KR20100023499A

KR20100023499A - Cassette and robot for transferring glass, and cassette system having the same

Info

Publication number: KR20100023499A
Application number: KR1020080082303A
Authority: KR
Inventors: 장재식; 이경남; 이춘식
Original assignee: 주식회사 에스에프에이
Priority date: 2008-08-22
Filing date: 2008-08-22
Publication date: 2010-03-04
Also published as: CN101656220A; TW201008725A; CN101656220B; TWI366507B; KR100973190B1

Abstract

PURPOSE: A substrate transfer cassette, a substrate transfer robot, and a substrate transfer cassette system with the same are provided to easily load more substrates based on a standardized unit size cassette, thereby improving the transfer efficiency of a substrate. CONSTITUTION: A substrate transfer cassette system with the same includes a cassette housing(120), a substrate loading plate(130), and a substrate transfer robot(150). The cassette housing forms an outer tube. A first air jet hole(132) is formed on the outer surface of the substrate loading plate. The substrate transfer robot loads a substrate to a substrate transfer cassette(110) or withdraws the substrate from the substrate transfer cassette.

Description

기판 이송용 카세트 및 기판 이송용 로봇, 그리고 그것들을 구비한 기판 이송용 카세트 시스템{Cassette and robot for transferring glass, and cassette system having the same}Cassette and robot for transferring glass, and cassette system having the same}

본 발명은, 기판 이송용 카세트 및 기판 이송용 로봇, 그리고 그것들을 구비한 기판 이송용 카세트 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 규격화된 단위크기의 카세트를 기준으로 종래보다 많은 개수의 기판을 용이하게 적재할 수 있어 기판의 이송 효율을 향상시킬 수 있으며, 또한 카세트에 대한 기판의 적재 및 인출 과정이 공기 부상에 의한 비접촉식 방식으로 이송되기 때문에 기판에 스크래치(scratch) 불량이 발생되는 것을 종래보다 감소시킬 수 있는 기판 이송용 카세트 및 기판 이송용 로봇, 그리고 그것들을 구비한 기판 이송용 카세트 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer cassette, a substrate transfer robot, and a substrate transfer cassette system having the same. More specifically, a large number of substrates can be easily used based on a standardized unit size cassette. It can be loaded in a convenient way to improve the transfer efficiency of the substrate, and also because the process of loading and unloading the substrate to the cassette is transferred in a non-contact manner due to air injury, reducing the occurrence of scratches on the substrate. The present invention relates to a substrate transfer cassette, a substrate transfer robot, and a substrate transfer cassette system having the same.

최근 들어 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면 디스플레이(Flat Panel Display, FPD)가 등장하기 시작하였다.Recently, the flat panel display (FPD) has begun to appear as the electronic display industry is rapidly developing among the semiconductor industry.

평면디스플레이(FPD)는, TV나 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이(Display)로 종래 주로 사용된 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표 시장치인데, 이러한 평면디스플레이는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등으로 그 종류가 다양하다.Flat panel display (FPD) is a thinner and lighter image market than Cathode Ray Tube (CRT), which is commonly used as a display for TVs and computer monitors, and such flat display is an LCD (Liquid Crystal Display). ), PDP (Plasma Display Panel) and OLED (Organic Light Emitting Diodes).

이러한 평면디스플레이(FPD) 중 하나인 박막트랜지스터(TFT, Thin Film Transistor) LCD(TFT-LCD)는, 2장의 얇은 상하 유리기판 사이에 고체와 액체의 중간물질인 액정을 주입하고, 상하 유리기판의 전극 전압차로 액정분자의 배열을 변화시킴으로써 명암을 발생시켜 숫자나 영상을 표시하는 일종의 광스위치 현상을 이용한 소자로서, 박형화, 경량화, 저소비전력화의 우수한 성능으로 인하여 빠른 속도로 기존의 음극선관(CRT)을 대체하고 있다. 현재, LCD는 전자시계를 비롯하여 모바일 폰, 전자계산기, TV, 노트북 PC 등 전자제품에서 자동차, 항공기의 속도표시판 및 운행시스템 등에 이르기까지 폭넓게 사용되고 있다.One of the flat panel display (FPD) thin film transistor (TFT) LCDs (TFT-LCDs) injects a liquid crystal, which is an intermediate between solid and liquid, between two thin upper and lower glass substrates, A device that uses a kind of optical switch phenomenon that displays numbers or images by generating contrast by changing the arrangement of liquid crystal molecules by the difference of electrode voltage, and is a conventional cathode ray tube (CRT) at high speed due to excellent performance of thinning, light weight, and low power consumption. Is replacing. Currently, LCDs are widely used in electronic clocks, electronic products such as mobile phones, electronic calculators, TVs, notebook PCs, speed displays and driving systems of automobiles and aircrafts.

한편, LCD를 비롯한 평면디스플레이용 기판(이하, 기판이라 함)은, 보통 유리 재질로 이루어져, 외부로부터 가해지는 충격에 매우 취약한 특성인 취성을 갖고 있기 때문에 취급에 있어서 특별한 주의가 요구된다.On the other hand, a flat display substrate (hereinafter referred to as a substrate) including an LCD is usually made of glass and has a brittleness characteristic that is very vulnerable to an impact from the outside, so special care is required in handling.

특히, 크기가 작은 기판이 아닌, 예컨대 가로/세로의 길이가 2 미터(m) 이상인 7~8 세대용 기판이나 가로/세로의 길이가 3 미터(m) 이상인 11 세대용 기판의 경우, 그 크기(면적)가 거대하기 때문에 이송에 있어 각별한 주의가 요구된다.In particular, in the case of a non-small substrate, for example, a substrate for 7-8 generations having a length of 2 meters (m) or more and a substrate for 11 generations having a length of 3 meters (m) or more of a length / length, Due to the large area, special care must be taken when transporting.

따라서 이러한 기판들은 소위, 카세트(Cassette)라 하는 별도의 적재 박스(box)에 적재된 후, 다음 공정으로 이송된다. 즉 기판을 제조하는 제조공정에서, 임의의 공정이 완료된 기판들은 별도의 로봇에 의해 수 내지 수십 장씩 카세 트(Cassette)에 적재되며, 적재가 완료되면 카세트 그 자체로 다음 공정으로 이송되고, 해당 공정에 도달되면 다시 로봇에 의해 카세트 내에 적재된 기판들이 인출되어 해당 공정을 수행하게 된다.Therefore, these substrates are loaded into a separate stacking box called a cassette and then transferred to the next process. In other words, in the manufacturing process for manufacturing the substrate, the substrates of which the arbitrary process is completed are loaded in a cassette by several robots by several separate robots, and when the loading is completed, the cassette itself is transferred to the next process, and the corresponding process When is reached, the substrates loaded in the cassette are again taken out by the robot to perform the corresponding process.

이와 같이, 기판들은 카세트에 적재된 후에 공정 간을 이송하게 되므로 기판에 대한 이송 효율을 높이면서 생산량을 향상시키고자 한다면, 규격화된 단위크기의 카세트에 보다 많은 수의 기판을 적재하는 것이 유리하므로 이에 대한 연구가 계속 진행되고 있다.As such, since the substrates are transferred between the processes after being loaded in the cassette, it is advantageous to load a larger number of substrates in a standardized unit size cassette in order to improve the yield while improving the transfer efficiency to the substrate. Research is ongoing.

종래기술에서 널리 사용되고 있던 초기의 카세트 구조에 대해 살펴보면, 초기의 카세트는 외관을 형성하는 카세트 하우징과, 카세트 하우징 내에 기판들을 높이 방향으로 적재하기 위해 카세트 하우징의 내벽면 양측에 기판의 양측면을 부분적으로 떠받쳐 지지하는 다수의 선반을 구비하고 있다.Looking at the early cassette structure that was widely used in the prior art, the initial cassette is a cassette housing to form an appearance, and both sides of the substrate partially on both sides of the inner wall surface of the cassette housing to load the substrates in the height direction in the cassette housing. It is equipped with many shelves which support.

이와 같은 구조의 카세트는 이미 널리 사용되고 있는 방식이기는 하지만, 선반들이 기판의 양측면을 떠받쳐 지지하는 형태이기 때문에 작은 사이즈(size)의 기판의 적재 및 인출 시 사용될 수는 있으나 대면적 기판, 예컨대 6 세대 이상의 기판의 적재 및 인출 시 사용되기는 곤란하다. 이는, 대면적 기판은 면적뿐만 아니라 중량도 많이 나가기 때문에 이러한 대면적 기판이 선반에 의해 그 양측면만 국부적으로 지지될 경우에는 중앙 영역에서의 처짐이 발생될 수밖에 없고, 이러한 처짐으로 인해 기판을 적재 및 인출시키는 로봇의 핑거(finger)와의 충돌(간섭)이 빈번히 발생되어 기판의 파손으로 이어지기 때문이다.Cassettes of this structure are already widely used, but since the shelves support both sides of the substrate, they can be used for loading and unloading small-sized substrates. It is difficult to use when loading and withdrawing the above board | substrate. This is because a large area substrate has a large weight as well as an area, and when such a large area substrate is locally supported only by both sides of the shelf, deflection in the central area is inevitably generated. This is because a collision (interference) with the finger of the robot to be withdrawn occurs frequently, leading to breakage of the substrate.

따라서 대면적 기판의 적재 및 인출 시에는 기존의 일반적인 카세트 구조에 서 벗어나, 카세트 하우징 내에 층별로 지지플레이트를 형성하고, 기판의 처짐방지를 위해 지지플레이트 상에 다수의 핀(pin)을 더 장착한 구조의 새로운 타입의 카세트가 사용된 바 있다.Therefore, when loading and withdrawing a large-area substrate, the support plate is formed in the cassette housing layer by layer, and a plurality of pins are further mounted on the support plate to prevent the substrate from sagging. A new type of cassette of structure has been used.

이러한 구조의 카세트는 지지플레이트 상에 다수의 핀이 마련되고, 다수의 핀에 의해 대면적 기판이 지지되는 형태이기 때문에 대면적 기판의 처짐을 방지할 수 있으며, 따라서 로봇의 핑거와의 간섭이 발생되는 것을 방지할 수 있게 된다.Since the cassette having such a structure is provided with a plurality of pins on the support plate and a large area substrate is supported by the plurality of pins, sagging of the large area substrate can be prevented, and thus interference with a finger of the robot occurs. Can be prevented.

