KR20100049880A - 마이크로 어레이 기판 및 그 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 마이크로 어레이 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명은 마이크로 어레이 기판 제조시 베이스 기판에 천공된 고분자 기판을 결합하여, 일정한 마이크로 웰 패턴을 가진 마이크로 어레이 기판을 제작함으로써, 그 각각의 마이크로웰 안에 상보 DNA (cDNA)를 적하할 수 있는 마이크로어레이 기판을 제공하는 것에 관한 것이다.

본 발명에 따르면, 각각의 스팟끼리 명확히 구분이 되므로 제조시 발생하는 에러율을 없앨 수 있고, 타겟 DNA와 반응하는 양이 일정하므로 검출감도를 높일 수 있으며, 패턴 위치는 항상 일정하므로 이를 얼라인 키로 활용하여, 분석의 명확성을 향상시킬 수 있다는 장점이 있다. 또한 적하시키는 일정한 상보 DNA 양과 결합하는 타겟 DNA양에 대한 정보를 통해, 검출 결과를 정량적으로 파악할 수 있는 효과가 있다.

마이크로 어레이, 고분자기판, 자기조립박막(SAM), 마이크로 웰

Description

마이크로 어레이 기판 및 그 제조방법{Microarray with micro-well pattern and Manufacturing method of the same}

본 발명은 마이크로 어레이 기판 및 그 제조방법에 관한 것으로, 구체적으로는 마이크로 어레이 기판 제조시 베이스 기판에 천공된 고분자 기판을 결합하여, 일정한 마이크로 웰 패턴을 가진 마이크로 어레이 기판을 제작함으로써, 그 각각의 마이크로웰 안에 상보 DNA (cDNA)를 적하할 수 있는 마이크로어레이 기판을 제공하는 것에 관한 것이다.

바이오칩(bio chip)이란 기질 상에 분석하고자 하는 DNA, 단백질 등의 생분자(biomolecules) 프로브를 고밀도로 부착시킨 칩으로서, 샘플 내 유전자 발현 양상, 유전자 결함, 단백질 분포, 반응 양상 등을 분석해낼 수 있다. 바이오칩은 프로브의 부착형태에 따라 고체 기질 상에 부착된 마이크로 어레이 칩(microarray chip)과 미세 채널 상에 부착된 랩온어칩(lab-on-a-chip)으로 나눌 수 있다. 즉, 바이오칩은 핵산 등 생물학적 물질이 기판(substrate) 위에 고정되어 있는 것으로, 잘 알려진 바이오칩으로 DNA 칩이 있는데 이는 기판에 DNA가 고정되어 있는 경우라 할 수 있고, 단백질 칩은 기판에 단백질이 고정되어 있는 경우라 할 수 있다.

DNA 마이크로 어레이란 실리콘, 표면개질유리，폴리프로필렌, 활성화 폴리아크릴아미드와 같은 고체 표면에 염기서열이 알려진 작게는 수 개, 크게는 수백 개의 염기　크기의 올리고뉴클레오티드(oligonucleotide) 프로브(probe)를 수백 내지 수십만 개의 정해진 위치에 부착시켜 미세집적(microarray)시킨 것을 통칭한다.

이러한 DNA 마이크로 어레이에 분석하고자 하는 표적 DNA(target DNA) 단편을 결합시키면,　DNA 마이크로 어레이에 부착되어 있는 프로브들과 표적 DNA 단편상의 염기서열의 상보적인 정도에 따라 각기 다른 혼성화 결합(hybridization) 상태를 이루게 되는데, 이를 광학적인 방법　또는 방사능 화학적 방법 등을 통해 관찰 해석함으로써 표적 DNA의 염기서열을 분석할 수 있다（sequencing by hybridization; SBH)．DNA 마이크로 어레이를 이용하여 제조한 DNA칩은 DNA 분석 시스템의 소형화를 이루어 극미량의 시료만으로도 유전자 분석이　가능하며 표적 DNA 상의 여러　군데의 염기서열을 동시에 규명할 수 있어 저렴할 뿐만 아니라 신속하게 유전 정보를 제공할 수 있다.

