KR20110110388A - 압력감응소자의 제조방법, 그 제조방법으로 제조된 압력감응소자 및 그 압력감응소자에 의한 압력 측정방법 - Google Patents

압력감응소자의 제조방법, 그 제조방법으로 제조된 압력감응소자 및 그 압력감응소자에 의한 압력 측정방법

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KR20110110388A
KR20110110388A KR1020100029665A KR20100029665A KR20110110388A KR 20110110388 A KR20110110388 A KR 20110110388A KR 1020100029665 A KR1020100029665 A KR 1020100029665A KR 20100029665 A KR20100029665 A KR 20100029665A KR 20110110388 A KR20110110388 A KR 20110110388A
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박연규
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강대임
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한국표준과학연구원
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Abstract

본 발명은 탄소나노튜브에 금속 나노입자를 균일하게 분산 결합시킨 나노결합체를 이용하여 감도가 우수하고 선형성이 뛰어나며, 넓은 동적 감응범위와 우수한 기계적 성질, 그리고 내구성을 확보할 수 있는 압력감응소자를 제공하는 효과가 있다. 이를 위해 특히, 소정의 초임계유체를 용제로 사용하여 탄소나노튜브(110) 표면에 금속 나노입자(120)가 분산 결합된 나노결합체(100)가 형성되는 단계(S100); 나노결합체(100)가 소정 폴리머 용액에 투입되어 폴리머 복합재로 교반되는 단계(S110); 폴리머 복합재가 제 1전도성 필름(20) 상에 도포되는 단계(S120); 도포된 폴리머 복합재가 제 1전도성 필름(20) 상에 폴리머 복합재 박막(10)으로 형성되는 단계(S130); 형성된 폴리머 복합재 박막(10)이 외부의 압력에 대응하여 전류신호를 생성할 수 있도록 경화되는 단계(S140); 및 제 2전도성 필름(30)이 경화된 폴리머 복합재 박막(10) 상으로 성막되는 단계(S150);를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력감응소자의 제조방법이 개시된다.

Description

압력감응소자의 제조방법, 그 제조방법으로 제조된 압력감응소자 및 그 압력감응소자에 의한 압력 측정방법{METHOD OF MANUFACTURING PRESSURE SENSITIVE DEVICE, PRESSURE SENSITIVE DEVICE MANUFACTURED BY THE SAME METHOD AND PRESSURE MEASUREMENT METHOD USING THE SAME DEVICE}
본 발명은 압력감응소자의 제조방법, 그 제조방법으로 제조된 압력감응소자 및 그 압력감응소자에 의한 압력 측정방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는 초임계유체를 이용하여 탄소나노튜브에 금속 나노입자를 분산 결합된 나노결합체를 제조하고, 이를 기초로 양자 터널링 효과에 따른 전류신호를 생성할 수 있는 압력감응소자의 제조방법, 그 제조방법으로 제조된 압력감응소자 및 그 압력감응소자에 의한 압력 측정방법에 관한 것이다.
다양한 촉각센서로서 응용되기 위해서는 촉각센서는 유연하면서 대면적으로 소재를 제조할 수 있는 기술이 확보되어야 하며, 또한 넓은 작동범위와 센서에 가해지는 압력에 선형적으로 비례하여 전기신호를 내주는 소재의 개발이 필수적이다.
최근 촉각센서의 센싱 방식 및 센싱 구조 중 탄소나노튜브와 다양한 나노구조물(Nanostructured materials)을 이용한 촉각센서들이 나타나고 있는데, Tactile devices to sense touch on a par with a human finger(V. Maheshwari and R. Saraf, Angew. Chem. Int’l Ed. 47 (41), pp. 7808.7826, 2008.)에서는 나노선(nanowire) 및 탄소나노튜브를 이용한 촉각센서를 소개하고 있다.
특히, 탄소나노튜브(CNT, Carbon Nano Tube)를 이용한 압력감응소재는 넓은 동적감응범위와 우수한 기계적 성질, 그리고 내구성이 확보될 수 있어 그 센싱 방식 및 센싱 구조에 대한 연구가 활발하게 진행되고 있는 상태이다.
