KR20120078126A - Apparatus of evaporation for fabricating the oled and method of evaporation using the same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A deposition apparatus for manufacturing an OLED(Organic Electro Luminescent Device) and a depositing method using the same are provided to improve manufacturing yield by preventing a defective pattern cause by color mixture between sub pixels. CONSTITUTION: A deposition unit(125) includes a body and a gas outlet. The body consists of a bottom side and a lateral side in order to contain a deposition source in a vacuum chamber. A heating unit(130) is composed in order to surround the body of the deposition unit. A shadow mask(150) is formed while having a plurality of first openings in the top of the deposition unit. A blocking partition(140) is located between the deposition unit and the shadow mask and includes a plurality of hallow multiple columns of a first height and a second aperture of a lattice shape.

Description

유기전계 발광소자 제조용 증착장치 및 이를 이용한 증착 방법{Apparatus of evaporation for fabricating the OLED and method of evaporation using the same}Apparatus of evaporation for fabricating the OLED and method of evaporation using the same}

본 발명은 유기전계 발광소자 제조 시 이용하는 증착장치에 관한 것으로, 특히 증착 입사각을 개선 조절할 수 있는 유기 발광 물질 등의 진공 열 증착 공정에 이용되는 증착장치 및 이를 이용한 증착방법에 관한 것이다.
The present invention relates to a deposition apparatus used in manufacturing an organic light emitting device, and more particularly, to a deposition apparatus used in a vacuum thermal deposition process such as an organic light emitting material that can improve and control the deposition incident angle, and a deposition method using the same.

일반적으로, 유기전계 발광소자는 전자(electron)를 주입하는 음극(cathode)과 정공(hole)을 주입하는 양극(anode)으로부터 이들 두 전극 사이에 개재된 유기 발광층 내부로 각각 전자와 정공을 주입시켜, 주입된 전자(electron)와 정공(hole)이 결합한 엑시톤(exciton)이 여기상태로부터 기저상태로 떨어질 때 발광하는 것을 이용한 표시소자이다.In general, an organic light emitting device injects electrons and holes into the organic light emitting layer interposed between the two electrodes from a cathode for injecting electrons and an anode for injecting holes, respectively. And a display device that emits light when an exciton in which injected electrons and holes are coupled falls from an excited state to a ground state.

이러한 원리에 의해 유기전계 발광소자가 구동되므로 인해 종래의 박막 액정표시소자와는 달리 별도의 광원을 필요로 하지 않으므로 소자의 부피와 무게를 줄일 수 있는 장점이 있으므로 최근 평판표시소자로써 주목받고 있다.Since the organic light emitting diode is driven by this principle, unlike the conventional thin film liquid crystal display, it does not need a separate light source, and thus has been attracting attention as a flat panel display because it has an advantage of reducing the volume and weight of the device.

통상적으로, 유기전계 발광소자의 유기 발광층은 복수의 기능층(정공 주입층, 정공 수송층, 발광 물질층, 전자 수송층, 전자 주입층 등)을 포함하고, 이러한 기능층의 조합 및 배열 등을 통해 발광 성능을 더욱 발현하게 된다. In general, the organic light emitting layer of the organic light emitting device includes a plurality of functional layers (hole injection layer, hole transport layer, light emitting material layer, electron transport layer, electron injection layer, etc.), and emit light through a combination and arrangement of such functional layers. Performance is further expressed.

전술한 구성을 갖는 유기전계 발광소자의 제조에 있어, 유기 발광층은 열 진공 증착 공정을 이용하여 유기 발광 물질을 기판 상에 증착함으로써 형성하는 것이 일반적이다. In the manufacture of the organic light emitting device having the above-described configuration, the organic light emitting layer is generally formed by depositing an organic light emitting material on a substrate using a thermal vacuum deposition process.

종래의 증착수단을 이용한 열 진공 증착 공정을 통한 유기 발광층의 형성에 대해 간단히 설명한다.The formation of the organic light emitting layer through a thermal vacuum deposition process using a conventional deposition means will be briefly described.

도 1은 유기 발광 물질 증착 시 이용되는 종래의 증착장치를 도시한 단면도이며, 도 2는 종래의 유기발광 소자 제조용 증착장치를 이용한 진공 열 증착 공정을 진행하여 기판 상에 유기 발광층을 형성하는 단계를 도시한 도면이다. 1 is a cross-sectional view illustrating a conventional deposition apparatus used for depositing an organic light emitting material, and FIG. 2 illustrates a process of forming an organic emission layer on a substrate by performing a vacuum thermal deposition process using a conventional deposition apparatus for manufacturing an organic light emitting device. Figure is shown.

우선, 유기 발광층 형성을 위해 사용되는 종래의 증착장치(1)에 대해 설명하면, 도시한 바와 같이, 종래의 증착장치(1)는 증착수단(10)과 가열수단(30), 쉐도우 마스크(90) 및 진공챔버(95)를 포함하여 구성되고 있다. First, the conventional deposition apparatus 1 used to form the organic light emitting layer will be described. As shown in the drawing, the conventional deposition apparatus 1 includes the deposition means 10, the heating means 30, and the shadow mask 90. ) And a vacuum chamber (95).

상기 증착수단(10)은 크게 증착원(40)을 투입시키고 승화된 증착원 기체(43)가 배출되는 배출구를 포함하는 배출구부(15)와 상기 증착원(40)을 담는 원통 형태의 몸통(20)으로 이루어지고 있다.The deposition means 10 has a large cylindrical body containing the evaporation source (15) and the evaporation source (40) and the outlet (15) including an outlet for discharging the evaporation source gas 43 is largely put into the deposition source (40) ( 20).

이때, 상기 진공 챔버(95) 내부에는 상기 증착수단(10)이 안착되는 함입부를 가지며 그 내부에 열선이 구비된 가열수단(30)이 구비되고 있다. At this time, the vacuum chamber 95 has a recess in which the deposition means 10 is seated and a heating means 30 having a heating wire therein is provided.

전술한 구성을 갖는 종래의 증착장치(1)를 이용한 유기 발광층의 형성 과정을 살펴보면, 유기 발광층을 이루는 유기 발광 물질의 증착원(40)은 상기 증착수단(10)의 몸통(20)의 내부에 분말 상태로 위치하고 있다. Looking at the process of forming the organic light emitting layer using the conventional deposition apparatus 1 having the above-described configuration, the deposition source 40 of the organic light emitting material constituting the organic light emitting layer is formed inside the body 20 of the deposition means 10. Located in powder state.

한편, 진공이 유지되는 챔버(미도시) 내부에서 상기 증착수단(10)이 가열수단(30) 내부에 합입된 상태를 이루게 되면, 상기 가열수단(30)이 가동하여 상기 증착장치(10)의 몸통(20)을 가열하게 되면, 상기 몸통(20) 내부에 위치하는 유기 발광 물질로 이루어진 증착원(40)에 열이 전도되며, 이렇게 전도되는 열에 의해 상기 분말 상태의 증착원(40)이 가열됨으로써 승화 또는 기화된다. On the other hand, when the deposition means 10 is incorporated into the heating means 30 in a chamber (not shown) in which vacuum is maintained, the heating means 30 is operated to operate the deposition apparatus 10. When the body 20 is heated, heat is conducted to the deposition source 40 made of the organic light emitting material located inside the body 20, and the powdered deposition source 40 is heated by the heat thus conducted. Thereby sublimation or vaporization.

