KR20090012733A - 대면적 원뿔형 또는 구형 마이크로 금형 구조물 제작을위한 레이저 어블레이션 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (5)
- 레이저를 이용한 레이저 어블레이션 방법에 있어서,대상물(10)의 일측 상단부터 레이저를 원형으로 조사하여 가공물(11)을 형성하는 레이저 조사단계(S10)와;상기 대상물(10) 일측 상단부터 일측 하단으로 조사되어지는 레이저를 상단에서 하단으로 단계적으로 조사하는 레이저 이동조사단계(S20)와;상기 대상물(10)의 일측 상단에서 하단까지 레이저가 모두 조사되어지면 일정거리만큼 타측으로 이격된 위치에서 상단에서 하단으로 레이저를 이동시키며 조사하여 대상물(10)을 가공하는 과정으로 하는 일측에 평행한 수직 반복 조사단계(S30)와;상기 수직 반복 조사단계(S30)와 같은 방법으로 일측에 수직하도록 즉, 바둑판 격자 모양으로 스캔하는 수평 반복 조사단계(S40)와;상기 레이저 조사단계(S10)와 레이저 이동조사단계(S20), 수직 반복 조사단계(S30) 및 수평 반복 조사단계(S40)를 사용자가 원하는 가공물이 나올때까지 스캔 횟수, 레이저 파워와 스캔라인 간격을 조절하여 조사하는 레이저조절 조사단계(S50);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 대면적 원뿔형 또는 구형 마이크로 금형 구조물 제작을 위한 레이저 어블레이션 방법.
- 제 1항에 있어서,상기 대상물(10)에 레이저를 조사하는 장치는 레이저가 발광되어지는 광원과, 상기 광원에서 발광되어진 레이저를 측면 방향으로 반사시켜 각도를 조절하는 제1 반사장치(40)와, 상기 제1 반사장치(40)의 일측에 일정거리 이격되어 위치하여 제1 반사장치(40)에서 반사되어진 레이저를 수직방향으로 반사시키는 제2 반사장치(30)와, 상기 제2 반사장치(30)에서 반사되어진 레이저를 집광하여 대상물(10)에 조사하는 렌즈(20)를 포함하여 구성되어지는 것을 특징으로 하는 대면적 원뿔형 또는 구형 마이크로 금형 구조물 제작을 위한 레이저 어블레이션 방법.
- 제 2항에 있어서,상기 레이저를 반사하는 제1,2 반사장치(40,30)는 거울 또는 스테이 렌즈 또는 오브젝티브 렌즈중 어느 한가지를 선택하여 사용할 수 있는 것을 특징으로 하는 대면적 원뿔형 또는 구형 마이크로 금형 구조물 제작을 위한 레이저 어블레이션 방법.
- 제 1항에 있어서,상기 대상물(10)에 형성되는 가공물(11)은 대상물(10)에 조사되는 레이저빔 프로파일의 형태에 따라 정면상 원뿔 또는 타원뿔 또는 다각뿔 형상으로 형성되어진 것을 특징으로 하는 대면적 원뿔형 또는 구형 마이크로 금형 구조물 제작을 위한 레이저 어블레이션 방법.
- 제 1항에 있어서,상기 대상물(10)에 형성되는 가공물(11)은 금형재료로서 쓰일 수 있으며, 레이저의 조사 방법에 따라 다양한 형태의 사출물을 제작할 수 있는 것을 특징으로 하는 대면적 원뿔형 또는 구형 마이크로 금형 구조물 제작을 위한 레이저 어블레이션 방법.
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