한편, 최근 양자 터널링 효과(Quantum Tunneling Effect)를 이용한 압력감응소자로서는 탄성을 가지는 절연성 폴리머 내부에 Au, Al, Cu, Ni과 같은 도전성 필러 입자들을 채워 외부 압력에 대응하는 전류신호를 발생시키는 것이 있다(국내 공개특허 제 10-2009-0103140호).
그러나, 상기와 같은 압력감응소자는 도전성 필러 입자들이 서로 덩어리지게 되어 크기가 균일하지 못하며, 압력에 대응하여 발생되는 전류신호의 선형성도 떨어지는 단점이 있다.
따라서, 양자 터널링 효과를 이용하면서도 압력에 선형적인 출력신호를 얻을 수 있는 새로운 형태의 압력감응소자의 필요성이 대두된다.
본 발명은 상기와 같은 필요성에 의해 창출된 것으로서, 본 발명의 목적은 탄소나노튜브에 금속 나노입자를 균일하게 분산 결합시킨 나노결합체를 이용하여 감도가 우수하고 선형성이 뛰어난 압력감응소자의 제조방법, 그 제조방법으로 제조된 압력감응소자 및 그 압력감응소자에 의한 압력 측정방법을 제공하는 데 있다.
또한, 본 발명의 목적은 넓은 동적 감응범위와 우수한 기계적성질, 그리고 내구성을 확보할 수 있는 압력감응소자의 제조방법, 그 제조방법으로 제조된 압력감응소자 및 그 압력감응소자에 의한 압력 측정방법을 제공하는 데 있다.
상기와 같은 본 발명의 목적은, 소정의 초임계유체를 용제로 사용하여 탄소나노튜브(110) 표면에 금속 나노입자(120)가 분산 결합된 나노결합체(100)가 형성되는 단계(S100); 나노결합체(100)가 소정 폴리머 용액에 투입되어 폴리머 복합재로 교반되는 단계(S110); 폴리머 복합재가 제 1전도성 필름(20) 상에 도포되는 단계(S120); 도포된 폴리머 복합재가 제 1전도성 필름(20) 상에 폴리머 복합재 박막(10)으로 형성되는 단계(S130); 형성된 폴리머 복합재 박막(10)이 외부의 압력에 대응하여 전류신호를 생성할 수 있도록 경화되는 단계(S140); 및 제 2전도성 필름(30)이 경화된 폴리머 복합재 박막(10) 상으로 성막되는 단계(S150);를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력감응소자의 제조방법을 제공함으로써 달성될 수 있다.
나노결합체(100) 형성단계(S100)에서, 초임계유체는 초임계 상태의 물, 초임계 상태의 이산화탄소 및 초임계 상태의 메탄올 중 어느 하나인 것이 바람직하다.
나노결합체(100) 형성단계(S100)에서, 탄소나노튜브(110)는 단일벽 탄소나노튜브(110) 또는 다중벽 탄소나노튜브(110)인 것이 바람직하다.
나노결합체(100) 형성단계(S100)에서, 탄소나노튜브(110)는 복수의 탄소나노튜브(110)이고, 나노결합체(100)는 각 탄소나노튜브(110)의 표면에 복수의 금속 나노입자(120)가 분산 결합된 것이 바람직하다.
나노결합체(100) 형성단계(S100)에서, 금속 나노입자(120)는 금, 루테늄, 구리 및 니켈 중 적어도 하나인 것이 바람직하다.
나노결합체(100) 형성단계(S100)에서, 나노결합체(100)는 복수의 나노결합체(100)이며, 복수의 나노결합체(100)는 경화된 폴리머 복합재 박막(10) 내에서 상호 불규칙적으로 배열된 것이 바람직하다.
