KR20120090649A - Crucible assembly for thin film deposition and thin film deposition apparatus with the same - Google Patents

Crucible assembly for thin film deposition and thin film deposition apparatus with the same Download PDF

Info

Publication number
KR20120090649A
KR20120090649A KR1020110011192A KR20110011192A KR20120090649A KR 20120090649 A KR20120090649 A KR 20120090649A KR 1020110011192 A KR1020110011192 A KR 1020110011192A KR 20110011192 A KR20110011192 A KR 20110011192A KR 20120090649 A KR20120090649 A KR 20120090649A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
crucible
organic material
slider
nozzle
thin film
Prior art date
Application number
KR1020110011192A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101240945B1 (en
Inventor
김영학
김효주
Original Assignee
엘아이지에이디피 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘아이지에이디피 주식회사 filed Critical 엘아이지에이디피 주식회사
Priority to KR1020110011192A priority Critical patent/KR101240945B1/en
Publication of KR20120090649A publication Critical patent/KR20120090649A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101240945B1 publication Critical patent/KR101240945B1/en

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/243—Crucibles for source material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/12—Organic material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/246—Replenishment of source material
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass

Abstract

PURPOSE: A crucible device for thin film deposition and a thin film deposition apparatus including the same are provided to improve the reliability of thin film deposition by improving the uniformity of an organic thin film deposited on the substrate. CONSTITUTION: A crucible device for thin film deposition comprises a crucible(4C) storing an organic material and a plurality of organic material spray nozzles(4N) which are arranged in the crucible and individually moved by an actuating unit(43) to control the interval between them. Each actuating unit includes a slider(431) which is installed and moved in the crucible and has a nozzle hole(432) to connect an organic material spray nozzle. The crucible has an organic material vent(422) which is installed corresponding to each slider and aligned with the nozzle hole.

Description

박막증착용 도가니장치 및 이것을 포함하는 박막증착장비{Crucible Assembly for Thin Film Deposition and Thin Film Deposition Apparatus with the Same}Crucible apparatus for thin film deposition and thin film deposition apparatus including the same {Crucible Assembly for Thin Film Deposition and Thin Film Deposition Apparatus with the Same}

본 발명은 박막의 증착을 위하여 증발된 유기물질을 제공하는 도가니장치 및 이 도가니장치를 포함하는 박막증착장비에 관한 것이다.The present invention relates to a crucible apparatus for providing an evaporated organic material for deposition of a thin film and a thin film deposition apparatus including the crucible apparatus.

일반적으로, 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diode, OLED)는 형광성의 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계발광현상을 이용하여 스스로 빛을 내는 자체발광형 유기물질을 말한다. 이 유기발광다이오드에 의한 디스플레이는 낮은 전압에서 구동이 가능하고 얇은 박형으로 만들 수 있을 뿐만 아니라, 넓은 시야각과 빠른 응답속도를 가지고 있어 일반 LCD(Liquid Crystal Display)와 달리 바로 옆에서 보아도 화질이 변하지 않으며 화면에 잔상이 남지 않는다. 또, 소형 화면에서는 LCD 이상의 화질과 단순한 제조공정으로 인하여 유리한 가격 경쟁력을 가지므로 차세대 디스플레이 소자로 주목을 받고 있다.In general, an organic light emitting diode (OLED) refers to a self-luminous organic material that emits itself by using an electroluminescence phenomenon that emits light when a current flows through a fluorescent organic compound. This organic light emitting diode display can be driven at a low voltage and can be made thin, and has a wide viewing angle and fast response speed. Therefore, unlike a general liquid crystal display, the image quality does not change even when viewed from the side. There is no afterimage on the screen. In addition, the small screen has attracted attention as a next-generation display device because it has an advantageous price competitiveness due to the image quality of LCD and simple manufacturing process.

유기발광다이오드를 이용하여 이동통신단말기용 디스플레이나 텔레비전을 만들 때, 또는 조명기구를 생산할 때 필요한 것이 바로 박막증착장비인데, 이는 기판에 유기물질을 증착하여 박막을 형성하는 것이며 유기발광다이오드 생산을 위한 핵심 장비 중 하나이다.When manufacturing displays or televisions for mobile communication terminals or producing lighting equipment using organic light emitting diodes, thin film deposition equipment is used to form thin films by depositing organic materials on substrates. One of the key pieces of equipment.

도 1은 일반적인 박막증착장비가 도시된 구성도이다. 이 도 1에 도시된 바와 같이, 박막증착장비는 챔버(chamber)(110)를 포함하는데, 이 챔버(110)의 상부공간에는 기판(105)이 위치되고, 하부공간에는 도가니장치(120)가 설치된다. 이 도가니장치(120)는 유기물질이 담기는 도가니(crucible)(122)와 이 도가니(122)를 가열하는 가열수단(도시되지 않음)으로 구성된다. 도가니(122)에 담긴 유기물질은 도가니(122)가 가열수단에 의하여 가열됨에 따라 증발된다. 도가니(122)는 상부가 개방된 구조를 가져, 증발하는 유기물질은 이 도가니(122)의 개방된 상부를 통하여 방출됨으로써 챔버(110)의 상부공간에 위치하는 기판(105)에 도달, 증착되어 기판(105)에 박막을 형성한다.1 is a block diagram showing a general thin film deposition equipment. As shown in FIG. 1, the thin film deposition apparatus includes a chamber 110, wherein a substrate 105 is positioned in an upper space of the chamber 110, and a crucible device 120 is disposed in a lower space of the chamber 110. Is installed. The crucible device 120 is composed of a crucible 122 containing organic materials and heating means (not shown) for heating the crucible 122. The organic material contained in the crucible 122 is evaporated as the crucible 122 is heated by a heating means. The crucible 122 has an open top structure, and the evaporated organic material is discharged through the open top of the crucible 122 to reach and deposit the substrate 105 located in the upper space of the chamber 110. A thin film is formed on the substrate 105.