이렇게 승화 또는 기화된 증착원 기체(35)는 상기 증착수단(10)의 배출부(15)를 통해 배출되며, 상기 증착수단(10)의 배출부(15) 상부에 위치하는 다수의 개구(oa)를 갖는 쉐도우 마스크(90)를 통해 선택적으로 기판(80) 상에 증착됨으로서 유기 발광층(82)이 상기 기판(80) 상에 형성되는 것이다.The deposition source gas 35 sublimed or vaporized is discharged through the discharge part 15 of the deposition means 10, and a plurality of openings oa positioned above the discharge part 15 of the deposition means 10. The organic light emitting layer 82 is formed on the substrate 80 by being selectively deposited on the substrate 80 through the shadow mask 90 having the ().

이때, 상기 기판(80)의 크기에 따라 하나의 증착수단(10)이 이용될 수도 있으며, 또는 기판(80)이 대면적인 경우 2개 이상 다수개의 증착수단이 이용될 수 있다. In this case, one deposition means 10 may be used according to the size of the substrate 80, or two or more deposition means may be used when the substrate 80 is large.

한편, 도 3은 종래의 증착장치를 이용하여 쉐도우 마스크를 이용하여 진공 열 증착을 진행하는 것을 도시한 단면도로서 쉐도우 마스크와 기판이 안착된 부분을 확대 도시한 도면이다. Meanwhile, FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating vacuum thermal deposition using a shadow mask using a conventional deposition apparatus and an enlarged view of a portion on which a shadow mask and a substrate are seated.

도 2 및 도 3에 도시한 바와같이, 기판(80)과 쉐도우 마스크(90)는 완전 밀착된 구성을 갖지 않음을 알 수 있다. 따라서, 증착수단(10)으로부터 승화 또는 기화된 기체(43)가 상기 쉐도우 마스크(90)를 개구(oa)를 통해 기판(80)에 증착되는데, 기체(43)의 상기 개구(oa)로의 입사각이 작을 경우 개구(oa)가 대응되는 원하는 서브픽셀(SP1)에 증착이 이루어지지 않고, 이웃한 서브픽셀(SP2)에 증착됨으로써 서로 다른 색을 발광하는 유기 물질의 섞임이 발생하여 원하는 색상 구현을 하지 못하는 표시불량을 초래하고 있는 실정이다. As shown in FIG. 2 and FIG. 3, it can be seen that the substrate 80 and the shadow mask 90 do not have a completely close configuration. Accordingly, a sublimation or vaporized gas 43 from the vapor deposition means 10 deposits the shadow mask 90 through the opening oa to the substrate 80, and the incident angle of the gas 43 into the opening oa. In this case, the deposition is not performed on the desired subpixel SP1 corresponding to the opening oa, but is deposited on the neighboring subpixel SP2, so that mixing of organic materials emitting different colors occurs, thereby achieving desired color. It is causing the display failure that can not be.

더욱이 이러한 문제는 대 면적의 기판(80)과 쉐도우 마스크(90)를 이용하는 경우, 금속재질로 이루어진 쉐도우 마스크(90)의 처짐 등이 발생함으로써 더욱더 기판(80)과 쉐도우 마스크(90) 간이 이격간격이 증가하게 됨으로써 유기 물질의 증착 시 유기물질 섞임에 의한 패턴 불량이 더욱더 심각하게 발생되고 있다.
In addition, this problem is caused when the large-area substrate 80 and the shadow mask 90 is used, the deflection of the shadow mask 90 made of a metal material, such as the gap between the substrate 80 and the shadow mask 90 further apart. This increase causes more serious pattern defects due to mixing of organic materials during deposition of organic materials.

본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 증착수단을 통해 승화 또는 기화된 증착원 기체의 쉐도우 마스크로의 입사 각도를 조절하여 이웃한 서브픽셀로의 증착을 방지할 수 있는 증착장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described problem, and provides a deposition apparatus capable of preventing deposition on neighboring subpixels by adjusting an incident angle of a sublimation or vaporized deposition source gas into a shadow mask through deposition means. Its purpose is to provide.

나아가 증착 시 패턴 불량 및 하나의 서브픽셀 내에서 증착 물질 섞임을 억제할 수 있는 증착방법을 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.Furthermore, another object of the present invention is to provide a deposition method that can suppress deposition defects and mixing of deposition materials in one subpixel.

또한, 증착수단의 장축 방향으로의 증착 각도를 향상시키는 것을 또 다른 목적으로 한다.
It is another object of the present invention to improve the deposition angle in the longitudinal direction of the vapor deposition means.

전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유기전계 발광소자용 증착 장치는, 진공 챔버와; 상기 진공 챔버 내부에 증착원을 담을 수 있도록 밑면과 측면으로 이루어진 속이 형태의 몸통과, 기체 배출구를 구비한 증착수단과; 상기 증착수단의 몸통을 감싸며 구성된 가열수단과; 상기 증착수단 상부로 다수의 제 1 개구를 가지며 형성된 쉐도우 마스크와; 상기 증착수단과 상기 쉐도우 마스크 사이에 위치하며 속이 빈 제 1 높이의 다각기둥이 다수 구비되어 평면적으로 격자형태의 제 2 개구를 갖는 블록킹 파티션을 포함한다. Deposition apparatus for an organic light emitting device according to the present invention for achieving the above object, a vacuum chamber; Deposition means having a body of a hollow form consisting of a bottom surface and a side so as to contain a deposition source in the vacuum chamber, the gas outlet; Heating means wrapped around the body of the deposition means; A shadow mask formed with a plurality of first openings above the deposition means; A blocking partition having a plurality of hollow first height polygonal columns positioned between the deposition means and the shadow mask and having a second lattice shape in plan view.

이때, 상기 블록킹 파티션의 각 측벽에는 냉각수단이 구비될 수 있다.At this time, each side wall of the blocking partition may be provided with a cooling means.

또한, 상기 블록킹 파티션의 각 제 2 개구의 평면 형태는 정사각형, 직사각형, 평행사변형, 중앙부가 꺾인 직사각형, 다각형 중 어느 하나인 것이 특징이다. In addition, the planar shape of each of the second openings of the blocking partition may be any one of a square, a rectangle, a parallelogram, a rectangle with a central portion, and a polygon.

상기 제 1 높이는 50mm 내지 400mm인 것이 특징이며, 상기 블록킹 파티션은 금속재질인 SUS 또는 알루미늄으로 이루어진 것이 특징이다. The first height is characterized in that the 50mm to 400mm, the blocking partition is characterized in that made of SUS or aluminum of a metal material.

상기 블록킹 파티션은 증착 공정 진행시 그 표면이 0℃ 내지 80℃를 유지하는 것이 특징이다. The blocking partition is characterized in that the surface maintains 0 ℃ to 80 ℃ during the deposition process.

또한, 상기 블록킹 파티션은 상기 쉐도우 마스크와 1mm 내지 500mm의 이격간격을 갖도록 배치된 것이 특징이다.In addition, the blocking partition is arranged to have a spaced interval of 1mm to 500mm with the shadow mask.

