KR20120045682A - 플렉서블한 유기전계 발광소자 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은, 캐리어 기판 상의 전면에 표시영역과 이의 외측으로 비표시영역이 정의된 플라스틱 기판을 형성하는 단계와; 상기 플라스틱 기판 상에 화상 구현을 위한 다수의 구성요소 및 그 내부 물질층이 평균적으로 제 1 접합력을 갖는 유기전계 발광 다이오드를 형성하는 단계와; 상기 유기전계 발광 다이오드 상부로 상기 표시영역에 제 2 접합력을 갖는 제 1 필름을 부착하는 단계와; 상기 제 1 필름 외측으로 노출된 상기 플라스틱 기판의 비표시영역 상에 구동 IC가 실장된 FPCB(flexible printed circuit board)를 부착하는 단계와; 상기 제 1 필름 전면과 상기 비표시영역에 상기 FPCB와 중첩하도록 상기 제 2 접합력보다 큰 제 3 접합력을 갖는 제 2 필름을 부착하는 단계와; 상기 캐리어 기판으로부터 상기 플라스틱 기판을 분리하는 단계를 포함하는 플렉서블한 유기전계 발광소자의 제조 방법을 제공한다.
Description
본 발명은 표시장치의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 고가의 레이저 장비를 사용하지 않고 플렉서블한 기판을 캐리어 기판으로부터 용이하게 탈착되도록 하며, 나아가 유기전계 발광 다이오드의 들뜸 및 기포 발생을 억제할 수 있는 플렉서블한 유기전계 발광소자의 제조 방법에 관한 것이다.
평판 디스플레이(FPD ; Flat Panel Display)중 하나인 유기전계 발광소자는 높은 휘도와 낮은 동작 전압 특성을 갖는다. 또한 스스로 빛을 내는 자체발광형이기 때문에 명암대비(contrast ratio)가 크고, 초박형 디스플레이의 구현이 가능하며, 응답시간이 수 마이크로초(㎲) 정도로 동화상 구현이 쉽고, 시야각의 제한이 없으며 저온에서도 안정적이고, 직류 5 내지 15V의 낮은 전압으로 구동하므로 구동회로의 제작 및 설계가 용이하다.
또한 상기 유기전계 발광소자의 제조공정은 증착(Deposition) 및 인캡슐레이션(encapsulation) 장비가 전부라고 할 수 있기 때문에 제조 공정이 매우 단순하다.
이러한 특성을 갖는 유기전계 발광소자는 크게 패시브 매트릭스 타입과 액티브 매트릭스 타입으로 나뉘어지는데, 패시브 매트릭스 방식에서는 주사선(scan line)과 신호선(signal line)이 교차하면서 매트릭스 형태로 소자를 구성하므로, 각각의 픽셀을 구동하기 위하여 주사선을 시간에 따라 순차적으로 구동하므로, 요구되는 평균 휘도를 나타내기 위해서는 평균 휘도에 라인수를 곱한 것 만큼의 순간 휘도를 내야만 한다.
그러나, 액티브 매트릭스 방식에서는, 화소영역을 온(on)/오프(off)하는 스위칭 소자인 박막트랜지스터(Thin Film Transistor: TFT)가 각 화소영역별로 위치하고, 이러한 스위칭 박막트랜지스터와 연결되며 구동 박막트랜지스터가 전원배선 및 유기전계 발광 다이오드와 연결되며 각 화소영역별로 형성되고 있다.
이때, 상기 구동 박막트랜지스터와 연결된 제 1 전극은 화소영역 단위로 온(on)/오프(off)되고, 상기 제 1 전극과 대향하는 제 2 전극은 공통전극의 역할을 함으로서 이들 두 전극 사이에 개재된 유기 발광층과 더불어 상기 유기전계 발광 다이오드를 이룬다.
이러한 구성적 특징을 갖는 액티브 매트릭스 방식에서는 화소영역에 인가된 전압이 스토리지 커패시터(StgC)에 충전되어 있어, 그 다음 프레임(frame) 신호가 인가될 때까지 전원을 인가해 주도록 함으로써, 주사선 수에 관계없이 한 화면동안 계속해서 구동한다. 따라서, 낮은 전류를 인가하더라도 동일한 휘도를 나타내므로 저소비전력, 고정세, 대형화가 가능한 장점을 가지므로 최근에는 액티브 매트릭스 타입의 유기전계 발광소자가 주로 이용되고 있다.
한편, 최근에 상기 유기전계 발광소자는 유연성을 극대화하기 위해 10㎛ 내지 200㎛ 정도의 두께를 갖는 플라스틱 재질의 기판을 베이스로 하여 제품화되고 있다. 이렇게 유연성이 뛰어난 플라스틱 재질의 기판을 이용하여 유기전계 발광소자를 제조하는 경우, 플라스틱 기판의 유연한 성질로 인해 단위 공정라인 간의 이용 및 스테이지 상에서 평탄한 상태를 유지하기 어려운 문제 등이 발생함으로써 휨 발생이 작고 스테이지 상에서 평탄한 상태를 유지할 수 있는 별도의 캐리어 기판을 별도로 구비하여 상기 캐리어 기판에 플라스틱 기판을 접착시킨 후, 추후 공정에서 상기 캐리어 기판을 제거하여 유연성이 뛰어난 유기전계 발광소자를 완성하고 있다.
도 1a 내지 도 1d는 종래의 유기전계 발광소자용을 제조하는 공정 일부에 대한 공정 단면도이다.
우선, 도 1a에 도시한 바와 같이, 레이저 빔 투과가 가능한 유리재질의 캐리어 기판(5) 상에 레이저 빔 조사에 의해 수소 기체를 발생시켜 플라스틱 재질의 기판과 탈착이 가능하도록 하는 특징을 갖는 수소화된 비정질 실리콘(a-Si:H)을 증착하여 레이저 어블레이션층(7)을 형성한다.
다음, 도 1b에 도시한 바와 같이, 상기 어블레이션층(7) 위로 액체상태의 플라스틱을 코팅하고 연속하여 열처리함으로써 플라스틱 기판(11)을 형성한다.
