KR100834734B1 - Apparatus for transferring substrate - Google Patents
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Abstract
기판 이송장치가 개시된다. 본 발명의 기판 이송장치는, 기판이 부상될 수 있도록 상방으로 공기를 분사하는 적어도 하나의 제1기판부상모듈과, 제1기판부상모듈의 양측에 배치되는 복수의 제1롤러유닛을 가지고 기판을 일방향으로 이송시키는 제1이송라인; 제1기판부상모듈 및 제1롤러유닛과 상호 교차하는 제2기판부상모듈 및 제2롤러유닛을 가지며, 제1이송라인의 어느 일영역에 수직하게 결합되어 기판을 타방향으로 이송시키는 제2이송라인; 및 판면에 제1 및 제2기판부상모듈로부터 제공된 공기가 통과하는 복수의 기판부상용 통공이 형성되어 있으며, 제1 및 제2이송라인이 상호 교차하는 교차지점에 결합되어 방향 전환되는 기판을 일정 높이 부상시키는 기판부상플레이트를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 간단한 구조를 가지면서도 이송되는 기판이 방향 전환될 때 기판이 주변 구조물에 부딪혀 손상되는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 기판이 변형되는 것을 저지할 수 있어 기판 이송에의 수율을 향상시킬 수 있다.A substrate transfer apparatus is disclosed. The substrate transfer apparatus of the present invention includes a substrate having at least one first substrate floating module for injecting air upwards so that the substrate may float, and a plurality of first roller units disposed at both sides of the first substrate floating module. A first transfer line for transferring in one direction; A second substrate having a first substrate floating module and a second substrate floating module and a second roller unit intersecting with the first roller unit and being vertically coupled to any one region of the first transfer line to transfer the substrate in the other direction; line; And a plurality of through-holes formed on the board surface through which air provided from the first and second board-mounted modules pass, and coupled to the intersections where the first and second transfer lines cross each other. It characterized in that it comprises a substrate-floating plate to raise the height. According to the present invention, it is possible to prevent the substrate from being damaged by hitting the surrounding structure when the substrate to be transferred is redirected while having a simple structure, and to prevent the substrate from being deformed, thereby improving the yield to the substrate transfer. Can be.
기판, 유리기판, LCD, 이송, 장치, 부상, 코너, 회전 Board, Glass Board, LCD, Transfer, Device, Floating, Corner, Rotation
Description
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 이송장치의 개략적인 부분 분해 사시도이다.1 is a schematic partial exploded perspective view of a substrate transfer apparatus according to a first embodiment of the present invention.
도 2는 도 1에 도시된 기판부상플레이트의 확대 사시도이다.FIG. 2 is an enlarged perspective view of the substrate floating plate shown in FIG. 1.
도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ선에 따른 개략적인 단면도이다.3 is a schematic cross-sectional view taken along line III-III of FIG. 1.
도 4는 도 1에 도시된 기판 이송장치에서 제1기판부상모듈의 부분 절취 확대도이다.FIG. 4 is an enlarged partial cutaway view of the first substrate floating module in the substrate transfer apparatus illustrated in FIG. 1.
도 5는 도 4의 정면도이다.5 is a front view of FIG. 4.
도 6 및 도 7은 각각 교차지점에 위치한 롤러유닛들의 동작을 개략적으로 도시한 사시도이다.6 and 7 are perspective views schematically showing the operation of the roller units located at the intersections, respectively.
도 8은 본 발명의 제2실시예에 따른 기판부상플레이트의 사시도이다.8 is a perspective view of a substrate floating plate according to a second embodiment of the present invention.
도 9는 본 발명의 제3실시예에 따른 기판 이송장치의 개략적인 부분 분해 사시도이다.9 is a schematic partial exploded perspective view of a substrate transfer apparatus according to a third embodiment of the present invention.
도 10은 본 발명의 제4실시예에 따른 기판 이송장치의 개략적인 사시도이다.10 is a schematic perspective view of a substrate transfer apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings
10 : 제1이송라인 12 : 제1장치본체10: first transfer line 12: first apparatus main body
15 : 제1롤러유닛 20 : 제1기판부상모듈15: first roller unit 20: first substrate floating module
20a : 제1단위모듈 30 : 제2이송라인20a: 1st unit module 30: 2nd transfer line
32 : 제2장치본체 35 : 제2롤러유닛32: second apparatus main body 35: second roller unit
40 : 제2기판부상모듈 40a : 제2단위모듈40: second substrate
50,60 : 기판부상플레이트 50a : 단위판50,60: substrate
51,61 : 기판부상용 통공51,61: through hole for substrate injury
본 발명은, 기판 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 간단한 구조를 가지면서도 이송되는 기판이 방향 전환될 때 기판이 주변 구조물에 부딪혀 손상되는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 기판이 변형되는 것을 저지할 수 있어 기판 이송에의 수율을 향상시킬 수 있는 기판 이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly, to prevent the substrate from being deformed by damaging the surrounding structure when the substrate to be transferred is redirected while having a simple structure, as well as preventing the substrate from being deformed. The present invention relates to a substrate transfer apparatus capable of improving the yield to substrate transfer.
최근 들어 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면디스플레이(Flat Panel Display, FPD)가 등장하기 시작하였다.Recently, the flat panel display (FPD) has begun to emerge as the electronic display industry is rapidly developing among the semiconductor industry.
