KR20100036785A - 절단 장치 및 그 방법 - Google Patents

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김민웅
이성희
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세메스 주식회사
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Abstract

절단 장치는 대상물이 안착되는 지지 부재 및 대상물을 컷팅하는 컷팅 장치를 포함한다. 컷팅 장치는 대상물에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이빙 유닛, 대상물에 잔존하는 이물을 흡입하는 흡입 유닛 및 대상물에 에어를 분사하여 이물을 흡입 유닛 측으로 가이드하는 송풍 유닛을 구비한다. 이에 따라, 절단 장치는 스크라이브 라인을 형성하는 과정에서 대상물에 이물이 잔존하는 것을 방지하므로, 컷팅 효율 및 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.

Description

절단 장치 및 그 방법{APPARATUS AND METHOD OF SCRIBING OBJECT}
본 발명은 평판표시패널 제조에 사용되는 절단 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판표시패널용 모기판을 절단하기 위한 절단 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 영상을 표시하기 위한 평판표시패널은 대형 패널, 즉, 모기판을 이용하여 한번에 다수매씩 제조된다. 구체적으로, 평판표시패널은 서로 마주하는 상부 기판과 하부 기판을 구비한다. 상부 기판과 하부 기판은 각기 다른 모기판을 통해 형성된다. 즉, 상부 기판용 모기판과 하부 기판용 모기판은 각각 다수의 단위 영역이 구획된다. 상부 기판용 모기판의 각 단위 영역에는 상부 기판을 형성하기 위한 박막층들로 이루어진 상부셀이 형성된다. 하부 기판용 모기판의 각 단위 영역에는 하부 기판을 형성하기 위한 박막층들로 이루어진 하부셀이 형성된다.
각각 박막층들이 형성된 상부 기판용 모기판과 하부 기판용 모기판은 서로 마주하게 결합되며, 상부 기판용 모기판의 단위 영역들과 하부 기판용 모기판의 단위 영역들은 서로 일치한다. 서로 마주하는 하부셀과 상부셀은 하나의 단위셀을 구성하며, 하나의 단위셀은 하나의 평판표시패널을 구성한다. 서로 결합된 두 개의 모기판은 각 단위셀 별로 절단되고, 이에 따라, 다수의 평판표시패널이 제조된다.
이와 같이, 대형 모기판을 이용하여 다수의 평판표시패널을 제조하기 위해서는 결합된 두 개의 모기판을 단위셀별로 절단하는 과정이 필요하다. 일반적으로, 모기판을 절단하는 과정은 레이저 빔을 이용하여 절단하는 방법과 스크라이브 휠(scribe wheel)을 이용하는 방법이 있다. 스크라이브 휠을 이용하여 모기판을 절단하는 방법은 스크라이브 휠을 모기판에 접촉시킨 후 절단 예정선을 따라 이동시켜 모기판의 표면에 소정 깊이의 홈으로 이루어진 스크라이브 라인을 형성한다. 이어, 모기판에 물리적인 충격을 가하면, 스크라이브 라인을 따라 크랙이 전파되어 단위셀 별로 분리된다.
이러한 스크라이브 휠을 이용한 절단 방법은, 스크라이브 라인을 형성하는 과정에서 칩핑(chipping)이 발생한다. 이러한 칩핑들은 모기판 상면에 잔류하여 스크라이브 휠의 회전을 저하시키고, 이로 인해, 컷팅 불량이 발생한다.
본 발명의 목적은 컷팅 효율을 향상시킬 수 있는 절단 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은 상기한 절단 장치를 이용한 절단 방법을 제공하는 것이다.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 절단 장치는, 지지 부재 및 컷팅 부재로 이루어진다.
