KR20110129280A - Method for transferring carrier and vacuum processing apparatus using thereof - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A carrier transfer method and a vacuum processing apparatus using the same are provided to arrange a vertical carrier transfer apparatus and horizontal carrier transfer apparatus in a transfer chamber, thereby precisely transferring a carrier from a first rail to a second rail. CONSTITUTION: A carrier(10) is inputted to the inside of a transfer chamber through a first rail including a plurality of rollers. The carrier and a first rail(110) are descended as a first time. The first rail is descended as a second time. The carrier is transferred to a second rail(120) which is arranged by being separated from the first rail. The second rail is ascended as a first time. The carrier and second rail are ascended as a second time.

Description

캐리어 이송 방법 및 이를 이용한 진공 처리 장치{Method for transferring carrier and vacuum processing apparatus using thereof}Method for transferring carrier and vacuum processing apparatus using the same

본 발명은 캐리어 이송 방법 및 이를 이용한 진공 처리 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a carrier transfer method and a vacuum processing apparatus using the same.

일반적으로 플라즈마 디스플레이나 액정 디스플레이에 이용되는 대형 유리 기판을 가공하는 데는 진공상태에서 원하는 온도까지 상승시키는 가열공정이나, 스퍼터링, CVD(Chemical Vapor Deposition)등의 성막공정, 혹은 에칭 등의 가공공정 등을 이용하여 여러층으로 성막하는 여러 가지 처리공정이 필요하다. In general, the processing of large glass substrates used in plasma displays or liquid crystal displays includes heating processes to raise the desired temperature in a vacuum state, film forming processes such as sputtering, chemical vapor deposition (CVD), or etching processes. Various treatment processes for forming a film into multiple layers by using the same are required.

이하, 이들 진공상태에서의 성막공정 외에 이 성막공정에 부수하는 가열공정 등의 처리공정을 총괄적으로 진공 처리라고 하기로 한다.
Hereinafter, processing processes, such as a heating process accompanying this film-forming process, besides these film-forming processes in a vacuum state, are collectively called vacuum processing.

본 발명은 캐리어를 정밀하게 이송할 수 있는 캐리어 이송 방법 및 이를 이용한 진공 처리 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
An object of the present invention is to provide a carrier transfer method capable of precisely transferring a carrier and a vacuum processing apparatus using the same.

본 발명에 의한 캐리어 이송 방법은 다수의 롤러를 구비하는 제 1 레일을 통해 이송 챔버 내부로 캐리어가 인입되는 캐리어 인입 단계; 상기 캐리어 및 제 1 레일을 하강시키는 제 1 하강 단계; 상기 제 1 레일을 하강시키는 제 2 하강 단계; 상기 캐리어를 상기 제 1 레일과 이격되어 형성된 제 2 레일로 이동시키는 캐리어 이동 단계; 상기 제 2 레일을 상승시키는 제 1 상승 단계; 및 상기 캐리어 및 제 2 레일을 상승시키는 제 2 상승 단계를 포함한다.The carrier conveying method according to the present invention comprises a carrier retracting step of introducing a carrier into the conveying chamber through a first rail having a plurality of rollers; A first lowering step of lowering the carrier and the first rail; A second lowering step of lowering the first rail; A carrier moving step of moving the carrier to a second rail formed to be spaced apart from the first rail; A first raising step of raising the second rail; And a second raising step of raising the carrier and the second rail.

상기 캐리어는 상부에 형성된 상부 캐리어바와 하부에 형성된 하부 캐리어바를 포함하고, 상기 상부 캐리어바는 상기 이송 챔버에 형성된 마그넷과 결합되고 상기 하부 캐리어바는 상기 롤러와 결합될 수 있다. 상기 마그넷은 상기 이송 챔버에 고정될 수 있다.The carrier may include an upper carrier bar formed at an upper portion and a lower carrier bar formed at a lower portion thereof, the upper carrier bar may be coupled to a magnet formed in the transfer chamber, and the lower carrier bar may be coupled to the roller. The magnet may be fixed to the transfer chamber.

상기 제 1 하강 단계에서 상기 캐리어 및 제 1 레일은 상기 이송 챔버에 형성된 캐리어 수직 이송수단과 레일 수직 이송수단을 통해서 하강될 수 있다.In the first lowering step, the carrier and the first rail may be lowered through the carrier vertical transport means and the rail vertical transport means formed in the transport chamber.

상기 제 2 하강 단계에서 상기 제 1 레일에 형성된 롤러는 상기 캐리어로부터 분리될 수 있다.The roller formed in the first rail in the second lowering step may be separated from the carrier.

상기 캐리어 이동 단계에서 상기 캐리어는 상기 이송 챔버에 형성된 캐리어 수평 이송 수단을 통해서 제 1 레일에서 제 2 레일로 이동될 수 있다. In the carrier movement step, the carrier may be moved from the first rail to the second rail through a carrier horizontal transport means formed in the transport chamber.

상기 제 1 상승 단계에서 상기 제 2 레일에 형성된 롤러는 상기 캐리어와 결합될 수 있다.The roller formed in the second rail in the first rising step may be coupled to the carrier.

상기 제 2 상승 단계 후에는 제 2 레일을 통해 이송 챔버 외부로 캐리어가 인출되는 캐리어 인출 단계를 더 포함할 수 있다.After the second raising step may further include a carrier withdrawal step in which the carrier is withdrawn to the outside of the transfer chamber through the second rail.

또한, 본 발명에 의한 진공 처리 장치는 기판이 탑재된 캐리어가 이송되는 이송 챔버; 상기 챔버의 일측에 형성되며, 상기 캐리어가 이동하는 경로인 제 1 레일; 상기 챔버의 타측에 형성되며, 상기 캐리어가 이동하는 경로인 제 2 레일; 상기 챔버의 상부에 형성되며, 상기 캐리어를 고정하는 마그넷; 상기 캐리어를 수직으로 이동시키는 캐리어 수직 이송수단; 상기 캐리어를 수평으로 이동시키는 캐리어 수평 이송수단; 및 상기 제 1 레일 및 제 2 레일을 수직으로 이동시키는 레일 수직 이송수단을 포함한다.In addition, the vacuum processing apparatus according to the present invention includes a transfer chamber in which a carrier on which a substrate is mounted is transferred; A first rail formed at one side of the chamber, the first rail being a path through which the carrier moves; A second rail formed at the other side of the chamber, the second rail being a path through which the carrier moves; A magnet formed on the chamber and fixing the carrier; Vertical carrier means for vertically moving the carrier; Carrier horizontal transport means for moving the carrier horizontally; And vertical rail transfer means for vertically moving the first rail and the second rail.