평면디스플레이는 TV나 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이(Display)로 주로 사용된 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치이다. 이러한 평면디스플레이에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.A flat panel display is a thinner and lighter image display device than a cathode ray tube (CRT), which is mainly used as a display for a TV or a computer monitor. Such flat panel displays include liquid crystal displays (LCDs), plasma display panels (PDPs), and organic light emitting diodes (OLEDs).
이들 중에서도 특히, LCD는 2장의 얇은 상하 유리기판 사이에 고체와 액체의 중간물질인 액정을 주입하고, 상하 유리기판의 전극 전압차로 액정분자의 배열을 변화시킴으로써 명암을 발생시켜 숫자나 영상을 표시하는 일종의 광스위치 현상을 이용한 소자이다.Among them, LCDs inject liquid crystals, which are solid and liquid intermediates, between two thin upper and lower glass substrates, and change the arrangement of liquid crystal molecules by the electrode voltage difference of the upper and lower glass substrates to generate contrast and display numbers or images. It is a device using a kind of optical switch phenomenon.
LCD는 현재, 전자시계를 비롯하여, 전자계산기, TV, 노트북 PC 등 전자제품에서 자동차, 항공기의 속도표시판 및 운행시스템 등에 이르기까지 폭넓게 사용되고 있다.LCDs are now widely used in electronic clocks, electronic calculators, TVs, notebook PCs, electronic products, automobiles, aircraft speed displays and driving systems.
종전만 하더라도 LCD TV는 20 인치 내지 30 인치 정도의 크기를 가지며, 모니터는 17 인치 이하의 크기를 갖는 것이 주류였다. 하지만, 근자에 들어서는 40 인치 이상의 대형 TV와 20 인치 이상의 대형 모니터에 대한 선호도가 높아지고 있다.Previously, LCD TVs have a size of about 20 to 30 inches, and monitors have a mainstream size of 17 inches or less. In recent years, however, the preference for large TVs of 40 inches or larger and large monitors of 20 inches or larger has increased.
따라서 LCD를 제조하는 제조사의 경우, 보다 넓은 유리기판을 제작하기에 이르렀다. 현재에는 가로/세로의 폭이 1950 ∼ 2250 ㎜ 이거나 1870 ~ 2200 ㎜인 7세대, 혹은 2160 ~ 2460 ㎜ 이상인 8세대까지 유리기판의 크기를 증가시키는 연구가 진행되고 있다.Therefore, manufacturers of LCDs have come to produce wider glass substrates. Currently, research has been conducted to increase the size of glass substrates to the 7th generation having a width of 1950-2250 mm or 1870-2200 mm, or the 8th generation having 2160-2460 mm or more.
한편 LCD는 일반적으로 유리(Glass) 재질로 이루어지기 때문에 외부로부터 가해지는 충격에 매우 취약한 특성인 취성을 갖는다. 따라서 LCD를 제조하는 전 공정 단계로부터 후 공정 단계에 이르기까지 LCD가 훼손되지 않고 효율적으로 보관 및 이송될 수 있다면, 생산성을 향상시킬 수 있음은 물론 평면디스플레이의 품질도 유지할 수 있을 것임에 틀림이 없다.On the other hand, LCD is generally made of glass (Glass) material has a brittle characteristic that is very vulnerable to the impact from the outside. Therefore, if the LCD can be efficiently stored and transported from the pre-processing stage to the post-processing stage without manufacturing the LCD, it will not only improve productivity but also maintain the flat display quality. .
특히, 앞서도 기술한 바와 같이, 근자에 들어서는 7세대 혹은 8세대 등으로 LCD의 크기가 커짐에 따라 LCD의 보관 및 이송, 특히 이송에 있어 각별한 주의가 요구되고 있다.In particular, as described above, as the size of the LCD increases to the 7th generation or the 8th generation, etc. in recent years, special care is required in the storage and transfer of the LCD, in particular, the transfer.
기존의 기판 이송장치는 주로 롤러 타입인 경우가 대부분이었다. 하지만 롤러에 의해 기판이 이송될 경우에는 롤러들에 기판이 직접 접촉한 상태에서 이송되기 때문에 기판에 스크래치(Scratch)가 발생하는 등 기판이 쉽게 손상됨은 물론 기판에 대한 고속 이송이 불가능하다는 문제점이 있었다.Conventional substrate transfer devices were mostly roller type. However, when the substrate is transported by the roller, since the substrate is directly contacted with the rollers, the substrate is easily scratched, such as scratches, and the substrate is not easily damaged and the high-speed transfer to the substrate is impossible. .
이에 근자에 들어서는 기판의 양측면에서만 롤러가 접촉하고 기판의 중앙영역은 별도의 기판부상모듈에 의해 기판을 부상시켜 이송시킬 수 있는 기판 이송장치가 개시된 바 있다. 이러한 기판 이송장치는 본 출원인에 의해서도 이미 출원된 바 있다.In this regard, a substrate transport apparatus has been disclosed in which rollers are in contact only on both sides of a substrate, and a central region of the substrate may be floated and transported by a separate substrate floating module. Such a substrate transfer device has already been filed by the present applicant.
그런데, 이러한 종래의 기판 이송장치에 있어서는, 기판을 일방향으로 직선 이송시키는 데에는 아무런 무리가 없지만 교차지점과 같이 기판의 방향을 전환시켜 이송하고자 할 경우, 기판이 교차지점에 장착된 주변 구조물에 부딪혀 손상되거나 변형되기 때문에 기판 이송에의 수율이 현저하게 떨어져 상용화되지 못하고 있는 실정이다.By the way, in the conventional substrate transfer apparatus, there is no problem in transferring the substrate linearly in one direction, but when the substrate is to be transferred by changing the direction of the substrate such as the intersection point, the substrate is damaged by hitting the peripheral structure mounted at the intersection point. Or deformed, the yield to the substrate transfer is significantly lowered and is not commercialized.
