KR20100103247A - Air knife drying apparatus for flat display - Google Patents

Air knife drying apparatus for flat display Download PDF

Info

Publication number
KR20100103247A
KR20100103247A KR1020090021777A KR20090021777A KR20100103247A KR 20100103247 A KR20100103247 A KR 20100103247A KR 1020090021777 A KR1020090021777 A KR 1020090021777A KR 20090021777 A KR20090021777 A KR 20090021777A KR 20100103247 A KR20100103247 A KR 20100103247A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
air
flat panel
panel display
drying
sub
Prior art date
Application number
KR1020090021777A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
최봉진
방인호
최태균
Original Assignee
(주) 디바이스이엔지
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주) 디바이스이엔지 filed Critical (주) 디바이스이엔지
Priority to KR1020090021777A priority Critical patent/KR20100103247A/en
Publication of KR20100103247A publication Critical patent/KR20100103247A/en

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C2/00—Hot-dipping or immersion processes for applying the coating material in the molten state without affecting the shape; Apparatus therefor
    • C23C2/14—Removing excess of molten coatings; Controlling or regulating the coating thickness
    • C23C2/16—Removing excess of molten coatings; Controlling or regulating the coating thickness using fluids under pressure, e.g. air knives
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
    • H01L21/67034—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for drying

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Cleaning In General (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

PURPOSE: An air knife drying apparatus for a flat display is provided to completely remove cleaning liquid at a rear edge portion by including a sub drying member. CONSTITUTION: An air knife drying member(6) is installed at an inclined angle to spray air at a flat display(4) at the upper and lower portions of a passage of a wall, and includes a compressor(8) for supplying high pressure dry air through a hose. A sub dry member is installed to remove the cleaning liquid remaining at the rear portion of the flat display.

Description

평판 디스플레이용 에어 나이프 건조장치{AIR KNIFE DRYING APPARATUS FOR FLAT DISPLAY}Air knife dryer for flat panel display {AIR KNIFE DRYING APPARATUS FOR FLAT DISPLAY}

본 발명은 평판 디스플레이용 에어 나이프 건조장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 평판 디스플레이의 진입측 후방 가장자리에 정체되는 순수 및 세정액을 서브 건조부재로 제거를 정확히 함으로써, 에어 나이프에 의한 건조가 향상되도록 하는 평판 디스플레이용 에어 나이프 건조장치에 관한 것이다.The present invention relates to an air knife drying apparatus for a flat panel display, and more particularly, by precisely removing the pure water and the cleaning liquid stagnated at the rear edge of the entry side of the flat panel display with a sub drying member, so that drying by the air knife is improved. It relates to an air knife drying apparatus for a flat panel display.

평판 디스플레이는, 대형 스크린에 TV를 비롯한 다양한 영상들을 시각적으로 표시하는 장치로서, 멀티스크린, LCD 또는 PDP 영상 장치들을 포함한다. A flat panel display is a device for visually displaying various images including a TV on a large screen, and includes multi-screen, LCD or PDP imaging devices.

현재 범용적으로 양산되는 대형 평판 디스플레이는, 길이가 1700㎜ 내지 2200㎜로 형성되는 대형 스크린이다. 범용적인 평판 디스플레이는, 상기 1700㎜ 내지 2200㎜ 사이인 2000㎜ 이다. 향후, 이 크기는 점점 더 커질 것으로 예상된다.A large flat panel display that is now in universal production is a large screen that is formed with a length of 1700 mm to 2200 mm. A general purpose flat panel display is 2000 mm, which is between 1700 mm and 2200 mm. In the future, this size is expected to grow larger.

크기가 큰 평판 디스플레이를 제조하는 공정은, 크기가 작은 디스플레이 소자, 예를 들어 휴대폰, 디지털 카메라 및 캠코더, 중소형 TV 스크린 및 컴퓨터 모니터 등에 비하여 매우 어려운 공정 컨트롤이 필요하다. The process of manufacturing large size flat panel displays requires very difficult process control compared to small size display elements such as mobile phones, digital cameras and camcorders, small and medium TV screens and computer monitors.