상기 제 1 레일 및 제 2 레일에는 다수의 롤러가 형성되어 상기 캐리어를 이동시킬 수 있다.A plurality of rollers may be formed on the first rail and the second rail to move the carrier.

상기 캐리어는 기판이 탑재되는 탑재부; 상기 캐리어의 상부를 고정시키는 상부 캐리어바; 및 상기 캐리어를 이동시키는 하부 캐리어바을 포함할 수 있다.The carrier includes a mounting portion on which the substrate is mounted; An upper carrier bar fixing an upper portion of the carrier; And it may include a lower carrier bar for moving the carrier.

상기 상부 캐리어바는 상기 마그넷과 결합하여 상기 캐리어를 고정시킬 수 있다. 또한, 상기 하부 캐리어바는 상기 제 1 롤러 및 제 2 롤러에 형성된 롤러에 안착되어 상기 캐리어를 이동시킬 수 있다.The upper carrier bar may be coupled to the magnet to fix the carrier. In addition, the lower carrier bar may be seated on rollers formed on the first roller and the second roller to move the carrier.

상기 이송 챔버에는 상기 기판을 가열하거나 성막하는 진공 챔버가 더 연결될 수 있다. 또한, 상기 이송 챔버에는 상기 캐리어를 고정시키는 고정 암(arm)이 더 형성될 수 있다.
The transfer chamber may be further connected to a vacuum chamber for heating or depositing the substrate. In addition, a fixing arm for fixing the carrier may be further formed in the transfer chamber.

본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 방법 및 이를 이용한 진공 처리 장치는 이송 챔버에 캐리어 수직 이송장치 및 캐리어 수평 이송장치가 형성되어 캐리어를 제 1 레일로부터 제 2 레일로 정밀하게 이송시킬 수 있다. In the carrier transfer method and the vacuum processing apparatus using the same according to an embodiment of the present invention, a carrier vertical transfer device and a carrier horizontal transfer device may be formed in the transfer chamber to precisely transfer the carrier from the first rail to the second rail.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 방법 및 이를 이용한 진공 처리 장치는 챔버에 제 1 레일 및 제 2 레일이 함께 형성됨으로써, 캐리어를 용이하게 이송할 수 있고 공간을 효율적으로 사용할 수 있다.
In addition, the carrier transport method and the vacuum processing apparatus using the same according to an embodiment of the present invention is formed with the first rail and the second rail in the chamber, it is possible to easily transport the carrier and to efficiently use the space.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 처리 장치를 도시한 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 이송 챔버를 도시한 구성도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 방법을 도시한 플로우 챠트이다.
도 4a 내지 도 4f는 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 방법을 설명하기 위한 구성도이다.1 is a block diagram showing a vacuum processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a configuration diagram illustrating the transfer chamber illustrated in FIG. 1.
3 is a flow chart showing a carrier transport method according to an embodiment of the present invention.
4A to 4F are configuration diagrams for describing a carrier transporting method according to an embodiment of the present invention.

본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings such that those skilled in the art may easily implement the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 처리 장치를 도시한 구성도이다. 도 2는 도 1에 도시된 이송 챔버를 도시한 구성도이다.1 is a block diagram showing a vacuum processing apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a configuration diagram illustrating the transfer chamber illustrated in FIG. 1.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 처리 장치는 캐리어(10)에 탑재된 기판(P)을 진공 처리하는 장치로 기판 착탈부(20), 예비 챔버(30), 진공 챔버(40,50) 및 이송 챔버(100)를 포함한다.1 and 2, a vacuum processing apparatus according to an embodiment of the present invention is a device for vacuum processing a substrate P mounted on a carrier 10, and a substrate detachable part 20 and a preliminary chamber 30. , Vacuum chambers 40, 50 and transfer chamber 100.

상기 캐리어(10)는 기판(P)을 진공 처리하기 위해서 기판(P)을 탑재하여 이송하는 이동수단이다. 여기서, 상기 기판(P)은 액정 표시 장치(liquid crystal display), 유기 발광 표시 장치(organic light-emitting diode device)와 같은 평판 표시 장치를 구성하는 유리 기판이다. The carrier 10 is a moving means for mounting and transporting the substrate P in order to vacuum the substrate P. Here, the substrate P is a glass substrate constituting a flat panel display device such as a liquid crystal display and an organic light-emitting diode device.

또한, 상기 캐리어(10)는 상기 기판(P)을 약간 경사지게 탑재하여 이송하게 된다. 이는, 상기 기판(P)이 크기에 비해 얇아서 수직으로 탑재한 경우에는 기판(P)이 휠 우려가 있기 때문이다. 따라서, 상기 캐리어(10)는 상기 기판(P)을 약간 경사지게 탑재함으로써 기판(P)을 안정하게 유지하고 기판(P)의 평탄성을 확보할 수 있다.In addition, the carrier 10 is transported by mounting the substrate (P) slightly inclined. This is because the substrate P may be wheeled when the substrate P is thin in size and mounted vertically. Therefore, the carrier 10 may be mounted at an angle to the substrate P to be slightly inclined, thereby stably maintaining the substrate P and ensuring flatness of the substrate P. FIG.

상기 캐리어(10)는 탑재부(11), 상부 캐리어바(12) 및 하부 캐리어바(13)를 포함한다.The carrier 10 includes a mounting part 11, an upper carrier bar 12, and a lower carrier bar 13.

상기 탑재부(11)는 상기 캐리어(10)의 일면에 형성된 홈으로 상기 기판(P)이 탑재되는 부분이다. 상기 탑재부(11)에 기판(P)이 탑재되고, 기판 고정수단(미도시)에 의해 상기 기판(P)이 고정된다. 따라서, 상기 기판 고정수단은 상기 기판(P)이 캐리어(10)로부터 이탈되는 것을 방지한다. The mounting portion 11 is a portion in which the substrate P is mounted as a groove formed on one surface of the carrier 10. The substrate P is mounted on the mounting portion 11, and the substrate P is fixed by a substrate fixing means (not shown). Thus, the substrate fixing means prevents the substrate P from being separated from the carrier 10.