본 발명의 목적은, 간단한 구조를 가지면서도 이송되는 기판이 방향 전환될 때 기판이 주변 구조물에 부딪혀 손상되는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 기판이 변형되는 것을 저지할 수 있어 기판 이송에의 수율을 향상시킬 수 있는 기판 이송장치를 제공하는 것이다.The object of the present invention is not only to prevent the substrate from colliding with the surrounding structure when the substrate to be transferred is changed while having a simple structure, but also to prevent the substrate from being deformed, thereby improving the yield to the substrate transfer. It is to provide a substrate transfer apparatus that can be made.
본 발명의 다른 목적은, 교차지점에 진입한 기판이 판(Plate) 형태의 기판부 상모듈이나 혹은 공기 흡입홀(Suction Hole) 등에 의해 볼록해지거나 오목해지는 등 기판에 변형이 유발되어 주변 구조물과의 접촉에 의한 손상이 발생하는 것을 현저히 줄일 수 있는 기판 이송장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to deform the substrate such that the substrate entering the intersection point is convex or concave by the plate-shaped upper module of the plate portion or the air suction hole (Suction Hole), etc. It is to provide a substrate transfer apparatus that can significantly reduce the occurrence of damage caused by the contact of.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 기판이 부상될 수 있도록 상방으로 공기를 분사하는 적어도 하나의 제1기판부상모듈과, 상기 제1기판부상모듈의 양측에 배치되는 복수의 제1롤러유닛을 가지고 상기 기판을 일방향으로 이송시키는 제1이송라인; 상기 제1기판부상모듈 및 상기 제1롤러유닛과 상호 교차하는 제2기판부상모듈 및 제2롤러유닛을 가지며, 상기 제1이송라인의 어느 일영역에 수직하게 결합되어 상기 기판을 타방향으로 이송시키는 제2이송라인; 및 판면에 상기 제1 및 제2기판부상모듈로부터 제공된 공기가 통과하는 복수의 기판부상용 통공이 형성되어 있으며, 상기 제1 및 제2이송라인이 상호 교차하는 교차지점에 결합되어 방향 전환되는 상기 기판을 일정 높이 부상시키는 기판부상플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치에 의해 달성된다.The object is, according to the present invention, having at least one first substrate floating module for injecting air upward so that the substrate can be floated, and a plurality of first roller units disposed on both sides of the first substrate floating module A first transfer line for transferring the substrate in one direction; And a first substrate floating module and a second substrate floating module and a second roller unit which intersect with the first roller unit and are vertically coupled to any one region of the first transfer line to transfer the substrate in another direction. A second transfer line to make; And a plurality of through-holes formed on the substrate surface through which air provided from the first and second substrate floating modules passes, and the first and second transfer lines are coupled to each other at intersections crossing each other and redirected. It is achieved by a substrate transfer device comprising a substrate floating plate for raising the substrate to a certain height.
여기서, 상기 기판부상플레이트는 복수의 단위판으로 분리되어 있다.Here, the substrate portion plate is separated into a plurality of unit plates.
상기 복수의 기판부상용 통공은 상기 단위판들에 각각 형성되되, 상기 단위판의 각 모서리 영역에 집중되어 있을 수 있다.The plurality of through holes for the substrate portion may be formed in the unit plates, respectively, and may be concentrated in each corner region of the unit plate.
상기 각 단위판들은 판면방향을 따라 상호 소정의 이격간격을 두고 결합되어 있다.The unit plates are coupled to each other at predetermined intervals along the plate surface direction.
상기 단위판들 사이에 형성된 이격간격은 상기 기판에 부딪혀 역행하는 공기 가 배출되는 통로로 활용된다.The spaced interval formed between the unit plates is used as a passage through which air retrograde hit by the substrate is discharged.
상기 기판부상플레이트는 상기 교차지점에 위치하는 상기 제1 및 제2기판부상모듈의 높이에 비해 실질적으로 동일하거나 낮게 배치되는 것이 바람직하다.The substrate floating plate may be disposed substantially the same or lower than the height of the first and second substrate floating modules positioned at the intersection point.
상기 기판부상플레이트는 사각형상의 단일판으로 형성될 수 있다.The substrate plate may be formed of a single plate in a rectangular shape.
상기 기판부상플레이트에는 상기 기판에 부딪혀 역행하는 공기를 흡입하는 흡입용 통공이 더 형성되어 있는 것이 유리하다.The substrate floating plate is advantageously further provided with a suction through-hole for hitting the substrate to suck back air.
상기 교차지점에 배치되는 상기 제1 및 제2기판부상모듈 중 적어도 어느 하나는 다른 하나와 상호 교차 배치될 수 있도록 복수의 단위모듈로 분리되어 있다.At least one of the first and second substrate floating modules disposed at the intersection point is divided into a plurality of unit modules so as to cross each other.
상기 교차지점에 배치되는 상기 제1 및 제2롤러유닛은 다른 위치의 롤러유닛들과 상호 분리되어 있으며, 상기 기판이 이송되는 방향을 따라 서로 교차하면서 독립적으로 승강된다.The first and second roller units disposed at the intersection point are separated from each other in the roller units at different positions, and are independently lifted while crossing each other along the direction in which the substrate is transferred.
