KR20090126568A - Substrate treating apparatus for including dual layers bake unit of conveyor type and method of the same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A substrate processing apparatus including multi-stage bake unit of conveyor type and a processing method thereof are provided to reduce the installation space by stacking the bake units of conveyor type and by arranging the bake units with the coater unit in parallel. CONSTITUTION: A coater unit(124) processes the coating progress of the substrate. The first bake unit of the conveyor type processes the first bake process while transferring the substrate before the coating progress. The second bake unit of the conveyor type is stacked with the first bake unit each other. The second bake unit of the conveyor type processes the second bake process while transferring the first baked substrate.

Description

컨베이어 타입의 다단 베이크 유닛을 구비하는 기판 처리 장치 및 그의 처리 방법{SUBSTRATE TREATING APPARATUS FOR INCLUDING DUAL LAYERS BAKE UNIT OF CONVEYOR TYPE AND METHOD OF THE SAME}SUBSTRATE TREATING APPARATUS FOR INCLUDING DUAL LAYERS BAKE UNIT OF CONVEYOR TYPE AND METHOD OF THE SAME}

본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로 풋프린트를 감소시키기 위한 컨베이어 타입의 다단 베이크 장치를 구비하는 기판 처리 장치 및 그의 처리 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate processing apparatus, and more particularly, to a substrate processing apparatus having a conveyor type multi-stage baking apparatus for reducing a footprint and a processing method thereof.

평판 디스플레이 장치를 제조하는 기판 처리 장치는 기판에 소정의 막을 성막 한 후, 포토레지스트액을 도포해 포토레지스트 막을 형성하고, 회로 패턴에 대응해 포토레지스트 막을 노광하여, 현상 처리하는 포토리소그라피 공정을 처리한다. 이러한 포토리소그라피 공정은 기판을 세정, 탈수 베이크, 레지스트 도포, 프리 베이크, 노광, 현상 및 포스트 베이크 등의 일련의 단위 공정을 처리하여 기판 상에 회로 패턴을 형성한다.A substrate processing apparatus for manufacturing a flat panel display apparatus forms a predetermined film on a substrate, then applies a photoresist liquid to form a photoresist film, exposes the photoresist film in accordance with a circuit pattern, and processes a photolithography process for developing. do. The photolithography process processes a series of unit processes such as cleaning, dehydrating bake, resist coating, prebaking, exposure, developing, and postbaking of a substrate to form a circuit pattern on the substrate.

도 1 및 도 2를 참조하면, 포토레지스트 공정을 처리하는 일반적인 기판 처리 장치(10)는 복수 개의 처리 유닛(12 ~ 38)들이 연속해서 배치되는 인라인(inline) 설비로 구비된다. 이러한 기판 처리 장치(10)는 처리 유닛들(12 ~ 38) 중 일부(12 ~ 22)가 컨베이어 장치(50)들이 구비하여 기판(S)을 이송하면서 해당 단위 공정을 처리하고, 다른 처리 유닛(28 ~ 38)들은 각각 인접하게 배치되는 이송 유닛(24 ~ 34)들 내부에 설치된 이송 로봇(40 ~ 46)들을 통해 기판(S)을 공급받아서 해당 단위 공정들을 처리한다.1 and 2, a general substrate processing apparatus 10 for processing a photoresist process is provided as an inline facility in which a plurality of processing units 12 to 38 are continuously arranged. The substrate processing apparatus 10 may process a corresponding unit process while some of the processing units 12 to 38 (12 to 22) are provided by the conveyor devices 50 to transfer the substrate S, and the other processing unit ( 28 to 38 respectively receive the substrate S through transfer robots 40 to 46 installed in transfer units 24 to 34 disposed adjacent to each other to process corresponding unit processes.

예를 들어, 처리 유닛(12 ~ 38)들은 포토리소그라피 공정 처리 전에 기판(S)을 세정하는 세정 유닛(CL)(12)과, 포토레지스트를 도포하는 코터 유닛(COT)(28)와, 포토레지스트가 도포된 후, 포토레지스트 막을 경화시키는 진공 건조 유닛(VCD)(30)과, 복수 개의 컨베이어 베이크 유닛(14, 38)들 및, 기판(S)을 공급하기 위해 임시로 저장하는 복수 개의 버퍼 유닛(22, 36)들을 포함한다.For example, the processing units 12 to 38 include a cleaning unit (CL) 12 for cleaning the substrate S before the photolithography process, a coater unit (COT) 28 for applying photoresist, and a photo. After the resist is applied, a vacuum drying unit (VCD) 30 for curing the photoresist film, the plurality of conveyor bake units 14 and 38, and a plurality of buffers temporarily stored for supplying the substrate S Units 22, 36.

