KR20120056094A - 노광 파장 조절 장치 및 그를 이용한 노광기 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 노광 파장 조절 장치 및 그를 이용한 노광기에 관한 것으로, 광원에서 출사되는 다파장의 광을 입력받아 분리 굴절시켜 다수의 파장을 출력하는 분리 굴절부; 상기 분리 굴절부에서 분리 굴절되어 입사되는 다수의 파장의 광의 경로를 변화시키는 미러; 및 상기 미러에서 반사되는 다수의 파장의 광의 일부를 통과시키는 부분광 통과부를 포함하는 노광 파장 조절 장치와 그를 이용한 노광기가 제공된다.

Description

노광 파장 조절 장치 및 그를 이용한 노광기{Exposure wavelength controller and Exposure apparatus using thereof}
본 발명은 노광 파장 조절 장치 및 그를 이용한 노광기에 관한 것이다.
현재까지 사용되는 포토리소그라피 기술을 크게 구분하자면, 처리제품의 세척 및 세정 등을 포함하는 원재료의 전처리과정/감광물질의 도포/노광/에칭이나 에싱과정 등으로 구분되어 질 수 있다.
물론 처리제품의 종류 등에 따라 전처리나 후처리 과정들은 상이할 수 있으며 이러한 과정은 유사 반복과정을 통해 우리가 흔히 접하는 각종 인쇄회로기판이나 TFTLCD,PDP,FED,OLED 등과 같은 표시장치들을 비롯해 반도체 미세회로나 소자들로 구현되는 것이다.
노광 공정의 원리는 모재에 회로를 구성할 원하는 물질을 도포하고 그 위에 감광 물질을 덧씌운 후에, 원하는 회로가 새겨진 마스크를 위에 두고 자외선을 투사하면 자외선에 노출된 부분과 노출이 되지 않은 부분으로 감광 물질의 성질이 변하게 되는데 이를 적절한 현상액으로 모재위에 도포된 물질을 제거할 수 있게 되어 원하는 이미지를 얻을 수 있게 되는 것이다.
이와 같은 노광 공정에서 사용되는 감광 물질은 노광기에서 나오는 파장의 특성에 따라 경화도, 현상후의 개구 단면의 형상 등이 변하게 된다.
따라서, 감광 물질의 특성과 노광기에서 나오는 파장의 정합 여부가 중요한데, 종래 기술에 따르면 노광기에서 나오는 파장이 항상 고정되어 있어 하나의 노광기에 대하여 다양한 감광 물질을 사용하기 어렵다는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 광원에서 나오는 다파장 광에서 원하는 파장의 광을 용이하게 선택할 수 있도록 한 노광 파장 조절 장치 및 그를 이용한 노광기를 제공하는 데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 노광 파장 조절 장치는, 광원에서 출사되는 다파장의 광을 입력받아 분리 굴절시켜 다수의 파장을 출력하는 분리 굴절부; 상기 분리 굴절부에서 분리 굴절되어 입사되는 다수의 파장의 광의 경로를 변화시키는 미러; 및 상기 미러에서 반사되는 다수의 파장의 광의 일부를 통과시키는 부분광 통과부를 포함한다.
또한, 본 발명에 따른 노광 파장 조절 장치의 상기 미러는 회동축을 중심으로 회전하면서 상기 분리 굴절부에서 분리 굴절되어 입사되는 다수의 파장의 광의 경로를 변화시키는 가동 미러인 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 노광 파장 조절 장치의 상기 가동 미러는 상기 회동축을 중심으로 회전하면서 입사되는 다파장 광을 반사하는 반사면을 포함하며, 상기 반사면은 타원경인 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 노광 파장 조절 장치의 상기 가동 미러는 상기 회동축을 중심으로 회전하면서 입사되는 다파장 광을 반사하는 반사면을 포함하며, 상기 반사면은 반사된 광이 평행광이 되도록 된 포물경인 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 노광 파장 조절 장치는 상기 가동 미러를 회동축을 중심으로 회전시키는 가동 모터를 더 포함한다.