한편, 상기 목적은, 본 발명에 따라, 기판이 부상될 수 있도록 상방으로 공기를 분사하는 적어도 하나의 제1기판부상모듈과, 상기 제1기판부상모듈의 양측에 배치되는 복수의 제1롤러유닛을 가지고 상기 기판을 일방향으로 이송시키는 제1이송라인; 및 상기 제1기판부상모듈 및 상기 제1롤러유닛과 상호 교차하는 제2기판부상모듈 및 제2롤러유닛을 가지며, 상기 제1이송라인의 어느 일영역에 수직하게 결합되어 상기 기판을 타방향으로 이송시키는 제2이송라인을 포함하며, 상기 교차지점에 배치되는 상기 제1 및 제2기판부상모듈 중 적어도 어느 하나는 다른 하나와 상호 교차하여 배치될 수 있도록 복수의 단위모듈로 분리되어 있되, 상기 복수의 단위모듈은, 상기 단위모듈을 제외한 다른 제1 및 제2기판부상모듈의 높이에 비해 상대적으로 낮게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치에 의해서도 달성된다.On the other hand, the object is, according to the present invention, at least one first substrate floating module for injecting air upwards so that the substrate can be floated, and a plurality of first roller unit disposed on both sides of the first substrate floating module A first transfer line for transferring the substrate in one direction; And a second substrate floating module and a second roller unit crossing each other with the first substrate floating module and the first roller unit and being vertically coupled to any one region of the first transfer line. And a second transfer line for transferring, wherein at least one of the first and second substrate floating modules disposed at the intersection point is divided into a plurality of unit modules so as to cross each other. The plurality of unit modules are also achieved by the substrate transfer apparatus, characterized in that formed relatively lower than the height of the other first and second substrate on the module except the unit module.
이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명의 각 실시예에 대해 상세히 설명한다. 각 실시예의 설명 중, 동일 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하도록 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail for each embodiment of the present invention. In the description of each embodiment, the same reference numerals are given to the same configurations.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 이송장치의 개략적인 부분 분해 사시도, 도 2는 도 1에 도시된 기판부상플레이트의 확대 사시도, 도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ선에 따른 개략적인 단면도, 도 4는 도 1에 도시된 기판 이송장치에서 제1기판부상모듈의 부분 절취 확대도, 도 5는 도 4의 정면도, 도 6 및 도 7은 각각 교차지점에 위치한 롤러유닛들의 동작을 개략적으로 도시한 사시도이다.1 is a schematic partially exploded perspective view of a substrate transfer apparatus according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is an enlarged perspective view of a substrate floating plate shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a schematic view taken along line III-III of FIG. 4 is an enlarged partial cutaway view of a first substrate floating module in the substrate transfer apparatus shown in FIG. 1, FIG. 5 is a front view of FIG. 4, and FIGS. 6 and 7 are operations of roller units located at intersections, respectively. Is a perspective view schematically showing.
이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 이송장치는, 상호 수직되게 결합되는 제1 및 제2이송라인(10,30)을 구비한다. 제1 및 제2이송라인(10,30)이 상호 수직하게 결합됨으로써 제1 및 제2이송라인(10,30)에는 교차지점(C)이 형성되며, 교차지점(C)에는 후술하는 바와 같이, 기판부상플레이트(50)가 결합되어 방향 전환되는 기판(G)을 일정 높이 부상시킴으로써 기판(G)이 손상되는 것을 저지하고 있다.As shown in these figures, the substrate transfer apparatus according to the first embodiment of the present invention includes first and
제1이송라인(10)은 기판(G)을 A 방향(도 6 참조)으로 수직하게 이송하는 라인이다. 이러한 제1이송라인(10)은 제1장치본체(12)와, 제1장치본체(12)의 상부 영역 양측에 상호 이격배치되는 복수의 제1롤러유닛(15)과, 제1롤러유닛(15)들 사이에 마련되는 복수의 제1기판부상모듈(20)을 구비한다.The
자세하게 도시하고 있지는 않지만, 제1장치본체(12)는 기판 이송장치의 외곽틀을 형성하는 부분으로서, 제1롤러유닛(15)과 제1기판부상모듈(20)을 지지한다. 보통, 기판 이송장치는 그 크기가 거대하기 때문에 완제품으로 제작된 후, 기판 이송장치를 필요로 하는 장소, 예를 들어 클린룸(Clean Room) 내로 옮기기가 어렵다.Although not shown in detail, the