컨베이어 베이크 유닛(14, 38)들은 코터 유닛(28)의 전단에 배치되는 복수 개의 컨베이어 베이크 유닛(BK1 ~ BK3)(14 : 16 ~ 20)과, 진공 건조 유닛(30)의 후단에 배치되는 컨베이어 베이크 유닛(BK4)(38)들을 포함한다. 또 버퍼 유닛(22, 36)들은 컨베이어 베이크 유닛(BK3)(20)과 코터 유닛(28) 사이, 진공 건조 유닛(30)과 컨베이어 베이크 유닛(BK4)(38) 사이에 배치되어 컨베이어 장치(50)와 이송 유닛(24, 46) 상호간에 기판을 이송하도록 한다.The conveyor bake units 14 and 38 are a plurality of conveyor bake units BK1 to BK3 14: 16 to 20 disposed at the front end of the coater unit 28 and a conveyor disposed at the rear end of the vacuum drying unit 30. Baking units (BK4) 38. The buffer units 22 and 36 are also disposed between the conveyor bake unit (BK3) 20 and the coater unit 28, and between the vacuum drying unit 30 and the conveyor bake unit (BK4) 38 to convey the conveyor apparatus 50. ) And the transfer unit (24, 46) to transfer the substrate.

또 이송 유닛(24 ~ 34)들은 버퍼 유닛(22, 36), 코터 유닛(28) 및 진공 건조 유닛(30)들 각각에 대응하여 인접하게 배치되며, 각각의 이송 로봇(24 ~ 44)들은 각각 버퍼 유닛(22, 36)들, 코터 유닛(28) 및 진공 건조 유닛(30)들 간에 기판(S)을 이송하기 위하여 상호 인터페이스된다.In addition, the transfer units 24 to 34 are disposed adjacent to each of the buffer units 22 and 36, the coater unit 28 and the vacuum drying unit 30, and the respective transfer robots 24 to 44 are respectively The substrate S is interfaced with each other to transfer the substrate S between the buffer units 22, 36, the coater unit 28, and the vacuum drying unit 30.

그러나 이러한 컨베이어 타입의 기판 처리 장치(10)는 복수 개의 처리 유닛(12 ~ 38)들이 일렬로 연속해서 배치되므로, 그 설치 공간이 증가되고, 이로 인한 풋프린트가 늘어나는 문제점들이 있다. 특히, 복수 개의 컨베이어 베이크 유닛(14, 38)들은 베이크, 도포, 건조 및 베이크 공정 순으로 일렬로 배치되므로, 기판 처리 장치(10)의 풋프린터가 증가되는 원인이 된다.However, this conveyor type substrate processing apparatus 10 has a plurality of processing units (12 to 38) are arranged in a row in a row, the installation space is increased, thereby resulting in a footprint increases. In particular, since the plurality of conveyor baking units 14 and 38 are arranged in a line in the order of baking, application, drying and baking, the foot printer of the substrate processing apparatus 10 is increased.

본 발명의 목적은 풋프린트를 줄이기 위하여 컨베이어 타입의 다단 베이크 장치를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a conveyor type multistage baking apparatus for reducing the footprint.

본 발명의 다른 목적은 컨베이어 타입의 베이크 장치를 다단 형태로 제공하여 풋프린트를 줄일 수 있는 기판 처리 장치 및 그 방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a substrate processing apparatus and a method for reducing a footprint by providing a conveyor type baking apparatus in a multi-stage form.

상기 목적들을 달성하기 위한, 본 발명의 기판 처리 장치는 컨베이어 베이크 유닛들을 다단으로 배치하는데 그 한 특징이 있다. 이와 같이 기판 처리 장치는 풋프린트를 감소시킬 수 있다.To achieve the above objects, the substrate processing apparatus of the present invention is characterized by arranging conveyor bake units in multiple stages. As such, the substrate processing apparatus can reduce the footprint.