또한，DNA 마이크로 어레이를 이용하여 제조한 DNA칩은　방대한 양의 유전 정보를 단시간 내에 동시에 분석할 수 있을 뿐만 아니라, 유전자 간의 상호 연관성까지 규정할 수 있게 되어 앞으로는 유전병 및 암의 진단, 돌연변이의 탐색, 병원균의 검출, 유전자 발현 분석 및 신약 개발 등 폭넓은 분야에서 응용될 수 있으리라고 예상된다. 또한, 미생물이나 환경오염의 감지기로 이용하여, 해독물질에 대한 유전자를 찾아내어 유전자 재조합 기술을 적용함으로써, 해독물질을 대량 생산하거나 의약용 농작물, 저지방 함유 육류의 생산에도 응용할 수 있는 등 거의 대부분의 생물관련 산업에 이용되어 혁명적인 발전을 가져다줄 수 있다.

DNA 마이크로 어레이는　사용된　프로브의 종류에 따라　올리고칩(oligo chip)과 cDNA 칩으로 구분하기도 하고, 제작된 방법에 따라 포토리소그래피 칩과 핀 방식의 스폿팅 칩(spotting chip), 잉크젯 방식의 스폿팅 칩으로 분류하기도 한다.

구체적으로는 이 분야를 제조하는 방법으로 나눌 경우에는 크게, 기판상에서 올리고 뉴클레오티드(oligo nucleotide)를 합성하는 방법과, 미리 조제한 DNA프로브(Probe)를 기판상에 고정하는 2개의 방법이 일반적으로 사용된다. 전자의 방법은 포토리소그래피(photo lithography)를 주로 활용하여 반도체 기판상에서 DNA 프로브를 합성 신장시킨 것이고, 후자의 방법은 조제한 DNA 프로브를 기판상에 고정하기 위해 기판 표면을 플러스 전하를 가지도록 처리를 하거나, 반응성기를 표면 처리하는 방법 등이 활용되고 있다.

각각의 방법은 장단점을 보유하고 있다. 기판상에서 합성하는 방법은 재현성이 우수한 반면, 후자의 방법은 비교적 저비용으로 제조할 수 있다는 이점이 있다. 마이크로 어레이 제조의 가장 중요한 점은 DNA프로브를 기판에 고밀도이면서 안정적으로 고정화시키는 것이다.

그러나 일반적으로 슬라이드 글라스나 기판에 프로브 DNA를 스폿 하는 방법인 잉크젯, 디스펜서(dispenser), 표면을 가공한 슬라이드 글라스를 이용하는 방식 들은, 용액을 적하하면 스폿 형상이 비뚤어지거나, 이웃한 프로브 DNA와 혼합되어버리는 문제점 등이 발생하기도 한다.

이런 문제점을 해결하기 위해 다양한 방법들이 시도되고 있다.

예를 들면, 마이크로 어레이 기판상에서, 핵산 프로브를 형성화 시키는 부분에 요철(frost)면을 형성시켜, 스폿당 프로브 DNA의 고체 상태화량을 증가시켜 검출 감도를 향상시키려는 시도가 있었다.

또한, 도 1a에 도시된 것처럼, 마이크로 어레이(2)에서는 광촉매 기술을 이용하여 프로브(probe) 생체 고분자가 고정되어 있는 친수성 영역(3)과 프로브 생체 고분자가 고정되어 있지 않은 소수성 영역(4)을 구분하여, DNA의 스폿 수를 향상시키고 원하는 위치에 프로브가 명확히 결합하도록 하는 시도가 있었다. 물론 검출물질은 스포터장치(5)을 이용하여 적하시키는 방식을 활용하였다.

아울러, 도 1b에 도시된 것처럼, 이러한 방식으로 기판 제작시 정밀도를 높이는 방법 외에, 여러 개의 블록(1b) 내에 네거티브·컨트롤(control)(1d)로 둘러싸인 포지티브·컨트롤(control)(1c)의 패턴(pattern)의 배치로 이루어지는 DNA 마이크로 어레이에 대한, 검출 판정처리에서 정량적, 정밀도를 향상시키기 위해 기판상에 복수의 이종의 위치마크(1c)로 되는 기준패턴을 구비하는 방법이 제시되기도 하였다.

