KR20130138943A

KR20130138943A - Closed-type pressure transducer

Info

Publication number: KR20130138943A
Application number: KR1020120062495A
Authority: KR
Inventors: 박지원; 서지훈
Original assignee: (주)테크넬
Priority date: 2012-06-12
Filing date: 2012-06-12
Publication date: 2013-12-20

Abstract

The present invention relates to a pressure transducer for monitoring pressure which can sense a minute pressure change by sensing a pressure change by injecting oil inside a space formed by closing one side of a housing unit and transmitting external pressure to a sensor via the oil; of which an error range of measuring pressure is little even though a temperature change range is wide; which includes the pipe-shaped housing unit with a blocking unit which blocks a middle part of a cavity, a thin film unit which is joined to one side of the housing unit and on which external pressure is applied; and a sensing unit which is installed on the inside of the other side of the housing unit and which senses the pressure applied to one side of the housing unit.

Description

밀폐형 압력 트랜스듀서{CLOSED-TYPE PRESSURE TRANSDUCER}Hermetic Pressure Transducer {CLOSED-TYPE PRESSURE TRANSDUCER}

본 발명은 압력 모니터링용 압력 트랜스듀서에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 하우징의 일측면을 밀폐시켜 형성되는 공간 내에 오일을 주입하여 오일을 통해 외부의 압력이 센서에 전달되도록 하여 압력변화를 감지하는 압력 모니터링용 압력 트랜스듀서에 관한 것이다.
The present invention relates to a pressure transducer for pressure monitoring, and more particularly, to inject oil into a space formed by sealing one side of a housing so that external pressure is transmitted to a sensor through oil to sense a pressure change. A pressure transducer for monitoring.

일반적으로 압력 센서는 미국 특허 제 4,875,135 호에 개시된 바와 같이 정전 용량 방식의 압력 감지 트랜스듀서(transducer)를 포함하며, 이러한 유형의 압력 감지 트랜스듀서는 세라믹 기부 위에 가로 놓이는 관계로 밀폐 방식으로 밀접한 위치에 장착되는 박형 세라믹 다이아프램과, 커패시터를 형성하기 위하여 서로 예정된 간격으로 밀접하게 배치되는 커패시터 플레이트로서의 역할을 하도록 상기 다이아프램과 기부의 개개의 대향 표면에 형성되는 금속 코팅을 구비한다. In general, pressure sensors include capacitive pressure sensitive transducers, as disclosed in U.S. Patent No. 4,875,135, which pressure transducers of this type are in a closed position in a closed manner as they rest on a ceramic base. A thin ceramic diaphragm to be mounted, and a metal coating formed on individual opposing surfaces of the diaphragm and the base to serve as capacitor plates disposed closely to each other at predetermined intervals to form a capacitor.

상기 커패시터 플레이트에 연결되는 트랜스듀서 단자는 트랜스듀서 기부의 반대쪽 표면에 배열되어 있으며, 트랜스듀서 상에는 또한, 상기 트랜스듀서 단자에 연결되는 신호 조절 전기 회로가 장착되어 있다. 전기 절연 재료로 이루어진 커넥터 본체가 상기 전기 회로 상에 끼워져 상기 트랜스듀서가 수용되는 공동을 구비한 하우징에 고정되어 있다. Transducer terminals connected to the capacitor plate are arranged on the opposite surface of the transducer base, and on the transducer is also mounted a signal conditioning electrical circuit connected to the transducer terminals. A connector body made of an electrically insulating material is fitted to the electrical circuit and secured to a housing having a cavity in which the transducer is received.