본 발명의 기판 처리 장치는, 기판의 도포 공정을 처리하는 코터 유닛과; 상기 도포 공정 이전에 기판을 이송하면서 제 1 베이크 공정을 처리하는 컨베이어 타입의 제 1 베이크 유닛 및; 상기 제 1 베이크 유닛과 상호 적층되어 상기 도포 공정 이후에 상기 제 1 베이크 공정이 처리된 기판을 이송하면서 제 2 베이크 공정을 처리하는 컨베이어 타입의 제 2 베이크 유닛을 포함한다.The substrate processing apparatus of this invention is a coater unit which processes the application | coating process of a board | substrate; A first bake unit of a conveyor type for processing a first bake process while transferring a substrate prior to the application process; And a second bake unit of a conveyor type, which is stacked with the first bake unit and processes the second bake process while transferring the substrate processed with the first bake process after the coating process.

한 실시예에 있어서, 상기 제 1 및 상기 제 2 베이크 유닛은 상기 코더 유닛 과 상호 병렬로 배치된다.In one embodiment, the first and second bake units are arranged in parallel with the coder unit.

다른 실시예에 있어서, 상기 기판 처리 장치는 상기 제 1 베이크 공정이 처리된 기판에 대한 건조 공정을 처리하는 진공 건조 유닛을 더 포함하되; 상기 제 2 베이크 유닛은 상기 건조 공정이 처리된 기판을 받아서 상기 제 2 베이크 공정을 처리한다.In another embodiment, the substrate processing apparatus further comprises a vacuum drying unit for processing a drying process for the substrate subjected to the first bake process; The second bake unit receives the substrate processed with the drying process and processes the second bake process.

또 다른 실시예에 있어서, 상기 제 1 베이크 유닛은 상기 제 2 베이크 유닛의 상부에 배치된다.In another embodiment, the first bake unit is disposed above the second bake unit.

또 다른 실시예에 있어서, 상기 기판 처리 장치는 상기 제 1 및 상기 제 2 베이크 유닛으로 기판을 이송하는 이송 로봇을 더 포함하되; 상기 이송 로봇은 상기 제 1 베이크 공정이 처리 전의 기판이 공급되면, 상기 제 1 베이크 유닛으로 기판을 제공하고, 상기 제 1 베이크 공정이 처리된 기판이 공급되면, 상기 제 2 베이크 유닛으로 기판을 제공한다.In another embodiment, the substrate processing apparatus further comprises a transfer robot for transferring the substrate to the first and second bake unit; The transfer robot provides a substrate to the first bake unit when the substrate before the first bake process is supplied and supplies a substrate to the second bake unit when the substrate processed by the first bake process is supplied. do.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 컨베이어 베이크 유닛들이 상호 적층되는 기판 처리 장치의 처리 방법이 제공된다. 이 방법에 의하면, 기판이 공급되면, 상단의 상기 컨베이어 베이크 유닛으로 공급하여 1 차 베이크 공정을 처리하고, 진공 건조 유닛으로부터 기판이 공급되면, 하단의 상기 컨베이어 베이크 유닛로 공급하여 2 차 베이크 공정을 처리한다.According to another feature of the present invention, there is provided a processing method of a substrate processing apparatus in which conveyor bake units are stacked on each other. According to this method, when a substrate is supplied, it is supplied to the conveyor baking unit at the upper end to process the primary baking process, and when the substrate is supplied from the vacuum drying unit, it is supplied to the conveyor baking unit at the lower end to perform the secondary baking process. Process.

한 실시예에 있어서, 상기 2 차 베이크 공정은 상기 1 차 베이크 공정이 처리된 기판을 건조 처리 후에 진행한다.In one embodiment, the secondary bake process is carried out after the drying process the substrate subjected to the primary bake process.

상술한 바와 같이, 본 발명의 기판 처리 장치는 컨베이어 타입의 베이크 유닛들을 상호 적층하고, 코터 유닛과 상호 병렬로 배치함으로써, 설비의 레이아웃을 줄일 수 있으며, 이로 인하여 풋프린트를 감소시켜서 생산성이 향상될 수 있다.As described above, the substrate processing apparatus of the present invention can reduce the layout of the equipment by stacking the conveyor type bake units and arranging them in parallel with the coater units, thereby reducing the footprint and improving productivity. Can be.

본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.The embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be interpreted as being limited by the embodiments described below. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Therefore, the shape of the components in the drawings, etc. have been exaggerated to emphasize a more clear description.

이하 첨부된 도 3 및 도 4를 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 3 and 4.