그러나 이러한 종래의 방법들은 선택 영역에 정확히 원하는 양만큼 DNA 프로브를 위치시키기 어렵고, 스캐너 장치에 입력 시 표면처리만 한 경우에는 검출영역의 위치 결정 및 화상의 보정 실행시 화상 해석의 정밀도를 향상시키기 어렵다는 문제점이 있다.

본 발명은 상술한 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 마이크로 어레이 기판 제조시 베이스 기판에 천공된 고분자 기판을 결합하여, 일정한 마이크로 웰 패턴을 가진 마이크로 어레이 기판을 제작함으로써, 그 각각의 마이크로웰 안에 상보 DNA (cDNA)를 적하할 수 있는 마이크로어레이 기판을 제공하는 데 있다.

또한, 본 발명은 일정한 모양과 크기를 가지는 마이크로 웰이 있는 마이크로 기판을 재제작함에 있어 재현성과 정밀도를 향상시키고, 고집적화를 가능하게하여 감도를 향상시킬 수 있으며, 다항목 검사가 가능한 마이크로 어레이 기판을 제공하는데 그 구체적인 목적이 있다.

본 발명은 상술한 과제를 해결하기 위한 구성으로, 베이스기판상에 마이크로웰(micro-well)이 형성되는 고분자 기판이 결합한 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 기판을 제공할 수 있도록 한다. 이러한 본 발명에 따른 마이크로 어레이는 각각의 스팟끼리 명확히 구분이 되므로 제조시 발생하는 에러율을 없앨 수 있고, 타겟 DNA와 반응하는 양이 일정하므로 검출감도를 높일 수 있으며, 패턴 위치는 항상 일정하므로 이를 얼라인 키로 활용하여, 분석의 명확성을 향상시킬 수 있다는 장점이 있다. 또한 적하시키는 일정한 상보 DNA 양과 결합하는 타겟 DNA양에 대한 정보를 통해, 검출 결과를 정량적으로 파악할 수 있다.

상술한 본 발명에 따른 구성 중 상기 베이스 기판은 자기조립박막(Self-assembled monolayer: SAM)이 코팅된 것을 특징으로 한다.

아울러, 상기 베이스기판은 유리, 실리콘, 실리콘 옥사이드(slicon oxide)로 이루어질 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 마이크로 어레이의 상기 자기조립박막은 티올기, 실라놀기 ,포스핀기, L-라이신, 아민, 알데히드, 에폭시, 폴리리신(poly-L-lysine) 중 선택된 어느 하나의 작용기를 포함한 물질로 형성될 수도 있다.

또한, 본 발명의 마이크로 어레이를 구성하는 상기 고분자 기판은, 폴리-디메틸실록산(poly-dimethylsiloxane;PDMS), 폴리-메틸메타아크릴레이트(poly methylmethacrylate), 폴리카보네이트(polycarbonate), 폴리에틸렌(polyethylene), 폴리프로필렌(polypropylene), 폴리스틸렌(polystyrene) 중 선택되는 어느 하나로 형성될 수 있다.

본 발명에서 베이스 기판과 고분자 기판의 결합력 및 제작의 효율성을 향상시킬 수 있도록 하기 위해서는, 상기 고분자 기판은 표면을 소수성 처리하여 표면을 개질시키는 것이 바람직하다.

상술한 구조를 구비하는 본 발명에 따른 마이크로 어레이의 제조공정은 자기조립 박막이 코팅된 베이스 기판에 마이크로웰(micro-well)이 형성된 고분자 기판을 접합하여 제조될 수 있다.

이러한 제조공정 중, 상기 마이크로웰은 상기 고분자기판에 펀칭을 통해 천공하여 형성되거나, 상기 고분자 기판을 몰딩(molding)하여 형성될 수 있다.