그런데, 이처럼 핀 구조를 적용한 종래의 카세트의 경우에는, 핀을 세워 장착하기 위해 핀의 높이만큼의 공간이 필요하고 또한 기판을 파지하는 로봇의 핑거의 상하 이동을 위한 공간이 필요하다는 구조적인 한계로 인해, 규격화된 단위크기의 카세트에 적재할 수 있는 기판의 개수가 제한적일 수밖에 없어 기판의 이송 효율이 저하될 수밖에 없는데, 카세트에 보다 많은 개수의 기판을 적재하여야 할 필요성은 기판의 가로/세로의 길이가 3 미터(m) 이상인 11 세대용 기판에 있어서는 더 절실하게 된다.However, in the case of the conventional cassette to which the fin structure is applied, the structural limitation is that a space equal to the height of the pin is required to mount the pin upright, and a space for vertical movement of the finger of the robot holding the substrate is required. Due to the limited number of substrates that can be loaded in a standardized unit size cassette, the transfer efficiency of the substrate is inevitably reduced. The necessity of loading a larger number of substrates in the cassette is the length of the substrate. In the 11th generation board | substrate whose is more than 3 meters (m), it becomes more urgent.

또한 핀 구조를 적용한 종래의 카세트의 경우에는, 기판을 카세트에 적재하거나 카세트로부터 기판을 인출할 때 핀으로 인해 기판에 스크래치(scratch) 불량이 발생될 소지가 높은 문제점이 있다.In addition, in the case of the conventional cassette to which the pin structure is applied, there is a high possibility that scratches may occur on the substrate due to the pins when the substrate is loaded into the cassette or the substrate is withdrawn from the cassette.

본 발명의 목적은, 규격화된 단위크기의 카세트를 기준으로 종래보다 많은 개수의 기판을 용이하게 적재할 수 있어 기판의 이송 효율을 향상시킬 수 있으며, 또한 카세트에 대한 기판의 적재 및 인출 과정이 공기 부상에 의한 비접촉식 방식으로 이송되기 때문에 기판에 스크래치(scratch) 불량이 발생되는 것을 종래보다 감소시킬 수 있는 기판 이송용 카세트 및 기판 이송용 로봇, 그리고 그것들을 구비한 기판 이송용 카세트 시스템을 제공하는 것이다.An object of the present invention, it is possible to easily load a larger number of substrates than on the basis of a standardized unit size cassette can improve the transfer efficiency of the substrate, and also the process of loading and withdrawing the substrate to the cassette The present invention provides a substrate transfer cassette, a substrate transfer robot, and a substrate transfer cassette system having the same, which can reduce the occurrence of scratch defects on a substrate because it is transferred in a non-contact manner due to injury. .

상기 목적은, 본 발명에 따라, 외관을 형성하는 카세트 하우징과, 상기 카세트 하우징의 내부에서 높이 방향을 따라 상호간 이격되게 배치되되 표면에 기판의 부상을 위한 다수의 제1 에어분사공이 형성되는 다수의 기판 부상용 적재플레이트를 구비하는 기판 이송용 카세트; 및 상기 기판을 상기 기판 이송용 카세트에 적재하거나 상기 기판 이송용 카세트로부터 인출하는 기판 이송용 로봇을 포함하며, 상기 기판 이송용 로봇은, 로봇 본체; 표면에 상기 기판의 부상을 위한 다수의 제2 에어분사공이 형성되며, 상기 로봇 본체와 연결되되 단부가 상기 기판 부상용 적재플레이트의 일측벽에 선택적으로 도킹 및 도킹해제되는 다수의 핑거; 및 상기 다수의 핑거 중 적어도 어느 한 핑거에 상기 핑거의 길이 방향을 따라 상대 이동 가능하게 결합되며, 상기 기판을 파지하여 상기 기판을 상기 기판 부상용 적재플레이트로 적재하거나 상기 기판 부상용 적재플레이트로부터 상기 기판을 인출하는 적어도 하나의 캐리어를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트 시스템에 의해 달성된다.The object is, according to the present invention, the cassette housing forming the appearance, and a plurality of first air injection holes for the surface of the substrate disposed on the surface of the cassette housing which are mutually spaced apart from each other are formed on the surface; A substrate transfer cassette having a substrate loading stack plate; And a substrate transfer robot for loading the substrate into the substrate transfer cassette or withdrawing the substrate from the substrate transfer cassette, wherein the substrate transfer robot comprises: a robot body; A plurality of second air spray holes formed on a surface of the substrate, the plurality of fingers being connected to the robot body and having end portions selectively docked and undocked at one side wall of the mounting plate for floating the substrate; And a relative movement coupled to at least one of the plurality of fingers along a length direction of the finger, and holding the substrate to load the substrate with the substrate floating loading plate or from the substrate floating loading plate. And at least one carrier for withdrawing the substrate.

여기서, 상기 다수의 기판 부상용 적재플레이트 각각은, 상기 카세트 하우징의 폭 방향으로 상호간 이격되게 배치된 다수의 단위적재플레이트를 포함할 수 있 으며, 상기 캐리어는, 상기 제1 에어분사공 및 상기 제2 에어분사공으로부터 분사되는 에어에 의하여 부상된 기판을 파지하여 상기 기판 부상용 적재플레이트로 적재하거나 상기 기판 부상용 적재플레이트로부터 상기 기판을 인출할 수 있다.Here, each of the plurality of substrate floating stacking plate may include a plurality of unit loading plates spaced apart from each other in the width direction of the cassette housing, the carrier, the first air spray hole and the first 2 The substrate floated by the air injected from the air injection hole may be gripped and loaded into the substrate floating loading plate, or the substrate may be taken out from the substrate floating loading plate.

에어 공급 및 취출용 펌프; 상기 에어 공급 및 취출용 펌프와 상기 핑거를 연결하여 상기 핑거의 제2 에어분사공으로 에어를 공급하거나 상기 핑거 내의 에어를 취출하는 제1 에어라인; 및 상기 제1 에어라인과는 다른 라인을 형성하면서 상기 에어 공급 및 취출용 펌프와 상기 핑거를 연결하여 상기 단위적재플레이트의 단부와 상기 핑거의 단부가 상호 도킹될 때 상기 단위적재플레이트의 제1 에어분사공으로 에어를 공급하거나 상기 단위적재플레이트 내의 에어를 취출하는 제2 에어라인을 더 포함할 수 있다.Pumps for supplying and blowing air; A first air line connecting the air supply and extraction pump and the finger to supply air to the second air injection hole of the finger or to extract air from the finger; And a first air of the unit loading plate when the end of the unit loading plate and the end of the finger are docked with each other by connecting the air supply and discharge pump and the finger while forming a line different from the first air line. It may further include a second air line for supplying air to the injection hole or to extract the air in the unit loading plate.

상기 제1 및 제2 에어라인 중에서 적어도 어느 한 에어라인은, 에어공급라인 및 에어취출라인으로 분리되어 마련될 수 있다.At least one of the first and second airlines may be provided separately from an air supply line and an air extraction line.

상기 단위적재플레이트의 단부와 상기 핑거의 단부가 상호 도킹된 상태를 감지하는 감지부; 및 상기 감지부의 신호에 기초하여 상기 에어 공급 및 취출용 펌프의 동작을 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.A detector configured to detect a state in which an end of the unit loading plate and an end of the finger are docked with each other; And a controller configured to control an operation of the air supply and discharge pump based on the signal of the detection unit.

상호간 선택적으로 도킹되는 상기 단위적재플레이트의 단부와 상기 핑거의 단부 중 어느 하나에는 요철부가 형성되어 있고, 상기 단위적재플레이트의 단부와 상기 핑거의 단부 중 다른 하나에는 상기 요철부와 맞물림되는 요홈부가 형성될 수 있다.An uneven portion is formed at one of an end portion of the unit loading plate and an end of the finger which are selectively docked with each other, and a recessed portion is formed at another one of the end portion of the unit loading plate and the end of the finger. Can be.

상기 요철부와 상기 요홈부는 부분적으로 사다리꼴 형상을 가질 수 있다.The uneven portion and the uneven portion may have a trapezoidal shape partially.

상기 요철부는 원추 형상으로 돌출될 수 있으며, 상기 요홈부는 상기 요철부가 삽입되도록 원추 형상으로 함몰될 수 있다.The uneven parts may protrude in a conical shape, and the uneven parts may be recessed in a conical shape so that the uneven parts are inserted.

상기 요철부와 상기 요홈부 중 적어도 어느 하나에는 도킹면에서의 에어 누출 방지를 위한 밀봉용 패킹이 더 개재될 수 있다.At least one of the uneven portion and the uneven portion may further include a sealing packing for preventing air leakage from the docking surface.

상기 캐리어는, 상기 핑거의 길이 방향을 따라 상대 이동 가능하게 상기 핑거에 연결되는 이동유닛; 및 상기 이동유닛에 결합되어 에어 흡착 방식에 의해 상기 기판을 흡착하여 파지하는 적어도 하나의 흡착부재를 포함할 수 있다.The carrier includes a mobile unit connected to the finger to be relatively movable along the longitudinal direction of the finger; And at least one adsorption member coupled to the mobile unit to adsorb and grip the substrate by an air adsorption method.

상기 캐리어는, 상기 이동유닛에 마련되어 상기 이동유닛 상에서 상기 적어도 하나의 흡착부재를 승하강 구동시키는 승하강 구동유닛을 더 포함할 수 있다.The carrier may further include a lift drive unit provided in the mobile unit to move the at least one suction member on the mobile unit.

상기 흡착부재는 그 상면이 상기 핑거의 상부 표면보다 높은 위치에 마련되도록 상기 이동유닛에 결합될 수 있다.The suction member may be coupled to the mobile unit such that an upper surface thereof is provided at a position higher than an upper surface of the finger.

상기 카세트 하우징에 결합되어 상기 다수의 단위적재플레이트를 지지하는 다수의 지지플레이트를 더 포함할 수 있다.It may further include a plurality of support plates coupled to the cassette housing for supporting the plurality of unit loading plates.

상기 다수의 지지플레이트는 상기 다수의 단위적재플레이트의 하면에 배치될 수 있다.The plurality of support plates may be disposed on a bottom surface of the plurality of unit loading plates.

상기 카세트 하우징은, 밑면을 형성하는 판 형상의 베이스 플레이트; 및 상기 기판이 출입되는 면을 제외한 나머지 면에 마련되고 상기 베이스 플레이트와 함께 상호간 연결되어 장치의 외관을 형성하는 다수의 골조 프레임을 포함할 수 있다.The cassette housing may include a plate-shaped base plate forming a bottom surface thereof; And it may include a plurality of frame frames provided on the other side except the surface on which the substrate is entered and connected to each other with the base plate to form the appearance of the device.

한편, 상기 목적은, 본 발명에 따라, 외관을 형성하는 카세트 하우징; 및 상 기 카세트 하우징의 내부에서 높이 방향을 따라 상호간 이격되게 배치되어 기판이 층별로 적재되며 표면에 상기 기판의 부상을 위한 다수의 제1 에어분사공이 형성되어 있는 다수의 기판 부상용 적재플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트에 의해서도 달성된다.On the other hand, the above object, according to the present invention, the cassette housing forming an appearance; And a plurality of substrate floating stacking plates disposed in the cassette housing so as to be spaced apart from each other along the height direction so that the substrates are stacked in layers and a plurality of first air spray holes are formed on the surface of the cassette housing. It is also achieved by a cassette for transferring substrates.