상기 상부 캐리어바(12)는 상기 캐리어(10)의 상부에 형성되며, 영구자석으로 형성될 수 있다. 상기 상부 캐리어바(12)는 상기 캐리어(10)가 흔들리거나 쓰러지는 것을 방지하기 위해, 상부에서 상기 캐리어(10)의 중심을 유지하도록 하는 역할을 한다. The upper carrier bar 12 is formed on the carrier 10, it may be formed of a permanent magnet. The upper carrier bar 12 serves to maintain the center of the carrier 10 at the top to prevent the carrier 10 from shaking or falling down.

상기 하부 캐리어바(13)는 상기 캐리어(10)의 하부에 형성된다. 상기 하부 캐리어바(13)는 상기 캐리어(10)가 레일 위를 이동할 수 있도록 둥근 바(bar) 형태로 형성된다.The lower carrier bar 13 is formed below the carrier 10. The lower carrier bar 13 is formed in a round bar shape so that the carrier 10 can move on the rail.

상기 기판 착탈부(20)에서는 상기 캐리어(10)에 기판(P)을 장착시키거나 진공 처리된 기판(P)을 캐리어(10)로부터 분리한다. In the substrate attaching and detaching unit 20, the substrate P is mounted on the carrier 10 or the substrate P which is vacuumed is separated from the carrier 10.

상기 예비 챔버(30)는 상기 기판 착탈부(20)에 연결되며, 상기 기판 착탈부(20)로부터 인입된 캐리어(10)를 진공 챔버(40,50)에 반입시키거나 반출시킨다. 상기 예비 챔버(30)에는 진공배기장치(미도시)가 장착되어, 상기 예비 챔버(30)를 진공 상태로 만들 수 있다. The preliminary chamber 30 is connected to the substrate detachable portion 20, and carries or unloads the carrier 10 introduced from the substrate detachable portion 20 into the vacuum chambers 40 and 50. The preliminary chamber 30 may be equipped with a vacuum exhaust device (not shown) to make the preliminary chamber 30 in a vacuum state.

상기 진공 챔버(40,50)는 상기 예비 챔버(30)에 연결되며, 상기 예비 챔버(30)로부터 인입된 캐리어(10)를 가열하거나 성막 처리한다. 상기 진공 챔버(40,50)에는 기판(P)을 가열시키는 가열장치(미도시) 및 성막 처리하는 성막장치(미도시)가 장착된다. 또한, 상기 진공 챔버(40,50)에는 상기 예비 챔버(30)와 동일하게 진공배기장치(미도시)가 장착되어, 상기 진공 챔버(40,50)를 진공 상태로 만들 수 있다.
The vacuum chambers 40 and 50 are connected to the preliminary chamber 30, and heat or deposit the carrier 10 drawn from the preliminary chamber 30. The vacuum chambers 40 and 50 are equipped with a heating apparatus (not shown) for heating the substrate P and a deposition apparatus (not shown) for forming a film. In addition, a vacuum exhaust device (not shown) may be installed in the vacuum chambers 40 and 50 in the same manner as the preliminary chamber 30 to make the vacuum chambers 40 and 50 in a vacuum state.

도 2를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 처리 장치 중 이송 챔버에 대해 자세하게 설명하기로 한다.Referring to Figure 2, it will be described in detail with respect to the transfer chamber of the vacuum processing apparatus according to an embodiment of the present invention.

상기 이송 챔버(100)는 상기 진공 챔버(40,50)와 연결되며, 상기 캐리어(10)를 이송시키는 역할을 한다.The transfer chamber 100 is connected to the vacuum chambers 40 and 50 and serves to transfer the carrier 10.

상기 이송 챔버(100)는 제 1 레일(110), 제 2 레일(120), 마그넷(130), 캐리어 수직 이송장치(140), 캐리어 수평 이송장치(150), 레일 수직 이송장치(160) 및 고정 암(arm)(170)을 포함한다.The transfer chamber 100 includes a first rail 110, a second rail 120, a magnet 130, a carrier vertical feeder 140, a carrier horizontal feeder 150, a rail vertical feeder 160, and And a stationary arm 170.

상기 제 1 레일(110)은 상기 이송 챔버(100)의 일측에 형성된다. 또한, 상기 제 1 레일(110)은 상기 예비 챔버(30) 및 진공 챔버(40,50)의 일측에도 형성된다. 즉, 상기 제 1 레일(110)은 상기 기판 착탈부(20)로부터 형성되어 예비 챔버(30), 진공 챔버(40,50) 및 이송 챔버(100)의 일측에 일체로 형성될 수 있다. 상기 제 1 레일(110)은 상기 기판 착탈부(20)로부터 반출된 캐리어(10)가 이동하는 이동 경로가 된다. The first rail 110 is formed on one side of the transfer chamber 100. In addition, the first rail 110 is formed at one side of the preliminary chamber 30 and the vacuum chambers 40 and 50. That is, the first rail 110 may be formed from the substrate detachable part 20 and integrally formed on one side of the preliminary chamber 30, the vacuum chambers 40 and 50, and the transfer chamber 100. The first rail 110 serves as a movement path through which the carrier 10 carried out from the substrate detachable portion 20 moves.

상기 제 1 레일(110)에는 다수의 롤러(111)가 형성된다. 상기 롤러(111)는 상기 캐리어(10)가 안착되는 부분이며, 모터(미도시)에 의해 구동된다. 즉, 상기 롤러(111)는 모터에 의해 구동되어 상기 캐리어(10)를 이동시키게 된다. A plurality of rollers 111 are formed on the first rail 110. The roller 111 is a portion on which the carrier 10 is seated and is driven by a motor (not shown). That is, the roller 111 is driven by a motor to move the carrier 10.

상기 제 2 레일(120)은 상기 이송 챔버(100)의 타측에 형성된다. 또한, 상기 제 2 레일(120)은 상기 예비 챔버(30) 및 진공 챔버(40,50)의 타측에도 형성된다. 즉, 상기 제 2 레일(120)은 상기 기판 착탈부(20)로부터 형성되어 예비 챔버(30), 진공 챔버(40,50) 및 이송 챔버(100)의 일측에 일체로 형성될 수 있다. 상기 제 2 레일(120)은 상기 제 1 레일(110)로부터 이송된 캐리어(10)가 이동하는 이동 경로가 된다. The second rail 120 is formed at the other side of the transfer chamber 100. In addition, the second rail 120 is formed on the other side of the preliminary chamber 30 and the vacuum chambers 40 and 50. That is, the second rail 120 may be formed from the substrate detachable part 20 and integrally formed on one side of the preliminary chamber 30, the vacuum chambers 40 and 50, and the transfer chamber 100. The second rail 120 is a movement path through which the carrier 10 transferred from the first rail 110 moves.