특히, 상술한 마이크로웰을 몰딩하여 형성하는 공정은,

1) 실리콘웨이퍼에 감광물질을 코팅하고 노광 및 현상을 통해 몰딩용 패턴을 형성하는 단계;

2) 상기 패턴을 형성한 후, 진공상태에서 트리플루오로프로필 트리메톡시 실란(tirchloro(3,3,3-trifluoropropyl)-silane), 3-aminopropylmethyldiethoxysilane(APDES), 3-aminopropyltriethoxysilane(APTES), 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane(MPDMS), 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane 등을 이용하여 실리콘 웨이퍼 표면을 실란화(silanization)하는 단계;

3) 액상의 고분자물질을 상기 실란화된 패턴에 투입하여 마이크로 웰이 형성된 고분자 기판을 형성하는 단계;를 포함하여 이루어질 수 있다.

또한, 이러한 공정에서 본 발명은 상기 3) 단계 이후에, 상기 고분자 기판에 소수성 표면처리를 수행하는 단계를 더 포함하여, 기판과의 결합력과 제작의 효율성을 도모할 수 있도록 한다.

또한, 본 발명에 따른 제조공정은 상기 3)단계 이후에, 상기 고분자 기판에 플라즈마 처리를 하고, 상기 베이스 기판에 접합하는 단계를 더 포함할 수 있다.

아울러 상술한 제조공정에서 상기 1) 단계의 감광물질은 음성감광제로 형성될 수 있다.

또한, 상기 고분자 물질은 폴리-디메틸실록산(poly-dimethylsiloxane;PDMS), 폴리-메틸메타아크릴레이트(poly methylmethacrylate), 폴리카보네이 트(polycarbonate), 폴리에틸렌(polyethylene), 폴리프로필렌(polypropylene), 폴리스틸렌(polystyrene) 중 선택되는 어느 하나로 형성될 수 있다.

본 발명에 따르면, 마이크로 어레이 기판 제조시 베이스 기판에 천공된 고분자 기판을 결합하여, 일정한 마이크로 웰 패턴을 가진 마이크로 어레이 기판을 제작함으로써, 그 각각의 마이크로웰 안에 상보 DNA (cDNA)를 적하할 수 있는 마이크로어레이 기판을 제공한다.

이러한 본 발명에 따른 마이크로 어레이 기판은, 각각의 스팟끼리 명확히 구분이 되므로 제조시 발생하는 에러율을 없앨 수 있고, 타겟 DNA와 반응하는 양이 일정하므로 검출감도를 높일 수 있으며, 패턴 위치는 항상 일정하므로 이를 얼라인 키로 활용하여, 분석의 명확성을 향상시킬 수 있다는 장점이 있다. 또한 적하시키는 일정한 상보 DNA 양과 결합하는 타겟 DNA양에 대한 정보를 통해, 검출 결과를 정량적으로 파악할 수 있다.

천공된 고분자 기판은 표면 성질을 변화시킨 후에 유리 기판과 결합할 수 있으며, 나아가 고분자 기판의 표면 처리를 소수성으로 처리하여 스팟 제작의 효율성을 극대화 시킬 수 있는 효과도 있다.

특히, 본 발명에 따른 마이크로 어레이 기판은, 일정한 패턴을 구역별로 구성하여, 다항목 검사가 가능한 어레이 기판 또한 용이하게 제작할 수 있다는 장점도 함께 가지고 있다.

본 발명은 일정한 모양과 크기를 가지는 마이크로 웰이 있는 마이크로 기판 을 제작함에 있어 재현성과 정밀도를 향상시키고, 고집적화를 가능하게 하여 감도를 향상시킬 수 있는 장점도 아울러 구현할 수 있다.

특히, 포토리소그래피로 패턴을 만드는 경우에 비하여 몰딩이나 펀칭을 이용하여 천공된 고분자 기판을 제작하기 때문에 가격이 저렴한 장점을 가지고 있으며, 유리와 천공된 고분자 기판 결합 후에 용도에 따라 아민, 알데히드, 에폭시, 폴리리신(poly-L-lysine) 등의 자기조립박막(self assembled monolayers)을 이용한 표면처리를 함으로써 다양한 종류의 마이크로어레이 기판을 경제적으로 제작할 수 있다.