다음, 도 1c에 도시한 바와 같이, 상기 플라스틱 기판(11) 위로 서로 교차하는 다수의 게이트 및 데이터 배선(미도시)과, 스위칭 및 구동 박막트랜지스터(미도시, DTr)를 형성하고, 연속하여 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인 전극(22)과 연결되는 제 1 전극(47)과 유기 발광층(55)과 제 2 전극(58)으로 이루어진 유기전계 발광 다이오드(E)를 형성한다. 이후, 상기 유기전계 발광 다이오드(E)의 보호를 위해 보호시트(80)를 부착하고, 구동회로기판(미도시)을 부착하는 모듈 공정을 진행한다.
이후, 도 1d에 도시한 바와 같이, 상기 캐리어 기판(5)의 배면으로 레이저 빔 조사장치(99)를 통해 레이저 빔(LB)을 조사하여 상기 어블레이션층(7)을 이루는 수소화된 비정질 실리콘(a-Si:H)으로부터 수소(H) 기체가 배출되도록 함으로서 상기 캐리어 기판(5)으로부터 상기 스위칭 및 구동 박막트랜지스터(미도시, DTr) 및 유기전계 발광 다이오드(E)가 형성된 플라스틱 기판(11)을 분리시키고 있다.
하지만, 전술한 바와 같은 단계를 진행하여 완성되는 종래의 플렉서블한 유기전계 발광소자(70)는 캐리어 기판(5)으로부터 플라스틱 기판(11)을 분리하는 단계를 진행 시 고가의 레이저 빔(LB) 조사장치(99)를 이용함으로써 제조 비용의 상승을 초래하고 있으며, 캐리어 기판(5) 전면에 레이저 빔(LB) 조사를 실시하는 시간이 플라스틱 기판(11)의 면적 크기에 따라 달라지지만 10분 내지 30분 정도가 소요됨으로써 상대적으로 단위 시간당 제조 생산성이 저하되고 있다.
또한, 레이저 빔(LB) 조사에 의해 스위칭 및 구동 박막트랜지스터(미도시, DTr)의 특성 저하를 초래하거나 또는 게이트 및 데이터 배선(미도시)이 단선을 초래하는 등의 불량을 야기시킴으로써 제품 생산 수율이 저하되고 있는 실정이다.
본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 고가의 레이저 빔 조사장치 사용없이 캐리어 기판으로부터 플렉서블한 플라스틱 기판을 분리시켜 제조 비용을 저감시키고, 단위 시간당 제조 시간을 단축시키며, 레이저 빔 조사에 의해 야기되는 불량을 방지하여 제품의 생산 수율을 향상시킬 수 있는 플렉서블한 유기전계 발광소자의 제조 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블한 유기전계 발광소자 제조 방법은, 캐리어 기판 상의 전면에 표시영역과 이의 외측으로 비표시영역이 정의된 플라스틱 기판을 형성하는 단계와; 상기 플라스틱 기판 상에 화상 구현을 위한 다수의 구성요소 및 그 내부 물질층이 평균적으로 제 1 접합력을 갖는 유기전계 발광 다이오드를 형성하는 단계와; 상기 유기전계 발광 다이오드 상부로 상기 표시영역에 제 2 접합력을 갖는 제 1 필름을 부착하는 단계와; 상기 제 1 필름 외측으로 노출된 상기 플라스틱 기판의 비표시영역 상에 구동 IC가 실장된 FPCB(flexible printed circuit board)를 부착하는 단계와; 상기 제 1 필름 전면과 상기 비표시영역에 상기 FPCB와 중첩하도록 상기 제 2 접합력보다 큰 제 3 접합력을 갖는 제 2 필름을 부착하는 단계와; 상기 캐리어 기판으로부터 상기 플라스틱 기판을 분리하는 단계를 포함한다.
상기 플라스틱 기판은, 상기 캐리어 기판상에 액상의 플라스틱을 도포하고 열처리하여 상기 액상의 플라스틱을 경화시켜 형성하거나, 또는 필름 타입의 플라스틱 시트를 상기 캐리어 기판에 부착함으로서 형성하는 것이 특징이다.
또한, 상기 제 2 접합력은 상기 제 1 접합력의 0.9배 내지 1.1배인 것이 특징이며, 이때, 상기 제 1 필름은 PI(polyimide), PS(polystyrene), PET(polyethylene terephthalate), PEN(polyethylenenaphthalate), PES(polyethersulphone) 중 어느 하나로 이루어지는 것이 특징이다.
또한, 상기 제 3 접합력은 상기 캐리어 기판과 플라스티 기판간의 접합력보다 크며, 상기 제 1 접합력의 3배 내지 5배인 것이 특징이며, 이때, 상기 제 2 필름은 편광판인 것이 특징이다.
또한, 상기 다수의 구성요소를 형성하는 단계는, 상기 플라스틱 기판 상에 서로 교차하는 게이트 및 데이터 배선과, 상기 게이트 및 데이터 배선 중 어느 한 배선과 나란한 전원배선을 형성하고, 상기 게이트 및 데이터 배선과 연결된 스위칭 박막트랜지스터와, 상기 스위칭 박막트랜지스터 및 상기 전원배선과 연결된 구동 박막트랜지스터를 형성하는 단계와; 상기 스위칭 및 구동 박막트랜지스터 상부로 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극을 노출시키는 보호층을 형성하는 단계를 포함한다. 이때, 상기 유기전계 발광소자를 형성하는 단계는, 상기 보호층 위로 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극과 접촉하는 제 1 전극을 형성하는 단계와; 상기 제 1 전극 위로 유기 발광층을 형성하는 단계와; 상기 유기 발광층 위로 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함한다. 또한, 상기 유기 발광층을 형성하기 전에 상기 제 1 전극의 가장자리와 중첩하는 뱅크를 형성하며, 상기 유기 발광층은 정공주입층(hole injection layer), 정공수송층(hole transporting layer), 발광 물질층(emitting material layer), 전자수송층(electron transporting layer) 및 전자주입층(electron injection layer)의 다중층 구조를 갖도록 형성하는 것이 특징이다.
