KR20130026204A - 슬래그 성분 분석 방법 및 장치 - Google Patents

슬래그 성분 분석 방법 및 장치 Download PDF

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KR20130026204A
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신용태
류창우
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주식회사 포스코
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Abstract

슬래그 성분 분석 방법 및 장치가 제공된다. 슬래그 성분 분석 장치는, 트리거 신호에 의해 소정의 폭을 가진 레이저 빔을 생성하는 레이저 광원; 레이저 광원에서 생성된 레이저 빔을 슬래그의 표면에 집광시키는 집광 렌즈; 집광 렌즈에 의해 집광된 레이저 광원을 그 중앙에 형성된 홀을 통해 투과시키며, 집광된 레이저 빔에 의해 생성된 플라즈마 광 신호를 그 외주면에 의해 반사시키는 파라볼릭 미러; 파라볼릭 미러에 의해 반사된 플라즈마 광신호를 분광하는 분광계; 분광된 플라즈마 광신호를 포함하는 영상을 획득하는 영상 획득부; 및 획득된 영상으로부터 슬래그의 성분을 분석하는 신호 처리부를 포함함으로써, 슬래그의 성분을 신속하고 정확하게 분석할 수 있으며, 이를 통해 부원료의 정량을 전로에 투입할 수 있도록 하여 원가를 절감할 수 있는 기술적 효과가 있다.

Description

슬래그 성분 분석 방법 및 장치{METHOD AND APPARATUS FOR ANALYZING SLAG}
본 발명은 제강 공정에서 발생하는 슬래그의 성분을 신속하게 분석하는 방법 및 장치에 관한 것이다.
일반적으로 제강 공정에서는 찌꺼기('슬래그(slag)'라 함)가 발생하게 되며, 부원료의 투입을 위해 슬래그의 성분을 신속하고 정확하게 분석할 필요가 있다.
종래에는 이러한 슬래그의 성분을 분석하기 위해 다음과 같은 공정에 의하였다. 우선, 전로 공정에서 생산되는 용강의 표면에 존재하는 슬래그를 채취하여 냉각시킨다. 이후, 냉각된 슬래그를 분쇄기에서 분쇄하고 용융시킨 후 디스크 형상의 틀에 부어 고형화시킨다. 다음, 고형화된 슬래그 시료를 XRF(X-Ray Fluorescene) 장치에서 분석하였다.
하지만, 이와 같은 종래 기술에 의하면, 시료 조제 시간이 많이 소요되어 최종 슬래그의 성분을 분석하기까지는 장시간이 소요되어 조업이 지체되는 문제점이 있다.
본 발명은 신속하게 슬래그의 성분을 분석할 수 있는 슬래그 성분 분석 방법 및 장치를 제공한다.
본 발명의 제1 실시 형태에 의하면,
트리거 신호에 의해 소정의 폭을 가진 레이저 빔을 생성하는 레이저 광원;
상기 레이저 광원에서 생성된 레이저 빔을 슬래그의 표면에 집광시키는 집광 렌즈;
상기 집광 렌즈에 의해 집광된 레이저 빔을 그 중앙에 형성된 홀을 통해 투과시키며, 상기 집광된 레이저 빔에 의해 생성된 플라즈마 광 신호를 그 외주면에 의해 반사시키는 파라볼릭 미러;
상기 파라볼릭 미러에 의해 반사된 플라즈마 광신호를 분광하는 분광계;
상기 분광된 플라즈마 광신호를 포함하는 영상을 획득하는 영상 획득부; 및
상기 획득된 영상으로부터 상기 슬래그의 성분을 분석하는 신호 처리부
를 포함하는 슬래그 성분 분석 장치를 제공한다.