이하에서는 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 마이크로 어레이 기판의 구성 및 그 제조공정을 구체적으로 설명하기로 한다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 도시된 것은 본 발명에 따른 마이크로 어레이 기판의 제조공정의 개념도이다.

본 발명에 따른 마이크로 어레이 기판은 기본적으로 마이크로웰(110)이 형성된 고분자 기판(100)과 베이스 기판(200)을 접합하여 형성하는 것을 그 요지로 한다.

구체적으로는, 마이크로웰(micro well)을 구비한 고분자 기판을 준비한다(S1). 이 경우 마이크로 웰(110)은 기본적으로 고분자 기판(100)에 형성되는 미세 천공패턴을 의미한다. 이후에 베이스기판(200)에 글라스 기판을 접합한다(S2). 그리고 티올기, 실라놀기 ,포스핀기, L-라이신, 아민, 알데히드, 에폭시, 폴리리 신(poly-L-lysine) 등의 자기조립박막(210)을 기판에 코팅하는 등의 방법으로 표면처리를 형성하여 마이크로 어레이 기판을 완성할 수 있다(S3).

이러한 제조공정에서 사용되는 베이스 기판(200)은 유리기판이 사용될 수 있다. 또한 베이스 기판은 실리콘, 실리콘 옥사이드(slicon oxide) 등이 사용될 수 있으며, 굳이 기판의 종류를 여기에 한정하지 않는다.

상기 고분자 기판(100)을 형성하는 고분자 물질은 폴리-디메틸실록산(poly-dimethylsiloxane;PDMS), 폴리-메틸메타아크릴레이트(poly methylmethacrylate), 폴리카보네이트(polycarbonate), 폴리에틸렌(polyethylene), 폴리프로필렌(polypropylene), 폴리스틸렌(polystyrene) 중 선택되는 어느 하나로 이루어질 수 있으며, 특히 바람직하게는 PDMS를 사용할 수 있다. PDMS는 그 자체로 무독하며, 액상으로 소수성을 가지고 있는 생체 친화적인 소재인바, 그 효율성 면에서도 매우 뛰어난 장점이 있다.

또한, 상기 자기조립박막(210)은 티올기, 실라놀기 ,포스핀기, L-라이신, 아민, 알데히드, 에폭시, 폴리리신(poly-L-lysine) 중 선택된 어느 하나의 작용기를 포함하여 형성될 수 있다.

아울러 상술한 마이크로 웰이 형성된 고분자 기판은 표면을 소수성 처리를 하여 마이크로 어레이 기판의 성능을 향상시킬 수 있도록 함이 더욱 바람직하다.

이하에서는 상술한 고분자 기판에 마이크로 웰을 형성하는 방법으로서의 일례를 설명하기로 한다. 상기 마이크로 웰은 펀칭방법이나 몰딩방법등을 이용하여 다양하게 제작이 가능하다.

1. 펀칭방법

우선, 평평한 구조의 페트리 디시에 액상의 고분자 물질(예를 들면,PDMS 등)를 천천히 붓고 기포를 제거한 뒤, 60℃에서 3시간 건조시켜 얇은 고분자 판을 만든다. 이후, 페트리디시에 떼어낸 PDMS 판에 펀치를 이용하여 구멍을 뚫어주어 마이크로 웰을 형성할 수 있다.

이후, 이러한 고부낮 기판을 플라즈마 처리를 한 후, 유리기판위에 붙힌 다음 오븐에 넣어 접합을 시켜준다.

2. 몰딩방법

우선, 실리콘 웨이퍼 위에 음성감광제(예를 들면, SU-8 등)를 코팅하고, 원하는 크기의 패턴이 있는 마스크로 노광을 한 후에 현상액으로 현상하여 몰딩에 필요한 패턴이 마련된 틀을 제작한다.