그러나, 이와 같은 박막증착장비는 증발되는 유기물질이 별도 제어과정 없이 그대로 방출되어 기판(105)에 증착되기 때문에, 박막증착공정 조건의 변경 등에 따라 기판(105)의 부분별 증착 유기물질의 양을 적절히 변경하여 박막의 균일도를 조정할 수 없었다. 즉, 박막증착공정 조건의 변경 등에 따른 유연한 대처가 곤란하였던 것이다.However, in the thin film deposition apparatus, since the evaporated organic material is released as it is, without being controlled separately, and deposited on the substrate 105, the amount of the organic material deposited for each part of the substrate 105 is changed according to the change of the thin film deposition process conditions. It was not able to adjust uniformity of a thin film by changing suitably. In other words, it was difficult to cope with the change of the thin film deposition process conditions.

본 발명은 기판에 증착되는 유기박막의 균일도를 향상시킬 수 있는 도가니장치 및 이것을 포함하는 박막증착장비를 제공하는 데 목적이 있다.An object of the present invention is to provide a crucible apparatus and a thin film deposition apparatus including the same that can improve the uniformity of the organic thin film deposited on the substrate.

본 발명이 해결하려는 과제는 위 과제에 제한되지 않고, 언급되지 않은 기타 과제들은 통상의 기술자(본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자)라면 아래의 기재로부터 명확하게 이해할 수 있을 것이다.The problems to be solved by the present invention are not limited to the above-mentioned problems, and other matters not mentioned can be clearly understood from the following description if they are common knowledge (those skilled in the art to which the present invention belongs).

본 발명의 실시예에 따르면, 내부에 유기물질이 담기는 도가니와; 상기 도가니에 적어도 일렬로 배치된 복수의 유기물질 분사노즐을 포함하되, 상기 열을 이루는 유기물질 분사노즐은 서로 간의 간격을 조절할 수 있게 각각 가동수단에 의하여 배열방향으로 이동 가능하도록 장착된 도가니장치가 제공된다.According to an embodiment of the present invention, the crucible containing an organic material therein; A crucible device including a plurality of organic material injection nozzles arranged in a row at least in the crucible, wherein the organic material injection nozzles forming the row are movable to be arranged in an arrangement direction by moving means so as to adjust a distance therebetween. Is provided.

상기 각 가동수단은 상기 도가니에 슬라이드 이동 가능하도록 장착되며 상기 유기물질 분사노즐이 결합되는 노즐구멍을 가지는 슬라이더를 포함하고, 상기 도가니는 상기 슬라이더가 장착되는 각 부분에 상기 노즐구멍과 일치하는 유기물질 방출구멍이 마련될 수 있다.Each of the movable means includes a slider mounted to the crucible so as to be slidable and having a slider having a nozzle hole to which the organic material injection nozzle is coupled, wherein the crucible is formed of an organic material corresponding to the nozzle hole in each part to which the slider is mounted. A discharge hole may be provided.

여기에서, 상기 유기물질 방출구멍은 상기 슬라이더의 이동방향을 따라 길게 형성된 일정한 길이의 슬롯이고, 상기 슬라이더는 그 크기가 상기 유기물질 방출구멍의 커버가 가능하도록 이 유기물질 방출구멍에 비하여 긴 것이 바람직하다.Herein, the organic material emission hole is a slot having a predetermined length formed along the moving direction of the slider, and the slider is preferably longer than the organic material emission hole so that the size of the organic material emission hole can be covered. Do.

이와 같은 본 발명의 실시예에 따른 도가니장치는 상기 각 슬라이더의 이동거리를 제한하여 상기 유기물질 방출구멍의 커버 해제를 방지하는 스토퍼를 더 포함할 수 있다. 이 때, 상기 스토퍼는 상기 도가니에 각각 마련된 슬라이더 수용홈으로 구성될 수 있다.The crucible apparatus according to the embodiment of the present invention may further include a stopper for limiting the moving distance of each slider to prevent the cover release of the organic material emission hole. At this time, the stopper may be composed of a slider receiving groove provided in each of the crucible.

상기 슬라이더는 상기 도가니의 상부에 장착되고, 상기 각 유기물질 분사노즐은 상기 노즐구멍에 상하이동 가능하도록 결합될 수 있다. 즉, 상기 각 유기물질 분사노즐은 상기 노즐구멍에 나사결합이 되어 상하이동 가능할 수 있다.The slider is mounted on the top of the crucible, and each of the organic material injection nozzles may be coupled to the nozzle hole so as to be movable. That is, each of the organic material injection nozzles may be screwed into the nozzle holes to be movable.