폴리머 복합재의 교반단계(S110)에서, 폴리머 용액은 폴리이미드(Polyimide), 폴리디메틸실록세인(Polydimethylsiloxane), 폴리에틸렌(Polyethylene), 폴리스티렌(polystyrene), 패릴린(Parylene), 폴리아크릴로니트릴(Polyacrylonitrile), 에폭시(epoxy), 우레탄 아크릴레이트(urethane acrylate) 및 이들이 혼합된 물질 중 선택된 어느 하나에 의해 제조된 것이 바람직하다.
폴리머 복합재 박막(10) 형성단계(S130)는, 도포된 폴리머 복합재가 제 1전도성 필름(20) 상에 스핀코팅되어 폴리머 복합재 박막(10)으로 형성되는 단계인 것이 바람직하다.
형성된 폴리머 복합재 박막(10)의 경화단계(S140)는, 형성된 폴리머 복합재 박막(10) 상으로 자외선을 조사하여 경화되는 단계인 것이 바람직하다.
폴리머 복합재 박막(10)의 형성단계(S130) 및 제 2전도성 필름(30) 성막단계(S150)에서, 제 1, 2전도성 필름(20, 30)은 각각에 대응하는 제 1, 2전극이 형성된 것이 바람직하다.
폴리머 복합재 박막(10)의 형성단계(S130) 및 제 2전도성 필름(30) 성막단계(S150)에서, 제 1, 2전도성 필름(20, 30)은 ITO 필름인 것이 바람직하다.
한편, 본 발명의 목적은 다른 카테고리로서, 상술한 압력감응소자 제조방법에 따라 제조된 것을 특징으로 하는 압력감응소자를 제공함으로써 달성될 수 있다.
또한, 본 발명의 목적은 소정 압력이 제 1전도성 필름(20) 또는 제 2전도성 필름(30)에 인가되는 단계(S210); 인가된 압력이, 소정의 초임계유체를 용제로 하여 탄소나노튜브(110) 표면에 금속 나노입자(120)가 분산 결합된 나노결합체(100)를 폴리머 용액에 교반하여 박막 형성 및 경화시킨 폴리머 복합재 박막(10)에 전달되는 단계(S220); 전달된 압력이 금속 나노입자(120) 사이의 간극을 줄이는 단계(S230); 금속 나노입자(120) 사이의 양자 터널링 효과에 기초한 전류신호가 줄어든 간극을 통해 발생되는 단계(S240); 발생된 전류신호가 제 1, 2전도성 필름(20, 30)을 통해 출력되는 단계(S250); 및 전류측정수단이 출력된 전류신호의 세기를 측정함으로써 압력의 세기를 측정하는 단계(S260);를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력감응소자에 의한 압력 측정방법을 제공함으로써 달성될 수 있다.
전류신호의 발생단계(S240)는, 압력이 소정 기준압력 이상인 경우에 전류신호가 발생되는 단계인 것이 바람직하다.
전류측정수단의 압력세기 측정단계(S260)에서, 압력의 세기는 전류신호에 비례하는 것이 바람직하다.
상기와 같은 본 발명의 일 실시예에 의하면, 본 발명은 탄소나노튜브 표면에 금속 나노입자를 균일하게 분산 결합시킨 나노결합체를 이용하여 감도가 우수하고 선형성이 뛰어난 효과가 있다.
또한, 본 발명은 넓은 동적 감응범위와 우수한 기계적성질, 그리고 내구성을 확보할 수 있는 효과가 있다.
그리고, 동적 감응범위의 경우, 기존의 CNT 만으로 제작된 복합체가 압력에 의해 접촉되어 비로써 통전 되는데 비해, 본 발명은 CNT에 붙어 있는 나노입자의 양자터널링효과에 의해 접촉 전에도 통전되어 전기적 신호를 얻을 수 있으므로 그 작동 범위를 넓힐 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명인 압력감응소자 제조방법에 의해 제조된 압력감응소자의 단면을 나타낸 단면도,
도 2는 본 발명인 압력감응소자 제조방법 중 나노결합체(100)의 일예를 나타낸 사진,
도 3은 본 발명인 압력감응소자 제조방법의 일 실시예를 순차적으로 나타낸순서도,
도 4는 본 발명인 압력감응소자에 의한 압력 측정방법을 순차적으로 나타낸 순서도이다.