본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 영상 획득부는,
미리 설정된 시간 동안 셔터를 오픈시키기 위한 셔터 오픈 신호에 따라 상기 분광된 플라즈마 광신호를 포함하는 영상을 획득하는 ICCD(Intensified Charge Coupled Detector)를 포함할 수 있으며,
이 경우 상기 슬래그 성분 분석 장치는,
상기 트리거 신호를 생성하는 트리거 신호 생성부;
상기 생성된 트리거 신호를 일정 시간 지연시키는 지연 신호 생성부; 및
상기 지연된 트리거 신호에 따라 상기 셔터 오픈 신호를 생성하는 셔터 오픈 신호 생성부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 슬래그는,
시료 지지대에 의해 회전 가능하도록 지지됨으로써, 상기 집광된 레이저 빔은 상기 슬래그의 표면상에서 동일한 반지름을 갖는 원주상에 원형으로 집광될 수 있다.
본 발명의 제2 실시 형태에 의하면, 레이저 광원에 의해, 트리거 신호에 의해 소정의 폭을 가진 레이저 빔을 생성하는 단계;
집광 렌즈에 의해, 상기 레이저 광원에서 생성된 레이저 빔을 슬래그의 표면에 집광시키는 단계;
파라볼릭 미러에 의해, 상기 집광 렌즈에 의해 집광된 레이저 빔을 그 중앙에 형성된 홀을 통해 투과시키며, 상기 집광된 레이저 빔에 의해 생성된 플라즈마 광 신호를 그 외주면에 의해 반사시키는 단계;
분광계에 의해, 상기 파라볼릭 미러에 의해 반사된 플라즈마 광신호를 분광하는 단계;
영상 획득부에 의해, 상기 분광된 플라즈마 광신호를 포함하는 영상을 획득하는 단계; 및
신호 처리부를 통해, 상기 획득된 영상으로부터 상기 슬래그의 성분을 분석하는 단계
를 포함하는 슬래그 성분 분석 방법을 제공한다.
본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 영상 획득부는,
미리 설정된 시간 동안 셔터를 오픈시키기 위한 셔터 오픈 신호에 따라 상기 분광된 플라즈마 광신호를 포함하는 영상을 획득하는 ICCD(Intensified Charge Coupled Detector)를 포함할 수 있으며,
이 경우 상기 영상을 획득하는 단계는,
상기 트리거 신호를 생성하는 단계;
상기 생성된 트리거 신호를 일정 시간 지연시키는 단계; 및
상기 지연된 트리거 신호에 따라 상기 셔터 오픈 신호를 생성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 슬래그는,
시료 지지대에 의해 회전 가능하도록 지지됨으로써, 상기 집광된 레이저 빔은 상기 슬래그의 표면상에서 동일한 반지름을 갖는 원주상에 원형으로 집광될 수 있다.
본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 레이저를 이용하여 슬래그 시료 표면에 플라즈마 광 신호를 발생시키고, 발생된 플라즈마 광 신호를 분광하여 슬래그의 성분을 신속하고 정확하게 분석할 수 있으며, 이를 통해 부원료의 정량을 전로에 투입할 수 있도록 하여 원가를 절감할 수 있는 기술적 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 슬래그 성분 분석 장치를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 트리거 신호, 지연신호, 및 셔터 오픈 신호의 파형을 도시한 파형도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 형태에 따라 영상 획득부에서 획득된 슬래그의 각 성분의 세기를 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 슬래그 성분 분석 방법을 설명하는 흐름도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태를 설명한다. 그러나 본 발명의 실시형태는 여러 가지의 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시형태로만 한정되는 것은 아니다. 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면상의 동일한 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 슬래그 성분 분석 장치를 도시한 도면이다. 한편, 도 2는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 트리거 신호, 지연신호, 및 셔터 오픈 신호의 파형을 도시한 파형도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시 형태에 따라 영상 획득부에서 획득된 슬래그의 각 성분의 세기를 도시한 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 슬래그 성분 분석 장치는 트리거 신호에 의해 소정의 폭을 가진 레이저 빔(LB)을 생성하는 레이저 광원(102)과, 레이저 광원(102)에서 생성된 레이저 빔(LB)을 슬래그(105)의 표면에 집광시키는 집광 렌즈(103)와, 집광 렌즈(103)에 의해 집광된 레이저 광원을 그 중앙에 형성된 홀을 통해 투과시키며, 집광된 레이저 빔에 의해 생성된 플라즈마 광 신호(LB')를 그 외주면에 의해 반사시키는 파라볼릭 미러(104)와, 파라볼릭 미러(104)에 의해 반사된 플라즈마 광 신호를 분광하는 분광계(108)와, 분광된 플라즈마 광신호를 포함하는 영상을 획득하는 영상 획득부(109)와, 획득된 영상으로부터 슬래그(105)의 성분을 분석하는 신호 처리부(110)를 포함할 수 있다.
