KR20110128888A - Microwave plasma processing apparatus - Google Patents

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Abstract

유전체창의 휨 등에 기인한 극간이 발생하는 것을 방지할 수 있는 마이크로파 플라즈마 처리 장치를 제공한다. 마이크로파 플라즈마 처리 장치의 유전체창(12)과 유전체판(22)과의 사이를 1∼600Torr(1.3332×102∼7.9993×104㎩)의 범위의 부압으로 한다. 유전체판(22)을 유전체창(12)에 밀어붙여, 유전체창(12)의 휨에 맞추어 유전체판(22)을 휘게할 수 있기 때문에, 유전체판(22)과 슬롯판(23)과의 사이, 또는 슬롯판(23)과 유전체창(12)과의 사이에 극간이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 대기압이 직접 유전체창(12)에 가해지지 않게 되기 때문에, 유전체창(12)의 휨도 저감된다. Provided is a microwave plasma processing apparatus capable of preventing generation of gaps caused by warping of a dielectric window. A negative pressure in the range of 1 to 600 Torr (1.3332 x 10 2 to 7.9993 x 10 4 kPa) is set between the dielectric window 12 and the dielectric plate 22 of the microwave plasma processing apparatus. Since the dielectric plate 22 can be pushed against the dielectric window 12 and the dielectric plate 22 can be bent in accordance with the curvature of the dielectric window 12, the dielectric plate 22 and the slot plate 23 are separated from each other. Or the gap between the slot plate 23 and the dielectric window 12 can be prevented. Since atmospheric pressure is not directly applied to the dielectric window 12, the warpage of the dielectric window 12 is also reduced.

Description

마이크로파 플라즈마 처리 장치{MICROWAVE PLASMA PROCESSING APPARATUS}Microwave Plasma Processing Equipment {MICROWAVE PLASMA PROCESSING APPARATUS}

본 발명은, 마이크로파를 이용하여 생성된 플라즈마에 의해 반도체 웨이퍼, 액정용 기판, 유기 EL 소자 등의 피(被)처리체를 플라즈마 처리하는 마이크로파 플라즈마 처리 장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a microwave plasma processing apparatus for plasma-processing a target object such as a semiconductor wafer, a liquid crystal substrate, an organic EL element, and the like by a plasma generated using microwaves.

플라즈마 처리는, 반도체 제조 공정의 에칭, 박막 성막 등의 프로세스에 널리 사용되고 있다. 최근, LSI의 고집적화, 고속화, 소전력화의 관점에서 LSI를 구성하는 반도체의 프로세스 룰(IC의 선폭(線幅))이 더욱 미세화되고 있다. 그러나, 종래로부터 다용되고 있는 평행 평판형이나 유도 결합형의 플라즈마 처리 장치에서는, 전자 온도가 높기 때문에, 기판에 손상을 주어 버린다는 과제가 있다. Plasma processing is widely used for processes, such as etching of a semiconductor manufacturing process and thin film film forming. In recent years, from the viewpoint of high integration, high speed, and low power consumption of LSIs, the process rules (line width of ICs) of semiconductors constituting LSIs have become more fine. However, in the conventional parallel plate type and inductively coupled plasma processing apparatus, since the electron temperature is high, there exists a problem of damaging a board | substrate.

또한, 반도체의 웨이퍼 사이즈도 대구경화되고 있고, 이에 수반하여 대구경의 반도체 웨이퍼에 치우침 없이 균일하게 처리를 행하는 것이 요청되고 있다. In addition, the wafer size of a semiconductor is also large-diameter, and with this, it is requested | required to process uniformly without bias to a large-diameter semiconductor wafer.

그래서 최근, 고밀도이며 저전자 온도의 플라즈마를 균일하게 할 수 있는 RLSA(Radial Line Slot Antenna)를 이용한 마이크로파 플라즈마 처리 장치가 주목받고 있다. 이 마이크로파 플라즈마 처리 장치는, 균일한 마이크로파를 발하도록 배열된 다수의 슬롯을 갖는 평면 형상의 마이크로파 안테나로부터 처리 용기 내로 마이크로파를 방사하고, 마이크로파의 전계에 의해 처리 용기 내의 가스를 전리하여 플라즈마를 여기시키는 것이다. 마이크로파 플라즈마 처리 장치에 의하면, 안테나 바로 아래의 넓은 영역에 높은 플라즈마 밀도를 실현할 수 있기 때문에, 단시간에 균일한 플라즈마 처리를 행하는 것이 가능하다. 게다가, 저전자 온도의 플라즈마를 생성할 수 있기 때문에, 피처리 기판으로의 손상을 적게할 수 있다는 이점도 있다. Recently, a microwave plasma processing apparatus using a radial line slot antenna (RLSA) capable of uniformizing a high density and low electron temperature plasma has attracted attention. This microwave plasma processing apparatus radiates microwaves into a processing vessel from a planar microwave antenna having a plurality of slots arranged to emit uniform microwaves, and ionizes the gas in the processing vessel by an electric field of microwaves to excite the plasma. will be. According to the microwave plasma processing apparatus, since a high plasma density can be realized in a wide area immediately under the antenna, it is possible to perform uniform plasma processing in a short time. In addition, since plasma of low electron temperature can be generated, there is an advantage that damage to the substrate to be processed can be reduced.

도 1에 나타내는 바와 같이, 마이크로파 플라즈마 처리 장치에 있어서, 처리 용기(1)의 천정부의 개구는 유전체창(2)에 의해 막힌다. 유전체창(2)의 위에는 마이크로파 안테나(3)가 놓여진다. 내측 도파관 및 외측 도파관으로 이루어지는 동축 도파관의 단면(斷面) 원환상(圓環狀)의 동축 도파로(4)를 전반(傳搬)한 마이크로파는, 디스크 형상의 유전체판(6)을 방사 방향으로 전반한다. 유전체판(6) 내에서 압축되고, 그리고 공진하는 마이크로파는, 도전 재료로 이루어지는 슬롯판(7)의 슬롯을 투과하고, 유전체창(2)을 통하여 처리 용기(1) 내로 방사된다. As shown in FIG. 1, in the microwave plasma processing apparatus, the opening of the ceiling of the processing container 1 is blocked by the dielectric window 2. The microwave antenna 3 is placed on the dielectric window 2. The microwave which propagated the cross-sectional annular coaxial waveguide 4 of the coaxial waveguide consisting of the inner waveguide and the outer waveguide, radiates the disk-shaped dielectric plate 6 in the radial direction. First half. Microwaves compressed and resonated in the dielectric plate 6 pass through the slots of the slot plate 7 made of a conductive material and are radiated into the processing container 1 through the dielectric window 2.

처리 용기의 유전체창은 처리 용기 내부의 플라즈마에 노출되기 때문에, 유전체창에는 열이 축적된다. 유전체창에 열이 축적되는 것을 방지하기 위해, 특허문헌 1에는, 마이크로파 안테나를 유전체창으로 밀착시켜, 마이크로파 안테나에 설치된 냉각판에 의해 유전체창에 축적된 열을 흡수하는 플라즈마 처리 장치가 개시되어 있다. 특허문헌 1에 기재된 플라즈마 처리 장치에 있어서, 마이크로파 안테나의 슬롯판과 유전체창의 접촉면은, 접촉면에 있어서의 전열성을 향상시키기 위해, 0.8∼0.9atm(608∼684Torr)의 범위 내의 압력으로 유지된다. Since the dielectric window of the processing container is exposed to the plasma inside the processing container, heat is accumulated in the dielectric window. In order to prevent heat from accumulating in the dielectric window, Patent Document 1 discloses a plasma processing apparatus in which a microwave antenna is brought into close contact with a dielectric window and absorbs heat accumulated in the dielectric window by a cooling plate provided in the microwave antenna. . In the plasma processing apparatus described in Patent Document 1, the contact surface between the slot plate of the microwave antenna and the dielectric window is maintained at a pressure within the range of 0.8 to 0.9 atm (608 to 684 Torr) in order to improve the heat transfer property at the contact surface.

일본공개특허공보 2002-355550호(단락 0023의 작용의 난(欄), 단락 0026, 청구항 7 참조)Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-355550 (see paragraph 0023, Section 0026, Claim 7)

마이크로파의 전반이나 방사에 영향을 주는 것으로서, 슬롯판 주변의 극간을 들 수 있다. 구체적으로는 (1) 냉각판과 유전체판과의 사이의 극간이나, 유전체와 슬롯판과의 사이의 극간, (2) 슬롯판과 유전체창과의 사이의 극간을 들 수 있다. (1)의 극간은 유전체판 내의 마이크로파의 전파(傳播)에 악영향을 준다. (2)의 극간은, 슬롯판으로부터의 마이크로파 방사율을 변화시킨다. (1) 및 (2)의 극간이 시간적으로 변동하거나, 공간적으로 비대칭이거나 하면, 마이크로파 전계 분포에 흐트러짐이 발생해 버려, 플라즈마 밀도가 변화해 버린다. As an influence on the propagation and radiation of microwaves, the gap around the slot plate is mentioned. Specifically, (1) the gap between the cooling plate and the dielectric plate, the gap between the dielectric and the slot plate, and (2) the gap between the slot plate and the dielectric window. The gap in (1) adversely affects the propagation of microwaves in the dielectric plate. The gap in (2) changes the microwave emissivity from the slot plate. If the intervals between (1) and (2) fluctuate in time or become spatially asymmetrical, disturbance occurs in the microwave electric field distribution, and the plasma density changes.