그리고 상술한 음성감광재 패턴을 형성한 후에, 진공상태에서 트리플루오로프로필 트리메톡시 실란(tirchloro(3,3,3-trifluoropropyl)-silane), 3-aminopropylmethyldiethoxysilane(APDES), 3-aminopropyltriethoxysilane(APTES), 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane(MPDMS), 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane 등의 실란화 커플링제를 이용하여 실란화(silanization)를 한다.

이후에, 고분자 물질(예를 들면, PDMS 등)을 천천히 붓고 기포를 제거한 뒤, 60℃에서 3시간 건조시켜 얇은 마이크로 웰이 형성된 고분자 기판을 형성한다.

물론 이후에는 고분자 기판에 플라즈마 처리하고, 베이스 기판에 붙힌 다음 오븐에 넣어서 접합시킬 수 있다.

이처럼 본 발명에 따른 마이크로 웰이 구현된 마이크로 어레이는, 포토리소그래피로 패턴을 만드는 경우에 비하여 몰딩이나 펀칭을 이용하여 천공된 고분자 기판을 제작하기 때문에 가격이 저렴한 장점을 가지고 있으며, 유리와 천공된 고분자 기판 결합 후에 용도에 따라 아민, 알데히드, 에폭시, 폴리리신(poly-L-lysine) 등의 자기조립박막(self assembled monolayers)을 이용한 표면처리를 함으로써 다양한 종류의 마이크로어레이 기판을 경제적으로 제작할 수 있다.

이상과 같은 방법으로 제작된 마이크로 어레이를 이용하여 검출하는 사용례를 도 4를 통해 설명하기로 한다.

도 4를 참조하면, 제작된 본 발명에 따른 마이크로 어레이에 핀 스팟팅(pin spotting)이나 잉크젯(inkjet)장비(130)을 사용하여 상보 DNA(140)를 어레이 시킨다. 그 후 형광물질(P)이 결합된 타켓 DNA(T)를 상보 DNA(120;C)와 결합시킨다.

그 후 솔루션 상태의 타켓 DNA(T)(형광물질과 결합되어 있음)를 기판상에 적시고, 반응이 일어난 후 결합되지 않은 것을 와싱(washing)하면, 결합이 일어난 부분에만 형광을 발현하게 되므로, 스캐너를 통해 특정 DNA에 대한 검출결과를 확인 할 수 있게 된다.

본 발명에 따른 마이크로 어레이는 베이스 기판에 천공된 고분자 기판을 결합하여, 일정한 마이크로 웰 패턴을 가진 마이크로 어레이 기판을 제작함으로써, 그 각각의 마이크로웰 안에 상보 DNA (cDNA)를 적하할 수 있게 된다.

이러한 구조는 일정한 모양과 크기를 가지는 마이크로 웰이 있는 마이크로 기판을 제작함에 있어 재현성과 정밀도를 향상시키고, 고집적화를 가능하게 하여 감도를 향상시킬 수 있게 된다. 특히 구체적으로는 각각의 스팟끼리 명확히 구분이 되므로 제조시 발생하는 에러율을 없앨 수 있고, 타겟 DNA와 반응하는 양이 일정하므로 검출감도를 높일 수 있으며, 패턴 위치는 항상 일정하므로 이를 얼라인 키로 활용하여, 분석의 명확성을 향상시킬 수 있다는 장점이 있다. 또한 적하시키는 일정한 상보 DNA 양과 결합하는 타겟 DNA양에 대한 정보를 통해, 검출 결과를 정량적으로 파악할 수 있게 되는 것이다. 아울러 일정한 패턴을 구역별로 구성하여, 다항목 검사가 가능한 어레이 기판 또한 용이하게 제작할 수도 있게 된다.

전술한 바와 같은 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시예에 관해 설명하였다. 그러나 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서는 여러 가지 변형이 가능하다. 본 발명의 기술적 사상은 본 발명의 기술한 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

도 1a 및 도 1b는 종래의 기술에 따른 마이크로 어레이의 제조방식에서 기판제작에 대한 정밀도 향상방법의 일 예를 도시한 것이다.

