KR20080101764A

KR20080101764A - Rubbing apparatus

Info

Publication number: KR20080101764A
Application number: KR1020080045455A
Authority: KR
Inventors: 마사이치 고바야시; 마사하루 나가타; 유이치 스즈키
Original assignee: 조요고가쿠 가부시키가이샤
Priority date: 2007-05-18
Filing date: 2008-05-16
Publication date: 2008-11-21
Also published as: JP2008287080A; TW200846791A; CN101306509A

Abstract

A rubbing apparatus is provided to produce good quality display device by rubbing alignment formed on a glass substrate with uniform pressure, thereby reducing time and cost for transferring process. As a rubbing apparatus performing rubbing process using a rotating rubbing roller(20) to the alignment layer on the substrate, it has a main station, and a sub station. The main station has(24) a pair of stage controller for controlling the movement of the stages which fixes a pair of substrate formed with alignment layer, while maintaining inclination against gravity direction. A pair of station have a rubbing roller controller for controlling the distance from the substrate, an angle, and a rotation of the rubbing roller. The main station and a pair of sub station(25) are connectable with each other.

Description

러빙 장치{RUBBING APPARATUS}Rubbing Device {RUBBING APPARATUS}

본 발명은, 액정 표시 소자의 제조 프로세스의 하나인 러빙 공정에서 사용하는 러빙 장치에 관한 것으로서, 자세히는, 특히 대형의 액정 표시 소자에 러빙 처리를 실시하는 러빙 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a rubbing device for use in a rubbing step, which is one of the manufacturing processes of the liquid crystal display element, and more particularly to a rubbing device for performing a rubbing treatment on a large liquid crystal display element.

액정 패널의 제조 프로세스 중에 러빙 공정이 있다. 이는, 투명 기판(예를 들면, 유리 기판) 표면에 형성된 배향막을 포로 비벼 (러빙) 미세한 홈을 형성하는 공정으로서, 액정 분자의 분포를 균일하고, 또한 액정 분자의 배향을 홈을 따라 소정의 방향으로 배열시킴으로써 액정 패널의 전면에 걸쳐 균일한 표시를 얻기 위한 것이다.There is a rubbing process during the manufacturing process of the liquid crystal panel. This is a step of rubbing (rubbing) fine grooves on an alignment film formed on the surface of a transparent substrate (for example, a glass substrate), and uniformly distributing the liquid crystal molecules, and in the predetermined direction along the grooves. It is for obtaining a uniform display over the whole surface of a liquid crystal panel by arrange | positioning to it.

유리 기판에 형성된 배향막을 러빙하는 일반적인 방법은, 원통형의 롤러의 외주면에 파일(pile)(털)을 심어 설치한 포(러빙 포)를 감아 러빙 롤러를 구성해, 유리 기판을 소정의 방향으로, 소정의 속도로 이동시키면서 유리 기판에 형성된 배향막을 회전하는 러빙 롤러의 파일로 러빙하는 것이다.In the general method of rubbing the alignment film formed on the glass substrate, a rubbing roller is formed by winding a pile (fur) formed by installing a pile (hair) on the outer circumferential surface of the cylindrical roller, thereby forming the rubbing roller in the predetermined direction, It is rubbing with the pile of the rubbing roller which rotates the orientation film formed in the glass substrate, moving at a predetermined speed.

러빙 공정에서 사용되는 종래의 러빙 장치는, 배향막이 형성된 유리 기판을 상기 유리 기판면의 법선이 중력 방향과 거의 평행이 되도록 스테이지 상에서 유지 해, 러빙 롤러의 회전축 및/또는 스테이지를 중력 방향에 대해 거의 수직 방향으로 이동시키면서 러빙 처리를 행하는 것이다.The conventional rubbing device used in the rubbing process maintains the glass substrate on which the alignment film is formed on the stage such that the normal of the surface of the glass substrate is substantially parallel to the direction of gravity, so that the rotating axis of the rubbing roller and / or the stage is almost in the direction of the gravity direction. The rubbing process is performed while moving in the vertical direction.