슬롯판의 주위에 극간이 발생하는 원리는 이하와 같다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 슬롯판(7)의 중심부는 동축 도파관의 내도체(8)에 볼트 등으로 결합되고, 슬롯판(7)의 외주는 냉각판(9)에 볼트 등으로 결합된다. 마이크로파 안테나(3)로부터 처리 용기(1)에 마이크로파를 투입하면, 슬롯판(7)에 마이크로파 전류가 흐름으로써 줄(joule)열이 발생하기 때문에, 슬롯판(7)은 가열되어 열팽창해 버린다. 슬롯판(7)의 외주는 냉각판(9)에 고정되어 있기 때문에, 슬롯판(7)이 휘어 슬롯판과 유전체판(6)과의 사이에 극간이 발생한다. 또한, 처리 용기(1) 내에 플라즈마가 발생하면, 유전체창(2), 유전체판(6)에는 플라즈마로부터의 열이 들어온다. 시간 변동하는 열의 이동에 따라, 유전체창(2) 및 유전체판(6)의 온도 분포가 변화하여, 유전체창(2) 및 유전체판(6)에 휘어지는 등의 변형을 발생시킨다. 또한, 처리 용기(1)의 내부는 진공이며, 유전체창(2)에는 외측으로부터 대기압이 가해지고 있기 때문에, 유전체창(2)은 원래 휘어져 있다. 이 결과, 전술한 (1) 및 (2)의 극간이 발생한다. The principle that a clearance gap arises around a slot plate is as follows. As shown in FIG. 2, the central portion of the slot plate 7 is coupled to the inner conductor 8 of the coaxial waveguide with a bolt or the like, and the outer circumference of the slot plate 7 is coupled to the cooling plate 9 with a bolt or the like. When microwaves are injected into the processing container 1 from the microwave antenna 3, joule heat is generated by the flow of microwave current through the slot plates 7, so that the slot plates 7 are heated and thermally expanded. Since the outer circumference of the slot plate 7 is fixed to the cooling plate 9, a gap is generated between the slot plate 7 and the dielectric plate 6 because the slot plate 7 is bent. When plasma is generated in the processing container 1, heat from the plasma enters the dielectric window 2 and the dielectric plate 6. As the heat changes over time, the temperature distribution of the dielectric window 2 and the dielectric plate 6 changes, causing deformation such as bending of the dielectric window 2 and the dielectric plate 6. In addition, since the inside of the processing container 1 is a vacuum and atmospheric pressure is applied to the dielectric window 2 from the outside, the dielectric window 2 is originally bent. As a result, the gap between (1) and (2) described above occurs.

극간을 발생시키지 않기 위해서는, 냉각판(9) 및 유전체판(6)이 휘는 정도의 강한 힘으로 이들을 유전체창(2)에 밀어붙일 필요가 있다. 그러나 그러기 위해서는, 안테나 고정부(10)의 강성(剛性)을 높일 필요가 있고, 가령 냉각판(9) 및 유전체판(6)을 휘게 했다고 하더라도, 치우쳐서 닿게 되어 버린다. In order not to generate | occur | produce a gap, it is necessary to push these to the dielectric window 2 by the strong force of the degree which the cooling plate 9 and the dielectric plate 6 bend. In order to do this, however, it is necessary to increase the rigidity of the antenna fixing part 10, and even if the cooling plate 9 and the dielectric plate 6 are bent, they will come in a biased manner.

특허문헌 1에 기재된 플라즈마 처리 장치와 같이, 슬롯판(7)과 유전체창(2)의 접촉면을 0.8∼0.9atm, 즉, 608∼684Torr(8.106×104∼9.1192×104㎩)의 부압(負壓)으로 설정해도, 유전체창의 휨 등에 기인한 극간의 발생을 없앨 수 없다. As in the plasma processing apparatus described in Patent Literature 1, the contact surface of the slot plate 7 and the dielectric window 2 has a negative pressure of 0.8 to 0.9 atm, that is, 608 to 684 Torr (8.106 x 10 4 to 9.1192 x 10 4 kPa). Even if it is set to i), the generation of the gap due to the warpage of the dielectric window cannot be eliminated.

본 발명은 상기 종래의 플라즈마 처리 장치의 과제를 해결하는 것으로, 유전체창의 휨 등에 기인한 극간이 발생하는 것을 방지할 수 있는 마이크로파 플라즈마 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. This invention solves the subject of the said conventional plasma processing apparatus, Comprising: It aims at providing the microwave plasma processing apparatus which can prevent the clearance gap resulting from curvature of a dielectric window, etc. from occurring.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 제1 실시 형태는, 천정부가 유전체창에 의해 획정(劃定)되는 처리 용기와, 상기 처리 용기를 감압하는 가스 배기계와, 상기 처리 용기에 플라즈마 가스를 공급하는 플라즈마 가스 공급부와, 상기 처리 용기의 상기 유전체창에 놓여져, 상기 처리 용기 내의 플라즈마 가스를 여기하는 마이크로파 안테나를 구비하는 마이크로파 플라즈마 처리 장치에 있어서, 상기 마이크로파 안테나는, 수평 방향으로 마이크로파를 전파함과 함께 마이크로파의 파장을 압축하는 유전체판과, 상기 유전체판과 상기 유전체창과의 사이에 설치되어, 마이크로파를 투과시키는 슬롯을 갖는 슬롯판을 포함하고, 상기 유전체창과 상기 유전체판과의 사이가 1∼600Torr(1.3332×102∼7.9993×104㎩)의 범위의 부압으로 되는 마이크로파 플라즈마 처리 장치이다. MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to solve the said subject, 1st Embodiment of this invention provides the processing container in which a ceiling part is defined by a dielectric window, the gas exhaust system which pressure-reduces the said processing container, and supplies a plasma gas to the said processing container. A microwave plasma processing apparatus comprising a plasma gas supply unit and a microwave antenna placed on the dielectric window of the processing container to excite plasma gas in the processing container, wherein the microwave antenna propagates microwaves in a horizontal direction. And a dielectric plate for compressing the wavelength of the microwave, and a slot plate provided between the dielectric plate and the dielectric window and having a slot for transmitting microwaves, wherein the dielectric window is between 1 and 600 Torr. Microwave plasma treatment with negative pressure in the range of (1.3332 x 10 2 to 7.9993 x 10 4 kPa) Lee device.

본 발명의 제2 실시 형태는, 천정부가 유전체창에 의해 획정되는 처리 용기와, 상기 처리 용기를 감압하는 가스 배기계와, 상기 처리 용기에 플라즈마 가스를 공급하는 플라즈마 가스 공급부와, 상기 처리 용기의 상기 유전체창에 놓여져, 상기 처리 용기 내의 플라즈마 가스를 여기하는 마이크로파 안테나를 구비하는 마이크로파 플라즈마 처리 장치에 있어서, 상기 마이크로파 안테나는, 수평 방향으로 마이크로파를 전파함과 함께 마이크로파의 파장을 압축하는 유전체판과, 상기 유전체판과 상기 유전체창과의 사이에 설치되어, 마이크로파를 투과시키는 슬롯을 갖는 슬롯판과, 상기 유전체판의 상면에 놓여져 상기 유전체판을 냉각하는 냉각판을 포함하고, 상기 유전체판과 상기 냉각판과의 사이가 대기압보다도 압력이 낮은 부압으로 되는 마이크로파 플라즈마 처리 장치이다. According to a second embodiment of the present invention, there is provided a processing container in which a ceiling portion is defined by a dielectric window, a gas exhaust system for depressurizing the processing container, a plasma gas supply unit for supplying plasma gas to the processing container, and the A microwave plasma processing apparatus comprising a microwave antenna placed on a dielectric window to excite a plasma gas in the processing container, the microwave antenna comprising: a dielectric plate for propagating microwaves in a horizontal direction and compressing microwave wavelengths; A slot plate provided between the dielectric plate and the dielectric window and having a slot for transmitting microwaves, and a cooling plate placed on an upper surface of the dielectric plate to cool the dielectric plate, wherein the dielectric plate and the cooling plate are provided. Microphone becomes negative pressure with pressure lower than atmospheric pressure between Wave is a plasma processing apparatus.

본 발명의 제3 실시 형태는, 천정부가 유전체창에 의해 획정되는 처리 용기와, 상기 처리 용기를 감압하는 가스 배기계와, 상기 처리 용기에 플라즈마 가스를 공급하는 플라즈마 가스 공급부와, 상기 처리 용기의 상기 유전체창에 놓여져, 상기 처리 용기 내의 플라즈마 가스를 여기하는 마이크로파 안테나를 구비하는 마이크로파 플라즈마 처리 장치에 있어서, 상기 마이크로파 안테나는, 수평 방향으로 마이크로파를 전파함과 함께 마이크로파의 파장을 압축하는 유전체판과, 상기 유전체판과 상기 유전체창과의 사이에 설치되어, 마이크로파를 투과시키는 슬롯을 갖는 슬롯판과, 상기 유전체판의 상면에 놓여져 상기 유전체판을 냉각하는 냉각판을 포함하고, 상기 유전체창과 상기 유전체판과의 사이 및, 상기 유전체판과 상기 냉각판과의 사이가 대기압보다도 압력이 낮은 부압으로 되는 마이크로파 플라즈마 처리 장치이다. According to a third embodiment of the present invention, there is provided a processing container in which a ceiling portion is defined by a dielectric window, a gas exhaust system for depressurizing the processing container, a plasma gas supply unit supplying plasma gas to the processing container, and the A microwave plasma processing apparatus comprising a microwave antenna placed on a dielectric window to excite a plasma gas in the processing container, the microwave antenna comprising: a dielectric plate for propagating microwaves in a horizontal direction and compressing microwave wavelengths; A slot plate provided between the dielectric plate and the dielectric window, the slot plate having a slot for transmitting microwaves, and a cooling plate placed on an upper surface of the dielectric plate to cool the dielectric plate. Between and between the dielectric plate and the cooling plate It is a microwave plasma processing apparatus which turns into a negative pressure whose pressure is lower than a pressure.

본 발명의 제1 실시 형태에 의하면, 유전체창과 유전체판과의 사이를 1∼600Torr(1.3332×102∼7.9993×104㎩)의 범위의 부압으로 하기 때문에, 유전체판을 유전체창으로 밀어붙여, 유전체창의 휨에 맞추어 유전체판을 밀착시킬 수 있다. 이 때문에, 유전체판과 슬롯판과의 사이, 또는 슬롯판과 유전체창과의 사이에 극간이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 대기압이 직접 유전체창에 가해지지 않게 되기 때문에, 유전체창의 휨도 저감된다. 그 결과, 마이크로파가 투입되어 온도 변동이 발생해도, 안정된 균일한 플라즈마를 발생시킬 수 있다. According to the first embodiment of the present invention, since the negative pressure between the dielectric window and the dielectric plate is in the range of 1 to 600 Torr (1.3332 x 10 2 to 7.9993 x 10 4 kPa), the dielectric plate is pushed into the dielectric window, The dielectric plate can be brought into close contact with the bending of the dielectric window. For this reason, it is possible to prevent the gap from occurring between the dielectric plate and the slot plate or between the slot plate and the dielectric window. In addition, since the atmospheric pressure is not directly applied to the dielectric window, the curvature of the dielectric window is also reduced. As a result, even when microwaves are introduced and temperature fluctuations occur, stable and uniform plasma can be generated.