여기서, 상기 다수의 기판 부상용 적재플레이트 각각은, 상기 카세트 하우징의 폭 방향으로 상호간 이격되게 배치된 다수의 단위적재플레이트를 포함할 수 있다.Here, each of the plurality of substrate floating stacking plate may include a plurality of unit loading plates disposed to be spaced apart from each other in the width direction of the cassette housing.

상기 카세트 하우징에 결합되어 상기 다수의 단위적재플레이트를 지지하는 다수의 지지플레이트를 더 포함할 수 있으며, 상기 다수의 지지플레이트는 상기 다수의 단위적재플레이트의 하면에 배치될 수 있다.It may further include a plurality of support plates coupled to the cassette housing for supporting the plurality of unit loading plates, the plurality of support plates may be disposed on the lower surface of the plurality of unit loading plates.

한편, 상기 목적은, 본 발명에 따라, 로봇 본체; 표면에 상기 기판의 부상을 위한 다수의 제2 에어분사공이 형성되며, 상기 로봇 본체와 연결되되 단부가 상기 기판 부상용 적재플레이트의 일측벽에 선택적으로 도킹 및 도킹해제되는 다수의 핑거; 및 상기 다수의 핑거 중 적어도 어느 한 핑거에 상기 핑거의 길이 방향을 따라 상대 이동 가능하게 결합되며, 상기 기판을 파지하여 상기 기판을 상기 기판 부상용 적재플레이트로 적재하거나 상기 기판 부상용 적재플레이트로부터 상기 기판을 인출하는 적어도 하나의 캐리어를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 로봇에 의해서도 달성될 수 있다.On the other hand, the above object, according to the present invention, the robot body; A plurality of second air spray holes formed on a surface of the substrate, the plurality of fingers being connected to the robot body and having end portions selectively docked and undocked at one side wall of the mounting plate for floating the substrate; And a relative movement coupled to at least one of the plurality of fingers along a length direction of the finger, and holding the substrate to load the substrate with the substrate floating loading plate or from the substrate floating loading plate. It can also be achieved by a substrate transfer robot, characterized in that it comprises at least one carrier for withdrawing the substrate.

여기서, 상기 다수의 기판 부상용 적재플레이트 각각은, 상기 카세트 하우징의 폭 방향으로 상호간 이격되게 배치된 다수의 단위적재플레이트를 포함할 수 있으며, 상기 캐리어는, 상기 제1 에어분사공 및 상기 제2 에어분사공으로부터 분사되는 에어에 의하여 부상된 기판을 파지하여 상기 기판 부상용 적재플레이트로 적재하거나 상기 기판 부상용 적재플레이트로부터 상기 기판을 인출할 수 있다.Here, each of the plurality of substrate floating stacking plate may include a plurality of unit loading plates disposed to be spaced apart from each other in the width direction of the cassette housing, the carrier, the first air injection hole and the second The substrate floated by the air injected from the air injection hole may be held and loaded on the substrate floating loading plate, or the substrate may be withdrawn from the substrate floating loading plate.

상기 캐리어는, 상기 이동유닛에 마련되어 상기 이동유닛 상에서 상기 적어도 하나의 흡착부재를 승하강 구동시키는 승하강 구동유닛을 더 포함할 수 있으며, 상기 흡착부재는 그 상면이 상기 핑거의 상부 표면보다 높은 위치에 마련되도록 상 기 이동유닛에 결합될 수 있다.The carrier may further include a lift drive unit provided in the mobile unit to move the at least one suction member up and down on the mobile unit, wherein the suction member has a top surface higher than an upper surface of the finger. It may be coupled to the mobile unit to be provided in.

본 발명에 따르면, 규격화된 단위크기의 카세트를 기준으로 종래보다 많은 개수의 기판을 용이하게 적재할 수 있어 기판의 이송 효율을 향상시킬 수 있으며, 또한 카세트에 대한 기판의 적재 및 인출 과정이 공기 부상에 의한 비접촉식 방식으로 이송되기 때문에 기판에 스크래치(scratch) 불량이 발생되는 것을 종래보다 감소시킬 수 있다.According to the present invention, it is possible to easily load a larger number of substrates than the conventional one based on a standardized unit size cassette to improve the transfer efficiency of the substrate, and also the process of loading and withdrawing the substrate to the cassette Since it is conveyed in a non-contact manner by, it is possible to reduce the occurrence of scratch defects on the substrate than conventional.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, the operational advantages of the present invention, and the objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention and the contents described in the accompanying drawings.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.Hereinafter, the present invention will be described in detail by explaining preferred embodiments of the present invention with reference to the accompanying drawings. Like reference numerals in the drawings denote like elements.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 이송용 카세트 시스템의 분해 사시도이고, 도 2 및 도 3은 각각 도 1의 동작 상태를 단계적으로 도시한 사시도이며, 도 4는 도 1의 개략적인 평면도이고, 도 5a는 도 4의 부분 확대도이며, 도 5b는 도 5a의 결합 상태도이고, 도 6은 도 1의 개략적인 측면도이다.1 is an exploded perspective view of a cassette transfer cassette system according to a first embodiment of the present invention. FIGS. 2 and 3 are perspective views showing the operating state of FIG. 1 step by step, and FIG. 4 is a schematic view of FIG. 5A is a partially enlarged view of FIG. 4, FIG. 5B is a combined state diagram of FIG. 5A, and FIG. 6 is a schematic side view of FIG. 1.

이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 기판 이송용 카세트 시스템은, 크게 기판 이송용 카세트(110)와, 기판 이송용 카세트(110)와 상호작용하여 다수의 기판을 기판 이송용 카세트(110)의 내부로 적재하거나 기판 이송용 카세트(110) 내에 적재된 다수의 기판을 인출하는 기판 이송용 로봇(150)을 구비한다.As shown in these figures, the substrate transfer cassette system according to the present embodiment largely interacts with the substrate transfer cassette 110 and the substrate transfer cassette 110 to transfer a plurality of substrates to the substrate transfer cassette ( It is provided with a substrate transfer robot 150 for loading into the interior of the 110 or withdraw a plurality of substrates loaded in the substrate transfer cassette 110.

먼저, 기판 이송용 카세트(110)에 대해 살펴보면, 기판 이송용 카세트(110)는, 외관을 형성하는 카세트 하우징(120)과, 카세트 하우징(120)의 내부에서 높이 방향을 따라 상호간 이격되게 배치되어 기판이 층별로 적재되는 다수의 기판 부상용 적재플레이트(130)를 구비한다.First, referring to the substrate transfer cassette 110, the substrate transfer cassette 110 is arranged to be spaced apart from each other along the height direction in the cassette housing 120 and the cassette housing 120 to form an appearance. The substrate is provided with a plurality of substrate mounting stack plate 130 for stacking.

카세트 하우징(120)은, 밑면을 형성하는 베이스 플레이트(121)와, 기판이 출입되는 면을 제외한 나머지 면에 마련되고 상호간 연결되어 베이스 플레이트(121)와 함께 기판 이송용 카세트(110)의 외관을 형성하는 다수의 골조 프레임(122,123)을 포함한다.The cassette housing 120 is provided on the base plate 121 forming the bottom surface and the other surface except the surface on which the substrate is entered and connected to each other to form the exterior of the cassette transport cassette 110 together with the base plate 121. A plurality of framing frames 122 and 123 are formed.

베이스 플레이트(121)는 스토커 장치 또는 지게차 등을 이용하여 카세트 하우징(120)을 들어야 하기 때문에 판 형상으로 이루어져 카세트 하우징(120)의 밑면을 차폐하고 있는 반면, 측면 혹은 상면에 형성되는 골조 프레임(122,123)은 카세트 하우징(120)의 측면 혹은 상면을 완전히 차폐하고 있지는 않다.Since the base plate 121 must lift the cassette housing 120 using a stocker device or a forklift, the base plate 121 is formed in a plate shape to shield the bottom surface of the cassette housing 120, while the frame frames 122 and 123 are formed on the side or the top surface thereof. ) Does not completely shield the side or top of the cassette housing 120.

물론, 골조 프레임(122,123)들이 카세트 하우징(120)의 측면 혹은 상면을 완전히 차폐하는 구조로 형성되어도 무방하지만, 본 실시예와 같은 구조를 갖는 경우에는 원하는 강도는 유지하면서도 재료비 및 중량을 줄일 수 있는 이점이 있는 것이다. 측면에 형성되는 골조 프레임(122)은 후술할 단위적재플레이트(131)들을 지지하는 장소로 활용된다.Of course, the frame frames 122 and 123 may be formed in a structure that completely shields the side or the top surface of the cassette housing 120, but in the case of having the structure as in the present embodiment, it is possible to reduce the material cost and weight while maintaining the desired strength. There is an advantage. Frame frame 122 formed on the side is used as a place for supporting the unit loading plate 131 to be described later.

다수의 기판 부상용 적재플레이트(130)는 실질적으로 기판이 적재되는 부분 이다. 도 1 내지 도 3을 보면, 기판 이송용 카세트(110) 내에 높이 방향을 따라 복수 장의 기판, 특히 전술한 6 세대 이상의 기판이 복수 장 적재될 수 있도록 되어 있으므로 기판 부상용 적재플레이트(130) 역시 상호 이격되게 높이 방향을 따라 복수 개 마련된다.A plurality of substrate floating loading plate 130 is a portion where the substrate is substantially loaded. 1 to 3, a plurality of substrates, in particular, six or more generations of the above-described substrates can be stacked in the substrate transfer cassette 110 along the height direction, so that the substrate floating loading plate 130 is also mutually connected. A plurality is provided along the height direction to be spaced apart.

이는 도면의 편의를 위해 극히 일부만을 도시한 것이므로, 기판 이송용 카세트(110) 내에 적재될 수 있는 기판의 개수를 예컨대, 60장으로 하려면 기판 이송용 카세트(110) 내에 높이 방향을 따라 60장의 기판을 개별적으로 적재할 수 있는 기판 부상용 적재플레이트(130)를 60개 마련하면 된다. 도면의 편의를 위하여 기판 부상용 적재플레이트(130)를 일부만 도시한 도 1 내지 도 3보다 도 6에서 더 많은 수의 기판 부상용 적재플레이트(130)를 도시하였다.Since only a small portion is shown for convenience of drawing, the number of substrates that can be loaded in the substrate transfer cassette 110, for example, 60 sheets, is 60 substrates along the height direction in the substrate transfer cassette 110. What is necessary is just to provide 60 board mounting boards 130 for loading the boards individually. For the convenience of the drawings, a larger number of substrate floating loading plates 130 are shown in FIG. 6 than in FIGS. 1 to 3, which partially show the substrate floating loading plates 130.