또한, 슬래그 분석 장치는 트리거 신호를 생성하는 트리거 신호 생성부(101)와, 생성된 트리거 신호를 일정 시간 지연시키는 지연 신호 생성부(111)와, 지연된 트리거 신호에 따라 셔터 오픈 신호를 생성하는 셔터 오픈 신호 생성부(112)를 더 포함할 수 있다.
이하, 도 1을 참조하여 본 발명의 일 실시 형태에 따른 슬래그 분석 장치를 상세하게 설명한다.
도 1을 참조하면, 레이저 광원(102)은 슬래그(105)의 표면에 집광되어 플라즈마 광 신호를 생성하기 위한 레이저 빔을 생성하는 모듈로, 트리거 신호 생성부(101)에 의해 생성되는 트리거 신호에 의해 트리거되며, 소정의 폭을 가진 펄스 형태의 레이저 빔을 생성할 수 있다. 이때 생성되는 레이저 빔의 펄스폭은 6 나노 정도이며 그 세기는 500MW/cm2일 수 있다. 생성된 레이저 빔은 집광 렌즈(103)로 전달될 수 있다.
집광 렌즈(103)는 레이저 광원(102)에서 생성된 레이저 빔(LB)을 슬래그(105)의 표면에 집광시키게 된다. 이때 집광된 레이저 빔에 의해 슬래그(105)의 표면에 플라즈마 광 신호(LB')가 생성될 수 있다.
한편, 파라볼릭 미러(104)는 집광 렌즈(103)에 의해 집광된 레이저 광원을 그 중앙에 형성된 홀을 통해 투과시키며, 집광된 레이저 빔에 의해 생성된 플라즈마 광 신호(LB')를 그 외주면에 의해 반사시키는 오프-센터 파라볼릭 미러일 수 있다. 외주면에 의해 반사된 플라즈마 광 신호는 광 섬유(107)에 의해 수광되어 분광계(108)로 전달될 수 있다.
분광계(spectrometer)(108)는 하나의 광원으로부터의 빛의 방사를 분산시켜 스펙트럼을 만들고, 그 갖가지 파장 위치에 있어서의 방사의 강도, 기타를 정량적으로 측정할 수 있도록 되어 있는 장치이며, 이러한 분광계(108)를 이용하여 파라볼릭 미러(104)에 의해 반사된 플라즈마 광 신호를 분광할 수 있다. 분광된 플라즈마 광 신호는 영상 획득부(109)로 전달될 수 있다.
한편, 영상 획득부(109)는 분광된 플라즈마 광신호를 포함하는 영상을 획득하고, 획득된 플라즈마 광신호를 포함하는 영상을 신호 처리부(110)로 전달할 수 있다. 이러한 영상 획득부(109)는 미리 설정된 시간 동안 셔터를 오픈시키기 위한 셔터 오픈 신호에 따라 상기 분광된 플라즈마 광신호를 포함하는 영상을 획득하는 ICCD(Intensified Charge Coupled Detector)를 포함할 수 있다. 상술한 ICCD는 1024 또는 2048개의 픽셀들로 이루어질 수 있으며, 본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 해상도를 높이기 위해 2048 픽셀이 사용될 수 있다.
상술한 영상에는 슬래그를 구성하는 다수의 성분(원소)들이 도 3에 도시된 바와 같이 파장별 스펙트럼으로 도시될 수 있다. 구체적으로, 슬래그를 구성하는 성분은 마그네슘(Mg), 실리콘(Si), 칼슘(Ca) 등일 수 있으며, 그 함유량에 비례하여 세기로 도시될 수 있다.