도 3은 본 발명에 따른 컨베이어 타입의 다단 베이크 장치를 구비하는 기판 처리 장치의 구성을 도시한 평면도이고, 도 4는 도 3에 도시된 기판 처리 장치의 다단 베이크 장치의 구성을 나타내는 측면도이다. 도면들에 표시된 화살표는 기판 처리 및 진행 방향을 개략적으로 표시한 것이다.3 is a plan view showing the configuration of a substrate processing apparatus having a conveyor type multi-stage baking apparatus according to the present invention, and FIG. 4 is a side view showing the configuration of the multi-stage baking apparatus of the substrate processing apparatus shown in FIG. Arrows shown in the figures schematically indicate substrate processing and advancing directions.

도 3 및 도 4를 참조하면, 기판 처리 장치(100)는 복수 개의 컨베이어 베이크 유닛(BK1 ~ BK3)(110 : 110a, 110b)들이 복층 구조로 배치된다. 컨베이어 베이크 유닛(110)들은 내부에 기판(S)을 이송하는 컨베이어 장치(140)들이 구비되며, 기판(S)을 이송하면서 베이크 공정을 처리한다. 또 기판 처리 장치(100)는 포토리소그라피 공정을 처리하는 복수 개의 처리 유닛들을 포함한다. 또 기판 처리 장치(100)는 도포 공정 후 회로 패턴을 형성하기 위한 노광 및 현상 공정을 처리하 는 노광 설비(미도시됨)와 연계된다.3 and 4, in the substrate processing apparatus 100, a plurality of conveyor bake units BK1 to BK3 110: 110a and 110b are arranged in a multilayer structure. Conveyor baking units 110 are provided with a conveyor device 140 for transporting the substrate (S) therein, and processes the baking process while transferring the substrate (S). In addition, the substrate processing apparatus 100 includes a plurality of processing units for processing a photolithography process. In addition, the substrate processing apparatus 100 is associated with an exposure facility (not shown) that processes an exposure and development process for forming a circuit pattern after an application process.

처리 유닛들은 예를 들어, 포토리소그라피 공정 처리 전에 기판(S)을 세정하는 세정 유닛(CL)(102)과, 노광 설비와 연결되는 인터페이스 유닛(132) 사이에 복층 및 병렬 구조로 배치된다.The processing units are arranged in a multilayer and parallel structure, for example, between the cleaning unit (CL) 102 for cleaning the substrate S before the photolithography process processing and the interface unit 132 connected with the exposure equipment.

구체적으로, 처리 유닛들은 세정 유닛(102)으로부터 기판(S)을 받아서 임시로 저장하는 제 1 버퍼 유닛(BF1)(106)으로 이송하는 이송 유닛(104)과, 복수 개가 적층되는 컨베이어 베이크 유닛(110 : 112 ~ 116)들과, 컨베이어 베이크 유닛(110)으로부터 기판(S)을 받아서 코터 유닛(COT)(124) 또는 인터페이스 유닛(132)으로 제공하기 위한 제 2 버퍼 유닛(BF2)(118)과, 포토레지스트를 도포하는 코터 유닛(124) 및, 포토레지스트가 도포된 후, 포토레지스트 막을 경화시키는 진공 건조 유닛(VCD)(130) 등을 포함한다. 이송 유닛(104)은 도 4에 도시된 바와 같이, 세정 유닛(102)으로부터 기판(S)이 공급되면, 상단의 컨베이어 베이크 유닛(110a)로 공급하고, 진공 건조 유닛(130)으로부터 기판(S)이 공급되면, 하단의 컨베이어 베이크 유닛(110b)로 공급한다.In detail, the processing units include a transfer unit 104 which receives the substrate S from the cleaning unit 102 and transfers the substrate S to the first buffer unit BF1 106 that temporarily stores the substrate S, and a conveyor bake unit in which a plurality of substrates are stacked. 110: 112 to 116 and a second buffer unit (BF2) 118 for receiving the substrate S from the conveyor bake unit 110 and providing it to the coater unit (COT) 124 or the interface unit 132. And a coater unit 124 for applying the photoresist, and a vacuum drying unit (VCD) 130 for curing the photoresist film after the photoresist is applied. As shown in FIG. 4, when the substrate S is supplied from the cleaning unit 102, the transfer unit 104 is supplied to the conveyor bake unit 110a at the upper end, and the substrate S from the vacuum drying unit 130. ) Is supplied, it is supplied to the conveyor baking unit (110b) at the bottom.

