KR20130101454A

KR20130101454A - 래비린스 씰, 세정유닛 및 방법, 용액제막방법

Info

Publication number: KR20130101454A
Application number: KR1020130013761A
Authority: KR
Inventors: 다이스케 오도우; 마사타카 하세가와; 노부유키 스즈키; 가즈마사 요코야마
Original assignee: 후지필름 가부시키가이샤
Priority date: 2012-03-05
Filing date: 2013-02-07
Publication date: 2013-09-13
Also published as: JP2013181648A; KR101999406B1; TWI599465B; CN103307285B; JP5540032B2; CN103307285A; TW201336658A

Abstract

세정유닛은, 드라이아이스 입자가 포함되는 세정가스(67)를 노즐로부터 내보내 둘레면(21a)에 닿게 한다. 세정가스(67)가 닿게 되는 둘레면(21a)의 세정에리어는 케이싱 본체(64)에 덮이고, 케이싱 본체(64) 내의 기체를 흡인함으로써 둘레면(21a)으로부터 벗겨진 오염물이나 세정가스(67) 등을 흡인한다. 케이싱 본체(64)의 둘레면(21a)에 대향하는 대향면(64d)에는 래비린스 씰(77)이 설치되고, 래비린스 씰(77)은, 홈(91~93)과 노즐측의 벽면(77a)에 각각 개구하여 내부를 관통하는 구멍(101)을 가진다. 구멍(101)은, 집합관(111) 및 관(82)에 의하여 배기부(71)와 접속된다. 배기부(71)에 의하여 핀(85~88) 주변의 기체를 흡인한다.

Description

래비린스 씰, 세정유닛 및 방법, 용액제막방법{LABYRINTH SEAL, CLEANING UNIT AND METHOD, AND SOLUTION FILM-FORMING METHOD}

본 발명은, 래비린스 씰, 세정유닛 및 방법, 용액제막방법에 관한 것이다.

표면이 오염된 것을 세정하는 방법으로서, 드라이아이스 세정이 있다. 드라이아이스 세정은, 오염물이 부착되어 있는 피세정물의 표면에, 고체의 드라이아이스 입자(드라이아이스 스노우)를 분사하여, 드라이아이스 입자의 충돌 및 승화에 의하여 오염물을 피세정물의 표면으로부터 제거하는 것이다.

드라이아이스 세정에서는, 세정기로부터 분출된 드라이아이스 입자나, 피세정물의 표면에 충돌하여 튕겨온 드라이아이스 입자 및 기체의 이산화탄소, 피세정물로부터 벗겨진 오염물이, 피세정물이나 세정기의 주변에 비산되기 쉽다.

한편, 필름의 제조방법으로서 용액제막방법이 있다. 용액제막방법은, 주지하는 바와 같이, 폴리머와 용제가 포함되는 도프를 이동하는 유연지지체의 표면에 유연(流延)하여 유연막을 형성하고, 이 유연막을 유연지지체로부터 박리하여 건조함으로써, 필름을 제조하는 방법이다. 공업적으로는 필름을 장척으로 만드는 경우가 많아, 이로 인하여, 무단(無端)의 유연지지체에 있어서는 유연과 박리가 반복하여 이루어진다. 이 반복에 의하여, 유연지지체 상에는 도프 중에서도 특히 폴리머성분에 포함되는 물질이 석출되어 버려, 유연지지체가 오염된다. 유연지지체의 대부분은 금속제로 되어 있어, 오염물을 제거하기 위하여, 각종 세정방법 중에서도 드라이아이스 세정이 바람직한 경우가 있다. 또, 유연지지체를 세정할 때마다 유연지지체의 구동을 멈추면, 필름의 생산성이 떨어지므로, 세정은, 유연지지체의 구동을 멈추는 일 없이, 유연과 박리를 행하면서 행하는 것이 바람직하다.

따라서, 유연과 박리를 행하면서 유연지지체의 드라이아이스 세정을 행하며, 상기의 비산을 억제하는 세정방법이, 일본 특허공개공보 2009－078444호에 의하여 제안되고 있다. 일본 특허공개공보 2009－078444호에 기재된 세정방법은, 유연막이 벗겨지는 박리위치로부터 도프가 유연되는 유연위치를 향하는 유연지지체에 대하여 드라이아이스 입자를 포함한 세정가스를 분사하여, 유연지지체의 표면을 세정한다. 이 일본 특허공개공보 2009－078444호 방법에서는, 세정가스를 분사하는 세정노즐은 챔버로 둘러싸이고, 챔버의 유연지지체에 대향하는 대향부에 래비린스 씰이 설치되어 있다. 일본 특허공개공보 2009－078444호에 기재된 방법은, 챔버에 의하여 비산을 억제하여, 래비린스 씰의 씰효과, 즉 유체의 흐름을 저지함으로써, 상기의 비산을 더욱 억제하고 있다.

또, 일본 특허공개공보 2011－067768호의 도포장치에서는, 커텐도포를 행하는 도포장치의 상류에 래비린스 씰을 설치하여, 래비린스 씰의 상류에서 기체를 흡인하는 슬릿 및 흡인기구를 설치하고 있다. 슬릿의 개구와, 래비린스 씰의 선단은, 도포 대상물로부터의 거리가 대략 동일하게 되어 있다. 일본 특허공개공보 2011-067768호의 도포장치는, 래비린스 씰에 의하여 씰효과를 얻고, 또한 슬릿 및 흡인기구에 의하여 공기의 흐름을 흡인함으로써, 커텐막으로의 공기류의 영향을 보다 효과적으로 방지하고 있다.

일본 특허공개공보 2009-078444호 방법에서는, 상기의 비산을 방지하는 것에 대하여 일정한 효과는 있다. 그러나, 일본 특허공개공보 2009-078444호 방법에서는, 유연과 박리를 계속하고 있는 동안에, 래비린스 씰에 드라이아이스 입자나 기체의 이산화탄소가 부착되어 굳어져, 굳어진 드라이아이스가 래비린스 씰 및 챔버의 외부로 나와 버린다는 문제가 있다. 외부로 나온 고체의 드라이아이스는, 유연지지체 등의 부재나 유연막에 부착되어 버리는 경우가 있다. 또, 일본 특허공개공보 2011-067768호에 기재된 바와 같이 래비린스 씰의 상류에 슬릿 및 흡인기구를 설치하는 것은, 일본 특허공개공보 2009-078444호보다 높은 씰효과를 나타내는 경우가 있다. 그러나, 흡인력이 약하고, 래비린스 씰로의 드라이아이스 입자 내지 기체의 이산화탄소의 부착과 외부로의 비산이 여전히 발생한다.

또한, 용액제막의 유연환경에 있어서는, 래비린스 씰이 고온하에 노출되는 등, 래비린스 씰의 온도변화에 따른 팽창이 있다. 이 팽창으로 래비린스 씰의 외측치수는 커져, 유연과 박리를 계속하고 있는 동안에 래비린스 씰이 유연지지체에 닿게 되어 버리는 경우가 있다.

따라서 본 발명은, 드라이아이스 입자나 기화된 이산화탄소 등이 부착되어 고화되는 일이 없어 높은 씰효과가 유지되고, 승온에 의한 팽창에 의하여 외측치수가 커지는 것이 억제되는 래비린스 씰을 제공하는 것을 목적으로 한다. 또, 본 발명은, 이러한 래비린스 씰을 구비하여 드라이아이스 세정을 행하는 세정유닛과, 래비린스 씰을 이용한 세정방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 또, 본 발명은, 유연 및 박리가 연속하여 행해지는 유연지지체에 드라이아이스 세정을 행해도, 래비린스 씰의 밖으로 고화된 드라이아이스가 비산되어 버리는 것이 억제되어, 승온되어도 래비린스 씰이 유연지지체와 부딪치지 않는 용액제막방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 래비린스 씰은, 복수의 씰핀과, 구멍을 구비한다. 복수의 씰핀은, 서로 이간하여 평행으로 설치된다. 구멍은, 기체가 통과하도록 관통하여 형성된다. 구멍의 일단은 복수의 씰핀 사이의 홈에 개구한다. 구멍의 타단에는 기체를 흡인하는 흡인부가 접속된다.

구멍은 홈의 길이방향으로 복수 형성되어 있는 것이 바람직하다.