상기 하우징에는 장착하고자 하는 유체 압력 공급원으로의 연결을 위한 포트(port), 그리고 금속 하우징의 상기 포트의 둘레에 안착되는 가요성 O-링이 형성되어 있으며 이 경우 상기 트랜스듀서가 O-링에 대하여 편향된 상태로 설치됨으로써 유체 시일(seal)이 형성되는 한편, 유체 수용 리세스가 획정되어 다이아프램이 상기 리세스 내부의 유체에 노출되도록 구성되어 있다. 여기서, 유체는 액상 또는 기상 물질일 수 있다. 전술한 바와 같은 장치에 있어서, 다이아프램에 인가되는 압력 변화에 응답하여 다이아프램이 이동 가능하도록 구성되어 인가된 압력 변화에 따라 커패시터의 정전 용량이 변경될 수 있으며, 상기 전기 회로는 이러한 인가 압력에 대응하는 전기 출력 신호를 제공한다.The housing is provided with a port for connection to the fluid pressure source to be mounted, and a flexible O-ring seated around the port of the metal housing, in which case the transducer is connected to the O-ring. By being installed in a deflected state, a fluid seal is formed, while the fluid receiving recess is defined so that the diaphragm is exposed to the fluid inside the recess. Here, the fluid may be a liquid or gaseous substance. In the apparatus as described above, the diaphragm is configured to be movable in response to a pressure change applied to the diaphragm so that the capacitance of the capacitor can be changed in accordance with the applied pressure change, and the electric circuit is subjected to this applied pressure. Provide a corresponding electrical output signal.

전술한 바와 같은 유형의 센서가 매우 성공적으로 사용되어 왔긴 하지만, 이러한 O-링 시일에 사용되는 탄성 중합체에 대해 부식성을 갖는 소정의 유체들이 있다. 또한, O-링 시일이 에탄올, 메탄올 및 연료와 같은 유체에 대하여 투과성을 나타낼 수 있다. 일례로서, 소정의 첨가제를 포함하는 자동차용 유체의 경우 통상적인 탄성 중합체와 함께 사용될 수 없다. 이러한 자동차용 유체의 예로, 바이오디젤(biodiesel)과 같은 생태학적 연료 및 에탄올 또는 메탄올이 첨가된 가솔린이 있다.Although sensors of the type as described above have been used very successfully, there are certain fluids that are corrosive to the elastomers used in such O-ring seals. In addition, O-ring seals may be permeable to fluids such as ethanol, methanol and fuel. As an example, automotive fluids containing certain additives cannot be used with conventional elastomers. Examples of such automotive fluids include ecological fuels such as biodiesel and gasoline with the addition of ethanol or methanol.

선행 특허인 미국 특허 제 7,231,830 호에 개시된 바와 같이, 챔버 내에 감지 요소가 배치되고, 압력전달 유체로서의 역할을 수행하는 비교적 비압축성의 오일이 상기 챔버에 충전된 상태에서 가요성 다이아프램을 이용하여 챔버가 밀봉되도록 구성된다. 이러한 접근법은 감지 요소에 대해 부식성을 갖는 감지 대상 유체의 압력과 같은 조건을 감지하기 위해 사용될 수 있다. 그러나, 이 방안은 챔버로부터의 유체 배출, 오일의 후방 충전 및 감지 유체의 압력에 효과적인 시일의 제공을 포함하는 다수의 처리 단계를 필요로 하는 적당한 패키지의 제조와 관련하여 비교적 비용이 많이 드는 문제가 있다.As disclosed in prior patent US Pat. No. 7,231,830, a sensing element is disposed within the chamber, and the chamber is opened using a flexible diaphragm with relatively incompressible oil filled in the chamber, which serves as a pressure transfer fluid. Configured to be sealed. This approach can be used to detect conditions such as the pressure of the fluid to be detected that is corrosive to the sensing element. However, this approach is relatively costly in relation to the manufacture of a suitable package which requires a number of processing steps including draining fluid from the chamber, back filling of the oil and providing a seal that is effective for the pressure of the sensing fluid. have.