본 발명의 실시예에 따르면, 내부에 유기물질이 담기는 도가니와; 상기 도가니에 횡방향으로 이동 가능하게 장착되어 위치 변경이 가능한 적어도 하나의 유기물질 분사노즐을 포함하는 도가니장치가 제공된다.According to an embodiment of the present invention, the crucible containing an organic material therein; A crucible apparatus including at least one organic material injection nozzle which is mounted to the crucible to be movable in a lateral direction and whose position can be changed is provided.

본 발명의 실시예에 따르면, 내부에 유기물질이 담기는 도가니와; 상기 도가니에 상하방향으로 이동 가능하게 장착되어 높이 조절이 가능한 적어도 하나의 유기물질 분사노즐을 포함하는 도가니장치가 제공된다.According to an embodiment of the present invention, the crucible containing an organic material therein; A crucible apparatus including at least one organic material injection nozzle which is mounted to the crucible to be movable upward and downward and whose height is adjustable is provided.

본 발명의 실시예에 따르면, 증착공간을 가지는 증착챔버와; 이 증착챔버의 증착공간 상부에서 반입된 기판을 지지하는 기판 지지수단과; 상기 증착공간의 하부에 이 기판 지지수단에 의하여 지지된 기판과 대향하도록 배치되며 내부에 유기물질이 담기는 도가니와; 이 도가니에 담긴 유기물질을 증발시키는 데 필요한 열을 제공하는 가열수단과; 이 가열수단에 의하여 증발되는 유기물질을 상기 기판에 분사하는 유기물질 분사노즐을 포함하고, 상기 유기물질 분사노즐은 상기 도가니에 횡방향 이동 가능하게 장착되어 위치 변경 가능한 횡이동 노즐과 상기 도가니에 상하방향 이동 가능하게 장착되어 높이 조절이 상하이동 노즐 중 적어도 하나를 포함하는 박막증착장비가 제공된다.According to an embodiment of the present invention, a deposition chamber having a deposition space; Substrate support means for supporting a substrate carried in the deposition space of the deposition chamber; A crucible disposed under the deposition space so as to face a substrate supported by the substrate support means and containing organic material therein; Heating means for providing heat for evaporating the organic material contained in the crucible; And an organic material injection nozzle for injecting the organic material evaporated by the heating means onto the substrate, wherein the organic material injection nozzle is mounted on the crucible so as to be movable in the lateral direction, and the vertically movable nozzle and the vertically movable nozzle are vertically changed. The thin film deposition apparatus is provided so as to be movable in the direction and the height adjustment includes at least one of the shandong copper nozzle.

본 발명에 의하면 기판에 증착되는 유기박막의 균일도가 향상되기 때문에 박막증착공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.According to the present invention, since the uniformity of the organic thin film deposited on the substrate is improved, the reliability of the thin film deposition process can be improved.

도 1은 일반적인 박막증착장비가 도시된 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막증착장비가 도시된 구성도이다.
도 3은 도 2에 도시된 도가니장치를 나타내는 사시도이다.
도 4는 도 2의 A-A선 단면 사시도이다.
도 5는 도 4의 B 부분 확대도이다.
도 6은 도 3의 C-C선 단면도이다.
도 7은 도 3의 평면도이다.
도 8은 도 2에 도시된 도가니장치의 사용상태도이다.1 is a block diagram showing a general thin film deposition equipment.
Figure 2 is a block diagram showing a thin film deposition apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a perspective view showing the crucible device shown in FIG.
4 is a cross-sectional perspective view taken along the line AA of FIG. 2.
5 is an enlarged view of a portion B of FIG. 4.
6 is a cross-sectional view taken along line CC of FIG. 3.
7 is a plan view of FIG. 3.
8 is a state diagram of use of the crucible apparatus shown in FIG.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다. 참고로, 본 발명을 설명함에 있어, 참조하는 도면에 도시된 구성요소의 크기, 선의 두께 등은 이해의 편의상 다소 과장되게 표현되어 있을 수 있다. 또, 본 발명의 설명에 사용되는 용어는 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의한 것이므로 사용자, 운용자 의도, 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 따라서, 이 용어에 대한 정의는 본 명세서의 전반에 걸친 내용을 토대로 내리는 것이 마땅하겠다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described a preferred embodiment of the present invention. For reference, in describing the present invention, the size of the components shown in the accompanying drawings, the thickness of the line, etc. may be somewhat exaggerated for convenience of understanding. The terms used in the description of the present invention are defined in consideration of the functions of the present invention, and thus may vary depending on the user, the intention of the operator, customs, and the like. Therefore, the definition of this term should be based on the contents of this specification as a whole.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막증착장비가 도시된 구성도로, 이 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 박막증착장비는 외부와 차단된 증착공간(22)을 제공하는 증착챔버(2), 이 증착챔버(2)의 내부공간인 증착공간(22)의 상부와 하부에 각각 배치된 기판 지지수단(3) 및 도가니장치(4)를 포함한다.2 is a block diagram showing a thin film deposition apparatus according to an embodiment of the present invention, as shown in Figure 2, the thin film deposition apparatus according to an embodiment of the present invention is a deposition space 22 is blocked from the outside It includes a deposition chamber (2) for providing a substrate support means (3) and a crucible device (4) disposed on the upper and lower portions of the deposition space (22), which is an interior space of the deposition chamber (2).