<압력감응소자 구성의 실시예 >
도 1은 본 발명인 압력감응소자 제조방법에 의해 제조된 압력감응소자의 단면을 나타낸 단면도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명인 압력감응소자 제조방법에 의해 제조된 압력감응소자는 제 1전도성 필름(20)과 그 상부로 경화된 폴리머 복합재 박막(10) 및 제 2전도성 필름(30)이 차례대로 적층된 구조를 가지고 있다. 특히, 경화된 폴리머 복합재 박막(10)은 폴리머 절연체(130) 내부에 탄소나노튜브(110)와 금속 나노입자(120)의 결합으로 이루어진 나노결합체(100)가 불규칙적으로 배열되어 있다.
본 발명인 압력감응소자는 외부로부터 주어진 압력에 비례하여 폴리머 복합재 박막(10)으로부터 출력되는 전기신호를 측정함으로써 압력을 측정하게 된다. 폴리머 복합재 박막(10)은 탄소나노튜브(110)의 표면에 금속 나노입자(120)가 결합되어 형성된 나노결합체(100)와 그 주위를 둘러싸는 경화된 폴리머, 즉 폴리머 절연체(130)로 구성된다.
여기서, 탄소나노튜브(110)는 단일벽 탄소나노튜브 또는 다중벽 탄소나노튜브일 수 있으며, 그 외부뿐만 아니라 내부에도 다수의 금속 나노입자(120)가 분포하고 있다. 금속 나노입자(120)는 압력에 따른 전류신호의 발생량이 금속마다 다를 수 있지만 금(Au), 루테늄(Ru), 구리(Cu) 및 니켈(Ni) 중 어느 하나일 수 있다. 나노결합체(100)의 제조방법에 대해서는 도 3을 참고하여 후술한다.
또한, 나노결합체(100) 주위를 둘러싸는 경화된 폴리머는 폴리이미드(Polyimide), 폴리디메틸실록세인(Polydimethylsiloxane), 폴리에틸렌(Polyethylene), 폴리스티렌(polystyrene), 패릴린(Parylene), 폴리아크릴로니트릴(Polyacrylonitrile), 에폭시(epoxy), 우레탄 아크릴레이트(urethane acrylate) 및 이들이 혼합된 물질 중 선택된 어느 하나에 의해 제조될 수 있으며, 외부로부터 압력 수신을 위해 경화된다. 특히, 본 실시예에서 경화된 폴리머는 에폭시(epoxy)와 우레탄 아크릴레이트(urethane acrylate) 혼합체이다. 또한, 경화된 폴리머인 폴리머 절연체(130)는 금속 나노입자와의 관계에서 절연체로서의 역할을 한다.
제 1, 2전도성 필름(20, 30)은 그 각각에 대응하는 제 1, 2전극이 형성되어 있으며, 폴리머 복합재 박막(10)에서 발생되는 전류신호를 외부로 출력하는 역할을 한다. 이러한 제 1, 2전도성 필름(20, 30)은 ITO(Indium Tin Oxide) 필름으로 형성될 수 있으며, 금속 재질을 증착하여 제 1, 2전극이 형성되지만 투명한 형태여서 투명전극이라고도 불린다.
도 2는 본 발명인 압력감응소자 제조방법 중 나노결합체(100)의 일예를 나타낸 사진이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 나노결합체(100)는 탄소나노튜브(110)에 내외부로 금속 나노입자(120)가 분산되어 결합될 수 있음을 알 수 있다. 특히, 도 2는 초임계유체(super critical fluid) 상태의 물(임계온도: 374 ℃, 임계압력: 22.4 MPa)을 용제로 사용하여 루테늄 나노입자(Ru nano particles)가 탄소나노튜브(110) 내외부로 용이하게 분산되어 결합되도록 한 것을 TEM(Transmission electron microscopy)에 의해 이미지화한 것이다.