따라서 제1장치본체(12)를 비롯하여 제1롤러유닛(15)과 제1기판부상모듈(20)은 상호 분해 조립가능하게 설계된 후, 해당 장소에서 조립된다. 이러한 조립 구조는 후술할 제2장치본체(32), 제2롤러유닛(35) 및 제2기판부상모듈(40)에도 동일하게 적용된다.Therefore, the
복수의 제1롤러유닛(15)은 제1장치본체(12)의 상부 양측에 상호 이격되게 복수개로 마련되어 있다. 제1롤러유닛(15)은 실제로 기판(G)이 직접 접촉하는 부분이기 때문에 적어도 롤러(미도시) 만큼은 기판(G)에 최대한 손상을 주지 않는 재질, 예를 들어 실리콘과 같은 연성 재질로 형성되는 것이 바람직하다.The plurality of
한편, 도 6과 도 7을 먼저 참조할 때, 교차지점(C)에서는 제1 및 제2기판부상모듈(20,40)이 상호 교차하여 배치되기 때문에 적어도 교차지점(C)에서 만큼은 제1롤러유닛(15)이 제1롤러단위유닛(15a,15b)으로 분할되어 제1롤러단위유닛(15a,15b)을 제외한 제1롤러유닛(15)에 대해 제1롤러단위유닛(15a,15b)은 독립적으로 승강할 필요가 있다. 이는 제2롤러유닛(35)에도 동일하게 적용된다.Meanwhile, referring to FIGS. 6 and 7, since the first and second
예를 들어, 도 6과 같이, 기판(G)이 A 방향으로 이동하다가 교차지점(C)에 진입할 때, 제1롤러유닛(15)의 제1롤러단위유닛(15a,15b)들은 원위치를 유지하지만 제2롤러유닛(35)의 제2롤러단위유닛(35a,35b)은 하강된다.For example, as shown in FIG. 6, when the substrate G moves in the A direction and enters the intersection point C, the first
반대로, 제1롤러유닛(15)의 동작이 중지되어 도 7과 같이, 기판(G)이 B 방향으로 이동할 경우에는 제1롤러유닛(15)의 제1롤러단위유닛(15a,15b)들이 하강하고 제2롤러유닛(35)의 제2롤러단위유닛(35a,35b)이 상승하여 기판(G)에 접촉지지된다.On the contrary, when the operation of the
이에, 제2롤러유닛(35)에 의해 기판(G)은 B 방향으로 이동될 수 있게 되는 것이다. 따라서 본 실시예의 경우, 제1 및 제2롤러단위유닛(15a,15b,35a,35b)을 승강시키는 구성이 필요하다. 하지만, 이러한 승강구조는 이미 공지되어 있기 때문에 그 설명을 생략하기로 하며, 필요시 본 출원인에 의해 선출원된 기술을 인용하도록 한다.Accordingly, the substrate G is able to move in the B direction by the
한편, 앞서 기술한 LCD를 포함하여 PDP 및 OLED 등의 평면디스플레이가 될 수 있는 기판(G)은 7세대 혹은 8세대 등으로 그 크기가 거대하기 때문에 기판(G)의 양측면이 복수의 제1롤러유닛(15)들에 지지된 상태로 이송되면 기판(G)의 자중에 의해 기판(G)의 중앙영역이 하방으로 처질 수밖에 없다.On the other hand, since the substrate G, which can be a flat panel display such as PDP and OLED, including the LCD described above, is large in size, such as seventh generation or eighth generation, both sides of the substrate G may have a plurality of first rollers. When transported in a state supported by the
이럴 경우, 기판(G)의 이송시, 그 효율이 저하됨은 물론, 이송 속도가 느리고, 하부 구조물에 기판(G)이 닿아 기판(G)이 휘어지거나 기판(G)에 스크래치(Scratch)가 발생하는 등 기판(G)이 손상될 우려가 높다. 따라서 제1롤러유닛(15)들 사이에는 복수개(본 실시예의 경우 3개임)의 제1기판부상모듈(20)이 마련되어 상방으로 공기를 분사함으로써 기판(G)이 하방으로 처지는 것을 저지하고 있다.In this case, when the substrate G is transferred, the efficiency thereof is lowered, the feeding speed is low, and the substrate G contacts the lower structure so that the substrate G is bent or scratches are generated on the substrate G. The substrate G is likely to be damaged. Therefore, a plurality of first
도 4 및 도 5를 참조할 때, 제1기판부상모듈(20)은, 상하방향으로 상호 결합되어 그 내부에 공기유동공간을 형성하는 상부몸체(22) 및 하부몸체(26)를 구비한 다.4 and 5, the first
상부몸체(22)는 그 하면이 개방된 통 구조를 이룬다. 즉, 내부가 빈 거의 직육면체 형상을 이루되 그 하면 일부분은 개방되어 있다. 이러한 상부몸체(22)는 제1기판부상모듈(20)의 상면을 형성하며 판면에 다수의 공기분사공(24)이 관통형성되어 있는 상벽부(22a)와, 상벽부(22a)의 양측면에서 하부몸체(26)를 향해 거의 수직되게 연장된 한 쌍의 제1측벽부(22b)와, 중앙영역에 개구가 형성되도록 제1측벽부(22b)의 단부에서 각각 소정 길이 반경방향 내측으로 절곡된 제1플랜지부(22c)를 포함한다.The
상부몸체(22)의 내부에는 후술할 송풍팬(28)에서 발생한 공기 중의 이물질을 필터링하는 필터(29)가 마련되어 있다. 필터(29)는 상부몸체(22)의 상면 면적과 거의 유사한 크기로 형성되고 상벽부(22a)와 나란하게 배치되어 공기분사공(24)을 통해 기판(G)으로 향하는 공기 중의 이물질을 실질적으로 완벽하게 필터링하는 역할을 한다. 이 때, 필터(29)와 상벽부(22a) 사이에 존재하는 버퍼공간(29a)은 송풍팬(28)으로부터 발생하여 필터(29)에 의해 필터링된 공기가 공기분사공(24)들을 통해 균일하게 분사될 수 있도록 공기를 확산시키는 역할을 한다.Inside the
하부몸체(26)는 상부몸체(22)와 거의 유사한 형태를 가지되 다소 작은 부피로 형성된다. 즉, 상부몸체(22)를 뒤집어 놓은 상태를 하부몸체(26)가 간주해도 실질적으로 무방하다. 이러한 하부몸체(26)는 상부몸체(22)와 결합되어 내부에 소정의 공기유동공간을 형성한다.The
하부몸체(26)는, 제1기판부상모듈(20)의 하면을 형성하는 하벽부(26a)와, 하 벽부(26a)의 양측면에서 상부몸체(22)를 향해 연장된 한 쌍의 제2측벽부(26b)와, 중앙영역이 개방되도록 제2측벽부(26b)의 단부에서 각각 반경방향 내측으로 소정 길이 절곡되고 제1플랜지부(22c)와 대면한 상태에서 제1플랜지부(22c)와 볼트(27) 결합되는 제2플랜지부(26c)를 포함한다.The