상기 제 2 레일(120)에는 다수의 롤러(121)가 형성된다. 상기 롤러(121)는 상기 캐리어(10)가 안착되는 부분이며, 모터(미도시)에 의해 구동된다. 즉, 상기 롤러(121)는 모터에 의해 구동되어 상기 캐리어(10)를 이동시키게 된다. A plurality of rollers 121 are formed on the second rail 120. The roller 121 is a portion on which the carrier 10 is seated and is driven by a motor (not shown). That is, the roller 121 is driven by a motor to move the carrier 10.

여기서, 상기 제 1 레일(110)과 상기 제 2 레일(120)은 반대로 형성될 수 있다.Here, the first rail 110 and the second rail 120 may be formed in reverse.

상기 마그넷(130)은 상기 제 1 레일(110) 및 상기 제 2 레일(120)과 대응되도록 상기 이송 챔버(100)의 상부에 형성된다. 또한, 상기 마그넷(130)은 상기 예비 챔버(30) 및 진공 챔버(40,50)의 상부에도 형성된다. 즉, 상기 마그넷(130)은 상기 기판 착탈부(20)로부터 형성되어 예비 챔버(30), 진공 챔버(40,50) 및 이송 챔버(100)의 상부에서 서로 연결되도록 형성되며, 상기 제 1 레일(110) 및 상기 제 2 레일(120)과 대응되도록 2개의 띠 형상으로 형성된다.The magnet 130 is formed on the transfer chamber 100 to correspond to the first rail 110 and the second rail 120. In addition, the magnet 130 is also formed on the upper portion of the preliminary chamber 30 and the vacuum chamber (40, 50). That is, the magnet 130 is formed from the substrate detachable portion 20 to be connected to each other in the upper portion of the preliminary chamber 30, the vacuum chamber 40, 50 and the transfer chamber 100, the first rail It is formed in two band shapes so as to correspond to the 110 and the second rail (120).

상기 마그넷(130)은 전자석으로 형성되며, 상기 이송 챔버(100)의 상부에 고정되어 움직이지 않는다. 상기 마그넷(130)은 상기 캐리어(10)의 상부 캐리어바(12)와 자력으로 결합되어 상기 캐리어(10)가 흔들리거나 쓰러지는 것을 방지하는 역할을 한다. The magnet 130 is formed of an electromagnet, is fixed to the upper portion of the transfer chamber 100 does not move. The magnet 130 is magnetically coupled to the upper carrier bar 12 of the carrier 10 serves to prevent the carrier 10 from shaking or falling down.

상기 캐리어 수직 이송장치(140)는 상기 캐리어(10)를 상/하로 이송하는 역할을 한다. 상기 캐리어 수직 이송장치(140)는 상기 캐리어(10)를 하강시켜 상기 마그넷(130)으로부터 상기 캐리어(10)를 분리시킨다. 그리고, 상기 캐리어(10)가 제 1 레일(110)에서 제 2 레일(120)로 옮겨지고 나면 상기 캐리어(10)를 상승시켜 상기 마그넷(130)에 결합시킨다. 예를 들어, 상기 캐리어 수직 이송장치(140)는 서보 모터와 볼스크류로 형성될 수 있다. 여기서, 볼스크류는 회전운동을 직선운동으로 바꾸는 것으로, 상기 서보모터가 상기 볼스크류의 회전수를 제어하여 상기 캐리어(10)의 위치를 정밀하게 조절할 수 있다. 여기서, 상기 캐리어 수직 이송장치(140)는 이에 한정되지 않고, 상기 캐리어(10)를 수직으로 이송시킬 수 있는 장치라면 어느 것이라도 가능하다.The carrier vertical transfer device 140 serves to transfer the carrier 10 up and down. The carrier vertical transfer device 140 lowers the carrier 10 to separate the carrier 10 from the magnet 130. In addition, after the carrier 10 is moved from the first rail 110 to the second rail 120, the carrier 10 is raised to be coupled to the magnet 130. For example, the carrier vertical transfer device 140 may be formed of a servo motor and a ball screw. Here, the ball screw is to change the rotational movement to a linear movement, the servo motor can control the rotational speed of the ball screw to precisely adjust the position of the carrier (10). Here, the carrier vertical transfer device 140 is not limited to this, any device that can vertically transfer the carrier 10 can be any.

상기 캐리어 수평 이송장치(150)는 상기 캐리어(10)를 좌/우로 이송하는 역할을 한다. 즉, 상기 제 1 레일(110)에 위치한 캐리어(10)를 상기 제 2 레일(120)로 이송하는 역할을 한다. 상기 캐리어 수평 이송장치(150)도 상기 캐리어 수직 이송장치(140)와 마찬가지로 서보 모터와 볼스크류로 형성될 수 있다. 여기서, 상기 캐리어 수평 이송장치(150)는 이에 한정되지 않고, 상기 캐리어(10)를 수평으로 이송시킬 수 있는 장치라면 어느 것이라도 가능하다.The carrier horizontal transfer device 150 serves to transfer the carrier 10 to the left / right. That is, the carrier 10 positioned on the first rail 110 serves to transfer the second rail 120. The carrier horizontal feeder 150 may be formed of a servo motor and a ball screw like the carrier vertical feeder 140. Here, the carrier horizontal transfer device 150 is not limited to this, any device may be used as long as the carrier 10 can be horizontally transferred.