<압력감응소자 제조방법>
도 3은 본 발명인 압력감응소자 제조방법의 일 실시예를 순차적으로 나타낸순서도이다. 도 3을 참조하여 본 발명인 압력감응소자의 제조방법에 대하여 설명한다.
우선, 소정의 초임계유체를 용제로 사용하여 탄소나노튜브(110) 표면에 금속 나노입자(120)가 분산 결합된 나노결합체(100)가 형성된다(S100).
여기서, 초임계유체는 임계 온도 및 임계 압력에서 어느 물질의 상(phase)이 액체인지 기체인지 구분할 수 없는 상태가 된 것을 의미하며, 이러한 초임계유체로 물, 이산화탄소, 메탄올 중 어느 하나를 사용한다.
또한, 본 발명의 일 구성인 나노결합체(100)도 초임계유체가 가지는 높은 확산성(high diffusivity), 낮은 점성(low viscosity) 및 제로에 가까운 표면장력(near-zero surface tension)에 기인하여 형성 가능하게 된다. 특히, 탄소나노튜브(110)에 금속 나노입자(120)를 분산 결합시키기 위해 초임계유체를 포함한 금속 전구체(metal precursor)를 형성하고 탄소나노튜브(110)와의 관계에서 소정 비율로 섞게 되면 탄소나노튜브(110) 표면에 결합되는 금속 나노입자(120)의 밀집 정도를 조절할 수도 있다.
다음, 형성된 나노결합체(100)가 소정 폴리머 용액에 투입되어 폴리머 복합재로 교반된다(S110). 폴리머 용액은 경화되어 절연체로 활용될 소재로서 구성의 실시예에서 상술한 바와 같다.
다음, 폴리머 복합재가 제 1전도성 필름(20) 상에 도포된다(S120).
여기서 제 1전도성 필름(20)은 소정의 패턴으로 패터닝된 제 1전극(미도시)을 포함하는 투명전극으로서 ITO 필름이 사용될 수 있다.
다음, 도포된 폴리머 복합재가 제 1전도성 필름(20) 상에 스핀코팅되어 폴리머 복합재 박막(10)으로 형성된다(S130). 스핀코팅(Spin-coating)은 고속(약 3000 rpm 이상)으로 회전시켜 박막을 성장시키되 원심력을 이용하므로 액체상태의 폴리머 복합재가 전체에 고루 퍼져 박막을 형성하게 된다.
다음, 형성된 폴리머 복합재 박막(10)이 외부의 압력에 대응하여 전류신호를 생성할 수 있도록 경화된다(S140). 본 발명인 압력감응소자는 압력을 수신하여 전류신호를 발생시키는 것이므로 액체상태의 폴리머 복합재 박막에 자외선을 조사하여 고체상태의 폴리머 복합재 박막(10)로 경화시키게 된다.
마지막으로, 제 2전도성 필름(30)이 경화된 폴리머 복합재 박막(10) 상으로 성막됨으로써(S150) 압력감응소자의 제조방법이 수행된다. 여기서, 제 2전도성 필름(30)은 제 1전도성 필름과 마찬가지로 ITO 필름으로 성막될 수 있으며, 소정 패턴으로 패터닝된 제 2전극을 포함하여 형성된 것이다.
<압력감응소자의 압력 측정방법>
도 4는 본 발명인 압력감응소자에 의한 압력 측정방법을 순차적으로 나타낸 순서도이다. 도 4를 참조하여 압력감응소자에 의한 압력 측정방법을 설명하면, 우선 소정 압력이 제 1전도성 필름(20) 또는 제 2전도성 필름(30)에 인가된다(S210). 이 경우 압력은 누름, 굽힘, 당김, 꼬임 등에 의해 발생하는 압력을 포함하고, 제 1전도성 필름(20) 또는 제 2전도성 필름(30)에 직간접적인 접촉으로 전달될 수 있는 미세힘에 의한 압력을 포함한다.