하부몸체(26)의 내부에는 공기를 발생시키는 송풍팬(28)이 마련되어 있다. 제1기판부상모듈(20)을 그 길이가 충분히 길게 형성되기 때문에 하부몸체(26) 내에 마련된 송풍팬(28)은 적당한 이격 간격을 두고 복수개 배치된다. 송풍팬(28)은 횡류팬, 축류팬 중 어떠한 것이 적용되어도 좋다.Inside the
제1이송라인(10)과 직교하는 제2이송라인(30) 역시, 제1이송라인(10)과 실질적으로 동일한 구조를 갖는다. 즉, 제2장치본체(32) 상의 양측에 상호 나란하게 제2롤러유닛(35)들이 마련되고 제2롤러유닛(35)들 사이에 3개의 제2기판부상모듈(40)이 갖춰진다.The
여기서, 제2이송라인(30)에 갖춰진 각 구성들 및 그에 따른 동작은 전술한 제1이송라인(10)의 구성들과 대응되는 바, 중복 설명을 피하기 위해 제2이송라인(30)에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.Here, each of the components provided in the
한편, 다시 도 1 내지 도 3, 그리고 도 6 및 도 7을 참조할 때, 제1 및 제2이송라인(10,30)이 상호 교차하는 교차지점(C)에 배치되는 제1기판부상모듈(20)은 복수개의 제1단위모듈(20a)로 형성되어 상호 이격되어 있고, 제1단위모듈(20a)들 사이에는 제2기판부상모듈(40)과 분리된 복수개의 제2단위모듈(40a)이 배열되어 있다. 따라서 제1 및 제2단위모듈(20a,40a)들은 마치 격자 모양을 이룬다.Meanwhile, referring back to FIGS. 1 to 3, and FIGS. 6 and 7, the first substrate floating module disposed at the intersection C where the first and
이러한 교차지점(C), 즉 제1 및 제2단위모듈(20a,40a)들의 상부에는 기판부상플레이트(50)가 더 결합되어야 하므로, 교차지점(C)에 배치되는 제1 및 제2단위모듈(20a,40a)의 높이(h1)는 제1 및 제2단위모듈(20a,40a)을 제외한 제1 및 제2기판부상모듈(20,40)의 높이(H)에 비해 상대적으로 낮게 형성된다.Since the
따라서 기판부상플레이트(50)까지의 높이(h2)는 적어도 제1 및 제2단위모듈(20a,40a)을 제외한 제1 및 제2기판부상모듈(20,40)의 높이(H)와 실질적으로 동일하거나 낮다(도 3 참조). 그래야만 교차지점(C)에 진입하는 기판(G)이 기판부상플레이트(50)에 부딪히거나 충돌하지 않는다.Therefore, the height h2 to the
도 2 및 도 3을 주로 참조하면, 기판부상플레이트(50)는 9개의 단위판(50a)으로 분할되어 있다. 물론, 단위판(50a)의 크기에 따라 9개 이상, 혹은 그 이하가 될 수도 있다.Referring mainly to FIGS. 2 and 3, the
각 단위판(50a)들은 일정 두께를 갖는 사각 판상체로 형성되어 있다. 9개 모두가 배치될 경우, 대략 교차지점(C)의 영역만큼의 면적을 갖는다. 하지만, 교차지점(C)의 영역보다 작아도 무방하다.Each
이 때, 기판부상플레이트(50)를 형성하는 각 단위판(50a)들은 판면방향을 따라 상호 소정의 이격간격(S)을 두고 결합되어 있다. 각 단위판(50a)들은 교차지점(C)에 위치한 제1 및 제2단위모듈(20a,40a)의 상면에 접촉하면 아니되기 때문에 제1 및 제2단위모듈(20a,40a)의 상면으로부터 일정 높이 이격 배치된다.At this time, the
이를 위해, 각 단위판(50a)들은 별도의 브래킷(53)에 의해 제1 및 제2단위모듈(20a,40a)들에 결합되어 있다. 물론, 브래킷(53)의 하부가 제1 및 제2장치본 체(12,32)의 일측에 결합되어도 무방하다.To this end, each
기판부상플레이트(50)로서의 단위판(50a)들에는 각각 제1 및 제2단위모듈(20a,40a)을 통해 상방으로 분사된 공기를 통과시켜 기판(G)을 부상시키는 복수개의 기판부상용 통공(51)이 형성되어 있다. 본 실시예의 경우, 기판부상용 통공(51)들은 단위판(50a)들의 각 모서리 영역에 집중되도록 하고 있다.A plurality of substrate floating through-holes for floating the substrate (G) through the air injected upward through the first and second unit modules (20a, 40a) to the
단위판(50a)들 사이에 형성된 이격간격(S)은 기판(G)에 부딪혀 역행하는 공기가 배출되는 통로로 활용된다.The spaced interval S formed between the
이처럼 이격간격(S)이 공기의 배출 통로로 활용될 경우, 기판(G)과 기판부상플레이트(50) 사이에서 공기의 와류가 발생하지 않을 뿐만 아니라 공기압에 의해 기판(G)이 볼록해지거나 오목해지는 등 변형되는 것이 방지된다.As such, when the spaced interval S is utilized as the discharge passage of air, not only does air vortex occur between the substrate G and the
즉, 기판부상플레이트(50)가 단위판(50a)들로 이루어지지 않고 하나의 판(Plate) 형태로 마련되는 경우에는 하나의 판 형태의 기판부상플레이트(미도시)를 통해 공기가 원활하게 배출되지 못하고 기판(G)의 중앙영역으로 집중되어 기판(G)이 볼록하게 변형되고 이에 의하여 주변 구조물에 부딪힐 위험이 있을 수 있다.That is, when the
이와 같이, 기판(G)이 볼록해지는 현상을 방지하기 위해, 후술할 3실시예와 같이 흡입펌프(미도시)를 교차지점(C)의 어느 일영역 하부에 장착하고 기판부상플레이트(미도시)에 흡입용 통공을 더 형성하는 방안도 있으나, 이 경우에는 흡입용 통공 영역에서 공기 흡입에 의해 기판(G)이 오목하게 변형되어 주변 구조물에 부딪혀 손상될 소지가 있다.As such, in order to prevent the substrate G from being convex, a suction pump (not shown) is mounted below any one region of the cross point C and the substrate floating plate (not shown) as in the third embodiment described later. In some cases, there is a method of forming a suction through hole, but in this case, the substrate G is concavely deformed by air suction in the suction hole area, and may be damaged by hitting the surrounding structure.