그런데 러빙 장치는 액정 디스플레이의 대형화에 따라 러빙 롤러도 장대화할 필요가 있다. 그 경우, 러빙 롤러의 원통의 길이를 길게 함에 따라 러빙 롤러 자신의 중량이 무거워지고, 러빙 롤러의 회전축을 수평 방향(중력 방향에 대해 수직 방향)으로 지지했을 때에 러빙 롤러의 길이 방향의 중앙부가 자중에 의해 휘어지고(편심), 유리 기판에 형성된 배향막 전체를 균일한 압력으로 러빙할 수 없게 된다. 그 결과, 액정 표시 패널 전면이 불균일한 표시를 나타내, 표시 품위를 손상시킨 보기 안 좋은 액정 디스플레이가 된다.By the way, the rubbing apparatus needs to enlarge the rubbing roller also with the enlargement of a liquid crystal display. In that case, as the length of the cylinder of the rubbing roller becomes longer, the weight of the rubbing roller itself becomes heavy, and when the rotating shaft of the rubbing roller is supported in the horizontal direction (vertical direction to the gravity direction), the central portion in the longitudinal direction of the rubbing roller is self-weighting. Is bent (eccentric), and the entire alignment film formed on the glass substrate cannot be rubbed at a uniform pressure. As a result, the whole liquid crystal display panel shows a non-uniform display, and it becomes the unsatisfactory liquid crystal display which damaged display quality.

또, 상술과 같이 러빙 롤러가 휘어진 상태에서 회전하면, 러빙 롤러의 편심때문에 러빙 롤러에 원심력에 의한 흔들림이 생기고, 유리 기판에 형성된 배향막 전체를 균일한 압력으로 러빙하지 못하게 된다. 그 결과 상기와 같이, 액정 표시 패널 전면이 불균일한 표시가 나타나, 표시 품위를 해친 보기 안 좋은 액정 디스플레이가 된다.In addition, when the rubbing roller rotates in the bent state as described above, the eccentricity of the rubbing roller causes vibration of the rubbing roller due to centrifugal force, and the entire alignment film formed on the glass substrate cannot be rubbed with uniform pressure. As a result, an uneven display appears on the entire liquid crystal display panel as described above, resulting in an unsatisfactory liquid crystal display that has deteriorated the display quality.

이러한 문제는 러빙 롤러의 가공 정밀도를 높임으로써 대처할 수 있는 것이 아니라, 해결 수단으로서 러빙 롤러의 자중에 의한 휘어짐에 기인하는, 배향막 전체에 대한 불균일한 가압을 저감해, 표시 품위가 양호한 액정 디스플레이가 실현될 수 있는 러빙 장치의 제안이 이루어지고 있다.This problem cannot be solved by increasing the processing accuracy of the rubbing roller, but as a means of solving the problem, a liquid crystal display with good display quality is realized by reducing uneven pressurization on the entire alignment film due to the bending caused by the self-weight of the rubbing roller. A proposal of a rubbing device which can be made is made.

그것은, 도 6에 나타내는 바와 같이, 러빙 롤러(50)의 회전축을 중력 방향(51)과 평행하게 유지해, 배향막이 형성된다. 유리 기판(52)을 상기 유리 기 판(52)면의 법선이 중력 방향(51)과 수직 방향이 되도록 스테이지(53) 상에 유지해, 회전하는 러빙 롤러(50)와 유리 기판(52)이 유지된 스테이지(53)의 중력 방향(51)에 수직인 방향의 상대 이동에 의해 러빙 처리를 실행하는 장치이다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조.)As shown in FIG. 6, the rotation axis of the rubbing roller 50 is kept parallel to the gravity direction 51, and an orientation film is formed. The glass substrate 52 is held on the stage 53 so that the normal of the surface of the glass substrate 52 is perpendicular to the direction of gravity 51, and the rotating rubbing roller 50 and the glass substrate 52 are held. It is an apparatus which performs a rubbing process by the relative movement of the direction perpendicular to the gravity direction 51 of the stage 53 (for example, refer patent document 1).

