KR20130089180A - 로봇 - Google Patents

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KR20130089180A
KR20130089180A KR1020130001866A KR20130001866A KR20130089180A KR 20130089180 A KR20130089180 A KR 20130089180A KR 1020130001866 A KR1020130001866 A KR 1020130001866A KR 20130001866 A KR20130001866 A KR 20130001866A KR 20130089180 A KR20130089180 A KR 20130089180A
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hand
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KR1020130001866A
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Inventor
마사토시 후루이치
신이치 가츠다
Original Assignee
가부시키가이샤 야스카와덴키
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Publication date
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Abstract

소정의 설치면에 설치되는 동체부와, 기단부가 동체부에 아암 지축을 개재해서 수평 회전 가능하게 설치되는 한편, 선단부에는 핸드부가 핸드 지축을 개재해서 회전 가능하게 설치된 아암부를 구비하고 있다. 아암부는, 소정의 부재를 내장한 하우징를 가지고, 하우징의 적어도 일부에는, 내부를 시인 가능하게 한 창문부가 형성되어 있다. 그러한 구성에 의해, 아암의 내부 상태를 아암 외측으로부터 용이하게 확인하는 것이 가능해진다.

Description

로봇 {Robot}
본원 개시의 실시 형태는 로봇에 관한 것이다．
종래, 반도체 웨이퍼 등의 기판을 반송하는 로봇으로서, 이른바 수평 다관절 로봇이 알려져 있다. 수평 다관절 로봇은, 선회 가능한 아암의 선단부에 엔드 이펙터(end effecter)가 되는 핸드를 아암에 대하여 수평 회전 가능하게 설치하고, 이 핸드로 기판을 유지 가능하게 하고 있다(예를 들면, 특허 문헌 1을 참조).
그러한 로봇에서는, 통상, 핸드를 구동하는 핸드 구동 장치가 아암의 하우징 내에 배치되어 있다. 또한, 기판의 유무를 검출하는 센서 등이 핸드에 설치되기도 하고, 아암의 하우징 내에는 전기 케이블 등이 배선되는 경우가 있다.
(특허 문헌 1) 일본 특허 공개 공보 제 2011-224743 호
상술한 종래의 구성에서는, 예를 들면, 핸드 구동 장치나 케이블류 등의 점검을 실행하려고 할 경우, 아암 하우징에 설치되어 있는 커버를 분리하지 않으면 내부의 상태를 확인할 수가 없다.
실시 형태의 일 형태는, 아암 내부의 상태의 확인이 용이한 로봇을 제공하는 것을 목적으로 한다.
실시 형태의 일 형태에 관한 로봇은, 기단부가 아암 지축을 개재해서 수평 회전 가능하게 설치되고, 내부에 소정의 부재가 배치된 아암을 구비하고, 상기 아암을 구성하는 하우징의 적어도 일부를 투명한 재료로 형성하였다.
실시 형태의 일 형태에 의하면, 아암의 내부 상태를 아암 외측으로부터 용이하게 확인하는 것이 가능해진다.
도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 로봇의 모식적 설명도이다.
도 2는 본 발명의 실시 형태에 따른 로봇의 제 2 아암의 측단면시에 의한 모식적 설명도이다.
도 3은 본 발명의 실시 형태에 따른 로봇의 제 2 아암에 설치한 창문부를 도시하는 설명도이다.
도 4는 창문부의 변형예를 도시하는 설명도이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여, 본원이 개시하는 로봇의 실시 형태를 상세하게 설명한다. 또, 이하에서는, 로봇을 수평 다관절 타입의 로봇으로서 설명하지만, 이하에 나타내는 실시 형태에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다.
우선, 본 실시 형태에 따른 수평 다관절 타입의 로봇(이하, 간단히 「로봇(1)」이라고 한다)의 개략 구성에 대해서, 도 1을 이용하여 설명한다. 도 1은 본 실시 형태에 따른 로봇(1)의 모식적 설명도이다.