또한, 상기 블록킹 파티션의 상기 쉐도우 마스크와 마주하는 부분의 각 개구의 서로 마주하는 양측벽 상부에 증착원 기체의 상기 쉐도우 마스크 표면으로의 입사각 을 세밀히 조절하기 위한 입사각 제한 날개가 구비될 수 있으며, 이때, 상기 각 개구 내부의 서로 마주하는 2개의 양측벽 중 어느 하나의 마주하는 양측면은 그 중앙부로 갈수록 더 두껍게 형성되는 구조를 이루는 것이 특징이다. In addition, an angle of incidence limiting wing for finely controlling the angle of incidence of the deposition source gas onto the shadow mask surface may be provided on both sidewalls of each of the openings facing the shadow mask of the blocking partition. Each of the two opposing side surfaces of the two opposing side walls in each of the openings is formed to have a thicker structure toward the center portion thereof.

또한, 상기 블록킹 파티션은 상기 증착수단으로부터 발생한 증착원 기체를 상기 쉐도우 마스크의 표면과 70도 내지 90도의 입사각을 가지며 입사되도록 상기 증착원 기체의 가이드 역할을 하는 것이 특징이다. The blocking partition may serve as a guide of the deposition source gas such that the deposition source gas generated from the deposition means is incident with the surface of the shadow mask at an angle of incidence of 70 degrees to 90 degrees.

또한, 상기 증착수단은 하나의 몸통과 하나의 배출구를 갖도록 구성됨으로써 포인스 소스 형태를 이루거나, 또는 하나의 몸통과 다수의 배출구를 갖도록 구성됨으로써 리니어 소스 형태를 이루는 것이 특징이다. In addition, the deposition means is configured to have a body and one outlet to form a poin source, or is configured to have a body and a plurality of outlets to form a linear source form.

본 발명의 실시예에 따른 유기전계 발광소자 제조용 증착장치를 이용한 증착방법은, 진공 챔버와, 상기 진공 챔버 내부에 증착원을 담을 수 있도록 밑면과 측면으로 이루어진 속이 형태의 몸통과, 기체 배출구를 구비한 증착수단과, 상기 증착수단의 몸통을 감싸며 구성된 가열수단과, 상기 증착수단 상부로 다수의 제 1 개구를 가지며 형성된 쉐도우 마스크와, 상기 증착수단과 상기 쉐도우 마스크 사이에 위치하며 속이 빈 제 1 높이의 사각기둥이 다수 구비되어 평면적으로 격자형태의 제 2 개구를 갖는 블록킹 파티션을 포함하는 유기전계 발광소자 제조용 증착장치를 이용한 증착방법에 있어서, 상기 증착수단의 몸통 내부에 증착원을 구비하는 단계와; 상기 진공 챔버 내부를 진공의 분위기로 만드는 단계와; 상기 가열수단을 온(on)시켜 상기 증착수단을 가열하여 상기 증착원을 승화 또는 기화시켜 증착원 기체를 발생시키는 단계와; 상기 쉐도우 마스크 상부에 기판을 안착시키는 단계와; 상기 증착원 기체 중 상기 쉐도우 마스크의 표면을 향해 제 1 입사각을 가지며 입사함으로써 상기 블록킹 파티션의 제 2 개구 내부의 측벽과 접촉하지 않은 증착원 기체만을 상기 쉐도우 마스크의 제 1 개구로 입사시켜 상기 제 1 개구에 대응하는 기판 상에 증착시키는 단계를 포함한다. Deposition method using a deposition apparatus for manufacturing an organic light emitting device according to an embodiment of the present invention, a vacuum chamber, and a body of a hollow form consisting of the bottom and side so as to contain a deposition source in the vacuum chamber, and a gas outlet A vapor deposition means, a heating means configured to surround the body of the vapor deposition means, a shadow mask formed with a plurality of first openings above the vapor deposition means, and a hollow first height located between the vapor deposition means and the shadow mask. A deposition method using a deposition apparatus for manufacturing an organic light emitting device comprising a blocking partition having a plurality of square pillars having a second opening of a lattice shape in a plane, comprising the steps of: providing a deposition source inside a body of the deposition means; ; Making the interior of the vacuum chamber a vacuum atmosphere; Turning on the heating means to heat the deposition means to sublimate or vaporize the deposition source to generate a deposition source gas; Mounting a substrate on top of the shadow mask; The deposition source gas is incident to the surface of the shadow mask and has a first angle of incidence so that only the deposition source gas that is not in contact with the sidewall inside the second opening of the blocking partition is incident to the first opening of the shadow mask. Depositing on the substrate corresponding to the opening.

이때, 상기 블록킹 파티션은 그 내부에 냉각수단이 구비되며, 상기 증착원 기체의 증착 진행 시 상기 냉각수단을 온(on)시켜 상기 블록킹 파티션 표면의 온도를 낮춤으로써 상기 제 1 입사각보다 낮은 입사각을 가지며 상기 블록킹 파티션의 제 2 개구로 입사되는 증착원 기체는 상기 블록킹 파티션의 제 2 개구 내부의 측벽에 증착되도록 하는 것이 특징이다. In this case, the blocking partition has a cooling means therein, and has a lower incident angle than the first incident angle by turning on the cooling means to lower the temperature of the surface of the blocking partition when the deposition source gas is deposited. Deposition source gas incident to the second opening of the blocking partition is characterized in that to be deposited on the side wall inside the second opening of the blocking partition.

또한, 상기 제 1 입사각은 70도 내지 90도인 것이 특징이다.
In addition, the first incident angle is characterized in that 70 to 90 degrees.

본 발명에 따른 유기전계 발광 소자 제조에 이용되는 증착장치는 쉐도우 마스크와 증착수단 사이에 다수의 개구를 갖는 블록킹 파티션을 구비하여 증착수단으로부터 나온 증착원 기체의 상기 쉐도우 마스크로의 입사 각도를 조절함으로서 쉐도우 마스크와 기판이 이격하여 형성된다 하더라도 상기 쉐도우 마스크의 개구에 대응하는 서브픽셀 이외에 이와 이웃하는 서브픽셀로 증착원 기체가 증착되는 억제하고, 이로 인해 서브픽셀간의 혼색에 의한 패턴 불량을 방지함으로써 수율을 향상시키는 효과가 있다.
The deposition apparatus used for manufacturing the organic light emitting device according to the present invention includes a blocking partition having a plurality of openings between a shadow mask and the deposition means, thereby controlling the angle of incidence of the deposition source gas from the deposition means into the shadow mask. Although the shadow mask and the substrate are formed apart from each other, the deposition source gas is suppressed from being deposited in the neighboring subpixels other than the subpixels corresponding to the openings of the shadow mask, thereby preventing the pattern defect due to the mixed color between the subpixels. Has the effect of improving.