[특허문헌 1: 일본국 특허 제 2800793호 공보][Patent Document 1: Japanese Patent No. 2800793]

그런데, 액정 세대별에서의 유리 기판 크기는, 주로 장치의 처리 능력에 의해 한정되어, 액정 표시 패널의 개발 초기를 액정의 제1 세대로 하면 약 300㎜×300㎜이었던 것이, 현재의 액정 세대인 제7 세대에서는 약 1800㎜×2000㎜가 되어, 향후 제8~10 세대에서는 약 2600㎜×3000㎜까지 될 것으로 예측되어 있다.By the way, the glass substrate size by liquid crystal generation is mainly limited by the processing capability of an apparatus, and when the initial stage of development of a liquid crystal display panel was made into the 1st generation of liquid crystal, it was about 300 mm x 300 mm which is a present liquid crystal generation. It is expected to be about 1800 mm x 2000 mm in the seventh generation and to about 2600 mm x 3000 mm in the eighth to tenth generations in the future.

그러면, 러빙 처리가 실시되는 유리 기판의 대형화에 따라 러빙 장치도 필연적으로 대형이 되고, 거기에 따라 러빙 장치의 설치에 필요로 하는 점유 면적도 커지게 된다. 그 때문에, 러빙 장치를 설치하기 위한 넓은 부지와 큰 건물이 필요하고, 토지의 이용 효율이 저하됨과 더불어 러빙 장치의 가동에 관계되지 않는 토지·건물에 대한 고정비가 커지게 된다.Then, a rubbing device also inevitably becomes large with the enlargement of the glass substrate in which a rubbing process is performed, and the occupying area required for installation of a rubbing device also increases by this. Therefore, a large site and a large building for installing the rubbing device are required, and the use efficiency of the land is lowered, and the fixed cost for the land and the building not related to the operation of the rubbing device is increased.

이 문제에 대해, 「특허 문헌 1」에 기재된 러빙 장치는 상술한 바와 같이, 유리 기판의 대형화에 대해 표시 품위가 양호한 액정 디스플레이를 실현하는 것이 가능함과 더불어, 유리 기판의 대형화에 수반해 러빙 장치의 점유 면적이 확대화하는 것을 억제하는 장점도 가진다.With respect to this problem, as described above, the rubbing device described in "Patent Document 1" can realize a liquid crystal display with good display quality with respect to the enlargement of the glass substrate, and with the enlargement of the glass substrate, It also has the advantage of suppressing the expansion of the occupied area.

단, 향후, 액정의 제8~10세대를 맞이하여 러빙 처리를 실시하는 유리 기판의 크기가 극대화하면, 종래의 러빙 장치만큼이 아니더라도 제안된 러빙 장치에서도 대형화는 피할 수 없다.However, in the future, if the size of the glass substrate subjected to the rubbing treatment for the 8th to 10th generations of the liquid crystal is maximized, the size of the proposed rubbing device cannot be avoided even if it is not as much as a conventional rubbing device.

그러면, 러빙 장치의 대형화에 수반하고, 러빙 장치의 조립 작업 스페이스의 확보 및 출하시의 반송 작업에 관한 효율 등의 문제가 발생한다.Then, with enlargement of a rubbing device, problems, such as securing the assembly work space of a rubbing device and the efficiency regarding the conveyance work at the time of shipment, arise.

특히, 반송 작업에 대해서는, 반송하는 러빙 장치가 소정의 크기 이상이 되면 도로 교통법 등의 법적 제약을 받아 공도(公道)를 주행하기 위한 신청 서류 작성 업무 및 신청 업무에 관한 인건비가 발생함과 더불어, 반송일의 한정에 의해 납기의 자유도가 제약될 가능성이 있다.In particular, in the case of the returning operation, when the rubbing device to be returned becomes larger than a predetermined size, labor costs related to the application document preparation task and the application task for driving the highway under the legal restrictions such as the road traffic law are incurred. There is a possibility that the degree of freedom of delivery date may be restricted by the limitation of the return date.

또한, 대형 차량을 사용함에 의한 반송 비용의 대폭 경비가 필요하게 되고, 러빙 장치의 제작비 이외의 여분의 경비가 커지게 된다.In addition, a large cost of the transportation cost by using a large vehicle is required, and an extra cost other than the manufacturing cost of a rubbing device becomes large.