상기 레일 수직 이송장치(160)는 상기 제 1 레일(110) 및 상기 제 2 레일(120)을 상/하로 이송하는 역할을 한다. 상기 레일 수직 이송장치(160)는 상기 제 1 레일(110) 및 상기 제 2 레일(120)에 연결되어 제 1 레일(110) 및 제 2 레일(120)을 동시에 움직일 수 있다. 상기 레일 수직 이송장치(160)는 레일(110,120)을 하강시켜 상기 캐리어(10)로부터 분리시키고, 상기 캐리어(10)가 제 1 레일(110)에서 제 2 레일(120)로 옮겨지고 나면 레일(110,120)을 상승시켜 상기 캐리어(10)에 결합시킨다. 상기 레일 수직 이송장치(160)도 상기 캐리어 수직 이송장치(140)와 마찬가지로 서보 모터와 볼스크류로 형성될 수 있다. 여기서, 상기 레일 수직 이송장치(160)는 이에 한정되지 않고, 상기 레일(110,120)을 수직으로 이송시킬 수 있는 장치라면 어느 것이라도 가능하다.The rail vertical transfer device 160 serves to transfer the first rail 110 and the second rail 120 up and down. The rail vertical transfer device 160 may be connected to the first rail 110 and the second rail 120 to simultaneously move the first rail 110 and the second rail 120. The rail vertical feeder 160 is lowered from the carrier 10 by lowering the rails 110 and 120, and after the carrier 10 is moved from the first rail 110 to the second rail 120, the rail ( The 110 and 120 are raised to couple to the carrier 10. The rail vertical feeder 160 may be formed of a servo motor and a ball screw like the carrier vertical feeder 140. Here, the rail vertical conveying device 160 is not limited to this, any device that can vertically convey the rail (110, 120) can be any.

상기 고정 암(arm)(170)은 상기 캐리어(10)를 제 1 레일(110)에서 제 2 레일(120)로 이송할 때 상기 캐리어(10)를 고정시키는 역할을 한다. 상기 고정 암(170)에는 캐리어 수직 이송장치(140) 및 캐리어 수평 이송장치(150)가 연결된다. 상기 캐리어(10)는 제 1 레일(110)에서 제 2 레일(120)로 이송될 때, 상기 캐리어(10)를 지지하던 마그넷(130) 및 제 1 레일(110)로부터 분리된다. 따라서, 상기 고정 암(170)이 작동하여 상기 캐리어(10)를 고정시킨다.
The fixing arm 170 serves to fix the carrier 10 when the carrier 10 is transferred from the first rail 110 to the second rail 120. Carrier vertical feeder 140 and carrier horizontal feeder 150 are connected to the fixed arm 170. When the carrier 10 is transferred from the first rail 110 to the second rail 120, the carrier 10 is separated from the magnet 130 and the first rail 110 supporting the carrier 10. Thus, the fixing arm 170 operates to fix the carrier 10.

이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 처리 장치는 이송 챔버(100)에 캐리어 수직 이송장치(140) 및 캐리어 수평 이송장치(150)가 형성되어 상기 캐리어(10)를 제 1 레일(110)로부터 제 2 레일(120)로 정밀하게 이송시킬 수 있다.As such, in the vacuum processing apparatus according to the exemplary embodiment of the present invention, the carrier vertical transfer device 140 and the carrier horizontal transfer device 150 are formed in the transfer chamber 100 so that the carrier 10 may be connected to the first rail 110. ) Can be accurately transferred to the second rail 120.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 처리 장치는 이송 챔버(100)에 제 1 레일(110) 및 제 2 레일(120)이 함께 형성됨으로써 캐리어(10)를 용이하게 이송할 수 있고 공간을 효율적으로 사용할 수 있다.
In addition, in the vacuum processing apparatus according to the exemplary embodiment of the present invention, since the first rail 110 and the second rail 120 are formed together in the transfer chamber 100, the carrier 10 may be easily transferred and space may be provided. It can be used efficiently.

다음은 상기 이송 챔버에서 캐리어를 이송시키는 캐리어 이송 방법에 대해서 살펴보기로 한다.Next, a carrier transfer method for transferring a carrier in the transfer chamber will be described.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 방법을 도시한 플로우 챠트이다. 도 4a 내지 도 4f는 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 방법을 설명하기 위한 구성도이다.3 is a flow chart showing a carrier transport method according to an embodiment of the present invention. 4A to 4F are configuration diagrams for describing a carrier transporting method according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 방법은 캐리어 인입 단계(S1), 제 1 하강 단계(S2), 제 2 하강 단계(S3), 캐리어 이동 단계(S4), 제 1 상승 단계(S5), 제 2 상승 단계(S6) 및 캐리어 인출 단계(S7)를 포함한다. 이하에서는 도 3의 각 단계들을 도 4a 내지 도 4f를 함께 참조하여 설명하기로 한다.
Referring to Figure 3, the carrier transport method according to an embodiment of the present invention, the carrier retraction step (S1), the first falling step (S2), the second falling step (S3), the carrier moving step (S4), the first A raising step S5, a second raising step S6 and a carrier withdrawing step S7. Hereinafter, each step of FIG. 3 will be described with reference to FIGS. 4A to 4F.

상기 캐리어 인입 단계(S1)는 기판(P)이 탑재된 캐리어(10)가 이송 챔버(100) 내부로 인입되는 단계이다.The carrier introduction step S1 is a step in which the carrier 10 on which the substrate P is mounted is introduced into the transfer chamber 100.

도 4a를 참조하면, 상기 캐리어(10)는 제 1 레일(110)에 형성된 롤러(111)를 따라 이송 챔버(100) 내부로 이동된다. 상기 캐리어(10)의 하부에 형성된 하부 캐리어바(13)는 상기 롤러(111)와 결합되고, 상기 롤러(111)는 모터에 의해 구동된다. 이에 따라, 상기 캐리어(10)는 상기 롤러(111)를 따라 이동하게 된다. 또한, 상기 캐리어(10)의 상부에 형성된 고정부(11)는 이송 챔버(100)의 상부에 형성된 마그넷(130)과 결합되어 캐리어(10)가 흔들리거나 쓰러지는 것을 방지한다. 즉, 상기 고정부(11)는 마그넷(130)과 결합되어 상기 캐리어(10)의 중심을 유지하도록 하는 역할을 한다. Referring to FIG. 4A, the carrier 10 is moved into the transfer chamber 100 along the roller 111 formed on the first rail 110. The lower carrier bar 13 formed below the carrier 10 is coupled with the roller 111, and the roller 111 is driven by a motor. Accordingly, the carrier 10 moves along the roller 111. In addition, the fixing part 11 formed on the upper portion of the carrier 10 is coupled to the magnet 130 formed on the upper portion of the transfer chamber 100 to prevent the carrier 10 from shaking or falling down. That is, the fixing part 11 is coupled to the magnet 130 serves to maintain the center of the carrier 10.