물론, 기판 부상용 적재플레이트(130)를 60개 마련한다 하더라도 기판 이송용 카세트(110)의 전체 부피는 전혀 변화되지 않는다. 다시 말해, 종래의 핀 구조를 적용한 카세트(미도시)의 경우에는, 핀을 세워 장착하기 위해 핀의 높이만큼의 공간과 로봇의 핑거의 상하 이동을 위한 공간이 필요하다는 구조적인 한계로 인해, 규격화된 단위크기의 카세트에 적재할 수 있는 기판의 개수가 극히 제한적일 수밖에 없었지만, 본 실시예의 경우 아래와 같은 개선된 구조로 인해 동일한 부피의 기판 이송용 카세트(110)라 할지라도 보다 많은 개수의 기판을 적재시킬 수가 있는 것이다. 실제로 제품을 제작해보면 동일한 크기의 카세트에 종래의 핀 구조를 적용한 카세트에는 15장의 기판이, 그리고 본 실시예의 기판 이송용 카세트(110)에는 무려 60장의 기판이 수용될 수 있다.Of course, even if 60 substrate loading plate 130 is provided, the total volume of the substrate transfer cassette 110 does not change at all. In other words, in the case of a cassette (not shown) to which the conventional fin structure is applied, the standardization is required due to the structural limitation that space for the vertical movement of the finger of the robot and a space equal to the height of the pin is required to mount the pin upright. Although the number of substrates that can be loaded in the cassette having a unit size of the unit was limited to be extremely limited, in the present embodiment, due to the improved structure as described below, even if the same volume of substrate transfer cassette 110 is loaded with a larger number of substrates I can do it. In fact, when manufacturing a product, 15 substrates may be accommodated in a cassette having a conventional pin structure applied to a cassette of the same size, and 60 substrates may be accommodated in the substrate transfer cassette 110 of this embodiment.

전술한 바와 같이, 다수의 기판 부상용 적재플레이트(130)는 기판이 실질적으로 안착되어 지지되는 부분이다. 따라서 다수의 기판 부상용 적재플레이트(130)는 도시된 형상에서 벗어나 하나의 단일화된 넓은 판 형상이 되어도 좋으며, 이러한 형상이 적용된다 하더라도 본 발명의 효과를 제공하는 데에는 아무런 무리가 없다.As described above, the plurality of substrate floating loading plate 130 is a portion where the substrate is substantially seated and supported. Accordingly, the plurality of substrate floating loading plates 130 may be one unitary wide plate shape out of the illustrated shape, and even if such a shape is applied, there is no problem in providing the effect of the present invention.

하지만, 본 실시예에서는 다수의 기판 부상용 적재플레이트(130)를 상호간 이격되고 나란하게 배치된 다수의 단위적재플레이트(131)로 적용하고 있다. 도면을 보면, 한 층에 5개의 다수의 단위적재플레이트(131)가 상호간 이격 배치되어 기판이 적재되도록 하고 있다.However, in the present embodiment, a plurality of substrate loading plates 130 are applied to a plurality of unit loading plates 131 spaced apart from each other and arranged side by side. Referring to the drawings, a plurality of unit loading plates 131 on one layer are spaced apart from each other so that the substrate is loaded.

이러한 단위적재플레이트(131)들을 카세트 하우징(120) 내에 설치함에 있어 다수의 지지플레이트(140)가 더 마련된다. 다수의 지지플레이트(140)는 다수의 단위적재플레이트(131)와 연결되어 다수의 단위적재플레이트(131)를 지지하는 역할을 한다.In installing the unit loading plates 131 in the cassette housing 120, a plurality of support plates 140 are further provided. The plurality of support plates 140 are connected to the plurality of unit loading plates 131 to support the plurality of unit loading plates 131.

도 1에 확대된 부분을 참조하면, 지지플레이트(140)는 단위적재플레이트(131)의 하면에 배치된 상태에서 단위적재플레이트(131)를 하부에서 지지하고 있다. 하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한될 필요는 없으므로 지지플레이트(140)가 단위적재플레이트(131)의 상부에 위치된 상태에서 단위적재플레이트(131)와 연결되어 단위적재플레이트(131)를 지지할 수도 있다.Referring to the enlarged portion of FIG. 1, the support plate 140 supports the unit loading plate 131 from the bottom in a state in which it is disposed on the bottom surface of the unit loading plate 131. However, since the scope of the present invention does not need to be limited thereto, the support plate 140 is connected to the unit loading plate 131 in a state where it is positioned above the unit loading plate 131 to support the unit loading plate 131. You may.

뿐만 아니라 도면처럼 지지플레이트(140)와 단위적재플레이트(131)의 층상 배열 구조에서 벗어나 지지플레이트(140)와 단위적재플레이트(131)를 일체형으로 제작할 수도 있으며, 또는 지지플레이트(140)의 상면에 하방으로 함몰된 홈(미도시)을 형성하고, 이 홈에 단위적재플레이트(131)가 부분적으로 끼워지면서 연결되도록 제작할 수도 있다. 이러한 방식으로 구성할 경우에는 지지플레이트(140)와 단위적재플레이트(131)의 층상 높이를 더 줄일 수 있기 때문에 동일 조건 하에서 더 많은 개수의 기판을 적재할 수 있을 것이다.In addition, the support plate 140 and the unit loading plate 131 may be manufactured integrally with the support plate 140 and the unit loading plate 131 as shown in the drawing, or may be manufactured on the upper surface of the support plate 140. A recess (not shown) recessed downward may be formed, and the unit loading plate 131 may be partially inserted into the groove and connected to the groove. In this case, since the heights of the layers of the support plate 140 and the unit loading plate 131 can be further reduced, more substrates can be loaded under the same conditions.

이러한 단위적재플레이트(131)들의 표면에는 기판의 부상을 위한 다수의 제1 에어분사공(132)이 형성되어 있다. 후술할 동작에 의해, 제1 에어분사공(132)으로부터 에어가 분사되면 기판은 단위적재플레이트(131)들의 표면에서 상방으로 약간 부상될 수 있으며, 제1 에어분사공(132)을 통한 에어 분사가 중지되면 기판이 단위적재플레이트(131)들의 표면에 안착되면서 적재될 수 있게 된다.A plurality of first air injection holes 132 are formed on the surface of the unit loading plates 131 for floating of the substrate. By the operation to be described later, when the air is injected from the first air injection hole 132, the substrate may be slightly floated upward from the surface of the unit loading plate 131, the air injection through the first air injection hole 132 When is stopped, the substrate may be loaded while being seated on the surface of the unit loading plates 131.

다음으로, 기판 이송용 로봇(150)에 대해 살펴보면, 기판 이송용 로봇(150)은, 로봇 본체(160)와, 로봇 본체(160)와 연결되며 표면에 기판의 부상을 위한 다수의 제2 에어분사공(172)이 형성되어 있고 단부가 다수의 단위적재플레이트(131)의 단부에 선택적으로 도킹(도 5b 참조) 및 도킹해제되는(도 5a 참조) 다수의 핑거(170)와, 다수의 핑거(170) 중에서 선택된 2개의 핑거(170)에 결합되어 핑거(170)의 길이 방향을 따라 이동 가능하며 기판을 파지하여 기판을 다수의 단위적재플레이트(131)로 적재하거나 다수의 단위적재플레이트(131)로부터 상기 기판을 인출하는 캐리어(180)를 구비한다.Next, referring to the substrate transfer robot 150, the substrate transfer robot 150 is connected to the robot body 160 and the robot body 160 and includes a plurality of second air for injuring the substrate on the surface. A plurality of fingers 170 with a plurality of fingers 170 formed therein and having end portions selectively docked (see FIG. 5B) and undocked (see FIG. 5A) at the ends of the plurality of unit loading plates 131. Coupled to the two fingers 170 selected from the 170 is movable along the longitudinal direction of the finger 170, and holding the substrate to load the substrate in a plurality of unit loading plate 131 or a plurality of unit loading plate 131 A carrier 180 for withdrawing the substrate from the substrate.

로봇 본체(160)는 기판 이송용 로봇(150)의 기본 골격을 형성하는 부분으로서 기판 이송용 로봇(150)의 동작과 관련된 각종 부품이나 연결선, 그리고 주변 부 품들이 장착되는 장소로 활용된다. 도면에는 편의를 위해 로봇 본체(160)를 점선의 사각 블록으로 도시하고 있으나, 이는 개략적으로 도시한 것일 뿐 로봇 본체(160)의 형상이 도면과 같을 필요는 없다. 이러한 로봇 본체(160)는 스토커(stocker) 장치의 본체일 수도 있다.The robot body 160 is a part that forms a basic skeleton of the robot for transporting the substrate 150, and is used as a place where various components, connection lines, and peripheral parts related to the operation of the substrate transport robot 150 are mounted. In the drawings, the robot body 160 is shown as a dotted rectangular block for convenience, but this is only schematically illustrated, and the shape of the robot body 160 need not be the same as the drawing. The robot body 160 may be a body of a stocker device.

다수의 핑거(170)는 다수의 단위적재플레이트(131)와 선택적으로 도킹(도 5b 참조) 및 도킹해제되는(도 5a 참조) 부분이며, 다수의 단위적재플레이트(131)와의 도킹 시 기판이 이송되는 라인을 형성한다. 핑거(170)들의 표면에는 기판의 부상을 위한 다수의 제2 에어분사공(172)이 형성된다. 앞서 기술한 제1 에어분사공(132)과 마찬가지로, 후술할 동작에 의해, 제2 에어분사공(172)으로부터 에어가 분사되면 기판은 핑거(170)들의 표면에서 상방으로 약간 부상될 수 있으며, 제2 에어분사공(172)을 통한 에어 분사가 중지되면 기판이 핑거(170)들의 표면에 안착될 수 있게 된다.The plurality of fingers 170 are portions that are selectively docked (see FIG. 5B) and undocked (see FIG. 5A) with the plurality of unit loading plates 131, and the substrate is transferred when docked with the plurality of unit loading plates 131. To form a line. On the surface of the fingers 170, a plurality of second air spray holes 172 for floating of the substrate are formed. Similar to the first air injection hole 132 described above, when air is injected from the second air injection hole 172 by the operation to be described later, the substrate may slightly rise upward from the surface of the fingers 170, When the air injection through the second air injection hole 172 is stopped, the substrate may be seated on the surfaces of the fingers 170.

주로 도 5a 및 도 5b를 참조하면, 제1 에어분사공(132) 및 제2 에어분사공(172)을 통해 에어가 분사되기 위해, 본 실시예의 기판 이송용 카세트 시스템은, 에어 공급 및 취출용 펌프(190), 그리고 제1 에어라인(193) 및 제2 에어라인(194)을 비롯하여, 단위적재플레이트(131)의 단부와 핑거(170)의 단부가 상호 도킹된 상태를 감지하는 감지부(미도시)와, 감지부의 신호에 기초하여 에어 공급 및 취출용 펌프(190)의 동작을 제어하는 제어부(192)를 더 구비한다.Mainly referring to FIGS. 5A and 5B, in order to inject air through the first air jetting hole 132 and the second air jetting hole 172, the cassette transporting system of the substrate of the present embodiment is used for supplying and extracting air. A sensing unit for detecting a state in which an end of the unit loading plate 131 and an end of the finger 170 are docked with each other, including the pump 190 and the first air line 193 and the second air line 194 ( And a controller 192 for controlling the operation of the air supply and extraction pump 190 based on the signal of the detector.

