, 변형에 의존하여 저항이 바뀌는 효과(피에조 저항 효과)를 응용한 센서 칩을 이용한 것이 제안되어 있다. 이 센서 칩에는, 표면에 불순물 확산 저항이 형성되어 있고, 센서 칩은, 피측정물에 접착제에 의해서 부착되어 있다. 피측정물에 역학량이 작용하여, 피측정물이 변형되면, 접착제를 개재하여, 불순물 확산 저항이 변형되어, 저항이 바뀌므로, 이 저항의 변화를 센스 출력으로서 출력할 수 있어, 피측정물에 작용하는 역학량(변형)을 검지할 수 있다.
이 센서 칩을 보급시키기 위해서는, 피측정물로의 부착이 용이하고, 센스 출력을 확실하게 취출할 수 있는 것이 중요해진다. 이와 같은 요구에 대해, 센서 칩이, 배선을 가진 플렉시블 배선 기판에 피착(被着)됨과 함께, 그 센서 칩이, 그 배선에 전기적으로 접속되어 있는 역학량 측정 장치가 제안되어 있다(특허문헌 1 등 참조). 이와 같이 센서 칩과 플렉시블 배선 기판을 모듈화해 둠으로써, 센서 칩 단체(單體)의 경우와 비교하여, 취급이 용이해진다.
일본 공개특허 특개2001-264188호 공보
종래의 역학량 측정 장치에서는, 센서 칩이 플렉시블 배선 기판에 피착되어 있으므로, 플렉시블 배선 기판에 접속되는 외부의 배선으로부터의 텐션이 센서 칩에 작용하지 않도록, 센서 칩뿐만 아니라, 센서 칩 주변의 플렉시블 배선 기판도, 피측정물에 부착되어 있다. 이와 같은, 종래의 역학량 측정 장치에서는, 센스 출력이, 경시(經時)적으로 변동하는 경우가 있었다.
그래서, 본 발명의 목적은, 센스 출력의 경시적인 변동을 억제 가능한 역학량 측정 장치를 제공하는 데에 있다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 상기 피측정물에 작용하는 역학량에 대응하는 센스 출력을 출력하는 센서 칩과, 상기 센서 칩을 지지하여 상기 센스 출력을 외부로 인출하기 위한 배선을 구비하는 플렉시블 배선 기판을 가지고, 상기 역학량의 측정 시에는, 상기 센서 칩과 상기 플렉시블 배선 기판이 상기 피측정물에 부착되는 역학량 측정 장치에 있어서,
상기 센서 칩의 근방 또한 상기 센서 칩에 대해 상기 배선이 배치되어 있는 측의 상기 플렉시블 배선 기판에, 컷아웃(cutout)이 설치되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명에 의하면, 센스 출력의 경시적인 변동을 억제 가능한 역학량 측정 장치를 제공할 수 있다.
도 1의 (a)는 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 역학량 측정 장치의 평면도이다.
도 1의 (b)는 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 역학량 측정 장치의 하면도이다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 역학량 측정 장치의 센서 칩 주변의 도 1의 (a)의 확대도이다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 역학량 측정 장치를 피측정물에 접착제로 부착했을 때의 평면도이다.
도 4는 도 3의 A-A 방향의 화살표에서 본 단면도의 확대도이다.
도 5의 (a)는 센서 칩의 일례(그 1)의 평면도이다.
도 5의 (b)는 센서 칩의 일례(그 2)의 평면도이다.
도 6은 종래의 역학량 측정 장치의 단면도이다.
도 7은 플렉시블 배선 기판의 응력 완화 현상을 설명하기 위한, 완화 탄성 계수의 경시 변화를 나타내는 그래프이다.
도 8은 도 3의 A-A 방향의 화살표에서 본 단면의 모식도이다.
도 9는 본 발명의 제 2 실시형태에 관련된 역학량 측정 장치의 센서 칩 주변의 확대도이다.
도 10은 본 발명의 제 3 실시형태에 관련된 역학량 측정 장치의 평면도이다.
도 11은 본 발명의 제 3 실시형태에 관련된 역학량 측정 장치의 센서 칩 주변의 도 10의 확대도이다.
도 12는 본 발명의 제 3 실시형태에 관련된 역학량 측정 장치의 센서 칩 주변과 외부 전극 주변의, 역학량 측정 장치를 피측정물에 접착제로 부착했을 때에 있어서의, 도 10의 A-A 방향의 화살표에서 본 단면에 대응하는 단면도이다.
도 13은 본 발명의 제 3 실시형태에 관련된 역학량 측정 장치의 센서 칩 주변의, 역학량 측정 장치를 피측정물에 접착제로 부착했을 때에 있어서의, 도 10의 B-B 방향의 화살표에서 본 단면에 대응하는 단면도이다.
도 14는 본 발명의 제 3 실시형태에 관련된 역학량 측정 장치를 피측정물에 접착제로 부착했을 때의, 도 10의 A-A 방향의 화살표에서 본 단면에 대응하는 모식적인 단면도이다.
도 15는 본 발명의 제 4 실시형태에 관련된 역학량 측정 장치의 평면도이다.
도 16은 본 발명의 제 4 실시형태에 관련된 역학량 측정 장치의 센서 칩 주변의 도 15의 확대도이다.
이하의 실시형태에서는 특별히 필요할 때 이외는 동일 또는 유사한 부분의 설명을 원칙적으로 반복하지 않는다. 또한, 이하의 실시형태에서는 편의상 그 필요가 있을 때는, 복수의 섹션(section) 또는 실시형태로 분할하여 설명하지만, 특별히 명시한 경우를 제외하고, 그들은 서로 무관계한 것이 아니라, 한 쪽은 다른 쪽의 일부 또는 전부의 변형예, 상세, 보충 설명 등의 관계에 있다. 또, 이하의 실시형태에 있어서, 요소의 수 등(개수, 수치, 양, 범위 등을 포함한다)으로 언급하는 경우, 특별히 명시한 경우 및 원리적으로 명백하게 특정한 수에 한정되는 경우 등을 제외하고, 그 특정한 수에 한정되는 것이 아니라, 특정한 수 이상이어도 이하여도 되는 것으로 한다. 또, 이하의 실시형태에 있어서, 그 구성 요소는, 특별히 명시한 경우 및 원리적으로 명백하게 필수라고 생각되는 경우 등을 제외하고, 반드시 필수인 것이 아닌 것은 말할 필요도 없다. 또, 이하의 실시형태에 있어서, 구성 요소 등에 대해, 「A로 이루어진다」, 「A에서 이루어진다」, 「A를 가진다」, 「A를 포함한다」고 말할 때는, 특별히 그 요소만인 취지를 명시한 경우 등을 제외하고, 그 이외의 요소를 배제하는 것이 아닌 것은 말할 필요도 없다. 마찬가지로, 이하의 실시형태에 있어서, 구성 요소 등의 형상, 위치 관계 등으로 언급할 때는, 특별히 명시한 경우 및 원리적으로 명백하게 그렇지 않다고 생각되는 경우 등을 제외하고, 실질적으로 그 형상 등에 근사 또는 유사한 것 등을 포함하는 것으로 한다. 이것은, 상기 수치 및 범위에 대해서도 동일하다.