또한, 상기 캐리어 기판으로부터 상기 플라스틱 기판의 분리는, 상기 캐리어 기판 외측에 위치하는 상기 제 2 필름의 끝단을 진공 흡착하거나 클램프에 고정시킨 후, 상기 캐리어 기판의 외측으로 서서히 힘을 가하여 상기 플라스틱 기판을 상기 캐리어 기판으로부터 점진적으로 떨어지도록 하는 기계적인 분리에 의해 진행되는 것이 특징이다.
또한, 캐리어 기판 상의 전면에 무기물질로 이루어진 접합 완화층을 형성하는 단계와; 상기 접합 완화층 상에 금속물질로서 격자 형태 또는 상기 표시영역을 테두리하는 형태의 접합 강화패턴을 형성하는 단계를 포함한다.
또한, 상기 캐리어 기판은 유리 재질이며, 상기 무기물질은 산화실리콘(SiO2) 또는 질화실리콘(SiNx)이며, 상기 금속물질은 몰리브덴(Mo), 몰리텅스텐(MoW), 알루미늄(Al), 알루미늄합금(AlNd), 구리(Cu), 몰리티타늄(MoTi), 비정질 인듐-틴-옥사이드(a-ITO), 인듐-갈륨-징크-옥사이드(IGZO) 중 어느 하나인 것이 특징이다.
본 발명에 따른 플렉서블한 플라스틱 기판을 이용한 표시장치의 제조 방법은 레이저 빔 조사장치를 통한 레이저 빔의 조사없이 캐리어 기판으로부터 플라스틱 기판을 탈착시킴으로서 고가의 레이저 빔 조사장치를 필요로 하지 않으므로 초기 시설 투자 비용 삭제에 의한 제품의 제조 비용을 저감시키는 효과가 있다.
또한, 레이저 빔 조사에 의한 박막트랜지스터의 특성 저하 및 배선의 단선이 발생하는 등의 불량을 원천적으로 방지할 수 있으므로 수율을 향상시키는 효과가 있다.
절단공정 진행 후 바로 수초 이내로 캐리어 기판으로부터 분리됨으로서 단위 시간 당 플라스틱 기판의 분리시간이 종래대비 수십 배 단축됨으로서 단위 시간당 제품 생산성을 향상시키는 효과가 있다.
또한, 외부 구동회로기판이 부착되는 게이트 및 데이터 패드부에 대응하여 이의 외측으로 절단 시 플라스틱 기판의 들뜸을 방지하는 접착력 강화 패턴이 구비됨으로서 상기 게이트 및 데이터 패드부에 대응하는 부분에 대해서는 플라스틱 기판의 들뜸이 방지되어 외부 구동회로기판을 부착 시 들뜸에 의해 발생되는 정렬 마크 인식 불량에 기인한 정렬 불량을 방지하는 효과가 있다.
도 1a 내지 도 1d는 종래의 전기영동 표시장치를 제조하는 공정 일부에 대한 공정 단면도.
도 2는 일반적인 유기전계 발광소자의 한 화소에 대한 회로도.
도 3a 내지 3k는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블한 플라스틱 기판이 구비된 유기전계 발광소자의 제조 단계별 공정 단면도.
도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블한 플라스틱 기판이 구비된 유기전계 발광소자의 제조 단계별 공정 평면도.
도 5는 비교예로서 기준 접합력의 0.3배 내지 0.6배 정도의 접합력을 갖는 일반적인 보호필름만을 유기전계 발광 다이오드 상부에 부착한 상태에서 플라스틱 기판을 캐리어 기판으로부터 분리 시 보호필름 표면 상태를 나타낸 사진.
도 6은 본 발명에 실시예에 따라 제조된 제 1 및 제 2 필름이 부착된 플렉서블한 유기전계 발광 소자에 대한 사진.
도 2는 일반적인 유기전계 발광소자의 한 화소에 대한 회로도.
도 3a 내지 3k는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블한 플라스틱 기판이 구비된 유기전계 발광소자의 제조 단계별 공정 단면도.
도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블한 플라스틱 기판이 구비된 유기전계 발광소자의 제조 단계별 공정 평면도.
도 5는 비교예로서 기준 접합력의 0.3배 내지 0.6배 정도의 접합력을 갖는 일반적인 보호필름만을 유기전계 발광 다이오드 상부에 부착한 상태에서 플라스틱 기판을 캐리어 기판으로부터 분리 시 보호필름 표면 상태를 나타낸 사진.
도 6은 본 발명에 실시예에 따라 제조된 제 1 및 제 2 필름이 부착된 플렉서블한 유기전계 발광 소자에 대한 사진.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 플렉서블한 플라스틱 기판을 이용한 유기전계 발광소자의 제조방법에 대해 설명하도록 한다.
우선, 유기전계 발광소자의 구성 및 구동에 대해 간단히 설명한다.
도 2는 일반적인 유기전계 발광소자의 한 화소에 대한 회로도이다.
도시한 바와 같이, 유기전계 발광소자의 하나의 각 서브 픽셀은 스위칭 박막트랜지스터(STr)와 구동 박막트랜지스터(DTr), 스토리지 커패시터(StgC), 그리고 유기전계발광 다이오드(E)로 이루어진다.
제 1 방향으로 게이트 배선(GL)이 형성되어 있고, 이 제 1 방향과 교차되는 제 2 방향으로 서브 픽셀(P)을 정의하며 데이터 배선(DL)이 형성되어 있으며, 상기 데이터 배선(DL)과 이격하며 전원전압을 인가하기 위한 전원배선(PL)이 형성되어 있다.
또한, 상기 데이터 배선(DL)과 게이트 배선(GL)이 교차하는 부분에는 스위칭 박막트랜지스터(STr)가 형성되어 있으며, 상기 각 서브 픽셀(P) 내부에는 상기 스위칭 박막트랜지스터(STr)와 전기적으로 연결된 구동 박막트랜지스터(DTr)가 형성되어 있다.
