KR20090127543A

KR20090127543A - 마이크로 믹서

Info

Publication number: KR20090127543A
Application number: KR1020080053582A
Authority: KR
Inventors: 김민수; 최종원; 윤재성; 김모세
Original assignee: 재단법인서울대학교산학협력재단
Priority date: 2008-06-09
Filing date: 2008-06-09
Publication date: 2009-12-14
Also published as: KR101013501B1

Abstract

본 발명은 마이크로 믹서에 대한 것이다. 더욱 상세하게는, 본 발명은 적어도 두 개의 마이크로 펌프가 유체의 흡입 및 토출을 교차 수행하여 혼합될 유체가 맥동류를 형성함으로써 유체의 혼합 효율을 향상시킴은 물론 구조를 단순화한 마이크로 믹서에 대한 것이다.

본 발명은 제 1 유체가 공급되는 제 1 공급라인(12)과, 상기 제 1 공급라인(12)과 예각(θ)을 이루며 상기 제 1 공급라인(12)에 연결되는 제 1 펌핑라인(14)과, 상기 제 1 펌핑라인(14)의 상류측에 구비되어 상기 제 1 유체를 상기 제 1 펌핑라인(14)을 통해 흡입 및 토출하는 제 1 펌핑부(16)를 포함하는 제 1 유체 공급부(10); 제 2 유체가 공급되는 제 2 공급라인(22)과, 상기 제 2 공급라인(22)과 예각(θ)을 이루며 상기 제 2 공급라인(22)에 연결되는 제 2 펌핑라인(24)과, 상기 제 2 펌핑라인(24)의 상류측에 구비되어 상기 제 2 유체를 상기 제 2 펌핑라인(24)을 통해 흡입 및 토출하는 제 2 펌핑부(26)를 포함하는 제 2 유체 공급부(20); 및 상기 제 1 유체 공급부(10)와 상기 제 2 유체 공급부(20)에서 펌핑된 상기 제 1 유체와 상기 제 2 유체가 혼합되며 이송되는 유체 혼합라인(30)을 포함하는 마이크로 믹서를 제공한다.

마이크로 믹서, MEMS, 마이크로 펌프, LOC, TAS

Description

마이크로 믹서{MICROMIXER}

통상적으로 믹서는 두 가지 이상의 다른 유체를 혼합하는 장치를 말한다. 이 중에서도 마이크로 믹서는 소량의 유체를 혼합할 수 있는 장치로서, μ-TAS(Micro Total Analysis System), LOC(Lab-On-a-Chip) 등을 포함하는 바이오-MEMS(Bio-Micro Electro Mechanical System) 분야에 사용된다.

마이크로 믹서는 크게 수동 마이크로 믹서와 능동 마이크로 믹서로 구분할 수 있다. 수동 마이크로 믹서에서의 혼합은 주로 분자확산이나 마이크로 스케일의 층류(Laminar Flow)에 기인하는 무질서한 이류(advection)에서 이루어진다. 이에 대해 능동 마이크로 믹서는 수동 마이크로 믹서와는 달리 혼합 공정의 교란을 위해 외부의 압력, 온도, 동전기, 음향, EHD(Electrohydrodynamics), MHD(Magnetichydrodynamics), 유전영동(Dielectrophorosis) 등을 이용한다.

능동 마이크로 믹서는 수동형에 비하여 혼합 특성이 좋은 반면 대체로 구조가 복잡하고 복합적인 가공 공정을 필요로 하며 외부로부터 에너지가 공급되어야 한다는 단점이 있다. 이에 대해 수동 마이크로 믹서는 외부 동력을 사용하지 않기 때문에 그 동안 많은 연구가 이루어져 왔다. 그러나 수동 마이크로 믹서는 그 혼합 효율이 낮아 그 활용에 있어서 문제가 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 구조가 간단하고 제어가 용이하면서도 혼합 특성을 향상시킬 수 있는 능동형 마이크로 믹서를 제공함을 그 목적으로 한다.