본 발명의 세정유닛은, 세정기와, 케이싱과, 래비린스 씰과, 흡인부를 구비한다. 세정기는, 드라이아이스 입자를 분출하여 피세정물의 표면에 닿게 함으로써 피세정물의 표면을 세정한다. 케이싱은, 드라이아이스 입자가 닿게 되는 피세정물의 표면을 덮는다. 래비린스 씰은, 케이싱의 피세정물에 대향하는 대향부에 설치된다. 래비린스 씰은, 구멍과 복수의 씰핀을 가진다. 복수의 씰핀은, 서로 이간하여 평행으로 설치된다. 구멍은, 기체가 통과하도록 래비린스 씰을 관통하여 형성된다. 구멍의 일단은 복수의 씰핀 사이의 홈에 개구한다. 구멍의 타단은 케이싱의 내부에 접속한다. 흡인부는, 케이싱의 내부의 기체를 흡인함으로써 피세정물의 표면으로부터 탈리된 오염물을 회수한다. 흡인부는 구멍을 통하여 씰핀 주변의 기체를 흡인한다.

구멍의 타단은, 케이싱에 설치한 관을 통하여 케이싱의 내부에 접속하는 것이 바람직하다.

구멍은, 홈의 길이방향으로 복수 형성되어 있는 것이 바람직하다.

피세정물은 무단의 유연지지체이며, 유연지지체에는, 용액제막의 도프의 유연과, 유연에 의하여 형성된 유연막의 박리가 반복하여 이루어지는 것이 바람직하다. 세정유닛은 유연막이 벗겨지는 박리위치로부터 도프가 유연되는 유연위치를 향하는 유연지지체의 표면에 대향하여 설치되며, 홈의 길이방향은 유연지지체의 폭방향과 일치하는 것이 바람직하다.

래비린스 씰은, 유연지지체의 표면의 이동방향에 있어서의 세정기의 상류와 하류 중 적어도 어느 일방에 배치되는 것이 바람직하다.

본 발명의 세정방법은, 세정스텝(A스텝)과, 흡인스텝(B스텝)을 구비한다. A스텝은, 드라이아이스 입자를 피세정물의 표면에 닿게 함으로써 피세정물의 표면을 세정한다. B스텝은, A스텝 중에 케이싱의 내부의 기체를 흡인함으로써 피세정물의 표면으로부터 탈리된 오염물을 회수한다. 케이싱은, 드라이아이스 입자가 닿게 되는 피세정물의 표면을 덮도록 설치된다. 케이싱의 피세정물에 대향하는 대향부에는 래비린스 씰이 설치되어 있다. 래비린스 씰은, 구멍과 복수의 씰핀을 가진다. 복수의 씰핀은, 서로 이간하여 평행으로 설치되어 있다. 구멍은, 기체가 통과하도록 래비린스 씰을 관통하여 형성되어 있다. 구멍의 일단은, 복수의 씰핀 사이의 홈에 개구한다. 구멍의 타단은, 케이싱의 내부에 접속된다. 흡인에 의하여 구멍을 통하여 복수의 씰핀 주변의 기체가 흡인된다.

본 발명의 용액제막방법은, 유연스텝(C스텝)과, 박리스텝(D스텝)과, 건조스텝(E스텝)과, 세정스텝(F스텝)과, 흡인스텝(G스텝)을 구비한다. C스텝은, 길이방향으로 이동하는 무단의 유연지지체 위에, 폴리머와 용매가 포함되는 도프를 유연한다. D스텝은, C스텝에 의하여 형성된 유연막을 유연지지체로부터 박리한다. E스텝은, D스텝에 의하여 박리된 유연막을 건조하여 필름으로 한다. F스텝은, 박리위치로부터 유연위치를 향하는 유연지지체의 도프가 유연되는 표면에 드라이아이스 입자를 닿게 함으로써 표면을 세정한다. 박리위치는 유연막이 박리되는 위치이다. 유연위치는 도프가 유연되는 위치이다. G스텝은, F스텝 중에 케이싱의 내부의 기체를 흡인함으로써 유연지지체의 표면으로부터 탈리된 오염물을 회수한다. 케이싱은, 드라이아이스 입자가 닿게 되는 유연지지체의 표면을 덮도록 설치된다. 케이싱의 유연지지체에 대향하는 대향부에는 래비린스 씰이 설치되어 있다. 래비린스 씰은, 구멍과 복수의 씰핀을 가진다. 복수의 씰핀은, 서로 이간하여 평행으로 설치되어 있다. 구멍은 기체가 통과하도록 래비린스 씰을 관통하여 형성되어 있다. 구멍의 일단은 복수의 씰핀 사이의 홈에 개구한다. 구멍의 타단은 케이싱의 내부에 접속된다. 흡인에 의하여 구멍을 통하여 복수의 씰핀 주변의 기체가 흡인된다.

본 발명의 래비린스 씰에 의하면, 드라이아이스 세정에 이용해도, 드라이아이스 입자나 기화된 이산화탄소 등이 부착되어 고화되는 일 없이 높은 씰효과가 유지되어, 승온에 의한 팽창에 의하여 외측치수가 커지는 것이 억제된다.

본 발명의 세정유닛에 의하면, 드라이아이스 입자나 기화된 이산화탄소 등이 부착되어 고화되는 일 없이, 높은 씰효과가 유지됨과 함께, 래비린스 씰은 승온에 의한 팽창에 의하여 외측치수가 커지는 것이 억제된다.

본 발명의 세정방법에 의하면, 드라이아이스 세정에 있어서 래비린스 씰에 고화된 이산화탄소가 부착되는 일 없이, 높은 씰효과가 유지됨과 함께, 래비린스 씰이 고온 하에 노출되어도 외측치수가 커지는 것이 방지된다.

본 발명의 용액제막방법에 의하면, 유연 및 박리가 연속하여 행해지는 유연지지체에 드라이아이스 세정을 행해도, 래비린스 씰의 바깥으로 고화된 드라이아이스가 비산되어 버리는 것이 억제되어, 승온되어도 래비린스 씰이 유연지지체와 부딪치는 일이 없다.

상기 목적과 이점은, 첨부하는 도면을 참조하여, 바람직한 실시예의 상세한 설명을 읽음으로써, 당업자가 용이하게 이해할 수 있을 것이다.
도 1은, 용액 제막설비를 나타내는 개략도이다.
도 2는, 세정유닛의 개략을 나타내는 일부 단면 측면도이다.
도 3은, 래비린스 씰의 개략을 나타내는 단면도이다.
도 4는, 도 3의 IV-IV선을 따르는 단면도이다.
도 5는, 래비린스 씰의 개략을 나타내는 단면도이다.

용액제막방법에 의하여 필름을 제조하는 용액 제막설비의 일례를, 도 1을 참조하면서 설명한다. 도 1에 나타내는 용액 제막설비(10)는, 유연장치(11)와, 텐터(12)와, 슬릿장치(16)와, 건조장치(17)와, 권취장치(18)를 상류측부터 순서대로 구비한다.

유연장치(11)는, 드럼(21)과, 유연다이(22)와, 감압챔버(23)와, 박리롤러(26)와, 온도컨트롤러(27, 28)와, 세정유닛(31)과, 유연챔버(32)를 구비한다. 유연챔버(32)는, 드럼(21), 유연다이(22), 감압챔버(23), 박리롤러(26), 세정유닛(31)을 수용한다.

드럼(21)은, 금속제의 유연지지체이다. 드럼(21)은, 구동장치(도시하지 않음)를 가지며, 이 구동장치에 의하여 일정한 방향으로 회전한다. 도 1에서는 드럼(21)의 회전방향을 나타내는 화살표에 부호(X)를 붙인다. 유연다이(22)는, 폴리머가 용매에 용해되어 있는 도프(33)가 공급되어 오면, 이 도프(33)를 유출한다. 유연다이(22)는, 도프(33)의 유출구인 슬릿(도시하지 않음)이 드럼(21)과 대향하도록 배치된다. 회전중인 드럼(21)의 둘레면(21a)을 향하여, 유연다이(22)로부터 도프(33)가 유출됨으로써, 둘레면(21a)에 도프(33)로 이루어진 유연막(36)이 형성된다. 둘레면(21a)의 도프(33)가 유연되는 위치(유연막(36)이 형성되기 시작하는 위치)를, 이하, 유연위치(PC)라고 칭한다.

감압챔버(23)는, 드럼(21)의 회전방향(X)에 있어서의 유연다이(22)의 상류에 배치된다. 감압챔버(23)는, 감압해야 할 공간을 외부공간과 구분한다. 감압챔버(23)의 유연다이(22) 및 드럼(21)과 대향하는 대향부는 개방되어 있다. 감압챔버(23)는 흡인기(도시하지 않음)에 의하여 내부의 기체가 흡인되면, 내부가 감압상태가 된다. 이로써, 유연다이(22)로부터 유출된 도프(33)는, 드럼(21)의 회전방향(X)에 있어서의 상류측의 에리어가 감압되어, 둘레면(21a)에 안정되게 연속적으로 유연된다.

