KR20110092358A - 검사 장치 - Google Patents

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히로유끼 가와끼
신야 가마다
야스노리 도요시마
마사유끼 기따무라
다까히로 마끼하라
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도요타지도샤가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은, 전지 전극에 있어서의 전극 혼합제의 균일성을 상세하게 평가 가능한 검사 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
전지 전극(10)에 도포 시공되는 전극 혼합제(12)의 균일성을 검사하는 검사 장치(1)이며, 전극 혼합제(12)의 소정 부위에 있어서의 단위 면적당의 질량을 계측하는 제1 센서(20)와, 전극 혼합제(12)의 소정 부위에 있어서의 두께를 계측하는 제2 센서(30, 50)와, 제1 센서(20) 및 제2 센서(30, 50)를 보유 지지하는 보유 지지 부재(40, 60)를 구비하고, 제1 센서(20) 및 제2 센서(30, 50)에 의해 전극 혼합제(12)의 소정 부위에 있어서의 단위 면적당의 질량 및 두께를 동시에 계측하고, 전극 혼합제(12)의 소정 부위에 있어서의 단위 면적당의 질량 및 두께로부터 산출되는 도포 시공 밀도를 기초로 하여 전극 혼합제(12)의 균일성을 평가한다.

Description

검사 장치 {INSPECTION DEVICE}
본 발명은, 전지에 사용되는 전극에 도포 시공된 전극 혼합제를 검사하는 검사 장치에 관한 것이다.
전지에 사용되는 전극(이하,「전지 전극」이라 기재함)은 알루미늄박이나 동박 등의 집전체의 표면에, 활물질을 도전조제나 결착제 등과 함께 분산 용매로 혼련한 페이스트 상태의 전극 혼합제를 도포 시공한 후, 건조나 롤 프레스 등의 소정의 처리를 거쳐 형성된다.
상기와 같이, 전극 혼합제는 활물질이나 결착제 등의 복수의 재료로 이루어진다. 그로 인해, 이들 복수의 재료가 균일하게 산재하도록, 전극 혼합제가 도포 시공되어 있지 않으면 전극 성능의 편차가 커져, 덴드라이트가 생성되는 등의 문제가 발생한다. 그로 인해, 전극 혼합제에 있어서의 복수의 재료가 균일하게 산재하도록 전극 혼합제가 도포 시공되어 있는지의 여부(전극 혼합제의 균일성)를 검사할 필요가 있다.
특허 문헌 1에는, X선을 전지 전극을 향해 조사하여, 당해 X선의 투과량으로부터 전극 혼합제의 복수 부위의 단위 면적당의 질량을 산출함으로써, 전극 혼합제의 균일성을 평가하는 기술이 기재되어 있다.
그러나 특허 문헌 1에 기재된 기술에서는, 하나의 계량치, 즉 X선의 투과량으로부터 산출한 전극 혼합제의 단위 면적당의 질량만으로 전극 혼합제의 균일성을 평가하고 있으므로, 전극 혼합제가 불균일하다고 판단된 경우에, 전극 혼합제의 두께가 변화된 것인지, 전극 혼합제에 있어서의 복수의 재료 혼합 비율이 변화된 것인지까지 판단할 수 없는 점에서 불리하다.
또한, X선을 이용한 계측 장치는 분해 능력이 낮아, 전지 전극의 성능에 크게 영향을 미치는 전극 혼합제의 균일성의 평가에 있어서는, 전지 전극의 품질 관리의 점에서 불충분하다.
일본 특허 출원 공개 제2006-147338호 공보
본 발명은, 전지 전극에 있어서의 전극 혼합제의 균일성을 상세하게 평가 가능한 검사 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
본 발명의 검사 장치는, 전지 전극에 도포 시공되는 전극 혼합제의 균일성을 검사하는 검사 장치이며, 상기 전극 혼합제의 소정 부위에 있어서의 단위 면적당의 질량을 계측하는 제1 센서와, 상기 전극 혼합제의 소정 부위에 있어서의 두께를 계측하는 제2 센서와, 상기 제1 센서 및 제2 센서를 보유 지지하는 보유 지지 부재를 구비하고, 상기 제1 센서 및 제2 센서에 의해 상기 전극 혼합제의 소정 부위에 있어서의 단위 면적당의 질량 및 두께를 동시에 계측하고, 상기 전극 혼합제의 소정 부위에 있어서의 단위 면적당의 질량 및 두께를 기초로 하여 상기 전극 혼합제의 균일성을 평가한다.