또, 이하에 있어서, 로봇(1)의 각 구성 요소의 상대적인 위치 관계를 설명할 경우, 상하, 좌우, 및 전후로 방향을 도시할 경우가 있다. 그 경우, 도 1에 도시한 3차원 직교 좌표계를 기준으로 해서 Z 방향을 상 방향, X 방향을 수평 우 방향, Y 방향을 전방이라고 한다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 본 실시 형태에 따른 로봇(1)은 바닥면 등의 소정의 설치면에 설치된 동체부(2)와 동체부(2)에 대하여 수평 방향으로 회전 자유롭게 설치되고, 선단부에, 역시 수평 방향으로 회전 자유롭게 설치된 핸드부(4)를 구비하는 아암부(3)를 구비한다.
동체부(2)는, 로봇(1)의 기대(基台)가 되고, 아암부(3)를 승강시키기 위한 승강부(5)를 구동하는 승강 기구(도시하지 않음) 등을 내장하고 있다. 승강 기구로서는, 예를 들면, 모터와 볼 나사를 이용한 주지 구조의 기구를 이용할 수 있다.
아암부(3)는 기둥 모양으로 형성된 전술의 승강부(5)를 개재해서 동체부(2)의 상면으로부터 연직 방향(Z축 방향)으로 슬라이드 가능하게 설치되어 있다(도면 중의 양쪽 화살표(100a) 참조).
또한, 아암부(3)는 제 1 아암(6)과 제 2 아암(7)으로 구성되고, 제 1 아암(6)은, 기단부가 승강부(5)의 상단에 제 1 관절부(61)를 개재해서 축심(101a) 주위에 수평 회전 가능하게 설치되어 있다.
또한, 제 2 아암(7)은, 제 1 아암(6)의 선단부에 기단부가 제 2 관절부(62)를 개재해서 축심(102a) 주위에 수평 회전 가능하게 설치되어 있다. 그리고, 이 제 2 아암(7)의 선단부에, 제3 관절부(63)의 핸드 지축(103)(도 2를 참조)을 개재해서 핸드부(4)가 축심(103a) 주위에 회전 가능하게 설치되어 있다.
핸드부(4)는, 웨이퍼를 유지하는 엔드 이펙터이며, 포크 형상으로 형성된 제 1 핸드(4a)와 제 2 핸드(4b)로 구성되어 있다.
제 1 핸드(4a) 및 제 2 핸드(4b)는, 핸드 지축(103)을 따라 소정 간격을 두고 설치되어 있다. 즉, 제 1 핸드(4a) 및 제 2 핸드(4b)는, 핸드 지축(103)을 같은 축으로 해서 상하로 겹쳐진 상태로, 또한 각각 소정의 회동 범위에서 독립해서 회전 가능하게 설치되어 있다.
그런데, 도시하는 바와 같이, 제 1 핸드(4a) 및 제 2 핸드(4b)는, 양쪽 모두 동일한 구성을 하고 있지만, 양쪽이 다른 구성을 해도 좋다. 또한, 본 실시 형태에서는, 핸드부(4)가 2개의 핸드로 이루어지는 구성으로 했지만, 개수를 한정하는 것은 아니다.
상술한 로봇(1)은, 예를 들면, 도시하지 않은 기판 반송 시스템 등에 설치되어, 웨이퍼 등의 기판을 반송하는 데 적절히 이용될 수 있다. 기판 반송 시스템은, 예를 들면, 세정, 에칭, 애싱, CVD, 노광 등의 처리를 기판에 실시하는 처리 장치에 병설된다. 또, 당연하지만, 로봇(1)은, 여러 개소에 설치되어 기판 등과 같은 판 형상체를 소망하는 위치 사이에서 반송할 수 있다.
다음으로, 본 실시 형태에 따른 로봇(1)에 있어서의 제 2 아암(7)의 구성에 대해서, 도 2~도 4를 참조하면서 더 상술한다.
도 2는, 로봇(1)의 제 2 아암(7)의 측단면시에 의한 모식적 설명도이다. 또한, 도 3은, 로봇(1)의 제 2 아암(7)에 설치한 창문부(12)를 도시하는 설명도, 도 4는, 동 창문부(12)의 변형예를 도시하는 설명도이다.