온도컨트롤러(27)는, 유연챔버(32)의 내부의 온도를 조정하고, 온도컨트롤러(28)는, 드럼(21)의 둘레면(21a)의 온도를 조정한다. 이들 온도조정에 의하여, 박리롤러(26)를 향하는 유연막(36)은, 박리와 반송이 가능한 정도로 굳어진다. 예를 들면, 드럼(21)의 둘레면(21a)을 10℃ 이하로 냉각함으로써, 유연막(36)은 냉각되어 겔화된다. 또, 드럼(21)의 둘레면(21a)과 유연챔버(32)의 온도를 실온보다 높은 온도로 가열함으로써, 유연막(36)으로부터 도프(33)의 용제성분이 증발되어 유연막(36)은 건조되어 겔화된다.

박리롤러(26)는, 드럼(21)의 근방에 배치되어, 드럼(21)으로부터 벗겨진 유연막(36), 즉 습윤필름(37)을 둘레면으로 지지한다. 이로써 박리롤러(26)는, 유연막(36)이 드럼(21)으로부터 벗겨지는 박리위치(PP)를, 일정하게 유지한다.

드럼(21)의 둘레면(21a)은, 유연위치(PC)로부터 박리위치(PP)를 통과하여 유연위치(PC)로 되돌아오도록 순환하므로, 길이방향으로 이동하는 무단의 유연면이다. 세정유닛(31)은, 드럼(21)의 둘레면(21a)을 세정하기 위한 것이며, 박리위치(PP)로부터 유연위치(PC)를 향하는 둘레면(21a)에 대향하여 배치된다. 세정유닛(31)의 상세에 대해서는, 다른 도면을 이용하여 후술한다.

박리에 의하여 형성된 습윤필름(37)은, 롤러(38)로 반송되어 텐터(12)로 안내된다. 텐터(12)에서는, 습윤필름(37)의 측단부를 지지수단으로서의 예를 들면 핀(도시하지 않음) 등으로 지지하고, 이 지지수단으로 반송하면서, 습윤필름(37)을 건조한다. 지지수단으로서 핀을 이용하는 경우에는, 핀을 습윤필름(37)의 측단부에 관통시킴으로써, 습윤필름(37)이 지지된다. 각 측단부의 지지수단은, 습윤필름(37)의 폭방향에 대하여 적절히 장력을 가하면서, 반송방향으로 이동한다. 장력은, 제조해야 할 필름(41)의 광학성능(예를 들면 레타데이션) 등에 근거하여 설정한다. 예를 들면, 필름(41)에 목적으로 하는 광학성능을 발현시키기 위하여 소정의 폭 확대율로 습윤필름(37)의 폭을 확대하는 경우에는, 소정의 폭 확대율이 되도록 습윤필름(37)에 폭방향에서의 장력을 부여한다.

텐터(12)는, 반송로를 둘러싸는 챔버(도시하지 않음)를 가지며, 텐터(12)의 챔버 내부에는, 덕트(도시하지 않음)가 구비된다. 덕트(도시하지 않음)에는, 습윤필름(37)의 반송로에 대향하여 급기노즐(도시하지 않음)과 흡인노즐(도시하지 않음)이 각각 복수 형성되어 있다. 급기노즐로부터의 건조기체의 송출과 흡인노즐로부터의 기체의 흡인에 의하여, 텐터(12)의 챔버 내부는 일정한 습도 및 용제가스농도로 유지된다. 텐터(12)의 챔버 내부를 통과시킴으로써, 습윤필름(37)의 건조를 진행시킨다.

제조하는 필름(41)의 광학성능에 따라, 텐터(12)를 복수 직렬로 배치하고, 이로써, 폭방향에 있어서의 장력의 부여나, 가열이나, 건조 등을 행해도 된다. 텐터(12)를 복수 직렬로 배치하는 경우에는, 가장 상류의 텐터(12)의 지지수단을 핀으로 하고, 다른 텐터의 지지수단을 클립으로 하는 양태가 있다.

텐터(12)를 거친 습윤필름(37)은 슬릿장치(16)에 의해, 지지수단에 의한 지지 자국이 있는 각 측단부가, 절단날로 연속적으로 절단하여 제거된다. 일방의 측단부와 타방의 측단부와의 사이의 중앙부는 건조장치(17)로 보낸다.

습윤필름(37)은, 건조장치(17)로 보내지면, 반송방향으로 나란히 배치된 복수의 롤러(42)의 둘레면으로 지지된다. 이들 롤러(42) 중에는, 둘레방향으로 회전하는 구동롤러가 있어, 이 구동롤러의 회전에 의하여 습윤필름(37)은 반송된다.

건조장치(17)는, 건조된 기체를 유출하는 덕트(도시하지 않음)를 구비하고, 건조기체가 이송되는 공간을 외부와 구획하는 챔버(도시하지 않음)를 가진다. 복수의 롤러(42)는 이 챔버 내에 수용되어 있다. 건조장치(17)의 챔버에는 배기구(도시하지 않음)가 형성되고, 덕트로부터의 건조기체의 송출과 배기구로부터의 배기에 의하여, 건조장치(17)의 챔버 내부는 일정한 습도 및 용제가스 농도로 유지된다. 이 건조장치(17)의 챔버 내부를 통과함으로써, 습윤필름(37)은 건조되어 필름(41)이 된다.

건조장치(17)에 의해 건조한 필름(41)은, 권취장치(18)로 보내어져, 롤형상으로 권취된다. 또한, 건조장치(17)와 권취장치(18)와의 사이에 슬릿장치(도시하지 않음)를 설치하고, 이 슬릿장치에 의하여, 각 측단부를 절단 제거해도 된다. 또, 건조장치(17)와 권취장치(18)와의 사이에 널링장치(도시)를 설치하고, 이 널링장치에 의하여, 필름(41)의 각 측단부에 세밀한 요철을 부여하는 널링처리를 행해도 된다.

도 1에는, 유연지지체로서 드럼(21)을 이용했을 경우를 나타내고 있다. 그러나, 유연지지체는, 복수의 롤러(도시하지 않음)의 둘레면에 감은 환형의 벨트(도시하지 않음)이어도 상관없다. 벨트를 유연지지체로 하는 경우에는, 벨트가 감긴 복수의 롤러 중, 적어도 하나를 둘레방향으로 회전하는 구동롤러로 한다. 이 구동롤러의 회전에 의하여, 벨트는 길이방향으로 반송되고, 연속적으로 반복 주회한다.

벨트를 유연지지체로 하는 경우에는, 벨트가 감긴 롤러를, 둘레면의 온도조정 가능한 것으로 하여, 이 롤러에 의하여 벨트의 온도를 제어하면 된다. 이와 같이, 본 발명은, 유연지지체를 드럼(21)에 한정하는 것은 아니다.

세정유닛(31)은, 도 2에 나타내는 바와 같이, 드럼(21)에 대향하여 배치된다. 세정유닛(31)은, 드럼(21)의 회전방향(X)에 있어서의 박리롤러(26)의 하류, 감압챔버(23)의 상류, 즉, 박리위치(PP)로부터 유연위치(PC)를 향하는 둘레면(21a)에 대향하여 배치된다. 이 세정유닛(31)에 의하여, 드럼(21)의 둘레면(21a)에 부착되어 있는 오염물을 제거하여, 드럼(21)을 세정한다. 도프(33)의 폴리머성분이 셀룰로오스아실레이트인 경우에는, 이 오염물에는, 드럼 상의 유연막(36)으로부터 석출된 지방산 에스테르, 지방산, 지방산 금속염 등이 주로 포함되어 있다.

세정유닛(31)은, 세정기(51)와, 케이싱(52)을 구비한다. 세정기(51)는, 드라이아이스 생성부(53)와, 가스공급부(54)와, 노즐(55)을 가진다. 노즐(55)에는, 제1 공급구(55a)와 제2 공급구(55b)와 분출구(55c)가 형성되어 있다. 드라이아이스 생성부(53)는, 관(58)에 의하여 제1 공급구(55a)와 접속한다. 가스공급부(54)는, 관(59)에 의하여 제2 공급구(55b)와 접속한다.

드라이아이스 생성부(53)는, 소정 범위의 입경을 가지는 승화성 고체의 드라이아이스 입자(62)를 생성한다. 생성된 드라이아이스 입자(62)는, 관(58)을 통하여, 노즐(55)의 제1 공급구(55a)에 공급된다.