또한, 본 발명에 따른 노광 파장 조절 장치의 상기 미러는 곡률이 가변하면서 상기 분리 굴절부에서 분리 굴절되어 입사되는 다수의 파장의 광의 경로를 변화시키는 곡률 가변 미러인 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 노광 파장 조절 장치는 상기 곡률 가변 미러의 곡률을 가변시키는 곡률 가변 모터를 더 포함한다.
또한, 본 발명에 따른 노광 파장 조절 장치의 상기 광원은 램프 광원인 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 노광 파장 조절 장치의 상기 광원은 복수의 발광 다이오드인 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 노광 파장 조절 장치은 상기 광원의 앞에 위치하며 상기 광원에서 출사되는 광이 주위로 퍼져나가지 않도록 방지하는 광원 커버를 더 포함한다.
또한, 본 발명에 따른 노광 파장 조절 장치는 상기 부분광 통과부를 통과한 광을 원하는 위치에 투사하는 렌즈를 더 포함한다.
한편, 본 발명에 따른 노광기는 기판을 광에 의해 노광되는 영역으로 이동시키는 롤러부; 기판에 인쇄될 패턴이 새겨진 필름을 장착한 마스크 캐리어; 입력된 기판과 인쇄되는 패턴이 새겨진 필름을 정렬하는 마스크 개리어가 장착된 프레임; 및 광원에서 출사되는 다파장의 광을 분리 굴절시켜 다수의 파장을 형성하고, 형성된 다수의 파장의 광의 경로를 변화시켜 상기 필름이 장착된 상기 기판에 원하는 파장의 광을 노광시키는 노광 파장 조절 장치를 포함한다.
또한, 본 발명에 따른 노광기의 상기 노광 파장 조절 장치는, 광원에서 출사되는 다파장의 광을 입력받아 분리 굴절시켜 다수의 파장을 출력하는 분리 굴절부; 상기 분리 굴절부에서 분리 굴절되어 입사되는 다수의 파장의 광의 경로를 변화시키는 미러; 및 상기 미러에서 반사되는 다수의 파장의 광의 일부를 통과시키는 부분광 통과부를 포함한다.
또한, 본 발명에 따른 노광기는, 상기 부분광 통과부를 통과한 광을 원하는 위치에 노광하는 렌즈를 더 포함한다.
또한, 본 발명에 따른 노광기의 상기 미러는 회동축을 중심으로 회전하면서 상기 분리 굴절부에서 분리 굴절되어 입사되는 다수의 파장의 광의 경로를 변화시키는 가동 미러인 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 노광기의 상기 미러는 곡률이 가변하면서 상기 분리 굴절부에서 분리 굴절되어 입사되는 다수의 파장의 광의 경로를 변화시키는 곡률 가변 미러인 것을 특징으로 한다.
이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 광원에서 나오는 다파장 광에서 원하는 파장의 광을 용이하게 선택할 수 있도록 한다.
이처럼 광원의 광에서 원하는 파장의 광을 용이하게 선택할 수 있음에 따라 노광기에 상이한 특성을 갖는 다양한 종류의 감광 물질을 사용할 수 있도록 한다.
또한, 본 발명에 따르면, 종래 기술에서 사용하는 필터를 사용할 필요가 없어 종래 기술에 따른 필터의 교환에 따른 비용이나 시간을 절약할 수 있다.
도 1과 2는 본 발명에 따른 노광 파장 조절 장치가 적용되는 노광기의 개략적인 구성도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 노광 파장 조절 장치의 구성도이다.
도 4는 도 3의 가동 미러에서 반사되는 광을 예시한 도면들이다.
도 5은 본 발명의 바람직한 제2 실시예에 따른 노광 파장 조절 장치의 구성도이다.
도 6는 도 5의 곡률 가변 미러에서 반사되는 광을 예시한 도면들이다.
본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시 예들로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다.
도 1과 2는 본 발명에 따른 노광 파장 조절 장치가 적용되는 노광기의 개략적인 구성도이다.