도 1은 유기 발광 물질 증착 시 이용되는 종래의 증착장치를 도시한 단면도.
도 2는 종래의 유기발광 소자 제조용 증착장치를 이용한 진공 열 증착 공정을 진행하여 기판 상에 유기 발광층을 형성하는 단계를 도시한 도면.
도 3은 종래의 증착장치를 이용하여 쉐도우 마스크를 이용하여 진공 열 증착을 진행하는 것을 도시한 단면도로서 쉐도우 마스크와 기판이 안착된 부분을 확대 도시한 도면.
도 4a와 4b는 본 발명의 실시예에 따른 유기전계 발광소자 제조용 증착장치에 대한 단면도로서 도 4a에서는 포인트 소스 형태의 증착수단을 도 4b에서는 리니어 타입 소스 형태의 증착수단을 도시한 도면.
도 5a 내지 5d는 본 발명의 실시예에 유기전계 발광소자 제조용 증착장치에 일 구성요소인 블록킹 파티션에 대한 사시도.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자 제조용 증착장치를 이용하여 진공 열 증착을 실시하는 단계를 도시한 제조 공정 단면도로서 블록킹 파티션과 쉐도우 마스크 및 기판과 증착원 기체만을 도시한 도면.1 is a cross-sectional view showing a conventional deposition apparatus used when depositing an organic light emitting material.
2 is a view illustrating a step of forming an organic light emitting layer on a substrate by performing a vacuum thermal deposition process using a conventional deposition apparatus for manufacturing an organic light emitting device.
FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a vacuum thermal deposition process using a shadow mask using a conventional deposition apparatus, and an enlarged view of a portion where a shadow mask and a substrate are seated.
4A and 4B are cross-sectional views of a deposition apparatus for manufacturing an organic light emitting device according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 4A illustrates deposition means in the form of a point source, and deposition means in the form of a linear type source in FIG. 4B.
Figures 5a to 5d is a perspective view of a blocking partition as one component in a deposition apparatus for manufacturing an organic light emitting device according to an embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view of a manufacturing process showing a step of performing vacuum thermal deposition using a deposition apparatus for manufacturing an organic electroluminescent device according to an embodiment of the present invention, showing only a blocking partition, a shadow mask, a substrate, and a deposition source gas.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 4a와 4b는 본 발명의 실시예에 따른 유기전계 발광소자 제조용 증착장치에 대한 단면도로서 도 4a에서는 포인트 소스 형태의 증착수단을 도 4b에서는 리니어 타입 소스 형태의 증착수단을 도시하였으며, 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하였다. 도 5a 및 5b는 본 발명의 실시예에 유기전계 발광소자 제조용 증착장치에 일 구성요소인 블록킹 파티션에 대한 사시도이다. 4A and 4B are cross-sectional views of a deposition apparatus for manufacturing an organic light emitting device according to an exemplary embodiment of the present invention. In FIG. 4A, the deposition means in the form of a point source is illustrated, and the deposition means in the form of a linear type source is illustrated in FIG. 4B. The same reference numerals are used for the same reference numerals. 5A and 5B are perspective views of a blocking partition as one component of a deposition apparatus for manufacturing an organic light emitting device according to an embodiment of the present invention.

또한, 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자 제조용 증착장치를 이용하여 진공 열 증착을 실시하는 단계를 도시한 제조 공정 단면도로서 증착원 기체를 화살표로서 도시하였다.FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a deposition source gas as an arrow as a manufacturing process sectional view showing a step of performing vacuum thermal deposition using a deposition apparatus for manufacturing an organic electroluminescent device according to an embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자 제조용 증착장치를 이용하여 진공 열 증착을 실시하는 단계를 도시한 제조 공정 단면도로서 블록킹 파티션과 쉐도우 마스크 및 기판만을 확대 도시하였으며, 증착원 기체를 화살표로서 도시하였다.FIG. 6 is a cross-sectional view of a manufacturing process illustrating a step of performing vacuum thermal deposition using a deposition apparatus for manufacturing an organic electroluminescent device according to an embodiment of the present invention, in which only the blocking partition, the shadow mask, and the substrate are enlarged. Shown as an arrow.

도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조용 증착장치(100)는 증착원을 담는 몸통(110)과 증착원이 가열수단(미도시)에 의해 기화 또는 승화되어 기체화가 이루어졌을 때 상기 기체가 배출되는 배출구(120)를 포함하는 증착수단(125)과, 상기 증착수단(125) 주변에 위치하여 상기 증착수단(125)을 가열시키는 가열수단(미도시)과, 상기 증착수단(125) 상부에 그 각각이 제 1 높이(h1)의 속이 빈 사각기둥 형태를 가지며 이러한 사각기둥이 다수 부착되어 상부에서 바라본 그 평면형태는 격자구조를 이루는 블록킹 파티션(140)과 상기 블록킹 파티션(140) 상부에 구비된 다수의 제 1 개구(oa1)를 갖는 쉐도우 마스크(150)를 포함하여 구성되고 있다. As shown, the deposition apparatus 100 for manufacturing an organic light emitting device according to the present invention is the body 110 containing the deposition source and the deposition source is vaporized or sublimed by a heating means (not shown) when the vaporization is made Deposition means 125 including an outlet 120 through which gas is discharged, Heating means (not shown) positioned around the deposition means 125 to heat the deposition means 125, and The deposition means 125 Each of them has a hollow rectangular column shape having a first height h1, and a plurality of such rectangular columns are attached to each other, and the planar shape viewed from the top is a blocking partition 140 and the blocking partition 140 forming a lattice structure. It is configured to include a shadow mask 150 having a plurality of first openings (oa1) provided on the top.

이때, 상기 증착수단(125)은 도 4a에 도시한 바와같이 포인트 소스 형태로 하나의 몸통(110)과 하나의 배출구(120)를 갖도록 이루어지거나, 또는 도 4b에 도시한 바와같이, 일 방향으로 긴 하나의 몸통(110)에 다수의 배출구(110)를 갖는 리니어 타입 소스 형태를 이루는 것이 특징이다. At this time, the deposition means 125 is made to have one body 110 and one outlet 120 in the form of a point source, as shown in Figure 4a, or in one direction, as shown in Figure 4b It is characterized by forming a linear type source having a plurality of outlets 110 in one long body (110).

하나의 몸통(도 4a의 110)과 하나의 배출구(도 4a의 120)를 갖는 상기 포인트 소스 형태의 증착수단(도 4a의 100)은 10인치 이하의 상대적으로 작은 면적을 갖는 기판에의 진공 열 증착 시 이용되며, 하나의 몸통(도 4b의)에 다수의 배출구(도 4b의 120)를 갖는 리니어 타입 소스 형태의 증착수단(125)은 730 mm x 460mm 이상의 대면적을 갖는 기판(미도시)에의 진공 열 증착시 이용된다.
The point source type deposition means (100 in FIG. 4A) with one body (110 in FIG. 4A) and one outlet (120 in FIG. 4A) is subjected to vacuum heat to a substrate having a relatively small area of 10 inches or less. The deposition means 125 in the form of a linear type source having a plurality of outlets (120 in FIG. 4B) in one body (see FIG. 4B) and having a large area of 730 mm × 460 mm or more (not shown) It is used during the vacuum thermal vapor deposition to.

한편, 본 발명의 실시예에 따른 증착장치(100)에 있어 가장 특징적인 구성요소인 블록킹 파티션(140)에 대해 조금 더 상세히 설명한다.On the other hand, the blocking partition 140, which is the most characteristic component in the deposition apparatus 100 according to an embodiment of the present invention will be described in more detail.

상기 블록킹 파티션(140)은 그 각각의 제 2 개구(oa2)의 형태가 정사각형 또는 직사각형 형태를 이루거나, 또는 정사각형 또는 직사각형이 일방향으로 기울어져 평행사변형 형태를 이룰 수도 있으며, 중앙부가 꺾인 직사각형 형태 등 다양한 다각형 형태를 이룰 수 있으며, 기판상에 구현된 픽셀의 형태에 따라서 자유롭게 변형될 수 있다. The blocking partition 140 may have a square or rectangular shape in its second opening oa2, or a parallel or rectangular shape in which a square or rectangle is inclined in one direction, and a rectangular shape having a central portion bent. Various polygonal shapes may be achieved and may be freely deformed according to the shape of the pixel implemented on the substrate.