이하에, 본 발명의 실시형태를 도면에 의거하여 상세하게 설명한다. 또한, 실시형태를 설명하기 위한 전체 도면에 있어서, 동일한 기능을 가지는 부재에는 동일한 부호를 붙이고, 그 반복의 설명은 생략한다. 또, 본 발명은, 여기서 문제 삼는 복수의 실시형태의 각각에 한정되지는 않고, 적절히 조합해도 된다.
(제 1 실시형태)
도 1의 (a)에, 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 역학량 측정 장치(1)의 평면도를 나타낸다. 역학량 측정 장치(1)는, 센서 칩(2)과, 센서 칩(2)을 지지하는 플렉시블 배선 기판(3)을 가지고 있다. 센서 칩(2)은, 피측정물(4)(도 3 참조)에 작용하는 역학량에 대응하는 센스 출력(S)을 출력할 수 있다.
플렉시블 배선 기판(3)은, 배선(6)과, 배선(6)과 전기적으로 접속하는 외부 전극(25)을 구비하고 있다. 배선(6)은, 센서 칩(2)에 전기적으로 접속하고, 센스 출력(S)을 센서 칩(2)으로부터 인출한다. 외부 전극(25)은, 배선(6)으로부터의 센스 출력(S)을 외부로 출력한다.
또, 플렉시블 배선 기판(3)은 아암부(21)와, 아암부(21)에 연결되어 있는 기부(基部)(24)를 가지고 있다. 아암부(21)는, 그 선단(先端)부(22)에 있어서 센서 칩(2)을 지지하고, 그 밑동부(23)에 있어서 기부(24)에 연결되어 있다. 배선(6)은, 아암부(21)의 선단부(22)로부터 밑동부(23)까지 끌어들여져 있다. 기부(24)에는, 배선(6)에 접속하는 외부 전극(25)이 설치되어 있다. 플렉시블 배선 기판(3)은, 굴곡성이 우수한 특성을 활용하여, 많은 반도체 실장(實裝)품에 이용되어 있다. 또, 두께 100㎛ 이하의 박형화나 배선부의 소형화가 가능하여, 휴대 전자 기기에는 필수의 부품이다.
플렉시블 배선 기판(3)에는, 컷아웃(슬릿)(5)이 설치되어 있다. 컷아웃(슬릿)(5)은, 센서 칩(2)과 외부 전극(25) 사이의 플렉시블 배선 기판(3)에 설치되어 있다. 컷아웃(슬릿)(5)은, 센서 칩(2)의 근방, 또한, 센서 칩(2)에 대해 배선(6)이 배치되어 있는 측의 플렉시블 배선 기판(3)에 설치되어 있다. 컷아웃(5)은, 아암부(21)의 선단부(22)로부터 밑동부(23)로 향하는 방향의 아암부(21)의 길이 방향(27)에 있어서, 센서 칩(2)에 대해 외부 전극(25)의 측에 설치되어 있다. 컷아웃(5)의 길이 방향(28)은, 아암부(21)의 길이 방향(27)과 대략 직각으로 교차하고 있다. 컷아웃(5)의 길이 방향(28)은, 아암부(21)의 길이 방향(27)과 평행한 아암부(21)의 중심선(26)과 대략 직각으로 교차하고 있다. 또한, 컷아웃(5)은, 플렉시블 배선 기판(3)의 외형 형상을 제작할 때와 동일하게, 프레스 금형을 이용한 펀칭으로 제작할 수 있으므로, 비용 상승 요인은 되지 않는다.
센서 칩(2)은, 그 중심점(2a)이, 아암부(21)의 중심선(26) 상이 되도록 배치되어 있다. 또, 센서 칩(2)은, 아암부(21)의 중심선(26)을 축으로서, 선대칭으로 되도록 배치되어 있다.
배선(6)은, 복수 개(도 1의 (a)의 예에서는 4개) 끌어들여져 있다. 복수 개의 배선(6)은, 컷아웃(5)을 우회하도록 둘러쳐져 있다. 복수 개의 배선(6)은, 서로, 아암부(21)의 중심선(26)을 축으로서 선대칭으로 되도록 배치되어 있다.
또한, 역학량 측정 장치(1)(플렉시블 배선 기판(3))의 표면 측에는, 대략 전체 면에 걸쳐 베이스 필름(17)이 노출되어 있다.
도 1의 (b)에, 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 역학량 측정 장치(1)의 하면도를 나타낸다. 플렉시블 배선 기판(3)의 이면 측에, 센서 칩(2)이 지지되어 있다. 배선(6)은, 베이스 필름(17)의 아래에 형성되고, 또한, 절연막(16)에 피복되어 있다. 즉, 배선(6)은, 플렉시블 배선 기판(3)의 표면 측으로부터는 베이스 필름(17)에 덮이고, 플렉시블 배선 기판(3)의 이면 측으로부터는 절연막(16)에 덮여 있다. 외부 전극(25)은, 베이스 필름(17)의 아래에 형성되어 있다. 외부 전극(25)의 하측은, 절연막(16)에 피복되어 있지 않고, 노출하여, 외부 장치와 접속 가능하게 되어 있다.
도 2에, 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 역학량 측정 장치(1)의 센서 칩(2) 주변의 확대도를 나타낸다. 컷아웃(5)의 길이 방향(28)의 양단(兩端)은, 원호 형상으로 되어 있다. 컷아웃(5)은, 아암부(21)의 길이 방향(27)과 평행한 중심선(26)을 축으로서, 선대칭으로 되어 있다. 컷아웃(5)의 아암부(21)의 길이 방향(27)과 대략 직각으로 교차하고 있는 방향의 폭 W1은, 아암부(21)의 중심선(26)에 의해서 2등분 되어 있다. 컷아웃(5)의 아암부(21)의 길이 방향(27)과 대략 직각으로 교차하고 있는 방향의 폭 W1은, 센서 칩(2)의 아암부(21)의 길이 방향(27)과 대략 직각으로 교차하고 있는 방향의 폭 W2와 비교하여, 대략 같거나 크게 되어 있다(W1≥W2).