그리고, 미국 특허 제 6,272,927 호에 개시된 바와 같은 공지의 압력 센서는 압력 감지 요소가 수용되어 있는 공동에 연결되는 유체 수용 포트가 마련되어 있는 금속 하우징을 포함하며, 또한, 상기 공동의 포트 형성 부분 상측에서 연장되는 가요성 금속 다이아프램을 포함한다. 금속 다이아프램은 용접 또는 브레이징(brazing)을 통해 하우징에 밀폐 방식으로 부착되어 있다. 상기 압력 감지 요소는 또한 세라믹 압력 감지 다이아프램을 구비하며, 이 세라믹 다이아프램이 상기 금속 다이아프램에 맞대어 배치되지만 그 사이에 바람직하게는 탄성 중합체성 재료와 같은 다소 탄력적인 플라스틱 재료로 이루어진 박형 중간 층이 개재되는 상태로 공동 내에 배치된다. 이에 따라, 중간 층이 이력 현상(hysteresis)을 효과적으로 완화하는 상태에서 유체 압력이 가요성 금속 다이아프램과 중간 층을 통해 세라믹 다이아프램으로 전달된다. 이 방안은, 그러나, 포트에 금속 다이아프램을 용접 또는 브레이징하는 단계 그리고 금속 다이아프램과 세라믹 압력 감지 다이아프램 사이에 중간 층을 위치 설정하는 단계를 포함하는 다수의 처리 단계를 필요로 하는 적당한 패키지의 제조와 관련하여 비교적 비용이 많이 드는 문제가 있다.
And a known pressure sensor as disclosed in US Pat. No. 6,272,927 includes a metal housing provided with a fluid receiving port connected to a cavity in which the pressure sensing element is received, and extending above the port forming portion of the cavity. Flexible metal diaphragm to be included. The metal diaphragm is hermetically attached to the housing by welding or brazing. The pressure sensing element also has a ceramic pressure sensing diaphragm, wherein the ceramic diaphragm is disposed against the metal diaphragm, between which the thin intermediate layer is preferably made of a rather resilient plastic material, such as an elastomeric material. It is arrange | positioned in a cavity in the state interposed. Accordingly, the fluid pressure is transferred to the ceramic diaphragm through the flexible metal diaphragm and the intermediate layer with the intermediate layer effectively alleviating hysteresis. This approach, however, does not include a suitable package that requires multiple processing steps including welding or brazing a metal diaphragm to the port and positioning an intermediate layer between the metal diaphragm and the ceramic pressure sensitive diaphragm. There is a relatively expensive problem with manufacturing.

본 발명은 하우징의 일측면을 밀폐시켜 형성되는 공간 내에 오일을 주입하여 오일을 통해 외부의 압력이 센서에 전달되도록 하여 압력변화를 감지하므로 미세한 압력변화도 감지할 수 있고, 폭넓은 온도 변화 범위에서도 압력의 측정에 오차범위가 적은 압력 모니터링용 압력 트랜스듀서를 제공하기 위한 것이다.The present invention detects a change in pressure by injecting oil into a space formed by sealing one side of the housing to allow external pressure to be transferred to the sensor through the oil, and thus detects a small pressure change, even in a wide range of temperature changes. An object of the present invention is to provide a pressure transducer for monitoring pressure with a low error range.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않는다.
The technical problems to be achieved by the present invention are not limited to the technical problems mentioned above.

상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 압력 모니터링용 압력 트랜스듀서는, 관형상으로 형성되고, 중공의 중단을 차폐하는 차폐부가 형성되는 하우징과, 상기 하우징의 일측에 결합되어 외부의 압력이 가해지는 박막부와, 상기 하우징의 타측 내부에 설치되어 상기 하우징의 일측에서 가해지는 압력을 감지하는 감지부를 포함할 수 있다.Pressure monitoring pressure transducer of the present invention for achieving the above object is formed in a tubular shape, the housing is formed with a shield to shield the interruption of the hollow, and a thin film coupled to one side of the housing is applied pressure And a sensing unit installed inside the other side of the housing to sense pressure applied from one side of the housing.