여기에서, 증착챔버(2)는 벽면의 한쪽에 기판(1)(이하, 도면부호 병기 생략)을 증착공간(22)에 반입하고 반입된 기판을 반출하기 위한 기판 출입구(24)가 마련되고, 이 기판 출입구(24)는 개폐수단(5)에 의하여 개폐된다. 증착챔버(2)는 그 벽면의 다른 쪽에도 개폐수단에 의하여 개폐되는 기판 출입구가 마련될 수 있다. 또, 증착챔버(2)는 그 증착공간(22)이 배기수단(도시되지 않음)에 의하여 진공분위기로 조성될 수 있다.Here, the deposition chamber 2 is provided with a substrate inlet 24 for carrying in the substrate 1 (hereinafter referred to as reference numeral) in the deposition space 22 on one side of the wall and carrying out the substrate. The substrate entrance and exit 24 is opened and closed by the opening and closing means 5. The deposition chamber 2 may be provided with a substrate entrance opening and closing on the other side of the wall by opening and closing means. In addition, the deposition chamber 2 may be formed in a vacuum atmosphere in the deposition space 22 by the exhaust means (not shown).

기판 지지수단(3)은 증착공간(22)에 반입된 기판을 지지할 수 있도록 구성된 지지유닛을 포함하고, 이 같은 기판 지지수단(3)의 지지를 받는 기판은 지지유닛의 하부에 위치된다. 지지유닛은 지지유닛 구동수단(도시되지 않음)에 의하여 이동 또는 회전될 수 있다.The substrate support means 3 includes a support unit configured to support a substrate carried in the deposition space 22, and the substrate supported by the substrate support means 3 is located under the support unit. The support unit may be moved or rotated by the support unit driving means (not shown).

도가니장치(4)는 내부에 유기박막 재료인 유기물질이 담기는 도가니(4C), 이 도가니(4C)에 담긴 유기물질을 증발시키는 데 필요한 열을 제공하는 가열수단(도시되지 않음), 이 가열수단에 의하여 증발되는 유기물질을 증착공간(22)의 상부에 위치하는 기판에 분사하는 복수 개의 분사노즐(4N)을 포함한다.The crucible apparatus 4 is a crucible 4C in which an organic substance as an organic thin film material is contained therein, heating means (not shown) for providing heat required to evaporate the organic substance contained in the crucible 4C, and this heating It includes a plurality of injection nozzle (4N) for injecting the organic material evaporated by the means to the substrate located in the upper portion of the deposition space (22).

도 2에서, 도면부호 6은 기판 지지수단(3)과 도가니장치(4) 사이에서 유기물질 이동경로를 차단하거나 차단을 해제하는 역할을 하는 셔터(shutter)로, 이 셔터(6)는, 박막증착공정 중에는 유기물질 이동경로의 차단이 해제된 상태를 유지하고, 박막증착공정을 완료하거나 중지한 경우에는 유기물질 이동경로를 차단함으로써 기판에 도가니장치(4)로부터의 유기물질이 더 이상 증착되지 않게 한다.In Fig. 2, reference numeral 6 denotes a shutter which serves to block or unblock the organic material movement path between the substrate supporting means 3 and the crucible device 4, and the shutter 6 is a thin film. During the deposition process, the organic material migration path is kept off, and when the thin film deposition process is completed or stopped, the organic material from the crucible apparatus 4 is no longer deposited on the substrate by blocking the organic material migration path. Do not

이제부터는 도 3 내지 도 8을 참조하여 도가니장치(4)의 구성을 보다 구체적으로 살펴보기로 한다.Now, the configuration of the crucible device 4 will be described in more detail with reference to FIGS. 3 to 8.

도 3은 도가니장치(4)가 도시된 사시도이고, 도 4는 도 2의 A-A선 단면 사시도로, 이 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 도가니(4C)는 횡방향으로 기다란 사각박스의 구조를 가지도록 구성되고, 복수의 분사노즐(4N)은 이 도가니(4C)의 상부에 서로 이격되도록 도가니(4C)의 길이방향을 따라 일렬로 배치된다.3 is a perspective view of the crucible apparatus 4, and FIG. 4 is a cross-sectional perspective view taken along the line AA of FIG. 2, and as shown in FIGS. 3 and 4, the crucible 4C is a cross-sectional view of an elongated rectangular box. A plurality of injection nozzles 4N are arranged in a line along the longitudinal direction of the crucible 4C so as to be spaced apart from each other on top of the crucible 4C.

도가니(4C)는 기다란 직사각형 용기의 구조를 가져 상부가 개방된 도가니 본체(41), 이 도가니 본체(41)의 개방된 상부를 덮는 도가니 덮개(42)를 포함하는데, 도가니 본체(41)는 가열수단에 의하여 가열이 이루어지고, 도가니 덮개(42)에는 복수의 분사노즐(4N)이 각각 가동수단(43)에 의하여 분사노즐(4N)의 배열방향(도가니의 길이방향)을 따라 왕복이동 가능하게 장착되어, 분사노즐(4N)은 서로 간의 간격을 적절히 조절할 수 있다. 참고로, 가열수단은 도가니 본체(41)의 주위에 감긴 열선을 포함하는 것일 수 있다.The crucible 4C includes a crucible body 41 having an elongated rectangular container structure and having an open top, and a crucible cover 42 covering an open top of the crucible body 41, which is heated. The heating is performed by means, and a plurality of injection nozzles 4N are provided on the crucible lid 42 so as to reciprocate along the arrangement direction (the longitudinal direction of the crucible) of the injection nozzles 4N by the movable means 43, respectively. Mounted, the injection nozzles 4N can appropriately adjust the distance therebetween. For reference, the heating means may include a heating wire wound around the crucible body 41.