도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 소정 길이를 가지는 로봇(1)의 제 2 아암(7)은, 양단이 거의 반원 형상의 주위면(周面)으로 이루어지고, 선단측의 대략 절반이 소정의 두께를 가지는 한편, 기단측의 대략 절반이 선단측보다 얇게 형성된 상자형상의 아암 하우징(70)을 외각(外殼)으로서 구비하고 있다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 제 2 아암(7)은 제 2 관절부(62)를 개재해서 제 1 아암(6)의 선단부에 회전 가능하게 연결되어 있고, 아암 하우징(70)의 내부에는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 핸드 지축(103)을 감속 구동하는 구동 장치인 핸드 구동 장치(8)가 배치되어 있다.
본 실시 형태에 따른 핸드 지축(103)은, 도 2에 도시하는 바와 같이, 제 1 핸드(4a)를 연결하는 제 1 핸드 지축(1031)과, 제 2 핸드(4b)를 연결하는 제 2 핸드 지축(1032)을 조합한 구성을 가진다. 즉, 내경이 제 1 핸드 지축(1031)의 외경 보다 큰 통 모양으로 형성한 제 2 핸드 지축(1032)에, 이 또한 통 형상으로 형성된 제 1 핸드 지축(1031)이 삽입되어 구성되고, 제 1 핸드 지축(1031)과 제 2 핸드 지축(1032)은, 서로의 축심(103a)이 동일하게 된다.
핸드 구동 장치(8)는 제 1 핸드(4a)에 대응하는 기구와 제 2 핸드(4b)에 대응하는 기구로 구성된다. 또, 양쪽 기구는 거의 마찬가지 구성을 가지고 있고, 이하에서는, 도 2를 참조하면서 제 2 핸드(4b)에 대응하는 기구에 대해서 설명하여 핸드 구동 장치(8)에 관한 설명으로 하고, 제 1 핸드(4a)에 대응하는 기구에 관한 설명은 생략한다.
제 2 핸드(4b)에 대응하는 핸드 구동 장치(8)는 모터(9)와 이 모터(9)의 모터 축인 구동축(91)에 설치된 구동측 풀리(81)와 소정의 감속비를 가지고 제 2 핸드 지축(1032)에 직접 설치된 종동측 풀리(82)를 구비하고 있다. 또한, 핸드 구동 장치(8)는 구동측 풀리(81)와 종동측 풀리(82)와의 사이에 소정의 감속비를 가지는 중간 풀리(83)와, 이 중간 풀리(83)를 개재해서 구동측 풀리(81)와 종동측 풀리(82)를 연동 연결하는 복수의 벨트를 구비하고 있다.
도시하는 바와 같이, 중간 풀리(83)는 구동측 중간 풀리(831)와 이 구동측 중간 풀리(831)의 바로 아래에 배치된 구동측 서브 풀리(832)를 구비하고 있고, 구동측 중간 풀리(831)와 구동측 풀리(81)가 전단 전동 벨트(84F)를 개재해서 연동 연결된다. 한편, 구동측 서브 풀리(832)와 종동측 풀리(82)가 후단 전동 벨트(84R)를 개재해서 연동 연결된다.
그런데, 모터(9)는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 모터 기단부(90)가 제 1 아암(6) 내에 배치되고, 구동축(91)의 상부를 제 2 아암(7)의 아암 하우징(70) 내에 임하게 하고 있다. 따라서, 제 2 아암(7)의 박형화에 기여할 수 있다. 그러나, 아암 하우징(70)의 박형화를 도모하는 것이 아니면, 반드시 모터(9)의 모터 기단부(90)를 제 1 아암(6) 내에 배치하지 않아도 된다. 즉, 모터(9)를 제 2 아암(7) 내에 배치해도 상관없다.
이렇게, 본 실시 형태에 따른 로봇(1)은, 제 1 핸드(4a)나 제 2 핸드(4b)를 소정의 토크로 구동시키는 핸드 구동 장치(8)를, 제 2 아암(7)의 아암 하우징(70)의 내부에 배치하고 있다.