여기에서, 압력이 낮으면 낮을수록, 유전체판을 유전체창으로 밀어붙이는 힘을 작용시킬 수 있다. 이 때문에, 부압의 상한은 600Torr(7.9993×104㎩)로 설정된다. 그 한편, 압력이 1Torr(1.3332×102㎩) 미만이면, 가스의 분자의 수가 줄어, 열전달을 나쁘게 한다. 이 때문에 부압의 하한은 1Torr(1.3332×102㎩)로 설정된다. Here, the lower the pressure, the more the force that pushes the dielectric plate into the dielectric window can be exerted. For this reason, the upper limit of negative pressure is set to 600 Torr (7.9993 * 10 <4> Pa). On the other hand, if the pressure is less than 1 Torr (1.3332 x 10 2 Pa), the number of molecules of the gas is reduced, resulting in poor heat transfer. For this reason, the lower limit of the negative pressure is set to 1 Torr (1.3332 x 10 2 kPa).

본 발명의 제1 실시 형태에 있어서, 또한 유전체판과 냉각판과의 사이를 1∼600Torr(1.3332×102∼7.9993×104㎩)의 범위의 부압으로 함으로써, 냉각판을 유전체창의 방향으로 밀어붙여, 유전체창의 휨에 맞추어 냉각판을 밀착시킬 수 있다. 이 때문에, 냉각판과 유전체판과의 사이에 극간이 발생하는 것을 방지할 수 있다. In the first embodiment of the present invention, the negative pressure plate in the range of 1 to 600 Torr (1.3332 x 10 2 to 7.9993 x 10 4 kPa) is further pushed in the direction of the dielectric window between the dielectric plate and the cooling plate. The cooling plate can be brought into close contact with the curvature of the dielectric window. For this reason, it can prevent that a clearance gap arises between a cooling plate and a dielectric plate.

본 발명의 제2 실시 형태에 의하면, 냉각판과 유전체판과의 사이를 부압으로 함으로써, 냉각판과 유전체판과의 밀착성이 향상된다. 유전체판 및 슬롯판에 축적되는 열이 냉각판으로 흡수되기 때문에, 슬롯판의 열팽창의 신장량을 유전체창의 열팽창의 신장량보다도 억제할 수 있다. 이에 따라, 유전체창으로부터 슬롯판으로 인장력을 작용시킬 수 있어, 슬롯판이 휘는 것을 방지할 수 있다. According to the second embodiment of the present invention, adhesion between the cooling plate and the dielectric plate is improved by setting the negative pressure between the cooling plate and the dielectric plate. Since the heat accumulated in the dielectric plate and the slot plate is absorbed by the cooling plate, the amount of expansion of the thermal expansion of the slot plate can be suppressed more than the amount of expansion of the thermal expansion of the dielectric window. As a result, a tensile force can be exerted from the dielectric window to the slot plate, thereby preventing the slot plate from bending.

본 발명의 제3 실시 형태에 의하면, 유전체창과 유전체판과의 사이 및, 유전체판과 냉각판과의 사이를 대기압보다도 압력이 낮은 부압으로 함으로써, 냉각판과 유전체창과의 사이에 유전체판을 사이에 끼우는 힘을 발생시킬 수 있다. 이 때문에, 이들 사이에 극간이 발생하는 것을 방지할 수 있다. According to the third embodiment of the present invention, the dielectric plate is interposed between the cooling plate and the dielectric window by making the negative pressure lower than the atmospheric pressure between the dielectric window and the dielectric plate and between the dielectric plate and the cooling plate. It can generate a force to fit. For this reason, it can prevent that a clearance gap arises between them.

도 1은 종래의 마이크로파 플라즈마 처리 장치의 단면도이다.
도 2는 종래의 마이크로파 플라즈마 처리 장치의 슬롯판의 변형을 나타내는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시 형태의 마이크로파 플라즈마 처리 장치의 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시 형태의 마이크로파 플라즈마 처리 장치의 단면도이다.
도 5는 도전막이 형성되는 유전체판의 상세도이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시 형태의 마이크로파 플라즈마 처리 장치의 단면도이다.
도 7은 본 발명의 제4 실시 형태의 마이크로파 플라즈마 처리 장치의 단면도이다.
도 8은 본 발명의 제5 실시 형태의 마이크로파 플라즈마 처리 장치의 단면도이다.
도 9는 본 발명의 제6 실시 형태의 마이크로파 플라즈마 처리 장치의 단면도이다.
도 10은 급전 수단의 다른 예를 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a conventional microwave plasma processing apparatus.
2 is a cross-sectional view showing a deformation of a slot plate of a conventional microwave plasma processing apparatus.
3 is a cross-sectional view of the microwave plasma processing apparatus of the first embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view of the microwave plasma processing apparatus of the second embodiment of the present invention.
5 is a detailed view of a dielectric plate on which a conductive film is formed.
6 is a cross-sectional view of the microwave plasma processing apparatus of the third embodiment of the present invention.
7 is a cross-sectional view of the microwave plasma processing apparatus of the fourth embodiment of the present invention.
8 is a cross-sectional view of the microwave plasma processing apparatus of the fifth embodiment of the present invention.
9 is a sectional view of a microwave plasma processing apparatus of a sixth embodiment of the present invention.
10 is a cross-sectional view showing another example of a power supply means.

(발명을 실시하기 위한 형태)(Form to carry out invention)

이하, 첨부 도면을 참조하여, 본 발명의 마이크로파 플라즈마 처리 장치의 실시 형태를 설명한다. 도 3은, 본 발명의 제1 실시 형태의 마이크로파 플라즈마 처리 장치의 전체의 구성도를 나타낸다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of the microwave plasma processing apparatus of this invention is described with reference to an accompanying drawing. 3 shows a configuration diagram of an entire microwave plasma processing apparatus of the first embodiment of the present invention.

마이크로파 플라즈마 처리 장치는, 외벽에 의해 구획(define)되는 처리 용기(11)와, 처리 용기(11) 내에 설치되어, 피처리 기판을 정전 척(chuck)에 의해 보지(保持;holding)하는 AlN 또는 Al2O3으로 이루어지는 보지대(16)를 포함한다. 처리 용기(11)에는, 보지대를 둘러싸는 원환상의 공간에 둘레 방향으로 균등하게 배기 포트가 형성된다. 처리 용기(11)는, 배기 포트를 통하여 진공 펌프에 의해 배기·감압된다. The microwave plasma processing apparatus includes an processing container 11 defined by an outer wall, an AlN provided in the processing container 11, and holding the substrate to be processed by an electrostatic chuck. And a holding table 16 made of Al 2 O 3 . The processing container 11 is formed with an exhaust port evenly in the circumferential direction in the annular space surrounding the holding table. The processing container 11 is evacuated and reduced by a vacuum pump through an exhaust port.

처리 용기(11)는, Al 바람직하게는 Al을 함유하는 스테인리스강으로 이루어지고, 내벽면에는 산화 처리에 의해 산화 알루미늄으로 이루어지는 보호막이 형성되어 있다. 처리 용기(11)의 천정부에는, Al2O3, 석영 등의 유전체로 이루어지는 유전체창(12)이 외벽의 일부로서 설치된다. 유전체창(12)은 처리 용기(11)의 측벽에 시일 링(13)을 끼워 장착된다. 유전체창(12)은 처리 용기(11)의 측벽의 상부에 부착되는 유전체창 고정부(14)에 의해 처리 용기(11)에 고정된다. 유전체창 고정부(4)는, 처리 용기(11)와 동일하게 Al 또는 Al을 함유하는 스테인리스강으로 이루어진다. The processing container 11 is made of stainless steel containing Al, preferably Al, and a protective film made of aluminum oxide is formed on the inner wall surface by an oxidation treatment. In the ceiling of the processing container 11, a dielectric window 12 made of a dielectric such as Al 2 O 3 , quartz or the like is provided as part of the outer wall. The dielectric window 12 is mounted by fitting the seal ring 13 to the side wall of the processing container 11. The dielectric window 12 is fixed to the processing container 11 by a dielectric window fixing portion 14 attached to the upper portion of the sidewall of the processing container 11. The dielectric window fixing part 4 is made of stainless steel containing Al or Al in the same manner as the processing container 11.

처리 용기(11)의 측벽에는, 플라즈마 가스를 처리 용기(11) 내에 공급하기 위한 환상의 가스 공급부(15)가 형성된다. 가스 공급부(15)에는 가스 공급계가 접속되어 있다. Ar 가스, Kr 가스 등의 플라즈마 여기용 가스나, 플라즈마 처리의 종류에 따른 처리 가스가 가스 공급부(15)로부터 처리 용기(11)에 공급된다. 이러한 플라즈마 처리에는, 플라즈마 산화 처리, 플라즈마 질화 처리, 플라즈마 산질화 처리, 플라즈마 CVD 처리 등이 포함된다. 가스 공급부로부터 C4F8, C5F8 또는 C4F6 등의 해리되기 쉬운 플루오로카본 가스나, F계 또는 Cl계 등의 에칭 가스를 공급하고, 보지대(16) 상에 고주파 전원으로부터 고주파 전압을 인가함으로써, 피처리 기판에 대하여 반응성 이온 에칭을 행하는 것도 가능하다. On the side wall of the processing container 11, an annular gas supply part 15 for supplying plasma gas into the processing container 11 is formed. The gas supply system is connected to the gas supply part 15. The gas for plasma excitation, such as Ar gas and Kr gas, and the processing gas according to the kind of plasma processing are supplied from the gas supply part 15 to the processing container 11. Such plasma treatment includes plasma oxidation treatment, plasma nitridation treatment, plasma oxynitride treatment, plasma CVD treatment, and the like. A fluorocarbon gas, such as C 4 F 8 , C 5 F 8, or C 4 F 6 , which is easy to dissociate, or an etching gas such as an F-based or Cl-based gas is supplied from the gas supply unit, and the high frequency power supply is provided on the holding table 16. By applying a high frequency voltage from the substrate, reactive ion etching can be performed on the substrate.

처리 용기(11)의 측벽에는, 피처리 기판을 반입 및 반출하기 위한 도시하지 않은 반출입구가 형성된다. 반출입구는 게이트 밸브에 의해 개폐된다. On the sidewall of the processing container 11, an unshown carrying in and out port for carrying in and carrying out the substrate to be processed is formed. The carrying out opening and closing is opened and closed by a gate valve.