구체적으로, 상기 하우징의 차폐부는 중심에 상기 감지부의 센서가 삽입되는 센서홀이 형성되고, 상기 차폐부의 중심에서 편심된 위치에 상기 박막부와 상기 차폐부 간에 오일을 주입하는 오일주입홀이 형성될 수 있다.In detail, a sensor hole in which the sensor of the sensing unit is inserted is formed at the center of the shield of the housing, and an oil injection hole for injecting oil between the thin film unit and the shield is formed at a position eccentric from the center of the shield. Can be.

상기 감지부는, 상기 차폐부의 센서홀에 삽입되어 상기 박막부와 상기 차폐부 간에 주입되는 오일을 통해 상기 박막부에 가해지는 압력을 감지하는 센서와, 상기 센서에서 압력을 감지한 신호를 전송받아 감지신호를 처리하여 외부로 송신하는 제어부를 포함할 수 있다.The detection unit, the sensor is inserted into the sensor hole of the shielding portion to detect the pressure applied to the thin film portion through the oil injected between the thin film portion and the shielding portion, and receives the signal sensed by the pressure detected by the sensor It may include a control unit for processing the signal to transmit to the outside.

상기 박막부는, 상기 하우징의 일측면을 차단하는 박막체와, 상기 박막의 일측에 밀착되어 상기 하우징과 접합되는 접합체를 포함할 수 있다.
The thin film unit may include a thin film body that blocks one side of the housing, and a bonded body that is in close contact with one side of the thin film and bonded to the housing.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 하우징에 주입된 온도 변화에 둔감한 오일을 통해 외부의 압력을 센서가 감지하게 되므로 외부의 온도변화에 따은 오차 발생 확률이 현저히 감소하며, 압력에 민감하게 반응하므로 적은 압력변화도 측정할 수 있는 이점이 있다.As described above, according to the present invention, since the sensor detects the external pressure through the oil insensitive to the temperature change injected into the housing, the probability of error caused by the external temperature change is significantly reduced, and it reacts sensitively to the pressure. There is an advantage that the pressure change can be measured.

또한, 하우징과 센서가 일체화된 구조로서 매우 경제적으로 밀폐형 압력 트랜서듀서를 생산할 수 있는 이점이 있다.
In addition, the structure of the housing and the sensor is integrated, there is an advantage that can produce a hermetic pressure transducer very economically.

도 1은 본 발명의 실시예에 의한 압력 모니터링용 압력 트랜스듀서의 전체 구성을 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 압력 모니터링용 압력 트랜스듀서가 조립된 상태를 나타낸 도면이다.
도 3은 도 2의 'A'부분을 확대하여 나타낸 도면이다.
도 4는 도 2의 'B'부분을 확대하여 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명에 따른 하우징과 차폐부를 나타낸 도면이다.1 is a view showing the overall configuration of the pressure transducer for pressure monitoring according to an embodiment of the present invention.
2 is a view showing a state in which the pressure transducer for pressure monitoring according to the present invention is assembled.
3 is an enlarged view illustrating a portion 'A' of FIG. 2.
4 is an enlarged view illustrating a portion 'B' of FIG. 2.
5 is a view showing a housing and a shield according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 도면들 중 동일한 구성요소들은 가능한 어느 곳에서든지 동일한 부호로 표시한다. 또한 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same components are denoted by the same reference symbols whenever possible. In the following description, well-known functions or constructions are not described in detail since they would obscure the invention in unnecessary detail.

도 1은 본 발명의 실시예에 의한 압력 모니터링용 압력 트랜스듀서를 나타낸 도면으로서, 관형상으로 형성되고 중단에 차폐부(30)가 형성되는 하우징(10)과, 하우징(10)의 일측에 결합되는 박막부(20)와, 하우징(10)의 타측에 결합되어 하우징(10) 일측에서 가해지는 압력을 감지하는 감지부(40)를 포함한다.1 is a view showing a pressure transducer for pressure monitoring according to an embodiment of the present invention, the housing 10 is formed in a tubular shape and the shielding portion 30 is formed in the middle of the stop, and coupled to one side of the housing 10 And a sensing unit 40 coupled to the other side of the housing 10 to sense the pressure applied from one side of the housing 10.