또한, 제 1 핸드(4a) 및 제 2 핸드(4b)에는, 예를 들면, 탑재하는 기판의 유무를 검출하는 센서 등이 설치되어 있고, 그러한 센서에 제 1, 제 2 케이블(11a, 11b)이 접속된다.
즉, 도 2에 도시하는 바와 같이, 제 1 핸드(4a)로부터 신연(伸延)하는 제 1 케이블(11a)은, 통 형상의 제 1 핸드 지축(1031)의 내부를 통해 제 1 아암(6) 측에 연재하고 있다. 또한, 제 2 핸드(4b)로부터 신연하는 제 2 케이블(11b)은 제 2 아암(7)에 내장된 핸드 구동 장치(8)와 아암 하우징(70)의 상면과의 사이에 케이블 처리 공간(10)을 설치하고, 이 케이블 처리 공간(10) 내를 통해 제 1 아암(6) 측에 연재하고 있다. 이렇게, 본 실시 형태에 따른 로봇(1)의 아암 하우징(70) 내에는, 핸드부(4)와 동체부(2)를 접속하는 제 1, 제 2 케이블(11a, 11b)이 배치되어 있다.
그리고, 도 3에 도시하는 바와 같이, 아암 하우징(70)에는 제 2 핸드(4b)의 회전 동작을 규제하면서, 제 2 핸드(4b)로부터 신연하는 케이블 처리 공간(10) 내에 도입되어 있는, 제 2 케이블(11b)의 꼬임 등을 방지 가능하게 한 케이블 권취 기구(13)가 설치되어 있다.
케이블 권취 기구(13)는, 제 2 핸드 지축(1032)의 회동에 연동해서 제 2 케이블(11b)을 감는 구조를 구비하고 있다. 즉, 도 3에 도시하는 바와 같이, 제 2 핸드 지축(1032)과 같은 축으로 회전 자유롭게 설치된 링 형상 권취부(130)에 제 2 케이블(11b)과 접속한 연결체(131)를 돌출 설치하고 있다.
도 3에 있어서, 제 2 핸드(4b)가, 예를 들면, 반시계 방향으로 회전하면, 제 2 케이블(11b)은 케이블용 통로(132)를 통해 링 형상 권취부(130)에 권취된다.
한편, 제 2 핸드(4b)가 시계 방향으로 회전하면, 링 형상 권취부(130)에 권취된 제 2 케이블(11b)은 케이블용 통로(132)를 통해 케이블 처리 공간(10) 내에 개방된다. 그 때, 케이블 처리 공간(10) 내에서는, 제 2 케이블(11b)의 만곡부(110)는, 케이블 처리 공간(10) 내의 내측(도면 중의 화살표(110a)를 참조)을 향해서 넓어진다.
이렇게, 케이블 권취 기구(13)를 가지는 케이블 처리 공간(10) 내에 제 2 케이블(11b)을 도입하여, 불필요하게 느슨해지는 일 등이 발생하지 않도록 하고 있다. 그 때문에, 제 2 핸드(4b)의 회전 동작 시에 있어서, 제 2 케이블(11b)이 비틀어지거나 하는 것을 가급적 방지해서 원활한 동작을 가능하게 하는 동시에, 제 2 핸드(4b)의 회동량을 규제 가능하게 하고 있다.
그러한 구성에 있어서, 본 실시 형태에 따른 로봇(1)은, 도 1에 도시하는 바와 같이, 제 2 아암(7)의 아암 하우징(70)의 상면에, 투명한 재료로 형성된 창문부(12)를 설치하고, 제 2 케이블(11b)의 적어도 일부를 해당 창문부(12)로부터 시인(視認)할 수 있게 하고 있다. 즉, 케이블 권취 기구(13)는, 제 2 케이블(11b)을 권취했을 때, 또는 개방했을 때 제 2 케이블(11b)의 위치를 창문부(12)에서 시인할 수 있다.
창문부(12)를 형성하는 투명 재료로서는, 예를 들면, 아크릴이나 폴리카보네이트 등의 수지나 강화 유리 등을 이용할 수 있다.