따라서 본 실시예와 같이, 상호 소정 이격된 이격간격(S)을 가지고 복수개의 단위판(50a)들로 기판부상플레이트(50)를 마련하게 되면, 이격간격(S)을 통해 공기가 배출될 수 있으므로 전술한 문제점들이 모두 해소될 수 있는 현저한 이점이 있다.Therefore, as shown in the present embodiment, when the
이러한 구성을 갖는 기판 이송장치의 동작에 대해 도 6 및 도 7을 참조하여 설명하면 다음과 같다. 참고로, 도 6 및 도 7에는 도면의 편의를 위해 기판부상플레이트(50)를 생략하고 있지만, 기판부상플레이트(50)가 갖춰져 있는 것으로 본다.An operation of the substrate transfer apparatus having such a configuration will be described below with reference to FIGS. 6 and 7. 6 and 7 omit the
우선, 도시 않은 로봇은 카세트나 혹은 작업대에서 이송 대상의 기판(G)을 파지하여 제1이송라인(10) 상으로 로딩(Loading)시킨다. 이 때, 기판(G)의 양측면은 제1롤러유닛(15)에 지지된다.First, the robot (not shown) grips the substrate (G) to be transferred from the cassette or the workbench and loads it onto the first transfer line (10). At this time, both side surfaces of the substrate G are supported by the
이러한 상태에서 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 제1기판부상모듈(20)에 마련된 송풍팬(28)에 전원이 인가되면, 송풍팬(28)이 동작하고 이로 인해 공기가 발생한다. 발생된 공기는 필터(29)에 의해 필터링된 후, 버퍼공간(29a)을 통해 확산된 다음, 공기분사공(24)들을 통해 균일하게 분사된다. 따라서 기판(G)은 분사되는 공기에 의해 하방으로의 처짐이 저지된다.In this state, as shown in FIGS. 4 and 5, when power is applied to the blowing
다음, 제1롤러유닛(15)이 동작하면 그 상면에 로딩된 기판(G)은 제1기판부상모듈(20)에 부상된 상태에서 제1롤러유닛(15)에 의해 도 6의 A 방향으로 이동하게 된다.Next, when the
한편, A 방향으로 이동하던 기판(G)이 교차지점(C)에 진입할 때, 제1롤러유닛(15)의 제1롤러단위유닛(15a,15b)들은 원위치를 유지하지만 제2롤러유닛(35)의 제2롤러단위유닛(35a,35b)은 하강되고 그 동작도 정지된다.On the other hand, when the substrate G, which has moved in the A direction, enters the intersection C, the
제2롤러단위유닛(35a,35b)이 하강된 상태이므로, 기판(G)은 제1롤러단위유닛(15a,15b)에 의해 교차지점(C)의 끝까지 이송될 수 있다. 이 때, 교차지점(C)에는 제1기판부상모듈(20)과 그 높이가 동일하거나 혹은 그보다 낮게 위치하는 기판부상플레이트(50)가 마련되어 있고, 기판부상플레이트(50)에 형성된 기판부상용 통공(51)들을 통해 공기가 분사되고 있기 때문에 기판(G)은 부상된 상태를 그대로 유지할 수 있다. 물론, 기판(G)에 부딪혀 역행하는 공기는 이격간격(S)을 통해 배출된다. 따라서 기판(G)에 일부 처진 부분이 존재하더라도 다른 구조물에 부딪히거나 충돌되지 않고 교차지점(C)에 이를 수 있게 된다.Since the second
다음, 도 7과 같이, 방향 전환된 기판(G)이 B 방향으로 이동할 경우에는 제1롤러유닛(15)의 동작이 중지되며, 제1롤러유닛(15)의 제1롤러단위유닛(15a,15b)들이 하강하고 제2롤러유닛(35)의 제2롤러단위유닛(35a,35b)이 상승한다. 이어 제2롤러단위유닛(35a,35b)과 제2롤러유닛(35)이 구동함으로써 기판(G)은 제2기판부상모듈(40)에 의해 부상된 상태에서 B 방향으로 이송될 수 있게 된다.Next, as shown in FIG. 7, when the redirected substrate G moves in the B direction, the operation of the
이와 같이, 본 발명의 실시예에 의하면, 간단한 구조를 가지면서도 이송되는 기판(G)이 방향 전환될 때 기판(G)이 주변 구조물에 부딪혀 손상되는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 기판(G)이 변형되는 것을 저지할 수 있어 기판(G) 이송에의 수율을 향상시킬 수 있게 되는 것이다.As described above, according to the embodiment of the present invention, the substrate G may be prevented from being damaged by hitting the surrounding structure when the substrate G to be transferred has a simple structure, and the substrate G may be damaged. Deformation can be prevented and the yield to substrate G transfer can be improved.