각 가동수단(43)은 기다란 도가니 덮개(42)의 상부에 분사노즐(4N)의 배열방향을 따라 슬라이드 이동 가능하도록 장착된 판상의 슬라이더(431)를 포함하고, 도가니 덮개(42)에는 이 슬라이더(45)가 각각 위치하는 슬라이더 수용홈(421)이 마련된다. 슬라이더 수용홈(421)은 분사노즐(4N)의 배열방향을 따라 길게 형성된다. 이러한 슬라이더 수용홈(421)에는 상하방향으로 관통된 유기물질 방출구멍(422)이 각각 마련되고, 슬라이더(431)는 이 유기물질 방출구멍(422)과의 일치가 가능한 노즐구멍(432)을 각각 가진다.Each movable means 43 includes a plate-shaped slider 431 mounted on the elongated crucible cover 42 so as to be slidable along the arrangement direction of the spray nozzle 4N, and the crucible cover 42 has this slider. Slider receiving grooves 421 at which 45 are positioned are provided. The slider receiving groove 421 is formed long along the arrangement direction of the injection nozzle 4N. The slider accommodating grooves 421 are provided with organic material discharge holes 422 penetrating in the vertical direction, respectively, and the slider 431 has nozzle holes 432 that can coincide with the organic material discharge holes 422, respectively. Have

도 5는 도 4의 B 부분 확대도로, 도 5에 도시된 바와 같이, 슬라이더 수용홈(421)에서 슬라이더(431)의 슬라이드 이동은 각각 슬라이드 기구(435)에 의하여 정확히 이루어진다. 각 슬라이드 기구(435)는 서로 짝을 이루는 두 짝의 슬라이드 돌기(436)와 슬라이드 홈(437)으로 구성된다. 슬라이드 돌기(436)는 슬라이더(431)의 양옆에 각각 마련되고, 슬라이드 홈(437)은 슬라이더 수용홈(421)에 슬라이드 돌기(436)가 각각 끼워질 수 있도록 길게 마련된다. 슬라이드 돌기(436)와 슬라이드 홈(437)의 위치는 서로 바뀔 수 있다.FIG. 5 is an enlarged view of a portion B of FIG. 4, and as shown in FIG. 5, the slide movement of the slider 431 in the slider receiving groove 421 is accurately performed by the slide mechanism 435, respectively. Each slide mechanism 435 is composed of two pairs of slide protrusions 436 and a slide groove 437 which are paired with each other. The slide protrusions 436 are provided on both sides of the slider 431, and the slide grooves 437 are provided to be long so that the slide protrusions 436 may be fitted into the slider receiving grooves 421, respectively. The positions of the slide protrusion 436 and the slide groove 437 may be interchanged.

도 6은 도 3의 C-C선 단면도이고, 도 7은 도 3의 평면도로, 이 도 6, 도 7을 참조하면, 슬라이더(431)를 상하방향으로 관통하는 노즐구멍(432)은 원형으로 형성되고, 유기물질 방출구멍(422)은 슬라이더(431)의 이동방향인 분사노즐(4N)의 배열방향을 따라 길게 형성된 일정한 길이의 슬롯(slot)이며, 슬라이더(431)는 이 슬롯 타입의 유기물질 방출구멍(422)을 커버할 수 있는 크기를 가지도록 형성된다. 그리고, 슬라이더 수용홈(421)은 길이가 슬라이더(431)보다 길게 형성되는바, 슬라이더(431)에 의한 유기물질 방출구멍(422)의 커버가 해제되는 것을 슬라이더(431)의 이동거리를 제한함으로써 방지할 수 있는 길이로 형성된다.6 is a cross-sectional view taken along line CC of FIG. 3, and FIG. 7 is a plan view of FIG. 3. Referring to FIGS. 6 and 7, the nozzle hole 432 penetrating the slider 431 in the vertical direction is formed in a circular shape. The organic material discharge hole 422 is a slot of a predetermined length formed along the arrangement direction of the injection nozzle 4N, which is the moving direction of the slider 431, and the slider 431 is the organic material of this slot type. It is formed to have a size that can cover the hole 422. The slider accommodating groove 421 has a length longer than that of the slider 431. By limiting the moving distance of the slider 431, the cover of the organic material emission hole 422 is released by the slider 431. It is formed to a length that can be prevented.