에어 공급 및 취출용 펌프(190)는 에어를 공급하거나 공급된 에어를 취출(배기)하는 구성이다. 이러한 에어 공급 및 취출용 펌프(190)는 기판 이송용 로 봇(150)에 마련되어도 좋고, 혹은 기판 이송용 로봇(150)과는 별개의 위치에 마련되어 라인만이 해당 부분에 연결되도록 해도 좋다. 본 실시예의 경우에는 에어 공급 및 취출용 펌프(190)라 하여 하나의 부품으로 설명하고 있지만 필요에 따라 에어 공급용 펌프와 에어 취출용 펌프를 별개로 구비하여도 무방하다.The air supply and blowout pump 190 is configured to supply air or to blow out (exhaust) the supplied air. The air supply and blowout pump 190 may be provided in the substrate transport robot 150, or may be provided at a position separate from the substrate transport robot 150 so that only the line is connected to the corresponding portion. In the present embodiment, the air supply and blowout pump 190 is described as one component, but if necessary, the air supply pump and the air blowout pump may be separately provided.

제1 에어라인(193)은 에어 공급 및 취출용 펌프(190)와 핑거(170)를 연결하여 핑거(170)의 제2 에어분사공(172)으로 에어를 공급하거나 핑거(170) 내의 에어를 취출하는 역할을 한다. 핑거(170)는 도시된 것처럼 일정한 부피를 갖는 사각 블록 구조를 갖는데, 그 내부는 비어 있다. 따라서 에어 공급 및 취출용 펌프(190)로 하여금 제1 에어라인(193)을 통해 핑거(170)의 내부로 에어를 공급하면 공급된 에어는 핑거(170)의 표면에 형성된 제2 에어분사공(172)을 통해 분사되면서 그 상부의 기판을 소정 높이 부상시킬 수 있게 된다. 한편, 제1 에어라인(193)은 핑거(170)가 단위적재플레이트(131)와 도킹하기 전에 기판의 안전한 이동을 위하여 핑거(170)가 기판을 흡착할 때도 사용될 수 있다. 이 때는 물론 에어를 취출하거나 진공을 제공해야 할 것이다.The first air line 193 connects the air supply and discharge pump 190 and the finger 170 to supply air to the second air injection hole 172 of the finger 170 or to supply air in the finger 170. It serves to take out. Finger 170 has a rectangular block structure with a constant volume, as shown, the interior thereof is empty. Therefore, when the air supply and blow-out pump 190 supplies air to the inside of the finger 170 through the first air line 193, the supplied air is supplied to the second air spray hole formed on the surface of the finger 170 ( While spraying through 172, it is possible to raise the substrate above the predetermined height. Meanwhile, the first airline 193 may also be used when the finger 170 adsorbs the substrate for safe movement of the substrate before the finger 170 docks with the unit loading plate 131. In this case, of course, you will need to blow out the air or provide a vacuum.

제1 에어라인(193)이 핑거(170) 측의 기판을 부상시키는데 사용되고 있는데 반해, 제2 에어라인(194)은 단위적재플레이트(131) 측의 기판을 부상시키는데 사용된다. 즉 제2 에어라인(194)은 제1 에어라인(193)과는 다른 라인을 형성하면서 에어 공급 및 취출용 펌프(190)와 핑거(170)를 연결하여 단위적재플레이트(131)의 단부와 핑거(170)의 단부가 상호 도킹될 때 단위적재플레이트(131)의 제1 에어분사공(132)으로 에어를 공급하거나 단위적재플레이트(131) 내의 에어를 취출하는 역할 을 한다. 이 때, 제2 에어라인(194)으로 공급된 에어가 단위적재플레이트(131)의 내부 공간을 지나 제1 에어분사공(132)을 통해 분사되기 전에 핑거(170)의 제2 에어분사공(172)으로 빠져나가는 현상을 저지하기 위해, 제1 에어라인(193)과는 달리 제2 에어라인(194)은 핑거(170)의 내부에 파이프(pipe) 형태로 마련된다.While the first air line 193 is used to float the substrate on the finger 170 side, the second air line 194 is used to float the substrate on the unit loading plate 131 side. In other words, the second air line 194 forms a different line from the first air line 193 and connects the air supply and discharge pump 190 and the finger 170 to the end and the finger of the unit loading plate 131. When the ends of the 170 are docked with each other, it serves to supply air to the first air injection hole 132 of the unit loading plate 131 or to blow out the air in the unit loading plate 131. At this time, before the air supplied to the second air line 194 is injected through the first air spray hole 132 through the internal space of the unit loading plate 131, the second air spray hole of the finger 170 ( Unlike the first airliner 193, the second airliner 194 may be provided in a pipe shape inside the finger 170 to prevent the phenomena exiting from the vehicle 172.

제2 에어라인(194)을 통해 단위적재플레이트(131) 측으로 에어가 공급되어 단위적재플레이트(131)에 형성된 제1 에어분사공(132)으로 에어가 분사되기 위해서는, 기판 이송용 카세트(110)에 대해 기판 이송용 로봇(150)이 접근하여 기판 이송용 로봇(150)에 마련된 핑거(170)의 단부가 기판 이송용 카세트(110)에 마련된 단위적재플레이트(131)의 단부에 도킹(결합)되어야 하며, 그 후에 제어부(192)가 에어 공급 및 취출용 펌프(190)의 동작을 제어해야 한다.In order for the air to be supplied to the unit loading plate 131 through the second air line 194 and the air is injected into the first air injection hole 132 formed in the unit loading plate 131, the substrate transfer cassette 110 may be used. The substrate transfer robot 150 approaches, and the end of the finger 170 provided in the substrate transfer robot 150 docks (engages) to the end of the unit loading plate 131 provided in the substrate transfer cassette 110. After that, the control unit 192 should control the operation of the pump 190 for supplying and blowing air.

이 때, 만일 단위적재플레이트(131)의 단부와 핑거(170)의 단부가 직선 형태로 평평하다면 단위적재플레이트(131)와 핑거(170) 간이 도킹 작업이 원활하지 못할 수 있다. 이에, 본 실시예에서는 단위적재플레이트(131)와 핑거(170)가 정위치에서 용이하게 도킹될 수 있도록, 핑거(170)의 단부에는 요철부(170a)를, 그리고 단위적재플레이트(131)의 단부에는 요철부(170a)가 맞물림되는 요홈부(131a)를 형성하고 있다(도 1 및 도 2의 확대 부분 참조).At this time, if the end of the unit loading plate 131 and the end of the finger 170 is flat in a straight form, the docking operation between the unit loading plate 131 and the finger 170 may not be smooth. Thus, in the present embodiment, the unit loading plate 131 and the finger 170 can be easily docked in place, so that the end of the finger 170 has an uneven portion 170a, and the unit loading plate 131 The end portion is formed with the groove portion 131a into which the uneven portion 170a is engaged (see the enlarged portion of FIGS. 1 and 2).

이러한 요철부(170a)와 요홈부(131a)로 인해 도 1에서 도 2와 같은 형태의 도킹이 쉽고 원활하게 진행될 수 있다. 그리고 단위적재플레이트(131)의 단부와 핑거(170)의 단부에는 제2 에어라인(194)을 통해 공급된 에어가 흐르는 홀(미도시, hole)이 더 형성되어 있으며, 도킹 시에 이 홀들이 상호간 연통하게 된다(도 5b 참 조).Due to the concave-convex portion 170a and the concave portion 131a, the docking of the shape shown in FIG. 1 to 2 may be easily and smoothly performed. In addition, holes (not shown) through which air supplied through the second air line 194 flows are further formed at the end of the unit loading plate 131 and the end of the finger 170. They communicate with each other (see Figure 5b).

요철부(170a)와 요홈부(131a)는 단순한 한글 'ㄷ'자의 형상 등 다양한 형상을 가질 수 있지만, 좀 더 용이하고 정확한 도킹이 되도록 본 실시예에서 요철부(170a)와 요홈부(131a)는 사다리꼴 형상을 갖도록 제작된다. 그리고 도면에는 도시하고 있지 않지만, 도킹 후 에어가 공급되거나 취출되는 과정에서 도킹면 사이로 에어가 누출되는 현상을 저지하거나 도킹 시 충격을 완화하기 위해, 요철부(170a)와 요홈부(131a) 중 적어도 어느 하나에는 도킹면에서의 에어 누출 방지 그리고 충격 완화를 위한 밀봉용 패킹(미도시)이 더 개재될 수 있다.The concave-convex portion 170a and the concave portion 131a may have various shapes such as a simple Korean letter 'c', but in the present embodiment, the concave-convex portion 170a and the concave portion 131a may be more easily and accurately docked. Is manufactured to have a trapezoidal shape. Although not shown in the drawings, at least one of the uneven portion 170a and the recessed portion 131a may be used to prevent the air from leaking between the docking surfaces during the supply or withdrawal of the air after docking, or to mitigate an impact during docking. Either one may further include a sealing packing (not shown) for preventing air leakage and shock mitigation at the docking surface.

한편, 도 2와 같이 단위적재플레이트(131)와 핑거(170)가 도킹되고 제1 에어분사공(132) 및 제2 에어분사공(172)을 통해 에어가 분사되면, 도 3과 같이 핑거(170) 측의 기판을 기판 이송용 카세트(110)의 내부로 이송시킨 후 단위적재플레이트(131)의 상부 영역으로 이송시켜야 한다. 이는 핑거(170)에 결합된 캐리어(180)가 담당한다.Meanwhile, when the unit loading plate 131 and the finger 170 are docked and air is injected through the first air injection hole 132 and the second air injection hole 172, as shown in FIG. The substrate on the 170 side is transferred to the inside of the substrate transport cassette 110 and then transferred to the upper region of the unit loading plate 131. This is the carrier 180 coupled to the finger 170.

캐리어(180)는, 도 5a, 도 5b 및 도 6에 도시된 바와 같이, 핑거(170)에 연결되어 핑거(170)의 길이 방향을 따라 이동 가능한 이동유닛(181)과, 이동유닛(181)에 결합되어 에어 흡착 방식에 의해 기판을 흡착하여 파지하는 흡착부재(182)를 구비한다.As shown in FIGS. 5A, 5B, and 6, the carrier 180 is connected to the finger 170 and is movable unit 181 movable along the longitudinal direction of the finger 170, and the mobile unit 181. And an adsorption member 182 which is coupled to the substrate and adsorbs and grips the substrate by an air adsorption method.