본 실시 형태에 따른 창문부(12)는, 케이블 처리 공간(10) 내에 있어서의 제 2 케이블(11b)의 만곡부(110)의 위치를 시인할 수 있도록 배치되어 있다. 이렇게, 제 2 케이블(11b)의 만곡부(110)의 위치를 시인함으로써, 제 2 케이블(11b)의 거동을 아암 하우징(70)의 외부로부터도 용이하게 확인하는 것이 가능해진다.
또한, 도 3에 도시하는 바와 같이, 창문부(12)를 형성하는 투명 재료에, 소정의 스케일(121)을 가지는 인디케이터부(122)를 설치하고 있다.
그리고, 그러한 인디케이터부(122)에는, 제 2 케이블(11b) 거동의 변화의 허용 범위를 나타내는 케이블 위치 허용 영역(122c)이 형성되어 있다.
본 실시 형태에 따른 인디케이터부(122)에서는, 케이블 위치 허용 영역(122c)의 좌우로 이상(異狀) 영역(122a, 122b)이 설치되어 있다. 즉, 제 2 핸드(4b)가 규제된 회동량을 넘어서 회동되었을 경우, 제 2 케이블(11b)의 만곡부(110)는, 케이블 위치 허용 영역(122c)을 일탈한 위치, 즉, 이상 영역(122a, 122b)에 위치하고 있는 것이, 외부로부터 한눈에 볼 수 있게 된다.
이렇게, 제 2 아암(7)에 창문부(12)를 설치하고, 이 창문부(12)를 개재해서 제 2 케이블(11b)의 거동을 시인함으로써, 제 2 핸드(4b)가 규제된 회동량을 넘어서 회동되지 않았는지의 판단을 용이하게 실행할 수 있다.
또한, 외부로부터, 제 2 케이블(11b)의 이상 등을 간단히 발견할 수 있기 때문에, 문제 발생 시의 제 2 케이블(11b)의 확인이나, 그 외, 필요에 따른 시의 적절한 긴급 메인터넌스의 실시도 가능하다.
그런데, 도 4에 도시하는 바와 같이, 창문부(12)를 형성하는 투명 재료에, 아암 하우징(70) 내부의 점검 부위를 나타내는 한 개 또는 복수 개의 마크(123)를 설치할 수 있다.
특히, 1개의 창문부(12)로부터 복수의 점검 부분을 시인하고자 하는 경우, 복수의 마크(123)의 존재에 의해, 점검자는, 창문부(12)의 어느 영역에 주목할 것인가를 용이하게 알 수 있다.
예를 들면, 케이블 처리 공간(10)의 구조에 따라서는, 아래쪽에 배치되어 있는 핸드 구동 장치(8)의 벨트 등도 시인할 수 있도록 창문부(12)를 형성할 수 있다. 그 경우, 한쪽(도 4의 예에서는 왼쪽)의 마크(123)는 벨트 점검용의 시인 부분을 나타내고, 또한 다른 쪽(도 4의 예에서는 오른쪽)의 마크(123)는 제 2 케이블(11b) 점검용의 시인 부분을 나타내도록 설치하면 된다.
그러한 구성으로 함으로써, 제 2 케이블(11b)뿐만 아니라, 핸드 구동 장치(8)의 점검까지 동일한 창문부(12)로부터 실행할 수 있다. 게다가, 마크(123)를 적절히 설치함으로써, 점검자가 숙련자이든 초보자이든, 필요한 점검을 빠트릴 우려가 없다.
그런데, 마크(123)에 대해서도, 전술의 인디케이터부(122)에 대해서도, 수지나 유리 등으로 이루어지는 투명 재료에 직접이 아니라, 아암 하우징(70) 내의 투명 재료를 통해 시인 가능한 영역 내에 설치해도 좋다.