도 1 내지 도 2에 도시된 바와 같이 상기 하우징(10)은 금속재질로 이루어지며, 관형상으로 형성되고, 일측 외주연에는 외부의 다른 장치와 결합될 수 있도록 결합체가 형성된다. As shown in Figure 1 to 2, the housing 10 is made of a metal material, is formed in a tubular shape, the outer periphery is formed on the outer periphery so as to be combined with other external devices.

이러한 상기 하우징(10)의 외주연 중단에는 외부의 다른 장치와 결합할 때 하우징(10)을 외부장치에 결합시키는 결합부가 형성된다.The outer periphery of the housing 10 is provided with a coupling portion for coupling the housing 10 to the external device when coupled with other external devices.

상기 하우징(10)의 일측에는 개구를 차폐하여 밀폐시키는 박막부(20)가 결합되는데, 이러한 상기 박막부(20)는 하우징(10)의 일측 개구를 막아 폐쇄하는 박막체(21)와, 박막체(21)를 가압하여 박막체(21)와 하우징(10) 간을 밀폐시키도록 하우징(10)돠 접합되는 링 형상의 접합체(22)로 구성된다.One side of the housing 10 is coupled to the thin film portion 20 for sealing and closing the opening, the thin film portion 20 is a thin film body 21 to close and close the opening of one side of the housing 10, the thin film It consists of the ring-shaped joined body 22 joined by the housing | casing 10 so that the sieve 21 may be pressurized to seal between the thin film body 21 and the housing | casing 10. As shown in FIG.

즉, 접합체(22)와 하우징(10)의 일측 개구 간에 박막체(21)를 개재하고, 접합체(22)를 하우징(10)과 접합시켜 외부와 완전히 밀폐시킨다.That is, the bonding body 22 is bonded to the housing 10 through the thin film body 21 between the bonding body 22 and one side opening of the housing 10 to completely seal the outside.

이때, 상기 접합체(22)와 하우징(10) 간을 접합시키는 방법은 레이저를 통해 용접하는 방법 또는 전기 용접을 통해 용접하는 방법 또는 브레이징 용접을 통해 용접하는 방법 등을 사용하여 접합시킬 수 있다.In this case, the bonding method between the bonding body 22 and the housing 10 may be bonded using a method of welding through a laser, a method of welding through electric welding, or a method of welding through brazing welding.

도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이 상기 하우징(10)의 차폐부(30)는 중심에 감지부(40)의 센서(41)가 삽입되는 센서홀(32)이 형성되고, 상기 센서홀(32)과 이격되도록 차폐부(30)의 중심에서 편심된 위치에 오일주입홀(31)이 형성된다.2 to 5, the shielding part 30 of the housing 10 has a sensor hole 32 in which a sensor 41 of the sensing part 40 is inserted in the center, and the sensor hole ( The oil injection hole 31 is formed at an eccentric position in the center of the shielding part 30 so as to be spaced apart from the 32.

상기 차폐부(30)의 오일주입홀(31)은 박막부(20)와 차폐부(30) 간의 하우징(10) 일측 공간에 압력 전달용 오일을 주입하는데 사용된다.The oil injection hole 31 of the shielding portion 30 is used to inject pressure transfer oil into the space on one side of the housing 10 between the thin film portion 20 and the shielding portion 30.

상기 오일주입홀(31)을 통해 오일이 주입되면 센서홀(32)에 감지부(40)의 센서(41)를 삽입하고, 오일주입홀(31)을 밀폐시켜 공기가 유입되지 않도록 함과 동시에 오일이 유출되지 않도록 한다.When oil is injected through the oil injection hole 31, the sensor 41 of the sensing unit 40 is inserted into the sensor hole 32, and the oil injection hole 31 is sealed to prevent air from entering. Do not spill oil.