본 실시예의 경우, 2개의 캐리어(180)가 마련되어 있지만, 캐리어(180)의 개수나 위치, 그리고 그 형상이 본 발명의 권리범위를 제한할 수는 없다. 따라서 캐리어(180)의 개수나 위치, 그리고 그 형상은 도시된 것을 벗어나 다양하게 변경 적 용될 수 있다.In the present embodiment, two carriers 180 are provided, but the number, position, and shape of the carriers 180 may not limit the scope of the present invention. Therefore, the number or location of the carrier 180, and the shape thereof may be variously changed out of the illustrated.

이동유닛(181)은 통상의 직선 이동 수단인 리니어 모터(linear motor)로 적용될 수 있지만, 모터와 볼스크루 조합이나 혹은 실린더 장치에 의해 구현되어도 좋다.The moving unit 181 may be applied as a linear motor which is a general linear moving means, but may be implemented by a combination of a motor and a ball screw or a cylinder device.

흡착부재(182)는 별도로 제공된 에어의 흡인력에 의해 기판의 하면을 흡착하게 되는데, 기판이 부상된 상태에서 이송되기 때문에 흡착부재(182)는 기판의 끝 부분을 국부적으로 흡착하여 이동유닛(181)에 의해 이동하면서 기판을 이송시키면 그것으로 충분하다.The adsorption member 182 adsorbs the lower surface of the substrate by the suction force of separately provided air. Since the substrate is transported in a floating state, the adsorption member 182 locally adsorbs the end portion of the substrate to move the mobile unit 181. It is enough to transfer the substrate while moving by.

이러한 흡착부재(182)는 그 상단부가 핑거(170)의 상부 표면보다 높은 위치에 마련되도록 이동유닛(181)에 결합된다(도 6의 확대 부분 참조). 하지만, 흡착부재(182)에 흡착부재(182)로의 에어 공급 시 신장되고 에어 차단 시 수축되는 주름구조가 적용된다면, 흡착부재(182)의 상단부가 반드시 핑거(170)의 상부 표면보다 높은 위치에 마련되도록 이동유닛(181)에 결합될 필요는 없다.The adsorption member 182 is coupled to the mobile unit 181 such that its upper end is provided at a position higher than the upper surface of the finger 170 (see enlarged portion of FIG. 6). However, if a wrinkle structure is applied to the adsorption member 182 that extends when air is supplied to the adsorption member 182 and contracts when the air is blocked, the upper end of the adsorption member 182 is necessarily positioned at a position higher than the upper surface of the finger 170. It is not necessary to be coupled to the mobile unit 181 to be provided.

물론, 이의 구성 외에도 캐리어(180)는 동작의 편의성을 고려하여 이동유닛(181)에 마련되어 이동유닛(181) 상에서 흡착부재(182)를 승하강 구동시키는 승하강 구동유닛(미도시)을 더 마련할 수도 있을 것이다.Of course, in addition to its configuration, the carrier 180 is further provided in the mobile unit 181 in consideration of the convenience of operation, further provided with a lifting unit (not shown) for driving up and down driving the suction member 182 on the mobile unit 181. You could do it.

이러한 구성을 갖는 기판 이송용 카세트 시스템을 통해 기판이 기판 이송용 카세트(110) 내로 적재되는 작용에 대해 설명하면 다음과 같다.The operation of loading the substrate into the substrate transfer cassette 110 through the substrate transfer cassette system having such a configuration will be described below.

도 1과 같이 기판 이송용 카세트(110)에 대해 기판 이송용 로봇(150)이 이격되어 있고 핑거(170)의 표면에 기판이 안착되어 있는 상태에서, 기판 이송용 카세 트(110)에 대해 기판 이송용 로봇(150)이 접근하여 기판 이송용 로봇(150)에 마련된 핑거(170)의 요철부(170a)가 기판 이송용 카세트(110)에 마련된 단위적재플레이트(131)의 요홈부(131a)에 맞물림되면서 도킹된다.As shown in FIG. 1, the substrate transfer robot 150 is spaced apart from the substrate transfer cassette 110 and the substrate is placed on the surface of the finger 170. The concave-convex portion 170a of the finger 170 provided on the substrate transfer robot 150 approaches the convex portion 131a of the unit loading plate 131 provided on the substrate transfer cassette 110. Docked while engaged.

핑거(170)와 단위적재플레이트(131) 간의 도킹이 완료되면, 제어부(192)가 에어 공급 및 취출용 펌프(190)의 동작을 제어하여 제1 에어라인(193) 및 제2 에어라인(194)을 통해 에어가 공급되도록 한다.When the docking between the finger 170 and the unit loading plate 131 is completed, the controller 192 controls the operation of the air supply and blow-out pump 190 to control the first air line 193 and the second air line 194. Air is supplied through

우선 제1 에어라인(193)을 통해 공급된 에어는 핑거(170)의 내부를 따라 유동하다가 핑거(170)의 표면에 형성된 제2 에어분사공(172)을 통해 분사되면서 그 상부의 기판을 소정 높이 부상시키게 된다. 그리고 캐리어(180)의 흡착부재(182)는 기판의 후단 일 영역을 흡착한다.First, the air supplied through the first air line 193 flows along the inside of the finger 170 and is injected through the second air spray hole 172 formed on the surface of the finger 170 to define a substrate thereon. Injured high. The adsorption member 182 of the carrier 180 adsorbs the rear end region of the substrate.

또한 제2 에어라인(194)을 통해 공급된 에어는 핑거(170)의 내부로 연장된 파이프 형상의 제2 에어라인(194)을 따라 도킹면을 지나 단위적재플레이트(131)의 내부로 공급되고, 이어 단위적재플레이트(131)의 표면에 형성된 제1 에어분사공(132)을 통해 분사된다.In addition, the air supplied through the second air line 194 is supplied into the unit loading plate 131 through the docking surface along the pipe-shaped second air line 194 extending into the finger 170. Then, it is injected through the first air injection hole 132 formed on the surface of the unit loading plate 131.

제1 에어분사공(132) 및 제2 에어분사공(172)을 통해 에어가 분사되면, 도 3에 도시된 바와 같이, 캐리어(180)의 이동유닛(181)이 핑거(170)의 길이 방향을 따라 이동하면서 공기 부상된 상태의 기판을 기판 이송용 카세트(110)의 내부로 이송시켜 단위적재플레이트(131)의 상부로 위치시킨다. 이 경우, 종래의 접촉식 이송과는 달리, 본 실시예의 경우에는 기판이 일정 높이 부상된 상태에서 비접촉식 방식으로 이송되기 때문에 기판에 스크래치(scratch) 불량이 발생되는 것을 저지할 수 있게 되는 것이다.When air is injected through the first air injection hole 132 and the second air injection hole 172, as shown in Figure 3, the moving unit 181 of the carrier 180 is the longitudinal direction of the finger 170 While moving along, the substrate in an air-floating state is transferred to the inside of the substrate transfer cassette 110 and positioned above the unit loading plate 131. In this case, unlike the conventional contact transfer, in the present embodiment, since the substrate is transferred in a non-contact manner in a state where the substrate is in a certain height, it is possible to prevent the occurrence of scratches on the substrate.

이처럼 캐리어(180)에 의해 기판이 단위적재플레이트(131)의 상부로 이송되고 나면, 제어부(192)가 공급된 에어를 차단하거나 잔여 에어를 취출시킨다. 그러면 단위적재플레이트(131)의 상부에서 부상된 상태로 있던 기판은 하강하여 단위적재플레이트(131)의 상부 표면에 적재될 수 있게 된다.As such, after the substrate is transferred to the upper portion of the unit loading plate 131 by the carrier 180, the controller 192 cuts off the supplied air or extracts the remaining air. Then, the substrate, which has been lifted from the upper portion of the unit loading plate 131, is lowered to be loaded on the upper surface of the unit loading plate 131.

이러한 기판의 적재 동작은 복수 개의 층으로 된 단위적재플레이트(131)들마다 모두 동일하게 이루어질 수 있으며, 기판 이송용 카세트(110) 내에 원하는 개수의 기판이 모두 적재되고 나면, 기판 이송용 카세트(110)는 그 자체로 다음 공정으로 이송되고, 해당 공정에 도달되면 해당 공정에 위치되어 있는 로봇(미도시)에 의해 기판이 인출된다. 한편, 기판의 인출 과정은 전술한 역순으로 진행된다.The loading operation of the substrate may be the same for each unit loading plate 131 having a plurality of layers. After the desired number of substrates are loaded in the substrate transfer cassette 110, the substrate transfer cassette 110 may be used. ) Itself is transferred to the next process, and when the process is reached, the substrate is taken out by a robot (not shown) located in the process. On the other hand, the withdrawal process of the substrate proceeds in the reverse order described above.

이와 같이, 본 실시예에 따르면, 종래와 같이 기판을 지지하기 위한 핀(미도시, pin)을 장착할 필요가 없고 또한 핑거(170)가 기판 이송용 카세트(110)의 내부로 진입할 필요가 없으므로 그만큼 공간을 더욱 확보할 수 있고 또한 공간을 활용할 수 있다. 따라서 규격화된 단위크기의 카세트(110)를 기준으로 종래보다 많은 개수의 기판을 용이하게 적재할 수 있어 기판의 이송 효율을 향상시킬 수 있으며, 또한 카세트(110)에 대한 기판의 적재 및 인출 과정이 공기 부상에 의한 비접촉식 방식으로 이송되기 때문에 기판에 스크래치 불량이 발생되는 것을 종래보다 감소시킬 수 있게 된다.As such, according to this embodiment, it is not necessary to mount a pin (not shown) for supporting the substrate as in the prior art, and the finger 170 needs to enter the inside of the substrate transfer cassette 110. There is no space to make more space, and space can be utilized. Therefore, it is possible to easily load a larger number of substrates than the conventional one based on the standardized unit size cassette 110 can improve the transfer efficiency of the substrate, and also the process of loading and withdrawing the substrate to the cassette 110 Since it is conveyed in a non-contact manner due to air floating, it is possible to reduce the occurrence of scratch defects on the substrate as compared with the prior art.

도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 이송용 카세트 시스템의 요부 확대 평면도이다.7 is an enlarged plan view of the main portion of the cassette system for transferring a substrate according to the second embodiment of the present invention.

전술한 실시예에서는 제1 에어라인(193)을 통해 에어의 공급 및 취출이 모두 진행되고 있으나, 본 실시예의 경우, 에어공급라인(193a) 및 에어취출라인(193b)으로 분리되어 있으며, 이렇게 구현하더라도 동작에는 아무런 무리가 없다.In the above-described embodiment, both the supply and withdrawal of air are being performed through the first air line 193, but in the present embodiment, the air supply line 193a and the air blowout line 193b are separated. Even if there is no problem in operation.

