KR20090046968A - 신틸레이터 패널 및 방사선 이미지 센서 - Google Patents
신틸레이터 패널 및 방사선 이미지 센서 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20090046968A KR20090046968A KR1020097006522A KR20097006522A KR20090046968A KR 20090046968 A KR20090046968 A KR 20090046968A KR 1020097006522 A KR1020097006522 A KR 1020097006522A KR 20097006522 A KR20097006522 A KR 20097006522A KR 20090046968 A KR20090046968 A KR 20090046968A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- film
- substrate
- metal thin
- scintillator
- protective film
- Prior art date
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims abstract description 34
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 145
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 81
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 73
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 73
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 73
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 64
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims abstract description 12
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 19
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 17
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000008096 xylene Substances 0.000 claims description 9
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910003481 amorphous carbon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 8
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 229910021397 glassy carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 2
- 239000000615 nonconductor Substances 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004541 SiN Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000006056 electrooxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 230000008717 functional decline Effects 0.000 description 1
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 238000004321 preservation Methods 0.000 description 1
- 230000037390 scarring Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
- G01T1/20—Measuring radiation intensity with scintillation detectors
- G01T1/2002—Optical details, e.g. reflecting or diffusing layers
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B6/00—Apparatus or devices for radiation diagnosis; Apparatus or devices for radiation diagnosis combined with radiation therapy equipment
- A61B6/42—Arrangements for detecting radiation specially adapted for radiation diagnosis
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
- G01T1/20—Measuring radiation intensity with scintillation detectors
- G01T1/2018—Scintillation-photodiode combinations
- G01T1/20188—Auxiliary details, e.g. casings or cooling
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
- G01T1/20—Measuring radiation intensity with scintillation detectors
- G01T1/202—Measuring radiation intensity with scintillation detectors the detector being a crystal
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Medical Informatics (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Pathology (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Biophysics (AREA)
- Heart & Thoracic Surgery (AREA)
- Surgery (AREA)
- Animal Behavior & Ethology (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Public Health (AREA)
- Veterinary Medicine (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Conversion Of X-Rays Into Visible Images (AREA)
Abstract
Description
Claims (19)
- 방사선 투과성 기판과, 상기 기판 상에 형성된 방사선 투과성으로 소정 파장의 광을 반사하는 금속 박막과, 상기 금속 박막 상에 형성된 보호막과, 상기 보호막 상에 퇴적되어 방사선을 상기 금속 박막으로 반사할 수 있는 파장을 포함하는 광으로 변환하는 다수의 주상 결정으로 이루어지는 신틸레이터와, 상기 기판과 함께 상기 신틸레이터를 덮는 내습 보호막을 구비하며, 상기 보호막은 상기 금속박막과 상기 신틸레이터와의 접촉을 방지하고 있는 신틸레이터 패널에 있어서,상기 기판 및 상기 금속 박막은 이들을 감싸도록 형성된 상기 보호막에 의해서 밀봉되며,상기 보호막 및 상기 신틸레이터는 이들을 감싸도록 형성된 상기 내습 보호막에 의해서 더 밀봉되어 있는 것을 특징으로 하는 신틸레이터 패널.
- 제 1 항에 있어서,상기 기판과 상기 금속 박막 사이에 상기 기판 및 상기 금속 박막에 밀착하고 있는 중간막이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 신틸레이터 패널.
- 제 2 항에 있어서,상기 중간막은 상기 기판의 전체를 덮고 있는 것을 특징으로 하는 신틸레이터 패널.
- 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 보호막은 상기 중간막에 의해서 전체가 덮여진 상기 기판 및 상기 금속박막을 감싸도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 신틸레이터 패널.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 보호막은 크실렌계 막인 것을 특징으로 하는 신틸레이터 패널.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 내습 보호막은 크실렌계 막인 것을 특징으로 하는 신틸레이터 패널.
- 제 2 항 또는 제3항에 있어서,상기 중간막은 유기막인 것을 특징으로 하는 신틸레이터 패널.
- 제 2 항 또는 제3항에 있어서,상기 중간막은 크실린계 막인 것을 특징으로 하는 신틸레이터 패널.
- 제 2 항 또는 제3항에 있어서,상기 기판은 유리제 기판, 알루미늄제 기판 혹은 탄소를 주성분으로 하는 기판 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 신틸레이터 패널.
- 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 기판은 도전성 기판으로, 상기 중간막은 상기 기판과 상기 금속 박막과의 접촉을 방지하고 있는 것을 특징으로 하는 신틸레이터 패널.
- 제 10 항에 있어서,상기 도전성 기판은 알루미늄제 기판 또는 탄소를 주성분으로 하는 기판 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 신틸레이터 패널.