마지막으로, 신호 처리부(110)는 영상 획득부(109)에서 획득된 영상으로부터 슬래그(105)의 각 성분을 분석할 수 있다. 구체적으로, 신호 처리부(110)는 획득된 영상이 적합한지 판단하며, 판단 결과 획득된 영상이 적합한 경우에는 미리 계산된 원소별 검량선(standard curve)과 영상을 비교하여 슬래그의 원소별 성분의 함량을 정확하게 분석할 수 있다. 획득된 영상이 적합하지 않은 경우에는 트리거 신호 생성부(101)를 제어하여 재차 영상을 획득할 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시 형태에 의하면, ICCD의 셔터 오픈 신호를 생성하기 위해 추가적인 요소들을 더 포함할 수 있다.
구체적으로, 트리거 신호 생성부(101)는 신호 처리부(101)의 제어 신호에 따라 트리거 신호를 생성할 수 있다. 생성된 트리거 신호는 레이저 광원(102)과 지연 신호 생성부(111)로 전달될 수 있다.
지연 신호 생성부(111)는 트리거 신호 생성부(101)에서 생성된 트리거 신호를 일정 시간 지연시키며, 지연된 트리거 신호는 셔터 오픈 신호 생성부(112)로 전달될 수 있다.
마지막으로, 셔터 오픈 신호 생성부(112)는 지연된 트리거 신호에 따라 셔터 오픈 신호를 생성하게 되며, 이 지연된 트리거 신호에 따라 ICCD의 셔터 오픈이 제어될 수 있다.
상술한 트리거 신호, 지연신호, 및 셔터 오픈 신호의 파형이 도 2에 도시되어 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 트리거 신호 생성부(101)에서 생성된 트리거 신호((a) 참조)는 지연 신호 생성부(111)에 입력되며, 이후 지연 신호 생성부(111)에 의해 일정 시간(A 참조) 지연되어 셔터 오픈 신호 생성부(112)로 전달될 수 있다. 이후 셔터 오픈 신호 생성부(112)는 다시 일정 시간(B)이 지난 후에 소정의 시간(C 참조) 동안 셔터를 오픈시킴으로써, 영상을 획득하게 된다. 여기서 A는 대략 500 나노초, C는 대략 1000 나노초일 수 있으며, B는 상황에 따라 미세 조정될 수 있는 값일 수 있으며, 예시적으로 상술한 위 수치들은 필요에 따라 그 값이 변경될 수 있음에 유의하여야 한다.
한편, 본 발명의 일 실시 형태에 따르면, 슬래그(105)는 시료 지지대(106)에 의해 회전(R 참조) 가능하도록 지지될 수 있으며, 이를 통해 레이저 빔은 슬래그(105)의 표면상에서 동일한 반지름을 갖는 원주상에서 원형으로 집광될 수 있다.
이와 같이 슬래그(105)를 회전시킴으로써, 슬래그(105)의 다양한 영역에 포함된 모든 성분을 분석할 수 있는 기술적 효과가 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 레이저를 이용하여 슬래그 시료 표면에 플라즈마 광 신호를 발생시키고, 발생된 플라즈마 광 신호를 분광하여 슬래그의 성분을 신속하고 정확하게 분석할 수 있으며, 이를 통해 부원료의 정량을 전로에 투입할 수 있도록 하여 원가를 절감할 수 있는 기술적 효과가 있다.
이하에서는 도 1 내지 도 4를 참조하여 슬래그 분석 방법을 상세하게 설명한다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 시료 지지대(106)에 의해 시료가 되는 슬래그(105)가 장착되면(S400), 트리거 신호 생성부(101)에 의해 생성된 트리거 신호에 의해 레이저 광원(102)이 트리거되어 레이저 빔(LB)이 생성될 수 있다(S401). 생성된 레이저 빔은 집광 렌즈(103)로 전달될 수 있다.