이에 따르면, 슬라이더(431)의 이동거리는 슬라이더 수용홈(421)에 제한되므로, 유기물질 방출구멍(422)과 노즐구멍(432)은 서로 통하도록 항상 일치된 상태를 유지한다. 즉, 유기물질 방출구멍(422)과 노즐구멍(432)이 서로 통하지 않게 불일치되는 현상을 스토퍼(stopper)로서의 역할을 하는 슬라이더 수용홈(421)의 길이방향 양단(전후)부에 의하여 방지할 수 있는 것이다.According to this, the moving distance of the slider 431 is limited to the slider receiving groove 421, so that the organic material discharge hole 422 and the nozzle hole 432 always maintain the same state to communicate with each other. In other words, the inconsistency of the organic material discharge hole 422 and the nozzle hole 432 so as not to pass through each other can be prevented by the longitudinal ends (front and rear) portions of the slider receiving groove 421 serving as a stopper. It is.

도 4, 도 6 등을 참조하면, 분사노즐(4N)은 일직선의 파이프상으로 형성되고 그 하부가 노즐구멍(432)에 각각 결합된다. 이 때, 노즐구멍(432)에는 암나사가 형성되고, 분사노즐(4N)의 하부에는 이 노즐구멍(432)의 암나사와 결합되는 수나사가 형성되어, 분사노즐(4N)은 슬라이더(431)에 나사결합이 된다.4, 6 and the like, the injection nozzle 4N is formed in a straight pipe shape and the lower portion thereof is coupled to the nozzle hole 432, respectively. At this time, a female screw is formed in the nozzle hole 432, and a male screw is formed in the lower part of the spray nozzle 4N, which is coupled to the female screw of the nozzle hole 432, and the spray nozzle 4N is screwed into the slider 431. Are combined.

이와 같이 결합되는 분사노즐(4N)은 나사결합이 이루어지도록 죄거나 나사결합이 해제되도록 풀면 상하방향으로 이동되면서 높이(슬라이더로부터의 돌출 길이)가 조절된다.The injection nozzles 4N coupled as described above are adjusted in height (protruding length from the slider) while being moved upward and downward when tightened to release the screw or released to release the screw.

설명한 바와 같이 구성되는 일 실시예는 도가니(4C)에 유기물질을 투입한 후 가열수단을 작동시키면 도가니(4C)에 투입되어 담긴 유기물질이 가열수단에 의하여 증발되는데, 이 증발하는 유기물질은 도가니(4C)의 내부에서 도가니 덮개(42)의 슬라이더 수용홈(421)에 마련된 유기물질 방출구(422) 및 이 유기물질 방출구(422)와 일치하는 슬라이더(431)의 노즐구멍(432)에 결합된 각 분사노즐(4N)을 통하여 분사된다.According to one embodiment configured as described above, when the heating means is operated after the organic material is added to the crucible 4C, the organic material contained in the crucible 4C is evaporated by the heating means, and the evaporated organic material is the crucible. Inside the 4C, the organic material discharge port 422 provided in the slider receiving groove 421 of the crucible cover 42 and the nozzle hole 432 of the slider 431 coinciding with the organic material discharge port 422. It is sprayed through each combined injection nozzle 4N.

어느 하나의 슬라이더(431)를 이동시키면 이 이동시킨 슬라이더(431)에 결합된 분사노즐(4N)의 위치가 변경되어 이웃한 분사노즐(4N)과의 간격이 변경되고, 어느 하나의 슬라이더(431)에 결합된 분사노즐(4N)을 회전시켜 나사결합을 풀거나 죄면 이 풀거나 죈 분사노즐(4N)의 돌출 길이가 변경되는바,(도 8 참조) 기판에 분사되는 유기물질의 양을 기판의 부분별로 적절히 조절할 수 있다.Moving any of the sliders 431 changes the position of the injection nozzle 4N coupled to the moved slider 431, thereby changing the distance from the neighboring injection nozzle 4N, and changing any one of the sliders 431. Rotate the spray nozzle 4N coupled to the screw to loosen or loosen the screw, or the protrusion length of the spray nozzle 4N is changed (see FIG. 8). The parts can be adjusted appropriately.

한편, 도시된 바는 없으나, 슬라이더(431)와 슬라이더 수용홈(421) 사이에는 기밀 유지를 위한 실링재가 개재될 수 있다.Meanwhile, although not shown, a sealing material for maintaining airtightness may be interposed between the slider 431 and the slider receiving groove 421.

또한, 위에서는 분사노즐(4N) 모두가 횡방향(분사노즐의 배열방향)과 상하방향 이동이 가능한 것으로 설명하였으나, 복수의 분사노즐(4N) 중 일부는 횡방향 이동만이 가능하고 일부는 상하방향 이동만이 가능하도록 구성될 수 있다.In addition, in the above, all of the injection nozzles 4N have been described as being able to move in the lateral direction (arrangement direction of the injection nozzles) and in the vertical direction. It can be configured to allow only directional movement.

이상, 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 이 명세서에 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않으며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 이내에서 통상의 기술자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be the most practical and preferred embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the invention.