구체적으로, 지지 부재에는 컷팅 대상물이 안착된다. 컷팅 부재는 상기 지지 부재의 상부에 배치되고, 상기 지지 부재에 안착된 컷팅 대상물을 컷팅한다. 상기 컷팅 부재는 스크라이빙 유닛, 흡입 유닛 및 송풍 유닛을 구비한다. 스크라이빙 유닛은 수평 방향으로 이동하면서 상기 지지 부재에 안착된 컷팅 대상물을 소정 깊이로 식각하여 상기 컷팅 대상물에 스크라이브 라인을 형성한다. 흡입 유닛은 상기 스크라이빙 유닛과 인접하게 배치되고, 상기 컷팅 대상물에 잔존하는 이물들을 흡입한다. 송풍 유닛은 상기 스크라이빙 유닛과 인접하게 배치되고, 상기 스크라이빙 유닛을 사이에 두고 상기 흡입 유닛과 마주하며, 상기 지지 부재 상의 컷팅 대상물에 에어를 분사하여 상기 컷팅 대상물에 잔존하는 이물을 상기 흡입 유닛측으로 가이드한다.
상기 스크라이빙 유닛이 수평 이동하는 진행 방향에서 볼 때, 상기 흡입 유닛은 상기 스크라이빙 유닛의 후방에 위치하고 상기 송풍 유닛은 상기 스크라이빙 유닛의 전방에 위치한다.
상기 스크라이빙 유닛은 몸체 및 스크라이브 휠을 포함할 수 있다. 스크라이브 휠은 상기 몸체의 하부에 결합되고, 회전하면서 상기 지지 부재에 안착된 컷팅 대상물을 소정 깊이로 식각하여 상기 컷팅 대상물에 상기 스크라이브 라인을 형성한다.
또한, 상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 절단 장치는, 지지 부재 및 컷팅 부재로 이루어진다.
구체적으로, 지지 부재에는 평판표시패널 형성용 모기판이 안착된다. 컷팅 부재는 상기 지지 부재의 상부에 배치되고, 상기 지지 부재에 안착된 모기판을 상기 평판표시패널을 형성하는 각 단위셀별로 컷팅한다. 상기 컷팅 부재는 스크라이빙 유닛, 흡입 유닛 및 송풍 유닛을 포함할 수 있다. 스크라이빙 유닛은 수평 방향으로 이동하면서 상기 지지 부재에 안착된 모기판을 소정 깊이로 식각하여 상기 모기판에 스크라이브 라인을 형성한다. 흡입 유닛은 상기 스크라이빙 유닛과 인접하게 배치되고, 상기 모기판에 잔존하는 이물들을 흡입한다. 송풍 유닛은 상기 스크라이빙 유닛과 인접하게 배치되고, 상기 스크라이빙 유닛을 사이에 두고 상기 흡입 유닛과 마주하며, 상기 지지 부재에 안착된 모기판과 상기 스크라이빙 유닛이 접하는 부분을 향해 에어를 분사하여 상기 모기판에 잔존하는 이물을 상기 흡입 유닛측으로 가이드한다.
또한, 상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 절단 방법은 다음과 같다. 먼저, 평판표시패널 형성용 모기판을 지지 부재에 안착시킨다. 이어, 상기 지지 부재의 상부에 컷팅 유닛을 배치시킨다. 상기 컷팅 유닛이 수평 이동하면서 상기 지지 부재 상의 모기판에 스크라이브 라인을 형성하고, 이와 동시에, 상기 스크라이브 라인을 형성하는 과정에서 발생된 칩핑들을 흡입하여 외부로 배출하며, 이와 동시에, 상기 지지 부재 상의 모기판에 에어를 분사하여 상기 지지 부재 상의 모기판에 잔존하는 이물들을 상기 스크라이브 라인이 형성되는 경로상에서 제거한다.
구체적으로, 상기 스크라이브 라인을 형성하는 과정은 다음과 같다. 먼저, 상기 컷팅 유닛의 스크라이브 휠을 상기 지지 부재에 안착된 모기판의 상면에 접촉시킨다. 상기 스크라이브 휠을 회전시키면서 상기 모기판을 소정 깊이로 식각하여 상기 스크라이브 라인을 형성하고, 이와 동시에 상기 스크라이브 휠의 후방에 배치된 흡입 유닛이 상기 스크라이브 라인을 형성하는 과정에서 발생된 칩핑들을 흡입하여 외부로 배출하며, 이와 동시에 상기 스크라이브 휠의 전방에 배치된 송풍 유닛이 상기 모기판에 에어를 분사하여 상기 모기판에 잔류하는 이물들을 상기 흡입 유닛측으로 가이드 한다.