그래서, 본 발명은 상기 문제를 감안하여 창안된 것으로서, 그 목적으로 하는 것은, 대형 유리 기판이라도 유리 기판에 형성된 배향막 전체를 균일한 압력으로 러빙함으로써 표시 품위가 양호한 액정 디스플레이를 실현될 수 있음과 더불어, 러빙 장치 출하시의 반송 업무에 관한 시간적, 비용적인 부담을 저감하여, 설치시에는 필요한 점유 면적의 확대를 억제할 수 있는 러빙 장치를 제공하는 것이다.Accordingly, the present invention has been devised in view of the above problems, and its object is to achieve a liquid crystal display having good display quality by rubbing the entire alignment film formed on the glass substrate at a uniform pressure even in a large glass substrate. It is to provide a rubbing device which can reduce the time and cost burden on the return service at the time of shipping a rubbing device, and can suppress the expansion of the occupied area required at the time of installation.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 청구항 1에 기재된 발명은, 기판에 형성된 배향막에, 회전하는 러빙 롤러에 의해 러빙 처리를 실시하는 러빙 장치로서, 상기 러빙 장치는, 배향막이 형성된 한 쌍의 기판을 각각 고정하는 한 쌍의 스테이지가 모두 중력 방향에 대해 평행 혹은 소정의 각도로 경사진 상태를 유지하면서 개별적으로 이동하는 것을 제어하는 한 쌍의 스테이지 제어 기구를 가지는 주요 기구부와, 상기 주기구부 사이에 끼고 양측에 위치하여 각각 러빙 포를 감은 러빙 롤러의 상기 러빙 롤러가 대향하는 상기 기판과의 거리, 각도 및 상기 러빙 롤러의 회전을 제어하는 러빙 롤러 제어 기구를 가지는 한 쌍의 보조 기구부를 구비하여, 상기 주요 기구부와 상기 한 쌍의 보조 기구부가 분리 및 연결 가능한 것을 특징으로 하는 것이다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to solve the said subject, the invention of Claim 1 is a rubbing apparatus which performs the rubbing process with the rotating rubbing roller to the orientation film formed in the board | substrate, The said rubbing device is a pair of board | substrate with which the orientation film was formed. Between a main mechanism portion having a pair of stage control mechanisms for controlling each of the pair of stages fixing each of the stages individually moving while being inclined at a predetermined angle or parallel to the direction of gravity; A pair of auxiliary mechanisms having a rubbing roller control mechanism for controlling the rotation of the rubbing roller, the distance and the angle of the rubbing roller of the rubbing roller, each of which is positioned on both sides of the rubbing roller, which is wound around the rubbing roller, The main mechanism portion and the pair of auxiliary mechanism portions can be separated and connected.

또, 본 발명의 청구항 2에 기재된 발명은, 청구항 1에 있어서, 상기 스테이지의 경사 각도는 0°보다 크고 30°이하인 것을 특징으로 하는 것이다.Moreover, the invention of Claim 2 of this invention WHEREIN: The inclination-angle of the said stage is larger than 0 degree, and is 30 degrees or less, It is characterized by the above-mentioned.

또, 본 발명의 청구항 3에 기재된 발명은, 청구항 1 또는 2의 어느 한 항에 있어서, 상기 주요 기구부와 상기 보조 기구부는, 모두 짧은 길이 방향의 치수가 3200㎜를 초과하지 않는 것을 특징으로 하는 것이다.In addition, the invention according to claim 3 of the present invention is characterized in that the main mechanism portion and the auxiliary mechanism portion do not exceed 3200 mm in the dimension in the short longitudinal direction. .

또, 본 발명의 청구항 4에 기재된 발명은, 청구항 1 내지 3의 어느 한 항에 있어서, 상기 스테이지 제어 기구의 구동원이 리니어 모터인 것을 특징으로 하는 것이다.Moreover, the invention of Claim 4 of this invention is a drive source of the said stage control mechanism as described in any one of Claims 1-3 characterized by the above-mentioned.