다음, 인가된 압력이, 소정의 초임계유체를 용제로 하여 탄소나노튜브(110) 표면에 금속 나노입자(120)가 분산 결합된 나노결합체(100)를 폴리머 용액에 교반하여 박막 형성 및 경화시킨 폴리머 복합재 박막(10)에 전달된다(S220).
다음, 전달된 압력이 금속 나노입자(120) 사이의 간극을 줄인다(S230). 즉, 경화된 폴리머 복합재 박막(10)의 형상 변형을 초래하되, 탄소나노튜브(110)의 수축변형을 유발하여 결합된 금속 나노입자(120) 사이의 간극이 좁아지는 것이다.
다음, 금속 나노입자(120) 사이의 양자 터널링 효과에 기초한 전류신호가 줄어든 간극을 통해 발생된다(S240). 여기서, 줄어든 간극은 금속 나노입자(120) 상호 간에 양자 터널링 효과(QTE, Quantum Tunneling Effect)에 의해 터널링 전자가 발생할 수 있을 정도로 줄어든 간극을 의미한다. 따라서, 기준압력 이하에서는 어떠한 전류신호도 발생하지 않으며, 기준압력 이상에서 압력에 비례하는 전류신호가 발생된다.
또한, 기존의 CNT 만으로 제작된 복합체와 비교할 때, 금속 나노입자의 QTE에 의해 CNT가 압력에 의해 접촉되어 통전되기 전에도 CNT에 붙어 있는 나노입자의 QTE에 의해 통전되어 전기적 신호를 얻을 수 있으므로 압력감응소자의 작동 범위가 넓어지게 된다.
다음, 발생된 전류신호가 제 1, 2전도성 필름(20, 30)을 통해 전류세기를 측정하는 전류측정수단(미도시)으로 전달된다(S250).
마지막으로, 전류측정수단이 전달된 전류신호의 세기를 측정함으로써 대응하는 압력의 세기를 측정한다(S260). 여기서, 전류신호의 세기는 인가된 압력의 세기에 비례하는 값이며, 적절한 비례계수를 적용하여 정확한 압력의 세기를 측정할 수 있다.
10: 경화된 폴리머 복합재 박막
20: 제 1전도성 필름
30: 제 2전도성 필름
100: 나노결합체
110: 탄소나노튜브
120: 금속 나노입자
130: 폴리머 절연체

Claims (15)

  1. 소정의 초임계유체를 용제로 사용하여 탄소나노튜브(110) 표면에 금속 나노입자(120)가 분산 결합된 나노결합체(100)가 형성되는 단계(S100);
    상기 나노결합체(100)가 소정 폴리머 용액에 투입되어 폴리머 복합재로 교반되는 단계(S110);
    상기 폴리머 복합재가 제 1전도성 필름(20) 상에 도포되는 단계(S120);
    상기 도포된 폴리머 복합재가 상기 제 1전도성 필름(20) 상에 폴리머 복합재 박막(10)으로 형성되는 단계(S130);
    상기 형성된 폴리머 복합재 박막(10)이 외부의 압력에 대응하여 전류신호를 생성할 수 있도록 경화되는 단계(S140); 및
    제 2전도성 필름(30)이 상기 경화된 폴리머 복합재 박막(10) 상으로 성막되는 단계(S150);를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력감응소자의 제조방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 나노결합체(100) 형성단계(S100)에서,
    상기 초임계유체는 초임계 상태의 물, 초임계 상태의 이산화탄소 및 초임계 상태의 메탄올 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 압력감응소자의 제조방법.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 나노결합체(100) 형성단계(S100)에서,
    상기 탄소나노튜브(110)는 단일벽 탄소나노튜브(110) 또는 다중벽 탄소나노튜브(110)인 것을 특징으로 하는 압력감응소자의 제조방법.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 나노결합체(100) 형성단계(S100)에서,
    상기 탄소나노튜브(110)는 복수의 탄소나노튜브(110)이고,
    상기 나노결합체(100)는 상기 각 탄소나노튜브(110)의 표면에 복수의 상기 금속 나노입자(120)가 분산 결합된 것을 특징으로 하는 압력감응소자의 제조방법.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 나노결합체(100) 형성단계(S100)에서,