이후 집광 렌즈(103)는 레이저 광원(102)에서 생성된 레이저 빔(LB)을 슬래그(105)의 표면에 집광시키게 된다(S402). 레이저 빔(LB)은 파라볼릭 미러(104)의 중앙에 형성된 홀을 투과하여 슬래그(105)의 표면에 집광되며, 이때 집광된 레이저 빔에 의해 슬래그(105)의 표면에 플라즈마 광 신호(LB')가 생성될 수 있다.
한편, 생성된 플라즈마 광 신호(LB')는 파라볼릭 미러(104)의 외주면에 의해 반사된 후, 광 섬유(107)에 의해 수광되어 분광계(108)로 전달될 수 있다(S403).
분광계(spectrometer)(108)는 파라볼릭 미러(104)에 의해 반사된 플라즈마 광 신호를 파장별로 분광할 수 있다(S404). 분광된 플라즈마 광 신호는 영상 획득부(109)로 전달될 수 있다.
이후 영상 획득부(109)는 셔터 오픈 신호에 따라 분광된 플라즈마 광신호를 포함하는 영상을 획득하고, 획득된 플라즈마 광신호를 포함하는 영상을 신호 처리부(110)로 전달할 수 있다(S405). 상술한 바와 같이, 셔터 오픈 신호는 트리거 신호를 생성하고, 생성된 트리거 신호를 일정 시간 지연시킨 후, 지연된 트리거 신호에 따라 셔터 오픈 신호를 생성할 수 있음은 도 2와 관련하여 상술한 바와 같다.
한편, 신호 처리부(110)는 획득된 플라즈마 광신호가 적합한 영상인지를 판단하며(S406), 판단 결과 적합한 영상인 경우에는 영상 획득부(109)에서 획득된 영상으로부터 슬래그(105)의 각 성분을 분석할 수 있다(S407). 구체적으로, 신호 처리부(110)는 미리 계산된 원소별 검량선(standard curve)과 영상을 비교하여 슬래그의 원소별 성분의 함량을 정확하게 분석할 수 있다.
하지만, 획득된 영상이 적합하지 않은 경우에는 트리거 신호 생성부(101)를 제어하여 재차 영상을 획득할 수 있다(S400 내지 S405).
한편, 본 발명의 일 실시 형태에 따르면, 슬래그(105)는 시료 지지대(106)에 의해 회전(R 참조) 가능하도록 지지될 수 있으며, 이를 통해 레이저 빔은 슬래그(105)의 표면상에서 동일한 반지름을 갖는 원주상에서 원형으로 집광될 수 있다.
이와 같이 슬래그(105)를 회전시킴으로써, 슬래그(105)의 다양한 영역에 포함된 모든 성분을 분석할 수 있는 기술적 효과가 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 레이저를 이용하여 슬래그 시료 표면에 플라즈마 광 신호를 발생시키고, 발생된 플라즈마 광 신호를 분광하여 슬래그의 성분을 신속하고 정확하게 분석할 수 있으며, 이를 통해 부원료의 정량을 전로에 투입할 수 있도록 하여 원가를 절감할 수 있는 기술적 효과가 있다.
본 발명은 상술한 실시형태 및 첨부된 도면에 의해 한정되지 아니한다. 첨부된 청구범위에 의해 권리범위를 한정하고자 하며, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경할 수 있다는 것은 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게 자명할 것이다.