상술한 본 발명에 따르면, 절단 장치는 스크라이브 라인을 형성하는 과정에서 발생된 칩핑들을 외부로 배기할 수 있으므로, 스크라이브 라인이 형성되는 대상물에 이물이 잔존하는 것을 방지한다. 이에 따라, 절단 장치는 컷팅 효율 및 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명한다. 본 실시예에서는 절단 대상물로 평판표시패널용 모기판을 일례로 하여 설명하나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정되지 않으며 다른 종류의 대상물도 가능하다.
도 1은 다수의 평판표시패널을 형성하기 위한 모기판 어셈블리를 나타낸 평면도이다.
도 1을 참조하면, 모기판 어셈블리(100)는 서로 마주하게 결합된 두 개의 모기판을 포함하고, 상기 모기판 어셈블리(100)에는 각각 하나의 평상표시패널을 형성하는 다수의 단위셀(110)이 형성된다. 상기 다수의 단위셀(110)은 매트릭스 형태로 배치되며, 상기 모기판 어셈블리(100)는 상기 단위셀(110)별로 절단된다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 절단 시스템를 나타낸 도면이다.
도 2를 참조하면, 기판 절단 시스템(400)은 도 1에 도시된 모기판 어셈블리(100)를 각 단위셀(110)별로 절단한다. 상기 절단 시스템(400)은 상기 모기판 어셈블리(100)가 안착되는 컷팅 선반(200) 및 상기 모기판 어셈블리(100)를 절단하는 컷팅 장치(300)를 포함한다.
상기 컷팅 장치(300)는 상기 컷팅 선반(200)의 상부에 배치된다. 상기 컷팅 장치(300)는 스크라이빙 유닛(310), 흡입 유닛(320) 및 송풍 유닛(330)을 포함할 수 있으며, 상기 스크라이빙 유닛(310)과 상기 흡입 유닛(320) 및 상기 송풍 유닛(330)은 상기 컷팅 선반(200)의 상부에서 일렬로 나란히 배치된다.
구체적으로, 상기 스크라이빙 유닛(310)은 스크라이브 몸체(311), 스크라이브 휠(312) 및 상기 스크라이브 몸체(311)와 상기 스크라이브 휠(312)을 연결하는 휠 축(313)을 포함할 수 있다. 상기 스크라이브 휠(312)은 상기 스크라이브 몸체(311)의 아래에 구비되고, 상기 스크라이브 몸체(311)는 상기 스크라이브 휠(312)을 수직방향으로 가압하면서 일 방향으로 수평 방향으로 이동한다. 상기 스크라이 휠(312)은 상기 스크라이브 몸체(311)의 수평 이동에 의해 회전한다. 상기 스크라이브 휠(312)은 대체로 원판 형상을 갖고, 외주면이 톱니 형상을 갖는다. 상 기 스크라이브 휠(312)은 톱니 형상의 외주면을 상기 모기판 어셈블리(100)와 접촉한 상태로 회전하여 상기 모기판 어셈블리(100)를 소정 깊이로 식각하고, 이에 따라, 상기 모기판 어셈블리(100)의 표면에 스크라이브 라인(120)이 형성된다.
본 발명의 일례로, 상기 스크라이브 휠(312)은 삼각뿔 형상의 다이아몬드 칩들(31)이 외주면에 결합되어 상기와 같은 톱니 형상을 이룰 수도 있다.
상기 스크라이브 휠(312)은 상기 휠 축(313)을 통해 상기 스크라이브 몸체(311)와 연결되며, 상기 휠 축(313)은 일 단부가 상기 스크라이브 휠(312)의 중앙부에 형성된 연결구(32)에 삽입된다. 상기 스크라이브 휠(312) 회전시, 상기 휠 축(313)은 상기 스크라이브 휠(312)의 회전축이 된다.
상기 흡입 유닛(320)는 상기 스크라이빙 유닛(310)의 진행 방향에서 볼 때 상기 스크라이빙 유닛(310)의 뒤에 배치된다. 상기 흡입 유닛(320)은 상기 스크라이빙 유닛(310)과 인접하게 배치되고, 하면에 상기 모기판 어셈블리(100)의 스크라이빙 과정에서 발생된 칩핑들을 흡입하는 흡입구가 형성된다. 상기 흡입 유닛(320)은 배출관(340)과 연결되며, 상기 흡입 유닛(320)이 흡인한 칩핑들은 상기 배출관(340)을 통해 외부로 배출된다.