가스공급부(54)에는, 소정의 압력으로 압축된 가스(63)가 충전된다. 가스공급부(54)로서는, 예를 들면 가스탱크가 있다. 가스(63)로서는, 예를 들면 질소 등의 불활성가스가 있다. 가스공급부(54)는, 가스(63)를, 관(59)을 통하여, 노즐(55)의 제2 공급구(55b)에 공급한다. 가스공급부(54)는 컨트롤러(도시하지 않음)를 가지며, 이 컨트롤러에 의하여, 공급하는 가스(63)의 양이나 공급할 때의 가스(63)의 유량이 제어된다. 또한, 가스(63)는, 불활성가스에는 한정되지 않고, 예를 들면 에어(공기) 등이어도 된다.

노즐(55)은, 분출구(55c)가 드럼(21)의 둘레면(21a)을 향하도록, 둘레면(21a)에 대하여 기립한 자세로 배치된다. 또한, 본 실시형태에 있어서는, 노즐(55)은, 도 2에 나타내는 바와 같이, 드럼(21)을 측면으로부터 보았을 때에, 둘레면(21a)에 대하여 수직인 방향으로 기립한 자세로 배치되어 있다.

노즐(55)의 분출구(55c)는 가늘고 긴 직사각형의 슬릿으로 되어 있지만, 엄밀한 직사각형이 아니어도 된다. 노즐(55)은, 분출구(55c)의 길이방향이 둘레면(21a)의 폭방향(도 2의 지면의 깊이방향)(Y)(도 4 참조)에 일치하도록 배치된다. 일치란, 엄밀한 일치가 아니어도 되고, 대략 일치해도 된다. 둘레면(21a)의 폭방향(Y)에 있어서의 분출구(55c)의 길이는, 둘레면(21a)의 전체 폭영역이 세정되도록 둘레면(21a)의 폭과 동등하게 되어 있지만, 둘레면(21a)의 폭보다 짧아도 된다. 동등이란, 엄밀한 동등이 아니어도 되고, 대략 동등해도 된다. 둘레면(21a)의 폭보다 짧은 경우에는, 노즐(55)에 시프트기구(도시하지 않음)를 설치하여, 폭방향(Y)으로 이동가능하게 함으로써, 둘레면(21a)의 전체 폭영역이 세정된다. 분출구(55c)의 형상은, 폭방향(Y)으로 뻗은 슬릿 대신에 원형, 대략 원형이나 다각형, 대략 다각형으로 해도 되고, 이들 경우도, 노즐(55)에 시프트기구(도시하지 않음)를 설치하여, 폭방향(Y)으로 이동가능하게 한다. 또한, 본 실시형태에 있어서는, 노즐(55)은, 케이싱(52)을 구성하는 케이싱 본체(64)의 드럼(21)의 회전방향(X)에 있어서의 대략 중앙에 삽입관통하여 고정되어 있다. 노즐(55)의 분출구(55c)가 둘레면(21a)의 폭보다 짧은 슬릿, 혹은 원형, 대략 원형, 다각형, 대략 다각형인 경우에는, 케이싱 본체(64)에도 시프트기구(도시)를 설치하여, 케이싱 본체(64)에 고정한 노즐(55)과 동기하여 이동시키면 된다.

노즐(55)에는, 제2 공급구(55b)와 분출구(55c)와의 사이를 연통하는 제1 유로(도시하지 않음)가 형성되어 있다. 또, 노즐(55)에는, 제1 공급구(55a)와 제1 유로를 연통하는 제2 유로(도시하지 않음)가 형성되어 있다. 이로써, 제1 유로로 안내된 가스(63)는, 제1 유로에서, 제2 유로로부터의 드라이아이스 입자(62)와 혼합된다. 드라이아이스 입자(62)와 가스(63)의 혼합에 의하여 생성된 가스를, 이하의 설명에 있어서는 세정가스(67)라고 칭한다. 세정가스(67)는, 분출구(55c)로부터 분출하여, 드럼(21)의 둘레면(21a)에 닿는다. 이하, 이 세정가스(67)가 분사되는 둘레면(21a)의 에리어를 세정에리어라고 한다.

본 실시형태에서는, 드라이아이스 생성부(53)에서 미리 드라이아이스 입자(62)를 생성하여, 그 드라이아이스 입자(62)를 노즐(55)에 보내고 있지만, 이 방법에 한정되지 않는다. 예를 들면, 액상의 이산화탄소를 노즐(도시하지 않음)에 보내고, 그 노즐 내에서 고체의 드라이아이스 입자(62)를 생성해도 된다. 이와 같이, 세정기(51) 대신에, 공지의 드라이아이스 세정수단을 이용해도 된다.

세정가스(67)가 드럼의 둘레면(21a)에 분사되면, 그 세정가스(67)에 포함되는 드라이아이스 입자(62)가, 드럼의 둘레면(21a)에 부착된 오염물에 충돌한다. 이 충돌에 의하여, 오염물은 분쇄되어, 둘레면(21a)으로부터 제거된다. 이로써, 세정자국을 남기는 일 없이, 드럼(21)의 둘레면(21a) 상의 오염물이 제거된다. 제거된 오염물은, 세정가스(67)와 함께, 드럼(21)의 회전방향(X)이나 회전방향(X)과 반대의 방향 등으로 흐른다.

케이싱(52)은, 케이싱 본체(64)와, 배기부(71)와, 컨트롤러(73)와, 래비린스 씰(76, 77)을 가진다.

케이싱 본체(64)는, 둘레면(21a)에 대향하여 개방되어 있는 상자형상이며, 폭방향(Y)에 있어서의 길이를 드럼(21)의 둘레면(21a)의 폭보다 약간 길게 하고 있다. 이로써, 케이싱 본체(64)는, 세정에리어를 덮어, 세정에리어의 주변 공간을 외부공간과 구분한다. 이로써, 분출구(55c)로부터의 세정가스(67)와, 둘레면(21a)에 닿아 날아오른 세정가스(67)와, 둘레면(21a)으로부터 탈리된 오염물의 비산범위가 제한된다. 케이싱 본체(64)의 폭방향(Y)에 있어서의 길이는, 폭방향(Y)에 있어서의 분출구(55c)의 길이에 따라 설정해도 되며, 예를 들면, 분출구(55c)의 폭방향(Y)에 있어서의 길이가 짧은 경우에는, 이에 따라 짧게 해도 된다.

둘레면(21a)에 대향하는 케이싱 본체(64)의 개방구(64a)는, 분출구(55c)가 형성되어 있는 노즐(55)의 선단을 둘러싸도록, 드럼(21)의 둘레면(21a)의 폭방향으로 뻗어 형성되어 있다. 개방구(64a)는, 노즐(55)로부터의 세정가스(67)의 분사에 방해가 되지 않도록 형성되고, 또, 둘레면(21a)으로부터 탈리된 오염물이 케이싱 본체(64)의 내부로 안내되는 안내로가 된다.

케이싱 본체(64)의 상부에는 제1 배기구(64b)가 형성되고, 측부에는 제2 배기구(64c)가 형성되어 있다. 단, 제1 배기구(64b), 제2 배기구(64c)의 위치는 특별히 한정되지 않는다. 제1 배기구(64b)는, 관(78)에 의하여 배기부(71)와 접속한다. 배기부(71)는, 케이싱 본체(64)의 내부의 기체를 흡인하여, 케이싱 본체(64)의 내부를 외부보다 낮은 압력의 감압상태로 하여, 세정에리어 부근의 기체를 흡인한다. 이로써, 둘레면(21a)으로부터 탈리된 오염물은, 세정가스(67)와 함께 흡인된다. 이와 같이, 케이싱 본체(64)는, 감압해야 할 공간을 외부공간과 구분한다.

배기부(71)는, 흡인한 기체를 청정화하여 배출함과 함께 청정화에 의하여 기체로부터 분리된 고체를 회수한다. 이로써, 세정가스(67)를 포함한 기체는 외부로 배출되어, 세정가스(67)에 포함되어 있던 고체인 오염물은 회수된다.

배기부(71)에 의하여 흡인하는 기체의 유량은, 드럼(21)의 회전속도나, 노즐(55)로부터의 세정가스(67)의 분출유량에 따라 변경해도 된다. 또, 노즐(55)로부터의 세정가스(67)의 분출유량은, 둘레면(21a)의 오염 정도 등에 따라 변경해도 된다.

래비린스 씰(76, 77)은, 둘레면(21a)에 대향하는 케이싱 본체(64)의 대향면(64d)에 장착되어 있으며, 케이싱 본체(64)와 둘레면(21a)과의 사이를 씰한다. 이로써, 세정가스(67)와 둘레면으로부터 탈리된 오염물의 케이싱 본체(64)의 외부로의 유출이 억제된다.