이를 위하여, 본 발명은 제 1 유체가 공급되는 제 1 공급라인(12)과, 상기 제 1 공급라인(12)과 예각(θ)을 이루며 상기 제 1 공급라인(12)에 연결되는 제 1 펌핑라인(14)과, 상기 제 1 펌핑라인(14)의 상류측에 구비되어 상기 제 1 유체를 상기 제 1 펌핑라인(14)을 통해 흡입 및 토출하는 제 1 펌핑부(16)를 포함하는 제 1 유체 공급부(10); 제 2 유체가 공급되는 제 2 공급라인(22)과, 상기 제 2 공급라인(22)과 예각(θ)을 이루며 상기 제 2 공급라인(22)에 연결되는 제 2 펌핑라인(24)과, 상기 제 2 펌핑라인(24)의 상류측에 구비되어 상기 제 2 유체를 상기 제 2 펌핑라인(24)을 통해 흡입 및 토출하는 제 2 펌핑부(26)를 포함하는 제 2 유체 공급부(20); 및 상기 제 1 유체 공급부(10)와 상기 제 2 유체 공급부(20)에서 펌핑된 상기 제 1 유체와 상기 제 2 유체가 혼합되며 이송되는 유체 혼합라인(30)을 포함하는 마이크로 믹서를 제공한다.

바람직하게는, 본 발명은 상기 제 1 펌핑부(16)와 상기 제 2 펌핑부(26)의 흡입 및 토출 작동은 상호 교차적으로 이루어져 상기 제 1 유체와 상기 제 2 유체가 맥동류를 이루며 혼합 효율이 향상됨을 특징으로 한다.

바람직하게는, 상기 제 1 펌핑부(16)와 상기 제 2 펌핑부(26)는 왕복 다이어프램 마이크로 펌프로 이루어진다.

바람직하게는, 상기 제 1 공급라인(12)의 하류측에는 상기 제 1 펌핑부(16)가 상기 제 1 유체를 흡입시 상기 유체 혼합라인(30) 방향에서의 유체의 역류를 감소시키는 제 1 역류 방지턱(19)이 구비되고, 상기 제 2 공급라인(22)의 하류측에는 상기 제 2 펌핑부(26)가 상기 제 2 유체를 흡입시 상기 유체 혼합라인(30) 방향에서의 유체의 역류를 감소시키는 제 2 역류 방지턱(29)이 구비되는 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명은, 혼합될 유체가 함께 공급되는 공통 공급라인(70); 상기 공통 공급라인(70)과 예각(θ)을 이루며 상기 공통 공급라인(70)의 일측에 연결되는 제 1 펌핑라인(14)과, 상기 제 1 펌핑라인(14)의 상류측에 구비되어 상기 유체를 상기 제 1 펌핑라인(14)을 통해 흡입 및 토출하는 제 1 펌핑부(16)를 포함하는 제 1 유체 공급부(10); 상기 공통 공급라인(70)과 예각(θ)을 이루며 상기 공통 공급라인(70)의 타측에 연결되는 제 2 펌핑라인(24)과, 상기 제 2 펌핑라인(24)의 상류측에 구비되어 상기 유체를 상기 제 2 펌핑라인(24)을 통해 흡입 및 토출하는 제 2 펌핑부(26)를 포함하는 제 2 유체 공급부(20); 및 상기 제 1 유체 공급부(10)와 상기 제 2 유체 공급부(20)에서 펌핑된 상기 제 1 유체와 상기 제 2 유체가 혼합되며 이송되는 유체 혼합라인(30)을 포함하며, 상기 제 1 펌핑부(16)와 상기 제 2 펌핑부(26)의 흡입 및 토출 작동은 상호 교차적으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 믹서를 제공한다.

본 발명에 따르면, 혼합하고자 하는 유체를 맥동시켜 공급함으로써 마이크로 스케일로 공급되는 유체의 혼합 효율을 상승시킬 수 있을 뿐만 아니라 구조를 간단히 함으로써 가공이 용이한 마이크로 믹서를 제공할 수 있다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. 또한, 이하에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명할 것이나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정하거나 제한되지 않고 당업자에 의해 변형되어 다양하게 실시될 수 있음은 물론이다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 마이크로 믹서의 구성을 도시한 도면이다.

본 발명에 따른 마이크로 믹서(1)는, 적어도 2 개의 펌핑부에 의해 혼합될 유체가 순차적으로 펌핑됨으로써 각 유체 플로우(flow)가 만나는 계면에서 쉬어 스트레스(Shear Stress)를 발생시킴으로써 유체의 혼합이 촉진되는 특징을 갖는다.

이를 위해 마이크로 믹서(1)는 제 1 유체를 주기적으로 펌핑하여 공급하는 제 1 유체 공급부(10)와 제 2 유체를 주기적으로 펌핑하여 공급하는 제 2 유체 공 급부(20), 및 제 1 유체 공급부(10)와 제 2 유체 공급부(20)에서 공급되는 유체들이 혼합되며 이송되는 유체 혼합라인(30)을 포함한다.