유전체창(12) 상에는, 처리 용기(11) 내의 플라즈마 가스를 여기하는 평면 형상의 마이크로파 안테나(18)가 놓여진다. 마이크로파 안테나(18)는, 동축 모드에서 마이크로파를 상하 방향으로 전반하는 동축 도파관(19)과, 동축 도파관(19)의 동축 도파로(20)를 통과한 마이크로파를 방사 방향으로 전반하는 디스크 형상의 유전체판(22)과, 마이크로파를 투과시키는 슬롯을 갖는 슬롯판(23)과, 유전체판(22)의 상면에 놓여져 유전체판(22)을 냉각하는 냉각판(24)을 포함한다. On the dielectric window 12, a planar microwave antenna 18 for exciting plasma gas in the processing container 11 is placed. The microwave antenna 18 includes a coaxial waveguide 19 that propagates microwaves in a vertical direction in a coaxial mode, and a disc-shaped dielectric plate that propagates microwaves passing through the coaxial waveguide 20 of the coaxial waveguide 19 in a radial direction. (22), a slot plate (23) having slots for transmitting microwaves, and a cooling plate (24) placed on the upper surface of the dielectric plate (22) to cool the dielectric plate (22).

마이크로파를 급전하는 급전 수단으로서의 동축 도파관(19)은, 수직 방향으로 신장하는 내도체(19a)와, 내도체(19a)를 둘러싸는 통 형상의 외도체(19b)로 이루어진다. 내도체(19a)와 외도체(19b)와의 사이에 단면 환상의 동축 도파로(20)가 형성된다. 동축 도파관(19)의 상단부는 수평 방향으로 신장하는 직사각형 도파관(21)(도 1 참조)에 접속된다. 직사각형 도파관(21)과 동축 도파관(19)의 접속부에는 원추형의 모드 변환기(25)(도 1 참조)가 설치된다. 직사각형 도파관(21)은 정합기를 통하여 마그네트론 등의 마이크로파 발생 장치에 접속되어 있다. 마이크로파 발생 장치는, 예를 들면 주파수 2.45㎓, 8.35㎓, 1.98㎓, 915㎒ 등의 마이크로파를 발생한다. 직사각형 도파관(21)을 전반하는 마이크로파는 모드 변환기(25)에 의해 동축 모드로 변환되어, 동축 도파로(20)(도 3 참조)를 상하 방향으로 전반한다. 정합기는, 마이크로파 발생 장치로부터 발생하는 마이크로파를 직사각형 도파관(21) 및 동축 도파로(20)를 통하여 유전체판(22)으로 전반시킨다. The coaxial waveguide 19 as a power feeding means for feeding microwaves comprises an inner conductor 19a extending in the vertical direction and a tubular outer conductor 19b surrounding the inner conductor 19a. A cross-sectional annular coaxial waveguide 20 is formed between the inner conductor 19a and the outer conductor 19b. The upper end of the coaxial waveguide 19 is connected to a rectangular waveguide 21 (see FIG. 1) extending in the horizontal direction. A conical mode converter 25 (see FIG. 1) is provided at the connection portion between the rectangular waveguide 21 and the coaxial waveguide 19. The rectangular waveguide 21 is connected to a microwave generator such as a magnetron through a matching device. The microwave generator generates microwaves at frequencies of 2.45 GHz, 8.35 GHz, 1.98 GHz, 915 MHz and the like, for example. The microwaves propagating through the rectangular waveguide 21 are converted into the coaxial mode by the mode converter 25 to propagate the coaxial waveguide 20 (see FIG. 3) in the vertical direction. The matcher propagates the microwaves generated from the microwave generator to the dielectric plate 22 through the rectangular waveguide 21 and the coaxial waveguide 20.

유전체판(22)은, Al2O3, 석영 등의 유전체로 이루어진다. 마이크로파는, 전계와 자계가 매우 빠르게 변화하면서 전반하는 전자파이다. 유전체판(22)의 하면에는 금속으로 이루어지는 슬롯판(23)이 설치되고, 유전체판(22)의 상면에는 금속으로 이루어지는 냉각판(24)이 설치된다. 금속면에 닿은 마이크로파는, 금속 내에는 거의 진입하지 않고, 극히 표면(표피 깊이)에 전류를 흘려, 대부분이 반사된다. 이 때문에, 동축 도파로(20)로부터 유전체판(22)에 조사된 마이크로파는, 슬롯판(23) 및 냉각판(24)에 의해 반사되면서 유전체판(22)을 방사 방향으로 전반한다. 또한, 동축 도파로(20)로부터 유전체판(22)으로 들어갈 때, 마이크로파가 전반하는 매질이 공기로부터 유전체로 변화하기 때문에, 마이크로파의 파장이 압축된다. 유전체판(22)의 두께는, TE 모드에서 마이크로파가 전반하도록, 즉 전계가 두께 방향으로만 발생할 수 있도록 결정된다. 유전체판(22)의 두께가 유전체판(22) 내에 있어서의 마이크로파의 파장의 1/4 이하이면 문제없다. 단, 너무 얇으면 강도의 문제가 있고, 또한 너무 두꺼우면 휘기 어려워진다. 이 때문에 본 실시 형태에 있어서, 유전체판(22)의 재질에 알루미나를 사용한 경우, 3∼6㎜ 정도가 최적인 두께가 된다. The dielectric plate 22 is made of a dielectric such as Al 2 O 3 and quartz. Microwaves are electromagnetic waves that propagate while the electric and magnetic fields change very quickly. A slot plate 23 made of metal is provided on the lower surface of the dielectric plate 22, and a cooling plate 24 made of metal is provided on the upper surface of the dielectric plate 22. Microwaves that touch the metal surface rarely enter the metal surface, and a current flows through the surface (epidermal depth) extremely, and most of them are reflected. For this reason, the microwaves irradiated from the coaxial waveguide 20 to the dielectric plate 22 propagate the dielectric plate 22 in the radial direction while being reflected by the slot plate 23 and the cooling plate 24. In addition, when entering the dielectric plate 22 from the coaxial waveguide 20, since the medium through which the microwave propagates changes from air to the dielectric, the wavelength of the microwave is compressed. The thickness of the dielectric plate 22 is determined so that the microwave propagates in the TE mode, that is, the electric field can only occur in the thickness direction. If the thickness of the dielectric plate 22 is 1/4 or less of the wavelength of the microwave in the dielectric plate 22, there is no problem. However, if it is too thin, there is a problem of strength, and if it is too thick, it becomes difficult to bend. For this reason, when alumina is used for the material of the dielectric plate 22 in this embodiment, about 3-6 mm becomes the optimal thickness.

구리판 등으로 이루어지는 슬롯판(23)에는, 마이크로파를 투과시키는 다수의 슬롯(23a)이 뚫린다. 유전체판(22) 내에서 공진한 마이크로파는, 슬롯판(23)의 다수의 슬롯(23a)을 투과하여, 처리 용기(11) 내로 방사된다. In the slot plate 23 made of a copper plate or the like, many slots 23a through which microwaves are transmitted are drilled. Microwaves resonating in the dielectric plate 22 pass through the plurality of slots 23a of the slot plate 23 and are radiated into the processing container 11.

도 3에 나타내는 바와 같이, 마이크로파 안테나(18)의 유전체판(22) 상에는, 냉각판(24)이 놓여진다. 냉각판(24)에는 냉각수 유로(24a)가 형성된다. 냉각수 유로(24a)에 냉각수를 흘림으로써, 유전체판(22)을 냉각할 수 있다. 열전도성을 향상시키기 위해, 냉각판(24)과 유전체판(22)과의 사이에는, 완충 시트가 끼워져도 좋다. As shown in FIG. 3, the cooling plate 24 is placed on the dielectric plate 22 of the microwave antenna 18. The cooling plate 24 is formed with the cooling plate 24. The dielectric plate 22 can be cooled by flowing cooling water into the cooling water flow passage 24a. In order to improve thermal conductivity, a buffer sheet may be sandwiched between the cooling plate 24 and the dielectric plate 22.

마이크로파 안테나(18)는, 유전체창 고정부(14)에 부착되는 안테나 고정부(26)에 의해 유전체창(12)에 고정된다. 안테나 고정부(26)는 처리 용기(11)와 동일하게 Al 또는 Al을 함유하는 스테인리스강으로 이루어진다. 냉각판(24)과 안테나 고정부(26)와의 사이에는, 전자 차폐(遮蔽) 탄력체(27)가 설치된다. 슬롯판(23)의 슬롯(23a)을 투과하는 마이크로파는, 일부가 슬롯판(23)과 유전체창(12)과의 사이의 작은 극간으로부터 외측으로 새어 나간다. 그 뿐만 아니라, 유전체창(12)을 외주 방향으로 전반한 마이크로파는 유전체창 고정부(14)와 냉각판(24)과의 사이의 극간으로부터 외측으로 새어 나간다. 전자 차폐 탄력체(27)는 새어 나간 마이크로파를 실드한다. The microwave antenna 18 is fixed to the dielectric window 12 by an antenna fixing part 26 attached to the dielectric window fixing part 14. The antenna fixing part 26 is made of stainless steel containing Al or Al in the same manner as the processing container 11. An electromagnetic shielding elastic body 27 is provided between the cooling plate 24 and the antenna fixing part 26. Microwaves passing through the slot 23a of the slot plate 23 partially leak out from the small gap between the slot plate 23 and the dielectric window 12. In addition, the microwave which propagates the dielectric window 12 in the circumferential direction leaks outward from the gap between the dielectric window fixing part 14 and the cooling plate 24. The electromagnetic shielding elastic body 27 shields the leaked microwaves.

동축 도파관(19)의 내도체(19a)와 외도체(19b)(정확하게 말하면 외도체(19b)를 구성하는 냉각판(24))와의 사이에는, 환상 유전체(28)가 끼워진다. 이 환상 유전체(28)는 유전체판(22)에 일체로 결합된다. 그리고, 내도체(19a)와 환상 유전체(28)와의 사이가 내측 시일 부재로서의 시일 링(29)에 의해 시일되고, 외도체(19b)와 환상 유전체(28)와의 사이가 외측 시일 부재로서의 시일 링(30)에 의해 시일된다. An annular dielectric 28 is sandwiched between the inner conductor 19a of the coaxial waveguide 19 and the outer conductor 19b (to be precise, the cooling plate 24 constituting the outer conductor 19b). This annular dielectric 28 is integrally coupled to the dielectric plate 22. The seal ring 29 serves as an inner seal member between the inner conductor 19a and the annular dielectric 28, and the seal ring serves as an outer seal member between the outer conductor 19b and the annular dielectric 28. It is sealed by 30.