이는, 평판 디스플레이의 크기가 커지고 면적이 넓어지는 만큼 전체적인 균 일도(Uniformity)를 제어하기가 어려워지기 때문이다.This is because it becomes difficult to control the overall uniformity as the size of the flat panel display increases and the area thereof increases.

그리고, 현재 사용되고 있는 평판 디스플레이 제조용 설비들은, 1개의 평판 디스플레이를 완전히 수용할 수 있는 크기로 제작된다. 따라서 크기가 큰 평판 디스플레이는, 공정 균일성을 위해 제어해야 할 요소가 많아져 생산성을 높이는데 한계가 있다. In addition, currently used flat panel display manufacturing facilities are manufactured to a size that can fully accommodate one flat panel display. Therefore, a large size flat panel display has a number of factors to be controlled for process uniformity, thereby limiting productivity.

또한, LCD(Liquid Crystal Display)로 대표되는 평판 디스플레이 등의 제조에 사용되는 유리기판은, 세정공정을 거쳐야 한다.In addition, the glass substrate used for manufacture of a flat panel display etc. represented by a liquid crystal display (LCD) must go through a washing process.

상기한 세정공정은, 유리기판 위의 이물질 및 입자들을 제거하는 공정으로서 박막트랜지스터 등의 소자 손실을 최소화하여 수율을 향상시키는데 있다.The cleaning process is a process of removing foreign matters and particles on the glass substrate to improve the yield by minimizing device losses such as thin film transistors.

이러한 세정공정에서는, 순수(純水) 및 세정액을 사용하여 유리기판 위에 형성된 유기물이나 무기물을 제거하거나 분해한다.In this washing step, pure water and washing liquid are used to remove or decompose the organic and inorganic substances formed on the glass substrate.

상기한 순수(純水)는, DIW(DeIonized Water) 또는 (Semiconductor Grade Water라 불리우며 이온이 함유되지 않는 물이다. 상기한 순수는, 유리기판의 세정 및 절단시 용수로 사용되고, 세정 후 기판위에 잔존하는 순수는 제거된다.The pure water is water which is called DIW (DeIonized Water) or (Semiconductor Grade Water) and does not contain ions. The pure water is used as water for cleaning and cutting glass substrates and remains on the substrate after cleaning. Pure water is removed.

종래 평판 디스플레이의 세정 및 건조공정은, 도 1에 도시한 바와 같이, 평판 디스플레이를 세정장치 상에서 브러시, 고압 샤워로 세정한다. 이후 평판 디스플레이(4)는, 건조장치 상에서 에어 나이프인 에어 건조부재(6)에 의하여 건조된 후 후속 공정으로 이동된다.In the conventional cleaning and drying step of the flat panel display, the flat panel display is cleaned with a brush and a high pressure shower on the cleaning apparatus. The flat panel display 4 is then dried by an air drying member 6 which is an air knife on the drying apparatus and then moved to the subsequent process.

상기한 에어 나이프 건조장치는, 도 1에 도시한 바와 같이, 평판 디스플레이(4)가 이동하는 건조기의 격벽(5) 상하부에 일정 각도로 경사지게 설치되는 에어 나이프인 에어 건조부재(6)와, 상기 에어 건조부재(6)에 호스를 통해 건조 고압공기를 공급하는 컴프레셔인 공기 공급장치(8)를 포함한다. As shown in FIG. 1, the air knife drying apparatus includes an air drying member 6 which is an air knife that is inclined at a predetermined angle on the upper and lower partition walls 5 of the dryer to which the flat panel display 4 moves, and the It comprises an air supply device (8) which is a compressor for supplying dry high pressure air to the air drying member (6) through a hose.

상기한 에어 건조부재(6)는, 격벽(5)의 상부에 2열 및 하부에 1열로 설치하여 평판 디스플레이(4)를 건조할 수 있도록 설치된다. The air drying member 6 is installed so as to dry the flat panel display 4 by installing two rows and one row at the top of the partition 5.

상기 평판 디스플레이(4)는, 롤러(도시 생략)에 의해 화살표 방향으로 이동한다. 이어서, 상기 에어 건조부재(6)는, 평판 디스플레이(4)의 단축과 평행하게 또는 장축 방향에 대해 경사를 이루도록 배치된다.The flat panel display 4 is moved in the arrow direction by a roller (not shown). Subsequently, the air drying member 6 is disposed in parallel with the short axis of the flat panel display 4 or inclined with respect to the major axis direction.

상기 에어 건조부재(6)는, 에어를 배출하여 화살표 방향으로 이동하는 평판 디스플레이(4) 상에 잔존하는 순수(W) 및 세정액의 밀어낸다. 이러한 일련의 과정을 통과한 평판 디스플레이(4)는, 표면에 남아있던 순수(W) 및 세정액이 제거되고 건조된다.The air drying member 6 discharges the pure water W and the cleaning liquid remaining on the flat panel display 4 which discharges the air and moves in the direction of the arrow. The flat panel display 4 which has passed through such a series of processes removes the pure water W and the washing | cleaning liquid which remained on the surface, and is dried.

그러나, 상기한 에어 건조부재(6)에서 토출되는 에어의 압력이 균일하지 않고 불안정한 경우에는, 평판 디스플레이(4)의 후면에 순수 및 세정액이 남게 된다.However, when the pressure of the air discharged from the air drying member 6 is not uniform and unstable, pure water and cleaning liquid remain on the rear surface of the flat panel display 4.

상기한 바와 같이, 평판 디스플레이(4)의 표면에 순수 및 세정액이 잔류하면 얼룩을 형성하게 되어 품질을 저하시키는 문제점이 있다.As described above, when pure water and a cleaning liquid remain on the surface of the flat panel display 4, there is a problem of deterioration of quality and deterioration.

본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해소하기 위하여 제안된 것으로서, 본 발명의 목적은, 평판 디스플레이 상의 순수 및 세정액을 제거하는 기존의 에어 나이프 외에 서브 건조부재를 더 구비시키는데 있다. The present invention has been proposed to solve the above problems of the prior art, and an object of the present invention is to further include a sub-drying member in addition to the existing air knife for removing the pure water and the cleaning liquid on the flat panel display.

본 발명의 다른 목적은, 평판 디스플레이의 진입측 후방 가장자리에 정체되는 순수 및 세정액을 서브 건조부재를 사용하여 완전히 제거하는데 있다.Another object of the present invention is to completely remove the pure water and the cleaning liquid stagnant at the entry-side rear edge of the flat panel display using the sub drying member.

본 발명의 또 다른 목적은, 에어 나이프에 의한 평판 디스플레이 상의 순수 및 세정액의 제거력을 향상시키는데 있다.Another object of the present invention is to improve the removal force of pure water and cleaning liquid on a flat panel display by an air knife.

이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 공정을 구분하는 격벽과, 상기 격벽의 이동통로 상하부에 평판 디스플레이에 공기를 분사할 수 있도록 경사지게 설치되는 에어 나이프인 에어 건조부재와, 상기 에어 건조부재에 호스를 통해 건조 고압공기를 공급하는 공기 공급장치를 포함하여 이루어지는 평판 디스플레이용 에어 나이프 건조장치에 있어서, 상기 에어 건조부재를 통과하는 평판 디스플레이의 후방에 머무는 순수 및 세정액을 밀어내어 제거할 수 있도록 설치되는 서브 건조부재를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a barrier for dividing a process, an air drying member which is an air knife installed to be inclined to inject air onto a flat panel display above and below the moving passage of the partition, and a hose to the air drying member. An air knife drying apparatus for a flat panel display comprising an air supply device for supplying dry high pressure air through the air cleaning device, wherein the pure water and the cleaning liquid staying at the rear of the flat panel display passing through the air drying member are pushed out and removed. It further comprises a sub-drying member.

상기한 서브 건조부재는, 순수를 흡입하여 외부로 배출할 수 있는 흡입기인 것을 특징으로 한다.The sub-drying member is an inhaler capable of sucking pure water and discharging it to the outside.

상기한 서브 건조부재는, 순수를 밀어 낼 수 있도록 설치되는 샤워기인 것을 특징으로 한다.The sub-drying member is characterized in that the shower is installed so as to push out the pure water.

상기한 서브 건조부재는, 에어컨 또는 송풍기 중 어느 하나인 것을 특징으로 한다.The sub drying member is characterized in that any one of an air conditioner or a blower.

본 발명에 의하면, 건조 공정으로 진입하는 평판 디스플레이의 후방측에 정 체되어 있는 순수 및 세정액의 제거를 위하여 사용되는 에어 나이프외에 서브 건조부재를 더 구비시킴으로써 제거가 완벽하게 이루어지는 효과가 있다. According to the present invention, by further comprising a sub-drying member in addition to the air knife used for the removal of the pure water and the cleaning liquid stagnated on the rear side of the flat panel display entering the drying process there is an effect that the removal is completed.

또한, 상기 서브 건조부재를 더 구비시킴으로써, 에어 건조부재에 의한 순수 및 세정액에 대한 제거능력이 더욱 향상되는 효과가 있다.In addition, by further comprising the sub-drying member, the removal ability to the pure water and the cleaning liquid by the air drying member is further improved.

또한, 상기 에어 건조부재 외에 서브 건조부재의 추가로 평판 디스플레이에 대한 건조 능력을 향상시켜 품질을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, the addition of the sub-drying member in addition to the air drying member has the effect of improving the drying ability for the flat panel display to improve the quality.

또한, 상기 평판 디스플레이에 대한 건조 능력의 향상으로 반송 속도를 빠르게 할 수 있어 생산력을 증대시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, it is possible to increase the productivity by increasing the conveyance speed by improving the drying capacity for the flat panel display.

이하, 본 발명의 바람직한 일 실시예를 첨부한 도면에 의하여 더욱 상세하게 설명한다(종래기술과 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 부여한다).Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings (the same components as in the prior art are denoted by the same reference numerals).

에어 나이프 건조장치는, 도 1에 도시한 바와 같이, 공정을 구분하는 격벽(5)과, 상기 격벽(5)의 이동통로 상하부에 공기를 평판 디스플레이(4)에 분사할 수 있도록 경사지게 설치되는 에어 나이프인 에어 건조부재(6)와, 상기 에어 건조부재(6)에 호스를 통해 건조 고압공기를 공급하는 컴프레셔인 공기 공급장치(8)를 포함한다.As shown in FIG. 1, the air knife drying apparatus is provided with an inclined wall 5 for dividing a process, and an air inclined so as to spray air onto the flat panel display 4 above and below the moving passage of the partition 5. An air drying member (6), which is a knife, and an air supply device (8), which is a compressor for supplying dry high pressure air to the air drying member (6) through a hose.

상기한 일반적인 구조는 종래기술에서 설명한 바 있으므로 중복된 설명은 생략하기로 한다.Since the above general structure has been described in the related art, duplicate description will be omitted.

다음으로, 본 발명에 따른 평판 디스플레이의 에어 나이프 건조장치의 특징부를 도 2 내지 도 4를 참조하여 상세하게 설명한다. Next, the features of the air knife drying apparatus of the flat panel display according to the present invention will be described in detail with reference to Figs.

본 발명에 따른 평판 디스플레이용 에어 나이프 건조장치는, 세정기에 의한 세정 공정을 마친 평판 디스플레이(4)의 건조를 수행하는 건조기이다.The air knife drying apparatus for flat panel displays which concerns on this invention is a dryer which performs the drying of the flat panel display 4 which completed the washing | cleaning process by the washing machine.

상기 세정이 끝난 평판 디스플레이(4)는, 공정을 구분하는 격벽(5)의 이동통로를 통해 롤러(도시 생략)에 의하여 이동하도록 되어 있다. 상기 에어 나이프 건조장치는, 격벽(5)의 이동통로 상하부에 일정 각도로 경사지게 에어 건조부재(6)가 설치되어 있다. 상기 에어 나이프 건조장치는, 평판 디스플레이(4)가 진입하면 건조공정에 에어 건조부재(6)를 작동시켜 공기를 분사한다. The washed flat panel display 4 is moved by a roller (not shown) through the moving passage of the partition 5 for dividing the process. The air knife drying device is provided with an air drying member 6 inclined at a predetermined angle above and below the moving passage of the partition 5. The air knife drying apparatus injects air by operating the air drying member 6 in a drying process when the flat panel display 4 enters.

그리고, 상기 평판 디스플레이(4)가 통과하는 에어 건조부재(6)의 일측에는, 평판 디스플레이(4)의 후방에 머무는 순수 및 세정액을 밀어내어 제거하도록 서브 건조부재(10)가 더 설치되어 있다. 이러한 서브 건조부재(10)는, 평판 디스플레이(4)의 상부에서 후방으로 밀려 가장자리에 정체되는 순수 및 세정액을 흡입하여 제거할 수 있는 흡입기(V)가 바람직하다. 상기 흡입기(V)는, 순수 및 세정액을 흡입한 후 외부로 배출하도록 설치된다.In addition, a sub-drying member 10 is further provided on one side of the air drying member 6 through which the flat panel display 4 passes to push out and remove the pure water and the cleaning liquid remaining behind the flat panel display 4. The sub-drying member 10 is preferably an inhaler V capable of sucking and removing the pure water and the cleaning liquid stagnated at the edge by being pushed backward from the top of the flat panel display 4. The inhaler V is installed to suck the pure water and the cleaning liquid and then discharge it to the outside.

또한, 상기 서브 건조부재(10)는, 도 3에 도시한 바와 같이, 순수를 밀어 낼 수 있도록 샤워기(S)를 설치하는 것이 바람직하다. 상기 샤워기(S)를 사용한 서브 건조부재(10)는, 평판 디스플레이(4) 상부에서 에어 나이프인 에어 건조부재(6)에 의하여 후방으로 밀려 가장자리에 정체되는 순수(W)를 제거할 수 있도록 일정 각도로 경사지게 설치된다. In addition, the sub-drying member 10, as shown in Figure 3, it is preferable to provide a shower (S) to push out the pure water. Sub-drying member 10 using the shower (S) is pushed backward by the air-drying member 6, which is an air knife, on the flat panel display 4 so as to remove the pure water (W) stagnated at the edges. It is installed inclined at an angle.

또한, 상기 서브 건조부재(10)는, 도 4에 도시한 바와 같이, 순수 및 세정액을 밀어내어 제거할 수 있도록 에어컨 또는 송풍기 중 어느 하나인 송풍부재(B)를 설치하는 것도 바람직하다. 상기한 송풍부재(B)를 이용한 서브 건조부재(10)는, 평판 디스플레이(4)에서 후방으로 밀려 가장자리에 정체되는 순수 및 세정액을 송풍 바람으로 밀어내어 제거할 수 있다.In addition, the sub-drying member 10, as shown in Figure 4, it is also preferable to provide a blowing member (B) of any one of the air conditioner or blower so as to push out the pure water and the cleaning liquid. The sub-drying member 10 using the blower member B may be pushed backward in the flat panel display 4 to remove the pure water and the washing liquid stagnated at the edges by blowing air.

상기한 서브 건조부재(10)는, 에어 나이프 건조장치를 형성하는 격벽(5)에 가까운 세정기 측에 설치된다. 이에 따라, 상기 서브 건조부재(10)는, 건조장치로 이동하는 평판 디스플레이(4)의 진입측 후방에 정체되는 세정액 및 순수를 세정공정이 끝나는 마지막에서 완전히 제거한다. 이는, 평판 디스플레이(4)에 대한 에어 건조부재(6)의 건조 능력을 향상시킨다. Said sub drying member 10 is provided in the washing | cleaning machine side close to the partition 5 which forms an air knife drying apparatus. Accordingly, the sub drying member 10 completely removes the stagnant liquid and the pure water at the rear of the entry side of the flat panel display 4 moving to the drying apparatus at the end of the cleaning process. This improves the drying ability of the air drying member 6 relative to the flat panel display 4.

이하, 상기한 바와 같이 이루어지는 본 발명의 작용을 설명한다. Hereinafter, the effect | action of this invention made as mentioned above is demonstrated.

먼저, 상기 평판 디스플레이(4)는, 세정공정에서 순수 및 세정액에 의하여 세정된다. 상기 평판 디스플레이(4)는, 세정이 된 후 에어 나이프 건조장치 측으로 진입하여 이동한다. 상기 에어 나이프 건조장치에서는, 에어 건조부재(6)가 이동하는 평판 디스플레이(4)에 공기를 분사하여 건조되도록 한다. First, the flat panel display 4 is cleaned with pure water and a cleaning liquid in the cleaning step. The flat panel display 4 enters and moves to the air knife dryer after cleaning. In the air knife drying apparatus, the air drying member 6 is sprayed with air to move the flat panel display 4 to be dried.

그리고, 상기 평판 디스플레이(4)의 세정액 및 순수는, 에어 건조부재(6)의 공기에 의하여 밀려 후방에 정체된다. 평판 디스플레이(4)의 후방에 정체된 세정액 및 순수는, 세정공정의 마지막에 머물게 되고 흡입기(V)를 채용한 서브 건조부재(10)에 의하여 제거된다. 즉, 상기 서브 건조부재(10)는, 평판 디스플레이(4)의 진입이 끝나갈 때 후방에 정체되어 있는 세정액 및 순수를 완전히 제거하도록 한다. The cleaning liquid and the pure water of the flat panel display 4 are pushed back by the air of the air drying member 6. The cleaning liquid and the pure water stagnated at the rear of the flat panel display 4 remain at the end of the cleaning process and are removed by the sub-drying member 10 employing the inhaler V. That is, the sub drying member 10 completely removes the washing liquid and the pure water stagnated at the rear when the entry of the flat panel display 4 is completed.

상기 에어 건조부재(6)에 공급되는 공기는, 콤푸레셔인 공기 공급장치(8)에 의하여 공급되는 것이다. The air supplied to the air drying member 6 is supplied by an air supply device 8 which is a compressor.

그리고, 상기 서브 건조부재(10)에 적용되는 흡입기(V)는, 평판 디스플레이 (4)상의 세정액 및 순수를 흡입하여 외부로 배출할 수 있도록 설치된다. 상기 흡입기(V)는, 평판 디스플레이(4)에 정체되는 세정액 및 순수를 신속하게 흡입하여 배출함으로써, 얼룩의 발생을 방지한다.In addition, the inhaler V applied to the sub drying member 10 is installed to suck the cleaning liquid and the pure water on the flat panel display 4 and discharge it to the outside. The inhaler V quickly sucks and discharges the cleaning liquid and the pure water stagnated on the flat panel display 4, thereby preventing the occurrence of spots.

또한, 서브 건조부재(10)에 적용되는 샤워기(S)는, 도 3에 도시한 바와 같이, 에어 건조부재(6)에 의하여 밀려 평판 디스플레이(4)의 후방 가장자리에 정체되어 있는 세정액 및 순수를 샤워수로 밀어내어 제거하도록 설치된다.In addition, as shown in FIG. 3, the shower S applied to the sub-drying member 10 is pushed by the air-drying member 6 to wash the cleaning liquid and the pure water stagnated at the rear edge of the flat panel display 4. It is installed to be pushed out of the shower.

상기한 서브 건조부재(10)에 적용되는 송풍부재(B)는, 도 4에 도시한 바와 같이, 화살표 방향으로 이동하는 평판 디스플레이(4)의 후방 가장자리에 에어 건조부재(6)의 분사 공기에 의하여 밀려서 정체되어 있는 세정액 및 순수를 바람으로 제거하도록 설치된다. As shown in FIG. 4, the blowing member B applied to the sub-drying member 10 is provided to the jet air of the air drying member 6 at the rear edge of the flat panel display 4 moving in the direction of the arrow. It is installed to remove the stagnant washing liquid and pure water by the wind.

상기한 바와 같이 에어 건조부재(6) 및 서브 건조부재(10)는, 평판 디스플레이(4)에 후방에 남을 수 있는 세정액 및 순수를 제거하여 건조함으로써, 증대된 건조 효율에 의하여 제품의 품질을 향상시킬 수 있다.As described above, the air drying member 6 and the sub drying member 10 remove and dry the cleaning liquid and the pure water which may remain behind the flat panel display 4, thereby improving product quality by increased drying efficiency. You can.

본 발명은, 에어 건조부재 외에 흡입기, 샤워기, 송풍부재인 에어컨 및 송풍기 중 하나를 서브 건조부재로 더 설치하여 평판 디스플레이의 건조시 진행방향 측 후방에 정체되는 세정액 및 순수를 완전하게 건조하도록 한 것으로서, 반도체 제조 산업 분야에 널리 이용될 수 있다. According to the present invention, one of the inhaler, the shower unit, the air conditioner and the blower in addition to the air drying member is further provided as a sub drying member to completely dry the washing liquid and the pure water stagnant on the rear side of the traveling direction when the flat panel display is dried. It can be widely used in the semiconductor manufacturing industry.

도 1은, 종래기술에 따른 에어 나이프 건조장치를 도시한 도면.1 is a view showing an air knife drying apparatus according to the prior art.

도 2는, 본 발명의 일 실시예에 따른 에어 나이프 건조장치를 도시한 도면.2 is a view showing an air knife drying apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 3은, 도 2에 나타낸 서브 건조부재에 샤워기가 적용됨을 도시한 도면.3 is a view showing that the shower is applied to the sub-drying member shown in FIG.

도 4는, 도 2에 나타낸 서브 건조부재에 송풍기가 적용됨을 도시한 도면.4 is a view showing that a blower is applied to the sub drying member shown in FIG.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for main parts of the drawings>

4: 평판 디스플레이4: flat panel display

5: 격벽5: bulkhead

6: 에어 건조부재6: air drying member

8: 컴프레셔(Compressor)8: Compressor

10: 서브 건조부재10: sub drying member

V: 흡입기V: inhaler

S: 샤워기S: shower

B: 송풍부재B: blowing member

Claims (4)

공정을 구분하는 격벽(5)과, 상기 격벽(5)의 이동통로 상하부에 평판 디스플레이(4)에 공기를 분사할 수 있도록 경사지게 설치되는 에어 나이프인 에어 건조부재(6)와, 상기 에어 건조부재(6)에 호스를 통해 건조 고압공기를 공급하는 컴프레셔(8)를 포함하여 이루어지는 평판 디스플레이용 에어 나이프 건조장치에 있어서,A partition 5 for dividing the process, an air drying member 6 which is an air knife installed to be inclined to inject air into the flat panel display 4 above and below the moving passage of the partition 5, and the air drying member An air knife drying apparatus for flat panel displays comprising a compressor (8) for supplying dry high pressure air to a hose (6), 상기 에어 건조부재(6)를 통과하는 평판 디스플레이(4)의 후방에 머무는 순수 및 세정액을 밀어내어 제거하도록 설치되는 서브 건조부재(10)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 에어 나이프 건조장치.Air knife drying apparatus for a flat panel display, characterized in that it further comprises a sub-drying member (10) which is installed to push out and remove the pure water and the cleaning liquid staying behind the flat panel display (4) passing through the air drying member (6) . 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 서브 건조부재(10)는, 순수 및 세정액을 흡입하여 외부로 배출할 수 있는 흡입기(V)인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 에어 나이프 건조장치.The sub-drying member (10) is an air knife drying apparatus of the flat panel display, characterized in that the inhaler (V) that can suck out the pure water and the cleaning liquid to discharge to the outside. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 서브 건조부재(10)는, 순수 및 세정액을 밀어내어 제거할 수 있도록 설치되는 샤워기(S)인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 에어 나이프 건조장치.The sub-drying member (10) is an air knife drying apparatus of a flat panel display, characterized in that the shower (S) is installed to push out and remove the pure water and the cleaning liquid. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 서브 건조부재(10)는, 순수 및 세정액을 밀어내어 제거할 수 있도록 설치되는 에어컨 또는 송풍기 중 하나인 송풍부재(B)인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 에어 나이프 건조장치.The sub-drying member (10) is an air knife drying apparatus of a flat panel display, characterized in that the blowing member (B) which is one of an air conditioner or a blower installed to push out and remove the pure water and the cleaning liquid.
KR1020090021777A 2009-03-13 2009-03-13 Air knife drying apparatus for flat display KR20100103247A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090021777A KR20100103247A (en) 2009-03-13 2009-03-13 Air knife drying apparatus for flat display

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090021777A KR20100103247A (en) 2009-03-13 2009-03-13 Air knife drying apparatus for flat display

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20100103247A true KR20100103247A (en) 2010-09-27

Family

ID=43008058

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090021777A KR20100103247A (en) 2009-03-13 2009-03-13 Air knife drying apparatus for flat display

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20100103247A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103512722A (en) * 2012-06-20 2014-01-15 鞍钢股份有限公司 Simulation method and simulation device for controlling thickness of hot dip coating
KR20140018496A (en) * 2012-08-01 2014-02-13 엘지디스플레이 주식회사 Apparatus for drying a substrate

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103512722A (en) * 2012-06-20 2014-01-15 鞍钢股份有限公司 Simulation method and simulation device for controlling thickness of hot dip coating
KR20140018496A (en) * 2012-08-01 2014-02-13 엘지디스플레이 주식회사 Apparatus for drying a substrate

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP3226283B1 (en) Liquid cutter cleaning device
KR100991086B1 (en) Substrate processing apparatus and substrate processing method
JPH10275792A (en) Substrate-drying equipment
JPH1144877A (en) Substrate washing device
JP2011071385A (en) Device and method for treating substrate
KR20100103247A (en) Air knife drying apparatus for flat display
KR20070119398A (en) Air knife and substrate drying system using it
KR20020093578A (en) Substrate processing device
US9383136B2 (en) Substrate dry device and method for drying substrate based on substrate dry device
KR100608452B1 (en) Cleaning method using plasma for manufacturing TFT-LCD and apparatus thereof
JP2001108977A (en) Apparatus for manufacturing liquid crystal display device and method for the same
CN109659261B (en) Substrate etching equipment and processing system thereof
KR20080109495A (en) Ion air knife and cleaning system of glass using the same
KR100830129B1 (en) Apparatus for drying glass with a dual air knife installed
JP4365192B2 (en) Transport type substrate processing equipment
KR100837628B1 (en) Apparatus and method for treating substrates
KR20070118478A (en) Wet etching apparatus for flat panel display device
JP2007073649A (en) Resist stripping and cleaning device, method of stripping and cleaning resist, and method of manufacturing substrate
JP2009279477A (en) Apparatus for removing treatment liquid, apparatus for treating substrate, and method of setting up nozzle gap
KR100269416B1 (en) Wafer treatment apparatus
JP2001255503A (en) Device for drying substrate for liquid crystal display device
WO2004112106A1 (en) Resist exfoliating apparatus
WO2005048336A1 (en) Liquid removing device
KR200295029Y1 (en) Apparatus for cleaning a panel
KR20080078303A (en) Apparatus of treating flat panel

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application