제 1 유체 공급부(10)는, 제 1 유체가 공급되는 제 1 공급라인(12)과, 제 1 공급라인(12)과 예각(θ)을 이루며 제 1 공급라인(12)에 연결되는 제 1 펌핑라인(14)과, 제 1 펌핑라인(14)에 연결되는 제 1 펌핑부(16)를 포함한다. 제 2 유체 공급부(20)는, 제 2 유체가 공급되는 제 2 공급라인(22)과, 제 2 공급라인(22)과 예각(θ)을 이루며 제 2 공급라인(22)에 연결되는 제 2 펌핑라인(24)과, 제 2 펌핑라인(24)에 연결되는 제 2 펌핑부(26)를 포함한다.

제 1 유체 공급부(10)와 제 2 유체 공급부(20)는 그 구성이 동일하므로 제 1 유체 공급부(10)의 구성을 대상으로 설명한다.

제 1 공급라인(12)으로는 혼합될 제 1 유체가 공급된다. 제 1 공급라인(12)과 제 1 펌핑라인(14)은 예각을 이루며 연결되는데 제 1 펌핑라인(14)의 위쪽에 구비되는 제 1 펌핑부(16)의 작동에 의해 제 1 공급라인(12)으로 공급되는 유체가 유체 혼합라인(30) 방향으로 펌핑된다. 제 1 공급라인(12)과 제 1 펌핑라인(14)이 연결되는 하방으로는 제 1 합류부(18)가 구비된다. 도 1에 도시된 바와 같이 제 1 합류부(18)는 바람직하게는 제 1 공급라인(12)과는 제 1 역류 방지턱(19)을 이루도록 형성되고 제 1 펌핑라인(14)의 연장선 방향으로 형성되는 것이 바람직하다.

제 1 펌핑부(16)는 유체를 흡입하고 토출하는 기능을 반복적으로 수행한다. 이를 위해 제 1 펌핑부(16)는 왕복 다이어프램 마이크로펌프(reciprocating diaphragm micropump)로 이루어질 수 있다. 다이어프램은 그 구동 소자의 종류에 따라 압전형(piezoelectric type), 전자기형(electromagnetic type), 전기역학형(electrodynamic type), 정전형(electrostatic type), 열공압형(thermopneumatic type), 공합형(pneumatic) 등으로 구분될 수 있는데, 가장 일반적인 형태로는 압전 소자를 이용한 압전형 마이크로 펌프가 사용될 수 있다. 한편 본 발명에 있어서 제 1 펌핑부(16)는 상기한 바에 한정되는 것은 아니며 주기적으로 유체의 흡입과 토출을 수행할 수 있는 모든 형식의 펌프를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

제 1 펌핑부(16)가 팽창하면 제 1 공급라인(12)을 통해 공급되는 제 1 유체가 제 1 펌핑라인(14)을 따라 제 1 펌핑부(16)로 흡입된다. 그 후 제 1 펌핑부(16)가 수축되면 제 1 펌핑라인(14)을 따라 제 1 유체가 제 1 합류부(18)를 거쳐 유체 혼합라인(30)으로 공급된다.

제 1 역류 방지턱(19)은 제 1 펌핑부(16)가 팽창시 유체 혼합라인(30) 방향에 있는 유체가 제 1 펌핑부(16)로 역류하는 것을 최소화함으로써 제 1 펌핑부(16)의 흡입 작동시에 제 1 공급라인(12)을 통해 공급되는 제 1 유체가 주로 제 1 펌핑부(16)에 유입되도록 하는 기능을 수행한다.

제 2 유체 공급부(20)의 각 구성요소는 제 1 유체 공급부(10)의 대응되는 구성요소와 실질적으로 동일하게 구비된다.

제 1 유체 공급부(10)의 제 1 펌핑부(16)와 제 2 유체 공급부(20)의 제 2 펌핑부(26)는 그 작동 순서가 반대로 이루어진다. 즉, 제 1 펌핑부(16)의 흡입 작동시에는 제 2 펌핑부(26)는 토출 작동이 이루어지고, 제 1 펌핑부(16)의 토출 작동시에는 제 2 펌핑부(26)는 흡입 작동이 이루어진다. 이에 따라 제 1 유체와 제 2 유체는 유체 혼합라인(30)으로 교차되어 공급된다.