여기서, 상기 고정부(11)와 마그넷(130)이 결합되는 방법을 살펴보면 다음과 같다. 상기 고정부(11)는 영구자석으로 형성되고 상기 마그넷(130)은 전자석으로 형성된다. 이때, 상기 고정부(11)와 상기 마그넷(130)은 같은 극으로 형성되어 둘 사이에 인력이 작용하게 된다. 예를 들어, 상기 고정부(11)는 영구자석이므로 N극으로 고정되어 있고, 상기 마그넷(130)은 N극을 띠게 되어 둘 사이에는 인력이 발생하여 서로 끌어당기게 된다. 이때, 그 인력의 크기는 상기 캐리어(10)를 수직으로 지탱할 정도의 크기로 형성된다. Here, look at how the fixing portion 11 and the magnet 130 is coupled as follows. The fixing part 11 is formed of a permanent magnet and the magnet 130 is formed of an electromagnet. At this time, the fixing part 11 and the magnet 130 are formed in the same pole so that the attraction force between the two. For example, since the fixing part 11 is a permanent magnet, it is fixed to the N pole, and the magnet 130 has the N pole so that attractive force is generated between the two to attract each other. At this time, the size of the attraction force is formed to a size that supports the carrier 10 vertically.

상기 캐리어(10)가 이송 챔버(100) 내부로 인입되면, 상기 이송 챔버(100)에 형성된 고정 암(170)이 상기 캐리어(10)를 고정시킨다.
When the carrier 10 is introduced into the transfer chamber 100, a fixing arm 170 formed in the transfer chamber 100 fixes the carrier 10.

상기 제 1 하강 단계(S2)는 상기 마그넷(130)으로부터 상기 캐리어(10)를 분리시키기 위해 캐리어(10) 및 제 1 레일(110)이 하강되는 단계이다.In the first lowering step S2, the carrier 10 and the first rail 110 are lowered to separate the carrier 10 from the magnet 130.

도 4b를 참조하면, 상기 캐리어(10)는 캐리어 수직 이송장치(140)에 의해 하강된다. 또한, 상기 캐리어(10)가 안착된 제 1 레일(110)도 레일 수직 이송장치(160)에 의해 상기 캐리어(10)와 같이 하강된다. 상기 레일 수직 이송장치(160)는 제 1 레일(110) 및 제 2 레일(120)과 연결되어 있으므로, 상기 제 1 레일(110)을 하강시킬 때 상기 제 2 레일(120)도 같이 하강된다. 상기 캐리어 수직 이송장치(140) 및 레일 수직 이송장치(160)는 서보 모터와 볼스크류로 형성되어 있으므로, 상기 캐리어(10) 및 제 1 레일(110)을 정밀하게 하강시킬 수 있다. Referring to FIG. 4B, the carrier 10 is lowered by the carrier vertical transfer device 140. In addition, the first rail 110 on which the carrier 10 is seated is also lowered like the carrier 10 by the rail vertical transfer device 160. Since the rail vertical transfer device 160 is connected to the first rail 110 and the second rail 120, the second rail 120 is also lowered when the first rail 110 is lowered. Since the carrier vertical feeder 140 and the rail vertical feeder 160 are formed of a servo motor and a ball screw, the carrier 10 and the first rail 110 can be lowered precisely.

여기서, 상기 캐리어(10)와 인력으로 결합된 마그넷(130)은 N극에서 S극으로 변경되어 상기 캐리어(10)와 마그넷(130) 사이에는 척력이 발생할 수 있다. 또한, 상기 마그넷(130)은 전류가 흐르지 않아 극성을 띠지 않을 수 있다. 따라서, 상기 캐리어(10)는 상기 마그넷(130)으로부터 분리가 가능하게 된다. Here, the magnet 130 coupled to the carrier 10 by the attraction force may be changed from the N pole to the S pole so that repulsive force may occur between the carrier 10 and the magnet 130. In addition, the magnet 130 may not be polarized because no current flows. Therefore, the carrier 10 can be separated from the magnet 130.

또한, 상기 캐리어(10)는 상기 고정 암(170)에 의해 고정되어 있기 때문에, 상기 마그넷(130)으로부터 분리되더라도 흔들리거나 쓰러지지 않는다.
In addition, since the carrier 10 is fixed by the fixing arm 170, the carrier 10 does not shake or fall even when separated from the magnet 130.

상기 제 2 하강 단계(S3)는 상기 캐리어(10)로부터 상기 제 1 레일(110)을 분리시키기 위해 제 1 레일(110)이 하강되는 단계이다.The second lowering step S3 is a step in which the first rail 110 is lowered to separate the first rail 110 from the carrier 10.

도 4c를 참조하면, 상기 제 1 레일(110)은 상기 레일 수직 이송장치(160)에 의해 하강되어 상기 캐리어(10)로부터 분리된다. 이때, 제 2 레일(120)도 함께 하강된다. 즉, 상기 제 2 하강 단계(S3)에서 상기 캐리어(10)는 마그넷(130) 및 제 1 레일(110)로부터 분리되어 오로지 고정 암(170)에 의해서만 고정된다.
Referring to FIG. 4C, the first rail 110 is lowered by the rail vertical feeder 160 to be separated from the carrier 10. At this time, the second rail 120 is also lowered together. That is, in the second lowering step S3, the carrier 10 is separated from the magnet 130 and the first rail 110 and fixed only by the fixing arm 170.

상기 캐리어 이동 단계(S4)는 상기 캐리어(10)가 제 1 레일(110)에서 제 2 레일(120)로 이송되는 단계이다.The carrier movement step S4 is a step in which the carrier 10 is transferred from the first rail 110 to the second rail 120.

도 4d를 참조하면, 상기 캐리어(10)는 상기 고정 암(170)에 고정되어 있으며 캐리어 수평 이송장치(150)에 의해 상기 제 1 레일(110)에서 제 2 레일(120)로 이송된다. 상기 수평 이송장치(150)는 서보 모터와 볼스크류로 형성되어 있으므로, 상기 캐리어(10)를 제 1 레일(110)에서 제 2 레일(120)로 정밀하게 이송시킬 수 있다.
Referring to FIG. 4D, the carrier 10 is fixed to the fixing arm 170 and is transferred from the first rail 110 to the second rail 120 by the carrier horizontal transfer device 150. Since the horizontal feeder 150 is formed of a servo motor and a ball screw, the carrier 10 can be precisely transferred from the first rail 110 to the second rail 120.