1 : 기판 2 : 증착챔버
22 : 증착공간 3 : 기판 지지수단
4 : 도가니장치 4C : 도가니
4N : 분사노즐 41 : 도가니 본체
42 : 도가니 덮개 421 : 슬라이더 수용홈
422 : 유기물질 방출구멍 43 : 가동수단
431 : 슬라이더 432 : 노즐구멍
435 : 슬라이드 기구1 substrate 2 deposition chamber
22 deposition space 3: substrate support means
4: crucible device 4C: crucible
4N: injection nozzle 41: crucible body
42: crucible cover 421: slider receiving groove
422: organic material discharge hole 43: movable means
431 slider 432 nozzle hole
435: Slide Mechanism

Claims (10)

내부에 유기물질이 담기는 도가니와;
상기 도가니에 배치된 복수의 유기물질 분사노즐을 포함하되,
상기 복수의 유기물질 분사노즐은 서로 간의 간격을 조절할 수 있게 각각 가동수단에 의하여 이동 가능하도록 장착된 도가니장치.A crucible containing organic material therein;
Including a plurality of organic material injection nozzle disposed in the crucible,
The plurality of organic material injection nozzle is mounted to the crucible device to be movable by each moving means to adjust the distance between each other. 청구항 1에 있어서,
상기 각 가동수단은 상기 도가니에 슬라이드 이동 가능하도록 장착되며 상기 유기물질 분사노즐이 결합되는 노즐구멍을 가지는 슬라이더를 포함하고,
상기 도가니는 상기 슬라이더가 장착되는 각 부분에 상기 노즐구멍과 일치하는 유기물질 방출구멍이 마련된 도가니장치.The method according to claim 1,
Each movable means includes a slider mounted to the crucible so as to be slidable and having a nozzle hole to which the organic material injection nozzle is coupled.
The crucible is a crucible apparatus in which organic discharge holes are formed in the respective portions on which the slider is mounted to coincide with the nozzle holes. 청구항 2에 있어서,
상기 유기물질 방출구멍은 상기 슬라이더의 이동방향을 따라 길게 형성된 일정한 길이의 슬롯이고,
상기 슬라이더는 크기가 상기 유기물질 방출구멍의 커버가 가능하도록 이 유기물질 방출구멍에 비하여 긴 도가니장치.The method according to claim 2,
The organic material emission hole is a slot of a predetermined length formed along the moving direction of the slider,
The slider is a crucible device having a size longer than that of the organic material emission hole so as to cover the organic material emission hole. 청구항 3에 있어서,
상기 각 슬라이더의 이동거리를 제한하여 상기 유기물질 방출구멍의 커버 해제를 방지하는 스토퍼를 더 포함하는 도가니장치.The method according to claim 3,
Crucible apparatus further comprises a stopper for limiting the movement distance of the slider to prevent the release of the cover of the organic material emission hole. 청구항 4에 있어서,
상기 스토퍼는 상기 도가니에 각각 마련된 슬라이더 수용홈으로 구성된 도가니장치.The method of claim 4,
The stopper is a crucible device consisting of slider receiving grooves respectively provided in the crucible. 청구항 2에 있어서,
상기 슬라이더는 상기 도가니의 상부에 장착되고,
상기 각 유기물질 분사노즐은 상기 노즐구멍에 상하이동 가능하게 결합된 도가니장치.The method according to claim 2,
The slider is mounted on the top of the crucible,
Each organic material injection nozzle is coupled to the nozzle hole so as to be movable. 청구항 6에 있어서,
상기 각 유기물질 분사노즐은 상기 노즐구멍에 나사결합이 되어 상하이동 가능한 도가니장치.The method of claim 6,
Each of the organic material injection nozzles are screwed into the nozzle holes to be movable. 내부에 유기물질이 담기는 도가니와;
상기 도가니에 횡방향으로 이동 가능하게 장착되어 위치 변경이 가능한 적어도 하나의 유기물질 분사노즐을 포함하는 도가니장치.A crucible containing organic material therein;
A crucible apparatus comprising at least one organic material injection nozzle which is mounted to the crucible so as to be movable in a lateral direction and whose position can be changed. 내부에 유기물질이 담기는 도가니와;
상기 도가니에 상하방향으로 이동 가능하게 장착되어 높이 조절이 가능한 적어도 하나의 유기물질 분사노즐을 포함하는 도가니장치.A crucible containing organic material therein;
A crucible device comprising at least one organic material injection nozzle which is mounted to the crucible so as to be movable upward and downward and whose height is adjustable. 증착공간을 가지는 증착챔버와; 이 증착챔버의 증착공간 상부에서 반입된 기판을 지지하는 기판 지지수단과; 상기 증착공간의 하부에 이 기판 지지수단에 의하여 지지된 기판과 대향하도록 배치되며 내부에 유기물질이 담기는 도가니와; 이 도가니에 담긴 유기물질을 증발시키는 데 필요한 열을 제공하는 가열수단과; 이 가열수단에 의하여 증발되는 유기물질을 상기 기판에 분사하는 유기물질 분사노즐을 포함하고,
상기 유기물질 분사노즐은 상기 도가니에 횡방향 이동 가능하게 장착되어 위치 변경 가능한 횡이동 노즐과 상기 도가니에 상하방향 이동 가능하게 장착되어 높이 조절이 상하이동 노즐 중 적어도 하나를 포함하는 박막증착장비.A deposition chamber having a deposition space; Substrate support means for supporting a substrate carried in the deposition space of the deposition chamber; A crucible disposed under the deposition space so as to face a substrate supported by the substrate support means and containing organic material therein; Heating means for providing heat for evaporating the organic material contained in the crucible; An organic material injection nozzle for injecting the organic material evaporated by the heating means onto the substrate,
The organic material injection nozzle is a thin film deposition apparatus that is mounted to the crucible so as to move in a lateral direction, the horizontal movement nozzle that can be changed in position and the crucible is vertically movable so that the height adjustment is at least one of a shandong copper nozzle.
KR1020110011192A 2011-02-08 2011-02-08 Crucible Assembly for Thin Film Deposition and Thin Film Deposition Apparatus with the Same KR101240945B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110011192A KR101240945B1 (en) 2011-02-08 2011-02-08 Crucible Assembly for Thin Film Deposition and Thin Film Deposition Apparatus with the Same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110011192A KR101240945B1 (en) 2011-02-08 2011-02-08 Crucible Assembly for Thin Film Deposition and Thin Film Deposition Apparatus with the Same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20120090649A true KR20120090649A (en) 2012-08-17
KR101240945B1 KR101240945B1 (en) 2013-03-11