이때, 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)는 유기전계 발광 다이오드(E)와 전기적으로 연결되고 있다. 즉, 상기 유기전계발광 다이오드(E)의 일측 단자인 제 1 전극은 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인 전극과 연결되고, 타측 단자인 제 2 전극은 전원배선(PL)과 연결되고 있다. 이때, 상기 전원배선(PL)은 전원전압을 상기 유기전계발광 다이오드(E)로 전달하게 된다. 또한, 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 게이트 전극과 소스 전극 사이에는 스토리지 커패시터(StgC)가 형성되고 있다.
따라서, 상기 게이트 배선(GL)을 통해 신호가 인가되면 스위칭 박막트랜지스터(STr)가 온(on) 되고, 상기 데이터 배선(DL)의 신호가 구동 박막트랜지스터(DTr)의 게이트 전극에 전달되어 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)가 온(on) 되므로 유기전계발광 다이오드(E)를 통해 빛이 출력된다. 이때, 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)가 온(on) 상태가 되면, 전원배선(PL)으로부터 유기전계발광 다이오드(E)에 흐르는 전류의 레벨이 정해지며 이로 인해 상기 유기전계 발광 다이오드(E)는 그레이 스케일(gray scale)을 구현할 수 있게 되며, 상기 스토리지 커패시터(StgC)는 스위칭 박막트랜지스터(STr)가 오프(off) 되었을 때, 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 게이트 전압을 일정하게 유지시키는 역할을 함으로써 상기 스위칭 박막트랜지스터(STr)가 오프(off) 상태가 되더라도 다음 프레임(frame)까지 상기 유기전계 발광 다이오드(E)에 흐르는 전류의 레벨을 일정하게 유지할 수 있게 된다.
이후에는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블한 기판을 이용한 유기전계 발광소자의 제조 방법에 대해 설명한다.
도 3a 내지 3k는 본 발명의 실시예에 따른 플라스틱 기판이 구비된 플렉서블한 유기전계 발광소자의 제조 단계별 공정 단면도이다. 이때, 설명의 편의를 위해 도 3a 내지 도 3g까지는 유기전계 발광소자의 표시영역 일부에 대해서만 도시하였으며, 도 3h 내지 도 3k까지는 표시영역과 이의 외측으로 FPCB의 부착되는 비표시영역까지 함께 나타나도록 도시하였으며, 이때, 표시영역에 구성된 구성요소 대해서는 간략히 도시하였으며 ALA라 명명하였다. 또한, 표시영역 내의 각 화소영역 내의 구동 박막트랜지스터가 형성되는 영역을 구동영역(DA), 그리고 스위칭 박막트랜지스터가 형성되는 영역을 스위칭 영역(미도시)이라 정의하였다.
또한, 도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블한 플라스틱 기판이 구비된 유기전계 발광소자의 제조 단계별 공정 평면도이다.
우선, 도 3a와 도 4a에 도시한 바와 같이, 유리재질의 캐리어 기판(105) 상에 액체 상태의 플라스틱 물질 예를들면 폴리이미드를 도포하여 플라스틱층(미도시)을 형성하고, 열처리를 실시함으로서 상기 플라스틱층(미도시)을 경화시켜 플라스틱 기판(110)을 이루도록 하거나, 또는 필름 타입의 시트를 상기 캐리어 기판(105)에 부착함으로써 플라스틱 기판(110)을 형성한다. 이때, 상기 플라스틱 기판(110)은 그 두께가 10㎛ 내지 100㎛ 정도가 되는 것이 특징이다.
한편, 도면에 나타나지 않았지만, 상기 캐리어 기판(105) 상에 플라스틱층을 형성하기 이전에, 추후 상기 플라스틱 기판(110)과 캐리어 기판(105)의 분리를 용이하게 하기 위해 상기 캐리어 기판(105)과 플라스틱 기판(110)과의 접합력보다 약한 접합력을 갖도록 하기 위해 무기물질 예를 들면 산화실리콘(SiO2) 또는 질화실리콘(SiNx)을 상기 캐리어 기판(105) 전면에 증착함으로서 접합 완화층(미도시)을 형성할 수도 있으며, 나아가 상기 접합 완화층(미도시) 상부에 부분적으로 격자형태를 갖거나, 또는 표시영역을 테두리 하는 형태로 접합 강화 패턴(미도시)을 더욱 형성할 수도 있다. 이때, 상기 접합 강화 패턴(미도시)은 몰리브덴(Mo), 몰리텅스텐(MoW), 알루미늄(Al), 알루미늄합금(AlNd), 구리(Cu), 몰리티타늄(MoTi), 비정질 인듐-틴-옥사이드(a-ITO), 인듐-갈륨-징크-옥사이드(IGZO) 중 어느 하나로 이루어지는 것이 특징이다.
상기 접합 강화 패턴(미도시)을 형성하는 것은 상기 플라스틱 기판(110)이 단위 공정 간을 이동하거나 또는 단위 공정을 진행하는 과정에서 들뜸이 발생하여 얼라인 등이 제대로 이루어지지 않는 등의 문제를 발생시키지 않도록 하기 위함이다.
다음, 도 3b에 도시한 바와 같이, 상기 플라스틱 기판(110) 위로 층간절연막(123)을 개재하여 서로 교차하여 화소영역(P)을 정의하는 게이트 배선(미도시) 및 데이터 배선(130)과 상기 게이트 배선(미도시) 또는 데이터 배선(130)과 나란하게 이격하는 전원배선(미도시)을 형성하고, 동시에 상기 게이트 배선(미도시) 및 데이터 배선(130)의 일끝단과 연결되는 각각 게이트 패드전극(미도시) 및 데이터 패드전극(미도시)를 형성한다.
또한, 상기 게이트 배선(미도시) 및 데이터 배선(130)으로 둘러싸인 각 화소영역(P) 내의 스위칭 영역 상기 게이트 배선(미도시)과 데이터 배선(130)과 연결된 스위칭 박막트랜지스터(미도시)를 형성하고, 구동영역(DA)에 상기 스위칭 박막트랜지스터(미도시) 및 상기 전원배선(미도시)과 연결된 구동 박막트랜지스터(DTr)를 형성한다.