도 2와 도 4에 도시된 바와 같이 상기 하우징(10)에 오일이 주입된 상태에서 센서(41)를 센서홀(32)에 삽입 설치한뒤 센서(41)에 감지부(40)의 제어부(42)를 연결하여 하우징(10)에 제어부(42)를 고정시킨다. 그리고, 외부의 측정장치 또는 표시장치와 제어부(42)가 연결되도록 연결단자(50)가 하우징(10)의 타측에 결합된다. As shown in FIG. 2 and FIG. 4, the sensor 41 is inserted into the sensor hole 32 while the oil is injected into the housing 10, and then the control unit of the sensing unit 40 is mounted on the sensor 41. 42 is connected to fix the control unit 42 to the housing (10). Then, the connection terminal 50 is coupled to the other side of the housing 10 so that the external measuring device or display device and the control unit 42 are connected.

이때, 상기 오일은 온도변화에 둔감한 종류를 사용해야 하는데 이러한 이유는 온도변화에 따라 오일의 밀도가 팽창하거나 축소되면 센서(41)에서 측정되는 압력값의 오차가 크게 되어 가스와 같이 폭발성이 강한 물질의 압력을 측정하게 되면 오차범위로 인해 안전사고가 발생될 수 있기 때문이다.In this case, the oil should use a type that is insensitive to temperature changes. This is because when the density of the oil expands or contracts according to the temperature change, the error of the pressure value measured by the sensor 41 becomes large, and thus a highly explosive substance such as gas. This is because a safety accident may occur due to the error range when measuring the pressure of.

이러한 이유로 인해 오일은 온도변화에 둔감한 실리콘 오일을 사용할 수 있다.For this reason, the oil may use silicone oil which is insensitive to temperature changes.

상기 실리콘 오일 외에도 온도변화에 둔감한 합성유 등을 사용할 수도 있다.In addition to the silicone oil, synthetic oils insensitive to temperature change may be used.

상기 감지부(40)는 차폐부(30)의 센서홀(32)에 삽입되는 센서(41)와, 센서(41)와 연결되어 센서(41)에서 감지되는 신호를 처리하여 외부로 전송하는 제어부(42)로 구성된다.The sensing unit 40 is a sensor 41 inserted into the sensor hole 32 of the shielding unit 30 and a control unit connected to the sensor 41 to process a signal sensed by the sensor 41 and transmit it to the outside. It consists of 42.

상기 센서(41)는 센서홀(32)에 안착됨과 동시에 센서홀(32)을 밀폐시키고, 하우징(10) 일측에 결합된 박막부(20)에 외부의 압력이 가해져 오일을 통해 센서(41)에 압력이 가해지면 오일의 압력에 따라 센서(41)의 전기적 저항이 변화되고, 이러한 저항변화를 감지하여 제어부(42)로 전송하게 된다.The sensor 41 is seated in the sensor hole 32 and at the same time seals the sensor hole 32, the external pressure is applied to the thin film portion 20 coupled to one side of the housing 10, the sensor 41 through the oil When the pressure is applied, the electrical resistance of the sensor 41 is changed according to the pressure of the oil, and this resistance change is detected and transmitted to the controller 42.

이렇게 감지신호가 제어부(42)로 전송되면 제어부(42)는 전송된 감지신호를 증폭시키고, 증폭된 신호를 외부의 측정장치 또는 표시장치에서 인식할 수 있도록 변환하여 전송한다.When the detection signal is transmitted to the control unit 42, the control unit 42 amplifies the transmitted detection signal, converts the amplified signal to be recognized by an external measuring device or display device, and transmits the converted signal.

여기서, 상기 센서(41)와 제어부(42)의 동작을 상세하게 설명하면 다음과 같다.Here, the operation of the sensor 41 and the control unit 42 will be described in detail as follows.