- 제 11 항에 있어서,상기 탄소를 주성분으로 하는 기판은, 비결정 탄소를 포함하는 기판인 것을 특징으로 하는 신틸레이터 패널.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 금속 박막은, Al, Ag, Cr, Cu, Ni, Ti, Mg, Rh, Pt 및 Au로 이루어진 군 중의 물질을 포함하는 재료로 이루어지는 막인 것을 특징으로 하는 신틸레이터 패널.
- 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 금속 박막은 상기 중간막과 상기 보호막에 밀착하여 양자에 의해서 밀 봉되어 있는 것을 특징으로 하는 신틸레이터 패널.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 보호막은 CVD법으로 상기 기판 상 및 상기 금속 박막 상에 형성된 막인 것을 특징으로 하는 신틸레이터 패널.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 내습 보호막은 CVD법으로 상기 신틸레이터 상 및 상기 보호막 상에 형성된 막인 것을 특징으로 하는 신틸레이터 패널.
- 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 중간막은 CVD법으로 상기 기판 상에 형성된 막인 것을 특징으로 하는 신틸레이터 패널.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 하나의 항에 기재된 신틸레이터 패널과,상기 신틸레이터 패널의 상기 기판과는 반대 면에서 출력되는 방사선을 변환한 광 화상을 촬상하는 촬상 소자를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 방사선 이미지 센서.
- 제 18 항에 있어서,상기 촬상 소자는 상기 신틸레이터 패널의 신틸레이터 측에 대향하여 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 방사선 이미지 센서.
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JPJP-P-2001-022167 | 2001-01-30 | ||
JP2001022167 | 2001-01-30 | ||
JPJP-P-2001-339741 | 2001-11-05 | ||
JP2001339741 | 2001-11-05 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR10-2003-7009840A Division KR20030072606A (ko) | 2001-01-30 | 2002-01-30 | 신틸레이터 패널 및 방사선 이미지 센서 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20090046968A true KR20090046968A (ko) | 2009-05-11 |
KR100945615B1 KR100945615B1 (ko) | 2010-03-04 |
Family
ID=26608558
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020097006522A KR100945615B1 (ko) | 2001-01-30 | 2002-01-30 | 신틸레이터 패널 및 방사선 이미지 센서 |
KR1020097006523A KR100945614B1 (ko) | 2001-01-30 | 2002-01-30 | 신틸레이터 패널 및 방사선 이미지 센서 |
KR10-2003-7009840A KR20030072606A (ko) | 2001-01-30 | 2002-01-30 | 신틸레이터 패널 및 방사선 이미지 센서 |
Family Applications After (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020097006523A KR100945614B1 (ko) | 2001-01-30 | 2002-01-30 | 신틸레이터 패널 및 방사선 이미지 센서 |
KR10-2003-7009840A KR20030072606A (ko) | 2001-01-30 | 2002-01-30 | 신틸레이터 패널 및 방사선 이미지 센서 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP1365261B1 (ko) |
JP (1) | JP3987438B2 (ko) |
KR (3) | KR100945615B1 (ko) |
CN (1) | CN1264026C (ko) |
WO (1) | WO2002061459A1 (ko) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7034306B2 (en) | 1998-06-18 | 2006-04-25 | Hamamatsu Photonics K.K. | Scintillator panel and radiation image sensor |
JP4878427B2 (ja) * | 2001-09-07 | 2012-02-15 | キヤノン株式会社 | シンチレータパネル、放射線撮像装置及び放射線検出システム |
GB2446185A (en) | 2006-10-30 | 2008-08-06 | Sensl Technologies Ltd | Optical assembly and method of assembly |
US7564047B2 (en) * | 2006-11-07 | 2009-07-21 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Radiation image conversion panel, and manufacturing method and cassette thereof |
US7468514B1 (en) * | 2007-06-15 | 2008-12-23 | Hamamatsu Photonics K.K. | Radiation image conversion panel, scintillator panel, and radiation image sensor |
US20080311484A1 (en) * | 2007-06-15 | 2008-12-18 | Hamamatsu Photonicfs K.K. | Radiation image conversion panel, scintillator panel, and radiation image sensor |
US7465932B1 (en) * | 2007-06-15 | 2008-12-16 | Hamamatsu Photonics K.K. | Radiation image conversion panel, scintillator panel, and radiation image sensor |
JPWO2009028275A1 (ja) * | 2007-08-28 | 2010-11-25 | コニカミノルタエムジー株式会社 | シンチレータパネル |
EP2407978B1 (en) | 2009-03-13 | 2015-06-03 | Hamamatsu Photonics K.K. | Radiation image conversion panel and method for producing same |
JP5947155B2 (ja) * | 2012-08-29 | 2016-07-06 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線像変換パネル |
JP6433561B1 (ja) * | 2017-09-27 | 2018-12-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | シンチレータパネル及び放射線検出器 |
JP7325295B2 (ja) * | 2019-10-24 | 2023-08-14 | 浜松ホトニクス株式会社 | シンチレータパネル、放射線検出器、シンチレータパネルの製造方法、及び、放射線検出器の製造方法 |
JP7333244B2 (ja) * | 2019-10-24 | 2023-08-24 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出器、及び、放射線検出器の製造方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US453485A (en) * | 1891-06-02 | James johnson | ||