Family

ID=46883674

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110011192A KR101240945B1 (en) 2011-02-08 2011-02-08 Crucible Assembly for Thin Film Deposition and Thin Film Deposition Apparatus with the Same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101240945B1 (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140141311A (en) * 2013-05-31 2014-12-10 삼성디스플레이 주식회사 Cubicle apparatus and deposition apparatus with the same
KR20150065308A (en) * 2013-12-05 2015-06-15 주식회사 선익시스템 Linear Type Evaporator for Vapor Deposition of Thin Film
KR20150121453A (en) * 2014-04-21 2015-10-29 엘지전자 주식회사 Device for providing deposition material and Deposition apparatus including the same
KR101711588B1 (en) * 2015-09-30 2017-03-03 주식회사 선익시스템 Evaporation source

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101832242B1 (en) 2016-11-30 2018-02-26 홍경만 Cleaning Apparatus for Cylinder Head
KR20210028314A (en) 2019-09-03 2021-03-12 삼성디스플레이 주식회사 Deposition apparatus

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200206005Y1 (en) 1996-10-23 2000-12-01 이구택 The nozzle supporter with spray width controll
JP4576326B2 (en) * 2005-01-21 2010-11-04 三菱重工業株式会社 Vacuum deposition equipment
KR101196517B1 (en) * 2005-04-21 2012-11-01 김명희 Evaporation cell with large-capacity crucibles for large-size OLED manufacturing
KR20070043541A (en) * 2005-10-21 2007-04-25 삼성에스디아이 주식회사 Apparatus of thin film evaporation and method for thin film evaporation using the same

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140141311A (en) * 2013-05-31 2014-12-10 삼성디스플레이 주식회사 Cubicle apparatus and deposition apparatus with the same
KR20150065308A (en) * 2013-12-05 2015-06-15 주식회사 선익시스템 Linear Type Evaporator for Vapor Deposition of Thin Film
KR20150121453A (en) * 2014-04-21 2015-10-29 엘지전자 주식회사 Device for providing deposition material and Deposition apparatus including the same
KR101711588B1 (en) * 2015-09-30 2017-03-03 주식회사 선익시스템 Evaporation source

Also Published As

Publication number Publication date
KR101240945B1 (en) 2013-03-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101240945B1 (en) Crucible Assembly for Thin Film Deposition and Thin Film Deposition Apparatus with the Same
KR102082192B1 (en) Apparatus for depositing evaporated material, distribution pipe, vacuum deposition chamber, and method for depositing an evaporated material
KR20070048931A (en) Apparatus and method for deposition organic compounds
US20210265605A1 (en) Film formation device, vapor-deposited film formation method, and organic el display device production method
KR20140022804A (en) Vapor-deposition device, vapor-deposition method, organic el display, and lighting device
KR101633112B1 (en) Source for vacuum thermal evaporation of organic thin film
KR101240426B1 (en) Organic Material Nozzle, Crucible Assembly for Depositing Organic Thin Film and Thin Film Deposition Apparatus with the Same
KR102005835B1 (en) Linear evaporation source having slit nozzle, and apparatus having the same
JP2017538039A (en) Material deposition system and method for depositing material in a material deposition system
KR20140025795A (en) Selective linear evaporating apparatus
KR102662181B1 (en) Deposition source, deposition apparatus, and methods for depositing evaporation material
KR101240946B1 (en) Crucible Assembly for Thin Film Deposition and Thin Film Deposition Apparatus with the Same
KR20190038754A (en) Material deposition arrangement, vacuum deposition system, and methods therefor
KR20130068926A (en) Evaporating source and vacuum depositing equipment including the evaporating source
KR20170057646A (en) Apparatus of deposition having radiation angle controlling plate
TWI607103B (en) Deposition source and deposition apparatus having the same
KR20150017866A (en) Thin film deposition processing apparatus
KR20150012383A (en) Thin film deposition processing apparatus
KR102144849B1 (en) Deposition apparatus for flat panel display device
KR20150110872A (en) Apparatus for Manufacturing OLED Device Specimen
KR102229164B1 (en) High temperature evaporation source
KR102114313B1 (en) Deposition apparatus and deposition method using the same
KR20070082699A (en) Array method of linear type crucible with multi nozzles for large-size oled deposition
KR20190081586A (en) Glass deposition apparatus
TWI816883B (en) Deposition apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee