KR20110043334A - Device using rollers for coating - Google Patents

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KR20110043334A
KR20110043334A KR1020090100403A KR20090100403A KR20110043334A KR 20110043334 A KR20110043334 A KR 20110043334A KR 1020090100403 A KR1020090100403 A KR 1020090100403A KR 20090100403 A KR20090100403 A KR 20090100403A KR 20110043334 A KR20110043334 A KR 20110043334A
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Abstract

PURPOSE: A roll coating apparatus is provided to form a coating layer with uniform thickness on a roll-shaped substrate and reduce time required for a coating liquid hardening or drying process. CONSTITUTION: A rotary shaft rotates a roll-shaped substrate. A nozzle part(120) supplies coating liquid on the roll-shaped substrate. A gas supplying part(130) supplies gas to the coating liquid coated on the roll-shaped substrate. A gas discharging part(150) discharges the gas supplied from the gas supplying part. The coating liquid on the roll-shaped substrate is hardened or dried using the gas.

Description

롤 코팅 장치 {Device using rollers for coating}Roll Coating Equipment {Device using rollers for coating}

본 발명은 롤 코팅 장치에 관한 것으로, 롤에 대하여 도포되는 도포액의 경화(또는 건조)시간을 단축시킬 수 있는 롤 코팅 장치에 관한 것이다. TECHNICAL FIELD This invention relates to a roll coating apparatus. It is related with the roll coating apparatus which can shorten the hardening (or drying) time of the coating liquid apply | coated with respect to a roll.

일반적으로 롤 코팅장치는 롤 형태의 기판에 포토레지스트 또는 솔더레지스트 등 도포액을 밀착 또는 코팅하기 위한 목적으로 사용된다. In general, a roll coating apparatus is used for the purpose of closely contacting or coating a coating liquid such as photoresist or solder resist on a roll-shaped substrate.

종래의 롤 코팅장치는 롤 형태의 기판을 도포액이 저장되어 있는 챔버에 딥핑방식으로 넣은 후 꺼내는 방식으로 롤 형태의 기판에 도포액이 도포되도록 고안되었다. 이 때, 넣고 꺼내는 속도를 조절하여 롤 형태의 기판에 도포되는 도포액의 도포두께를 조절하게 된다. Conventional roll coating apparatus is designed to apply the coating liquid to the roll-shaped substrate in a manner of dipping the roll-shaped substrate into the chamber in which the coating liquid is stored in a dipping method. At this time, the application thickness of the coating liquid applied to the roll-shaped substrate is adjusted by adjusting the rate of insertion and removal.

그런데, 이러한 딥핑방식에 의하면, 도포액이 중력에 의해 아래로 흘러내리는 특성에 따라, 챔버에 넣어지는 롤 형태 기판의 상부는 도포액이 얇게 도포되나, 롤 형태 기판의 하부는 도포액이 두껍게 도포되어 롤 형태 기판의 코팅층의 두께가 균일해지지 못하는 단점이 있다. By the way, according to this dipping method, the coating liquid is applied thinly on the upper part of the roll-shaped substrate to be put into the chamber according to the characteristic that the coating liquid flows down by gravity, but the coating liquid is applied thickly on the lower part of the roll-type substrate. There is a disadvantage that the thickness of the coating layer of the roll-shaped substrate is not uniform.

한편, 롤 형태의 기판을 회전시키려고 도포액을 노즐을 통해 회전되는 기판의 표면에 토출하는 형태의 롤 코팅장치도 시도되고 있다. 그런데, 이러한 방식으로도 도포액이 경화(또는 건조)되어 롤 형태 기판에 고정되기 전에 중력에 의해 하부방향으로 흘러내리는 것을 막을 수 없어 롤 형태 기판의 코팅층의 두께가 역시 균일해지지 못하게 된다. On the other hand, in order to rotate a roll-shaped board | substrate, the roll coating apparatus of the form which discharges a coating liquid to the surface of the board | substrate rotated through a nozzle is also tried. However, even in this manner, the coating liquid cannot be prevented from flowing downward by gravity before being hardened (or dried) and fixed to the roll-shaped substrate, so that the thickness of the coating layer of the roll-shaped substrate is also not uniform.

그에 따라, 코팅이 이루어지더라도 코팅층에 얼룩 등이 발생하여 품질이 우수하지 못하게 되고 후속 공정에서 정밀도가 크게 훼손되게 된다. Accordingly, even if the coating is made, stains, etc. occur in the coating layer, so that the quality is not excellent and the precision is greatly impaired in subsequent processes.

이러한 점은 상기 도포액의 점도가 높을수록 더욱 커지는 것을 확인되고 있다. It is confirmed that such a point becomes larger, so that the viscosity of the said coating liquid is high.

한편, 이와 같이 도포액이 도포된 롤 형태 기판은 도포액의 경화(또는 건조)를 위해 가열될 필요가 있다. 그런데 이렇게 가열된 롤 형태 기판은 추후공정을 위해 냉각이 되어야 하므로, 별도의 냉각공정이 필요한 불편함이 있었다. On the other hand, the roll-form substrate coated with the coating liquid needs to be heated for curing (or drying) the coating liquid. However, the heated roll-shaped substrate is to be cooled for the subsequent process, there was an inconvenience that requires a separate cooling process.

상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해, 본 발명은 롤 형태의 기판에 균일한 두께의 코팅층을 형성할 수 있는 롤 코팅장치를 제공하고자 한다. In order to solve the problems of the prior art as described above, the present invention is to provide a roll coating apparatus capable of forming a coating layer of a uniform thickness on a roll-shaped substrate.

또한, 본 발명은 롤 형태 기판에 도포되는 도포액의 경화(또는 건조)시간을 단축시킬 수 있는 롤 코팅장치를 제공하고자 한다. In addition, the present invention is to provide a roll coating apparatus that can shorten the curing (or drying) time of the coating liquid applied to the roll-shaped substrate.

또한, 본 발명은 코팅층이 형성된 롤 형태의 기판을 냉각시킬 수 있는 롤 코 팅장치를 제공하고자 한다. In addition, the present invention is to provide a roll coating apparatus that can cool the substrate in the form of a roll on which the coating layer is formed.

위와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명의 한 특징에 따른 롤 형태 기판의 표면을 코팅하는 롤 코팅장치는 상기 롤 형태 기판을 회전시키는 회전축; 상기 롤 형태 기판에 도포액을 공급하는 노즐부; 상기 롤 형태 기판에 도포된 도포액에 기체를 공급하는 기체공급부; 및 상기 기체공급부에 의해 공급된 기체를 외부로 배출하는 기체배출부;를 포함하되, 상기 롤 형태 기판에 도포된 상기 도포액이 상기 기체공급부를 통해 공급된 상기 기체를 통해 경화 또는 건조되는 것을 특징으로 한다. Roll coating apparatus for coating the surface of the roll-shaped substrate according to one feature of the present invention for solving the above problems is a rotating shaft for rotating the roll-shaped substrate; A nozzle unit for supplying a coating liquid to the roll-shaped substrate; A gas supply unit supplying gas to the coating liquid applied to the roll-shaped substrate; And a gas discharge part for discharging the gas supplied by the gas supply part to the outside, wherein the coating liquid applied to the roll-shaped substrate is cured or dried through the gas supplied through the gas supply part. It is done.

바람직하게는 상기 기체공급부와 상기 기체배출부 사이에 상기 기체의 유로가 형성되는 커버부;를 더 포함할 수 있다. Preferably, the cover unit for forming a flow path of the gas between the gas supply and the gas discharge portion; may further include a.

바람직하게는 상기 롤 형태 기판의 회전방향에 대하여 도포되는 도포액의 방향이 일치하도록 상기 롤 형태 기판의 측부에 배치되는 노즐부를 포함할 수 있다. Preferably, it may include a nozzle portion disposed on the side of the roll-shaped substrate so that the direction of the coating liquid applied to the rotational direction of the roll-shaped substrate to match.

특히 상기 도포액이 토출되는 노즐팁모듈; 및 상기 도포액을 일시 저장하는 일시저장모듈;를 포함하는 노즐부를 포함할 수 있다. In particular, the nozzle tip module for discharging the coating liquid; And a temporary storage module for temporarily storing the coating liquid.

특히 상기 기체공급부와 상기 기체배출부는 상기 노즐부의 상부에 위치할 수 있다. In particular, the gas supply unit and the gas discharge unit may be located above the nozzle unit.

바람직하게는 상기 롤 형태 기판의 직경을 초과하는 직경을 가지는 곡면형구조로 이루어지며, 일단은 상기 기체공급부에 연결되고, 타단은 상기 기체배출부에 연결되는 커버부를 포함할 수 있다. It is preferably made of a curved structure having a diameter exceeding the diameter of the roll-shaped substrate, one end may be connected to the gas supply portion, the other end may include a cover portion connected to the gas discharge portion.

특히 상기 기체를 가열하는 가열부를 더 포함하는 기체공급부를 포함할 수 있다. In particular, the gas supply unit may further include a heating unit for heating the gas.

특히 상기 기체를 냉각하는 냉각부를 더 포함하는 기체공급부를 포함할 수 있다. In particular, the gas supply unit may further include a cooling unit for cooling the gas.

특히 상기 기체가 질소가스일 수 있다. In particular, the gas may be nitrogen gas.

상술한 바와 같이, 본 발명은 롤 기판 상에 도포액을 도포함과 동시에 기체를 도포액의 도포된 상부를 통과시켜 도포액의 경화 또는 건조시간을 단축시켜 도포액이 중력에 의해 하부방향으로 흘러내리는 것을 방지할 수 있다. As described above, in the present invention, the coating liquid is applied onto the roll substrate and the gas is passed through the coated upper portion of the coating liquid to shorten the curing or drying time of the coating liquid so that the coating liquid flows downward by gravity. It can prevent falling.

특히, 본 발명은 도포액이 도포된 상부를 통과하는 기체를 외부로 배출함으로써, 도포액의 경화 또는 건조시간을 더욱 단축할 수 있다. In particular, the present invention can further shorten the curing or drying time of the coating liquid by discharging the gas passing through the upper portion coated with the coating liquid to the outside.

그에 따라, 본 발명의 롤 코팅장치에 의하면, 롤 형태 기판에 도포액을 균일한 두께로 코팅하는 것이 가능하다. Therefore, according to the roll coating apparatus of this invention, it is possible to coat a coating liquid with a uniform thickness on a roll-form board | substrate.

또한, 본 발명의 롤 코팅장치는 도포액을 토출하는 노즐부의 토출방향이 롤 코팅장치의 회전방향에 대응하도록, 롤 형태 기판에 대하여 일정간격이 이격되어 하부 방향으로 배치 설치되어, 상기 도포액을 상기 롤 기판 상에 일정두께로 코팅할 수 있다. In addition, the roll coating apparatus of the present invention is installed in a downward direction spaced apart from the roll-shaped substrate so that the discharge direction of the nozzle portion for discharging the coating liquid corresponds to the rotation direction of the roll coating apparatus, the coating liquid It can be coated with a predetermined thickness on the roll substrate.

그에 따라, 본 발명의 롤 코팅장치를 이용하면, 회전하는 롤 기판 상에 도포 액을 코팅한 후, 이와 동시에 상기 도포액을 경화시켜, 상기 도포액이 경화되기 전 흘러내려 상기 롤 형태 기판에 얼룩이 생기는 것을 방지할 수 있다. Accordingly, by using the roll coating apparatus of the present invention, after coating the coating liquid on the rotating roll substrate, at the same time, the coating liquid is cured, and the coating liquid flows down before the coating liquid is cured and stains are formed on the roll-shaped substrate. It can be prevented from occurring.

또한, 본 발명의 롤 코팅장치에 의하면, 도포액의 도포와 동시에 기체를 도포액층 상에 통과시키므로, 상기 도포액의 코팅 중 발생하는 미세먼지 제거를 할 수 있다. Further, according to the roll coating apparatus of the present invention, since the gas passes through the coating liquid layer at the same time as the coating liquid is applied, fine dust generated during coating of the coating liquid can be removed.

또한, 본 발명의 롤 코팅장치는 휘발성분으로 이루어진 상기 도포액의 용제를 기판 상에 도포액을 도포한 후, 상기 도포액의 용제를 기체배출부를 통해 즉시 제거함으로써, 상기 도포액의 용제를 배출하기 위한 별도의 배출장치가 불필요해지게 되어, 공정의 생산성을 향상시킬 수 있다.In addition, the roll coating apparatus of the present invention, after applying the coating liquid on the substrate of the solvent of the coating liquid consisting of volatile components, by immediately removing the solvent of the coating liquid through a gas discharge portion, the solvent of the coating liquid is discharged No separate discharge device is needed to improve the productivity of the process.

또한, 본 발명의 롤 코팅장치는 냉각된 기체를 공급할 수 있어, 도포액의 경화 또는 건조를 통해 가열된 롤 형태 기판을 냉각시킬 수 있어, 롤 형태 기판의 냉각을 위한 별도의 장치가 필요없으므로, 장치를 소형화시킬 수 있다. In addition, the roll coating apparatus of the present invention can supply a cooled gas, can cool the heated roll-shaped substrate through the curing or drying of the coating liquid, so there is no need for a separate device for cooling the roll-shaped substrate, The device can be miniaturized.

이하, 본 발명을 바람직한 실시 예와 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되는 것은 아니다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention.

이하, 도 1을 참조하여 본 발명의 한 실시 예에 따른 롤 코팅장치에 대하여 구체적으로 설명한다. 본 발명의 롤 코팅장치는 도 1에 도시된 구성들 외에 다른 세부 구성들을 당연히 포함하나, 여기서는 발명 설명의 편의상 생략하였다. Hereinafter, a roll coating apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. 1. The roll coating apparatus of the present invention naturally includes other detailed components in addition to those shown in FIG. 1, but is omitted here for convenience of description.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 롤 코팅장치는 롤 형태 기판(110)을 지지하며 회전시키는 회전축(미도시), 코팅대상인 롤 형태의 기판(110)에 도포액을 공급하는 노즐부(120), 상기 롤 형태 기판(110)에 도포된 도포액에 기체를 공급하는 기체공급부(130), 상기 기체공급부(130)에 의해 공급된 기체를 배출하는 기체배출부(150) 및 상기 기체공급부(130)와 상기 기체배출부(150) 사이에 유로를 형성하는 커버부(120)를 포함하여 이루어진다. As shown in Figure 1, the roll coating apparatus of the present invention supports a rotating shaft (not shown) for supporting and rotating the roll-shaped substrate 110, a nozzle unit for supplying a coating liquid to the roll-shaped substrate 110 to be coated ( 120, a gas supply unit 130 for supplying gas to the coating liquid applied to the roll-shaped substrate 110, a gas discharge unit 150 for discharging the gas supplied by the gas supply unit 130 and the gas supply unit And a cover part 120 forming a flow path between the 130 and the gas discharge part 150.

이러한 본 발명의 롤 코팅장치는 롤 형태 기판(110) 상에 코팅하고자 하는 도포액을 노즐부(120)를 통해 공급하고, 공급되어 도포된 도포액을 기체공급부(130)를 공급되는 기체로 인해 도포된 도포액이 하부로 흘러내리기 전에 경화 또는 건조시키게 된다. The roll coating apparatus of the present invention supplies the coating liquid to be coated on the roll-shaped substrate 110 through the nozzle unit 120, and the supplied coating liquid is supplied to the gas supply unit 130 by the gas supplied to the gas supply unit 130. The applied coating liquid is cured or dried before flowing down.

좀 더 구체적으로 살펴보면 다음과 같다. Looking more specifically as follows.

상기 노즐부(120)는 상기 롤 형태 기판(110)의 곡면 중 어느 한 부분에 일정간격 이격되어 배치되며, 상기 롤 형태 기판(110)으로 코팅하고자 하는 도포액을 공급한다. The nozzle unit 120 is disposed on a portion of the curved surface of the roll-shaped substrate 110 spaced apart by a predetermined interval, and supplies a coating liquid to be coated on the roll-shaped substrate 110.

상기 노즐부(120)는 회전하는 상기 롤 형태 기판(110)의 회전방향에 대하여 토출되는 도포액의 방향이 일치하도록 롤 형태 기판(110)의 측부에 배치되며, 바람직하게는 롤 형태 기판(110)의 측부에 하부방향으로 경사지게 배치된다. 이 때, 상기 롤 형태 기판(110)의 회전방향은 상기 노즐부(120)의 위치에 대하여 상부로 회전하며, 상기 노즐부(120)는 회전하는 롤 형태 기판(110)에 상부방향으로 도포액을 공급한다. 이와 같이 노즐부(120)를 통해 토출된 도포액은 도포되는 동시에 롤 형태 기판(110)의 회전에 의해 회전방향에 따라 이동하므로, 도포액이 중력에 의해 도포됨과 동시에 흘러내리는 것을 감소시킬 수 있고, 이로 인해 상기 도포액의 얼룩발생을 방지할 수 있다. The nozzle unit 120 is disposed on the side of the roll-shaped substrate 110 so that the direction of the coating liquid discharged with respect to the rotation direction of the roll-shaped substrate 110 to rotate, preferably the roll-shaped substrate 110 It is disposed inclined downward in the side portion of the). At this time, the rotation direction of the roll-shaped substrate 110 is rotated upward with respect to the position of the nozzle portion 120, the nozzle portion 120 is applied to the rotating roll-shaped substrate 110 in the upward direction To supply. In this way, the coating liquid discharged through the nozzle unit 120 is applied at the same time and moves along the rotational direction by the rotation of the roll-shaped substrate 110, so that the coating liquid is applied by gravity and flows down at the same time. As a result, staining of the coating liquid can be prevented.

한편, 상기 노즐부(120)는 도포액이 토출되는 노즐팁모듈(122) 및 상기 도포액을 일시 저장하여 도포액이 균일하게 공급될 수 있게 하는 일시저장모듈(124) 및 외부의 도포액저장모듈로(미도시)부터 도포액을 전달받아 도포액유입구(126)를 포함하여 구성된다. 이 때, 상기 일시저장모듈(124)은 도포액을 일시저장하여 도포액이 상기 노즐팁모듈(122)을 통해 토출될 때, 그 토출량을 균일하게 유지할 수 있게 한다. Meanwhile, the nozzle unit 120 temporarily stores the nozzle tip module 122 through which the coating liquid is discharged and the coating liquid to temporarily supply the coating liquid so that the coating liquid can be uniformly supplied. It receives the coating liquid from the modulo (not shown) is configured to include a coating liquid inlet 126. At this time, the temporary storage module 124 temporarily stores the coating liquid so that when the coating liquid is discharged through the nozzle tip module 122, the discharge amount can be maintained uniformly.

상기 기체공급부(130)는 상기 노즐부(120)의 상부에 위치되어 상기 롤 형태 기판(110)의 곡면을 따라 기체가 흐르도록 기체를 공급한다. The gas supply unit 130 is positioned above the nozzle unit 120 to supply gas to flow along the curved surface of the roll-shaped substrate 110.

즉, 상기 기체공급부(130)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 롤 형태 기판(110)에 상기 노즐부(120)가 배치된 위치에 대하여 상기 롤 형태의 기판(110)이 회전하는 방향으로 일정거리 전진하여 배치된다. 이 때, 상기 롤 형태 기판(110)의 단면이 원형으로 이루어져 있으므로, 상기 노즐부(120)가 위치한 측부에서 롤 형태 기판(110)이 회전하면 상기 노즐부(120)에 의해 도포된 도포액은 롤 형태 기판(110)의 회전방향으로 이동하게 되며, 이 때 상기 롤 형태 기판(110)의 회전방향으로 전진배치된 기체공급부(130)는 기체를 롤 형태 기판(110)에 공급하게 된다. 도 1에 도시된 본 실시 예에서는 상기 기체공급부(130)는 상기 노즐부(120)의 상부 에 상기 롤 형태 기판(110)의 곡면을 따라 배치된다. That is, as shown in FIG. 1, the gas supply unit 130 is rotated in a direction in which the roll-shaped substrate 110 rotates with respect to a position where the nozzle unit 120 is disposed on the roll-shaped substrate 110. It is arranged to advance a certain distance. At this time, since the cross section of the roll-shaped substrate 110 is circular, when the roll-shaped substrate 110 is rotated on the side where the nozzle unit 120 is located, the coating liquid applied by the nozzle unit 120 is In the rotational direction of the roll-shaped substrate 110, the gas supply unit 130 is advanced in the rotational direction of the roll-shaped substrate 110 to supply the gas to the roll-shaped substrate (110). In the present exemplary embodiment illustrated in FIG. 1, the gas supply part 130 is disposed along the curved surface of the roll-shaped substrate 110 on the nozzle part 120.

그리고 이러한 기체공급부(130)에 의해 공급되는 기체는 커버부(140)에 의해 롤 형태 기판(110)의 곡면을 따라 유로를 형성하게 된다. The gas supplied by the gas supply part 130 forms a flow path along the curved surface of the roll-shaped substrate 110 by the cover part 140.

그에 따라, 공급되는 기체는 외부로 발산되지 않고, 상기 롤 형태 기판(110)의 상부에 도포된 도포액과 접촉되어 상기 도포액을 경화 또는 건조시키게 된다. Accordingly, the gas to be supplied does not diverge to the outside, but comes into contact with the coating liquid applied to the upper portion of the roll-shaped substrate 110 to cure or dry the coating liquid.

이를 위해 상기 커버부(140)는 롤 형태 기판(110)의 직경을 초과하는 직경을 가지는 곡면형 구조로 이루어지며, 그 일단(140a)은 상기 기체공급부(130)에 연결되고, 타단(140b)은 상기 기체배출부(150)에 연결되고, 상기 일단(140a)과 타단(140b)사이의 롤 형태 기판(110)의 상부의 일정영역을 덮도록 배치되는 곡면덮개(140b)로 구성된다. To this end, the cover portion 140 has a curved structure having a diameter exceeding the diameter of the roll-shaped substrate 110, one end 140a is connected to the gas supply unit 130, the other end 140b Is connected to the gas discharge unit 150, and is composed of a curved cover 140b disposed to cover a predetermined region of the upper portion of the roll-shaped substrate 110 between the one end (140a) and the other end (140b).

이와 같이, 상기 노즐부(120)로부터 공급된 도포액은 코팅된 롤 형태 기판(110)의 회전에 의해 바로 커버부(140) 아래로 이동하며, 상기 기체공급부(130)를 통해 공급된 기체는 상기 커버부(140)의 곡면덮개(140b)에 의해 도포액의 상부에 기체유로를 형성하여 도포액을 경화 또는 건조시키게 된다. As such, the coating liquid supplied from the nozzle unit 120 moves directly under the cover unit 140 by the rotation of the coated roll-shaped substrate 110, and the gas supplied through the gas supply unit 130 is A gas flow path is formed on the upper portion of the coating liquid by the curved cover 140b of the cover 140 to cure or dry the coating liquid.

이를 위해, 상기 기체공급부(130)로부터 도입되는 기체로는 도포액의 경화 또는 건조에 바람직한 것이면 특별한 제한이 없으며 본 실시 예에서는 고온 질소가스를 사용한다. To this end, the gas introduced from the gas supply unit 130 is not particularly limited as long as it is preferable for curing or drying the coating liquid, and high temperature nitrogen gas is used in the present embodiment.

이를 위해 상기 기체공급부(130)에는 공급되는 기체를 가열하는 가열부(132)를 더 포함할 수 있다. To this end, the gas supply unit 130 may further include a heating unit 132 for heating the supplied gas.

이 때, 상기 기체공급부(130)는 상기 가열부(132)에 의한 공급 기체에 대한 열 분포의 확산을 위해 메쉬(mesh)구조를 포함할 수 있다. In this case, the gas supply unit 130 may include a mesh structure for the diffusion of heat distribution to the supply gas by the heating unit 132.

한편, 상기 롤 형태 기판(110)에 도포된 도포액의 경화 또는 건조 공정이 종료되더라도 완성된 롤 형태 기판(110)의 이송 중 발생하는 움직임과 충격으로 인한 도포액의 도포 상태의 변화를 방지하기 위해 일정시간 즉, 1 ~10분 정도의 프리베이킹을 수행할 필요가 있다. 그런데, 이와 같이 경화 또는 건조 공정 및 프리베이킹이 수행되면 롤 형태 기판(110)의 온도가 일정수준 이상이 되어 추후 공정을 위해 별도의 냉각이 필요하게 된다. On the other hand, even if the curing or drying process of the coating liquid applied to the roll-shaped substrate 110 is finished to prevent the change in the coating state of the coating liquid due to the movement and impact generated during the transfer of the completed roll-shaped substrate 110 It is necessary to perform a prebaking for a certain time, that is, 1 to 10 minutes. However, when the curing or drying process and prebaking is performed as described above, the temperature of the roll-shaped substrate 110 becomes higher than a predetermined level, and thus, additional cooling is required for the subsequent process.

그런데, 본 발명의 기체공급부(130)에는 공급되는 기체를 냉각하는 냉각부(134)를 더 포함할 수 있으며, 이러한 냉각부(134)의 냉각방법은 특별한 제한이 없으며, 본 실시 예에서는 냉각수를 이용하였다. By the way, the gas supply unit 130 of the present invention may further include a cooling unit 134 for cooling the gas to be supplied, the cooling method of the cooling unit 134 is not particularly limited, in this embodiment the cooling water Was used.

한편, 상기 가열부(132)는 열전소자로 구성될 수 있으며, 이러한 경우 전극을 변환시키는 것으로서 별도의 냉각장치 없이 공급되는 기체를 냉각시켜 저온기체를 공급할 수 있게 한다. 이러한 경우, 냉각을 위해 이동할 필요없이 경화, 건조 및 냉각이 한 장소에서 수행될 수 있게 된다. 그리고 저점도의 도포액을 사용하는 경우, 별도의 베이킹과 냉각공정이 불필요하게 된다. 특히, 상기 기체공급부(130)를 통해 공급되는 기체의 온도를 4 ~ 90℃로 제어하는 것으로, 도포액의 코팅과 코팅층의 프리베이킹 고정을 함께 수행할 수 있게 된다. On the other hand, the heating unit 132 may be composed of a thermoelectric element, in this case by converting the electrode it is possible to supply a low-temperature gas by cooling the gas supplied without a separate cooling device. In this case, curing, drying and cooling can be performed in one place without having to move for cooling. And when using a low viscosity coating liquid, the separate baking and cooling process becomes unnecessary. In particular, by controlling the temperature of the gas supplied through the gas supply unit 130 to 4 ~ 90 ℃, it is possible to perform the coating of the coating liquid and the prebaking fixing of the coating layer.

그리고 상기 기체공급부(130)를 통해 커버부(140) 아래로 공급된 기체는 커버부(140)의 타단(140c)에 구비된 기체 배출부(150)를 통해 외부로 배출된다. The gas supplied below the cover unit 140 through the gas supply unit 130 is discharged to the outside through the gas discharge unit 150 provided at the other end 140c of the cover unit 140.

이에 따라, 상기 노즐부(120)를 통해 도포액이 코팅된 롤 형태 기판(110)의 코팅부분은 코팅이 됨과 동시에 상기 롤 형태 기판(110)의 회전에 의해 커버부(140)의 하부로 이동하며, 상기 커버부(140)의 하부에서 상기 기체공급부(130)를 통해 도입되는 고온기체를 통해 경화건조되는 경화공정 또는 건조공정이 연속하여 진행된다. 이와 같이, 상기 경화공정 또는 건조공정이 하부에서 상부로 회전하는 롤 형태 기판(110)의 코팅과 동시에 상기 롤 형태 기판(110)의 상부에서 이루어지므로, 상기 롤 형태 기판(110)에 도포된 도포액은 중력에 의해 하부로 흘러내리기 전에 상부로 회전하여 상기 커버부(140)의 하부에서 연속적으로 경화 또는 건조된다. 그리고 이렇게 도포액이 경화 또는 건조되어 코팅층이 형성되면 상기 롤 형태 기판(110)의 추가회전을 통해 코팅층이 하부로 이동하더라도 도포액은 더 이상 중력에 의해 하부로 흐르지 않으므로, 상기 롤 형태 기판(110)의 코팅층의 두께는 균일하게 달성될 수 있게 되는 것이다. 그에 따라, 상기 롤 형태 기판(110)에 얼룩 등이 발생하지 않는다. Accordingly, the coating portion of the roll-shaped substrate 110 coated with the coating liquid through the nozzle unit 120 is coated and moved to the lower portion of the cover part 140 by the rotation of the roll-shaped substrate 110. In addition, a curing process or a drying process that is hardened and dried through a high temperature gas introduced through the gas supply unit 130 under the cover unit 140 is continuously performed. As such, since the curing or drying process is performed on the roll-shaped substrate 110 at the same time as the coating of the roll-shaped substrate 110 rotating from the bottom to the top, the coating applied to the roll-shaped substrate 110. The liquid is rotated upwards before being flowed downward by gravity to be cured or dried continuously at the bottom of the cover part 140. When the coating liquid is cured or dried to form a coating layer, the coating liquid no longer flows downward due to gravity even if the coating layer moves downward through additional rotation of the roll-shaped substrate 110. The thickness of the coating layer) can be achieved uniformly. Accordingly, stain or the like does not occur in the roll-shaped substrate 110.

이와 같이, 본 발명의 롤 코팅장치에 의하면, 롤 형태 기판 상에 도포액을 코팅과 동시에 경화 또는 건조시켜, 상기 롤 형태 기판 상에 코팅된 도포액의 경화시간을 단축시킬 수 있다. As described above, according to the roll coating apparatus of the present invention, the coating liquid is cured or dried simultaneously with the coating on the roll-shaped substrate, thereby shortening the curing time of the coating liquid coated on the roll-shaped substrate.

한편, 본 발명의 롤 코팅장치는 고온의 기체를 통하여 롤 형태의 기판에 도포된 도포액을 경화 또는 건조시키므로, 도포액의 토출로 인해 발생한 흄(hume)이 고온의 기체를 통해 용이하게 제거될 수 있다. 또한, 본 발명의 롤 코팅장치는 휘발성분으로 이루어진 상기 도포액의 용제를 기판 상에 도포액을 도포한 후, 상기 도포액의 용제를 기체배출부를 통해 즉시 제거함으로써, 상기 도포액의 용제를 배 출하기 위한 별도의 배출장치가 불필요해진다.On the other hand, since the roll coating apparatus of the present invention hardens or dries the coating liquid applied to the roll-shaped substrate through the hot gas, the fume generated by the discharge of the coating liquid can be easily removed through the hot gas. Can be. In addition, the roll coating apparatus of the present invention after applying the coating liquid on the substrate of the solvent of the coating liquid consisting of volatile components, by immediately removing the solvent of the coating liquid through a gas discharge portion, the solvent of the coating liquid is discharged There is no need for a separate discharge device for shipping.

이와 더불어, 회전하는 롤 형태 기판의 한 부분에 접촉하여 도포액이 코팅되므로, 상기 도포액을 상기 롤 형태 기판 상에 일정두께로 정밀하게 코팅할 수 있다. In addition, since the coating liquid is coated in contact with a portion of the rotating roll-shaped substrate, the coating liquid can be precisely coated on the roll-shaped substrate with a predetermined thickness.

또한, 회전하는 롤 형태 기판 상에 도포액을 코팅한 후, 이와 동시에 상기 도포액을 경화시켜, 상기 도포액이 경화되기 전 흘러내려 상기 롤 형태 기판에 얼룩이 생기는 것을 방지할 수 있다. In addition, after coating the coating liquid on the rotating roll-shaped substrate, the coating liquid can be cured at the same time, and it can be prevented from flowing down before the coating liquid is cured to cause staining of the roll-shaped substrate.

또한, 상기 도포액의 코팅 중 발생하는 미세먼지 제거 및 별도의 챔버를 구성할 필요가 없어, 공정의 생산성을 향상시킬 수 있다. In addition, it is not necessary to configure a separate chamber and remove fine dust generated during the coating of the coating liquid, it is possible to improve the productivity of the process.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 본 발명의 기술 사상 범위 내에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 첨부된 특허청구범위에 속하는 것은 당연하다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited thereto, and various modifications and changes can be made within the scope of the technical idea of the present invention. Do.

도 1은 본 발명의 한 실시 예에 따른 롤 코팅장치의 나타낸 도면이다. 1 is a view showing a roll coating apparatus according to an embodiment of the present invention.

***도면의 주요부분에 대한 부호의 설명****** Explanation of symbols for main parts of drawing ***

110: 롤 형태 기판 120: 노즐부110: roll-shaped substrate 120: nozzle portion

130: 기체공급부 140: 커버부130: gas supply portion 140: cover portion

150: 기체배출부150: gas discharge unit

Claims (9)

롤 형태 기판의 표면을 코팅하는 롤 코팅장치에 있어서,In the roll coating apparatus for coating the surface of the roll-shaped substrate, 상기 롤 형태 기판을 회전시키는 회전축;A rotating shaft for rotating the roll-shaped substrate; 상기 롤 형태 기판에 도포액을 공급하는 노즐부;A nozzle unit for supplying a coating liquid to the roll-shaped substrate; 상기 롤 형태 기판에 도포된 도포액에 기체를 공급하는 기체공급부; 및 A gas supply unit supplying gas to the coating liquid applied to the roll-shaped substrate; And 상기 기체공급부에 의해 공급된 기체를 외부로 배출하는 기체배출부;를 포함하되,Including; gas discharge unit for discharging the gas supplied by the gas supply to the outside; 상기 롤 형태 기판에 도포된 상기 도포액이 상기 기체공급부를 통해 공급된 상기 기체를 통해 경화 또는 건조되는 것을 특징으로 하는 롤 코팅장치. And the coating liquid applied to the roll-shaped substrate is cured or dried through the gas supplied through the gas supply unit. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 기체공급부와 상기 기체배출부 사이에 상기 기체의 유로가 형성되는 커버부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 롤 코팅장치. And a cover part configured to form a flow path of the gas between the gas supply part and the gas discharge part. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 노즐부는The nozzle part 상기 롤 형태 기판의 회전방향에 대하여 도포되는 도포액의 방향이 일치하도 록 상기 롤 형태 기판의 측부에 배치되는 것을 특징으로 하는 롤 코팅장치. A roll coating apparatus, characterized in that disposed on the side of the roll-shaped substrate so that the direction of the coating liquid applied to the rotational direction of the roll-shaped substrate to match. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 노즐부는The nozzle part 상기 도포액이 토출되는 노즐팁모듈; 및A nozzle tip module through which the coating liquid is discharged; And 상기 도포액을 일시 저장하는 일시저장모듈;를 포함하는 것을 특징으로 하는 롤 코팅장치. Roll coating apparatus comprising a; temporary storage module for temporarily storing the coating liquid. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기체공급부와 상기 기체배출부는 상기 노즐부의 상부에 위치하는 것을 특징으로 하는 롤 코팅장치. And the gas supply part and the gas discharge part are located above the nozzle part. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 커버부는 The cover part 상기 롤 형태 기판의 직경을 초과하는 직경을 가지는 곡면형구조로 이루어지며, 일단은 상기 기체공급부에 연결되고, 타단은 상기 기체배출부에 연결되는 것을 특징으로 하는 롤 코팅장치. Roll-shaped device having a curved structure having a diameter exceeding the diameter of the roll-shaped substrate, one end is connected to the gas supply portion, the other end is connected to the gas discharge portion. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기체공급부는The gas supply unit 상기 기체를 가열하는 가열부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 롤 코팅장치. Roll coating apparatus further comprises; a heating unit for heating the gas. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 기체공급부는The gas supply unit 상기 기체를 냉각하는 냉각부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 롤 코팅장치. Roll coating apparatus further comprises; cooling unit for cooling the gas. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 8, 상기 기체는 질소가스인 것을 특징으로 하는 롤 코팅장치. The gas is a roll coating apparatus, characterized in that the nitrogen gas.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5455040A (en) 1977-10-11 1979-05-01 Fujitsu Ltd Spray drum coating device
JP2005046805A (en) 2003-07-31 2005-02-24 Toppan Printing Co Ltd Coating device and functional film for optical use produced by using it

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022001196A1 (en) * 2020-07-01 2022-01-06 美述家智能家居有限公司 Automatic processing apparatus for paint coating of composite wooden board

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