또한, 상기 블록킹 파티션(140)은 그 높이(h1)가 50mm 내지 400mm인 것이 특징이다.In addition, the blocking partition 140 has a height h1 of 50 mm to 400 mm.

또한, 상기 블록킹 파티션(140)은 금속재질 예를들면 SUS 또는 알루미늄(Al)로 이루어지며 그 내부에 냉각수단(145)이 구비된 것이 특징이다. 이때, 상기 냉각수단(145)은 상기 블록킹 파티션(140)을 이루는 각각의 측벽에는 냉각수가 이동하는 냉각수 이동로가 구비되어, 냉각수의 공급에 의해 냉각되는 것을 특징으로 한다. In addition, the blocking partition 140 is made of a metal material, for example, SUS or aluminum (Al) is characterized in that the cooling means 145 is provided therein. At this time, the cooling means 145 is provided on each side wall constituting the blocking partition 140 is provided with a cooling water moving path for moving the cooling water, it is characterized in that the cooling by the supply of the cooling water.

이러한 냉각수단(145)은 상기 블록킹 파티션(140)에 반드시 구비될 필요는 없으며, 상기 블록킹 파티션(140)과 가열수단 간의 수직 거리가 80mm이상인 경우 상기 블록킹 파티션을 이루는 재질 특성상 상기 가열수단보다 낮은 온도가 되므로 생략되어도 무방하다. The cooling means 145 is not necessarily provided in the blocking partition 140, the lower temperature than the heating means due to the material properties of the blocking partition when the vertical distance between the blocking partition 140 and the heating means is 80mm or more. May be omitted.

또한, 상기 블록킹 파티션(140)의 상부에는 증착원 기체의 입사각 제한을 더욱 세밀히 조절할 수 있도록 입사각 제한 날개(142)가 도 5c에 도시한 바와같이 더욱 구비될 수도 있다.In addition, an incident angle limiting wing 142 may be further provided on the blocking partition 140 to further control the angle of incidence of the deposition source gas as illustrated in FIG. 5C.

또한, 도 5d에 도시한 바와같이, 상기 블록킹 파티션(140)에 있어 상기 입사각 제한 날개(142) 이외에 각 개구의 서로 마주하는 2쌍의 양측벽 중 어느 한 쌍의 측벽은 플랫한 형태가 아닌 중앙부로 갈수록 더 두꺼운 두께를 갖는 볼록한 형태로 형성되어 두께 보정부(143)를 이루도록 할 수도 있다. In addition, as shown in FIG. 5D, in the blocking partition 140, any one side wall of two pairs of both side walls facing each other of each opening other than the incident angle limiting wing 142 is not a flat shape but a central portion. Towards to the convex shape having a thicker thickness may be formed to achieve the thickness correction unit 143.

한편, 도 5a 및 5b에 있어서 상기 냉각수단(145)은 블록킹 파티션(140)의 외측면에만 형성된 것처럼 도시되었지만, 각 측벽에 대응하여 상기 냉각수단(145)이 형성되는 것이 특징이다. Meanwhile, although the cooling means 145 is illustrated as being formed only on the outer surface of the blocking partition 140 in FIGS. 5A and 5B, the cooling means 145 is formed to correspond to each side wall.

따라서, 상기 블록킹 파티션(140)은 상기 냉각수단(145)에 의해 증착 챔버(190) 내에서 0℃ 내지 80℃의 표면 온도를 유지하는 것이 특징이다. Therefore, the blocking partition 140 maintains a surface temperature of 0 ° C to 80 ° C in the deposition chamber 190 by the cooling means 145.

이렇게 상기 블록킹 파티션(140) 내부에 냉각수단(145)이 구비됨으로써 상기 증착수단(125)이 가열수단(미도시)에 의해 200℃ 내지 1500℃로 가열되어 증착원(142)을 기화 또는 승화시킴으로써 배출된 증착원 기체(143)가 상기 블록킹 파티션(140)의 제 2 개구(oa2)를 통과하여 쉐도우 마스크(150)로 입사될 때, 쉐도우 기판면을 기준으로 이에 대해 70도 내지 90도를 이루는 제 1 입사각(θ1)보다 작은 제 2 입사각(θ2)을 가지며 입사되는 기체(143)는 상기 블록킹 파티션(140)의 측벽과 접촉하게 된다. As the cooling means 145 is provided in the blocking partition 140, the deposition means 125 is heated to 200 ° C. to 1500 ° C. by a heating means (not shown) to vaporize or sublime the deposition source 142. When the discharged deposition source gas 143 passes through the second opening oa2 of the blocking partition 140 and enters the shadow mask 150, the discharge source gas 143 forms 70 to 90 degrees with respect to the shadow substrate surface. The incident gas 143 having a second incident angle θ2 smaller than the first incident angle θ1 comes into contact with the sidewall of the blocking partition 140.

이 경우 블록킹 파티션(140) 표면의 상대적으로 낮은 온도에 의해 상기 증착원 기체(143)를 냉각시켜 상기 블록킹 파티션(140) 측벽에 증착되며, 특정 범위의 입사각을 가지며 입사되는 증착원 기체(143)만이 최종적으로 상기 쉐도우 마스크(150)의 제 1 개구(oa1)로 입사된다. In this case, the deposition source gas 143 is cooled by the relatively low temperature of the surface of the blocking partition 140 and deposited on the sidewall of the blocking partition 140, and the deposition source gas 143 is incident with a specific angle of incidence. Only the light is finally incident to the first opening o1 of the shadow mask 150.

따라서, 이러한 블록킹 파티션(140)의 역할에 의해 쉐도우 마스크(150)의 제 1 개구(oa1)로 입사되는 기체(143)는 통상 상기 쉐도우 마스크(150)의 표면과 70도 내지 90도의 제 1 입사각(θ1)을 가지며 입사되므로 상기 쉐도우 마스크(150)와 기판(160)간에 이격간격이 있다하더라도 이웃한 서브픽셀(SP2)에 증착되는 일 없이 쉐도우 마스크(150)의 제 1 개구(oa1)에 대응하는 서브픽셀(SP1)에 정확히 증착원 기체(143)가 증착되며, 이로 인해 서브픽셀(SP1, SP2)간의 증착 물질 섞임에 의한 혼색 발생이 억제되며, 패턴불량이 방지될 수 있는 것이 특징이다.Accordingly, the gas 143 incident to the first opening oa1 of the shadow mask 150 by the role of the blocking partition 140 generally has a first incident angle of 70 degrees to 90 degrees with the surface of the shadow mask 150. Since the light source is incident with (θ1), even if there is a gap between the shadow mask 150 and the substrate 160, the shadow mask 150 corresponds to the first opening oA1 of the shadow mask 150 without being deposited on the neighboring subpixel SP2. The deposition source gas 143 is precisely deposited on the subpixel SP1, and thus, color generation due to mixing of deposition materials between the subpixels SP1 and SP2 is suppressed and pattern defects can be prevented.