도 8은 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 이송용 카세트 시스템에서 상호 도킹되는 단위적재플레이트와 핑거 간의 배치 상태 요부 사시도이다.FIG. 8 is a perspective view illustrating an arrangement state of main parts between a unit loading plate and a finger which are docked with each other in a cassette transfer cassette system according to a third exemplary embodiment of the present invention.

이 도면을 참조할 때, 본 실시예의 경우, 상호 도킹되는 핑거(270)의 단부와 단위적재플레이트(231)의 단부에 각각 형성된 요철부(270a)와 요홈부(231a)는 각각 원추 형상(콘 형상)으로 이루어지고 있다.Referring to this figure, in the present embodiment, the concave-convex portion 270a and the concave portion 231a respectively formed at the end of the finger 270 and the end of the unit loading plate 231 which are mutually docked are conical shapes (cones, respectively). Shape).

여기서, 원추 형상이란 끝이 완전히 뾰족한 형태일 수도 있고, 도시된 바와 같이 끝이 절두된 절두 원추 형상일 수도 있다.Here, the conical shape may be a shape that is completely pointed, or may be a truncated cone shape truncated as shown.

이와 같이, 핑거(270)의 단부에 원추 형상의 요철부(270a)를, 그리고 단위적재플레이트(231)의 단부에 역시 원추 형상의 요홈부(231a)를 마련한 상태에서, 단위적재플레이트(231)에 대해 핑거(270)가 도킹되면 설사 단위적재플레이트(231)와 핑거(270) 간이 가상의 도킹 축선이 완전히 일치하지 않는다 하더라도 원추 형상 혹은 절두 원추 형상이라는 구조적인 특징, 즉 상하좌우로 틀어진 위치가 자연스럽게 보정되는 특징에 의해 단위적재플레이트(231)에 대해 핑거(270)가 용이하게 도킹될 수 있게 될 뿐만 아니라 도킹 후 단위적재플레이트(231)와 핑거(270)의 상면은 실질적으로 단차 없는 일면을 형성할 수 있게 된다.In this manner, the unit loading plate 231 is provided with a conical concave-convex portion 270a at the end of the finger 270 and a concave groove 231a at the end of the unit loading plate 231. When the finger 270 is docked with respect to the structural feature of the conical shape or truncated cone shape, that is, the position of the conical shape or truncated cone shape, even if the virtual docking axis between the unit loading plate 231 and the finger 270 does not completely match. Due to the naturally corrected feature, not only the finger 270 can be easily docked with respect to the unit loading plate 231, but also the upper surface of the unit loading plate 231 and the finger 270 after docking has a substantially free surface. It can be formed.

참고로, 단위적재플레이트(231)와 핑거(270)는 도시된 바와 같이 그 두께가 비교적 얇은 플레이트로 제작되는 것이 일반적이기 때문에 단위적재플레이트(231) 와 핑거(270)들에 자체 변형이 발생되거나 아니면 기판 이송용 로봇(150)의 위치에 오차가 발생되는 등의 다양한 상황 하에서 단위적재플레이트(231)와 핑거(270) 간의 도킹이 이루어지면, 도킹 후 단위적재플레이트(231)와 핑거(270)의 상면에는 단차가 발생될 수도 있는데, 만약 단차가 발생되면 이송되는 기판이 단차에 부딪히는 문제점이 발생된다.For reference, since the unit loading plate 231 and the finger 270 are generally made of a plate having a relatively thin thickness, as shown, the unit loading plate 231 and the fingers 270 may have their own deformation. Alternatively, when the docking is performed between the unit loading plate 231 and the finger 270 under various situations, such as an error occurs in the position of the substrate transfer robot 150, the unit loading plate 231 and the finger 270 after docking. A step may be generated on the upper surface of the substrate. If a step is generated, a problem occurs that the substrate to be transferred hits the step.

하지만, 본 실시예와 같이, 단위적재플레이트(231)와 핑거(270)의 도킹 구조에서 요철부(270a)와 요홈부(231a)를 각각 원추 형상 혹은 절두 원추 형상으로 형성하면, 단위적재플레이트(231)와 핑거(270)들에 변형이 발생되거나 아니면 기판 이송용 로봇(150)의 위치에 오차가 발생되는 등의 다양한 상황이 발생된다 하더라도 원추 형상 혹은 절두 원추 형상의 구조적인 특징으로 인해 도킹 후 단위적재플레이트(231)와 핑거(270)의 상면에는 단차가 발생되지 않게 되는 것이다. 따라서 단차로 인해 야기되는 다양한 문제점을 해소할 수 있게 되는 것이다.However, in the docking structure of the unit loading plate 231 and the finger 270 as in the present embodiment, when the uneven portion 270a and the recessed portion 231a are respectively formed in a cone shape or a truncated cone shape, the unit loading plate ( 231 and the fingers 270 or even after a variety of situations, such as a deformation occurs or an error occurs in the position of the substrate transfer robot 150 after docking due to the structural features of the cone shape or truncated cone shape Steps are not generated on the upper surfaces of the unit loading plate 231 and the finger 270. Therefore, it is possible to solve various problems caused by the step.

한편, 본 실시예에서는 핑거(270)의 단부에 원추 형상의 요철부(270a)를, 그리고 단위적재플레이트(231)의 단부에 역시 원추 형상의 요홈부(231a)를 마련하고 있지만, 반대로 핑거(270)의 단부에 원추 형상의 요홈부(미도시)를, 그리고 단위적재플레이트(231)의 단부에 역시 원추 형상의 요철부(미도시)를 형성해도 무방하다.On the other hand, in the present embodiment, the conical concave-convex portion 270a is provided at the end of the finger 270 and the conical groove 231a is also provided at the end of the unit loading plate 231. Conical concave portions (not shown) may be formed at the end of 270, and conical concave and convex portions (not shown) may also be formed at the end of the unit loading plate 231.

뿐만 아니라 앞선 설명에서는 단위적재플레이트(231)와 핑거(270)가 얇은 플레이트(사각 플레이트)로 제작된다라고 설명하였으나 경우에 따라 이들은 단면이 원 형상을 갖는 봉 구조일 수도 있으며, 이러한 경우일지라도 전술한 요철부(270a)와 요홈부(231a) 구조를 동일하게 적용할 수 있을 것이다.In addition, in the foregoing description, the unit loading plate 231 and the finger 270 are made of a thin plate (square plate), but in some cases, they may have a rod structure having a circular cross section, and even in this case, the aforementioned The concave-convex portion 270a and the concave portion 231a may be applied in the same manner.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.As described above, the present invention is not limited to the described embodiments, and various modifications and changes can be made without departing from the spirit and scope of the present invention, which will be apparent to those skilled in the art. Therefore, such modifications or variations will have to be belong to the claims of the present invention.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 이송용 카세트 시스템의 분해 사시도이다.1 is an exploded perspective view of a cassette transfer cassette system according to a first embodiment of the present invention.

도 2 및 도 3은 각각 도 1의 동작 상태를 단계적으로 도시한 사시도이다.2 and 3 are perspective views showing the operating state of FIG. 1 step by step, respectively.

도 4는 도 1의 개략적인 평면도이다.4 is a schematic plan view of FIG. 1.

도 5a는 도 4의 부분 확대도이다.5A is an enlarged partial view of FIG. 4.

도 5b는 도 5a의 결합 상태도이다.5B is a coupling state diagram of FIG. 5A.

도 6은 도 1의 개략적인 측면도이다.6 is a schematic side view of FIG. 1.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

110 : 기판 이송용 카세트 120 : 카세트 하우징110: substrate transfer cassette 120: cassette housing

130 : 기판 부상용 적재플레이트 131 : 단위적재플레이트130: loading plate for substrate floating 131: unit loading plate

140 : 지지플레이트 150 : 기판 이송용 로봇140: support plate 150: substrate transfer robot

160 : 로봇 본체 170 : 핑거160: robot body 170: finger

180 : 캐리어 192 : 제어부180 carrier 192 controller

193 : 제1 에어라인 194 : 제2 에어라인193: first airline 194: second airline

Claims

외관을 형성하는 카세트 하우징과, 상기 카세트 하우징의 내부에서 높이 방향을 따라 상호간 이격되게 배치되되 표면에 기판의 부상을 위한 다수의 제1 에어분사공이 형성되는 다수의 기판 부상용 적재플레이트를 구비하는 기판 이송용 카세트; 및A substrate having a cassette housing forming an appearance and a plurality of substrate floating stacking plates disposed in the cassette housing spaced apart from each other along a height direction, wherein a plurality of first air spray holes are formed on the surface of the substrate to float. Transfer cassettes; And

상기 기판을 상기 기판 이송용 카세트에 적재하거나 상기 기판 이송용 카세트로부터 인출하는 기판 이송용 로봇을 포함하며,A substrate transfer robot for loading the substrate into the substrate transfer cassette or withdrawing the substrate from the substrate transfer cassette;

상기 기판 이송용 로봇은,The substrate transfer robot,

로봇 본체;Robot body;

표면에 상기 기판의 부상을 위한 다수의 제2 에어분사공이 형성되며, 상기 로봇 본체와 연결되되 단부가 상기 기판 부상용 적재플레이트의 일측벽에 선택적으로 도킹 및 도킹해제되는 다수의 핑거; 및A plurality of second air spray holes formed on a surface of the substrate, the plurality of fingers being connected to the robot body and having end portions selectively docked and undocked at one side wall of the mounting plate for floating the substrate; And

상기 다수의 핑거 중 적어도 어느 한 핑거에 상기 핑거의 길이 방향을 따라 상대 이동 가능하게 결합되며, 상기 기판을 파지하여 상기 기판을 상기 기판 부상용 적재플레이트로 적재하거나 상기 기판 부상용 적재플레이트로부터 상기 기판을 인출하는 적어도 하나의 캐리어를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트 시스템.Is coupled to at least one finger of the plurality of fingers so as to be relatively movable along the longitudinal direction of the finger, the substrate is gripped to load the substrate to the substrate floating loading plate or from the substrate floating loading plate At least one carrier for extracting the substrate transfer cassette system, characterized in that it comprises a.

제1항에 있어서,The method of claim 1,

상기 다수의 기판 부상용 적재플레이트 각각은, 상기 카세트 하우징의 폭 방향으로 상호간 이격되게 배치된 다수의 단위적재플레이트를 포함하며,Each of the plurality of substrate mounting stacking plate, includes a plurality of unit stacking plates spaced apart from each other in the width direction of the cassette housing,

상기 캐리어는, 상기 제1 에어분사공 및 상기 제2 에어분사공으로부터 분사되는 에어에 의하여 부상된 기판을 파지하여 상기 기판 부상용 적재플레이트로 적재하거나 상기 기판 부상용 적재플레이트로부터 상기 기판을 인출하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트 시스템.The carrier is configured to hold the substrate floating by the air injected from the first air spraying hole and the second air spraying hole and to load the substrate onto the loading plate for lifting the substrate or to withdraw the substrate from the loading plate for lifting the substrate. Cassette system for substrate transfer, characterized in that.