또한, 본 실시 형태에 따른 창문부(12)를 이용해서 아암 내부를 확인하려고 하면, 점검자는 거의 바로 위에서 들여다 볼 필요가 있지만, 예를 들면, 미러나 프리즘 등을 아암 하우징(70) 내에 배치하고, 창문부(12)의 약간 비스듬하게 위쪽에서도 내부를 시인 가능하게 할 수 있다. 그러한 구성에 의해, 복수의 점검자 사이에 현저한 신장 차가 있다고 해도, 각각의 점검자에 따른 시인성을 확보할 수 있다.
또, 창문부(12)의 배치는, 본 실시 형태에서 도시한 것 같이, 제 2 케이블(11b)의 만곡부(110)의 위치에만 한정되는 것은 아니고, 아암 하우징(70) 내부를 눈으로 보고 점검할 필요가 있는 부위에 따른 위치에 적당한 수의 창문부(12)를 설치할 수 있다.
즉, 본 실시 형태에 따른 로봇(1)에서는, 창문부(12)를 제 2 아암(7)을 구성하는 아암 하우징(70)의 상면에 설치하고 있지만, 배치 대상으로 되는 아암이나 배치 위치나 배치 개수 등에는 어떠한 한정도 없다. 내부에 소정의 부재가 배치된 아암이면, 예를 들면, 제 1 아암(6)에 설치해도 된다.
또한, 창문부(12)의 배치 위치, 배치 개수에 관해서도 적절히 설정할 수 있다. 즉, 아암 내부에 배치되어 있는 소정 부재를 눈으로 보고 점검하는 것이 가능하면, 아암 하우징(70)의 적어도 일부가 투명 재료로 형성되어 있으면 된다.
즉, 반드시 창문부(12)를 설치하지 않고, 아암 하우징(70)의 적어도 일부를, 투명한 재료로 형성하면 되기 때문에, 아암 하우징(70) 자체를, 필요한 강도를 갖는 투명한 강화 수지나 강화 유리로 형성한 골격 구조로 하는 것도 생각할 수 있다.
이상, 설명한 바와 같이, 본 실시 형태에 따른 로봇(1)에서는, 창문부(12)를 통해, 아암 하우징(70)의 내부에 배치된 제 2 케이블(11b)이나 핸드 구동 장치(8)를 외부에서도 용이하게 시인하는 것이 가능하다. 따라서, 제 2 케이블(11b)을 개재해서, 작업 개시 전에 있어서의 제 2 핸드(4b)의 정지 위치의 적당 또는 부적당을 판단할 수 있다. 또한, 제 2 케이블(11b)이나 핸드 구동 장치(8)를 적절한 타이밍에서 메인터넌스할 수 있다.
또한, 로봇(1)을, 기단부가, 제 2 관절부(62)를 개재해서 제 1 아암(6)에 회전 가능하게 설치되는 한편, 선단부에는 출력축으로서 핸드 지축(103)이 설치되고, 내부에는 핸드 지축(103)을 감속 구동하는 핸드 구동 장치(8)가 배치된 제 2 아암(7)을 구비하는 구성으로 해서 설명하였다.
그러나, 출력축으로서는 핸드 지축(103)에 한정되는 것은 아니고, 당연한 것이지만 핸드 구동 장치(8) 대신에, 어떠한 출력축을 구동하는 구동 장치이면 된다. 그리고, 그러한 구동 장치를 내장하는 아암도 제 2 아암(7)에 한정되는 것이 아님은 말할 필요도 없다. 즉, 창문부(12)는, 아암 내부의 부재 상태를 시인 가능하면 되고, 그러한 창문부(12)의 설치 부분에 관해서도, 필요에 따라서 적절히 설정할 수 있다.
또한 아암부(3)는 관절부를 개재해서 수평 회전하는 것에 한정되는 것은 아니고, 수평 회전과 수직 회전을 겸할 수도 있고 수직 회전만 할 수도 있다. 아암부(3)가 수직 회전만 하는 경우에는 엔드 이펙터가 되는 핸드부(4) 만이 수평 회전하게 할 수도 있다.