비교예로서 전술한 구성을 갖는 블록킹 파티션이 없는 종래의 증착수단(도 3의 1)을 이용하여 증착원 기체(143)의 증착을 진행하는 경우, 쉐도우 마스크(150)와 기판(160) 사이의 이격간격이 존재함으로써 상기 제 1 입사각(θ1)보다 작은 제 2 입사각(θ2)을 갖는 증착원 기체(143)가 쉐도우 마스크(150)의 제 1 개구(oa1)로 입사되어 이웃한 서브픽셀(SP2)에도 일부 증착됨을 알 수 있다.As a comparative example, when the deposition source gas 143 is deposited using a conventional deposition means (1 in FIG. 3) without the blocking partition having the above-described configuration, the shadow mask 150 and the substrate 160 may be separated from each other. The presence of the separation interval allows the deposition source gas 143 having the second incident angle θ2 smaller than the first incident angle θ1 to enter the first opening oa1 of the shadow mask 150, thereby adjoining the subpixel SP2. It can be seen that also partially deposited).

하지만, 본 발명에 실시예에 따른 증착장치(100)를 이용하여 진공 열 증착을 실시할 경우, 점선으로 표시된 제 2 상대적으로 작은 입사각을 가지며 쉐도우 마스크(150)로 입사되는 증착원 기체(143)는 블록킹 파티션(140)의 측벽을 향하게 되므로 상기 블록킹 파티션(140)의 측면에 접촉 시 급격히 냉각되어 상기 블록킹 파티션(140)의 측면에 증착되며, 이로 인해 쉐도우 마스크(150)의 제 1 개구(oa1)로 입사는 차단됨으로써 이웃한 서브픽셀(SP2)로의 증착이 방지될 수 있음을 알 수 있다.However, when performing vacuum thermal deposition using the deposition apparatus 100 according to the embodiment of the present invention, the deposition source gas 143 having the second relatively small incident angle indicated by the dotted line and entering the shadow mask 150. Is directed toward the sidewall of the blocking partition 140, so that it rapidly cools upon contact with the side of the blocking partition 140, and is deposited on the side of the blocking partition 140, which causes the first opening of the shadow mask 150 (oa1). It can be seen that the incident light is blocked to prevent deposition on the neighboring subpixel SP2.

본 발명의 실시예에 따른 증착장치(100)에 있어 상기 블록킹 파티션(140)은 작은 입사각을 가지며 입사되는 증착원 기체(143)의 쉐도우 마스크(150) 표면으로의 입사를 원활히 억제하기 위해 상기 증착수단(125)과 상기 쉐도우 마스크(150) 사이에서 상기 쉐도우 마스크(150)에 인접하여 위치하는 것이 특징이다. In the deposition apparatus 100 according to the exemplary embodiment of the present invention, the blocking partition 140 has a small incident angle and is deposited to smoothly suppress the incident of the deposition source gas 143 onto the surface of the shadow mask 150. It is characterized by being located adjacent to the shadow mask 150 between the means 125 and the shadow mask 150.

상기 증착수단(125)과 쉐도우 마스크(150) 사이의 거리는 기판(160) 면적에 따라 차이가 있지만 통상적으로 150mm 내지 1000mm정도가 되고 있으며, 일례로 그 거리가 300mm라 가정하는 경우, 상기 블록킹 파티션(140)은 그 높이(h1)가 50mm 내지 150mm인 것을 사용하는 것이 바람직하다. Although the distance between the deposition means 125 and the shadow mask 150 is different depending on the area of the substrate 160, the distance between the deposition means 125 and the shadow mask 150 is typically about 150 mm to 1000 mm. For example, when the distance is 300 mm, the blocking partition ( 140, it is preferable to use that the height (h1) is 50mm to 150mm.

이때, 상기 블록킹 파티션(140)의 상부 끝단이 상기 쉐도우 마스크(150)와 1mm 내지 500mm 정도의 이격간격을 갖도록 배치한 상태에서 진공 열 증착을 실시함으로써 서브픽셀(SP1, SP2)간 혼색 발생을 억제하고 있는 것이다.At this time, by performing vacuum thermal evaporation with the upper end of the blocking partition 140 disposed so as to have a spaced interval of about 1 mm to 500 mm from the shadow mask 150, the color mixture between the subpixels SP1 and SP2 is suppressed. I'm doing it.

한편, 본 발명의 실시예에 따른 증착장치(100)는 냉각수단(145)을 갖는 블록킹 파티션(140)이 쉐도우 마스크(150)와 증착수단(125) 사이에 구비됨으로써 상기 블록킹 파티션(140)은 상기 쉐도우 마스크(150)와 기판(160)의 표면온도를 낮추는 역할을 하며, 이들 구성요소의 중앙부와 가장자리에서 표면 온도 편차를 5℃ 이하로 유지시키는데 큰 역할을 하는 것이 또 다른 특징이다.On the other hand, in the deposition apparatus 100 according to the embodiment of the present invention, the blocking partition 140 having the cooling means 145 is provided between the shadow mask 150 and the deposition means 125, so that the blocking partition 140 It is another feature that serves to lower the surface temperature of the shadow mask 150 and the substrate 160, and to maintain the surface temperature deviation at 5 ° C or less at the center and edge of these components.

상기 증착수단(125)은 증착원(142)을 기화 또는 승화시키기 위해 통상 가열수단(130)에 의해 200℃ 내지 1500℃의 온도로 가열되며, 이러한 온도를 갖는 상기 증착수단(125)의 영향으로 상기 블록킹 파티션(140)이 구비되지 않는 종래의 증착장치의 경우, 쉐도우 마스크(도 3의 90)와 기판(도 3의 80)에 큰 영향을 주어 기판(도 3의 80)과 쉐도우 마스크(도 3의 90) 표면의 온도 편차를 5℃ 이상이 되도록 하며, 상대적으로 높은 온도 수준이 되도록 함으로써 처짐 등의 문제를 유발시키고 있다.The deposition means 125 is usually heated by a heating means 130 to a temperature of 200 ℃ to 1500 ℃ to vaporize or sublimate the deposition source 142, under the influence of the deposition means 125 having such a temperature In the conventional deposition apparatus without the blocking partition 140, the shadow mask (90 in FIG. 3) and the substrate (80 in FIG. 3) have a great influence on the substrate (80 in FIG. 3) and the shadow mask (FIG. 90 of 3) temperature deviation of the surface to be 5 ℃ or more, and by causing a relatively high temperature level causes problems such as sag.

특히 상대적으로 높은 온도를 갖게 되면 쉐도우 마스크(도 3의 90)의 처짐이 발생하고 이로인해 기판(도 3의 80)과 쉐도우 마스크(도 3의 90)간의 이격간격이 더욱 증가함으로써 진공 열 증착 시 서브픽셀(도 3의 SP1, SP2)간 혼색 및 패턴 불량을 야기한다.In particular, the relatively high temperature causes sagging of the shadow mask (90 in FIG. 3), thereby increasing the separation distance between the substrate (80 in FIG. 3) and the shadow mask (90 in FIG. 3). This causes mixed color and pattern defects between the subpixels (SP1 and SP2 in FIG. 3).