이와 같이, 상기 흡입 유닛(320)은 상기 스크라이빙 과정에서 발생된 칩핑들을 외부로 배출하므로, 상기 칩핑들이 상기 모기판 어셈블리(100) 상에 잔존하는 것을 방지한다. 이에 따라, 상기 흡입 유닛(320)은 상기 모기판 어셈블리(100)의 스크라이빙 불량을 방지하고, 제품의 수율 및 스크라이빙 효율을 향상시킬 수 있다.
한편, 상기 송풍 유닛(330)은 상기 스크라이빙 유닛(310)의 진행 방향에서 볼 때 상기 스크라이빙 유닛(310)의 앞에 배치된다. 상기 송풍 유닛(330)은 상기 스크라이빙 유닛(310)과 인접하게 배치되고, 하면에 에어를 분사하는 송풍구(331)가 형성된다. 상기 송풍 유닛(330)은 에어를 공급하는 에어 공급관(350)과 연결되고,상기 에어 공급관(350)을 통해 상기 에어를 제공받는다. 상기 송풍 유닛(330)은 상기 스크라이빙 유닛(330) 측으로 에어를 분사하여 상기 스크라이빙 유닛(330) 측으로 상기 스크라이빙 유닛(330)의 전단에서 후방으로 에어를 분사한다. 상기 스크라이빙 유닛(310)의 스크라이빙 과정에서 발생된 칩핑들은 상기 송풍 유닛(330)으로부터 분사된 에어에 의해 상기 흡입 유닛(320) 측으로 유도된다.
이와 같이, 상기 송풍 유닛(330)은 에어를 상기 스크라이빙 휠(332)의 후방으로 분사하므로, 상기 스크라이브 휠(332)의 전방에 위치하는 칩핑들이 상기 흡입 유닛(320)이 위치하는 후방측으로 유도된다. 이에 따라, 상기 흡입 유닛(320)의 칩핑 흡입 효율이 향상되므로, 제품의 수율 및 스크라이빙 효율을 향상시킬 수 있다.
상기 컷팅 장치(300)는 결합 몸체(360)를 더 포함할 수 있다. 상기 결합 몸체(360)의 하면에는 상기 스크라이빙 유닛(310)과 상기 흡입 유닛(320) 및 상기 송풍 유닛(330)이 결합되고, 상면에는 상기 배출관(340)과 상기 에어 공급관(350)이 연결된다.
도 2에서, 도면 부호 SF는 칩핑이 흡입구(320)로 유입되는 경로를 나타내고, 도면 부호 AF는 송풍 유닛(330)으로부터 배출되는 에어의 흐름을 나타낸다.
이하, 도면을 참조하여 상기 기판 절단 시스템(400)이 모기판 어셈블리(100)를 스크라이빙하는 과정을 구체적으로 설명한다.
도 3은 도 2에 도시된 기판 절단 시스템이 모기판 어셈블리를 절단하는 과정을 나타낸 도면이고, 도 4는 도 3에 도시된 모기판 어셈블리를 나타낸 평면도이며, 도 5는 도 4의 절단선 I-I'에 따른 단면도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 먼저, 상기 모기판 어셈블리(100)를 상기 컷팅 선반(200)에 배치시키고, 상기 모기판 어셈블리(100)의 상부에 상기 컷팅 장치(300)를 배치시킨다.
이어, 상기 스크라이빙 유닛(310)의 스크라이빙 휠(322)을 상기 모기판 어셈블리(100)의 상면과 맞닿도록 상기 컷팅 장치(300)를 상기 모기판 어셈블리(100)와 인접하게 배치시킨다. 이어, 상기 스크라이빙 휠(322)을 상기 모기판 어셈블리(100) 측으로 가압하면서 절단 예정선(미도시)을 따라 수평 방향으로 이동시켜 상기 모기판 어셈블리(100)의 상면을 소정 깊이로 식각한다. 이에 따라, 상기 모기판 어셈블리(100)의 상면에 스크라이브 라인(120)이 형성된다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 평면상에서 볼 때 상기 스크라이브 라인(120)은 상기 모기판 어셈블리(100)에 형성된 단위셀들의 배치 구조에 따라 격자 형상으로 형성된다. 즉, 상기 스크라이브 라인(120)은 상기 모기판 어셈블리(100)를 각 단위셀(110) 단위로 절단하기 위해 각 단위셀의 아웃 라인을 따라 형성된다. 상기 스크라이브 라인(120)은 절단홈(20)으로 이루어지며, 횡단면은 대체로 'V'자 형상을 갖는다.