센서 칩(2)의 중심점(2a)은, 아암부(21)의 길이 방향(27)과 평행한 중심선(26) 상에 배치되어 있다. 플렉시블 배선 기판(3)의 아암부(21)의 길이 방향(27)을 따른 측변(29a)으로부터 센서 칩(2)의 중심점(2a)까지의 거리 D7은, 플렉시블 배선 기판(3)의 아암부(21)의 길이 방향(27)을 따른 측변(29b)으로부터 센서 칩(2)의 중심점(2a)까지의 거리 D8와, 대략 같게 되어 있다(D7=D8).
센서 칩(2)은, 평면에서 보아, 대략 정사각형 형상을 하고 있다. 변(2b)은, 컷아웃(5)에 대향하도록 배치되어 있다. 변(2c)은, 아암부(21)의 선단부(22) 측의 단변(端邊)에 대향하도록 평행하게 배치되어 있다. 변(2d)은, 플렉시블 배선 기판(3)의 아암부(21)의 길이 방향(27)을 따른 측변(29a)에 대향하도록 평행하게 배치되어 있다. 변(2e)은, 플렉시블 배선 기판(3)의 아암부(21)의 길이 방향(27)을 따른 측변(29b)에 대향하도록 평행하게 배치되어 있다. 센서 칩(2)의 컷아웃(5)과 대향하는 변(2b)은, 아암부(21)의 중심선(26)과 대략 직각으로 교차하고 있다. 컷아웃(5)의 길이 방향(28)은, 아암부(21)의 길이 방향(27)(중심선(26))과 대략 직각으로 교차하고 있다. 그리고, 컷아웃(5)의 길이 방향(28)은, 변(2b)에 대해 평행하게 배치되어 있다.
컷아웃(5)으로부터 센서 칩(2)의 중심점(2a)까지의 거리 D1은, 플렉시블 배선 기판(3)의 센서 칩(2)에 대해 컷아웃(5)과는 반대측의 단변으로부터, 센서 칩(2)의 중심점(2a)까지의 거리 D2와, 대략 같게 되어 있다(D1=D2). 컷아웃(5)으로부터, 플렉시블 배선 기판(3)의 컷아웃(5)에 대해 외부 전극(25)과는 반대측의 단변까지의 거리 D6는, 센서 칩(2)의 중심점(2a)에 있어서 아암부(21)의 길이 방향(27)과 대략 직각으로 교차하고 있는 방향의 아암부(21)의 폭 W3와 대략 같게 되어 있다(D6=W3). 컷아웃(5)으로부터 센서 칩(2)의 중심점(2a)까지의 거리 D1은, 측변(29a)으로부터 센서 칩(2)의 중심점(2a)까지의 거리 D7과, 측변(29b)으로부터 센서 칩(2)의 중심점(2a)까지의 거리 D8과, 대략 같게 되어 있다(D1=D7=D8). 컷아웃(5)으로부터 센서 칩(2)의 중심점(2a)까지의 거리 D1은, 센서 칩(2)의 중심점(2a)에 있어서 아암부(21)의 길이 방향(27)과 대략 직각으로 교차하고 있는 방향의 아암부(21)의 폭 W3의 절반과 대략 같게 되어 있다.
또한, 제 1 실시형태에서는, 센서 칩(2)이 평면에서 보아 정사각형의 예를 나타냈지만, 이에 한정하지 않고, 중심점(2a)을 결정할 수 있으면, 예를 들면 직사각형이나, 원형이더라도 된다.
도 3에, 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 역학량 측정 장치(1)를, 피측정물(4)에 접착제(7)로 부착했을 때의 모습을 나타낸다. 역학량 측정 장치(1)는, 역학량의 측정 시에는, 센서 칩(2)과 플렉시블 배선 기판(3)이, 접착제(7)에 의해서, 피측정물(4)에 부착되어 있다. 접착제(7)는, 센서 칩(2)과, 센서 칩(2)의 주위의 아암부(21)의 선단부(22) 뿐만 아니라, 아암부(21)의 선단부(22)로부터 밑동부(23) 부근까지 도포되어 있다. 접착제(7)의 접착 단면(端面)(7c)은, 아암부(21)의 밑동부(23) 부근까지 도달하고 있다. 접착제(7)는, 플렉시블 배선 기판(3)의 기부(24)에는, 도포되어 있지 않다. 외부 전극(25)에 외부 장치로부터의 외부 배선이 접속되어, 외부 배선으로부터의 텐션이 외부 전극(25)에 작용해도, 외부 전극(25)과 센서 칩(2) 사이의 플렉시블 배선 기판(3)이 피측정물(4)에 부착되어 있음으로써, 그 텐션이 센서 칩(2)에 작용하는 것을 억제할 수 있다. 또한, 접착제(7)로서는, 2액성 또는 1액성이고, 에폭시 수지제의 접착제 등을 이용할 수 있다.
도 4에, 도 3의 A-A 방향의 화살표에서 본 단면도의 주요부를 확대하여 나타낸다. 센서 칩(2)의 표면에는, 전극 패드(칩 측)(12)가 복수 형성되어 있다. 복수의 전극 패드(12)와 대향하는 베이스 필름(17)의 이면에는, 전극 패드(플렉시블 배선 기판 측)(15)가 복수 형성되어 있다. 복수의 전극 패드(15)는, 배선(6)에 접속되어 있다. 전극 패드(칩 측)(12)와, 전극 패드(플렉시블 배선 기판 측)(15)는, 금 범프 등의 범프(13)에 의해서, 접속되어 있다. 센서 칩(2)과 플렉시블 배선 기판(3) 사이의 범프(13) 이외의 영역에는, 언더필재(材)(14)가 충전되어 있다. 이와 같이, 범프(13)와, 특히, 언더필재(14)에 의해서, 센서 칩(2)은, 플렉시블 배선 기판(3)에, 부착되어, 지지되어 있다. 언더필재(14)로서는, 에폭시 수지를 이용할 수 있고, 범프(13) 사이나 전극 패드(12, 15) 사이의 단락 방지, 센서 칩(2) 표면의 보호, 및, 플렉시블 배선 기판(3)과 센서 칩(2) 사이의 접합력 증강을 목적으로서 이용되어 있다.
플렉시블 배선 기판(3)은, 베이스 필름(17)의 이면에 배선(6)이 형성되고, 배선(6)의 아래에 절연막(16)이 형성되어 있다. 플렉시블 배선 기판(3)은, 베이스 필름(17)과 절연막(16)으로, 배선(6)을 끼우는 샌드위치 구조로 되어 있다.