조금 더 구체적으로 설명하면, 상기 플라스틱 기판(110) 상에 비정질 실리콘을 증착하여 비정질 실리콘층(미도시)을 형성하고, 이에 대해 레이저 빔을 조사하거나 또는 열처리를 실시하여 상기 비정질 실리콘층을 폴리실리콘층(미도시)으로 결정화시킨다. 이후, 마스크 공정을 실시하여 상기 폴리실리콘층(미도시)을 패터닝하여 순수 폴리실리콘 상태의 반도체층(113)을 형성한다.
다음, 상기 순수 폴리실리콘의 반도체층(113) 위로 산화실리콘(SiO2)을 증착하여 게이트 절연막(116)을 형성한다. 이후, 상기 게이트 절연막(116) 위로 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금 및 크롬(Cr) 중 하나를 증착하여 제 1 금속층(미도시)을 형성하고, 이를 마스크 공정을 진행하여 상기 반도체층(113)의 중앙부에 대응하여 게이트 전극(120)을 형성한다. 이때 상기 게이트 전극(120) 중 스위칭 영역(미도시)에 형성된 게이트 전극(미도시)과 연결되며 일 방향으로 연장하는 게이트 배선(미도시)과 상기 게이트 배선(미도시) 일끝단에 게이트 패드전극(미도시)을 형성한다.
다음, 상기 게이트 전극(120)을 블록킹 마스크로 이용하여 상기 기판(110) 전면에 불순물 즉, 3가 원소 또는 5가 원소를 도핑함으로써 상기 반도체층(113) 중 상기 게이트 전극(120) 외측에 위치한 부분에 상기 불순물이 도핑된 제 2 영역(113b)을 이루도록 하고, 도핑이 방지된 게이트 전극(120)에 대응하는 부분은 순수 폴리실리콘의 제 1 영역(113a)을 이루도록 한다.
다음, 제 1 및 제 2 영역(113a, 113b)으로 나뉘어진 반도체층(113)이 형성된 기판(110) 전면에 질화실리콘(SiNx) 또는 산화실리콘(SiO2)과 같은 무기절연물질을 증착하여 전면에 층간절연막(123)을 형성하고, 마스크 공정을 진행하여 상기 층간절연막(123)과 하부의 게이트 절연막(116)을 동시 또는 일괄 패터닝함으로써 상기 제 2 영역(113b)을 각각 노출시키는 반도체층 콘택홀(125)을 형성한다.
이후, 상기 층간절연막(123) 위로 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금, 크롬(Cr) 및 몰리브덴(Mo) 중 하나를 증착하여 제 2 금속층(미도시)을 형성하고, 마스크 공정을 진행하여 패터닝함으로써 상기 반도체층 콘택홀(125)을 통해 상기 제 2 영역(113b)과 접촉하는 소스 및 드레인 전극(133, 136)을 형성한다. 동시에 상기 층간절연막(123) 위로 상기 스위칭 영역(미도시)에 형성된 소스 전극(미도시)과 연결되며 상기 게이트 배선(미도시)과 교차하여 화소영역(P)을 정의하는 데이터 배선(130)과, 상기 데이터 배선(130)과 이격하며 나란히 배치되는 전원배선(미도시)을 형성한다. 이때, 상기 각 구동영역(DA)에 상기 반도체층(113)과 게이트 절연막(116)과 게이트 전극(120)과 층간절연막(123)과 서로 이격하는 소스 및 드레인 전극(133, 136)은 구동 박막트랜지스터(DTr)를 이루며, 상기 스위칭 영역(미도시)에는 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)와 동일한 구조를 갖는 스위칭 박막트랜지스터(미도시)가 형성되게 된다.
다음, 도 3c에 도시한 바와 같이, 상기 소스 및 드레인 전극(133, 136) 위로 무기절연물질 예를들면 산화실리콘(SiO2) 또는 질화실리콘(SiNx)을 증착하거나 또는 유기절연물질 예를들면 포토아크릴(photo acryl) 또는 벤조사이클로부텐(BCB)을 도포하여 보호층(140)을 형성하고, 이를 패터닝함으로써 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인 전극(136)을 노출시키는 드레인 콘택홀(143)을 형성한다.
다음, 도 3d에 도시한 바와같이, 상기 보호층(140) 위로 일함수 값이 비교적 높은 투명 도전성 물질인 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 수천 Å 정도의 두께를 갖도록 증착하고 패터닝함으로서 상기 드레인 콘택홀(143)을 통해 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인 전극(136)과 접촉하는 단일층 구조의 제 1 전극(147)을 형성하거나, 또는 상기 보호층(140) 위로 반사성이 우수한 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 은(Ag) 중 어느 하나를 증착한 후, 연속하여 투명 도전성 물질인 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 증착함으로써 이증층 구조의 금속층(미도시)을 형성한 후, 상기 이증층 구조의 금속층(미도시)을 마스크 공정을 진행하여 패터닝함으로써 이중층 구조의 제 1 전극(미도시)을 형성한다. 도면에 있어서는 단일층 구조의 제 1 전극(147)을 형성한 것을 일례로 도시하였다.
다음, 도 3e에 도시한 바와같이, 상기 제 1 전극(147) 위로 유기절연물질 예를들면 포토아크릴(photo acryl) 또는 벤조사이클로부텐(BCB)을 증착하고 이를 패터닝함으로써 각 화소영역(P)을 테두리하며 상기 제 1 전극(147)의 가장자리와 중첩하는 뱅크(150)를 형성한다.
다음, 상기 뱅크(150)가 형성된 플라스틱 기판(110)에 대해 노출된 상기 제 1 전극(147) 위로 유기 발광 물질을 쉐도우 마스크(미도시)를 이용한 열 증착을 실시함으로서 유기 발광층(155)을 형성한다. 이때, 상기 유기 발광층(155)은 도면에 있어서는 단일층 구조를 갖는 것을 도시하였지만, 발광 효율을 높이기 위해 정공주입층(hole injection layer), 정공수송층(hole transporting layer), 발광 물질층(emitting material layer), 전자수송층(electron transporting layer) 및 전자주입층(electron injection layer)의 다중층 구조를 갖도록 형성할 수도 있다.