유전체창(12), 유전체판(22) 및 냉각판(24)의 외주와, 유전체창 고정부(14) 및 안테나 고정부(26)의 내주와의 사이에 부압로(35)가 형성된다. 냉각판(24)과 안테나 고정부(26)와의 사이는 시일 링(31)에 의해 시일되고, 안테나 고정부(26)와 유전체창 고정부(14)와의 사이는 시일 링(32)에 의해 시일된다. 유전체창 고정부(14)와 처리 용기(11)와의 사이는 시일 링(33)에 의해 시일된다. 부압로(35)에는, 공기를 흡인하는 흡인구(34)가 뚫린다. 흡인구(34)에는, 부압로(35)의 압력을 조정하는 압력 조정기가 접속된다. 압력 조정기에는 진공 펌프가 접속된다. 부압로(35)의 압력을 조정함으로써, 유전체창(12)과 유전체판(22)과의 밀착 정도 및, 유전체판(22)과 냉각판(24)과의 밀착 정도를 조정할 수 있고, 이 때문에 유전체창(12) 및 유전체판(22)의 온도 제어를 행하는 것이 가능해진다. A negative pressure path 35 is formed between the outer circumferences of the dielectric window 12, the dielectric plate 22, and the cooling plate 24, and the inner circumferences of the dielectric window fixing part 14 and the antenna fixing part 26. The sealing plate 31 is sealed by the seal ring 31 between the cooling plate 24 and the antenna fixing part 26, and the sealing ring 32 is sealed by the sealing ring 32 between the antenna fixing part 26 and the dielectric window fixing part 14. do. The gap between the dielectric window fixing portion 14 and the processing container 11 is sealed by the seal ring 33. In the negative pressure path 35, a suction port 34 that sucks air is drilled. A pressure regulator for adjusting the pressure of the negative pressure passage 35 is connected to the suction port 34. A vacuum pump is connected to the pressure regulator. By adjusting the pressure of the negative pressure path 35, the degree of adhesion between the dielectric window 12 and the dielectric plate 22 and the degree of adhesion between the dielectric plate 22 and the cooling plate 24 can be adjusted. It is possible to perform temperature control of the dielectric window 12 and the dielectric plate 22.

동축 도파관(19)이 시일되어 있기 때문에, 흡인구(34)로부터 공기를 흡인하면, 유전체판(22)과 유전체창(12)과의 사이 및, 유전체판(22)과 냉각판(24)과의 사이가 부압으로 된다. 부압의 범위는 1∼600Torr(1.3332×102∼7.9993×104㎩), 바람직하게는 200∼400Torr(2.6664×104∼5.3328×104㎩)로 설정된다. 압력이 낮으면 낮을수록, 유전체판(22) 및 냉각판(24)을 유전체창(12)에 밀어붙이는 힘을 작용시킬 수 있다. 이 때문에, 부압의 범위는 600Torr(7.9993×104㎩) 이하로 설정된다. 유전체판(22) 및 냉각판(24)을 유전체창(12)에 밀어붙이는 힘을 크게 하기 위해서는, 400Torr(5.3328×104㎩) 이하인 것이 바람직하다. 유전체창(12)은 처리 용기(11) 내의 진공이나 열팽창에 의해, 0.1㎜ 정도 휘는 경우도 있다. 유전체판(22)과 유전체창(12)과의 사이 및, 유전체판(22)과 냉각판(24)과의 사이를 600Torr(7.9993×104㎩) 이하의 부압으로 함으로써, 유전체창(12)의 휨에 맞추어 유전체판(22) 및 냉각판(24)을 휘게 할 수 있다. Since the coaxial waveguide 19 is sealed, when air is sucked in from the suction port 34, the dielectric plate 22 and the dielectric window 12 and between the dielectric plate 22 and the cooling plate 24 Negative pressure becomes between. The range of the negative pressure is set to 1 to 600 Torr (1.3332 × 10 2 to 7.9993 × 10 4 Pa), preferably 200 to 400 Torr (2.6664 × 10 4 to 5.3328 × 10 4 Pa). The lower the pressure, the more the force that pushes the dielectric plate 22 and the cooling plate 24 into the dielectric window 12 can be exerted. For this reason, the range of negative pressure is set to 600 Torr (7.9993 * 10 <4> Pa) or less. In order to increase the force for pushing the dielectric plate 22 and the cooling plate 24 to the dielectric window 12, the dielectric plate 22 and the cooling plate 24 are preferably 400 Torr (5.3328 x 10 4 kPa) or less. The dielectric window 12 may be bent about 0.1 mm by vacuum or thermal expansion in the processing container 11. The dielectric window 12 is made to have a negative pressure of 600 Torr (7.9993 × 10 4 kPa) or less between the dielectric plate 22 and the dielectric window 12 and between the dielectric plate 22 and the cooling plate 24. The dielectric plate 22 and the cooling plate 24 can be bent in accordance with the warp of.

부압의 범위를 1Torr(1.3332×102㎩) 이상으로 한 것은, 1Torr(1.3332×102) 미만이면, 가스의 분자의 수가 줄어, 열전달을 나쁘게 하기 때문이다. 열을 전달하는 것은 분자이기 때문에 진공 상태로부터 기체의 압력이 높아지면 높아질수록, 기체의 분자의 수가 증가하여, 열전달률이 향상된다. 그러나, 어느 압력을 초과하면, 열전달률이 압력에 의존하지 않게 된다. 그 압력이 1Torr(1.3332×102㎩) 정도이다. 단, 강한 마이크로파가 전반하는 공간을 부압으로 하면, 이상(異常) 방전(바람직하지 않은 방전)이 일어나기 쉬워진다. 이상 방전을 방지하기 위해 200Torr(2.6664×104㎩) 이상이 바람직하다. Reason why the range of the negative pressure more than 1Torr (1.3332 × 10 2 ㎩) , is less than 1Torr (1.3332 × 10 2), reduce the number of gas molecules, due to bad heat transfer. Since the heat transfer is a molecule, the higher the pressure of the gas from the vacuum state, the more the number of molecules of the gas increases, and the heat transfer rate is improved. However, if any pressure is exceeded, the heat transfer rate will not depend on the pressure. The pressure is about 1 Torr (1.3332 × 10 2 kPa). However, if the space where strong microwaves propagate is made negative pressure, abnormal discharge (desirable discharge) is likely to occur. In order to prevent abnormal discharge, 200 Torr (2.6664 x 10 4 kPa) or more is preferable.

도 4는, 본 발명의 제2 실시 형태의 마이크로파 플라즈마 처리 장치를 나타낸다. 또한, 제1 실시 형태의 마이크로파 플라즈마 처리 장치와 동일한 구성에는 동일한 부호를 붙여 그 설명을 생략한다. 이 실시 형태에 있어서는, 유전체판(22)의 상면, 하면 및 외주면에는, 도전막(41)이 형성된다. 그리고, 유전체창(12)과 유전체판(22)과의 사이에는, 제1 시일 부재로서 O링 등으로 이루어지는 시일 링(42)이 설치된다. 유전체판(22)과 냉각판(24)과의 사이에는, 제2 시일 부재로서 O링 등으로 이루어지는 시일 링(43)이 설치된다. 유전체판(22)의 상면 및 하면에 도전막이 형성되어 있기 때문에, 유전체판(22)과 도전막(41)과의 사이를 시일할 필요는 없다. 4 shows a microwave plasma processing apparatus of a second embodiment of the present invention. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the structure same as the microwave plasma processing apparatus of 1st Embodiment, and the description is abbreviate | omitted. In this embodiment, the conductive film 41 is formed on the upper surface, the lower surface, and the outer peripheral surface of the dielectric plate 22. Between the dielectric window 12 and the dielectric plate 22, a seal ring 42 made of an O ring or the like is provided as the first seal member. Between the dielectric plate 22 and the cooling plate 24, a seal ring 43 made of an O-ring or the like is provided as the second sealing member. Since the conductive films are formed on the upper and lower surfaces of the dielectric plate 22, it is not necessary to seal between the dielectric plate 22 and the conductive film 41.

도 5는 도전막(41)이 형성된 유전체판(22)의 상세도를 나타낸다. 유전체판(22)의 상면, 하면 및 외주면에는, 금속의 층으로 이루어지는 도전막(41)이 도금된다. 유전체판(22)의 중심부에는, 동축 도파관(19)의 내도체(19a)에 접속되는 슬롯 중심 콘택트 플랜지(40)(도 4 참조)가 관통하는 구멍(22a)이 뚫린다. 구멍(22a)의 주위(유전체판(22)의 상면 및 하면의 일부 및 내주면)에는, 도전막(41)이 성막되어 있지 않은 비성막 에어리어(22b)가 형성된다. 5 shows a detailed view of the dielectric plate 22 on which the conductive film 41 is formed. The upper, lower and outer peripheral surfaces of the dielectric plate 22 are plated with a conductive film 41 made of a metal layer. In the center of the dielectric plate 22, a hole 22a is formed through which the slot center contact flange 40 (see FIG. 4) connected to the inner conductor 19a of the coaxial waveguide 19 passes. In the periphery of the hole 22a (parts of the upper and lower surfaces of the dielectric plate 22 and the inner circumferential surface), a non-film forming area 22b in which the conductive film 41 is not formed is formed.

유전체판(22)의 하면측의 도전막(41)에는, 마이크로파를 투과시키는 다수의 슬롯(41a)이 형성된다. 인접하는 한 쌍의 슬롯(41a)은, 직교하도록 T자 형상으로 배열된다. 다수의 슬롯(41a)은 디스크 형상의 도전막(41)에 동심원 형상으로 배치된다. 슬롯(41a)의 길이나 배열은, 슬롯(41a)으로부터 처리 용기(11)로 강한 전계가 방사되도록, 유전체판(22)에 의해 압축된 마이크로파의 파장에 따라서 적절히 결정된다. 슬롯(41a)의 형상은 직선 형상 외에 원호 형상이라도 좋고, 슬롯(41a)의 배열은 동심원 형상 외에 나선 형상이나 방사상이라도 좋다. A plurality of slots 41a through which microwaves are transmitted are formed in the conductive film 41 on the lower surface side of the dielectric plate 22. The adjacent pair of slots 41a are arranged in a T shape so as to be orthogonal. The plurality of slots 41a are arranged concentrically in the disk-shaped conductive film 41. The length and arrangement of the slot 41a are appropriately determined in accordance with the wavelength of the microwave compressed by the dielectric plate 22 so that a strong electric field is radiated from the slot 41a to the processing container 11. The shape of the slot 41a may be circular in addition to the linear shape, and the arrangement of the slot 41a may be spiral or radial in addition to the concentric shape.