도 5의 (a)에, 센서 칩(2)의 일례(그 1)의 평면도를 나타낸다. 센서 칩(2)으로서는, 반도체 기판, 특히, 표면이 (100)면인 실리콘(Si)의 단결정 기판을 이용할 수 있다. 센서 칩(2)(반도체 기판) 상에는, 4개의 피에조 저항 소자(11)(11a, 11b, 11c, 11d)가 형성되어 있다. 피에조 저항 소자(11)는, 반도체 기판 표면에 형성된 불순물 확산 저항이다. 피에조 저항 소자(불순물 확산 저항)(11)의 도전형은, p형으로 되어 있다. 피에조 저항 소자(11)에 있어서, 전류가 흐르는 방향이, 피에조 저항 소자(11)의 길이 방향으로 되어 있다. 피에조 저항 소자(11)의 길이 방향은, 반도체 기판의 결정 방위의 <110> 방향으로 되어 있다. 그리고, 피에조 저항 소자(11)(11a, 11c)의 길이 방향은, x축 방향(변(2d, 2e)에 평행한 방향)으로 되어 있다. 피에조 저항 소자(11)(11b, 11d)의 길이 방향은, x축 방향과는 직각으로 교차하는 y축 방향(변(2b, 2c)에 평행한 방향)으로 되어 있다. 4개의 피에조 저항 소자(11)(11a, 11b, 11c, 11d)는, 칩 내 배선(19)에 의해서 접속되고, 휘트스톤 브리지(Wheatstone bridge) 회로(18)가 형성되어 있다. 칩 내 배선(19)에는, 4개의 전극 패드(칩 측)(12)가 접속되어 있다. 이와 같은 센서 칩(2)에 의하면, x방향의 변형(역학량) Fx와, y방향의 변형(역학량) Fy의 차분의 역학량에 따른 센스 출력(S)을, 고감도로 출력할 수 있다.
또한, 센스 출력(S)을 증폭하기 위해, 휘트스톤 브리지 회로(18)를 형성하고 있는 센서 칩(2) 표면 상에, 앰프 회로를 형성하는 것도 가능하다. 센서 칩 상에 형성되는 휘트스톤 브리지 회로(18)나 앰프 회로 등은, 모두 통상의 반도체 제조 프로세스를 이용하여 제조할 수 있기 때문에, 미세화가 용이하여, 제조 비용을 저감할 수 있다.
또, 센서 칩(2)은, x방향의 변형(역학량) Fx와, y방향의 변형(역학량) Fy의 차분의 역학량에 따른 센스 출력(S)을 출력하므로, 변형 계측 시에 환경 온도가 변화되어, 센서 칩(2)과 피측정물(4)의 선팽창 계수차에 의존한 열 변형이 발생해도, 열 변형은, x방향 및 y방향으로, 균일한 값이 되기 때문에, 캔슬(cancel)할 수 있다. 즉, 센서 칩(2)을 이용하면, 환경 온도의 변화에 의한 변형값의 편차를 우려할 필요가 없다.
그리고, 도 2에서 설명한 바와 같이, 컷아웃(5)으로부터 단변까지의 거리 D6와, 아암부(21)의 폭 W3는 대략 같게 되어 있으므로(D6=W3), 도 8의 설명 시에 기재하는 실질적인 접착 영역(7b)의 크기가, 센서 칩(2)의 x방향과 y방향에서 같아진다. 센서 칩(2)의 x방향과 y방향에서, 완화하는 응력이 같아지므로, 환경 온도의 변화와 동일하게, 완화하는 응력을 캔슬할 수 있다.
도 5의 (b)에, 센서 칩(2)의 일례(그 2)의 평면도를 나타낸다. 센서 칩(2)의 일례(그 2)가, 센서 칩(2)의 일례(그 1)와 다른 점은, 피에조 저항 소자(불순물 확산 저항)(11)의 도전형은, n형으로 되어 있는 점이다. 이에 수반하여, 피에조 저항 소자(11)의 길이 방향은, 반도체 기판의 결정 방위의 <100> 방향으로 되어 있다. 이와 같은 센서 칩(2)에 의해서도, x방향의 변형(역학량) Fx와, y방향의 변형(역학량) Fy의 차분의 역학량에 따른 센스 출력(S)을, 고감도로 출력할 수 있다.
도 6에, 종래의 역학량 측정 장치의 단면도를 나타낸다. 본원의 발명자들은, 종래의 역학량 측정 장치에 있어서, 센스 출력이 경시적으로 변동하는 이유가, 플렉시블 배선 기판(3)에 발생하고 있는 변형이, 경시적으로 완화되어 있기 때문인 것을 명백하게 했다. 피측정물(4)에 인장 변형을 발생시킨 경우, 피측정물(4)에 부착된 플렉시블 배선 기판(3)에도 인장 변형이 발생하여, 응력이 생긴다. 그리고, 플렉시블 배선 기판(3)은, 폴리이미드나 에폭시 수지 등의 수지 재료로 형성되어 있고, 수지 재료(플렉시블 배선 기판(3))에 대해 일정 변형을 부하하는 시험을 행한 경우, 시간의 경과와 함께, 수지 재료(플렉시블 배선 기판(3))에 발생하고 있던 응력이 감소하도록, 응력 완화가 일어난다.
도 7에, 수지 재료(플렉시블 배선 기판(3))의 완화 탄성 계수의 경시 변화를 나타낸다. 시간의 경과에 수반하여, 완화 탄성 계수가 저하되어 있는 것을 알 수 있다. 시간에 따르지 않고, 플렉시블 배선 기판(3)에, 일정한 인장 변형을 발생시키고 있어도, 완화 탄성 계수가 저하되면, 인장 변형(량)과 완화 탄성 계수의 곱인 응력은 저하되어, 응력 완화가 일어난다. 또한, 완화 탄성 계수는, 시험 온도(수지 재료의 온도)가 고온이 될수록, 빠른 시기에 저하된다.
도 6에 나타내는 바와 같이, 플렉시블 배선 기판(3)(수지 재료)에 발생하고 있던 응력이 완화되면, 플렉시블 배선 기판(3)이 부착되어 있는 피측정물(4)의 변형 상태가 변화되고, 플렉시블 배선 기판(3)에 지지되어 피측정물(4)에 부착되어 있는 센서 칩(2)의 변형 상태가 변화된다. 즉, 플렉시블 배선 기판(3)의 응력 완화에 기인하여, 센서 칩(2)의 센스 출력(S)이 변동되는 결과가 된다. 그리고, 이 센스 출력(S)의 변동량은, 플렉시블 배선 기판(3)과 피측정물(4)을 접착하는 접착제(7)의 접착 영역(7a)이 커질수록 증가한다.