본 발명에 따른 노광 파장 조절 장치가 적용되는 노광기는, 도 1 에 도시된 바와 같이, 입력된 기판(2)을 입력부 롤러(1)와 출력부 롤러(8)로 이동시키거나 평활하게 양쪽으로 당기는 롤러부와, 패턴이 새겨진 필름(6)과 마스크 캐리어(5)를 진공으로 흡착하기 위한 진공 홈(4)과, 마스크 캐리어(5)를 장착하여 x, y, z 축 모터를 사용하여 정렬하는 프레임(3)과, 노광 작업시 기판(2)의 양쪽면에 밀착하는 필름(6)을 정렬하고 노광된 기판(2)의 경계를 영상 신호로 인식하기 위한 카메라(7)를 갖고 있다.
그리고 도 2에 도시된 바와 같이 필름(6)이 밀착하여 정렬된 기판(2)에서 프레임(3)이 제거된 상태에서 노광을 하는 노광 파장 조절 장치(9)를 구비하고 있다.
이와 같은 구성에서 상기 롤러부는, 기판(2)을 자외선 노광 영역으로 입력하는 입력부 롤러(1)와 노광된 기판(2)을 외부로 출력하는 출력부 롤러(8)로 구성된다.
입력부 롤러(1)는 기판(2)을 물려서 입력하기 위해 2개의 롤러로 구성되며 노광 영역으로 필름을 입력할 때는 프레임(3) 방향으로 회전한다.
출력부 롤러(8)는 기판(2)을 물려서 출력하기 위해 2개의 롤러로 구성되며 외부로 필름을 출력할 때는 프레임(3)의 반대 방향으로 회전한다.
노광 작업을 할 때 입력부 롤러(1)와 출력부 롤러(8)가 프레임(3)의 반대 방향으로 회전하여 기판(2)의 노광될 표면을 평활하게 유지한다.
이때, 입력부 롤러(1)와 출력부 롤러(8)는 기판(2)의 노광될 표면이 평활하게 되도록 일정 각도만 회전한다.
프레임(3)은, 필름(6)과 마스크 캐리어(5)를 밀착하기 위한 진공 홈(4)과 장착된 마스크 캐리어(5)를 x, y, z축으로 동작시키기 위한 모터로 구성된다.
프레임(3)의 진공 홈(4)은 마스크 캐리어(5)의 진공 홈(4)과 일직선상에 위치시켜서 외부에 장착된 진공펌프와 연결이 된다. 진공 작업은 필름(6)이 장착된 마스크 캐리어(5)가 프레임(3)에 장착되었을 때만 이루어지며 진공 홈(4)의 개수는 2개 이상이다.
마스크 캐리어(5)를 장착한 후에 필름과 필름(6)의 정렬 또는 기판(2)과 필름(6)과의 정렬을 위해 프레임(3)을 x, y, z축으로 동작시키는 모터가 설치된다.
x축과 y축 모터는 프레임(3)이 일정 각도로 회전을 할 수 있도록 둘 중 한 축이 2개 이상의 모터로 구성되기도 하고 또는 두 축 모두 2개 이상의 모터로 구성되기도 한다.
z축 방향의 모터는 3개 이상의 모터로 구성하여 프레임의 각 부분의 높이를 각각 조절할 수 있도록 한다.
카메라(7)는, 필름에 표시된 필름정렬마크를 인식하기 위한 카메라와 기판정렬마크를 인식하기 위한 카메라가 있다.
기판(2)의 양면 노광을 하기 위해서는 기판면을 중심으로 상하에 위치한 노광될 패턴이 새겨진 두장의 필름(6)을 패턴의 위치가 일치하도록 정렬하여야 한다. 이것은 상위에 위치한 필름 또는 하위에 위치한 필름의 특정 영역이 하위에 위치한 필름 또는 상위에 위치한 필름과 일치해야 할 영역을 정렬하기 위함이다.
정렬을 하기 위해서는 각각의 필름에 필름정렬마크를 표시한 후에 각각의 필름(6)이 위치한 프레임(3)의 카메라를 사용한다. 카메라에 입력된 영상신호에 따라 프레임(3)에 장착된 모터를 동작시켜서 상하에 위치한 필름(6)의 필름정렬마크를 정렬한다. 기판정렬마크는 노광된 기판 영역과 다음에 노광될 기판 영역을 인식하기 위한 것으로 두 영역 사이의 틈을 최소화하기 위해서 표시한다.