더불어 도 1에 도시된 바와 같이 제 1 유체 공급부(10)와 제 2 유체 공급부(20)는 유체 혼합라인(30) 방향으로 소정의 각도를 유지한 상태로 제 1 유체와 제 2 유체를 각각 공급하므로 제 1 유체와 제 2 유체는 유체 혼합라인(30) 내에서 회전 모멘텀(momentum)을 가진 상태에서 이송되어 그 혼합효율이 더욱 향상된다.

제 1 유체 공급부(10)와 제 2 유체 공급부(20)는 일반적으로 동일 평면상에 구비되며 그 동일 평면은 수평 방향으로 구비될 수 있으나, 상기 동일 평면은 수직 방향 또는 수평 방향과 소정의 각도를 유지하는 상태로 구비될 수도 있다. 제 1 유체와 제 2 유체에 밀도차가 있는 경우 제 1 유체 공급부(10)와 제 2 유체 공급부(20)가 다른 높이에서 유체를 공급한다면 유체의 밀도차이로 인하여 혼합 효율이 보다 향상될 수 있다.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 마이크로 믹서를 MEMS 기술을 이용하여 구현한 상태를 도시한 분해 사시도이다.

마이크로 믹서(1)는 하부 기판(40)과 상부 기판(50)으로 이루어진다.

하부 기판(40)에는 위에서 설명한 제 1 유체 공급부(10)와 제 2 유체 공급부(20)의 공급라인(12, 22)과 펌핑라인(14, 24) 및 유체 혼합라인(30)이 형성되며, 제 1 펌핑부(16)와 제 2 펌핑부(26)의 구성을 위한 제 1 펌핑 체임버(42)와 제 2 펌핑 체임버(44)가 형성된다.

상부 기판(50)에는 제 1 유체와 제 2 유체가 각각 제 1 공급라인(12)과 제 2 공급라인(22)으로 공급되는 제 1 유입공(60)과 제 2 유입공(62)이 구비되고, 유체 혼합라인(30)을 거쳐 혼합된 유체가 배출되는 혼합유체 배출공(64)이 구비된다. 또한 상부 기판(50)에는 제 1 펌핑부(16)와 제 2 펌핑부(26)를 구성하기 위한 제 1 펌핑 소자(56)와 제 2 펌핑 소자(58)가 안착되는 제 1 소자 수용부(52) 및 제 2 소자 수용부(54)가 함몰 형성된다. 여기에서 제 1 펌핑 소자(56)와 제 2 펌핑 소자(58)는 압전 소자일 수 있으며, 제 1 소자 수용부(52)와 제 2 소자 수용부(54)의 하부면은 얇은 막 형태로 이루어진다.

하부 기판(40)과 상부 기판(50)은 기계적인 가공법을 이용하여 형성될 수도 있으나 반도체 소자 공정을 이용한 마이크로 시스템으로 제작되는 것도 가능하다. 하부 기판(40)과 상부 기판(50)의 재료로서는 유리, 파이렉스 글래스(Pyrex Glass), 석영, 실리콘(Silicon), 폴리머(Polymer) 등을 사용할 수 있다. 하부 기판(40)과 상부 기판(50) 각각의 판 면에 포토 및 식각 공정을 거쳐서 제 1, 2 공급라인(12, 22), 제 1, 2 펌핑라인(14, 24), 유체 혼합라인(30), 제 1, 2 펌핑 체임버(42, 44), 제 1, 2 소자 수용부(52, 54) 등을 형성하는데, 식각 공정은 RIE(Reacitive Ion Etching)나 플라즈마 식각 등의 건식 식각법을 사용할 수도 있고 습식 식각법을 사용할 수도 있다.

하부 기판(40)과 상부 기판(50)의 상호 결합은 UV경화제, 에폭시, 또는 저온용 폴리머 접착제 등을 포함하는 접착 부재를 사용하여 이루어질 수도 있고 수소 결합을 이용하여 이루어질 수도 있다.

이상에서 설명한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 마이크로 믹서의 작동 방식을 설명하면 다음과 같다.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 마이크로 믹서의 구동 방식을 설명하는 도면이다.

도 3의 (a)는 제 1 펌핑부(16)는 유체를 토출하고 제 2 펌핑부(26)는 유체를 흡입하는 상태를 도시하며, (b)는 제 1 펌핑부(16)는 유체를 흡입하고 제 2 펌핑부(26)는 유체를 토출하는 상태를 도시한다.