도 8에, 도 3의 A-A 방향의 화살표에서 본 단면도를 모식적으로 나타낸다. 제 1 실시형태의 역학량 측정 장치(1)에서도, 플렉시블 배선 기판(3)과 피측정물(4)을 접착하는 접착제(7)의 접착 영역(7a)의 크기는, 종래의 역학량 측정 장치와 동일하지만, 컷아웃(5)이 설치됨으로써, 센스 출력(S)을 변동시키는 접착 영역은, 실질적으로 접착 영역(7b)이 되어, 종래와 비교하여 작게 되어 있다고 생각된다. 이것에 의해, 센스 출력(S)의 변동을 억제할 수 있다. 또, 외부 전극(25)(도 3 참조)에 외부 장치로부터의 외부 배선이 접속되어, 외부 배선으로부터의 텐션이, 외부 전극(25)이 형성되어 있는 플렉시블 배선 기판(3)에 작용해도, 컷아웃(5)이 설치됨으로써, 그 텐션이 플렉시블 배선 기판(3)을 스트레이트가 아니라 우회하여 센서 칩(2)에 작용하므로, 그 텐션의 센서 칩(2)에 주는 영향을 억제할 수 있다. 또, 컷아웃(5)이 설치되어도, 플렉시블 배선 기판(3)과 피측정물(4)을 접착하는 접착제(7)의 접착 영역(7a)의 크기는, 종래와 비교하여 거의 감소하고 있지 않으므로, 그 텐션에 의해서, 플렉시블 배선 기판(3)이 벗겨지지 않아, 접속 신뢰성을 확보할 수 있다. 또, 컷아웃(5)에 있어서는, 접착제(7)가, 플렉시블 배선 기판(3)의 측벽에 밀리듯 올라가서 고정되므로, 이른바, 앵커 효과에 의해, 플렉시블 배선 기판(3)을 피측정물(4)에 강고하게 접착할 수 있다.
또, 도 2에서 설명한 바와 같이, 컷아웃(5)으로부터 단변까지의 거리 D6와, 아암부(21)의 폭 W3는 대략 같게 되어 있으므로(D6=W3), 센스 출력(S)을 변동시키는 실질적인 접착 영역(7b)의 크기가, 센서 칩(2)의 x방향과 y방향(도 5의 (a) 참조)에서 같아진다. 센서 칩(2)의 x방향과 y방향에서, 완화하는 응력이 같아지므로, 완화하는 응력을 캔슬한 센스 출력(S)을 출력할 수 있다.
(제 2 실시형태)
도 9에, 본 발명의 제 2 실시형태에 관련된 역학량 측정 장치(1)의 센서 칩(2) 주변의 확대도를 나타낸다. 제 2 실시형태에 관련된 역학량 측정 장치(1)가, 제 1 실시형태에 관련된 역학량 측정 장치(1)와 다른 점은, 컷아웃(5)이 복수로 분할되어 있는 점이다. 도 9에서는, 컷아웃(5)을, 3개의 컷아웃(5a, 5b, 5c)으로 분할한 예를 나타내고 있다. 컷아웃(5a, 5b, 5c)의 길이 방향(28)의 양단은, 원호 형상으로 되어 있다. 컷아웃(5a, 5b, 5c)은, 컷아웃(5)의 길이 방향(28)으로, 일렬로 배치되어 있다. 컷아웃(5a, 5b, 5c)의 길이 방향은, 컷아웃(5)의 길이 방향(28)에 대략 일치하고 있다. 컷아웃(5)(5a, 5b, 5c)은, 아암부(21)의 길이 방향(27)과 평행한 중심선(26)을 축으로서, 선대칭으로 되어 있다. 구체적으로, 컷아웃(5b)은, 중심선(26)을 축으로서, 선대칭으로 되어 있다. 컷아웃(5b)의 아암부(21)의 길이 방향(27)과 대략 직각으로 교차하고 있는 방향의 폭 W1b는, 중심선(26)에 의해서 2등분 되어 있다. 컷아웃(5a)과 컷아웃(5c)은, 중심선(26)을 축으로서, 선대칭으로 되어 있다. 컷아웃(5a)의 아암부(21)의 길이 방향(27)과 대략 직각으로 교차하고 있는 방향의 폭 W1a는, 컷아웃(5c)의 아암부(21)의 길이 방향(27)과 대략 직각으로 교차하고 있는 방향의 폭 W1c에, 대략 같게 되어 있다(W1a=W1c). 제 2 실시형태에 의하면, 제 1 실시형태의 효과가 얻어질 뿐만 아니라, 배선(6)(도 1의 (a) 참조)은, 컷아웃(5)을 우회시킬 뿐만 아니라, 컷아웃(5a, 5b, 5c)의 서로의 사이를 통과할 수 있으므로, 배선(6)의 설계의 자유도를 향상할 수 있다.
(제 3 실시형태)
도 10에, 본 발명의 제 3 실시형태에 관련된 역학량 측정 장치(1)의 평면도를 나타낸다. 제 3 실시형태에 관련된 역학량 측정 장치(1)가, 제 1 실시형태에 관련된 역학량 측정 장치(1)와 다른 점은, 컷아웃(5)에 더하여, 제 1 다른 컷아웃(51)과, 제 2 다른 컷아웃(52)과, 제 3 다른 컷아웃(53)이, 플렉시블 배선 기판(3)에 설치되어 있는 점이다.
제 1 다른 컷아웃(51)은, 플렉시블 배선 기판(3)의 센서 칩(2)에 대해 컷아웃(5)과는 반대측에 설치되어 있다. 센서 칩(2)에 대해, 아암부(21)의 길이 방향(27)의 양측의, 한 쪽에 컷아웃(5)이 배치되고, 다른 쪽에 제 1 다른 컷아웃(51)이 배치되어 있다.
제 2 다른 컷아웃(52)은, 플렉시블 배선 기판(3)의 아암부(21)의 길이 방향(27)을 따른 대향하는 2변의 한 쪽의 측변(29a)과, 센서 칩(2)의 사이에 설치되어 있다.
제 3 다른 컷아웃(53)은, 플렉시블 배선 기판(3)의 아암부(21)의 길이 방향(27)을 따른 대향하는 2변의 다른 쪽의 측변(29b)과, 센서 칩(2)의 사이에 설치되어 있다. 센서 칩(2)에 대해, 아암부(21)의 길이 방향(27)과 직각으로 교차하는 방향의 양측의, 한 쪽에 제 2 다른 컷아웃(52)이 배치되고, 다른 쪽에 제 3 다른 컷아웃(53)이 배치되어 있다.