제2항에 있어서,The method of claim 2,

에어 공급 및 취출용 펌프;Pumps for supplying and blowing air;

상기 에어 공급 및 취출용 펌프와 상기 핑거를 연결하여 상기 핑거의 제2 에어분사공으로 에어를 공급하거나 상기 핑거 내의 에어를 취출하는 제1 에어라인; 및A first air line connecting the air supply and extraction pump and the finger to supply air to the second air injection hole of the finger or to extract air from the finger; And

상기 제1 에어라인과는 다른 라인을 형성하면서 상기 에어 공급 및 취출용 펌프와 상기 핑거를 연결하여 상기 단위적재플레이트의 단부와 상기 핑거의 단부가 상호 도킹될 때 상기 단위적재플레이트의 제1 에어분사공으로 에어를 공급하거나 상기 단위적재플레이트 내의 에어를 취출하는 제2 에어라인을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트 시스템.The first air spray of the unit loading plate when the end of the unit loading plate and the end of the finger is docked with each other by connecting the air supply and discharge pump and the finger while forming a line different from the first air line. And a second air line for supplying air to the ball or for extracting air in the unit stacking plate.

제3항에 있어서,The method of claim 3,

상기 제1 및 제2 에어라인 중에서 적어도 어느 한 에어라인은, 에어공급라인 및 에어취출라인으로 분리되어 마련되는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트 시스템.At least one of the first air line and the second air line, the cassette system for substrate transfer, characterized in that provided separately from the air supply line and the air extraction line.

제3항에 있어서,The method of claim 3,

상기 단위적재플레이트의 단부와 상기 핑거의 단부가 상호 도킹된 상태를 감지하는 감지부; 및A detector configured to detect a state in which an end of the unit loading plate and an end of the finger are docked with each other; And

상기 감지부의 신호에 기초하여 상기 에어 공급 및 취출용 펌프의 동작을 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트 시스템.And a control unit for controlling the operation of the air supply and take-out pump based on the signal of the detection unit.

제2항에 있어서,The method of claim 2,

상호간 선택적으로 도킹되는 상기 단위적재플레이트의 단부와 상기 핑거의 단부 중 어느 하나에는 요철부가 형성되어 있고, 상기 단위적재플레이트의 단부와 상기 핑거의 단부 중 다른 하나에는 상기 요철부와 맞물림되는 요홈부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트 시스템.An uneven portion is formed at one of an end portion of the unit loading plate and an end of the finger which are selectively docked with each other, and a recessed portion is formed at another one of the end portion of the unit loading plate and the end of the finger. Cassette system for substrate transfer, characterized in that.

제6항에 있어서,The method of claim 6,

상기 요철부와 상기 요홈부는 부분적으로 사다리꼴 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트 시스템.And said recesses and recesses have a trapezoidal shape in part.

제6항에 있어서,The method of claim 6,

상기 요철부는 원추 형상으로 돌출되며, 상기 요홈부는 상기 요철부가 삽입되도록 원추 형상으로 함몰되는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트 시스템.The concave-convex portion protrudes in a conical shape, and the concave portion is recessed in a conical shape so that the concave-convex portion is inserted.

제6항에 있어서,The method of claim 6,

상기 요철부와 상기 요홈부 중 적어도 어느 하나에는 도킹면에서의 에어 누출 방지를 위한 밀봉용 패킹이 더 개재되는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트 시스템.At least one of the concave-convex portion and the concave portion is a substrate transfer cassette system, characterized in that the sealing packing for preventing air leakage from the docking surface is further interposed.

제1항에 있어서,The method of claim 1,

상기 캐리어는,The carrier,

상기 핑거의 길이 방향을 따라 상대 이동 가능하게 상기 핑거에 연결되는 이동유닛; 및A moving unit connected to the finger to allow relative movement along the length of the finger; And

상기 이동유닛에 결합되어 에어 흡착 방식에 의해 상기 기판을 흡착하여 파지하는 적어도 하나의 흡착부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트 시스템.And at least one adsorption member coupled to the mobile unit to adsorb and grip the substrate by an air adsorption method.

제10항에 있어서,The method of claim 10,

상기 캐리어는, 상기 이동유닛에 마련되어 상기 이동유닛 상에서 상기 적어도 하나의 흡착부재를 승하강 구동시키는 승하강 구동유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트 시스템.And the carrier further includes a lift drive unit provided in the mobile unit to move the at least one suction member on the mobile unit.

제10항에 있어서,The method of claim 10,

상기 흡착부재는 그 상면이 상기 핑거의 상부 표면보다 높은 위치에 마련되도록 상기 이동유닛에 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트 시스템.And said adsorption member is coupled to said mobile unit such that its upper surface is provided at a position higher than the upper surface of said finger.

제2항에 있어서,The method of claim 2,

상기 카세트 하우징에 결합되어 상기 다수의 단위적재플레이트를 지지하는 다수의 지지플레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트 시스템.And a plurality of support plates coupled to the cassette housing to support the plurality of unit loading plates.

제13항에 있어서,The method of claim 13,

상기 다수의 지지플레이트는 상기 다수의 단위적재플레이트의 하면에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트 시스템.And the plurality of support plates are disposed on a bottom surface of the plurality of unit loading plates.

제1항에 있어서,The method of claim 1,

상기 카세트 하우징은,The cassette housing,

밑면을 형성하는 판 형상의 베이스 플레이트; 및A plate-shaped base plate forming a bottom surface; And

상기 기판이 출입되는 면을 제외한 나머지 면에 마련되고 상기 베이스 플레이트와 함께 상호간 연결되어 장치의 외관을 형성하는 다수의 골조 프레임을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트 시스템.And a plurality of frame frames provided on the other side of the substrate except for the side into which the substrate enters and outside, and connected together with the base plate to form the exterior of the apparatus.

외관을 형성하는 카세트 하우징; 및A cassette housing forming an appearance; And

상기 카세트 하우징의 내부에서 높이 방향을 따라 상호간 이격되게 배치되어 기판이 층별로 적재되며 표면에 상기 기판의 부상을 위한 다수의 제1 에어분사공이 형성되어 있는 다수의 기판 부상용 적재플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트.The substrate housing is disposed spaced apart from each other along the height direction in the cassette housing and includes a plurality of substrate floating stacking plate having a plurality of first air spray holes formed on the surface for the floating of the substrate; A substrate transfer cassette characterized by the above-mentioned.

제16항에 있어서,The method of claim 16,

상기 다수의 기판 부상용 적재플레이트 각각은, 상기 카세트 하우징의 폭 방향으로 상호간 이격되게 배치된 다수의 단위적재플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트.Each of the plurality of substrate floating stacking plates, a plurality of unit stacking plates disposed to be spaced apart from each other in the width direction of the cassette housing.

제16항에 있어서,The method of claim 16,

상기 카세트 하우징에 결합되어 상기 다수의 단위적재플레이트를 지지하는 다수의 지지플레이트를 더 포함하며,A plurality of support plates coupled to the cassette housing to support the plurality of unit loading plates;

상기 다수의 지지플레이트는 상기 다수의 단위적재플레이트의 하면에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트.The plurality of support plates are substrate transfer cassette, characterized in that disposed on the lower surface of the plurality of unit loading plate.

제16항에 있어서,The method of claim 16,

상기 카세트 하우징은,The cassette housing,

상기 기판이 출입되는 면을 제외한 나머지 면에 마련되고 상기 베이스 플레이트와 함께 상호간 연결되어 장치의 외관을 형성하는 다수의 골조 프레임을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트.And a plurality of frame frames which are provided on the other side of the substrate except the surface from which the substrate enters and exits, and are connected to each other with the base plate to form the exterior of the apparatus.

로봇 본체;Robot body;

상기 다수의 핑거 중 적어도 어느 한 핑거에 상기 핑거의 길이 방향을 따라 상대 이동 가능하게 결합되며, 상기 기판을 파지하여 상기 기판을 상기 기판 부상용 적재플레이트로 적재하거나 상기 기판 부상용 적재플레이트로부터 상기 기판을 인출하는 적어도 하나의 캐리어를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 로봇.Is coupled to at least one finger of the plurality of fingers so as to be relatively movable along the longitudinal direction of the finger, the substrate is gripped to load the substrate to the substrate floating loading plate or from the substrate floating loading plate A robot for transporting a substrate, comprising: at least one carrier for withdrawing the carrier.

제20항에 있어서,The method of claim 20,

상기 캐리어는, 상기 제1 에어분사공 및 상기 제2 에어분사공으로부터 분사되는 에어에 의하여 부상된 기판을 파지하여 상기 기판 부상용 적재플레이트로 적재하거나 상기 기판 부상용 적재플레이트로부터 상기 기판을 인출하는 것을 특징으 로 하는 기판 이송용 로봇.The carrier is configured to hold the substrate floating by the air injected from the first air spraying hole and the second air spraying hole and to load the substrate onto the loading plate for lifting the substrate or to withdraw the substrate from the loading plate for lifting the substrate. A substrate transfer robot, characterized in that.

제20항에 있어서,The method of claim 20,

에어 공급 및 취출용 펌프;Pumps for supplying and blowing air;

상기 제1 에어라인과는 다른 라인을 형성하면서 상기 에어 공급 및 취출용 펌프와 상기 핑거를 연결하여 상기 단위적재플레이트의 단부와 상기 핑거의 단부가 상호 도킹될 때 상기 단위적재플레이트의 제1 에어분사공으로 에어를 공급하거나 상기 단위적재플레이트 내의 에어를 취출하는 제2 에어라인을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 로봇.The first air spray of the unit loading plate when the end of the unit loading plate and the end of the finger is docked with each other by connecting the air supply and discharge pump and the finger while forming a line different from the first air line. And a second air line for supplying air to the ball or for extracting air in the unit loading plate.

제20항에 있어서,The method of claim 20,

상기 캐리어는,The carrier,

상기 이동유닛에 결합되어 에어 흡착 방식에 의해 상기 기판을 흡착하여 파지하는 적어도 하나의 흡착부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 로봇.And at least one adsorption member coupled to the mobile unit to adsorb and grip the substrate by an air adsorption method.

제20항에 있어서,The method of claim 20,

상기 캐리어는, 상기 이동유닛에 마련되어 상기 이동유닛 상에서 상기 적어도 하나의 흡착부재를 승하강 구동시키는 승하강 구동유닛을 더 포함하며,The carrier further includes a lift drive unit provided in the mobile unit to move the at least one suction member on the mobile unit.

상기 흡착부재는 그 상면이 상기 핑거의 상부 표면보다 높은 위치에 마련되도록 상기 이동유닛에 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 로봇.And said adsorption member is coupled to said mobile unit such that its upper surface is provided at a position higher than the upper surface of said finger.