이상과 같이, 둘레면(21a)로부터 벗겨진 오염물을 세정가스(67)와 함께 흡인함으로써, 케이싱 본체(64)의 외부로의 오염물의 비산이 억제된다. 또, 만일, 세정가스(67)와 함께 오염물이 흡인되지 않았다고 해도, 래비린스 씰(76, 77)에 의하여, 오염물을 포함한 세정가스(67)는 케이싱 본체(64) 바깥으로 유출되는 것이 억제된다. 이로 인하여, 도프(33)의 유연중이더라도, 유연막(36)이나 유연다이(22)로부터 유출된 도프(유연비드)(33)에 영향을 주는 일 없이, 드럼(21)의 세정이 원활하게 행해진다.

래비린스 씰(76, 77)은, 케이싱 본체(64)의 대향면(64d)의 전체, 즉, 케이싱 본체(64)를 도 2의 하방으로부터 본 개방구(64a)를 둘러싸는 전체 둘레에 걸쳐 설치해도 된다. 그러나, 이동하고 있는 드럼(21)의 둘레면(21a)을 세정하는 경우에는, 대향면(64d) 중, 회전방향(X)에 있어서의 세정기(51)의 상류와 하류 중 적어도 어느 일방에 설치하는 것으로 충분하다. 바람직한 양태는, 도 2에 나타내는 바와 같이 세정기(51)의 상류와 하류의 양방의 대향면(64d)에 래비린스 씰(76, 77)을 설치하는 양태이다. 회전방향(X)에 있어서의 세정기(51)의 상류의 대향면(64d)에 설치하는 래비린스 씰에는 부호(76)를 붙이고, 세정기(51)의 하류의 대향면(64d)에 설치하는 래비린스 씰에는 부호(77)를 붙인다.

래비린스 씰(76, 77)은, 도 2에 나타내는 바와 같이, 케이싱 본체(64)의 내부 측에 돌출되도록 설치되어 있다. 또, 래비린스 씰(76)의 상류측 측면은 케이싱 본체(64)의 상류측 측면과 단차가 없고, 래비린스 씰(77)의 하류측 측면은 케이싱 본체(64)의 하류측 측면과 단차가 없도록 하고 있다.

또, 래비린스 씰(76, 77)에는, 후술하는 바와 같이 기체가 통과하는 구멍(101~104)(도 3, 도 4 참조)이 관통하여 형성되어 있으며, 케이싱(52)에는, 이 구멍(101~104)에 접속하는 관(82)이 설치되어 있다. 관(82)의 일단은, 제2 배기구(64c)에 접속하고, 타단은 래비린스 씰(76, 77)에 접속한다. 관(82)은, 케이싱 본체(64) 및 래비린스 씰(76, 77)의 외부공간측에 배치되어 있다. 이로써, 래비린스 씰(76, 77)은, 케이싱 본체(64)의 내부를 통하여, 배기부(71)와 접속한다. 배기부(71)는, 상술한 바와 같이 케이싱 본체(64)의 내부를 감압상태로 하고 있으며, 이로써, 래비린스 씰(76, 77)의 복수의 씰핀(이하, 간단히 핀이라고 칭한다)(85~88)(도 3 참조)의 각 사이로부터 그들 주변의 기체가 흡인된다.

컨트롤러(73)는, 배기부(71)에 의한 기체의 흡인력을 제어한다.

래비린스 씰(76)과 래비린스 씰(77)은, 동일한 구성 및 작용을 가지므로, 이하, 래비린스 씰(77)에 대해 설명하고, 래비린스 씰(76)에 대해서는 설명을 생략한다. 래비린스 씰(77)은, 도 3에 나타내는 바와 같이 복수의 핀(85~88)을 가진다. 도 3에 있어서는 핀에 관하여 노즐(55)에 가까운 쪽부터 순서대로, 부호(85, 86, 87, 88)를 붙인다. 각 핀(85~88)은, 둘레면(21a)의 폭방향(Y)에 대략 일치하는 방향으로 뻗어 있으며, 복수의 핀(85~88)은 드럼(21)의 회전방향(X)에 있어서 서로 이간되어 있다. 이로써 핀(85~88)의 각 사이에는 홈(91~93)이, 둘레면(21a)의 폭방향(Y)에 대략 일치하는 방향으로 뻗어 형성된다. 둘레면(21a)의 폭방향(Y)에 일치하는 방향이란, 엄밀하게 일치하는 방향이 아니어도 되고, 대략 일치해도 된다. 구체적으로는 둘레면(21a)의 폭방향(Y)과 이루는 각이 대략 3°이내인 것을 의미한다. 또한, 도 3에 있어서는 홈에 관하여 노즐(55)에 가까운 쪽부터 순서대로, 부호(91, 92, 93)를 붙인다.

핀(85)은, 둘레면(21a)을 향하여 끝이 가늘어지도록 형성된 단면 대략 V자형이며, 둘레면(21a)에 대해서 대략 수직인 수직면(85a)과, 도 3과 같이 측방으로부터 보았을 때에 경사진 경사면(85b)을 가진다. 핀(85)은, 수직면(85a)이 노즐(55)을 향하도록 배치된다. 핀(86~88)도 핀(85)과 동일하게 대략 V자형의 단면을 가지며, 수직면(86a~88a)과, 경사면(86b~88b)을 가진다. 또, 핀(86~88)의 수직면(86a~88a)은, 핀(85)의 수직면(85a)과 동일한 방향을 향하고 있으며, 수직면(85a~88a)은 서로 대략 평행, 경사면(85b~88b)은 서로 대략 평행이다. 핀(85~88)을 도 3의 하방으로부터 보았을 때에 핀(85~88)의 직선형상의 선단도 서로 대략 평행이다. 이상과 같이, 핀(85~88)은, 두께방향에서 평행으로 형성되어 있다. 평행은, 엄밀한 평행에는 한정되지 않으며, 대략 평행해도 된다. 구체적으로는, 이루는 각이 대략 0°이상 3°이하의 범위이다. 핀의 형상이나 방향은 상기의 양태에 한정되지 않지만, 상기와 같은 핀의 형상 및 방향에 의하여, 씰효과가 보다 확실해져, 분출구(55c)로부터의 세정가스(67)와, 둘레면(21a)에 충돌하여 둘레면(21a) 상에 날아오른 세정가스(67)와, 둘레면(21a)으로부터 탈리된 오염물의 외부로의 유출이 보다 효과적으로 억제된다.

핀(85~88)은 서로 동일한 높이를 가지며, 핀(85~88)의 선단은, 도 3과 같이 측방으로부터 보았을 때에 직선 상에 나열된다. 둘레면(21a)은 도 3과 같이 측방으로부터 보았을 때에는 원호를 이루기 때문에, 핀(85~88)의 각 선단부터 둘레면(21a)까지의 거리는, 서로 상이하다. 핀(85~88) 중 둘레면(21a)으로부터의 거리가 가장 짧아지는 핀의 둘레면(21a)부터의 선단까지의 거리는, 대략 1mm 이상 5mm 이하의 범위 내로 하는 것이 바람직하다.

도 3 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 래비린스 씰(77)에는, 단면이 대략 원형인 복수의 구멍(101~104)이 형성되어 있다. 구멍(101)은 기체가 래비린스 씰(77)의 내부를 통과하도록 관통하여 형성되어 있다. 구멍(101)은, 제1 통과로(109a)와, 이 제1 통과로(109a)로부터 분기한 3개의 제2 통과로(106a, 107a, 108a)로 이루어진다. 제2 통과로(106a)의 단부는 홈(91)에 개구하고, 제2 통과로(107a)의 단부는 홈(92)에 개구하고, 제2 통과로(108a)의 단부는 홈(93)에 개구한다. 제1 통과로(109a)의 단부는 래비린스 씰(77)의 노즐(55)측과는 반대의 벽면(77a)에 개구한다. 본 실시형태에서는, 3개의 홈(91~93) 전부에 구멍(101)의 개구를 형성하고 있으므로 구멍(101)의 제2 통과로의 수는 3개이지만, 제2 통과로의 수는 3개에 한정되지 않는다. 예를 들면, 이들 홈(91~93)의 일부에만 제2 통과로를 형성하는 경우나, 핀의 수를 예를 들면 본 실시형태보다 적게 하는 경우에는, 제2 통과로의 수는 1개 혹은 2개와 같이, 본 실시형태에 나타내는 경우보다 적어진다. 또, 핀의 수를 본 실시형태보다 많게 하는 경우에는, 제2 통과로의 수는 4 이상으로 해도 된다. 가장 바람직한 양태는, 구멍(101)의 제2 통과로는, 형성되어 있는 홈(91~93)의 전부에 개구하도록 형성하는 양태이다.