본 발명의 검사 장치에 있어서, 상기 보유 지지 부재에 있어서의 상기 전지 전극에 대향하는 표면에는 구면 형상의 오목부가 형성되고, 상기 오목부에 상기 제1 센서 및 제2 센서가 배치되는 것이 바람직하다.
본 발명의 검사 장치에 있어서, 상기 전극 혼합제의 균일성의 평가는, 상기 전극 혼합제의 소정 부위에 있어서의 단위 면적당의 질량 및 두께를 기초로 하여 산출되는 도포 시공 밀도를 소정의 값과 비교함으로써 행해지는 것이 바람직하다.
본 발명의 검사 장치에 있어서, 상기 전극 혼합제의 균일성의 평가는, 상기 도포 시공 밀도의 평가에 더하여, 상기 전극 혼합제의 소정 부위에 있어서의 단위 면적당의 질량 및 두께를, 각각 소정의 값과 비교함으로써 행해지는 것이 바람직하다.
본 발명의 검사 장치에 있어서, 상기 제1 센서는 투과형의 초음파 센서이며, 상기 제2 센서는 레이저 변위계인 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 전지 전극에 있어서의 전극 혼합제의 균일성을 상세하게 평가할 수 있다. 또한, 전지 전극의 제조 공정에 피드백함으로써, 전지 전극의 성능의 편차를 줄일 수 있다.
도 1은 검사 장치를 도시하는 사시도이다.
도 2는 검사 장치를 도시하는 측면 단면도이다.
도 3은 상부 센서를 도시하는 저면도이다.
이하에서는, 도 1 내지 도 3을 참조하여, 본 발명의 일실시 형태에 관한 검사 장치(1)에 대해서 설명한다.
검사 장치(1)는 검사 대상의 단위 면적당의 질량을 계측하는 센서와, 검사 대상의 두께를 계측하는 센서의 2종류의 센서를 이용하여, 당해 계측치로부터 검사 대상의 단위 체적당의 질량(밀도)을 산출하고, 당해 산출치 또는 상기 계측치를 기초로 하여 검사 대상의 균일성을 평가하는 장치이다. 엄밀하게는, 검사 장치(1)는, 전극(10)에 도포 시공되어 있는 전극 혼합제(12, 12)의 단위 체적당의 질량(밀도)을 산출하고, 전극(10)에 있어서 집전체(11)에 전극 혼합제(12, 12)가 균일하게 도포 시공되어 있는지의 여부를 검사한다.
전극(10)은, 금속박인 집전체(11)의 양면에, 다이코터 등의 도포 시공 장치를 사용해서 페이스트 상태의 전극 혼합제(12)를 도포 시공하고, 건조시킨 후, 롤 프레스 등의 소정의 처리를 거쳐 형성된 장척 형상의 부재이다. 전극(10)은, 예를 들어 리튬 이온 2차 전지나 니켈·수소 축전지 등의 전극으로서 사용된다. 전극(10)은, 도시하지 않은 롤러 등의 반송 수단에 의해 길이 방향(도 1에 있어서의 화살표 방향)으로 반송된다.
집전체(11)는 알루미늄, 구리, 티탄, 스테인리스강 등의 금속박으로 이루어지는 집전체이다.
전극 혼합제(12)는 활물질을 도전조제나 결착제 등과 함께 분산 용매로 혼련한 페이스트 상태의 혼합제이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 검사 장치(1)는 상부 센서(2), 하부 센서(3), 아암(4) 및 평가 장치(5)를 구비한다.
또, 이하에서는, 도 1에 있어서의 화살표 방향을 전극(10)의「반송 방향」으로 하고, 이「반송 방향」에 수평으로 직교하는 방향(도 2에 있어서의 좌우 방향)을 전극(10)의「폭 방향」으로서 설명한다.
상부 센서(2) 및 하부 센서(3)는, 전극(10)에 있어서의 전극 혼합제(12, 12)의 소정의 데이터를 계측하는 한 쌍의 센서이다. 상부 센서(2) 및 하부 센서(3)는, 전극(10)을 사이에 두고 서로 대향하도록 설치되고, 각각 전극(10)의 상방 및 하방에 배치된다. 상부 센서(2) 및 하부 센서(3)는 아암(4)의 단부에 고정되어 있다.
아암(4)은 상부 센서(2)와 하부 센서(3)를 일체적으로 지지하는 부재이며, 상부 센서(2) 및 하부 센서(3)가 전극(10)의 폭 방향으로 이동할 때에 전극(10)과 접촉하지 않는 형상, 예를 들어 전극(10)의 상방 및 하방에 위치하는 상부 센서(2) 및 하부 센서(3)의 지지부를, 전극(10)의 폭과 동등 혹은 그 이상의 길이로 전극(10)의 측방으로 연장하고, 이들의 연장 부위를 단부에서 접속한 형상으로 형성된다.
이와 같이, 상부 센서(2) 및 하부 센서(3)는 서로의 간격을 보유 지지하도록 아암(4)에 의해 일체적으로 지지되어 있고, 양자로부터 전극(10)까지의 거리를 일정하게 보유 지지한 상태에서, 전극(10)의 폭 방향에 있어서의 소정 범위 내[전극 혼합제(12, 12)가 도포 시공되어 있는 범위 내]를 왕복 이동 가능하게 되어 있다.
평가 장치(5)는 상부 센서(2) 및 하부 센서(3)와 접속되어 있고, 각각의 센서에 의해 계측된 계측치를 취득하고, 그들 계측치를 기초로 하여 전극(10)에 있어서의 전극 혼합제(12, 12)가 균일하게 도포 시공되어 있는지의 여부를 평가하는 것이다.
도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 상부 센서(2)는 초음파 센서(20)의 일부를 이루는 초음파 발신기(21), 레이저 변위계(30) 및 초음파 발신기(21)와 레이저 변위계(30)를 보유 지지하는 홀더(40) 등으로 구성된다.
초음파 센서(20)는 초음파 발신기(21) 및 초음파 수신기(22)를 포함하는 투과형의 초음파 센서이며, 초음파 발신기(21) 및 초음파 수신기(22)가 전극(10)을 사이에 두고 대향하도록 설치되어 있다. 즉, 초음파 발신기(21)로부터 발신되는 초음파는 전극(10)을 투과하고, 초음파 수신기(22)에 의해 수신되도록 설치되어 있다. 상세하게는, 초음파 발신기(21)가 상부 센서(2)의 홀더(40)에 부착되고, 초음파 수신기(22)가 후술하는 하부 센서(3)의 홀더(60)에 부착되어 있다.
초음파 센서(20)는 초음파 발신기(21)로부터 전극(10)의 소정 부위를 향해 초음파를 발신하고, 전극(10)을 투과한 초음파를 초음파 수신기(22)가 수신함으로써 계측한 초음파의 투과량으로부터, 전극 혼합제(12, 12)의 소정 부위에 있어서의 단위 면적당의 질량(이하,「도포 시공 질량」이라 기재함)[g/㎠]을 산출하고, 초음파 센서(20)에 의한 계측치로서 출력한다.
또, 초음파 발신기(21)로부터 발신되는 초음파에는, 공기 중을 전파하기 쉽게 저주파수(예를 들어, 100kHz)의 펄스파가 적용된다.
레이저 변위계(30)는 레이저 조사기(31) 및 레이저 수광기(32)를 포함하는 레이저 변위계이며, 상부 센서(2)의 홀더(40)에 부착된다.
레이저 변위계(30)는 레이저 조사기(31)로부터 전극(10)에 있어서의 한 쪽 전극 혼합제(12)[도 2에 있어서의 상측의 전극 혼합제(12)]의 소정 부위를 향해 레이저를 조사하고, 당해 소정 부위로부터의 반사광을 레이저 수광기(32)가 수광함으로써, 한 쪽 전극 혼합제(12)의 소정 부위에 있어서의 두께[도 2에 있어서의 상측의 전극 혼합제(12)의 상하 방향의 길이이며, 이하「도포 시공 두께」라고 기재함][㎛]를 계측한다.
홀더(40)는 상부 센서(2)의 외곽을 이루는 대략 원기둥 형상의 부재이며, 초음파 센서(20)의 일부를 이루는 초음파 발신기(21) 및 레이저 변위계(30)[레이저 조사기(31) 및 레이저 수광기(32)]를 보유 지지한다. 홀더(40)의 일단부면[전극(10)에 대향하는 면이며, 도 2에 있어서의 하면]에는, 오목부(41)가 형성되어 있다.
오목부(41)는 홀더(40)의 일단부면으로부터 내부를 향해 오목하게 들어가도록 형성된 부위이다. 오목부(41)는 반구면 형상으로 형성되어 있고, 그 중앙에 초음파 발신기(21)가 설치되어 있다.
이에 의해, 초음파 발신기(21)로부터 발신되는 초음파를 반구면 형상으로 형성된 오목부(41)의 내주면에 반사시킴으로써, 그 중앙에 효율적으로 집중시켜서 초음파의 분산을 방지하고, 전극(10)의 원하는 부위를 향해 양호하게 초음파를 발신하는 것이 가능해진다.
또한, 초음파 발신기(21)를 끼움지지하도록 레이저 조사기(31) 및 레이저 수광기(32)가 오목부(41)의 형상을 따라서 경사진 상태로 설치되어 있다. 이에 의해, 초음파 센서(20)와 레이저 변위계(30)가 한 쪽 전극 혼합제(12)[도 2에 있어서의 상측의 전극 혼합제(12)]의 동일 부위를 계측 대상으로 하는 것이 가능해진다.
이와 같이, 홀더(40)에 의해 초음파 발신기(21)와 레이저 변위계(30)를 보유 지지하면서, 구면 형상을 갖는 오목부(41) 내에 이들을 배치함으로써, 이들 센서의 계측 부위를 동일한 것으로 하고 있다.
하부 센서(3)는 상부 센서(2)와 대략 마찬가지로 구성된 센서이며, 초음파 센서(20)의 일부를 이루는 초음파 수신기(22), 레이저 변위계(50) 및 초음파 수신기(22)와 레이저 변위계(50)를 보유 지지하는 홀더(60) 등으로 구성된다.
레이저 변위계(50)는 레이저 변위계(30)와 대략 마찬가지로 구성되어, 레이저 조사기(51) 및 레이저 수광기(52)를 포함하는 레이저 변위계이며, 하부 센서(3)의 홀더(60)에 부착된다.
레이저 변위계(50)는 레이저 변위계(30)와 마찬가지로, 전극(10)에 있어서의 다른 쪽 전극 혼합제(12)[도 2에 있어서의 하측의 전극 혼합제(12)]의 소정 부위에 있어서의 도포 시공 두께[㎛]를 계측한다.
홀더(60)는 홀더(40)와 대략 마찬가지로 구성되어, 하부 센서(3)의 외곽을 이루는 대략 원기둥 형상의 부재이며, 초음파 센서(20)의 일부를 이루는 초음파 수신기(22) 및 레이저 변위계(50)[레이저 조사기(51) 및 레이저 수광기(52)]를 보유 지지한다. 홀더(60)의 일단부면[전극(10)에 대향하는 면이며, 도 2에 있어서의 상면]에는, 오목부(61)가 형성되어 있다.
오목부(61)는 홀더(40)의 오목부(41)와 마찬가지로, 홀더(60)의 일단부면으로부터 내부를 향해 오목하게 들어가도록 반구면 형상으로 형성된 부위이며, 그 중앙에 초음파 수신기(22)가 설치되어 있다. 오목부(61)는 오목부(41)와 마찬가지로, 중앙에 설치된 초음파 수신기(22)의 양측에 레이저 조사기(51) 및 레이저 수광기(52)가 오목부(61)의 형상을 따르도록 경사진 상태에서 설치되어 있다.
이에 의해, 초음파 발신기(21)로부터 발신되어, 전극(10)을 투과한 초음파를 반구면 형상으로 형성된 오목부(61)의 내주면으로 반사시킴으로써, 그 중앙에 효율적으로 집중시켜서 초음파의 분산을 방지하고, 당해 초음파를 초음파 수신기(22)가 양호하게 수신하는 것이 가능해지는 동시에, 초음파 센서(20)와 레이저 변위계(50)가 다른 쪽 전극 혼합제(12)[도 2에 있어서의 하측의 전극 혼합제(12)]의 동일 부위를 계측 대상으로 하는 것이 가능해진다.
이상과 같이, 상부 센서(2)의 초음파 발신기(21)와, 하부 센서(3)의 초음파 수신기(22)에 의해 초음파 센서(20)가 구성된다. 초음파 센서(20)에 의해 전극 혼합제(12, 12)의 도포 시공 질량을 계측한다. 또한, 상부 센서(2)의 레이저 조사기(31)와 레이저 수광기(32)에 의해 레이저 변위계(30)가 구성되고, 하부 센서(3)의 레이저 조사기(51)와 레이저 수광기(52)에 의해 레이저 변위계(50)가 구성된다. 레이저 변위계(30)에 의해 한 쪽 전극 혼합제(12)[도 2에 있어서의 상측의 전극 혼합제(12)]의 도포 시공 두께를 계측하고, 레이저 변위계(50)에 의해 다른 쪽 전극 혼합제(12)[도 2에 있어서의 하측의 전극 혼합제(12)]의 도포 시공 두께를 계측한다.
즉, 검사 장치(1)는 초음파 센서(20)와, 2개의 레이저 변위계(30, 50)를 구비하고 있고, 초음파 센서(20)에 의해 전극 혼합제(12, 12)의 도포 시공 질량을 계측하는 동시에, 2개의 레이저 변위계(30, 50)에 의해 전극 혼합제(12, 12)의 도포 시공 두께[한 쪽 전극 혼합제(12)의 도포 시공 두께와 다른 쪽 전극 혼합제(12)의 도포 시공 두께의 합계치]를 계측한다.
또, 전극 혼합제(12, 12)의 도포 시공 질량 및 도포 시공 두께의 계측에 있어서는, 정밀도나 외란의 영향 등을 고려하면서, 계측 항목에 따라서 양호한 분해 능력을 갖는 계측 수단을 선택하는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 전극 혼합제(12, 12)의 도포 시공 질량의 계측에는 투과형의 초음파 센서를 이용하고, 전극 혼합제(12, 12)의 도포 시공 두께의 계측에는 레이저 변위계를 이용하는 것이 바람직하다.
또한, 상부 센서(2)의 홀더(40) 및 하부 센서(3)의 홀더(60)에는, 각각 반구면 형상의 오목부(41) 및 오목부(61)가 형성되어 있고, 이들 오목부(41, 61)에 초음파 센서(20) 및 레이저 변위계(30, 50)를 구성하는 각 기기가 배치되어 있다.
이에 의해, 초음파 발신기(21)로부터 발신되는 초음파를 효율적으로 모아서 초음파의 분산을 방지하고, 전극(10)의 원하는 부위를 향해 양호하게 초음파를 발신하는 동시에, 전극(10)을 투과한 초음파를 효율적으로 모아서 초음파의 분산을 방지하고, 당해 초음파를 초음파 수신기(22)가 양호하게 수신하는 것이 가능해진다. 즉, 초음파 센서(20)가 초음파를 양호하게 발신 및 수신하는 것이 가능해진다.
따라서, 전극(10)에 있어서의 전극 혼합제(12, 12)의 도포 시공 질량을 고정밀도로 계측할 수 있다(고SN비화를 실현할 수 있음).
또한, 초음파 센서(20) 및 레이저 변위계(30, 50)가 동시에 전극 혼합제(12, 12)의 동일 부위를 계측 대상으로 하는 것이 가능해진다.
따라서, 초음파 센서(20)에 의한 전극 혼합제(12, 12)의 도포 시공 질량의 계측과, 레이저 변위계(30, 50)에 의한 전극 혼합제(12, 12)의 도포 시공 두께의 계측을 동시에 행할 수 있어, 조업의 효율화를 도모할 수 있다.