즉 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 마이크로 믹서에 있어서 제 1 펌핑부(16)와 제 2 펌핑부(26)는 유체를 흡입하고 토출하는 과정이 반대로 이루어짐으로써 유체 혼합라인(30)에서 제 1 유체와 제 2 유체가 교차되어 유입되어 그 혼합이 더욱 용이해지도록 하는 특징을 갖는다.

또한 이상의 설명에 있어서는 두 개의 유체가 혼합되는 것을 상정하여 유체 공급부가 두 개 구비되는 것으로 설명하였으나, 세 개 이상의 유체를 혼합하는 경우도 가능함은 물론이다. 세 개 이상의 유체가 공급되는 경우에는 유체 공급부를 그에 맞추어 구비하도록 하고, 각각의 유체가 순차적으로 공급될 수 있도록 펌핑부의 작동을 제어하도록 한다.

한편, 이상의 설명에 있어서는 제 1 유체와 제 2 유체가 각각 별도의 공급라인을 거쳐 공급되도록 설명하였으나, 경우에 따른 제 1 유체와 제 2 유체가 하나의 공급라인을 거쳐 공급되는 경우도 가능하다. 즉, 완전히 혼합되지 않은 상태로 제 1 유체와 제 2 유체가 공급된 후 마이크로 믹서를 거치면서 완전하게 혼합되는 상태로 전환되는 것이다.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마이크로 믹서의 구성을 도시한 도면 이다.

도 4에 따른 마이크로 믹서는 공통 공급라인(70)을 통해 제 1 유체와 제 2 유체가 함께 공급되고 공통 공급라인(70)의 양측에 제 1 펌핑라인(14)과 제 2 펌핑라인(24)이 결합된 상태로 구비된다.

이 경우 공통 공급라인을 통해 제 1 유체와 제 2 유체가 함께 공급되지만 충분히 혼합되지 않은 상태에서 제 1 펌핑라인(14)의 제 1 펌핑부(16)와 제 2 펌핑라인(24)의 제 1 펌핑부(16)의 교차 펌핑에 의해 유체 혼합라인(30)을 거치면서 제 1 유체와 제 2 유체가 충분히 혼합된다.

제 1 유체와 제 2 유체가 공통 공급라인을 통해 함께 공급하더라도 계면에서 확산에 의하여 약간 혼합될 수 있지만 각각 다른 스트림 라인을 형성하는 것이 일반적이다. 이렇게 공통 공급라인을 통해 공급되는 유체는 제 1 펌핑부(16)와 제 2 펌핑부(26)의 교차적인 펌핑에 의해 유체 혼합라인(30)에서는 맥동류(pulsating flow)를 형성하게 되어 상호 혼합효율이 극대화되는 것이다.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 마이크로 믹서의 구성을 도시한 도면,

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 마이크로 믹서를 MEMS 기술을 이용하여 구현한 상태를 도시한 분해 사시도,

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 마이크로 믹서의 구동 방식을 설명하는 도면,

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마이크로 믹서의 구성을 도시한 도면이다.

<도면의 주요 부분에 대한 도면부호의 설명>

10 : 제 1 유체 공급부 12: 제 1 공급라인

14 : 제 1 펌핑라인 16 : 제 1 펌핑부

18 : 제 1 합류부 19 : 제 1 역류 방지턱

20 : 제 2 유체 공급부 22: 제 2 공급라인

24 : 제 2 펌핑라인 26 : 제 2 펌핑부

28 : 제 2 합류부 29 : 제 2 역류 방지턱

30 : 유체 혼합라인 40 : 하부 기판

50 : 상부 기판 52 : 제 1 소자 수용부

54 : 제 2 소자 수용부 56 : 제 1 펌핑 소자

58 : 제 2 펌핑 소자 60 : 제 1 유입공

62 : 제 2 유입공 64 : 혼합유체 배출공

70 : 공통 공급라인

Claims

제 1 유체가 공급되는 제 1 공급라인(12)과, 상기 제 1 공급라인(12)과 예각(θ)을 이루며 상기 제 1 공급라인(12)에 연결되는 제 1 펌핑라인(14)과, 상기 제 1 펌핑라인(14)의 상류측에 구비되어 상기 제 1 유체를 상기 제 1 펌핑라인(14)을 통해 흡입 및 토출하는 제 1 펌핑부(16)를 포함하는 제 1 유체 공급부(10);

제 2 유체가 공급되는 제 2 공급라인(22)과, 상기 제 2 공급라인(22)과 예각(θ)을 이루며 상기 제 2 공급라인(22)에 연결되는 제 2 펌핑라인(24)과, 상기 제 2 펌핑라인(24)의 상류측에 구비되어 상기 제 2 유체를 상기 제 2 펌핑라인(24)을 통해 흡입 및 토출하는 제 2 펌핑부(26)를 포함하는 제 2 유체 공급부(20); 및

상기 제 1 유체 공급부(10)와 상기 제 2 유체 공급부(20)에서 펌핑된 상기 제 1 유체와 상기 제 2 유체가 혼합되며 이송되는 유체 혼합라인(30)

을 포함하는 마이크로 믹서.
제 1 항에 있어서,

상기 제 1 펌핑부(16)와 상기 제 2 펌핑부(26)의 흡입 및 토출 작동은 상호 교차적으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 믹서.
제 2 항에 있어서,

상기 제 1 펌핑부(16)와 상기 제 2 펌핑부(26)는 왕복 다이어프램 마이크로 펌프인 것을 특징으로 하는 마이크로 믹서.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 제 1 공급라인(12)의 하류측에는 상기 제 1 펌핑부(16)가 상기 제 1 유체를 흡입시 상기 유체 혼합라인(30) 방향에서의 유체의 역류를 감소시키는 제 1 역류 방지턱(19)이 구비되고, 상기 제 2 공급라인(22)의 하류측에는 상기 제 2 펌핑부(26)가 상기 제 2 유체를 흡입시 상기 유체 혼합라인(30) 방향에서의 유체의 역류를 감소시키는 제 2 역류 방지턱(29)이 구비되는 것을 특징으로 하는 마이크로 믹서.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 제 1, 2 공급라인(12, 22), 상기 제 1, 2 펌핑라인(14, 24) 및 상기 유체 혼합라인(30), 상기 제 1 펌핑부(16)의 구성을 위한 제 1 펌핑 체임버(42), 상기 제 2 펌핑부(26)의 구성을 위한 제 2 펌핑 체임버(44)는 하부 기판(40)에 형성되고,

상기 제 1 유체를 상기 제 1 공급라인(12)으로 공급하는 제 1 유입공(60)과, 상기 제 2 유체를 상기 제 2 공급라인(22)으로 공급하는 제 2 유입공(62)과, 상기 유체 혼합라인(30)으로부터 유체가 배출되는 혼합유체 배출공(64)과, 상기 제 1 펌핑부(16)를 구성하기 위한 제 1 펌핑 소자(56)가 안착되는 제 1 소자 수용부(52)와, 상기 제 2 펌핑부(26)를 구성하기 위한 제 2 펌핑 소자(58)가 안착되는 제 2 소자 수용부(54)는 상부 기판(50)에 형성되며,

상기 하부 기판(40)과 상기 상부 기판(50)은 상호 접합되는 것을 특징으로 하는 마이크로 믹서.
혼합될 유체가 함께 공급되는 공통 공급라인(70);

상기 공통 공급라인(70)과 예각(θ)을 이루며 상기 공통 공급라인(70)의 일측에 연결되는 제 1 펌핑라인(14)과, 상기 제 1 펌핑라인(14)의 상류측에 구비되어 상기 유체를 상기 제 1 펌핑라인(14)을 통해 흡입 및 토출하는 제 1 펌핑부(16)를 포함하는 제 1 유체 공급부(10);

상기 공통 공급라인(70)과 예각(θ)을 이루며 상기 공통 공급라인(70)의 타측에 연결되는 제 2 펌핑라인(24)과, 상기 제 2 펌핑라인(24)의 상류측에 구비되어 상기 유체를 상기 제 2 펌핑라인(24)을 통해 흡입 및 토출하는 제 2 펌핑부(26)를 포함하는 제 2 유체 공급부(20); 및

상기 제 1 유체 공급부(10)와 상기 제 2 유체 공급부(20)에서 펌핑된 상기 제 1 유체와 상기 제 2 유체가 혼합되며 이송되는 유체 혼합라인(30)을 포함하며, 상기 제 1 펌핑부(16)와 상기 제 2 펌핑부(26)의 흡입 및 토출 작동은 상호 교차적으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 믹서.
제 6 항에 있어서,

상기 제 1 펌핑부(16)와 상기 제 2 펌핑부(26)는 왕복 다이어프램 마이크로 펌프인 것을 특징으로 하는 마이크로 믹서.