도 2 내지 도 3은 본 발명에 따른 마이크로 어레이 기판의 구성 및 제조방법을 나타낸 개략도이다.

도 4는 본 발명에 따른 마이크로 어레이 기판의 사용방법을 도시한 도면이다.

Claims (14)

1. 베이스기판 상에 마이크로웰(micro-well)이 형성되는 고분자 기판이 결합한 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 기판.
2. 청구항 1에 있어서,

   상기 베이스기판은 자기조립박막(Self-assembled monolayer: SAM)이 코팅된 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 기판.
3. 청구항 2에 있어서,

   상기 베이스기판은 유리, 실리콘, 실리콘 옥사이드(slicon oxide)로 이루어진 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 기판.
4. 청구항 2에 있어서,

   상기 자기조립박막은 티올기, 실라놀기, 포스핀기, L-라이신, 아민, 알데히드, 에폭시, 폴리리신(poly-L-lysine) 중 선택된 어느 하나의 작용기를 포함하는 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 기판.
5. 청구항 2에 있어서,

   상기 고분자 기판은, 폴리-디메틸실록산(poly-dimethylsiloxane;PDMS), 폴리-메틸메타아크릴레이트(polymethylmethacrylate), 폴리카보네이트(polycarbonate), 폴리에틸렌(polyethylene), 폴리프로필렌(polypropylene), 폴리스틸렌(polystyrene) 중 선택되는 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 기판.
6. 청구항 1 내지 5 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 고분자 기판은 표면이 소수성 처리된 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 기판.
7. 자기조립 박막이 코팅된 베이스 기판에 마이크로웰(micro-well)이 형성된 고분자 기판을 접합하는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 기판의 제조방법.
8. 청구항 7에 있어서,

   상기 마이크로웰은 상기 고분자기판에 펀칭을 통해 천공하여 형성하는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 기판의 제조방법.
9. 청구항 7에 있어서,

   상기 마이크로웰은 상기 고분자 기판을 몰딩(molding)하여 형성하는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 기판의 제조방법.
10. 청구항 9에 있어서,

    상기 마이크로웰을 몰딩하여 형성하는 공정은,

    1) 실리콘웨이퍼에 감광물질을 코팅하고 노광 및 현상을 통해 몰딩용 패턴을 형성하는 단계;

    2) 상기 패턴을 형성한 후, 진공상태에서 상기 실리콘 웨이퍼 표면을 실란화(silanization)하는 단계;

    3) 액상의 고분자물질을 실란화 웨이퍼와 패턴에 투입하여 마이크로 웰이 형성된 고분자 기판을 형성하는단계;

    를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 기판의 제조방법.
11. 청구항 10에 있어서, 상기 2)단계는,

    트리플루오로프로필 트리메톡시 실란(tirchloro(3,3,3-trifluoropropyl)-silane), 3-aminopropylmethyldiethoxysilane(APDES), 3-aminopropyltriethoxysilane(APTES), 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane(MPDMS), 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane 중에 선택되는 어느 하나를 이용하여 실란화가 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 기판의 제조방법.
12. 청구항 10에 있어서,

    상기 3) 단계 이후에,

    상기 고분자 기판에 소수성 표면처리를 수행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 기판의 제조방법.
13. 청구항 10에 있어서,

    상기 3)단계 이후에,

    상기 고분자 기판에 플라즈마 처리를 하고, 상기 베이스 기판에 접합하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 기판의 제조방법.
14. 청구항 10에 있어서,

    상기 고분자 물질은 폴리-디메틸실록산(poly-dimethylsiloxane;PDMS), 폴리-메틸메타아크릴레이트(poly methylmethacrylate), 폴리카보네이트(polycarbonate), 폴리에틸렌(polyethylene), 폴리프로필렌(polypropylene), 폴리스틸렌(polystyrene) 중 선택되는 어느 하나로 이루어지는 특징으로 하는 마이크로 어레이 기판의 제조방법.

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