다음으로, 노광 파장 조절 장치(9)는 필름(6)이 밀착하여 정렬된 기판(2)에 프레임(3)이 제거된 상태에서 선택된 파장의 광을 노광한다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 노광 파장 조절 장치의 구성도이다.
도 3에 도시된 바와 같이 본 발명의 제1 실시예에 따른 노광 파장 조절 장치는, 광원(20), 광원 커버(21), 광원 컨트롤러(22), 분리 굴절부(23), 가동 미러(24), 가동 모터(25), 모터 제어부(26), 부분광 통과부(27) 및 렌즈(28)를 구비하고 있다.
상기 광원(20)은 자외선을 조사하는 광원으로 지지프레임(미도시)에 설치되며, 램프 또는 자외선 발광 다이오드로 구성될 수 있다.
여기서, 지지프레임은 광원(20)이 장착되어 이동가능하게 설치될 수 있는 프레임을 지칭하는 것으로서, 그 구조는 특별히 한정되는 것은 아니며, 광원(20)을 장착하기 위한 어떠한 구조도 채용 가능하다 할 것이다.
또한, 광원(20)을 구성하는 자외선 발광 다이오드는 다파장 광을 생성하기 위하여 복수개 구비되는 것이 바람직하다.
그리고, 광원 커버(21)는 광원(20)으로부터 출사되는 자외선이 작업자의 건강에 영향을 미칠 수 있어 이러한 자외선으로부터 작업자를 보호할 수 있도록 하는 것으로 일예로, 원통형이나 원뿔형 형상을 가지고 있어 광원(20)의 앞에 부착되어 광이 주위로 퍼져나가는 것을 방지한다.
그리고, 광원 컨트롤러(22)는 광원(20)을 제어하여 노광 강도 및 노광 범위를 제어하기 위한 것으로서, 광원(20)과 연결되도록 구성된다.
여기서, 광원 컨트롤러(22)는 광원(20)이 복수개의 자외선 발광 다이오드로 구성되는 경우에 개개의 자외선 발광 다이오드의 발광 파워 및 온/오프를 제어하도록 설치된다. 즉, 개개의 자외선 발광 다이오드의 발광파워를 제어함으로써 노광 강도를 제어할 수 있게 되고, 개개의 자외선 발광 다이오드의 온/오프를 제어함으로써 필요한 영역의 자외선 발광 다이오드를 사용하여 노광 범위를 제어할 수 있게 된다.
다음으로, 분리 굴절부(23)는 광원(20)에서 출사되는 다파장의 광을 입력받아 분리 굴절시켜 다수의 파장을 출력하는 것으로, 일예로 프리즘이 사용될 수 있다.
그리고, 가동 미러(24)는 광원(20)에서 생성되고 분리 굴절부(23)에서 분리 굴절되어 출력되는 다수의 파장의 광을 반사시켜 그 진행 경로를 변경하는 것으로 회동축(24-1)과 반사면(24-2)으로 이루어져 있다.
여기에서, 회동축(24-1)은 반사면(24-2)이 회동축을 중심으로 회전할 수 있도록 하는 역활을 제공한다.
상기 반사면(24-2)은 상기 광원(20)의 위치를 일 초점으로 하고, 광이 집속되는 지점을 다른 초점으로 하는 타원경이거나, 상기 광원(20)의 위치를 일 초점으로 하고 광원(20)에서 출사되고, 반사된 광이 평행광이 되도록 된 포물경일 수 있다.
이러한 가동 미러(24)는 회동축(24-1)을 중심으로 회전하면서 구동되어 분리 굴절부(23)에서 분사되어 입사된 광을 도 4의 (a) 내지 (c)에 도시된 것처럼 변화시킨다.
다음으로, 구동 모터(25)는 가동 미러(24)를 회동축을 중심으로 회전하도록 구동하는 것으로 가동 미러(24)와 별도로 제작되거나 일체로 제작될 수 있다.
이러한 구동 모터(25)는 여러가지 다양한 모터를 사용할 수 있으며, 바람직하게 초음파 모터를 사용할 수 있다.