본 발명의 러빙 장치는, 각각 배향막이 형성된 한 쌍의 기판을 모두 중력 방향에 대해 평행 혹은 소정의 각도로 경사시켜, 그 상태로 한 쌍의 기판에 한 쌍의 러빙 롤러로 동시에 러빙 처리를 실시할 수 있도록 했다. 또, 러빙 장치를 복수의 부분으로 분리하여 반송하고, 설치 장소에서 결합하여 조립할 수 있는 구성으로 했다.In the rubbing device of the present invention, the pair of substrates each having the alignment film formed thereon are inclined in parallel or at a predetermined angle with respect to the gravity direction, and the rubbing treatment can be simultaneously performed on the pair of substrates with a pair of rubbing rollers. To help. Moreover, it was set as the structure which can separate and convey a rubbing apparatus in several parts, and can combine and assemble at an installation place.

그 결과, 러빙 처리의 효율화, 러빙 장치의 점유 면적의 소스페이스화, 반송 업무의 효율화 등이 뛰어난 효과를 가지는 것이다.As a result, the efficiency of rubbing process, the small space of the occupied area of a rubbing device, the efficiency of conveyance service, etc. have the outstanding effect.

이하, 이 발명의 실시 형태를 도 1 ~ 도 5를 참조하면서, 상세히 설명한다 (동일 부분에 대해서는 동일 부호를 부여). 또한, 이하에 언급하는 실시 형태는, 본 발명의 적합한 구체적인 예이기 때문에, 기술적으로 바람직한 여러 가지의 한정이 부여되어 있지만, 본 발명의 범위는, 이하의 설명에 대해 특별히 본 발명을 한정하는 취지의 기재가 없는 한, 이러한 형태로 한정되는 것이 아니다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described in detail, referring FIGS. 1-5 (the same code | symbol is attached | subjected). In addition, since embodiment mentioned below is a suitable specific example of this invention, although various technically preferable limitation is given, the scope of the present invention is a meaning which limits this invention especially to the following description. Unless otherwise described, it is not limited to this form.

도 1은 본 발명의 러빙 장치에 관한 실시 형태를 나타내는 사시도, 도 2는 도 1의 A-A단면도이다. 또한, 이하의 설명에서, 방향에 관한 기재(X, Y, Z, θ)는 도면 중에 표기한 X, Y, Z, 및 θ의 각방향을 나타내는 것이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The perspective view which shows embodiment which concerns on the rubbing device of this invention, and FIG. 2 is A-A sectional drawing of FIG. In addition, in the following description, description (X, Y, Z, (theta)) regarding a direction shows the angular direction of X, Y, Z, and (theta) shown in the figure.

도 1, 도 2에 나타내는 바와 같이, 길이 방향을 X방향으로 하는 제1 받침대(1)과 제1 받침대(1)을 사이에 끼고 양측으로 배치된 길이 방향을 X방향으로 하는 한 쌍의 제2 받침대(2)이 일체화되어 받침대(3)이 형성되어 있다. 제1 받침대(1) 및 제2 받침대(2)은 모두 양면(1a, 1b, 2a, 2b)을 대략 평행으로 하는 평판 형상을 나타내어 있다.As shown to FIG. 1, FIG. 2, a pair of 2nd which makes the longitudinal direction arrange | positioned at both sides between the 1st base 1 and the 1st base 1 which make a longitudinal direction X direction be X direction. The pedestal 2 is integrated to form the pedestal 3. Both the first pedestal 1 and the second pedestal 2 have a flat plate shape in which both surfaces 1a, 1b, 2a, and 2b are substantially parallel.