하지만, 본 발명의 실시예에 따른 증착장치(100)는 냉각수단(145)을 구비한 블록킹 파티션(140)이 증착수단(125)과 쉐도우 마스크(150) 사이에 구비되고 있다. 따라서 상기 증착수단(125)으로부터 전달되는 열을 차단함으로써 상기 쉐도우 마스크(150) 및 기판(160) 자체의 평균 표면 온도를 낮추어 처짐 등을 억제할 수 있는 것이 특징이다. However, in the deposition apparatus 100 according to the embodiment of the present invention, the blocking partition 140 having the cooling means 145 is provided between the deposition means 125 and the shadow mask 150. Therefore, by blocking the heat transferred from the deposition means 125 is characterized in that the average surface temperature of the shadow mask 150 and the substrate 160 itself can be lowered to prevent sagging.

이후에는 도 4a, 도 5a 및 도 6을 참조하여 전술한 구성을 갖는 본 발명의 실시예에 따른 유기전계 발광소자 제조용 증착장치를 이용하여 기판 상에 유기 발광층을 형성하는 방법에 대해 간단히 설명한다.Hereinafter, a method of forming an organic light emitting layer on a substrate using a deposition apparatus for manufacturing an organic light emitting device according to an embodiment of the present invention having the above-described configuration will be described with reference to FIGS. 4A, 5A, and 6.

우선, 증착수단(125)의 몸통(120) 내부에 분말 상태의 증착원(142)을 적정량 구비시킨다. First, a proper amount of the evaporation source 142 in a powder state is provided in the body 120 of the evaporation means 125.

이후, 상기 증착원(142)을 몸통(120) 내부에 구비한 상기 증착수단(125)을 쉐도우 마스크(150) 및 블록킹 파티션(140)이 구비된 진공 챔버(190) 내부에 위치시킨 후, 상기 진공 챔버(190) 내부가 진공의 분위기를 갖도록 한다. Thereafter, the deposition means 125 including the deposition source 142 in the body 120 is positioned inside the vacuum chamber 190 provided with the shadow mask 150 and the blocking partition 140. The inside of the vacuum chamber 190 has a vacuum atmosphere.

다음, 상기 증착수단(125)에 구비된 가열수단(125) 더욱 정확히는 상기 증착수단(125)의 몸통(120)를 둘러싸며 구비된 가열수단(125)을 온(on) 시킴으로써 상기 증착수단(125)을 가열한다.Next, the heating means 125 provided in the deposition means 125 more precisely by turning on the heating means 125 provided surrounding the body 120 of the deposition means 125. )).

이때, 상기 블록킹 파티션(140)에 구비된 냉각수단(미도시)을 온(on)시킴으로써 냉각수가 지속적으로 공급되도록 한다.At this time, by turning on the cooling means (not shown) provided in the blocking partition 140 so that the cooling water is continuously supplied.

다음, 상기 증착수단(125)이 충분한 시간 가열되어 증착원(142)이 승화 또는 기화됨으로써 증착원 기체(143)를 발생시키면, 상기 쉐도우 마스크(150) 상부로 기판(160)을 공급하고 유기물의 증착이 이루어져야 할 서브픽셀(SP1)에 대해 상기 쉐도우 마스크(150)의 제 1 개구(oa1)가 위치하도록 얼라인을 실시한다. Next, when the deposition means 125 is heated for a sufficient time to generate the deposition source gas 143 by sublimation or vaporization of the deposition source 142, the substrate 160 is supplied onto the shadow mask 150 and the organic material Alignment is performed such that the first opening oa1 of the shadow mask 150 is positioned with respect to the subpixel SP1 to be deposited.

이후, 상기 기판(160) 상기 증착수단(125)과 상기 블록킹 파티션(140) 사이에 구비된 셔터(미도시)를 개방함으로써 상기 증착수단(125)으로부터 발생된 증착원 기체(143)가 상기 블록킹 파티션(140)을 통과하여 상기 쉐도우 마스크(150)의 제 1 개구(oa1)로 70도 이상의 큰 입사각을 가지며 입사되도록 하여 기판(160)상의 상기 쉐도우 마스크(150)의 제 1 개구(oa1)에 대응되는 선택된 영역에 증착이 이루어지도록 한다.Subsequently, the blocking source gas 143 generated from the deposition means 125 is blocked by opening the shutter (not shown) provided between the substrate 160 and the deposition means 125 and the blocking partition 140. Passes through the partition 140 to the first opening (oa1) of the shadow mask 150 has a large incident angle of 70 degrees or more to enter the first opening (oa1) of the shadow mask 150 on the substrate 160 Allow deposition to occur in the corresponding selected area.

이때, 본 발명의 실시예에 따른 증착장치(100) 특성 상 블록킹 파티션(140)의 역할에 의해 쉐도우 마스크(150)와 기판(160) 사이에 이격간격에 의해 증착이 이루어져야 하는 서브픽셀(SP1)에 대응하여 비교적 정확히 증착이 이루지게 되는 것이 특징이다.
At this time, the subpixel SP1 to be deposited by a spaced interval between the shadow mask 150 and the substrate 160 by the role of the blocking partition 140 due to the characteristics of the deposition apparatus 100 according to an embodiment of the present invention. Corresponding to the feature is that the deposition is made relatively accurately.

100 : 증착 장치 110 : 몸통
120 : 배출구 125 : 증착수단
130 : 가열수단 140 : 블록킹 파티션
142 : 증착원 143 : 증착원 기체
150 : 쉐도우 마스크 190 : 진공챔버
oa1 : 제 1 개구 oa2 : 제 2 개구100: vapor deposition apparatus 110: body
120: outlet 125: vapor deposition means
130: heating means 140: blocking partition
142: deposition source 143: deposition source gas
150: shadow mask 190: vacuum chamber
oa1: first opening oa2: second opening

Claims (14)