또 코터 유닛(124)과 진공 건조 유닛(130) 사이에는 기판 이송을 위한 이송 유닛(120, 126)들이 배치된다. 이송 유닛(104, 120, 126, 134)들에는 처리 유닛 간에 기판(S)을 인계 또는 인수하는 이송 로봇(106, 122, 128, 136)이 각각 구비된다. 예를 들어, 이송 로봇(106, 122, 128, 136)들은 셔틀 타입(shuttle type)의 로봇으로 구비된다.In addition, the transfer units 120 and 126 for transferring the substrate are disposed between the coater unit 124 and the vacuum drying unit 130. The transfer units 104, 120, 126, 134 are provided with transfer robots 106, 122, 128, 136, respectively, which take over or take over the substrate S between the processing units. For example, the transfer robots 106, 122, 128, and 136 are provided as shuttle type robots.

또 기판 처리 장치(100)는 컨베이어 베이크 유닛(110 : 112 ~ 116)들과 코터 유닛(124) 및 진공 건조 유닛(130)이 상호 병렬로 배치된다. 이러한 기판 처리 장치(100)는 버퍼 유닛(104, 118)들과 컨베이어 베이크 유닛(110)들에 컨베이어 장치(140)들이 구비하여, 기판(S)을 이송하면서 베이크 공정을 처리한다. 이 때, 기판 처리 장치(100)는 세정 유닛(102)으로부터 기판(S)이 공급되면, 상단의 컨베이어 베이크 유닛(110a)로 공급하여 1 차 베이크 공정을 처리하고, 진공 건조 유닛으로부터 기판이 공급되면, 하단의 컨베이어 베이크 유닛(110b)로 공급하여 2 차 베이크 공정을 처리한다.In the substrate processing apparatus 100, the conveyor baking units 110: 112 to 116, the coater unit 124, and the vacuum drying unit 130 are disposed in parallel with each other. The substrate processing apparatus 100 includes the conveyor units 140 in the buffer units 104 and 118 and the conveyor baking units 110 to process the baking process while transferring the substrate S. At this time, when the substrate S is supplied from the cleaning unit 102, the substrate processing apparatus 100 supplies the conveyor baking unit 110a at the upper end to process the primary baking process, and the substrate is supplied from the vacuum drying unit. When the process, the secondary baking process is supplied to the lower conveyor baking unit (110b).

따라서 본 발명의 기판 처리 장치(100)는 세정된 기판(S)이 상단의 컨베이어 베이크 유닛(110a)으로 공급되어 1 차 베이크 공정을 처리한다. 이어서 제 2 버퍼 유닛(118)을 통해 코터 유닛(124)으로 기판(S)을 공급하여 포토레지스트를 도포하고, 이를 진공 건조 유닛(130)으로 제공한다. 진공 건조된 기판(S)은 다시 이송 유닛(104)을 통해 하단의 컨베이어 베이크 유닛(110b)으로 공급되어 2 차 베이크 공정을 처리한다. 2 차 베이크 공정이 완료된 기판(S)은 인터페이스 유닛(132)을 통해 노광 설비(미도시됨)로 제공된다.Therefore, in the substrate processing apparatus 100 of the present invention, the cleaned substrate S is supplied to the conveyor baking unit 110a at the upper end to process the primary baking process. Subsequently, the substrate S is supplied to the coater unit 124 through the second buffer unit 118 to apply a photoresist to the vacuum drying unit 130. The vacuum dried substrate S is again supplied to the conveyor bake unit 110b at the bottom through the transfer unit 104 to process the secondary bake process. The substrate S on which the secondary baking process is completed is provided to an exposure apparatus (not shown) through the interface unit 132.

이상에서, 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 구성 및 작용을 상세한 설명과 도면에 따라 도시하였지만, 이는 실시예를 들어 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다.In the above, the configuration and operation of the substrate processing apparatus according to the present invention are shown in accordance with the detailed description and drawings, which are merely described by way of example, and various changes and modifications may be made without departing from the spirit of the present invention. It is possible.

도 1은 컨베이어 타입의 기판 처리 장치의 구성을 도시한 평면도;1 is a plan view showing the configuration of a substrate processing apparatus of a conveyor type;

도 2는 도 1에 도시된 기판 처리 장치의 일부 구성을 나타내는 측면도;FIG. 2 is a side view showing a part of the configuration of the substrate processing apparatus shown in FIG. 1; FIG.