도 11에, 본 발명의 제 3 실시형태에 관련된 역학량 측정 장치(1)의 센서 칩(2) 주변의 모습을 나타낸다. 컷아웃(5)은, 센서 칩(2)의 변(2b)에 대향하고 있다. 컷아웃(5)의 길이 방향은, 변(2b)에 대략 평행하게 되어 있다. 컷아웃(5)의 길이 방향의 폭 W1은, 변(2b)의 길이(폭) W2와 비교하여, 대략 같거나 크게 되어 있다(W1≥W2).
제 1 다른 컷아웃(51)은, 센서 칩(2)의 변(2c)에 대향하고 있다. 제 1 다른 컷아웃(51)의 길이 방향은, 변(2c)에 대략 평행하게 되어 있다. 제 1 다른 컷아웃(51)의 길이 방향의 폭 W4는, 변(2c)의 길이(폭)(=W2)와 비교하여, 대략 같거나 크게 되어 있다(W4≥W2). 폭 W4는, 컷아웃(5)의 길이 방향의 폭 W1과 대략 같게 되어 있다(W4=W1).
제 2 다른 컷아웃(52)은, 센서 칩(2)의 변(2d)에 대향하고 있다. 제 2 다른 컷아웃(52)의 길이 방향은, 변(2d)에 대략 평행하게 되어 있다. 제 2 다른 컷아웃(52)의 길이 방향의 폭 W5는, 변(2d)의 길이(폭)(=W2)와 비교하여, 대략 같거나 크게 되어 있다(W5≥W2).
제 3 다른 컷아웃(53)은, 센서 칩(2)의 변(2e)에 대향하고 있다. 제 3 다른 컷아웃(53)의 길이 방향은, 변(2e)에 대략 평행하게 되어 있다. 제 3 다른 컷아웃(53)의 길이 방향의 폭 W6는, 변(2e)의 길이(폭)(=W2)와 비교하여, 대략 같거나 크게 되어 있다(W6≥W2). 폭 W6는, 제 2 다른 컷아웃(52)의 길이 방향의 폭 W5와 대략 같게 되어 있다(W6=W5). 폭 W5와 폭 W6는, 컷아웃(5)의 길이 방향의 폭 W1과 대략 같게 되어 있다(W5=W6=W1).
제 1 다른 컷아웃(51)으로부터 센서 칩(2)의 중심점(2a)까지의 거리 D3는, 컷아웃(5)으로부터 센서 칩(2)의 중심점(2a)까지의 거리 D1과 대략 같게 되어 있다(D3=D1). 제 2 다른 컷아웃(52)으로부터 센서 칩(2)의 중심점(2a)까지의 거리 D4는, 제 3 다른 컷아웃(53)으로부터 센서 칩(2)의 중심점(2a)까지의 거리 D5와 대략 같게 되어 있다(D4=D5). 또, 거리 D4와 거리 D5는, 거리 D1과 대략 같게 되어 있다(D4=D5=D1). 컷아웃(5)으로부터 제 1 다른 컷아웃(51)까지의 거리 D6는, 제 2 다른 컷아웃(52)으로부터 제 3 다른 컷아웃(53)까지의 거리 D9과 대략 같게 되어 있다(D6=D9).
도 12에, 본 발명의 제 3 실시형태에 관련된 역학량 측정 장치(1)의 센서 칩(2) 주변과 외부 전극(25) 주변의, 역학량 측정 장치(1)를 피측정물(4)에 접착제(7)로 부착했을 때에 있어서의 단면도를 나타낸다. 또한, 도 12의 단면도의 절단면은, 도 10의 A-A 방향의 화살표에서 본 단면에 대응하고 있다. 제 1 다른 컷아웃(51)은, 플렉시블 배선 기판(3)의 센서 칩(2)에 대해 컷아웃(5)과는 반대측에 설치되어 있다. 센서 칩(2)에 대해, 아암부(21)의 길이 방향(27)의 양측의, 한 쪽에 컷아웃(5)이 배치되고, 다른 쪽에 제 1 다른 컷아웃(51)이 배치되어 있다. 센서 칩(2)에 있어서, 양측에 컷아웃(5, 51)이 설치되므로, 대칭성이 높아져서, 플렉시블 배선 기판(3)으로부터 센서 칩(2)으로 작용하는 응력을 균일화할 수 있다. 특히, 컷아웃(5)과 제 1 다른 컷아웃(51)에 있어서는, 접착제(7)가, 플렉시블 배선 기판(3)의 측벽에 밀리듯 올라가서 고정되므로, 이른바, 양측으로부터의 앵커 효과에 의해, 센서 칩(2)을 지지하고 있는 개소의 플렉시블 배선 기판(3)을, 피측정물(4)에, 강고하고 또한 균일하게 접착할 수 있다.
도 13에, 본 발명의 제 3 실시형태에 관련된 역학량 측정 장치(1)의 센서 칩(2) 주변의, 역학량 측정 장치(1)를 피측정물(4)에 접착제(7)로 부착했을 때에 있어서의 단면도를 나타낸다. 또한, 도 13의 단면도의 절단면은, 도 10의 B-B 방향의 화살표에서 본 단면에 대응하고 있다. 센서 칩(2)에 대해, 아암부(21)의 길이 방향(27)과 직각으로 교차하는 방향의 양측의, 한 쪽에 제 2 다른 컷아웃(52)이 배치되고, 다른 쪽에 제 3 다른 컷아웃(53)이 배치되어 있다. 센서 칩(2)에 있어서, 양측에 컷아웃(52, 53)이 설치되므로, 대칭성이 높아져서, 플렉시블 배선 기판(3)으로부터 센서 칩(2)으로 작용하는 응력을 균일화할 수 있다. 특히, 제 2 다른 컷아웃(52)과 제 3 다른 컷아웃(53)에 있어서는, 접착제(7)가, 플렉시블 배선 기판(3)의 측벽에 밀리듯 올라가서 고정되므로, 이른바, 양측으로부터의 앵커 효과에 의해, 센서 칩(2)을 지지하고 있는 개소의 플렉시블 배선 기판(3)을, 피측정물(4)에, 강고하고 또한 균일하게 접착할 수 있다.
도 14에, 본 발명의 제 3 실시형태에 관련된 역학량 측정 장치(1)를 피측정물(4)에 접착제(7)로 부착했을 때의 단면도를 모식적으로 나타낸다. 도 14의 단면도의 절단면은, 도 10의 A-A 방향의 화살표에서 본 단면에 대응하고 있다. 제 3 실시형태의 역학량 측정 장치(1)에서도, 플렉시블 배선 기판(3)과 피측정물(4)을 접착하는 접착제(7)의 접착 영역(7a)의 크기는, 종래의 역학량 측정 장치(도 6 참조)와 동일하지만, 컷아웃(5)과 제 1 다른 컷아웃(51)(제 2 다른 컷아웃(52), 제 3 다른 컷아웃(53))이 설치됨으로써, 센스 출력(S)을 변동시키는 접착 영역은, 실질적으로 접착 영역(7b)이 되어, 종래와 비교하여 작게 되어 있다고 생각된다. 이것에 의해, 센스 출력(S)의 변동을 억제할 수 있다. 이와 같이, 제 3 실시형태에서는, 제 1 실시형태로 동일한 효과를 얻을 수 있다. 제 3 실시형태에서는, 컷아웃(5)과 제 1 다른 컷아웃(51)(제 2 다른 컷아웃(52), 제 3 다른 컷아웃(53))을, 용이하게 센서 칩(2)에 가깝게 할 수 있고, 접착 영역(7a)을 작게 하지 않아, 센스 출력(S)을 변동시키는 실질적인 접착 영역(7b)을 제 1 실시형태보다 작게 할 수 있다.
또, 도 11에서 설명한 바와 같이, 컷아웃(5)으로부터 제 1 다른 컷아웃(51)까지의 거리 D6는, 제 2 다른 컷아웃(52)으로부터 제 3 다른 컷아웃(53)까지의 거리 D9과 대략 같게 되어 있으므로(D6=D9), 센스 출력(S)을 변동시키는 실질적인 접착 영역(7b)의 크기가, 센서 칩(2)의 x방향과 y방향(도 5의 (a) 참조)에서 같아진다. 센서 칩(2)의 x방향과 y방향에서, 완화하는 응력이 같아지므로, 완화하는 응력을 캔슬한 센스 출력(S)을 출력할 수 있다.
(제 4 실시형태)
도 15에, 본 발명의 제 4 실시형태에 관련된 역학량 측정 장치(1)의 평면도를 나타내고, 도 16에, 그 역학량 측정 장치(1)의 센서 칩(2) 주변의 확대도를 나타낸다. 제 4 실시형태에 관련된 역학량 측정 장치(1)는, 제 2 실시형태에 관련된 역학량 측정 장치(1)와 동일하게, 컷아웃(5)이 복수로 분할되어 있다. 단지, 제 4 실시형태에 관련된 역학량 측정 장치(1)가, 제 2 실시형태에 관련된 역학량 측정 장치(1)와 다른 점은, 분할된 컷아웃(5a, 5c)이, 플렉시블 배선 기판(3)의 측변(29a, 29b)에, 도달하고 있는 점이다. 또한, 이 점은, 측변(29a, 29b)으로부터 절삭이 넣어져, 측변(29a, 29b)에, 컷아웃(5a, 5c)이 형성되어 있다고 생각할 수도 있다.
컷아웃(5a, 5c)의 길이 방향(28)의 일단(一端)은, 원호 형상으로 되어 있다. 컷아웃(5a, 5c)은, 컷아웃(5)의 길이 방향(28)을 따라, 일렬로 배치되어 있다. 컷아웃(5a, 5c)의 길이 방향은, 컷아웃(5)의 길이 방향(28)에 대략 일치하고 있다. 컷아웃(5a, 5c)은 서로, 아암부(21)의 길이 방향(27)과 평행한 중심선(26)을 축으로서, 선대칭으로 되어 있다. 컷아웃(5a)의 아암부(21)의 길이 방향(27)과 대략 직각으로 교차하고 있는 방향의 폭 W1a는, 컷아웃(5c)의 아암부(21)의 길이 방향(27)과 대략 직각으로 교차하고 있는 방향의 폭 W1c와, 대략 같게 되어 있다(W1a=W1c). 제 4 실시형태에 의하면, 배선(6)(도 1의 (a) 참조)은, 컷아웃(5)을 우회시키지 않고, 컷아웃(5a)과 컷아웃(5c)의 사이를 통과할 수 있으므로, 제 2 실시형태와 동일하게, 배선(6)의 설계의 자유도를 향상할 수 있다.
1: 역학량 측정 장치 2: 센서 칩
2a: 센서 칩의 중심점
2b, 2c, 2d, 2e: 센서 칩의 측변 3: 플렉시블 배선 기판
4: 피측정물 5: 컷아웃
5a, 5b, 5c: 복수로 분할된 컷아웃 6: 배선
7: 접착제 7a, 7b: 접착 영역
7c: 접착 단면
11, 11a, 11b, 11c, 11d: 피에조 저항 소자
12: 전극 패드(칩 측) 13: 범프
14: 언더필재
15: 전극 패드(플렉시블 배선 기판 측) 16: 절연막
17: 베이스 필름 18: 휘트스톤 브리지 회로
19: 칩 내 배선 21: 아암부
22: 선단부 23: 밑동부
24: 기부 25: 외부 전극
26: 아암부의 중심선 27: 아암부의 길이 방향
28: 컷아웃의 길이 방향
29a, 29b: 플렉시블 배선 기판의 측변 51: 제 1 다른 컷아웃
52: 제 2 다른 컷아웃 53: 제 3 다른 컷아웃
D1∼D9: 거리 Fx: x방향의 변형(역학량)
Fy: y방향의 변형(역학량) W1∼W6: 폭
S: 센스 출력

Claims (23)

  1. 상기 피측정물에 작용하는 역학량에 대응하는 센스 출력을 출력하는 센서 칩과, 상기 센서 칩을 지지하여 상기 센스 출력을 외부로 인출하기 위한 배선을 구비하는 플렉시블 배선 기판을 가지고, 상기 역학량의 측정 시에는, 상기 센서 칩과 상기 플렉시블 배선 기판이 상기 피측정물에 부착되는 역학량 측정 장치에 있어서,
    상기 센서 칩의 근방 또한 상기 센서 칩에 대해 상기 배선이 배치되어 있는 측의 상기 플렉시블 배선 기판에, 컷아웃이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 역학량 측정 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 플렉시블 배선 기판은,
    선단부에 상기 센서 칩을 지지하고, 상기 배선이 상기 선단부로부터 밑동부까지 끌어들여져 있는 아암부와,
    상기 배선에 접속하는 외부 전극을 구비하고, 상기 밑동부에 있어서 상기 아암부에 연결하고 있는 기부를 가지고,
    상기 컷아웃은, 상기 선단부로부터 상기 밑동부로 향하는 상기 아암부의 길이 방향에 있어서, 상기 센서 칩에 대해 상기 외부 전극의 측에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 역학량 측정 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 컷아웃의 길이 방향은, 상기 아암부의 길이 방향과 대략 직각으로 교차하고 있는 것을 특징으로 하는 역학량 측정 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 컷아웃의 길이 방향은, 상기 아암부의 길이 방향과 평행한 상기 아암부의 중심선과 대략 직각으로 교차하고 있는 것을 특징으로 하는 역학량 측정 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 센서 칩의 중심점은, 상기 아암부의 상기 중심선 상에 배치되고,
    상기 센서 칩의 상기 컷아웃과 대향하는 변은, 상기 아암부의 상기 중심선과 대략 직각으로 교차하고 있는 것을 특징으로 하는 역학량 측정 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 컷아웃으로부터, 상기 센서 칩의 중심점까지의 거리는,
    상기 플렉시블 배선 기판의 상기 센서 칩에 대해 상기 컷아웃과는 반대측의 단(端)으로부터, 상기 센서 칩의 중심점까지의 거리와, 대략 같은 것을 특징으로 하는 역학량 측정 장치.