상기 제 1 상승 단계(S5)는 상기 캐리어(10)에 제 2 레일(120)을 결합시키기 위해 제 2 레일(120)이 상승되는 단계이다.The first raising step S5 is a step in which the second rail 120 is raised to couple the second rail 120 to the carrier 10.

도 4e를 참조하면, 상기 제 2 레일(120)은 상기 레일 수직 이송장치(160)에 의해 상승되어 상기 캐리어(10)와 결합된다. 이때, 제 1 레일(110)도 함께 상승된다. 즉, 상기 캐리어(10)의 하부 캐리어바(13)가 상기 제 2 레일(120)의 롤러(121)와 결합된다.
Referring to FIG. 4E, the second rail 120 is lifted by the rail vertical feeder 160 to be coupled to the carrier 10. At this time, the first rail 110 is also raised together. That is, the lower carrier bar 13 of the carrier 10 is coupled to the roller 121 of the second rail 120.

상기 제 2 상승 단계(S6)는 상기 캐리어(10)를 마그넷(130)에 결합시키기 위해 캐리어(10) 및 제 2 레일(120)이 상승되는 단계이다.The second raising step S6 is a step in which the carrier 10 and the second rail 120 are lifted to couple the carrier 10 to the magnet 130.

도 4f를 참조하면, 상기 캐리어(10)는 캐리어 수직 이송장치(140)에 의해 상승된다. 또한, 상기 캐리어(10)가 안착된 제 2 레일(120)도 레일 수직 이송장치(160)에 의해 상기 캐리어(10)와 같이 상승된다. 상기 레일 수직 이송장치(160)는 제 1 레일(110) 및 제 2 레일(120)과 연결되어 있으므로, 상기 제 2 레일(120)을 상승시킬 때 상기 제 1 레일(110)도 같이 상승된다. 상기 캐리어 수직 이송장치(140) 및 레일 수직 이송장치(160)는 서보 모터와 볼스크류로 형성되어 있으므로, 상기 캐리어(10) 및 제 2 레일(120)을 정밀하게 상승시킬 수 있다. Referring to FIG. 4F, the carrier 10 is lifted by the carrier vertical transfer device 140. In addition, the second rail 120 on which the carrier 10 is mounted is also lifted like the carrier 10 by the rail vertical transfer device 160. Since the rail vertical transfer device 160 is connected to the first rail 110 and the second rail 120, the first rail 110 is also raised when the second rail 120 is raised. Since the carrier vertical feeder 140 and the rail vertical feeder 160 are formed of a servo motor and a ball screw, the carrier 10 and the second rail 120 may be accurately raised.

여기서, 상기 마그넷(130)은 S극에서 N극으로 변경되어 상기 캐리어(10)와 마그넷(130) 사이에는 인력이 발생할 수 있다. 또한, 상기 마그넷(130)은 전류가 다시 흘러 N극을 띠어 상기 캐리어(10)와 마그넷(130) 사이에는 인력이 발생할 수 있다.
Here, the magnet 130 is changed from the S pole to the N pole so that attraction force may occur between the carrier 10 and the magnet 130. In addition, the magnet 130 may flow through the current again to the N pole, the attraction force between the carrier 10 and the magnet 130 may occur.

상기 캐리어 인출 단계(S7)는 상기 캐리어(10)가 상기 이송 챔버(100)로부터 인출되는 단계이다.The carrier withdrawal step S7 is a step in which the carrier 10 is withdrawn from the transfer chamber 100.

상기 제 1 레일(110)로부터 제 2 레일(120)로 이송이 끝난 캐리어(10)는 제 2 레일(120)을 따라 이동된다. 이때, 상기 캐리어(10)를 고정하던 상기 고정 암(170)은 상기 캐리어(10)로부터 분리된다. 상기 캐리어(10)는 제 2 레일(120)을 따라 진공 챔버(40,50) 및 예비 챔버(30)를 지나 기판 착탈부(20)로 이동된다. 상기 기판 착탈부(20)에서는 진공 처리가 완료된 기판(P)을 캐리어(10)로부터 분리시킨다.
The carrier 10 which has been transferred from the first rail 110 to the second rail 120 is moved along the second rail 120. At this time, the fixing arm 170 which fixed the carrier 10 is separated from the carrier 10. The carrier 10 is moved along the second rail 120 through the vacuum chambers 40 and 50 and the preliminary chamber 30 to the substrate detachable part 20. In the substrate detachment and detachment unit 20, the substrate P on which the vacuum treatment is completed is separated from the carrier 10.

이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 방법은 이송 챔버(100)에 캐리어 수직 이송장치(140) 및 캐리어 수평 이송장치(150)가 형성되어 상기 캐리어(10)를 제 1 레일(110)로부터 제 2 레일(120)로 정밀하게 이송시킬 수 있다.
As such, in the carrier conveying method according to the exemplary embodiment of the present invention, the carrier vertical conveying device 140 and the carrier horizontal conveying device 150 are formed in the transport chamber 100 so that the carrier 10 is formed on the first rail 110. ) Can be accurately transferred to the second rail 120.

이상에서 설명한 것은 본 발명에 의한 캐리어 이송 방법 및 이를 이용한 진공 처리 장치를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.
What has been described above is just one embodiment for carrying out the carrier transfer method and the vacuum processing apparatus using the same according to the present invention, and the present invention is not limited to the above-described embodiment, as claimed in the following claims. As described above, any person having ordinary knowledge in the field of the present invention without departing from the gist of the present invention will have the technical spirit of the present invention to the extent that various modifications can be made.