이하에서는, 도 2를 참조하여, 평가 장치(5)에 의한 전극 혼합제(12, 12)의 균일성의 평가에 대해서 설명한다.
평가 장치(5)는 상부 센서(2) 및 하부 센서(3)와 전기적으로 접속되고, 상부 센서(2) 및 하부 센서(3)에 의해 계측한 전극 혼합제(12, 12)의 도포 시공 질량 및 도포 시공 두께를 취득하고, 미리 기억된 평가용의 임계치 등을 기초로 하여, 전극 혼합제(12, 12)의 균일성을 평가하는 것이다.
여기서, 전극 혼합제(12, 12)의「균일성」이라 함은, 전극 혼합제(12, 12)에 있어서의 활물질, 도전조제 및 결착제 등의 복수의 재료가 균일하게 산재하도록, 전극 혼합제(12, 12)가 집전체(11)에 도포 시공되어 있는지의 여부의 지표이며, 본 실시 형태에 있어서 도포 시공 질량, 도포 시공 두께 등에 의해 구체적인 수치로서 나타내어지는 것이다.
도 2에 도시한 바와 같이, 상부 센서(2) 및 하부 센서(3)가 전극(10)의 폭 방향에 있어서의 소정 범위 내[전극 혼합제(12, 12)가 도포 시공되어 있는 범위 내]에서 왕복 이동하면서, 도시하지 않은 롤러 등의 반송 수단에 의해 반송되는 전극(10)에 있어서의 전극 혼합제(12, 12)의 복수 부위에 있어서의 도포 시공 질량 및 도포 시공 두께를 연속적으로 계측한다. 이들 상부 센서(2) 및 하부 센서(3)에 의해 계측된 전극 혼합제(12, 12)의 도포 시공 질량 및 도포 시공 두께는, 평가 장치(5)로 송신된다.
평가 장치(5)는 상부 센서(2) 및 하부 센서(3)로부터 송신된 전극 혼합제(12, 12)의 도포 시공 질량[g/㎠] 및 도포 시공 두께[㎛]로부터 전극 혼합제(12, 12)의 소정 부위에 있어서의 단위 체적당의 질량(이하,「도포 시공 밀도」라고 기재함)[g/㎤]을 산출한다.
전극 혼합제(12, 12)의 도포 시공 밀도는, 이하의 식 1을 기초로 하여 산출된다.
[식 1]
도포 시공 밀도[g/㎤] = 도포 시공 질량[g/㎠]/도포 시공 두께[㎛]
평가 장치(5)는 산출된 전극 혼합제(12, 12)의 도포 시공 밀도와, 미리 기억된 평가용의 임계치 등을 비교함으로써, 그 양부(良否)를 판정한다. 즉, 평가 장치(5)에 있어서, 전극 혼합제(12, 12)의 도포 시공 밀도는 전극 혼합제(12, 12)의 균일성의 대체값이 되어, 전극 혼합제(12, 12)의 도포 시공 밀도를 기초로 전극 혼합제(12, 12)의 균일성을 평가한다.
이상과 같이, 초음파 센서(20)에 의해 계측된 전극 혼합제(12, 12)의 도포 시공 질량 및 레이저 변위계(30, 50)에 의해 계측된 전극 혼합제(12, 12)의 도포 시공 두께로부터 산출된 전극 혼합제(12, 12)의 도포 시공 밀도가 전극 혼합제(12, 12)의 균일성의 대체값이 된다.
이에 의해, 전극 혼합제(12, 12)가 불균일하다고 판정된 경우에는, 전극 혼합제(12, 12)의 도포 시공 질량 및 도포 시공 두께를 참조함으로써, 전극 혼합제(12, 12)의 불균일의 요인이 전극 혼합제(12, 12)의 두께의 변화에 의한 것인지, 또는 전극 혼합제(12, 12)에 있어서의 복수의 재료의 혼합 비율의 변화에 의한 것인지를 판단하여, 상세하게 전극 혼합제(12, 12)의 균일성을 평가하는 것이 가능해진다.