제1 받침대(1)의 일측 면(1a) 위에는, 양면(4a, 4b)을 대략 평행으로 하는 평판 형상의 리니어 기구 지지체(4)가 고정되어 있다. 리니어 기구 지지체(4)는 상기 리니어 기구 지지체(4)의 대략 평행면(4a, 4b)이 제1 받침대(1)의 상기 리니어 기구 지지체(4)가 고정된 면(1a)에 대해 수직으로 되어 있고, 2평면(1a, 4a)과 2평면(1a, 4b)의 각각의 교선L1, L2는 모두 X방향으로 늘어나 있다.On the one side surface 1a of the 1st base 1, the flat linear mechanism support body 4 which makes both surfaces 4a and 4b substantially parallel is fixed. The linear mechanism support 4 has approximately parallel surfaces 4a, 4b of the linear mechanism support 4 perpendicular to the surface 1a on which the linear mechanism support 4 of the first pedestal 1 is fixed. , The intersections L1 and L2 of each of the two planes 1a and 4a and the two planes 1a and 4b extend in the X direction.

리니어 기구 지지체(4)의 양면(4a, 4b)의 각각에는, 다수의 마그넷(5)을 서로 이웃하는 마그넷(5)의 자극의 극성을 교대로 바꾸어 직선 형태로 등간격으로 병설함으로써 모듈화된 마그넷 플레이트(6)와 각각 마그넷 플레이트(6)를 사이에 끼 고 상기 마그넷 플레이트(6)로부터 대략 등간격으로, 또한 마그넷 플레이트(6)에 평행으로 배치된 한 쌍의 테이블 슬라이드용 가이드 레일(7)이 배치된 제1 베드(8)가 장착되어 있다. 각각의 제1 베드(8)에 배치된 마그넷 플레이트(6)와 한 쌍의 테이블 슬라이드용 가이드 레일(7)은 모두 제1 받침대(1)의 길이 방향(X방향)으로 늘어나 있다.On each of both surfaces 4a and 4b of the linear mechanism support 4, the magnets modularized by alternately changing the polarities of the magnetic poles of the magnets 5 adjacent to each other in parallel and parallelly arranged at equal intervals. Guide rails 7 for a pair of table slides disposed between the plate 6 and the magnet plate 6, respectively, at substantially equal intervals from the magnet plate 6 and parallel to the magnet plate 6; This arranged first bed 8 is mounted. The magnet plate 6 and the pair of table slide guide rails 7 arranged on each first bed 8 extend in the longitudinal direction (X direction) of the first pedestal 1.

그리고, 각각의 제1 베드(8)에는 표면에 배향막이 형성된 유리 기판(9)을 얹어놓는 테이블(10)이 대치하고, 각 테이블(10)의 제1 베드(8)에 대향하는 면(10a)에는 마그넷 플레이트(6)와 대향하는 위치에 공심 코일(도시하지 않음)을 배치하고, 모듈화된 코일 플레이트(11)와 테이블 슬라이드용 가이드 레일(7)과 대향하는 위치에 한 쌍의 테이블 슬라이드용 슬라이더(12)가 배치되어 테이블(10)이 테이블 슬라이드용 슬라이더(12)를 통해 테이블 슬라이드용 가이드 레일(7)에 슬라이드 가능하게 지지되어 있다.And the table 10 which mounts the glass substrate 9 in which the orientation film was formed in the surface of each 1st bed 8 is replaced, and the surface 10a which opposes the 1st bed 8 of each table 10 is opposed. ), An air core coil (not shown) is disposed at a position opposite to the magnet plate 6, and a pair of table slides are positioned at a position opposite to the modular coil plate 11 and the guide rail 7 for the table slide. The slider 12 is arrange | positioned, and the table 10 is slidably supported by the guide rail 7 for table slides through the slider 12 for table slides.

그리고, 상기 마그넷과 공심 코일에 의해 리니어 기구(13)가 구성되어 있고, 리니어 기구(13)에 의해 테이블(10)이 테이블 슬라이드용 가이드 레일(7)에 따라 제1 베드(8)의 길이 방향(X방향)으로 이동하게 되어 있다.And the linear mechanism 13 is comprised by the said magnet and an air core coil, The table 10 is the longitudinal direction of the 1st bed 8 by the linear mechanism 13 along the guide rail 7 for table slides. It moves to (X direction).

