KR20090063596A - 플라즈마 진단용 다채널 광 수집계 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 고온의 플라즈마의 다양한 지점에서 다양한 각도로 나오는 광을 수집하여 여러 개(다채널)의 광 파이버로 입사시키도록 하는 플라즈마 진단용 다채널 광 수집계에 관한 것으로,상기 플라즈마 진단용 다채널 광 수집계는,베이스 프레임;상기 베이스 프레임의 상부 일측에 위치하고, 고온의 플라즈마의 다양한 지점에서 다양한 각도로 나오는 광을 수집하여 여러 개의 광 파이버로 입사시키도록 하는 공초점 렌즈를 포함하는 렌즈 하우징;상기 공초점 렌즈를 통과한 광이 각각의 광 파이버에 입사되도록 초점을 맞추는 포커싱 수단; 및상기 베이스 프레임의 상부 타측에 위치하고, 상기 광 파이버의 위치를 고정시키는 광 파이버 홀더;를 포함함을 특징으로 하는 플라즈마 진단용 다채널 광 수집계.
- 제 1항에 있어서,상기 플라즈마 진단용 다채널 광 수집계에 들어가는 공초점 렌즈의 초점 곡면을 따라 광파이버를 배열하도록 하여, 동일한 위치의 광원에 대하여는 각각의 광 파이버가 동일한 광량을 받아들이도록 하고, 이렇게 함으로써 플라즈마의 여러 지 점에서 나오는 광의 세기 분포를 서로 상대적으로 비교가 가능하도록 함을 특징으로 하는 플라즈마 진단용 다채널 광 수집계.
- 제 1항 또는 2항에 있어서,상기 공초점 렌즈는 세 개의 렌즈가 일렬로 배열되되,상기 세 개의 렌즈는 입사된 광에 대해 순서대로 반 볼록렌즈, 오목렌즈, 볼록렌즈이며,상기 반 볼록렌즈는 입사부분이 볼록 형태로 이루어지고, 출력부분이 평면인 렌즈인 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단용 다채널 광 수집계.
- 제 1항 또는 2항에 있어서,상기 포커싱 수단은,상기 렌즈 하우징을 x,y 방향으로 이동시키는 수단,상기 렌즈 하우징을 광 파이버 홀더 방향(z 방향)으로 이동시키는 수단,상기 렌즈 하우징의 기울기를 맞추는 수단, 및상기 렌즈 하우징을 회전시키는 수단을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단용 다채널 광 수집계.
- 제 1항 또는 2항에 있어서,상기 광 파이버 홀더는,광파이버를 안착시키기 위한 홈이 구비된 광파이버 홀더용 하부 플레이트;상기 광파이버 홀더용 하부 플레이트의 홈에 광파이버를 안착시켰을 때, 광파이버 홀더용 하부 플레이트의 상측에서 광파이버 홀더용 하부 플레이트 및 광파이버를 커버링하는 광파이버 홀더용 상부 플레이트; 및상기 광파이버 홀더용 하부 플레이트와 광파이버 홀더용 상부 플레이트를 결합시켜주는 수단;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단용 다채널 광 수집계.
- 제 4항에 있어서,상기 광 파이버 홀더, 렌즈 하우징, 및 포커싱 수단을 회전시키는 수단을 더 포함함을 특징으로 하는 플라즈마 진단용 다채널 광 수집계.
- 제 5항에 있어서,상기 광파이버 홀더용 하부 플레이트와 광파이버 홀더용 상부 플레이트를 결합은 광파이버 홀더용 하부 플레이트의 상부에 내주면이 나사산 형태로 이루어진 홈을 구비하고, 상기 홈과 연통되도록 광파이버 홀더용 상부 플레이트에 나사산홀을 구비하며, 무두부 볼트를 이용하여 나사산홀을 지나 상기 홈에 끼워 결합되도록 함을 특징으로 하는 플라즈마 진단용 다채널 광 수집계.
- 제 1항 또는 2항에 있어서,상기 플라즈마 진단용 다채널 광 수집계를 다른 장치에 부착하기 위한 플랜지를 더 구비함을 특징으로 하는 플라즈마 진단용 다채널 광 수집계.
- 고온의 플라즈마의 다양한 지점에서 다양한 각도로 나오는 광을 수집하여 여러 개(다채널)의 광 파이버로 입사시키도록 하는 플라즈마 진단용 다채널 광 수집계에 관한 것으로,상기 플라즈마 진단용 다채널 광 수집계는,베이스 프레임;상기 베이스 프레임의 상부 일측에 위치하고, 고온의 플라즈마의 다양한 지점에서 다양한 각도로 나오는 광을 수집하여 여러 개의 광 파이버로 입사시키도록 하는 공초점 렌즈를 포함하는 렌즈 하우징;상기 공초점 렌즈를 통과한 광이 각각의 광 파이버에 입사되도록 초점을 맞추는 포커싱 수단; 및상기 베이스 프레임의 상부 타측에 위치하고, 상기 광 파이버의 위치를 고정시키는 광 파이버 홀더;를 포함하고,상기 플라즈마 진단용 다채널 광 수집계에 들어가는 공초점 렌즈의 초점 곡면을 따라 광파이버를 배열하도록 하여, 동일한 위치의 광원에 대하여는 각각의 광 파이버가 동일한 광량을 받아들이도록 하고, 이렇게 함으로써 플라즈마의 여러 지점에서 나오는 광의 세기 분포를 서로 상대적으로 비교 가능하도록 하며,상기 포커싱 수단은 상기 렌즈 하우징을 x,y 방향으로 이동시키는 수단; 상 기 렌즈 하우징을 광 파이버 홀더 방향(z 방향)으로 이동시키는 수단; 상기 렌즈 하우징의 기울기를 맞추는 수단; 및 상기 렌즈 하우징을 회전시키는 수단을 포함하여 이루어지고,상기 광 파이버 홀더는 광파이버를 안착시키기 위한 홈이 구비된 광파이버 홀더용 하부 플레이트; 상기 광파이버 홀더용 하부 플레이트의 홈에 광파이버를 안착시켰을 때, 광파이버 홀더용 하부 플레이트의 상측에서 광파이버 홀더용 하부 플레이트 및 광파이버를 커버링하는 광파이버 홀더용 상부 플레이트; 및 상기 광파이버 홀더용 하부 플레이트와 광파이버 홀더용 상부 플레이트를 결합시켜주는 수단;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단용 다채널 광 수집계.
- 제 9항에 있어서,상기 광 파이버 홀더, 렌즈 하우징, 및 포커싱 수단을 회전시키는 수단을 더 포함함을 특징으로 하는 플라즈마 진단용 다채널 광 수집계.
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR101101196B1 (ko) * | 2009-08-13 | 2012-01-04 | 한국기초과학지원연구원 | 복수개의 광파이버와 연결된 다중채널 분광기 |
KR101301959B1 (ko) * | 2011-06-10 | 2013-08-30 | 한국기초과학지원연구원 | 플라즈마 진단을 위한 광학측정신호 수집 시스템 |
US10107681B2 (en) | 2015-09-08 | 2018-10-23 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Tube-type lens, optical emission spectroscopy (OES) apparatus including the tube-type lens, plasma monitoring system including the OES apparatus, and method of manufacturing semiconductor device by using the plasma monitoring system |
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KR101301959B1 (ko) * | 2011-06-10 | 2013-08-30 | 한국기초과학지원연구원 | 플라즈마 진단을 위한 광학측정신호 수집 시스템 |
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