그리고, 모터 제어부(26)는 상기 구동 모터(25)를 제어하여 가동 미러(24)를 원하는 각도만큼 회전시키기 위한 것으로, 상기 구동 모터(25)를 여러가지 방식으로 제어할 수 있으며, 바람직하게 정밀 제어를 위하여 펄스폭 변조 방식으로 제어할 수 있다.
다음으로, 부분광 통과부(27)는 상기 가동 미러(24)에서 반사되어 입사되는 광에서 원하는 파장의 광만을 통과시키기 위한 것으로 슬릿이나 특정한 파장대의 광을 통과시키는 광학 필터 등으로 구성할 수 있다.
한편, 렌즈(28)는 상기 가동 미러(24)에서 반사되어 상기 부분광 통광부(27)를 통과한 광을 집광하여 기판의 원하는 위치에 노광하기 위한 것으로 일예로 집광 렌즈가 사용될 수 있다.
상기 본 발명의 제1 실시예에서는 상기 분리 굴절부(23)에서 분리 굴절되어 입사되는 다수의 파장의 광의 경로를 변화시키는 미러로 가동 미러(24)를 사용하였으며, 가동 미러(24)를 구동하는 모터로 가동 모터(25)를 사용하였으나, 이와 달리 상기 분리 굴절부(23)에서 분리 굴절되어 입사되는 다수의 파장의 광의 경로를 변화시키는 미러로 곡률을 가변하는 곡률 가변 미러와 상기 곡률 가변 미러의 곡률을 가변시키는 곡률 가변 모터를 사용할 수 있다. 아래에 도 5와 도 6은 이러한 다른 실시예를 도시하고 있다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 노광 파장 조절 장치의 구성도이다.
도 5에 도시된 바와 같이 본 발명의 제2 실시예에 따른 노광 파장 조절 장치는, 광원(20), 광원 커버(21), 광원 컨트롤러(22), 분리 굴절부(23), 곡률 가변 미러(24'), 곡률 가변 모터(25'), 모터 제어부(26), 부분광 통과부(27) 및 렌즈(28)를 구비하고 있다.
이와 같은 구성의 본 발명의 제2 실시예에 따른 노광 파장 조절 장치는 가변 미러(24) 대신에 곡률 가변 미러(24')와 가동 모터(24) 대신에 곡률 가변 모터(25')를 구비한 점에서 본 발명의 제1 실시예에 따른 노광 파장 조절 장치와 상이하며 그 외 구성요소에서는 동일하다.
상기 차이점에 대하여 살펴보면, 상기 곡률 가변 미러(24')는 곡률을 가변시켜 상기 분리 굴절부(23)에서 분리 굴절되어 입사되는 광의 경로를 변화시킨다.
이러한 곡률 가변 미러(24')는 곡률을 가변하면서 분리 굴절부(23)에서 분사되어 입사된 광을 도 6의 (a) 내지 (c)에 도시된 것처럼 변화시킨다.
다음으로, 곡률 가변 모터(25')는 곡률 가변 미러(24')의 곡률을 가변하는 것으로, 곡률 가변 미러(24')와 별도로 제작되거나 일체로 제작될 수 있다.
이러한 곡률 가변 모터(25')는 여러가지 다양한 모터를 사용할 수 있으며, 바람직하게 초음파 모터를 사용할 수 있다.
이와 같은 곡률 가변 모터(25')는 모터 제어부(26)에 의해 제어되며, 곡률 가변 미러(24')의 곡률을 원하는 값으로 가변시킨다.
한편, 위에서 구체적으로 설명한 구성요소 이외의 구성과 기능이 제1 실시예와 동일하여 상세한 설명은 생략한다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 도시하고 설명하였지만 본 발명은 상술한 특정의 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어서는 안 될 것이다.