다시, 도 3을 참조하면, 상기 스크라이빙 휠(322)이 상기 스크라이브 라인(120)을 형성하는 동안, 상기 송풍 유닛(330)은 상기 스크라이빙 유닛(310)과 함께 이동하면서 상기 스크라이브 휠(322) 측으로 에어를 분사하여 상기 스크라이브 라인(120)을 형성하는 과정에서 발생된 칩핑들(CP)을 상기 흡입 유닛(320) 측으로 가이드 한다. 상기 흡입 유닛(320)은 상기 스크라이빙 유닛(310)을 따라 이동하면서 상기 스크라이빙 유닛(310)이 상기 스크라이브 라인(120)을 형성하는 동안 상기 칩핑들(CP)을 흡입하여 외부로 배출시킨다.
이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 또한, 도면에서의 요소의 표현은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되게 표현되었다.
도 1은 다수의 평판표시패널을 형성하기 위한 모기판 어셈블리를 나타낸 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 절단 시스템을 나타낸 도면이다.
도 3은 도 2에 도시된 기판 절단 시스템이 기판을 절단하는 과정을 나타낸 도면이다.
도 4는 도 3에 도시된 모기판 어셈블리에 스크라이브 라인이 형성된 상태를 나타낸 평면도이다.
도 5는 도 4의 절단선 I-I'에 따른 단면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
100 : 모기판 어셈블리 110 : 단위셀
120 : 스크라이브 라인 200 : 컷팅 선반
300 : 컷팅 장치 310 : 스크라이빙 유닛
320 : 흡입 유닛 330 : 송풍 유닛
400 : 기판 절단 시스템

Claims (12)

  1. 컷팅 대상물이 안착되는 지지 부재; 및
    상기 지지 부재의 상부에 배치되고, 상기 지지 부재에 안착된 컷팅 대상물을 컷팅하는 컷팅 부재를 포함하고,
    상기 컷팅 부재는,
    수평 방향으로 이동하면서 상기 지지 부재에 안착된 컷팅 대상물을 소정 깊이로 식각하여 상기 컷팅 대상물에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이빙 유닛;
    상기 스크라이빙 유닛과 인접하게 배치되고, 상기 컷팅 대상물에 잔존하는 이물들을 흡입하는 흡입 유닛; 및
    상기 스크라이빙 유닛과 인접하게 배치되고, 상기 스크라이빙 유닛을 사이에 두고 상기 흡입 유닛과 마주하며, 상기 지지 부재 상의 컷팅 대상물에 에어를 분사하여 상기 컷팅 대상물에 잔존하는 이물을 상기 흡입 유닛측으로 가이드하는 송풍 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 절단 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 스크라이빙 유닛이 수평 이동하는 진행 방향에서 볼 때, 상기 흡입 유닛은 상기 스크라이빙 유닛의 후방에 위치하고 상기 송풍 유닛은 상기 스크라이빙 유닛의 전방에 위치하는 것을 특징으로 하는 절단 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 송풍 유닛은 상기 지지 부재에 안착된 컷팅 대상물과 상기 스크라이빙 유닛이 접하는 부분을 향해 에어를 분사하는 것을 특징으로 하는 절단 장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 스크라이빙 유닛은,
    몸체; 및
    상기 몸체의 하부에 결합되고, 회전하면서 상기 지지 부재에 안착된 컷팅 대상물을 소정 깊이로 식각하여 상기 컷팅 대상물에 상기 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 휠을 포함하는 것을 특징으로 하는 절단 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 몸체는 수평 방향으로 이동 가능하며, 상기 스크라이브 휠은 상기 몸체의 수평 이동을 통해 회전하는 것을 특징으로 하는 절단 장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 송풍 유닛은 하면에 상기 에어를 분사하는 분사구가 제공되고,
    상기 흡입 유닛은 하면에 상기 칩핑들을 흡입하는 흡입구가 제공되는 것을 특징으로 하는 절단 장치.