다음, 도 3g에 도시한 바와같이, 상기 유기 발광층(155) 위로 일함수 값이 비교적 작은 금속물질 예를들면, 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 알루미늄-마그네슘 합금(AlMg), 마그네슘-은 합금(MgAg) 중 어느 하나의 물질을 증착하고 이를 패터닝함으로써 표시영역(AA) 전면에 제 2 전극(158)을 형성한다.
이때, 각 화소영역(P)에 순차 적층되며 구비된 상기 제 1 전극(147)과 유기 발광층(155)과 제 2 전극(158)은 유기전계 발광 다이오드(E)를 이룬다.
다음, 본 발명에 따른 유기전계 발광소자의 제조 방법에 있어 가장 특징적인 것으로, 도 3h와 도 4b에 도시한 바와 같이, 상기 유기전계 발광 다이오드(E) 위로 상기 제 2 전극(158)과 유기 발광층(155)과의 접합력 또는 상기 다중층 구조의 유기 발광층이 형성된 경우, 상기 다중층 구조의 유기 발광층을 이루는 각 물질층 간의 평균적인 접합력과 동등한 수준의 접합력을 갖는 물질로 이루어진 시트를 라미네이팅함으로써 제 1 접합력을 갖는 제 1 필름(170)을 게이트 및 데이터 패드 전극이 노출되도록 표시영역(AA) 전면 및 비표시영역(NA) 일부에 대응하여 형성한다. 이때, 상기 제 1 필름(170)은 PI(polyimide), PS(polystyrene), PET(polyethylene terephthalate), PEN(polyethylenenaphthalate), PES(polyethersulphone) 중 어느 하나로 이루어지는 것이 특징이다. 전술한 물질로 이루어진 상기 제 1 필름(170)은 상기 유기전계 발광 다이오드(E)를 이루는 각 물질층간 평균 접합력(이하 기준 접합력이라 칭함)을 1이라 할 때, 상기 제 2 전극(158)과의 접합력이 0.9배 내지 1.1배 정도가 되는 것이 특징이다.
이렇게 상기 유기전계 발광 다이오드(E) 상부에 상기 유기전계 발광 다이오드(E)를 이루는 각 물질층간의 평균적인 접합력 즉, 기준 접합력의 0.9 내지 1.1 정도의 접합력을 갖는 제 1 필름(170)을 형성하는 것은 유기전계 발광 다이오드(E)를 보호하여 유기전계 발광 다이오드(E) 내부의 물질층간 들뜸을 방지하고, 패널 전체를 지지하기 위함이다.
유기전계 발광소자를 이루는 구성요소의 제조 특성 상, 유기 발광층(155)과 제 2 전극(158)은 진공 열 증착에 의해 형성됨으로써 무기절연물질의 화학기상증착법 또는 유기절연물질의 코팅 및 경화에 의해 형성되는 보호층(140)과 스퍼터링에 의해 형성되는 각 배선(130, 미도시)들 및 제 1 전극(147) 대비 그 내부에서 입자간의 결합이 치밀하지 못하므로 진공 열 증착에 의해 형성된 물질층간의 접합력은 타 구성요소간의 접합력보다는 상대적으로 낮다.
상대적으로 접합력이 약한 유기전계 발광 다이오드(E) 상부에 직접적으로 상기 유기전계 발광 다이오드(E)를 이루는 구성요소간의 접합력보다 매우 강한 접합력 즉, 기준 접합력 대비 1.1배보다 큰 접합력을 갖는 필름이 부착되는 경우, 본 발명의 특성 상, 추후 상기 플라스틱 기판(110)을 기계적으로 상기 캐리어 기판(105)으로부터 분리시키는 공정 진행 시 가해지는 스트레스에 의해 휨이 발생하며, 이때, 유기전계 발광 다이오드(E) 상부에 구비된 강한 접합력을 갖는 필름의 강한 접합력에 의해 유기전계 발광 다이오드(E) 내부 물질층의 뜯김이 발생한다.
또한, 기준 접합력의 0.9배보다 작은 접합력(통상 기준 접합력의 0.3배 내지 0.6배임)을 갖는 일반적인 보호필름을 부착시에는 접합력이 너무 약하여 플라스틱 기판(110)을 캐리어 기판(105)으로부터 분리 시 보호필름의 밀림 등이 발생하여 내부에 기포가 형성되는 문제가 발생한다.
따라서, 이러한 문제를 해결하기 위해 본 발명에 따른 유기전계 발광소자의 제조에 있어서는 진공 열 증착에 의해 형성되는 구성요소로 이루어진 상기 유기전계 발광 다이오드(E)를 이루는 물질층간 평균적인 접합력의 0.9배 내지 1.1배 정도의 접합력을 갖는 제 1 필름(170)을 유기전계 발광 다이오드(E) 상부에 형성한 것이다.
도 5는 비교예로서 기준 접합력의 0.3배 내지 0.6배 정도의 접합력을 갖는 일반적인 보호필름만을 유기전계 발광 다이오드 상부에 부착한 상태에서 플라스틱 기판을 캐리어 기판으로부터 분리 시 보호필름 표면 상태를 나타낸 사진이다.
도시한 바와같이, 일반적으로 이용되는 기준 접합력의 0.3배 내지 0.6배 정도의 접합력을 갖는 보호필름을 이용하여 유기전계 발광 다이오드 상부에 부착 후 캐리어 기판으로부터 기계적인 분리 공정을 진행하게 되면 보호필름 자체의 밀림이 발생하여 내부에 공기층이 형성된 것을 알 수 있다.
다음, 도 3i에 도시한 바와 같이, 제 1 접합력을 갖는 제 1 필름(170)을 부착한 상태에서 상기 제 1 필름(170) 외측으로 노출된 상기 표시영역(AA) 외측의 비표시영역(NA) 중 게이트 및 데이터 패드전극(미도시)이 구비된 게이트 및 데이터 패드부에 구동 IC(183)가 구비된 FPCB(flexible printed circuit board)(180)를 부착한다. 이때, 도면에 나타내지 않았지만 상기 FPCB(180) 끝단에는 구동회로기판(183)이 부착되고 있다.