또한, 또 다른 효과나 변형예는, 당업자에 의해 용이하게 이끌어 낼 수 있다. 이 때문에, 본 발명의 보다 광범한 형태는, 이상과 같이 나타내고 기술한 특정한 상세 및 대표적인 실시 형태에 한정되는 것은 아니다. 따라서, 첨부의 특허 청구의 범위 및 그 균등물에 의해 정의되는 총괄적인 발명 개념의 정신 또는 범위로부터 일탈하는 일 없이, 여러 가지 변경이 가능하다.
(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)
1: 로봇 2: 동체부
3: 아암부 4: 핸드부
4a: 제 1 핸드 4b: 제 2 핸드
7: 제 2 아암 8: 핸드 구동 기구
8a: 제 1 구동 기구 8b: 제 2 구동 기구
9a: 제 1 모터 9b: 제 2 모터
10: 케이블 처리 공간 11a: 제 1 케이블
1lb: 제 2 케이블 12: 창문부
13: 케이블 권취 기구 70: 아암 하우징
121: 스케일 122: 인디케이터부
123: 마크

Claims (10)

  1. 기단부가, 관절부를 통해서 회전 가능하게 설치되어, 내부에 소정의 부재가 배치된 아암부를 구비하고,
    상기 아암부를 구성하는 하우징체의 적어도 일부를, 투명한 재료로 형성한 것을 특징으로 하는 로봇.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 아암부를 구성하는 상기 하우징체의 상기 적어도 일부는 상기 투명한 재료로 형성된 창문부인 것을 특징으로 하는 로봇.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 투명한 재료에, 또는 해당 재료를 통해 시각적으로 인식 가능한 영역 내에, 소정의 스케일을 가지는 인디케이터(indicator)부를 설치한 것을 특징으로 하는 로봇.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 인디케이터부에, 상기 하우징체 내에 배치된 부재의 변화의 허용 범위를 나타내는 영역을 형성한 것을 특징으로 하는 로봇.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 투명한 재료에, 또는 해당 재료를 통해 시각적으로 인식 가능한 영역 내에, 아암부 내부의 점검 부위를 나타내는 마크를 설치한 것을 특징으로 하는 로봇.
  6. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 아암부의 선단부에는, 핸드 지축을 통해서 핸드부가 회전 가능하게 설치되어 있고, 상기 하우징체 내에는, 상기 핸드부와 소정의 설치면에 마련된 동체부와의 사이를 접속하는 케이블이 배치되어 있고, 해당 케이블의 적어도 일부가, 상기 투명한 재료를 통해서 시각적으로 인식 가능한 영역에 존재하는 것을 특징으로 하는 로봇.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 하우징체 내에는, 상기 핸드부를 구동하기 위한 핸드 구동 장치가 배치되어 있고, 상기 핸드 구동 장치와 상기 하우징체의 상면과의 사이에는, 케이블 처리 공간이 설치되고, 상기 케이블 처리 공간 내에 도입된 상기 케이블을, 상기 투명한 재료를 통해서 시각적으로 인식할 수 있는 것을 특징으로 하는 로봇.
  8. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 투명한 재료는, 상기 하우징체의 상면에 위치하는 것을 특징으로 하는 로봇.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 케이블 처리 공간 내에 도입되어 있는 상기 케이블을, 상기 핸드 지축의 회동에 연동해서 감는 케이블 권취 기구를 구비하고, 상기 케이블 권취 기구가 권취했을 때, 또는 개방했을 때의 상기 케이블의 위치를 상기 투명한 재료를 통해 시각적으로 인식할 수 있는 것을 특징으로 하는 로봇.
  10. 제 6 항에 있어서,
    상기 아암부는,
    기단부가 소정의 설치면에 마련된 동체부에 제 1 관절부를 통해서 회전 가능하게 설치된 제 1 아암과,
    기단부가 제 2 관절부를 통해서 해당 제 1 아암의 선단부에 회전 가능하게 설치되는 한편, 선단부에 상기 핸드부가 상기 핸드 지축을 통해서 회전 가능하게 설치된 제 2 아암을 포함하고,
    상기 투명한 재료는 상기 제 2 아암을 구성하는 하우징체에 위치하는 것을 특징으로 하는 로봇.
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