    상기 금속 나노입자(120)는 금, 루테늄, 구리 및 니켈 중 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 압력감응소자의 제조방법.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 나노결합체(100) 형성단계(S100)에서,
    상기 나노결합체(100)는 복수의 나노결합체(100)이며, 상기 복수의 나노결합체(100)는 상기 경화된 폴리머 복합재 박막(10) 내에서 상호 불규칙적으로 배열된 것을 특징으로 하는 압력감응소자의 제조방법.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 폴리머 복합재의 교반단계(S110)에서,
    상기 폴리머 용액은 폴리이미드, 폴리디메틸실록세인, 폴리에틸렌, 폴리스티렌, 패릴린, 폴리아크릴로니트릴, 에폭시, 우레탄 아크릴레이트 및 이들이 혼합된 물질 중 선택된 어느 하나에 의해 제조된 것을 특징으로 하는 압력감응소자의 제조방법.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 폴리머 복합재 박막(10) 형성단계(S130)는,
    상기 도포된 폴리머 복합재가 상기 제 1전도성 필름(20) 상에 스핀코팅되어 폴리머 복합재 박막(10)으로 형성되는 단계인 것을 특징으로 하는 압력감응소자의 제조방법.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 형성된 폴리머 복합재 박막(10)의 경화단계(S140)는,
    상기 형성된 폴리머 복합재 박막(10) 상으로 자외선을 조사하여 경화되는 단계인 것을 특징으로 하는 압력감응소자의 제조방법.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 폴리머 복합재 박막(10)의 형성단계(S130) 및 상기 제 2전도성 필름(30) 성막단계(S150)에서,
    상기 제 1, 2전도성 필름(20, 30)은 각각에 대응하는 제 1, 2전극이 형성된 것을 특징으로 하는 압력감응소자의 제조방법.
  11. 제 1항에 있어서,
    상기 폴리머 복합재 박막(10)의 형성단계(S130) 및 상기 제 2전도성 필름(30) 성막단계(S150)에서,
    상기 제 1, 2전도성 필름(20, 30)은 ITO 필름인 것을 특징으로 하는 압력감응소자의 제조방법.
  12. 제 1항 내지 제 11항 중 어느 한 항의 제조방법에 따라 제조된 것을 특징으로 하는 압력감응소자.
  13. 소정 압력이 제 1전도성 필름(20) 또는 제 2전도성 필름(30)에 인가되는 단계(S210);
    상기 인가된 압력이, 소정의 초임계유체를 용제로 하여 탄소나노튜브(110) 표면에 금속 나노입자(120)가 분산 결합된 나노결합체(100)를 폴리머 용액에 교반하여 박막 형성 및 경화시킨 폴리머 복합재 박막(10)에 전달되는 단계(S220);
    상기 전달된 압력이 상기 금속 나노입자(120) 사이의 간극을 줄이는 단계(S230);
    상기 금속 나노입자(120) 사이의 양자 터널링 효과에 기초한 전류신호가 상기 줄어든 간극을 통해 발생되는 단계(S240);
    상기 발생된 전류신호가 상기 제 1, 2전도성 필름(20, 30)을 통해 출력되는 단계(S250); 및
    전류측정수단이 상기 출력된 전류신호의 세기를 측정함으로써 상기 압력의 세기를 측정하는 단계(S260);를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력감응소자에 의한 압력 측정방법.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 전류신호의 발생단계(S240)는,
    상기 압력이 소정 기준압력 이상인 경우에 상기 전류신호가 발생되는 단계인 것을 특징으로 하는 압력감응소자에 의한 압력 측정방법.
  15. 제 13항에 있어서,
    상기 전류측정수단의 압력세기 측정단계(S260)에서,
    상기 압력의 세기는 상기 전류신호에 비례하는 것을 특징으로 하는 압력감응소자에 의한 압력 측정방법.
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