상기 하우징(10)의 일측에서 박막부(20)에 압력이 가해지면, 하우징(10) 내부의 오일이 압력을 받게 되고, 이로 인해 오일의 압력이 센서(41)에 가해지게 된다. 그러면, 센서(41)는 오일의 압력으로 인해 센서(41)의 저항이 증가되어 센서(41)를 흐르는 전압이 변화된다. When pressure is applied to the thin film unit 20 on one side of the housing 10, the oil inside the housing 10 is pressurized, and thus the pressure of the oil is applied to the sensor 41. Then, the sensor 41, the resistance of the sensor 41 is increased due to the pressure of the oil to change the voltage flowing through the sensor 41.

이러한 전압 변화를 제어부(42)에서 감지하고, 이렇게 감지된 신호를 제어부(42)에서 증폭시킴과 동시에 디지털 신호로 변화시켜 제어부(42)가 연결되는 외부의 측정장치 또는 표시장치로 전송하게 된다.The voltage change is sensed by the controller 42, the signal is amplified by the controller 42, and converted into a digital signal and transmitted to an external measuring device or display device to which the controller 42 is connected.

상기와 같은 본 발명을 제조하는 순서를 설명하면 다음과 같다.Referring to the procedure for producing the present invention as described above are as follows.

하우징(10)의 일측면에 박막체(21)를 결합하고, 박막체(21)를 고정시키는 접합체(22)를 박막체(21)의 일측에 결합하여 하우징(10)과 접합시킨다. 그리고, 하우징(10) 타측방향에서 차폐부(30)의 오일주입홀(31)을 통해 오일을 주입한다.The thin film body 21 is coupled to one side of the housing 10, and the bonding body 22 fixing the thin film body 21 is coupled to one side of the thin film body 21 to be bonded to the housing 10. Then, oil is injected through the oil injection hole 31 of the shielding portion 30 in the other direction of the housing 10.

이때, 오일을 주입하는 방법은 주사바늘과 같은 형태의 주입기를 통해 박막부(20)와 차폐부(30) 간으로 오일을 주입한다.In this case, the method of injecting oil injects oil between the thin film portion 20 and the shielding portion 30 through an injector in the form of a needle.

상기 차폐부(30) 중심에 형성된 센서홀(32)에는 오일이 다 주입된 뒤에 센서(41)를 안착시킨뒤 오일이 외부로 유출되지 않도록 밀폐시킨다.The sensor hole 32 formed at the center of the shielding part 30 is seated with the sensor 41 after the oil is injected, and the oil is sealed to prevent the oil from flowing out.

그리고, 오일주입홀(31) 또한 밀폐시켜 오일이 유출되지 않도록 한다.In addition, the oil injection hole 31 is also sealed to prevent oil from leaking out.

상기 센서(41)를 오일이 다 주입된 뒤 하우징(10)에 결합하는 이유는 오일을 주입할때 하우징(10) 내부의 공기가 센서홀(32)을 통해 외부로 배출될 수 있도록 하기 위해서이다.The reason why the sensor 41 is coupled to the housing 10 after the oil is injected is to allow air inside the housing 10 to be discharged to the outside through the sensor hole 32 when oil is injected. .

이렇게 하우징(10)의 차폐부(30)에 센서(41)가 결합되면 제어부(42)가 센서(41)와 연결되어 하우징(10)에 고정되고, 이러한 제어부(42)를 외부의 측정장치 또는 표시장치와 연결시킬 수 있는 연결단자(50)가 제어부(42)와 연결된 상태로 하우징(10)의 타측에 결합된다.When the sensor 41 is coupled to the shield 30 of the housing 10 in this way, the control unit 42 is connected to the sensor 41 and fixed to the housing 10, and the control unit 42 is connected to an external measuring device or The connection terminal 50 which can be connected to the display device is coupled to the other side of the housing 10 in a state of being connected to the control unit 42.