  7. 제 2 항에 있어서,
    상기 컷아웃은, 상기 아암부의 상기 중심선을 축으로서, 선대칭으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 역학량 측정 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 센서 칩과 상기 배선은, 각각, 상기 아암부의 상기 중심선을 축으로서, 선대칭으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 역학량 측정 장치.
  9. 제 2 항에 있어서,
    상기 컷아웃의 상기 아암부의 상기 길이 방향과 대략 직각으로 교차하고 있는 방향의 폭은, 상기 아암부의 상기 중심선에 의해서 2등분 되어 있는 것을 특징으로 하는 역학량 측정 장치.
  10. 제 2 항에 있어서,
    상기 컷아웃으로부터, 상기 센서 칩의 중심점까지의 거리는,
    상기 센서 칩의 중심점에 있어서 상기 아암부의 상기 길이 방향과 대략 직각으로 교차하고 있는 방향의 상기 아암부의 폭의 절반과 대략 같은 것을 특징으로 하는 역학량 측정 장치.
  11. 제 2 항에 있어서,
    상기 컷아웃으로부터, 상기 플렉시블 배선 기판의 상기 컷아웃에 대해 상기 외부 전극과는 반대측의 단까지의 거리는,
    상기 센서 칩의 중심점에 있어서 상기 아암부의 상기 길이 방향과 대략 직각으로 교차하고 있는 방향의 상기 아암부의 폭과 대략 같은 것을 특징으로 하는 역학량 측정 장치.
  12. 제 7 항에 있어서,
    상기 컷아웃은, 복수로 분할되어 있는 것을 특징으로 하는 역학량 측정 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    복수로 분할된 상기 컷아웃의 하나는, 상기 플렉시블 배선 기판의 상기 아암부의 상기 길이 방향을 따른 대향하는 2변의 한 쪽에 도달하고,
    복수로 분할된 상기 컷아웃의 다른 또 하나는, 상기 플렉시블 배선 기판의 상기 아암부의 상기 길이 방향을 따른 상기 대향하는 2변의 다른 쪽에 도달하고 있는 것을 특징으로 하는 역학량 측정 장치.
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 센서 칩에는, 피에조 저항 소자가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 역학량 측정 장치.
  15. 제 1 항에 있어서,
    상기 센서 칩에는, 전극 패드가 형성되고,
    상기 전극 패드와 상기 배선은, 범프에 의해서 접속되며,
    상기 센서 칩과 상기 플렉시블 배선 기판 사이의 상기 범프 이외의 영역에는, 언더필재가 충전되어 있는 것을 특징으로 하는 역학량 측정 장치.
  16. 제 1 항에 있어서,
    상기 플렉시블 배선 기판의 상기 센서 칩에 대해 상기 컷아웃과는 반대측에, 상기 컷아웃과는 다른 제 1 다른 컷아웃이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 역학량 측정 장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 제 1 다른 컷아웃으로부터, 상기 센서 칩의 중심점까지의 거리는,
    상기 컷아웃으로부터, 상기 센서 칩의 중심점까지의 거리와, 대략 같은 것을 특징으로 하는 역학량 측정 장치.
  18. 제 2 항에 있어서,
    상기 플렉시블 배선 기판의 상기 아암부의 상기 길이 방향을 따른 대향하는 2변의 한 쪽과, 상기 센서 칩의 사이에 설치되고, 상기 센서 칩에 대향하며, 상기 컷아웃과는 다른 제 2 다른 컷아웃과,
    상기 플렉시블 배선 기판의 상기 아암부의 상기 길이 방향을 따른 상기 대향하는 2변의 다른 쪽과, 상기 센서 칩의 사이에 설치되고, 상기 센서 칩에 대향하며, 상기 컷아웃과 상기 제 2 다른 컷아웃과는 다른 제 3 다른 컷아웃을 가지는 것을 특징으로 하는 역학량 측정 장치.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 제 2 다른 컷아웃으로부터, 상기 센서 칩의 중심점까지의 거리와,
    상기 제 3 다른 컷아웃으로부터, 상기 센서 칩의 중심점까지의 거리는,
    상기 컷아웃으로부터, 상기 센서 칩의 중심점까지의 거리와, 대략 같은 것을 특징으로 하는 역학량 측정 장치.
  20. 제 2 항에 있어서,
    상기 컷아웃의 상기 아암부의 상기 길이 방향과 대략 직각으로 교차하고 있는 방향의 폭은, 상기 센서 칩의 상기 아암부의 상기 길이 방향과 대략 직각으로 교차하고 있는 방향의 폭과 비교하여, 대략 같거나 큰 것을 특징으로 하는 역학량 측정 장치.
  21. 제 16 항에 있어서,
    상기 제 1 다른 컷아웃의 상기 아암부의 상기 길이 방향과 대략 직각으로 교차하고 있는 방향의 폭은, 상기 컷아웃의 상기 아암부의 상기 길이 방향과 대략 직각으로 교차하고 있는 방향의 폭과 대략 같은 것을 특징으로 하는 역학량 측정 장치.
  22. 제 18 항에 있어서,
    상기 제 2 다른 컷아웃의 상기 아암부의 상기 길이 방향의 폭과,
    상기 제 3 다른 컷아웃의 상기 아암부의 상기 길이 방향의 폭은,
    상기 컷아웃의 상기 아암부의 상기 길이 방향과 대략 직각으로 교차하고 있는 방향의 폭과 대략 같은 것을 특징으로 하는 역학량 측정 장치.
  23. 제 1 항에 있어서,
    상기 컷아웃의 길이 방향의 양단의 적어도 어느 한 쪽은, 원호 형상으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 역학량 측정 장치.
KR1020137027306A 2011-04-21 2011-04-21 역학량 측정 장치 KR20140020963A (ko)

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