다음, 도 3i에 도시한 바와 같이, 상기 FPCB(180) 및 구동회로기판(미도시)이 부착된 상태에서 상기 제 1 필름(170) 전체 및 상기 FPCB(180) 일부와 중첩하며 그 일끝단이 상기 플라스틱 기판(110) 외측에 위치하도록 상기 제 1 접합력보다 크며, 나아가 상기 플라스틱 기판(110)과 캐리어 기판(105)의 접합력보다 큰 제 2 접합력을 갖는 시트를 라미네이팅하여 부착함으로 제 2 필름(175)을 형성한다. 이때, 상기 플라스틱 기판(110)과 캐리어 기판(105)간의 접합력이 상기 기준 접합력의 2배 내지 3배 정도가 되므로, 상기 제 2 접합력은 3배 내지 5배 정도가 되는 것이 특징이다.
상기 기준 접합력의 3배 내지 5배 정도의 제 2 접합력을 갖는 제 2 필름(175)을 구비한 것은 캐리어 기판(105)으로부터 플라스틱 기판(110)의 분리를 용이하게 하고, 표시영역(AA) 전체를 안정적으로 지지하며, 이동시 핸들링을 용이하게 하기 위함이다. 나아가, 제 1 접합력을 갖는 제 1 필름(170)의 밀림 발생을 더욱 안정적으로 억제하기 위함이다.
한편, 상기 제 2 필름(175)은 일례로 편광판인 것이 바람직하다. 편광판(75)은 선택적으로 특성 각도로 입사되는 빛에 대해서만 통과시키고 그 이외의 빛은 차단함으로써 정면에서의 휘도 특성 및 시인성을 향상시킬 수 있으며, 나아가 외부광이 반사되어 사용자의 눈으로 입사되어 발생되는 눈부심 현상을 억제할 수 있다.
따라서, 편광판으로 이루어진 제 2 필름(175)을 부착한 경우, 상기 유기 발광층(155)으로부터 나오는 빛의 사용자가 바라보는 정면으로 집중시키는 역할을 함으로써 정면에서의 휘도 특성을 향상시키며, 시인성을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
다음, 도 3j 및 도 3k에 도시한 바와 같이, 상기 제 2 필름(175)이 부착된 상태에서 비표시영역(NA) 외측으로 노출된 상기 제 2 필름(175)의 일 끝단을 진공 흡착하거나, 또는 클램프 등의 기구(미도시) 등을 이용하여 클램프 사이에 상기 제 2 필름(175)의 일 끝단이 위치하도록 한 후, 꽉 지지된 상태에서 상기 캐리어 기판(105)의 외측으로 서서히 힘을 가함으로써 상기 캐리어 기판(105)으로부터 상기 플라스틱 기판(110)을 서서히 분리한다. 이러한 캐리어 기판(105)으로부터의 플라스틱 기판(110)의 분리는 상기 클램프 등의 기구(미도시)없이 작업자의 손을 통해 수작업에 의해서 이루어질 수도 있다.
상기 제 2 필름(175)과 제 1 필름(170) 및 플라스틱 기판(110)간의 제 2 접합력이 상기 플라스틱 기판(110)과 캐리어 기판(105)간의 접합력보다 크므로 상기 패널의 비표시영역 끝단으로 노출된 상기 제 2 필름(175) 끝단을 이용하여 분리 공정을 진행해도 상기 제 2 필름(175)이 플라스틱 기판(110)으로부터 분리되는 일은 발생되지 않는다.
이후, 상기 플라스틱 기판(110) 외측으로 노출된 제 2 필름(175)을 절단하거나, 또는 적정 수준의 비표시영역(NA) 폭을 갖도록 상기 제 2 필름(175)과 플라스틱 기판(110)을 함께 절단함으로써 본 발명에 따른 플라스틱 기판(110)을 이용한 유기전계 발광소자(200)를 완성한다.
도 6은 본 발명에 실시예에 따라 제조된 제 1 및 제 2 필름이 부착된 플렉서블한 유기전계 발광 소자에 대한 사진이다.
도시하 바와같이, 본 발명에 따른 제 1 및 제 2 필름이 부착된 플렉서블한 유기전계 발광 소자는 제 1 필름 내부에 기포도 발생되지 않았으며, 유기전계 발광 다이오드의 들뜸도 발생되지 않았으며, 말림 현상 또한 발생되지 않았음을 알 수 있다.
한편, 전술한 바와 같이 진행되는 캐리어 기판(105)으로부터의 플라스틱 기판(110)과의 분리는 실질적으로 수초 내지 십 수초간 진행되므로 종래의 레이저 빔 조사를 통한 플라스틱 기판(110)의 분리 대비 수십 배 빠른 진행이 이루어지므로 단위 시간당 제조 생산성을 향상시키는 효과가 있다.
본 발명의 실시예에 있어서는 유기전계 발광소자를 일례로 보이고 있지만, 캐리어 기판을 매개로 하여 플렉서블한 플라스틱 기판이 사용되는 모든 표시장치 예를들면 액정표시장치 또는 전기영동 표시장치에 대해서도 캐리어 기판 상에 플라스틱 기판을 형성하고 공정상 필요 시 되는 특정 단계에서 상기 플라스틱 기판을 레이저 빔 조사 장치를 이용하지 않고 상기 캐리어 기판으로부터 탈착시키는 제조방법은 확대 적용될 수 있으며, 나아가 본 발명의 정신 및 사상을 벗어나지 않는 한도 내에서 다양하게 변형 및 변경할 수 있다는 것은 자명한 사실일 것이다.