제2 통과로(106a~108a)의 홈(91~93)에 있어서의 개구는, 도 3과 같이 측방으로부터 보았을 때에 홈(91~93)의 각 중앙이 되도록 형성되어 있는 것이 바람직하다. 단, 이 양태에 한정되지 않고, 예를 들면 제2 통과로(106a~108a)의 각 개구를 각각 핀(85)측, 핀(86)측, 핀(87)측에 근접하게 형성하거나, 또는, 핀(86)측, 핀(87)측, 핀(88)측에 근접하게 형성해도 된다.

구멍(102~104)도, 구멍(101)과 동일한 구성을 가지고 있다. 즉, 구멍(102)은 제1 통과로(109b)와 3개의 제2 통과로(106b~108b)를 가지고, 구멍(103)은 제1 통과로(109c)와 3개의 제2 통과로(106c~108c)를 가지며, 구멍(104)은 제1 통과로(109d)와 3개의 제2 통과로(106d~108d)를 가진다. 이상과 같이, 홈(91)에 4개의 제2 통과로(106a~106d)가 개구하고, 홈(92)에 4개의 제2 통과로(107a~107d)가 개구하며, 홈(93)에 4개의 제2 통과로(108a~108d)가 개구하고 있다. 본 실시형태에서는, 래비린스 씰(77)이 4개의 구멍(101~104)을 가지는 경우를 나타내고 있지만, 구멍의 수는 4에 한정되지 않으며, 1 이상 3 이하, 혹은 5 이상이어도 된다. 따라서, 홈(91~93)의 각각에 개구하는 제2 통과로의 수는, 1 이상 3 이하, 혹은 5 이상이어도 된다.

래비린스 씰(77)은, 노즐(55)과는 반대측을 향하는 벽면(77a)에, 집합관(111)을 가진다. 집합관(111)은, 벽면(77a)에 형성된 제1 통과로(109a~109d)의 각 개구에 접속하여, 집합관(111)의 내부가 제1 통과로(109a~109d)에 연통한다. 집합관(111)은, 관(82)과 접속된다. 이로써, 각 구멍(101~104)은, 집합관(111) 및 관(82)을 통하여 배기부(71)(도 2 참조)와 접속된다.

이상의 구성에 의하여, 래비린스 씰(77)은, 이하의 작용을 가진다. 배기부(71)가, 기체를 흡인하면, 케이싱 본체(64)의 내부가 감압되고, 이로써, 집합관(111)의 내부와, 구멍(101~104)의 제1 통과로(109a~109d), 제2 통과로(106a~108a, 106b~108b, 106c~108c, 106d~108d)는 감압된다. 이 감압에 의하여, 홈(91~93)에 있는 기체를 포함하여 핀(85~88)의 주변에 있는 기체는 구멍(101~104)을 통하여 케이싱 본체(64)로 안내되어, 배기부(71)에 흡인된다.

한편, 노즐(55)의 분출구(55c)로부터 세정가스(67)가 분출되면, 세정가스(67)는, 둘레면(21a)에 닿아, 세정에리어 상에 날아 오른다. 세정가스(67)의 일부는 둘레면(21a)에 닿는 일 없이 둘레면(21a) 상에 부유하는 경우도 있다. 이와 같이 세정에리어 상에 있는 세정가스(67)의 대부분은, 케이싱 본체(64)의 내부를 통과하여 배기부(71)에 의하여 흡인되지만, 미량의 세정가스(67)는 케이싱 본체(64)로 안내되지 않고 래비린스 씰(77)의 씰효과에 의하여 이동속도가 약해져, 핀(85~88)의 주변, 특히, 홈(91~93)에 체류하게 된다. 체류한 세정가스(67)는, 핀(85~88)의 주변에 있는 기체에 포함되면서, 관(82), 케이싱 본체(64)의 내부를 차례로 통과하여, 배기부(71)에 의하여 흡인된다.

이와 같이, 케이싱 본체(64)의 내부로 안내되지 않고 핀(85~88)의 주변에 체류한 미량의 세정가스(67)는, 일단이 홈(91~93)에 개구하는 구멍(101~104), 관(82), 케이싱 본체(64)의 내부로 차례로 안내되어 배기부(71)로 흡인된다. 이로써, 세정가스(67)에 포함되는 고체의 드라이아이스 입자나, 이 드라이아이스 입자가 기화된 이산화탄소는, 래비린스 씰(77) 상에 부착되어 굳어지는 일이 없고, 케이싱 본체(64)의 외부로 비산하는 일이 없다. 따라서, 굳어진 드라이아이스나 이 드라이아이스 중에 포함되는 오염물로 필름(41)이나 드럼(21)을 포함한 유연장치(11)가 오염되는 일이 없다.

또, 배기부(71)는, 컨트롤러(73)에 의하여 기체의 흡인력이 제어된다. 이로 인하여, 케이싱 본체(64)에는, 많은 세정가스(67) 및 오염물이 효과적으로 흡입됨과 함께, 케이싱 본체(64)로의 흡인력에 따라 구멍(101~104)의 흡인력도 제어된다. 또한, 둘레면(21a)의 이동속도에 따라, 배기부(71)의 흡인력을 설정해도 된다.

또, 온도컨트롤러(27, 28)에 의한 유연장치(11)의 내부나 드럼(21)의 가열, 나아가서는 유연다이(22)의 가열 등에 의하여 래비린스 씰(77)이 고온이 되어도, 래비린스 씰(77)에는, 구멍(101~104)이 형성되어 있으므로, 래비린스 씰(77)의 외측치수의 변화가 억제된다. 이로써, 래비린스 씰(77)이 고온이 되어도, 핀(85~88)은 둘레면(21a)에 접촉하지 않는다.

또한, 본 실시형태의 래비린스 씰(77)에는, 단면이 원형(대략 원형을 포함한다)의 구멍(101~104)이 형성되어 있지만, 구멍의 양태는 이것에 한정되지 않는다. 예를 들면, 구멍(101~104) 대신에, 단면 직사각형의 구멍으로 해도 된다.

제2 통과로(106a~108a, 106b~108b, 106c~108c, 106d~108d)의 각 직경(D1)은, 대략 3mm 이상 10mm 이하의 범위 내인 것이 바람직하고, 대략 5mm 이상 7mm 이하의 범위 내인 것이 보다 바람직하다.

제1 통과로(109a~109d)의 각 직경(D1)은, 대략 5mm 이상 15mm 이하의 범위 내인 것이 바람직하고, 대략 8mm 이상 12mm 이하의 범위 내인 것이 보다 바람직하다.

제1 통과로(109a)의 직경(D1)은, 제2 통과로(106a~108a)의 직경(D2)보다 크게 하는 것이 바람직하다. 이로써, 제2 통과로(106a~108a)가 보다 확실히 감압되어, 제2 통과로(106a~108a)로의 세정가스(67)의 흡인이 보다 확실하게 이루어진다. 제1 통과로(109b, 109c, 109d)에 대해서도 마찬가지로, 제2 통과로(106b~108b, 106c~108c, 106d~108d)보다 각각 내경을 크게 하는 것이 바람직하다. 구멍(101~104) 대신에 단면이 원형(대략 원형을 포함한다)이 아닌 형상의 구멍, 예를 들면 직사각형의 구멍으로 하는 경우에는, 제1 통과로의 단면의 면적이 제2 통과로의 단면의 면적보다 크게 하는 것이 바람직하다.

집합관(111)의 내경(D3)은, 제1 통과로(109a~109d)의 직경(D1)보다 크게 하는 것이 바람직하다. 이로써, 제1 통과로(109a~109d)가 보다 확실하게 감압되어, 배기부(71)로 세정가스(67)가 보다 확실하게 흡인된다.

홈(93)에 있어서의 제2 통과로(108a~108d)의 피치(L1)는, 대략 10mm 이상 50mm 이하의 범위 내인 것이 바람직하고, 대략 20mm 이상 40mm 이하의 범위 내인 것이 보다 바람직하다. 홈(91)에 있어서의 제2 통과로(106a~106d)의 피치, 홈(92)에 있어서의 제2 통과로(107a~107d)의 피치도 동일하다.

도 3, 도 4에는, 집합관(111)에 2개의 관(82)이 접속되어 있는 경우를 나타내고 있지만, 관(82)의 수는 특별히 한정되지 않는다. 관(82)의 수나, 복수의 관(82)을 설치했을 경우의 관(82)의 피치는, 둘레면(21a)의 폭방향(Y)에 있어서의 핀(85~88)의 길이(L2)나, 집합관(111)의 길이, 관(82)의 내경 등에 따라 설정하면 된다. 예를 들면, 둘레면(21a)의 폭방향(Y)에 있어서의 핀(85~88)의 길이(L2), 및 집합관(111)의 길이가 대략 300mm인 경우에는, 내경이 대략 20mm의 관(82)을 둘레면(21a)의 폭방향(Y)으로 나열하여 2개 배치하여, 관(82)의 피치를 대략 150mm의 범위 내로 하면 된다. 또한, 관(82)의 피치란, 둘레면(21a)의 폭방향(Y)에 있어서 나열하여 배치된 관(82)과 관(82)의 거리이다.