101: 트리거 신호 생성부 102: 레이저 광원
103: 집광 렌즈 104: 파라볼릭 미러
105: 슬래그 106: 시료 지지대
107: 광섬유 108: 분광계
109: ICCD 110: 신호 처리부
111: 지연 신호 생성부 112: 셔터 오픈 신호 생성부
LB: 레이저 빔 LB': 플라즈마 광 신호

Claims (8)

  1. 트리거 신호에 의해 소정의 폭을 가진 레이저 빔을 생성하는 레이저 광원;
    상기 레이저 광원에서 생성된 레이저 빔을 슬래그의 표면에 집광시키는 집광 렌즈;
    상기 집광 렌즈에 의해 집광된 레이저 빔을 그 중앙에 형성된 홀을 통해 투과시키며, 상기 집광된 레이저 빔에 의해 생성된 플라즈마 광 신호를 그 외주면에 의해 반사시키는 파라볼릭 미러;
    상기 파라볼릭 미러에 의해 반사된 플라즈마 광신호를 분광하는 분광계;
    상기 분광된 플라즈마 광신호를 포함하는 영상을 획득하는 영상 획득부; 및
    상기 획득된 영상으로부터 상기 슬래그의 성분을 분석하는 신호 처리부
    를 포함하는 슬래그 성분 분석 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 영상 획득부는,
    미리 설정된 시간 동안 셔터를 오픈시키기 위한 셔터 오픈 신호에 따라 상기 분광된 플라즈마 광신호를 포함하는 영상을 획득하는 ICCD(Intensified Charge Coupled Detector)를 포함하는 슬래그 성분 분석 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 슬래그 성분 분석 장치는,
    상기 트리거 신호를 생성하는 트리거 신호 생성부;
    상기 생성된 트리거 신호를 일정 시간 지연시키는 지연 신호 생성부; 및
    상기 지연된 트리거 신호에 따라 상기 셔터 오픈 신호를 생성하는 셔터 오픈 신호 생성부를 더 포함하는 슬래그 성분 분석 장치.
  4. 제1항에 있어서
    상기 슬래그는,
    시료 지지대에 의해 회전 가능하도록 지지됨으로써, 상기 집광된 레이저 빔은 상기 슬래그의 표면상에서 동일한 반지름을 갖는 원주상에 원형으로 집광되는 슬래그 성분 분석 장치.
  5. 레이저 광원에 의해, 트리거 신호에 의해 소정의 폭을 가진 레이저 빔을 생성하는 단계;
    집광 렌즈에 의해, 상기 레이저 광원에서 생성된 레이저 빔을 슬래그의 표면에 집광시키는 단계;
    파라볼릭 미러에 의해, 상기 집광 렌즈에 의해 집광된 레이저 빔을 그 중앙에 형성된 홀을 통해 투과시키며, 상기 집광된 레이저 빔에 의해 생성된 플라즈마 광 신호를 그 외주면에 의해 반사시키는 단계;
    분광계에 의해, 상기 파라볼릭 미러에 의해 반사된 플라즈마 광신호를 분광하는 단계;
    영상 획득부에 의해, 상기 분광된 플라즈마 광신호를 포함하는 영상을 획득하는 단계; 및
    신호 처리부를 통해, 상기 획득된 영상으로부터 상기 슬래그의 성분을 분석하는 단계
    를 포함하는 슬래그 성분 분석 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 영상 획득부는,
    미리 설정된 시간 동안 셔터를 오픈시키기 위한 셔터 오픈 신호에 따라 상기 분광된 플라즈마 광신호를 포함하는 영상을 획득하는 ICCD(Intensified Charge Coupled Detector)를 포함하는 슬래그 성분 분석 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 영상을 획득하는 단계는,
    상기 트리거 신호를 생성하는 단계;
    상기 생성된 트리거 신호를 일정 시간 지연시키는 단계; 및
    상기 지연된 트리거 신호에 따라 상기 셔터 오픈 신호를 생성하는 단계를 더 포함하는 슬래그 성분 분석 방법.
  8. 제5항에 있어서
    상기 슬래그는,
    시료 지지대에 의해 회전 가능하도록 지지됨으로써, 상기 집광된 레이저 빔은 상기 슬래그의 표면상에서 동일한 반지름을 갖는 원주상에 원형으로 집광되는 슬래그 성분 분석 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20160091185A (ko) * 2015-01-23 2016-08-02 주식회사 녹색기술연구소 레이저 유도 플라즈마 분광법을 이용한 토양분석방법
CN106092914A (zh) * 2016-05-30 2016-11-09 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种光谱分析仪及其组合光源
US10175173B2 (en) 2014-11-28 2019-01-08 Gwangju Institute Of Science And Technology Chemical element analysis device and method for contaminants in liquid

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