진공 챔버와;
상기 진공 챔버 내부에 증착원을 담을 수 있도록 밑면과 측면으로 이루어진 속이 형태의 몸통과, 기체 배출구를 구비한 증착수단과;
상기 증착수단의 몸통을 감싸며 구성된 가열수단과;
상기 증착수단 상부로 다수의 제 1 개구를 가지며 형성된 쉐도우 마스크와;
상기 증착수단과 상기 쉐도우 마스크 사이에 위치하며 속이 빈 제 1 높이의 다각기둥이 다수 구비되어 평면적으로 격자형태의 제 2 개구를 갖는 블록킹 파티션을 포함하는 유기전계 발광소자 제조용 증착장치.
A vacuum chamber;
Deposition means having a body of a hollow form consisting of a bottom surface and a side so as to contain a deposition source in the vacuum chamber, the gas outlet;
Heating means wrapped around the body of the deposition means;
A shadow mask formed with a plurality of first openings above the deposition means;
And a blocking partition having a plurality of hollow first-height polygonal columns positioned between the deposition means and the shadow mask and having a second opening of a lattice shape in plan view.
제 1 항에 있어서,
상기 블록킹 파티션 각 측벽에는 냉각수단이 구비된 것이 특징인 유기전계 발광소자 제조용 증착장치.
The method of claim 1,
Deposition apparatus for manufacturing an organic light emitting device, characterized in that the cooling partition is provided on each sidewall of the blocking partition.
제 1 항에 있어서,
상기 블록킹 파티션의 각 제 2 개구의 평면 형태는 정사각형, 직사각형, 평행사변형, 중앙부가 꺾인 직사각형, 다각형 중 어느 하나인 것이 특징인 유기전계 발광소자 제조용 증착장치.
The method of claim 1,
And a planar shape of each second opening of the blocking partition is any one of a square, a rectangle, a parallelogram, a rectangle with a central portion, and a polygon.
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 높이는 50mm 내지 400mm인 것이 특징인 유기전계 발광소자 제조용 증착장치.
The method of claim 1,
Deposition apparatus for manufacturing an organic light emitting device, characterized in that the first height is 50mm to 400mm.
제 1 항에 있어서,
상기 블록킹 파티션은 금속재질인 SUS 또는 알루미늄으로 이루어진 것이 특징인 유기전계 발광소자 제조용 증착장치.
The method of claim 1,
The blocking partition is a deposition apparatus for manufacturing an organic light emitting device, characterized in that made of a metal material SUS or aluminum.
제 1 항에 있어서,
상기 블록킹 파티션은 증착 공정 진행시 그 표면이 0℃ 내지 80℃를 유지하는 것이 특징인 유기전계 발광소자 제조용 증착장치.
The method of claim 1,
The blocking partition is a deposition apparatus for manufacturing an organic light emitting device, characterized in that the surface is maintained at 0 ℃ to 80 ℃ during the deposition process.
제 1 항에 있어서,
상기 블록킹 파티션은 상기 쉐도우 마스크와 1mm 내지 500mm의 이격간격을 갖도록 배치된 것이 특징인 유기전계 발광소자 제조용 증착장치.
The method of claim 1,
The blocking partition is a deposition apparatus for manufacturing an organic light emitting device, characterized in that disposed so as to have a spaced interval of 1mm to 500mm with the shadow mask.
제 1 항에 있어서,
상기 블록킹 파티션의 상기 쉐도우 마스크와 마주하는 부분의 각 개구의 서로 마주하는 양측벽 상부에 증착원 기체의 상기 쉐도우 마스크 표면으로의 입사각 을 세밀히 조절하기 위한 입사각 제한 날개가 구비된 것이 특징인 유기전계 발광소자 제조용 증착장치.
The method of claim 1,
Organic electroluminescence, characterized in that an incidence angle limiting wing is provided on both side walls of each of the openings facing the shadow mask of the blocking partition so as to finely control the angle of incidence of the deposition source gas onto the shadow mask surface Deposition apparatus for device manufacturing.
제 8 항에 있어서,
상기 각 개구 내부의 서로 마주하는 2개의 양측벽 중 어느 하나의 마주하는 양측면은 그 중앙부로 갈수록 더 두껍게 형성되는 구조를 이루는 것이 특징인 유기전계 발광소자 제조용 증착장치.
The method of claim 8,
Evaporation apparatus for manufacturing an organic light emitting device, characterized in that the opposite side surface of any one of the two side walls facing each other inside each opening forms a structure formed thicker toward the center portion.
제 1 항에 있어서,
상기 블록킹 파티션은 상기 증착수단으로부터 발생한 증착원 기체를 상기 쉐도우 마스크의 표면과 70도 내지 90도의 입사각을 가지며 입사되도록 상기 증착원 기체의 가이드 역할을 하는 것이 특징인 유기전계 발광소자 제조용 증착장치.
The method of claim 1,
And the blocking partition serves as a guide of the deposition source gas such that the deposition source gas generated from the deposition means is incident with the surface of the shadow mask at an angle of incidence of 70 degrees to 90 degrees.
제 1 항에 있어서,
상기 증착수단은 하나의 몸통과 하나의 배출구를 갖도록 구성됨으로써 포인스 소스 형태를 이루거나,
또는 하나의 몸통과 다수의 배출구를 갖도록 구성됨으로써 리니어 소스 형태를 이루는 것이 특징인 유기전계 발광소자 제조용 증착장치.
The method of claim 1,
The vapor deposition means is configured to have a body and one outlet to form a piny source,
Or an evaporation apparatus for manufacturing an organic light emitting device, characterized in that to form a linear source by having a body and a plurality of outlets.
진공 챔버와, 상기 진공 챔버 내부에 증착원을 담을 수 있도록 밑면과 측면으로 이루어진 속이 형태의 몸통과, 기체 배출구를 구비한 증착수단과, 상기 증착수단의 몸통을 감싸며 구성된 가열수단과, 상기 증착수단 상부로 다수의 제 1 개구를 가지며 형성된 쉐도우 마스크와, 상기 증착수단과 상기 쉐도우 마스크 사이에 위치하며 속이 빈 제 1 높이의 사각기둥이 다수 구비되어 평면적으로 격자형태의 제 2 개구를 갖는 블록킹 파티션을 포함하는 유기전계 발광소자 제조용 증착장치를 이용한 증착방법에 있어서,
상기 증착수단의 몸통 내부에 증착원을 구비하는 단계와;
상기 진공 챔버 내부를 진공의 분위기로 만드는 단계와;
상기 가열수단을 온(on)시켜 상기 증착수단을 가열하여 상기 증착원을 승화 또는 기화시켜 증착원 기체를 발생시키는 단계와;
상기 쉐도우 마스크 상부에 기판을 안착시키는 단계와;
상기 증착원 기체 중 상기 쉐도우 마스크의 표면을 향해 제 1 입사각을 가지며 입사함으로써 상기 블록킹 파티션의 제 2 개구 내부의 측벽과 접촉하지 않은 증착원 기체만을 상기 쉐도우 마스크의 제 1 개구로 입사시켜 상기 제 1 개구에 대응하는 기판 상에 증착시키는 단계
를 포함하는 증착 방법.
A vacuum chamber, a hollow body consisting of a bottom surface and a side surface so as to contain a deposition source in the vacuum chamber, a deposition means having a gas outlet, heating means configured to surround the body of the deposition means, and the deposition means. A shadow partition formed with a plurality of first openings upward, and a plurality of hollow squares having a first hollow height located between the deposition means and the shadow mask and having a second grid-shaped opening in a planar shape. In the deposition method using a deposition apparatus for manufacturing an organic light emitting device comprising a,
Providing a deposition source inside the body of the deposition means;
Making the interior of the vacuum chamber a vacuum atmosphere;
Turning on the heating means to heat the deposition means to sublimate or vaporize the deposition source to generate a deposition source gas;
Mounting a substrate on top of the shadow mask;
The deposition source gas is incident to the surface of the shadow mask and has a first angle of incidence so that only the deposition source gas that is not in contact with the sidewall inside the second opening of the blocking partition is incident to the first opening of the shadow mask. Depositing on the substrate corresponding to the opening
Deposition method comprising a.
제 12 항에 있어서,
상기 블록킹 파티션은 그 내부에 냉각수단이 구비되며, 상기 증착원 기체의 증착 진행 시 상기 냉각수단을 온(on)시켜 상기 블록킹 파티션 표면의 온도를 낮춤으로써 상기 제 1 입사각보다 낮은 입사각을 가지며 상기 블록킹 파티션의 제 2 개구로 입사되는 증착원 기체는 상기 블록킹 파티션의 제 2 개구 내부의 측벽에 증착되도록 하는 것이 특징인 증착 방법.
The method of claim 12,
The blocking partition is provided with a cooling means therein, and when the deposition source gas deposition proceeds by turning on the cooling means to lower the temperature of the surface of the blocking partition to have a lower incident angle than the first incident angle And source gas incident on the second opening of the partition to be deposited on the sidewalls inside the second opening of the blocking partition.
제 12 항에 있어서,
상기 제 1 입사각은 70도 내지 90도인 것이 특징인 증착 방법.The method of claim 12,
The first incident angle is a deposition method, characterized in that 70 to 90 degrees.
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