또, 제2 통과로(106a~106d) 대신에, 혹은 더해, 홈(91)의 길이방향으로 뻗은 슬릿형상의 개구를 홈(91)에 가지는 단면 슬릿형상의 제2 통과로(도시하지 않음)로 해도 된다. 제2 통과로(107a~107d), 제2 통과로(108a~108d)에 대해서도 동일하다.

래비린스 씰(77)을, 도 5에 나타내는 래비린스 씰(120)로 대체시켜도 된다. 래비린스 씰(120)은, 씰핀부재(이하, 핀부재라고 칭한다)(121~125)와, 시프트기구(127)와, 컨트롤러(128)를 구비한다. 핀부재(121~125)는, 핀(85~88)과 동일한 단면 대략 V자형을 가지는 핀(131~135)을 가진다. 이들 핀(131~135)의 수직면(131a~135a)이 동일한 방향을 향하도록 핀(131~135)이 조합됨으로써, 래비린스 씰(120)에는 핀(131~135)의 각 사이에 홈이 형성된다.

핀부재(121~125)는, 서로 슬라이딩 접촉하면서 수직면(131a~135a)을 따른 방향으로 변위가능하게 되어 있다. 시프트기구(127)는, 핀부재(121~125)의 각각을 독립적으로 변위시킨다. 컨트롤러(128)는, 핀부재(121~125)의 각 변위량을 조정하기 위하여 시프트기구(127)를 제어한다.

각 핀부재(121~125)는, 둘레면(21a)으로부터 선단(131c~135c)까지의 거리(L3)가 서로 동일해지도록 조정되어 배치된다. 이로써, 선단(131c~135c)으로부터 둘레면(21a)까지의 거리(L3)가 서로 동일해져, 래비린스 씰(120)에 의한 씰효과가 보다 높아지므로, 케이싱 본체(64)의 내부에 흡인되지 않는 미량의 세정가스(67)를 보다 확실하게 핀(131~135)의 각 사이에 체류시킨다. 체류한 세정가스(67)는, 배기부(71)에 의하여, 구멍(140)을 통하여 집합관(111)으로 안내되고, 관(82), 케이싱 본체(64)의 내부를 차례로 통과하여 흡인, 회수된다.

래비린스 씰(120)은, 래비린스 씰(77)과 마찬가지로, 내부를 관통하는 구멍(140)이 형성되어 있으므로, 고온이 되어도, 외측치수의 변화가 억제된다. 이로써, 래비린스 씰(120)이 고온이 되어도, 핀(131~135)은 둘레면(21a)에 접촉하지 않는다. 또한, 래비린스 씰(76) 대신에, 래비린스 씰(120)과 동일한 래비린스 씰(도시하지 않음)을 이용해도 된다.

래비린스 씰(77, 120)은, 핀(85~88)의 각 사이, 핀(131~135)의 각 사이로부터 기체를 흡인하므로, 둘레면(21a)으로부터의 거리가 핀의 선단과 동일한 슬릿 등으로부터 흡인되는 경우보다 매우 강한 흡인력을 나타낸다. 이로 인하여, 기존의 래비린스 씰 대신에 설치할 수 있음과 함께, 고화된 드라이아이스의 부착이 보다 확실하게 방지된다. 만일, 래비린스 씰(77, 120)에 고화된 드라이아이스가 부착되어도 배기부(71)에 의하여 확실하게 흡인, 회수된다.

둘레면(21a)의 이동속도가 빠른 경우일수록, 세정가스(67)의 분출량을 많게 하거나, 분출속도를 빨리하는 것이 바람직하다. 그러나, 이들에 따라, 종래의 래비린스 씰에 있어서는 드라이아이스의 부착량이 많아진다. 따라서, 래비린스 씰(77, 120) 및 이를 구비하는 세정유닛(31), 래비린스 씰(77, 120)을 이용한 세정방법은, 둘레면(21a)의 이동속도가 빠른 경우일수록, 이상의 효과가 현저하게 얻어진다.

래비린스 씰(77, 120)은, 드라이아이스에 의하여 피세정물을 세정하는 세정기(51)와 함께 이용하고 있지만, 다른 세정기와 함께 이용해도 된다. 예를 들면, 피세정물에 액체를 분출시켜 분사하여 오염물을 제거하는 세정기와 함께 이용하는 경우에는, 오염물과 함께 액체의 흡인이 보다 확실해지므로, 케이싱 본체(64)의 외부로의 액체 및 오염물의 비산이 보다 확실하게 억제된다. 또, 세정기와 함께 이용하지 않아도, 온도변화가 심한 환경 하에서 씰효과가 요구되는 경우에, 래비린스 씰(77, 120)은 승온에 따른 외측치수 변화가 억제되므로, 대향물에 부딪치는 일 없이 씰효과를 유지한다.

또, 세정유닛(31)은, 드라이아이스 입자의 분사에 의하여 세정하는 경우에 널리 이용할 수 있으며, 용액제막의 유연지지체와는 상이한 것을 세정하는 경우에도 이용해도 된다.

이하, 본 발명에 있어서 도프(33)의 원료가 되는 폴리머 및 용매는, 용액제막에 의하여 필름(41)을 제조하는 공지의 것이면 된다. 세정가스(67)에 의한 세정이 특히 바람직한 폴리머의 예로서는 셀룰로오스아실레이트를 들 수 있다.

이하, 실시예를 나타내어, 본 발명을 구체적으로 설명한다. 단, 본 발명은 이들 실시예에 한정되는 것은 아니다.

［실시예 1］

용액 제막설비(10)에 의하여, 필름(41)을 제조했다. 래비린스 씰(77)의 제2 통과로(106a~106d, 107a~107d, 108a~108d)의 각 직경(D2)은, 서로 동일하며, 표 1의 “D2”란(단위;mm)에 나타낸다. 또, 홈(93)에 있어서의 제2 통과로(108a~108d)의 피치(L1)와, 홈(92)에 있어서의 제2 통과로(107a~107d)의 피치(L1)와, 홈(91)에 있어서의 제2 통과로(106a~106d)의 피치(L1)는, 서로 동일하며, 표 1의 “L1”란(단위；mm)에 나타낸다. 또한, 표 1에 있어서의 “제2 통과로의 수”란에는, 하나의 제1 통과로로부터 분기하여 형성된 제2 통과로의 수를 기재한다. 예를 들면, 제1 통과로(109a)로부터는, 3개의 제2 통과로(106a, 107a, 108a)가 분기하여 형성되어 있으므로 “3”이다. 제1 통과로(109a)와 제1 통과로(109b)와 제1 통과로(109c)와 제1 통과로(109d)는, 동일한 구성으로 하고 있으므로 “3”이 된다. 표 1에 있어서의 “관(82)의 수”란에는, 하나의 집합관(111)에 접속하는 관(82)의 수를 기재한다. 래비린스 씰(76)에 설치하는 집합관에도 래비린스 씰(77)과 동일한 수의 관(82)을 접속시켰다.

래비린스 씰(76, 77)과 둘레면(21a)과의 사이로부터 오염물이나 고화된 드라이아이스 등이 외부로 나오는지 여부를 육안으로 평가했다. 나온 것이 확인된 경우에는 불합격이며, 나온 것이 확인되지 않은 경우는 합격으로 했다. 이 평가결과는, 표 1의 “결과”란에 기재한다.

	핀간의 홈으로부터의 흡인 유무	D2 (mm)	L1 (mm)	제2 통과로의 수	관(82)의 수	결과
실시예1	있음	6	30	3	2	합격
실시예2	있음	6	60	3	1	합격
실시예3	있음	6	15	3	1	합격
비교예1	없음	-	-	-	-	불합격
비교예2	없음	-	-	-	-	불합격

［실시예 2］

제2 통과로(108a~108d)의 피치(L1), 제2 통과로(107a~107d)의 피치(L1), 제2 통과로(106a~106d)의 피치(L1)를, 표 1의 “L1”에 나타내는 것으로 한 래비린스 씰(76, 77)을 이용했다. 또, 각 집합관(111)에 접속하는 관(82)을 하나로 했다. 이들 이외의 조건은, 실시예 1과 동일하다.