따라서, 이들 정보를 전극(10)의 제조 공정에 있어서의 집전체(11)의 표면에 전극 혼합제(12, 12)를 도포 시공하는 공정 등에 피드백함으로써, 전극 혼합제(12, 12)의 균일성을 담보하여, 전극(10)의 성능 편차를 줄일 수 있다.
또한, 전극 혼합제(12, 12)의 도포 시공 밀도의 평가에 더하여, 전극 혼합제(12, 12)의 도포 시공 질량 및 도포 시공 두께를 미리 기억된 평가용의 임계치 등과 비교함으로써, 전극 혼합제(12, 12)의 균일성을 평가해도 좋다.
이에 의해, 더욱 상세하게 전극 혼합제(12, 12)의 균일성을 평가하는 것이 가능해진다.
또, 검사 장치(1)에 의한 전극(10)에 있어서의 전극 혼합제(12, 12)의 균일성 검사는, 전극(10)의 제조 공정의 최후에 행하는 것이 바람직하다. 상세하게는, 집전체(11)에 전극 혼합제(12)를 도포 시공한 직후 등에서는, 전극 혼합제(12)에 포함되는 물이나 용매 등의 영향에 의해 고정밀도로 전극 혼합제(12)의 도포 시공 질량 및 도포 시공 두께를 계측할 수 없으므로, 전극 혼합제(12)를 건조시켜서 프레스한 후에 검사 장치(1)에 의한 검사를 행하는 것이 바람직하다.
또한, 본 실시 형태에 있어서는 2개의 레이저 변위계를 설치했지만, 레이저 변위계를 하나로 하는 구성으로 해도 좋다. 단, 이 경우, 검사 장치(1)에 의한 검사 대상은 전극 혼합제(12)가 집전체(11)의 편면에 도포 시공된 전지 전극에 한정된다.
본 발명은, 전지 전극의 제조 공정에 있어서 제조되는 전지 전극의 제조 정밀도를 검사하는 장치에 적용할 수 있다. 특히, 전지 전극의 제조 공정의 라인 내에서 연속적으로 전지 전극을 검사하는 검사 장치에 이용할 수 있다.
1 : 검사 장치
2 : 상부 센서
3 : 하부 센서
5 : 평가 장치
10 : 전극
11 : 집전체
12 : 전극 혼합제
20 : 초음파 센서(제1 센서)
30, 50 : 레이저 변위계(제2 센서)
40, 60 : 홀더(보유 지지 부재)

Claims (5)

  1. 전지 전극에 도포 시공되는 전극 혼합제의 균일성을 검사하는 검사 장치이며,
    상기 전극 혼합제의 소정 부위에 있어서의 단위 면적당의 질량을 계측하는 제1 센서와,
    상기 전극 혼합제의 소정 부위에 있어서의 두께를 계측하는 제2 센서와,
    상기 제1 센서 및 제2 센서를 보유 지지하는 보유 지지 부재를 구비하고,
    상기 제1 센서 및 제2 센서에 의해 상기 전극 혼합제의 소정 부위에 있어서의 단위 면적당의 질량 및 두께를 동시에 계측하고,
    상기 전극 혼합제의 소정 부위에 있어서의 단위 면적당의 질량 및 두께를 기초로 하여 상기 전극 혼합제의 균일성을 평가하는, 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 보유 지지 부재에 있어서의 상기 전지 전극에 대향하는 표면에는, 구면 형상의 오목부가 형성되고,
    상기 오목부에 상기 제1 센서 및 제2 센서가 배치되는, 검사 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 전극 혼합제의 균일성의 평가는,
    상기 전극 혼합제의 소정 부위에 있어서의 단위 면적당의 질량 및 두께를 기초로 하여 산출되는 도포 시공 밀도를 소정의 값과 비교함으로써 행해지는, 검사 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 전극 혼합제의 균일성의 평가는,
    상기 도포 시공 밀도의 평가에 더하여, 상기 전극 혼합제의 소정 부위에 있어서의 단위 면적당의 질량 및 두께를, 각각 소정의 값과 비교함으로써 행해지는, 검사 장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 센서는 투과형의 초음파 센서이며,
    상기 제2 센서는 레이저 변위계인, 검사 장치.




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