도전막(41)은 유전체판(22)에 이하의 공정을 거쳐 성막된다. 유전체판(22)을 제작한 후, 슬롯(41a)에 대응하는 비성막 에어리어를 마스킹하고, 그 후, 유전체판(22)에 금속층을 도금하고, 그 후 마스킹을 제거한다. 또는, 유전체판(22)을 제작한 후, 유전체판(22)에 금속층을 도금하고, 그 후 슬롯(41a)에 대응하는 부분을 에칭한다. The conductive film 41 is formed on the dielectric plate 22 through the following steps. After the dielectric plate 22 is fabricated, the non-film forming area corresponding to the slot 41a is masked, a metal layer is plated on the dielectric plate 22, and then masking is removed. Alternatively, after the dielectric plate 22 is fabricated, a metal layer is plated on the dielectric plate 22, and then the portion corresponding to the slot 41a is etched.

도 4에 나타내는 바와 같이, 유전체판(22)의 하면의 도전막(41)은, 슬롯 중심 콘택트 플랜지(40)를 통하여 내도체(19a)에 전기적으로 접속된다. 유전체판(22)의 상면의 도전막(41)은, 냉각판(24)을 통하여 동축 도파관(19)의 외도체(19b)에 전기적으로 접속된다. 유전체판(22)의 하면의 도전막(41)과 동축 도파관(19)의 내도체(19a)를 전기적으로 접속할 필요가 있는 점에서, 원주(圓柱) 형상의 슬롯 중심 콘택트 플랜지(40)와 판 형상의 슬롯 중심 콘택트판(44)이 설치된다. 슬롯 중심 콘택트 플랜지(40)와 슬롯 중심 콘택트판(44)은, 접착, 나사 등에 의해 결합된다. 슬롯 중심 콘택트 플랜지(40)는, 내도체(19a)에 나사 등에 의해 결합된다. O링 등으로 이루어지는 콘택트 보강 탄성체(45)는, 슬롯 중심 콘택트판(44)과 도전막(41)과의 전기적 접촉을 보강하고, 또한 유전체판(22)의 상면측의 도전막(41)과 냉각판(24)과의 전기적 접촉을 보강한다. 슬롯 외주 콘택트 링(46)과 슬롯 외주 콘택트판(47)은 결합된다. 슬롯 외주 콘택트 링(46)은 냉각판(24)에 볼트 등으로 결합된다. O링 등으로 이루어지는 콘택트 보강 탄성체(48)는, 슬롯 외주 콘택트판(47)과 유전체판(22)의 하면측의 도전막(41)과의 전기적 접촉을 보강한다. As shown in FIG. 4, the conductive film 41 on the lower surface of the dielectric plate 22 is electrically connected to the inner conductor 19a through the slot center contact flange 40. The conductive film 41 on the upper surface of the dielectric plate 22 is electrically connected to the outer conductor 19b of the coaxial waveguide 19 via the cooling plate 24. Since it is necessary to electrically connect the conductive film 41 of the lower surface of the dielectric plate 22 and the inner conductor 19a of the coaxial waveguide 19, the cylindrical slot center contact flange 40 and the plate are formed. The slot center contact plate 44 of a shape is provided. The slot center contact flange 40 and the slot center contact plate 44 are joined by bonding, screws, or the like. The slot center contact flange 40 is coupled to the inner conductor 19a by screws or the like. The contact reinforcing elastic body 45 formed of an O-ring or the like reinforces electrical contact between the slot center contact plate 44 and the conductive film 41, and further includes a conductive film 41 on the upper surface side of the dielectric plate 22. Reinforce electrical contact with the cold plate 24. The slot outer circumferential contact ring 46 and the slot outer circumferential contact plate 47 are coupled. The slot outer circumferential contact ring 46 is coupled to the cooling plate 24 by bolts or the like. The contact reinforcing elastic body 48 formed of an O-ring or the like reinforces electrical contact between the slot outer peripheral contact plate 47 and the conductive film 41 on the lower surface side of the dielectric plate 22.

도 6은, 본 발명의 제3 실시 형태의 마이크로파 플라즈마 처리 장치를 나타낸다. 이 실시 형태의 마이크로파 플라즈마 처리 장치의 구성은, 제2 실시 형태의 마이크로파 플라즈마 처리와 거의 동일하지만, 시일 개소가 변경되어 있다. 즉, 유전체창 고정부(14)와 유전체창(12)과의 사이 및, 유전체창 고정부(14)와 냉각판(24)과의 사이에 시일 링(51, 52)을 배치하고 있다. 부압로(53)는 유전체판(22) 및 냉각판(24)의 외주와 유전체창 고정부(14)의 내주와의 사이에 형성된다. 공기를 흡인하는 흡인구(54)는 유전체창 고정부(14)에 형성된다. 이와 같이 시일 링을 배치해도, 유전체창(12)과 유전체판(22)과의 사이 및, 유전체판(22)과 냉각판(24)과의 사이를 부압으로 할 수 있다. 6 shows a microwave plasma processing apparatus of a third embodiment of the present invention. The configuration of the microwave plasma processing apparatus of this embodiment is almost the same as that of the microwave plasma processing of the second embodiment, but the seal point is changed. That is, the seal rings 51 and 52 are arrange | positioned between the dielectric window fixing part 14 and the dielectric window 12, and between the dielectric window fixing part 14 and the cooling plate 24. As shown in FIG. The negative pressure path 53 is formed between the outer circumference of the dielectric plate 22 and the cooling plate 24 and the inner circumference of the dielectric window fixing part 14. A suction port 54 that sucks air is formed in the dielectric window fixing portion 14. Even if the seal ring is arranged in this manner, the negative pressure can be made between the dielectric window 12 and the dielectric plate 22 and between the dielectric plate 22 and the cooling plate 24.

도 7은, 본 발명의 제4 실시 형태의 마이크로파 플라즈마 처리 장치를 나타낸다. 이 실시 형태의 플라즈마 처리 장치에 있어서는, 냉각판(24)과 유전체판(22)과의 밀착성을 향상시키기 위해, 냉각판(24)과 유전체판(22)과의 사이가 부압으로 된다. 유전체판(22)의 상면 및 하면에는 도전막(41)이 형성된다. 냉각판(24)과 유전체판(22)의 내주측과의 사이에는, 내측 시일 부재로서 O링 등으로 이루어지는 시일 링(56)이 설치된다. 냉각판(24)과 유전체판(22)의 외주측과의 사이에는, 외측 시일 부재로서 O링 등으로 이루어지는 시일 링(57)이 설치된다. 냉각판(24)의, 내측의 시일 링(56)과 외측의 시일 링(57)과의 사이에는 공기를 흡인하는 흡인구(58)가 형성된다. 유전체판(22)의 상면에 마이크로파를 반사하는 도전막(41)을 형성함으로써, 냉각판(24)에 흡인구(58)나 홈을 형성해도 마이크로파의 전반 특성에 영향을 주는 일은 없다. 이 때문에, 유전체판(22)에 도전막(41)을 형성시키는 것이 바람직하지만, 반드시 형성시키지 않아도 좋다. 7 shows a microwave plasma processing apparatus of a fourth embodiment of the present invention. In the plasma processing apparatus of this embodiment, the negative pressure is between the cooling plate 24 and the dielectric plate 22 in order to improve the adhesion between the cooling plate 24 and the dielectric plate 22. Conductive films 41 are formed on the upper and lower surfaces of the dielectric plate 22. Between the cooling plate 24 and the inner circumferential side of the dielectric plate 22, a seal ring 56 made of an O ring or the like is provided as an inner seal member. Between the cooling plate 24 and the outer peripheral side of the dielectric plate 22, a seal ring 57 made of an O ring or the like is provided as the outer seal member. A suction port 58 for sucking air is formed between the inner seal ring 56 and the outer seal ring 57 of the cooling plate 24. By forming the conductive film 41 reflecting the microwaves on the upper surface of the dielectric plate 22, even if the suction port 58 or the grooves are formed in the cooling plate 24, the overall propagation characteristics of the microwaves are not affected. For this reason, although it is preferable to form the electrically conductive film 41 in the dielectric plate 22, it is not necessary to necessarily form it.

냉각판(24)과 유전체판(22)과의 사이를 부압으로 함으로써, 냉각판(24)과 유전체판(22)과의 밀착성을 향상시킬 수 있다. 또한, 유전체창(12)으로부터 도전막(41)에 인장력을 작용시킬 수 있어, 유전체창(12)이 휘는 것을 방지할 수 있다. By making negative pressure between the cooling plate 24 and the dielectric plate 22, the adhesiveness of the cooling plate 24 and the dielectric plate 22 can be improved. In addition, a tensile force can be applied to the conductive film 41 from the dielectric window 12, thereby preventing the dielectric window 12 from bending.

도 8은, 본 발명의 제5 실시 형태의 마이크로파 플라즈마 처리 장치를 나타낸다. 이 실시 형태에서는, 도 4에 나타나는 제2 실시 형태의 마이크로파 플라즈마 처리 장치의 시일 링의 위치(43)를 바꾸고 있다. 즉, 유전체판(22)과 냉각판(24)과의 사이를 시일하는 시일 링(43)을, 유전체판(22) 및 냉각판(24)의 외주측에 배치하고 있다. 시일 링(43)을 유전체판(22) 및 냉각판(24)의 외주측에 배치함으로써, 유전체판(22)과 유전체창(12)과의 사이만을 부압으로 하는 것이 가능해진다. 나머지의 구성, 예를 들면 유전체판(22)의 상면 및 하면에 도전막(41)이 형성되는 점, 유전체판(22)과 유전체창(12)과의 사이에 시일 링(42)이 배치되는 점 등은, 도 4에 나타나는 제2 실시 형태의 마이크로파 플라즈마 처리 장치와 동일하기 때문에, 동일한 부호를 붙여 그 설명을 생략한다. 유전체판(22)과 유전체창(12)과의 사이를 1∼600Torr(1.3332×102∼7.9993×104㎩)의 범위의 부압으로 함으로써, 유전체판(22)을 유전체창(12)에 밀어붙여, 유전체창(12)의 휨에 맞추어 유전체판(22)을 밀착시킬 수 있다. 8 shows a microwave plasma processing apparatus of a fifth embodiment of the present invention. In this embodiment, the position 43 of the seal ring of the microwave plasma processing apparatus of the second embodiment shown in FIG. 4 is changed. That is, the sealing ring 43 which seals between the dielectric plate 22 and the cooling plate 24 is arrange | positioned at the outer peripheral side of the dielectric plate 22 and the cooling plate 24. As shown in FIG. By arranging the seal ring 43 on the outer circumferential sides of the dielectric plate 22 and the cooling plate 24, it becomes possible to make negative pressure only between the dielectric plate 22 and the dielectric window 12. The remaining structure, for example, the conductive film 41 is formed on the upper and lower surfaces of the dielectric plate 22, the seal ring 42 is disposed between the dielectric plate 22 and the dielectric window 12 Since a dot etc. are the same as the microwave plasma processing apparatus of 2nd Embodiment shown in FIG. 4, the same code | symbol is attached | subjected and the description is abbreviate | omitted. The dielectric plate 22 is pushed against the dielectric window 12 by setting a negative pressure in the range of 1 to 600 Torr (1.3332 × 10 2 to 7.9993 × 10 4 kPa) between the dielectric plate 22 and the dielectric window 12. In addition, the dielectric plate 22 can be brought into close contact with the curvature of the dielectric window 12.