P: 기판 10: 캐리어
11: 탑재부 12: 상부 캐리어바
13: 하부 캐리어바 20: 기판 착탈부
30: 예비 챔버 40,50: 진공 챔버
100: 이송 챔버 110: 제 1 레일
120: 제 2 레일 130: 마그넷
140: 캐리어 수직 이송장치 150: 캐리어 수평 이송장치
160: 레일 수직 이송장치 170: 고정 암P: substrate 10: carrier
11: mounting part 12: upper carrier bar
13: lower carrier bar 20: substrate detachable portion
30: preliminary chamber 40, 50: vacuum chamber
100: transfer chamber 110: first rail
120: second rail 130: magnet
140: carrier vertical feeder 150: carrier horizontal feeder
160: rail vertical feed device 170: fixed arm

Claims (15)

다수의 롤러를 구비하는 제 1 레일을 통해 이송 챔버 내부로 캐리어가 인입되는 캐리어 인입 단계;
상기 캐리어 및 제 1 레일을 하강시키는 제 1 하강 단계;
상기 제 1 레일을 하강시키는 제 2 하강 단계;
상기 캐리어를 상기 제 1 레일과 이격되어 형성된 제 2 레일로 이동시키는 캐리어 이동 단계;
상기 제 2 레일을 상승시키는 제 1 상승 단계; 및
상기 캐리어 및 제 2 레일을 상승시키는 제 2 상승 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 방법.A carrier retraction step of introducing a carrier into the transfer chamber through a first rail having a plurality of rollers;
A first lowering step of lowering the carrier and the first rail;
A second lowering step of lowering the first rail;
A carrier moving step of moving the carrier to a second rail formed to be spaced apart from the first rail;
A first raising step of raising the second rail; And
And a second raising step of raising the carrier and the second rail. 제 1 항에 있어서,
상기 캐리어는 상부에 형성된 상부 캐리어바와 하부에 형성된 하부 캐리어바를 포함하고,
상기 상부 캐리어바는 상기 이송 챔버에 형성된 마그넷과 결합되고 상기 하부 캐리어바는 상기 롤러와 결합되는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 방법.The method of claim 1,
The carrier includes an upper carrier bar formed at the top and a lower carrier bar formed at the bottom,
The upper carrier bar is coupled to the magnet formed in the transfer chamber and the lower carrier bar is characterized in that coupled to the roller. 제 2 항에 있어서,
상기 마그넷은 상기 이송 챔버에 고정된 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 방법.The method of claim 2,
And the magnet is fixed to the transfer chamber. 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 하강 단계에서 상기 캐리어 및 제 1 레일은 상기 이송 챔버에 형성된 캐리어 수직 이송수단과 레일 수직 이송수단을 통해서 하강되는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 방법.The method of claim 1,
In the first lowering step, the carrier and the first rail is lowered through the carrier vertical transfer means and the rail vertical transfer means formed in the transfer chamber. 제 1 항에 있어서,
상기 제 2 하강 단계에서 상기 제 1 레일에 형성된 롤러는 상기 캐리어로부터 분리되는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 방법.The method of claim 1,
And the roller formed on the first rail in the second lowering step is separated from the carrier. 제 1 항에 있어서,
상기 캐리어 이동 단계에서 상기 캐리어는 상기 이송 챔버에 형성된 캐리어 수평 이송 수단을 통해서 제 1 레일에서 제 2 레일로 이동되는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 방법.The method of claim 1,
In the carrier movement step, the carrier is moved from the first rail to the second rail through a carrier horizontal transport means formed in the transfer chamber. 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 상승 단계에서 상기 제 2 레일에 형성된 롤러는 상기 캐리어와 결합되는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 방법.The method of claim 1,
And the roller formed on the second rail in the first ascending step is coupled with the carrier. 제 1 항에 있어서,
상기 제 2 상승 단계 후에는 제 2 레일을 통해 이송 챔버 외부로 캐리어가 인출되는 캐리어 인출 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 방법.The method of claim 1,
And a carrier withdrawing step wherein the carrier is withdrawn to the outside of the transfer chamber through the second rail after the second elevating step. 기판이 탑재된 캐리어가 이송되는 이송 챔버;
상기 챔버의 일측에 형성되며, 상기 캐리어가 이동하는 경로인 제 1 레일;
상기 챔버의 타측에 형성되며, 상기 캐리어가 이동하는 경로인 제 2 레일;
상기 챔버의 상부에 형성되며, 상기 캐리어를 고정하는 마그넷;
상기 캐리어를 수직으로 이동시키는 캐리어 수직 이송수단;
상기 캐리어를 수평으로 이동시키는 캐리어 수평 이송수단; 및
상기 제 1 레일 및 제 2 레일을 수직으로 이동시키는 레일 수직 이송수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.A transfer chamber to which the carrier on which the substrate is mounted is transferred;
A first rail formed at one side of the chamber, the first rail being a path through which the carrier moves;
A second rail formed at the other side of the chamber, the second rail being a path through which the carrier moves;
A magnet formed on the chamber and fixing the carrier;
Vertical carrier means for vertically moving the carrier;
Carrier horizontal transport means for moving the carrier horizontally; And
And vertical rail transfer means for vertically moving the first rail and the second rail. 제 9 항에 있어서,
상기 제 1 레일 및 제 2 레일에는 다수의 롤러가 형성되어 상기 캐리어를 이동시키는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.The method of claim 9,
A plurality of rollers are formed on the first rail and the second rail to move the carrier. 제 9 항에 있어서,
상기 캐리어는
기판이 탑재되는 탑재부;
상기 캐리어의 상부를 고정시키는 상부 캐리어바; 및
상기 캐리어를 이동시키는 하부 캐리어바을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.The method of claim 9,
The carrier
A mounting portion on which a substrate is mounted;
An upper carrier bar fixing an upper portion of the carrier; And
And a lower carrier bar for moving the carrier. 제 11 항에 있어서,
상기 상부 캐리어바는 상기 마그넷과 결합하여 상기 캐리어를 고정시키는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.The method of claim 11,
And the upper carrier bar is coupled to the magnet to fix the carrier. 제 11 항에 있어서,
상기 하부 캐리어바는 상기 제 1 롤러 및 제 2 롤러에 형성된 롤러에 안착되어 상기 캐리어를 이동시키는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치. The method of claim 11,
And the lower carrier bar is mounted on rollers formed on the first roller and the second roller to move the carrier. 제 9 항에 있어서,
상기 이송 챔버에는 상기 기판을 가열하거나 성막하는 진공 챔버가 더 연결된 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.The method of claim 9,
And a vacuum chamber for heating or depositing the substrate is further connected to the transfer chamber. 제 9 항에 있어서,
상기 이송 챔버에는 상기 캐리어를 고정시키는 고정 암(arm)이 더 형성된 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.The method of claim 9,
And a fixing arm for fixing the carrier to the transfer chamber.
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