JPS5689702A (en) * | 1979-12-21 | 1981-07-21 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Laser beam reflecting mirror |
JPS6173901A (ja) * | 1984-09-19 | 1986-04-16 | Fujitsu Ltd | 赤外線検知装置用金属鏡の製造方法 |
JPH0697280B2 (ja) * | 1988-02-05 | 1994-11-30 | 富士写真フイルム株式会社 | 放射線像変換パネル |
US5179284A (en) * | 1991-08-21 | 1993-01-12 | General Electric Company | Solid state radiation imager having a reflective and protective coating |
US6172371B1 (en) * | 1998-06-15 | 2001-01-09 | General Electric Company | Robust cover plate for radiation imager |
EP1118878B1 (en) * | 1998-06-18 | 2005-08-17 | Hamamatsu Photonics K.K. | Scintillator panel, radiation image sensor, and method for producing the same |
EP1118880B1 (en) * | 1998-06-18 | 2003-11-26 | Hamamatsu Photonics K.K. | Method of organic film deposition |
EP1684095B1 (en) * | 1998-06-18 | 2013-09-04 | Hamamatsu Photonics K.K. | Scintillator panel and radiation image sensor |
AU1507399A (en) * | 1998-12-14 | 2000-07-03 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical element and radiation detector using the same |
JP3126715B2 (ja) * | 1999-04-16 | 2001-01-22 | 浜松ホトニクス株式会社 | シンチレータパネル及び放射線イメージセンサ |
EP1879050A3 (en) * | 2000-09-11 | 2008-03-26 | Hamamatsu Photonics K.K. | Scintillator panel, radiation image sensor and methods of producing them |
-
2002
- 2002-01-30 CN CNB028043049A patent/CN1264026C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2002-01-30 JP JP2002561973A patent/JP3987438B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2002-01-30 KR KR1020097006522A patent/KR100945615B1/ko active IP Right Grant
- 2002-01-30 WO PCT/JP2002/000732 patent/WO2002061459A1/ja active Application Filing
- 2002-01-30 KR KR1020097006523A patent/KR100945614B1/ko active IP Right Grant
- 2002-01-30 KR KR10-2003-7009840A patent/KR20030072606A/ko not_active Application Discontinuation
- 2002-01-30 EP EP02710408.2A patent/EP1365261B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1365261A4 (en) | 2012-12-05 |
KR100945614B1 (ko) | 2010-03-04 |
KR100945615B1 (ko) | 2010-03-04 |
KR20030072606A (ko) | 2003-09-15 |
CN1264026C (zh) | 2006-07-12 |
EP1365261B1 (en) | 2016-12-14 |
KR20090045417A (ko) | 2009-05-07 |
JPWO2002061459A1 (ja) | 2004-06-03 |
CN1489705A (zh) | 2004-04-14 |
EP1365261A1 (en) | 2003-11-26 |
WO2002061459A1 (fr) | 2002-08-08 |
JP3987438B2 (ja) | 2007-10-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5179284A (en) | Solid state radiation imager having a reflective and protective coating | |
EP1211521B1 (en) | Scintillator panel and radiation image sensor | |
US7034306B2 (en) | Scintillator panel and radiation image sensor | |
JP4099206B2 (ja) | シンチレータパネル及び放射線イメージセンサ | |
USRE42281E1 (en) | Scintillator panel, radiation image sensor and methods of producing them | |
KR100639845B1 (ko) | 방사선 이미지 센서 | |
KR100564519B1 (ko) | 방사선검출장치 및 그 제조방법 | |
EP1091216A1 (en) | Radiation imaging with continuous polymer layer for scintillator | |
KR100945615B1 (ko) | 신틸레이터 패널 및 방사선 이미지 센서 | |
EP0932053A1 (en) | Radiation detection device and method of producing the same | |
WO1998036291A1 (fr) | Dispositif de detection de radiations et son procede de production | |
US7473903B2 (en) | Method and apparatus for deposited hermetic cover for digital X-ray panel | |
CN1776456B (zh) | 闪烁器面板 | |
JP4283863B2 (ja) | シンチレータパネル | |
KR101405537B1 (ko) | 간접방식 신틸레이터 패널 및 그 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A107 | Divisional application of patent | ||
A201 | Request for examination | ||
A302 | Request for accelerated examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130201 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140204 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150130 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160127 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170202 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180202 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190201 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20200205 Year of fee payment: 11 |