105 : 캐리어 기판 110 : 플라스틱 기판
113 : 반도체층 113a : 제 1 영역
113b : 제 2 영역 116 : 게이트 절연막
120 : 게이트 전극 123 : 층간절연막
125 : 반도체층 콘택홀 133 : 소스 전극
136 : 드레인 전극 140 : 보호층
143 : 드레인 콘택홀 147 : 제 1 전극
155 : 유기 발광층 158 : 제 2 전극
170 : 제 1 필름 175 : 제 2 필름
180 : FPCB 183 : IC
AA : 표시영역
ALA : 어레이 소자 및 유기전계 발광 다이오드
DTr : 구동 박막트랜지스터 E : 유기전계 발광 다이오드
P : 화소영역
113 : 반도체층 113a : 제 1 영역
113b : 제 2 영역 116 : 게이트 절연막
120 : 게이트 전극 123 : 층간절연막
125 : 반도체층 콘택홀 133 : 소스 전극
136 : 드레인 전극 140 : 보호층
143 : 드레인 콘택홀 147 : 제 1 전극
155 : 유기 발광층 158 : 제 2 전극
170 : 제 1 필름 175 : 제 2 필름
180 : FPCB 183 : IC
AA : 표시영역
ALA : 어레이 소자 및 유기전계 발광 다이오드
DTr : 구동 박막트랜지스터 E : 유기전계 발광 다이오드
P : 화소영역
Claims (12)
- 캐리어 기판 상의 전면에 표시영역과 이의 외측으로 비표시영역이 정의된 플라스틱 기판을 형성하는 단계와;
상기 플라스틱 기판 상에 화상 구현을 위한 다수의 구성요소 및 그 내부 물질층이 평균적으로 제 1 접합력을 갖는 유기전계 발광 다이오드를 형성하는 단계와;
상기 유기전계 발광 다이오드 상부로 상기 표시영역에 제 2 접합력을 갖는 제 1 필름을 부착하는 단계와;
상기 제 1 필름 외측으로 노출된 상기 플라스틱 기판의 비표시영역 상에 구동 IC가 실장된 FPCB(flexible printed circuit board)를 부착하는 단계와;
상기 제 1 필름 전면과 상기 비표시영역에 상기 FPCB와 중첩하도록 상기 제 2 접합력보다 큰 제 3 접합력을 갖는 제 2 필름을 부착하는 단계와;
상기 캐리어 기판으로부터 상기 플라스틱 기판을 분리하는 단계
를 포함하는 플렉서블한 유기전계 발광소자의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서,
상기 플라스틱 기판은,
상기 캐리어 기판상에 액상의 플라스틱을 도포하고 열처리하여 상기 액상의 플라스틱을 경화시켜 형성하거나,
또는 필름 타입의 플라스틱 시트를 상기 캐리어 기판에 부착함으로서 형성하는 것이 특징인 플렉서블한 유기전계 발광소자의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서,
상기 제 2 접합력은 상기 제 1 접합력의 0.9배 내지 1.1배인 것이 특징인 플렉서블한 유기전계 발광소자의 제조 방법.
- 제 3 항에 있어서,
상기 제 1 필름은 PI(polyimide), PS(polystyrene), PET(polyethylene terephthalate), PEN(polyethylenenaphthalate), PES(polyethersulphone) 중 어느 하나로 이루어지는 것이 특징인 플렉서블한 유기전계 발광소자의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서,
상기 제 3 접합력은 상기 캐리어 기판과 플라스티 기판간의 접합력보다 크며 상기 제 1 접합력의 3배 내지 5배인 것이 특징인 플렉서블한 유기전계 발광소자의 제조 방법.
- 제 5 항에 있어서,
상기 제 2 필름은 편광판인 것이 특징인 플렉서블한 유기전계 발광소자의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서,
상기 다수의 구성요소를 형성하는 단계는,
상기 플라스틱 기판 상에 서로 교차하는 게이트 및 데이터 배선과, 상기 게이트 및 데이터 배선 중 어느 한 배선과 나란한 전원배선을 형성하고, 상기 게이트 및 데이터 배선과 연결된 스위칭 박막트랜지스터와, 상기 스위칭 박막트랜지스터 및 상기 전원배선과 연결된 구동 박막트랜지스터를 형성하는 단계와;
상기 스위칭 및 구동 박막트랜지스터 상부로 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극을 노출시키는 보호층을 형성하는 단계
를 포함하는 플렉서블한 유기전계 발광소자의 제조 방법.
- 제 7 항에 있어서,
상기 유기전계 발광소자를 형성하는 단계는,
상기 보호층 위로 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극과 접촉하는 제 1 전극을 형성하는 단계와;
상기 제 1 전극 위로 유기 발광층을 형성하는 단계와;
상기 유기 발광층 위로 제 2 전극을 형성하는 단계
를 포함하는 플렉서블한 유기전계 발광소자의 제조 방법.
- 제 8 항에 있어서,
상기 유기 발광층을 형성하기 전에 상기 제 1 전극의 가장자리와 중첩하는 뱅크를 형성하며,
상기 유기 발광층은 정공주입층(hole injection layer), 정공수송층(hole transporting layer), 발광 물질층(emitting material layer), 전자수송층(electron transporting layer) 및 전자주입층(electron injection layer)의 다중층 구조를 갖도록 형성하는 것이 특징인 플렉서블한 유기전계 발광소자의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서,
상기 캐리어 기판으로부터 상기 플라스틱 기판의 분리는,
상기 캐리어 기판 외측에 위치하는 상기 제 2 필름의 끝단을 진공 흡착하거나 클램프에 고정시킨 후, 상기 캐리어 기판의 외측으로 서서히 힘을 가하여 상기 플라스틱 기판을 상기 캐리어 기판으로부터 점진적으로 떨어지도록 하는 기계적인 분리에 의해 진행되는 것이 특징인 플렉서블한 유기전계 발광소자의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서,
캐리어 기판 상의 전면에 무기물질로 이루어진 접합 완화층을 형성하는 단계와;
상기 접합 완화층 상에 금속물질로서 격자 형태 또는 상기 표시영역을 테두리하는 형태의 접합 강화패턴을 형성하는 단계
를 포함하는 플렉서블한 유기전계 발광소자의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서,
상기 캐리어 기판은 유리 재질이며,
상기 무기물질은 산화실리콘(SiO2) 또는 질화실리콘(SiNx)이며,
상기 금속물질은 몰리브덴(Mo), 몰리텅스텐(MoW), 알루미늄(Al), 알루미늄합금(AlNd), 구리(Cu), 몰리티타늄(MoTi), 비정질 인듐-틴-옥사이드(a-ITO), 인듐-갈륨-징크-옥사이드(IGZO) 중 어느 하나인 것이 특징인 플렉서블한 유기전계 발광소자의 제조 방법.
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