도 9는, 본 발명의 제6 실시 형태의 마이크로파 플라즈마 처리 장치를 나타낸다. 이 실시 형태에서도, 제5 실시 형태의 마이크로파 플라즈마 처리 장치와 동일하게, 유전체판(22)과 유전체창(12)과의 사이만을 부압으로 하기 위한 궁리가 이루어지고 있다. 유전체판(22)의 상면 및 하면에는 도전막(41)이 형성된다. 유전체판(22)의 내주측과 유전체창(12)의 내주측과의 사이에는, 내측 시일 부재로서 O링 등으로 이루어지는 시일 링(61)이 설치된다. 유전체판(22)의 외주측과 유전체창(12)의 외주측과의 사이에는, 외측 시일 부재로서 O링 등으로 이루어지는 시일 링(62)이 설치된다. 유전체창(12)의, 내측의 시일 링(61)과 외측의 시일 링(62)과의 사이에는 공기를 흡인하는 흡인구(63)가 형성된다. 흡인구(63)에 연결되는 흡인 경로(64)는, 흡인구(63)로부터 연직 하방으로 신장된 후, 90도 구부러져 수평 방향으로 신장되어, 유전체창(12)의 외주면에 노출된다. 9 shows a microwave plasma processing apparatus of a sixth embodiment of the present invention. Also in this embodiment, similarly to the microwave plasma processing apparatus of the fifth embodiment, the inventors have devised a negative pressure only between the dielectric plate 22 and the dielectric window 12. Conductive films 41 are formed on the upper and lower surfaces of the dielectric plate 22. Between the inner circumferential side of the dielectric plate 22 and the inner circumferential side of the dielectric window 12, a seal ring 61 made of an O ring or the like is provided as an inner seal member. Between the outer circumferential side of the dielectric plate 22 and the outer circumferential side of the dielectric window 12, a seal ring 62 made of an O ring or the like is provided as the outer seal member. A suction port 63 for sucking air is formed between the inner seal ring 61 and the outer seal ring 62 of the dielectric window 12. The suction path 64 connected to the suction port 63 extends vertically downward from the suction port 63, bends 90 degrees, extends in the horizontal direction, and is exposed to the outer peripheral surface of the dielectric window 12.

유전체창(12)의 외주면과 처리 용기(11)의 유전체창 수용틀(65)의 내주면과의 사이에 부압로(66)가 형성된다. 유전체창 고정부(14)와 처리 용기(11)와의 사이는 시일 링(67)에 의해 시일되고, 안테나 고정부(26)와 유전체창(12)과의 사이는 시일 링(68)에 의해 시일된다. 유전체창(12)과 처리 용기(11)의 유전체창 수용틀(65)과의 사이는 시일 링(69)에 의해 시일된다. 처리 용기(11)에는, 부압로(66)에 연결되는 흡인 경로(70)가 형성된다. 흡인 경로(70)로부터 공기를 흡인함으로써, 유전체판(22)과 유전체창(12)과의 사이를 부압으로 할 수 있다. 유전체판(22)과 유전체창(12)과의 사이를 1∼600Torr(1.3332×102∼7.9993×104㎩)의 범위의 부압으로 함으로써, 유전체판(22)을 유전체창(12)에 밀어붙임으로써, 유전체창(12)의 휨에 맞추어 유전체판(22)을 밀착시킬 수 있다. A negative pressure path 66 is formed between the outer circumferential surface of the dielectric window 12 and the inner circumferential surface of the dielectric window accommodation frame 65 of the processing container 11. The seal between the dielectric window fixing portion 14 and the processing container 11 is sealed by a seal ring 67, and the seal between the antenna fixing portion 26 and the dielectric window 12 is sealed by a sealing ring 68. do. The gap between the dielectric window 12 and the dielectric window receiving frame 65 of the processing container 11 is sealed by a seal ring 69. In the processing container 11, a suction path 70 connected to the negative pressure path 66 is formed. By sucking air from the suction path 70, the negative pressure can be made between the dielectric plate 22 and the dielectric window 12. The dielectric plate 22 is pushed against the dielectric window 12 by setting a negative pressure in the range of 1 to 600 Torr (1.3332 × 10 2 to 7.9993 × 10 4 kPa) between the dielectric plate 22 and the dielectric window 12. By sticking, the dielectric plate 22 can be brought into close contact with the bending of the dielectric window 12.

또한, 본 발명은 상기 실시 형태로 한정되는 일 없이, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에서 여러 가지로 변경할 수 있다. 예를 들면 도 10에 나타내는 바와 같이, 본 발명의 안테나는, 동축 도파로와 같이 중심으로부터 밖을 향하여 마이크로파를 넓히는 구조가 아니더라도, 급전 수단으로서의 직사각형 도파관(51)에 의해 수평 방향으로 마이크로파를 도입하는 구조여도 좋다. In addition, this invention can be variously changed in the range which does not change the summary of this invention, without being limited to the said embodiment. For example, as shown in FIG. 10, the antenna of the present invention has a structure in which microwaves are introduced in the horizontal direction by a rectangular waveguide 51 as a power supply means, even if the antenna does not have a structure that widens the microwaves outward from the center like a coaxial waveguide. You may.

유전체판과 유전체창과의 사이, 및/또는 유전체판과 냉각판과의 사이를 배기하기 쉽도록, 유전체판의 유전체창 및/또는 냉각판측에, 배기용의 홈(깊이 20㎛ 정도, 폭 3㎜ 정도)을 형성하는 것이 바람직하다. In the dielectric window and / or the cooling plate side of the dielectric plate to facilitate the evacuation between the dielectric plate and the dielectric window and / or between the dielectric plate and the cooling plate, grooves for exhausting (about 20 µm deep and 3 mm wide) Degree).

유전체판과 유전체창과의 사이, 및/또는 유전체판과 냉각판과의 사이를 부압으로 할 수 있으면, 시일 링의 배치 개수, 위치는 상기 실시 형태로 한정되는 일은 없고, 적절히 변경할 수 있다. If the negative pressure can be made between the dielectric plate and the dielectric window and / or between the dielectric plate and the cooling plate, the number and positions of the seal rings are not limited to the above embodiments, and can be changed as appropriate.

또한, 유전체와 유전체창과의 사이, 및/또는 유전체판과 냉각판과의 사이에는, 열전도성이 좋은 테플론(등록 상표) 시트, 카본 시트 등의 완충 시트를 끼워도 좋다. Further, a buffer sheet such as a Teflon (registered trademark) sheet or a carbon sheet having good thermal conductivity may be interposed between the dielectric and the dielectric window and / or between the dielectric plate and the cooling plate.

또한, 공기를 흡인한 부압로에 He 가스 등의 전열성 가스를 밀봉입해도 좋다. 전열성 가스를 밀봉입했을 때도 압력은 대기압보다도 낮은 부압으로 조정된다. Moreover, you may seal-in an electrothermal gas, such as He gas, in the negative pressure furnace which attracted air. Even when the heat-transfer gas is sealed in, the pressure is adjusted to a negative pressure lower than atmospheric pressure.

또한, 유전체창에 처리 용기 내에 플라즈마 가스를 공급하는 플라즈마 가스 공급 경로를 형성하고, 유전체창과 피처리 기판과의 사이에 처리 가스를 공급하는 중단(中段) 샤워 헤드를 설치해도 좋다. In addition, a plasma gas supply path for supplying plasma gas into the processing container may be formed in the dielectric window, and an intermediate shower head may be provided for supplying the processing gas between the dielectric window and the substrate to be processed.

본 명세서는, 2009년 3월 23일 출원된 일본특허출원 2009-070943에 기초한다. 이 내용은 모두 여기에 포함해 둔다. This specification is based on the JP Patent application 2009-070943 of the March 23, 2009 application. All of this is included here.

11 : 처리 용기
12 : 유전체창
14 : 유전체창 고정부
15 : 가스 공급부
16 : 보지대
18 : 마이크로파 안테나
19 : 동축 도파관
19a : 내도체
19b : 외도체
20 : 동축 도파로
22 : 유전체판
23 : 슬롯판
23a : 슬롯
24 : 냉각판
28 : 환상 유전체
29 : 시일 링(내측 시일 부재)
30 : 시일 링(외측 시일 부재)
34 : 흡인구
35 : 부압로
41 : 도전막(슬롯판)
41a : 슬롯
42 : 시일 링(제1 시일 부재)
43 : 시일 링(제2 시일 부재)
53 : 부압로
54 : 흡인구
56 : 시일 링(내측 시일 부재)
57 : 시일 링(외측 시일 부재)
58 : 흡인구11: processing container
12: dielectric window
14: dielectric window fixing part
15 gas supply unit
16: music stand
18: microwave antenna
19: coaxial waveguide
19a: inner conductor
19b: outer conductor
20: coaxial waveguide
22: dielectric plate
23: slot plate
23a: slot
24: cold plate
28: annular dielectric
29: seal ring (inner seal member)
30: seal ring (outer seal member)
34: suction port
35: negative pressure furnace
41: conductive film (slot plate)
41a: slot
42: seal ring (first seal member)
43: seal ring (second seal member)
53: negative pressure furnace
54: suction port
56: seal ring (inner seal member)
57: seal ring (outer seal member)
58: suction port

Claims (12)