  7. 평판표시패널 형성용 모기판이 안착되는 지지 부재; 및
    상기 지지 부재의 상부에 배치되고, 상기 지지 부재에 안착된 모기판을 상기 평판표시패널을 형성하는 각 단위셀별로 컷팅하는 컷팅 부재를 포함하고,
    상기 컷팅 부재는,
    수평 방향으로 이동하면서 상기 지지 부재에 안착된 모기판을 소정 깊이로 식각하여 상기 모기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이빙 유닛;
    상기 스크라이빙 유닛과 인접하게 배치되고, 상기 모기판에 잔존하는 이물들을 흡입하는 흡입 유닛; 및
    상기 스크라이빙 유닛과 인접하게 배치되고, 상기 스크라이빙 유닛을 사이에 두고 상기 흡입 유닛과 마주하며, 상기 지지 부재에 안착된 모기판과 상기 스크라이빙 유닛이 접하는 부분을 향해 에어를 분사하여 상기 모기판에 잔존하는 이물을 상기 흡입 유닛측으로 가이드하는 송풍 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 절단 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 스크라이빙 유닛이 수평 이동하는 진행 방향에서 볼 때, 상기 흡입 유닛은 상기 스크라이빙 유닛의 후방에 위치하고 상기 송풍 유닛은 상기 스크라이빙 유닛의 전방에 위치하는 것을 특징으로 하는 절단 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 스크라이빙 유닛은,
    몸체; 및
    상기 몸체의 하부에 결합되고, 회전하면서 상기 지지 부재에 안착된 모기판을 소정 깊이로 식각하여 상기 모기판에 상기 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 휠을 포함하는 것을 특징으로 하는 절단 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 송풍 유닛은 하면에 상기 에어를 분사하는 분사구가 제공되고,
    상기 흡입 유닛은 하면에 상기 칩핑들을 흡입하는 흡입구가 제공되는 것을 특징으로 하는 절단 장치.
  11. 평판표시패널 형성용 모기판을 지지 부재에 안착시키는 단계;
    상기 지지 부재의 상부에 컷팅 유닛을 배치시키는 단계; 및
    상기 컷팅 유닛이 수평 이동하면서 상기 지지 부재 상의 모기판에 스크라이브 라인을 형성하고, 이와 동시에, 상기 스크라이브 라인을 형성하는 과정에서 발생된 칩핑들을 흡입하여 외부로 배출하며, 이와 동시에, 상기 지지 부재 상의 모기판에 에어를 분사하여 상기 지지 부재 상의 모기판에 잔존하는 이물들을 상기 스크라이브 라인이 형성되는 경로상에서 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 절단 방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 스크라이브 라인을 형성하는 단계는,
    상기 컷팅 유닛의 스크라이브 휠을 상기 지지 부재에 안착된 모기판의 상면에 접촉시키는 단계;
    상기 스크라이브 휠을 회전시키면서 상기 모기판을 소정 깊이로 식각하여 상기 스크라이브 라인을 형성하고, 이와 동시에 상기 스크라이브 휠의 후방에 배치된 흡입 유닛이 상기 스크라이브 라인을 형성하는 과정에서 발생된 칩핑들을 흡입하여 외부로 배출하며, 이와 동시에 상기 스크라이브 휠의 전방에 배치된 송풍 유닛이 상기 모기판에 에어를 분사하여 상기 모기판에 잔류하는 이물들을 상기 흡입 유닛측으로 가이드 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 절단 방법,
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20110123548A (ko) * 2010-05-07 2011-11-15 엘지디스플레이 주식회사 액정표시장치의 제조장치
KR20170111684A (ko) 2016-03-29 2017-10-12 동우 화인켐 주식회사 이물질 제거 기능이 구비된 절단 장치
KR20170111332A (ko) 2016-03-28 2017-10-12 동우 화인켐 주식회사 터치 센서 및 레이저를 이용한 터치 센서 절단 방법

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