도 3은 본 발명에 따른 컨베이어 타입의 다단 베이크 장치를 구비하는 기판 처리 장치의 구성을 도시한 평면도; 그리고3 is a plan view showing the configuration of a substrate processing apparatus having a conveyor type multi-stage baking apparatus according to the present invention; And

도 4는 도 3에 도시된 기판 처리 장치의 다단 베이크 장치의 구성을 나타내는 측면도이다.FIG. 4 is a side view illustrating a configuration of a multi-stage baking apparatus of the substrate processing apparatus shown in FIG. 3.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

100 : 기판 처리 장치100: substrate processing apparatus

102 : 세정 유닛102: cleaning unit

104, 120, 126, 134 : 이송 유닛104, 120, 126, 134: transfer unit

106, 122, 128, 134 : 이송 로봇106, 122, 128, 134: transfer robot

108, 118 : 버퍼 유닛108, 118: buffer unit

110, 110a, 110b, 112 ~ 118 : 컨베이어 베이크 유닛110, 110a, 110b, 112 ~ 118: conveyor bake unit

124 : 코터 유닛124: Coater Unit

130 : 진공 건조 유닛130: vacuum drying unit

132 : 인터페이스 유닛132 interface unit

140 : 컨베이어 장치140: conveyor device

Claims (7)

기판 처리 장치에 있어서:In the substrate processing apparatus: 기판의 도포 공정을 처리하는 코터 유닛과;A coater unit for processing a coating process of the substrate; 상기 도포 공정 이전에 기판을 이송하면서 제 1 베이크 공정을 처리하는 컨베이어 타입의 제 1 베이크 유닛 및;A first bake unit of a conveyor type for processing a first bake process while transferring a substrate prior to the application process; 상기 제 1 베이크 유닛과 상호 적층되어 상기 도포 공정 이후에 상기 제 1 베이크 공정이 처리된 기판을 이송하면서 제 2 베이크 공정을 처리하는 컨베이어 타입의 제 2 베이크 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.And a second baking unit of a conveyor type that is stacked with the first baking unit and processes the second baking process while transferring the substrate on which the first baking process is processed after the coating process. . 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 및 상기 제 2 베이크 유닛은 상기 코더 유닛과 상호 병렬로 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.And the first and second bake units are disposed in parallel with the coder unit. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 기판 처리 장치는 상기 제 1 베이크 공정이 처리된 기판에 대한 건조 공정을 처리하는 진공 건조 유닛을 더 포함하되;The substrate processing apparatus further includes a vacuum drying unit for processing a drying process for the substrate subjected to the first bake process; 상기 제 2 베이크 유닛은 상기 건조 공정이 처리된 기판을 받아서 상기 제 2 베이크 공정을 처리하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.And the second baking unit receives the substrate on which the drying process has been processed and processes the second baking process. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 제 1 베이크 유닛은 상기 제 2 베이크 유닛의 상부에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.And the first bake unit is disposed above the second bake unit. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 4, 상기 기판 처리 장치는 상기 제 1 및 상기 제 2 베이크 유닛으로 기판을 이송하는 이송 로봇을 더 포함하되;The substrate processing apparatus further includes a transfer robot for transferring the substrate to the first and the second bake unit; 상기 이송 로봇은 상기 제 1 베이크 공정이 처리 전의 기판이 공급되면, 상기 제 1 베이크 유닛으로 기판을 제공하고, 상기 제 1 베이크 공정이 처리된 기판이 공급되면, 상기 제 2 베이크 유닛으로 기판을 제공하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.The transfer robot provides a substrate to the first bake unit when the substrate before the first bake process is supplied and supplies a substrate to the second bake unit when the substrate processed by the first bake process is supplied. The substrate processing apparatus characterized by the above-mentioned. 컨베이어 베이크 유닛들이 상호 적층되는 기판 처리 장치의 처리 방법에 있어서:In the processing method of a substrate processing apparatus in which the conveyor bake units are laminated to each other: 기판이 공급되면, 상단의 상기 컨베이어 베이크 유닛으로 공급하여 1 차 베이크 공정을 처리하고, 진공 건조 유닛으로부터 기판이 공급되면, 하단의 상기 컨베이어 베이크 유닛로 공급하여 2 차 베이크 공정을 처리하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치의 처리 방법.When the substrate is supplied, it is supplied to the conveyor baking unit at the top to process the primary baking process, and when the substrate is supplied from the vacuum drying unit, it is supplied to the conveyor baking unit at the bottom to process the secondary baking process The processing method of the substrate processing apparatus. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 2 차 베이크 공정은 상기 1 차 베이크 공정이 처리된 기판을 건조 처리 후에 진행하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치의 처리 방법.The secondary baking step is a processing method of a substrate processing apparatus, characterized in that the substrate after the primary baking step is processed after the drying treatment.
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