천정부가 유전체창에 의해 획정(劃定)되는 처리 용기와, 상기 처리 용기를 감압하는 가스 배기계와, 상기 처리 용기에 플라즈마 가스를 공급하는 플라즈마 가스 공급부와, 상기 처리 용기의 상기 유전체창에 놓여져, 상기 처리 용기 내의 플라즈마 가스를 여기하는 마이크로파 안테나를 구비하는 마이크로파 플라즈마 처리 장치에 있어서,
상기 마이크로파 안테나는, 수평 방향으로 마이크로파를 전파(傳播)함과 함께 마이크로파의 파장을 압축하는 유전체판과, 상기 유전체판과 상기 유전체창과의 사이에 설치되어, 마이크로파를 투과시키는 슬롯을 갖는 슬롯판을 포함하고,
상기 유전체창과 상기 유전체판과의 사이가 1∼600Torr(1.3332×102∼7.9993×104㎩)의 범위의 부압(負壓)으로 되는 마이크로파 플라즈마 처리 장치.Placed in a processing container in which a ceiling is defined by a dielectric window, a gas exhaust system for depressurizing the processing container, a plasma gas supply unit for supplying plasma gas to the processing container, and the dielectric window of the processing container, A microwave plasma processing apparatus comprising a microwave antenna for exciting plasma gas in the processing container,
The microwave antenna includes a dielectric plate for propagating microwaves in a horizontal direction and compressing the wavelength of microwaves, and a slot plate provided between the dielectric plate and the dielectric window and having a slot for transmitting microwaves. Including,
A microwave plasma processing apparatus in which a negative pressure in a range of 1 to 600 Torr (1.3332 x 10 2 to 7.9993 x 10 4 kPa) is formed between the dielectric window and the dielectric plate. 제1항에 있어서,
상기 마이크로파 안테나는 추가로, 상기 유전체판의 상면에 놓여져 상기 유전체판을 냉각하는 냉각판을 포함하고,
상기 유전체판과 상기 냉각판과의 사이가 1∼600Torr(1.3332×102∼7.9993×104㎩)의 범위의 부압으로 되는 마이크로파 플라즈마 처리 장치.The method of claim 1,
The microwave antenna further includes a cooling plate placed on an upper surface of the dielectric plate to cool the dielectric plate,
A microwave plasma processing apparatus wherein a negative pressure in the range of 1 to 600 Torr (1.3332 x 10 2 to 7.9993 x 10 4 kPa) is formed between the dielectric plate and the cooling plate. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 부압의 범위가 200∼400Torr(2.6664×104∼5.3329×104㎩)인 것을 특징으로 하는 마이크로파 플라즈마 처리 장치.The method according to claim 1 or 2,
The negative pressure ranges from 200 to 400 Torr (2.6664 x 10 4 to 5.3329 x 10 4 Pa). 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 슬롯판은, 상기 유전체판의 하면측에 형성된 도전막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로파 플라즈마 처리 장치.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The slot plate is made of a conductive film formed on the lower surface side of the dielectric plate. 제4항에 있어서,
상기 유전체판의 상면에, 마이크로파를 반사하는 도전막이 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로파 플라즈마 처리 장치.The method of claim 4, wherein
A microwave plasma processing apparatus, wherein a conductive film for reflecting microwaves is formed on an upper surface of the dielectric plate. 제2항에 있어서,
상기 동축 도파로는, 내주측의 내도체 및 외주측의 외도체를 포함하는 동축 도파관에 형성되고,
상기 동축 도파로에는, 환상(環狀) 유전체가 끼워지고,
상기 내도체와 상기 환상 유전체와의 사이가 내측 시일 부재로 시일됨과 함께, 상기 외도체와 상기 환상 유전체와의 사이가 외측 시일 부재로 시일되는 것을 특징으로 하는 마이크로파 플라즈마 처리 장치.The method of claim 2,
The coaxial waveguide is formed in a coaxial waveguide including an inner conductor on the inner circumferential side and an outer conductor on the outer circumferential side,
An annular dielectric material is inserted into the coaxial waveguide,
And the space between the inner conductor and the annular dielectric is sealed with an inner seal member, and the space between the outer conductor and the annular dielectric is sealed with an outer seal member. 제2항에 있어서,
상기 유전체판의 하면에는, 상기 슬롯판으로서의 도전막이 형성되고,
상기 유전체판의 상면에는, 마이크로파를 반사하는 도전막이 형성되고,
상기 유전체판의 하면측의 도전막과 상기 유전체창과의 사이가 환상의 제1 시일 부재로 시일됨과 함께, 상기 유전체판의 상면측의 도전막과 상기 냉각판과의 사이가 환상의 제2 시일 부재로 시일되는 것을 특징으로 하는 마이크로파 플라즈마 처리 장치.The method of claim 2,
On the lower surface of the dielectric plate, a conductive film as the slot plate is formed,
On the upper surface of the dielectric plate, a conductive film for reflecting microwaves is formed,
The annular first seal member is sealed between the conductive film on the lower surface side of the dielectric plate and the dielectric window, and the annular second seal member is formed between the conductive film on the upper surface side of the dielectric plate and the cooling plate. Microwave plasma processing apparatus characterized in that the seal. 제2항에 있어서,
상기 처리 용기에는, 상기 유전체창을 상기 처리 용기에 고정하기 위한 유전체창 고정부 및, 상기 마이크로파 안테나를 상기 유전체창에 고정하기 위한 안테나 고정부가 부착되고,
상기 유전체창, 상기 유전체판 및 상기 냉각판의 외주와, 상기 유전체창 고정부 및 상기 안테나 고정부의 내주와의 사이에 부압로가 형성되고,
상기 부압로에 가스를 흡인하는 흡인구가 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로파 플라즈마 처리 장치.The method of claim 2,
The processing container has a dielectric window fixing part for fixing the dielectric window to the processing container, and an antenna fixing part for fixing the microwave antenna to the dielectric window,
A negative pressure path is formed between the outer circumference of the dielectric window, the dielectric plate and the cooling plate, and the inner circumference of the dielectric window fixing part and the antenna fixing part.
And a suction port for sucking a gas in the negative pressure path. 제2, 6, 7, 8항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 유전체창과 상기 유전체판과의 사이 및, 상기 유전체판과 상기 냉각판과의 사이의 압력을 조정함으로써, 상기 유전체창 및 상기 유전체판의 온도 제어를 행하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 플라즈마 처리 장치.The method according to any one of claims 2, 6, 7, 8,
Temperature control of the dielectric window and the dielectric plate is performed by adjusting the pressure between the dielectric window and the dielectric plate and between the dielectric plate and the cooling plate. 천정부가 유전체창에 의해 획정되는 처리 용기와, 상기 처리 용기를 감압하는 가스 배기계와, 상기 처리 용기에 플라즈마 가스를 공급하는 플라즈마 가스 공급부와, 상기 처리 용기의 상기 유전체창에 놓여져, 상기 처리 용기 내의 플라즈마 가스를 여기하는 마이크로파 안테나를 구비하는 마이크로파 플라즈마 처리 장치에 있어서,
상기 마이크로파 안테나는, 수평 방향으로 마이크로파를 전파함과 함께 마이크로파의 파장을 압축하는 유전체판과, 상기 유전체판과 상기 유전체창과의 사이에 설치되어, 마이크로파를 투과시키는 슬롯을 갖는 슬롯판과, 상기 유전체판의 상면에 놓여져 상기 유전체판을 냉각하는 냉각판을 포함하고,
상기 유전체판과 상기 냉각판과의 사이가 대기압보다도 압력이 낮은 부압으로 되는 마이크로파 플라즈마 처리 장치.A processing vessel in which the ceiling is defined by a dielectric window, a gas exhaust system for depressurizing the processing container, a plasma gas supply unit for supplying plasma gas to the processing container, and a dielectric window of the processing container, In the microwave plasma processing apparatus provided with the microwave antenna which excites plasma gas,
The microwave antenna includes a dielectric plate that propagates microwaves in a horizontal direction and compresses wavelengths of microwaves, a slot plate provided between the dielectric plate and the dielectric window and having a slot for transmitting microwaves, and the dielectric material. A cooling plate placed on an upper surface of the plate to cool the dielectric plate,
A microwave plasma processing apparatus in which a pressure between the dielectric plate and the cooling plate becomes a negative pressure lower than atmospheric pressure. 제10항에 있어서,
상기 냉각판과 상기 유전체판의 내주측과의 사이가 환상의 내측 시일 부재로 시일됨과 함께, 상기 냉각판과 상기 유전체판의 외주측과의 사이가 환상의 외측 시일 부재로 시일되고,
상기 냉각판의, 상기 내측 시일 부재와 외측 시일 부재와의 사이에는, 가스를 흡인하는 흡인구가 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로파 플라즈마 처리 장치.The method of claim 10,
Between the cooling plate and the inner circumferential side of the dielectric plate is sealed with an annular inner seal member, and between the cooling plate and the outer circumferential side of the dielectric plate is sealed with an annular outer seal member,
A suction port for sucking a gas is formed between the inner seal member and the outer seal member of the cooling plate. 천정부가 유전체창에 의해 획정되는 처리 용기와, 상기 처리 용기를 감압하는 가스 배기계와, 상기 처리 용기에 플라즈마 가스를 공급하는 플라즈마 가스 공급부와, 상기 처리 용기의 상기 유전체창에 놓여져, 상기 처리 용기 내의 플라즈마 가스를 여기하는 마이크로파 안테나를 구비하는 마이크로파 플라즈마 처리 장치에 있어서,
상기 마이크로파 안테나는, 수평 방향으로 마이크로파를 전파함과 함께 마이크로파의 파장을 압축하는 유전체판과, 상기 유전체판과 상기 유전체창과의 사이에 설치되어, 마이크로파를 투과시키는 슬롯을 갖는 슬롯판과, 상기 유전체판의 상면에 놓여져 상기 유전체판을 냉각하는 냉각판을 포함하고,
상기 유전체창과 상기 유전체판과의 사이 및, 상기 유전체판과 상기 냉각판과의 사이가 대기압보다도 압력이 낮은 부압으로 되는 마이크로파 플라즈마 처리 장치.A processing vessel in which the ceiling is defined by a dielectric window, a gas exhaust system for depressurizing the processing container, a plasma gas supply unit for supplying plasma gas to the processing container, and a dielectric window of the processing container, In the microwave plasma processing apparatus provided with the microwave antenna which excites plasma gas,
The microwave antenna includes a dielectric plate that propagates microwaves in a horizontal direction and compresses wavelengths of microwaves, a slot plate provided between the dielectric plate and the dielectric window and having a slot for transmitting microwaves, and the dielectric material. A cooling plate placed on an upper surface of the plate to cool the dielectric plate,
A microwave plasma processing apparatus comprising a negative pressure having a pressure lower than atmospheric pressure between the dielectric window and the dielectric plate and between the dielectric plate and the cooling plate.
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