이와 같이 구성된 본 발명은 하우징에 주입된 온도 변화에 둔감한 오일을 통해 외부의 압력을 센서가 감지하게 되므로 외부의 온도변화에 따은 오차 발생 확률이 현저히 감소하며, 압력에 민감하게 반응하므로 적은 압력변화도 측정할 수 있는 이점이 있다.According to the present invention configured as described above, since the sensor senses the external pressure through the oil insensitive to the temperature change injected into the housing, the probability of error caused by the external temperature change is significantly reduced, and the pressure is sensitive to the small pressure change. There is also an advantage that can be measured.

상기와 같은 압력 모니터링용 압력 트랜스듀서는 위에서 설명된 실시예들의 구성과 작동 방식에 한정되는 것이 아니다. 상기 실시예들은 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 구성될 수도 있다.
The pressure transducer for pressure monitoring as described above is not limited to the configuration and manner of operation of the embodiments described above. The above embodiments may be configured such that various modifications may be made by selectively combining all or part of the embodiments.

10 : 하우징
20 : 박막부 21 : 박막체
22 : 접합체
30 : 차폐부 31 : 오일주입홀
32 : 센서홀
40 : 감지부 41 : 센서
42 : 제어부
50 : 연결단자10: Housing
20: thin film portion 21: thin film body
22: conjugate
30: shield portion 31: oil injection hole
32: sensor hole
40: detector 41: sensor
42: control unit
50: Connection terminal

Claims

관형상으로 형성되고, 중공의 중단을 차폐하는 차폐부가 형성되는 하우징;
상기 하우징의 일측에 결합되어 외부의 압력이 가해지는 박막부; 및
상기 하우징의 타측 내부에 설치되어 상기 하우징의 일측에서 가해지는 압력을 감지하는 감지부;를 포함하는 압력 모니터링용 압력 트랜스듀서.
A housing formed in a tubular shape and having a shield formed to shield the interruption of the hollow;
A thin film unit coupled to one side of the housing to which external pressure is applied; And
And a sensing unit installed inside the other side of the housing to sense pressure applied from one side of the housing.

청구항 1에 있어서,
상기 하우징의 차폐부는 중심에 상기 감지부의 센서가 삽입되는 센서홀이 형성되고, 상기 차폐부의 중심에서 편심된 위치에 상기 박막부와 상기 차폐부 간에 오일을 주입하는 오일주입홀이 형성되는 압력 모니터링용 압력 트랜스듀서.
The method according to claim 1,
A sensor hole in which the sensor of the sensing unit is inserted is formed at the center of the shield of the housing, and an oil injection hole for injecting oil between the thin film and the shield is formed at a position eccentric from the center of the shield. Pressure transducer.

청구항 2에 있어서,
상기 감지부는
상기 차폐부의 센서홀에 삽입되어 상기 박막부와 상기 차폐부 간에 주입되는 오일을 통해 상기 박막부에 가해지는 압력을 감지하는 센서; 및
상기 센서에서 압력을 감지한 신호를 전송받아 감지신호를 처리하여 외부로 송신하는 제어부;를 포함하는 압력 모니터링용 압력 트랜스듀서.
The method according to claim 2,
The sensing unit
A sensor inserted into a sensor hole of the shielding part and sensing a pressure applied to the thin film part through oil injected between the thin film part and the shielding part; And
And a controller for receiving a signal detected by the sensor and processing the detected signal and transmitting the detected signal to the outside.

청구항 1에 있어서,
상기 박막부는
상기 하우징의 일측면을 차단하는 박막체; 및
상기 박막의 일측에 밀착되어 상기 하우징과 접합되는 접합체;를 포함하는 압력 모니터링용 압력 트랜스듀서.The method according to claim 1,
The thin film portion
A thin film to block one side of the housing; And
A pressure transducer for pressure monitoring comprising a; the bonding body is in close contact with one side of the thin film and bonded to the housing.