도 8은 본 발명의 제2실시예에 따른 기판부상플레이트의 사시도이다.8 is a perspective view of a substrate floating plate according to a second embodiment of the present invention.
전술한 제1실시예의 경우, 기판부상용 통공(51)들이 각 단위판(50a)의 모서 리 영역에 집중되어 있다. 하지만, 제2실시예를 도시한 도 8과 같이, 기판부상용 통공(51)들은 단위판(50a)의 판면 모두에 균일하게 형성되어도 무방하다.In the case of the first embodiment described above, the through-
도 9는 본 발명의 제3실시예에 따른 기판 이송장치의 개략적인 부분 분해 사시도이다.9 is a schematic partial exploded perspective view of a substrate transfer apparatus according to a third embodiment of the present invention.
전술한 실시예들의 경우, 기판부상플레이트(50)는 복수개의 단위판(50a)으로 형성되었다. 하지만, 도 9에 도시된 바와 같이, 기판부상플레이트(60)는 일정한 두께를 갖는 사각형의 단일판으로 형성될 수도 있다.In the above-described embodiments, the
이러한 기판부상플레이트(60)의 판면에는 복수의 통공(61)이 형성되어 있다. 이러한 통공(61)들 중 일부는 제1 및 제2단위모듈(20a,40a)을 통해 분사된 공기를 통과시켜 기판(G)을 부상시키는 기판부상용 통공으로 활용되고, 나머지는 기판(G)에 부딪혀 역행하는 공기를 흡입하는 흡입용 통공으로 활용된다.A plurality of through
만일, 통공(61)들 모두가 기판부상용 통공으로 사용되면 기판부상플레이트(60)와 기판(G) 사이에서 와류가 발생하기 쉽고, 혹은 기판(G)의 요부에만 공기가 집중적으로 분사되어 기판(G)이 볼록해지거나 오목해지는 등, 기판(G)을 변형시켜 기판(G)이 주변 구조물에 부딪히는 원인을 이룬다. 이에, 본 실시예에서는 복수의 통공(61)들 중 일부를 흡입용 통공으로 활용하고 있는 것이다.If all of the through
이 때, 기판부상용 통공과 흡입용 통공의 크기는 동일할 수도 있고, 혹은 서로 상이할 수도 있으며, 경우에 따라 그 위치가 바뀔 수도 있다.At this time, the size of the through hole for the substrate portion and the through hole for suction may be the same, or may be different from each other, the position may be changed in some cases.
도 10은 본 발명의 제4실시예에 따른 기판 이송장치의 개략적인 사시도이다.10 is a schematic perspective view of a substrate transfer apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.
이 도면을 참조하면, 본 발명의 제4실시예의 경우, 교차지점(C)에 기판부상 플레이트(50,60)가 결합되어 있지 않다.Referring to this figure, in the fourth embodiment of the present invention, the plate-floating
이러한 경우, 교차지점(C)에 기판(G)이 진입하면 기판(G)의 처진 부분이 제1 및 제2단위모듈(20a,40a)들에 부딪힐 우려가 높다. 따라서 이러한 경우, 교차지점(C)에 위치한 제1 및 제2단위모듈(20a,40a)들의 높이를 제1 및 제2단위모듈(20a,40a)들을 제외한 다른 제1 및 제2기판부상모듈(20,40)의 높이에 비해 상대적으로 낮게 형성한다면 교차지점(C)으로 진입하는 기판(G)이 부딪히는 경우를 줄일 수 있을 것임에 틀림이 없다.In this case, when the substrate G enters the intersection point C, there is a high possibility that the drooped portion of the substrate G may hit the first and
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.As described above, the present invention is not limited to the described embodiments, and various modifications and changes can be made without departing from the spirit and scope of the present invention, which will be apparent to those skilled in the art. Therefore, such modifications or variations will have to be belong to the claims of the present invention.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 간단한 구조를 가지면서도 이송되는 기판이 방향 전환될 때 기판이 주변 구조물에 부딪혀 손상되는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 기판이 변형되는 것을 저지할 수 있어 기판 이송에의 수율을 향상시킬 수 있다.As described above, according to the present invention, it is possible to prevent the substrate from being damaged by hitting the surrounding structure when the substrate to be transferred is redirected while having a simple structure. The yield can be improved.
또한 본 발명에 따르면, 교차지점에 진입한 기판이 판(Plate) 형태의 기판부상모듈이나 혹은 공기 흡입홀(Suction Hole) 등에 의해 볼록해지거나 오목해지는 등 기판에 변형이 유발되어 주변 구조물과의 접촉에 의한 손상이 발생하는 것을 현저히 줄일 수 있다.In addition, according to the present invention, the substrate enters the intersection point is deformed to the substrate, such as convex or concave by the plate-shaped substrate floating module or the air suction hole (Suction Hole), such as contact with the surrounding structure It is possible to significantly reduce the occurrence of damage caused by.
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