1: 입력부 롤러 2: 기판
3 : 프레임 4: 진공 홈
5 : 마스크 캐리어 6 : 필름
7 : 카메라 8 : 출력부 롤러
9 : 노광 파장 조절 장치 20 : 광원
21 : 광원 커버 22 : 광원 컨트롤러
23 : 분리 굴절부 24 : 가동 미러
24': 곡률 가변 미러 25 : 가동 모터
25': 곡률 가변 모터 26 : 모터 제어부
27 : 부분광 통과부 28 : 렌즈

Claims (16)

  1. 광원에서 출사되는 다파장의 광을 입력받아 분리 굴절시켜 다수의 파장을 출력하는 분리 굴절부;
    상기 분리 굴절부에서 분리 굴절되어 입사되는 다수의 파장의 광의 경로를 변화시키는 미러; 및
    상기 미러에서 반사되는 다수의 파장의 광의 일부를 통과시키는 부분광 통과부를 포함하는 노광 파장 조절 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 미러는
    회동축을 중심으로 회전하면서 상기 분리 굴절부에서 분리 굴절되어 입사되는 다수의 파장의 광의 경로를 변화시키는 가동 미러인 것을 특징으로 하는 노광 파장 조절 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 가동 미러는 상기 회동축을 중심으로 회전하면서 입사되는 다파장 광을 반사하는 반사면을 포함하며, 상기 반사면은 타원경인 것을 특징으로 하는 노광 파장 조절 장치.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 가동 미러는 상기 회동축을 중심으로 회전하면서 입사되는 다파장 광을 반사하는 반사면을 포함하며, 상기 반사면은 반사된 광이 평행광이 되도록 된 포물경인 것을 특징으로 하는 노광 파장 조절 장치.
  5. 청구항 2에 있어서,
    상기 가동 미러를 회동축을 중심으로 회전시키는 가동 모터를 더 포함하는 노광 파장 조절 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 미러는
    곡률이 가변하면서 상기 분리 굴절부에서 분리 굴절되어 입사되는 다수의 파장의 광의 경로를 변화시키는 곡률 가변 미러인 것을 특징으로 하는 노광 파장 조절 장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 곡률 가변 미러의 곡률을 가변시키는 곡률 가변 모터를 더 포함하는 노광 파장 조절 장치.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 광원은 램프 광원인 것을 특징으로 하는 노광 파장 조절 장치.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 광원은 복수의 발광 다이오드인 것을 특징으로 하는 노광 파장 조절 장치.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 광원의 앞에 위치하며 상기 광원에서 출사되는 광이 주위로 퍼져나가지 않도록 방지하는 광원 커버를 더 포함하는 노광 파장 조절 장치.
  11. 청구항 1에 있어서,
    상기 부분광 통과부를 통과한 광을 원하는 위치에 투사하는 렌즈를 더 포함하는 노광 파장 조절 장치.
  12. 기판을 광에 의해 노광되는 영역으로 이동시키는 롤러부;
    기판에 인쇄될 패턴이 새겨진 필름을 장착한 마스크 캐리어;
    입력된 기판과 인쇄되는 패턴이 새겨진 필름을 정렬하는 마스크 개리어가 장착된 프레임; 및
    광원에서 출사되는 다파장의 광을 분리 굴절시켜 다수의 파장을 형성하고, 형성된 다수의 파장의 광의 경로를 변화시켜 상기 필름이 장착된 상기 기판에 원하는 파장의 광을 노광시키는 노광 파장 조절 장치를 포함하는 노광기.
  13. 청구항 12항에 있어서,
    상기 노광 파장 조절 장치는,
    광원에서 출사되는 다파장의 광을 입력받아 분리 굴절시켜 다수의 파장을 출력하는 분리 굴절부;
    상기 분리 굴절부에서 분리 굴절되어 입사되는 다수의 파장의 광의 경로를 변화시키는 미러; 및
    상기 미러에서 반사되는 다수의 파장의 광의 일부를 통과시키는 부분광 통과부를 포함하는 노광기.
  14. 청구항 13에 있어서,
    상기 부분광 통과부를 통과한 광을 원하는 위치에 노광하는 렌즈를 더 포함하는 노광기.
  15. 청구항 13에 있어서,
    상기 미러는
    회동축을 중심으로 회전하면서 상기 분리 굴절부에서 분리 굴절되어 입사되는 다수의 파장의 광의 경로를 변화시키는 가동 미러인 것을 특징으로 하는 노광기.
  16. 청구항 13에 있어서,
    상기 미러는
    곡률이 가변하면서 상기 분리 굴절부에서 분리 굴절되어 입사되는 다수의 파장의 광의 경로를 변화시키는 곡률 가변 미러인 것을 특징으로 하는 노광기.
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