실시예 1과 동일한 방법으로, 래비린스 씰(76, 77)과 둘레면(21a)과의 사이로부터 오염물이나 고화된 드라이아이스 등이 외부로 나왔는지 여부를 평가했다. 평가결과는 표 1에 나타낸다.

［실시예 3］

［비교예 1］

일본 특허공개공보 2009-078444호에 기재된 세정유닛을 이용하여, 둘레면(21a)을 세정했다. 즉, 래비린스 씰(76, 77) 대신에, 구멍(101~104)이 형성되어 있지 않은 래비린스 씰을 이용했다. 래비린스 씰에는, 집합관(111), 관(82)을 설치하지 않았다. 흡인은, 케이싱 본체의 둘레면(21a)에 대향하여 형성한 개방구로부터뿐이었다. 따라서, 표 1의 D2, L1, 제2 통과로의 수, 관(82)의 수의 각 란에는 “-”라고 기재한다.

실시예 1과 동일한 방법으로, 래비린스 씰과 둘레면(21a)과의 사이로부터 오염물이나 고화된 드라이아이스 등이 외부로 나왔는지 여부를 평가했다. 평가 결과는 표 1에 나타낸다.

［비교예 2］

래비린스 씰(76, 77) 대신에, 일본 특허공개공보 2011-067768호의 도 4에 기재된 공기류 제거부를 이용하여, 이 공기류 제거부를 드럼(21)의 회전방향에 있어서의 노즐(55)의 상류측에 배치했다. 공기류 제거부의 래비린스 구조의 홈의 수는 3개이며, 흡인은, 래비린스 구조에 관하여 노즐(55)과는 반대측에서 실시했다. 드럼(21)의 회전방향에 있어서의 래비린스 구조의 상류측에 있는 3개의 슬릿에는, 각각 흡인기구를 설치했다. 흡인하는 슬릿의 개구는, 드럼(21)의 둘레면(21a)의 폭방향(Y)으로 뻗은 가늘고 긴 직사각형의 슬릿형상이다.

실시예 1과 동일한 방법으로, 래비린스 씰과 둘레면(21a)과의 사이로부터 오염물이나 고화된 드라이아이스 등이 외부로 나왔는지 여부를 평가했다. 평가결과는 표 1에 나타낸다.

Claims

서로 이간하여 평행으로 설치되는 복수의 씰핀；및,
기체가 통과하도록 관통하여 형성된 구멍
을 구비하고,
상기 구멍의 일단은 상기 복수의 씰핀 사이의 홈에 개구하고, 상기 구멍의 타단에는 기체를 흡인하는 흡인부가 접속되는 것을 특징으로 하는 래비린스 씰.
제 1 항에 있어서,
상기 구멍은 상기 홈의 길이방향에 복수 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 래비린스 씰.
드라이아이스 입자를 분출하여 피세정물의 표면에 닿게 함으로써 상기 피세정물의 표면을 세정하는 세정기；
상기 드라이아이스 입자가 닿게 되는 상기 피세정물의 표면을 덮는 케이싱；
상기 케이싱의 상기 피세정물에 대향하는 대향부에 설치되는 래비린스 씰；및
상기 케이싱의 내부의 기체를 흡인함으로써 상기 피세정물의 표면으로부터 탈리된 오염물을 회수하는 흡인부
를 구비하고,
상기 래비린스 씰은 구멍과 복수의 씰핀을 가지고, 상기 복수의 씰핀은 서로 이간하여 평행으로 설치되며, 상기 구멍은 기체가 통과하도록 상기 래비린스 씰을 관통하여 형성되고, 상기 구멍의 일단은 상기 복수의 씰핀 사이의 홈에 개구하며, 상기 구멍의 타단은 상기 케이싱의 내부에 접속하고,
상기 흡인부는 상기 구멍을 통하여 상기 씰핀 주변의 기체를 흡인하는 것을 특징으로 하는 세정유닛.
제 3 항에 있어서,
상기 구멍의 타단은 상기 케이싱에 설치한 관을 통하여 상기 케이싱의 내부에 접속되는 것을 특징으로 하는 세정유닛.
제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
상기 구멍은 상기 홈의 길이방향에 복수 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 세정유닛.
제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
상기 피세정물은 무단의 유연지지체이며, 상기 유연지지체에는 용액제막의 도프의 유연과 유연에 의하여 형성된 유연막의 박리가 반복하여 이루어지고, 상기 세정유닛은 상기 유연막이 벗겨지는 박리위치로부터 상기 도프가 유연되는 유연위치를 향하는 상기 유연지지체의 표면에 대향하여 설치되며, 상기 홈의 길이방향은 상기 유연지지체의 폭방향과 일치하는 것을 특징으로 하는 세정유닛.
제 6 항에 있어서,
상기 래비린스 씰은, 상기 유연지지체의 표면의 이동방향에 있어서의 상기 세정기의 상류와 하류 중 적어도 어느 일방에 배치되는 것을 특징으로 하는 세정유닛.
제 5 항에 있어서,
상기 피세정물은 무단의 유연지지체이며, 상기 유연지지체에는 용액제막의 도프의 유연과 유연에 의하여 형성된 유연막의 박리가 반복하여 이루어지고, 상기 세정유닛은 상기 유연막이 벗겨지는 박리위치로부터 상기 도프가 유연되는 유연위치를 향하는 상기 유연지지체의 표면에 대향하여 설치되며, 상기 홈의 길이방향은 상기 유연지지체의 폭방향과 일치하는 것을 특징으로 하는 세정유닛.
제 8 항에 있어서,
상기 래비린스 씰은, 상기 유연지지체의 표면의 이동방향에 있어서의 상기 세정기의 상류와 하류 중 적어도 어느 일방에 배치되는 것을 특징으로 하는 세정유닛.
(A) 드라이아이스 입자를 피세정물의 표면에 닿게 함으로써 상기 피세정물의 표면을 세정하는 스텝；및,
(B) 상기 A스텝 중에 케이싱의 내부의 기체를 흡인함으로써 상기 피세정물의 표면으로부터 탈리된 오염물을 회수하는 스텝
을 구비하고,
상기 케이싱은 상기 드라이아이스 입자가 닿게 되는 상기 피세정물의 표면을 덮도록 설치되고, 상기 케이싱의 상기 피세정물에 대향하는 대향부에는 래비린스 씰이 설치되어 있으며, 상기 래비린스 씰은 구멍과 복수의 씰핀을 가지고, 상기 복수의 씰핀은 서로 이간하여 평행으로 설치되어 있으며, 상기 구멍은 기체가 통과하도록 상기 래비린스 씰을 관통하여 형성되어 있고, 상기 구멍의 일단은 상기 복수의 씰핀 사이의 홈에 개구하며, 상기 구멍의 타단은 상기 케이싱의 내부에 접속하고, 상기 흡인에 의하여 상기 구멍을 통하여 상기 복수의 씰핀 주변의 기체가 흡인되는 것을 특징으로 하는 세정방법.
(C) 길이방향으로 이동하는 무단의 유연지지체 위에, 폴리머와 용매가 포함되는 도프를 유연하는 스텝；
(D) 상기 C스텝에 의하여 형성된 유연막을 상기 유연지지체로부터 박리하는 스텝；
(E) 상기 D스텝에 의하여 박리된 유연막을 건조하여 필름으로 하는 스텝；
(F) 박리위치로부터 유연위치를 향하는 상기 유연지지체의 상기 도프가 유연되는 표면에 드라이아이스 입자를 닿게 함으로써 상기 표면을 세정하는 스텝；및
(G) 상기 F스텝 중에 케이싱의 내부의 기체를 흡인함으로써 상기 유연지지체의 표면으로부터 탈리된 오염물을 회수하는 스텝
을 구비하고,
상기 박리위치는 상기 유연막이 박리되는 위치이고, 상기 유연위치는 상기 도프가 유연되는 위치이며,
상기 케이싱은 상기 드라이아이스 입자가 닿게 되는 상기 유연지지체의 표면을 덮도록 설치되고, 상기 케이싱의 상기 유연지지체에 대향하는 대향부에는 래비린스 씰이 설치되어 있으며, 상기 래비린스 씰은 구멍과 복수의 씰핀을 가지고, 상기 복수의 씰핀은 서로 이간하여 평행으로 설치되어 있으며, 상기 구멍은 기체가 통과하도록 상기 래비린스 씰을 관통하여 형성되어 있고, 상기 구멍의 일단은 상기 복수의 씰핀 사이의 홈에 개구하며, 상기 구멍의 타단은 상기 케이싱의 내부에 접속하고, 상기 흡인에 의하여 상기 구멍을 통하여 상기 복수의 씰핀 주변의 기체가 흡인되는 것을 특징으로 하는 용액제막방법.