다음에, 한 쌍의 제2 받침대(2)의 각각에는 제2 베드(14)를 고정·지지하는 한 쌍의 제2 베드 지지체(15a, 15b)가 입설(立設)되어 한 쌍의 제2 베드 지지체(15a, 15b)끼리 사이에는 각각 리니어 기구 지지체(4) 상에 위치하는 횡가재(橫架材)(16a, 16b)에 의해 횡가 연결되어 있다. 또한, 각 제2 받침대(2)에 설립된 제2 베드 지지체(15a, 15b)끼리는 상기 제2 받침대(2)의 길이 방향(X방향)으로 병설 됨과 더불어, 각각 리니어 기구 지지체(4)의 대향하는 면(4a, 4b)과 대략 평행하게 배치되어 있다.Next, each of the pair of second pedestals 2 is provided with a pair of second bed supports 15a and 15b for fixing and supporting the second bed 14 so that a pair of second pairs of second pedestals 2 are supported. The horizontal support is connected between the bed supporters 15a and 15b by the horizontal member 16a and 16b which are located on the linear mechanism support body 4, respectively. In addition, the second bed supports 15a and 15b formed in each of the second pedestals 2 are arranged in the longitudinal direction (X direction) of the second pedestal 2, and are opposed to the linear mechanism supporters 4, respectively. It is arrange | positioned substantially parallel to the surface 4a, 4b to make.

리니어 기구 지지체(4)의 양측에 있고, 제2 베드 지지체(15a, 15b)에 고정·지지되는 각 제2 베드(14)에는 러빙 롤러 지지체(17)를 θ방향으로 선회시키는 러빙 롤러 각도 가변용 구동부(18)가 설치됨과 더불어, 리니어 기구 지지체(4)에 대향하는 면(17a) 상에 러빙 롤러 지지체 선회 슬라이드용 가이드 레일(19)이 원호 형상으로 배치되어 있다.For varying the rubbing roller angle, which rotates the rubbing roller support 17 in the θ direction on each of the second beds 14 on both sides of the linear mechanism support 4 and fixed and supported by the second bed supports 15a and 15b. While the drive part 18 is provided, the rubbing roller support swing slide guide rail 19 is arrange | positioned in circular arc shape on the surface 17a which opposes the linear mechanism support body 4.

그리고, 각각의 제2 베드(14)에는 러빙 롤러(20)를 지지하는 러빙 롤러 지지체(17)가 대치하고, 각 러빙 롤러 지지체(17)의 제2 베드(14)에 대향하는 면(17a)에는 러빙 롤러 지지체 선회 슬라이드용 가이드 레일(19)과 대향하는 위치에 러빙 롤러 지지체 선회 슬라이드용 슬라이더(21)가 원호 형상으로 배치되어 러빙 롤러 지지체(17)가 러빙 롤러 지지체 선회 슬라이드용 슬라이더(21)를 통해 러빙 롤러 지지체 선회 슬라이드용 가이드 레일(19)에 선회 슬라이드 가능하게 지지되어 있다.And each of the second beds 14 is replaced with a rubbing roller support member 17 for supporting the rubbing roller 20, and the surface 17a facing the second bed 14 of each rubbing roller support 17. The rubbing roller support swing slide slider 21 is disposed in an arc shape at a position facing the guide rail 19 for rubbing roller support swing slide, and the rubbing roller support 17 slides the slide roller support swing slide 21. It is supported by the rubbing roller support body slide guide rail 19 for slidably sliding through.

러빙 롤러 지지체(17)의 양단부에는, 러빙 롤러(20)의 양단부가 롤러 척(도시하지 않음)를 통해 회전 가능하게 지지되는 한 쌍의 스핀들(22a, 22b)의 각각을 테이블(10) 방향으로 유도하는 스핀들 슬라이드용 가이드(도시하지 않음)와 스핀들(22a, 22b)을 스핀들 슬라이드용 가이드에 따라 슬라이드하는 스핀들 슬라이드용 구동부(도시하지 않음)와 스핀들(22a, 22b)의 테이블(10) 방향으로의 슬라이드 거리를 제어하는 러빙 롤러 갭 조정부(도시하지 않음)가 설치되어 있다.At both ends of the rubbing roller support member 17, each of the pair of spindles 22a and 22b in which both ends of the rubbing roller 20 are rotatably supported by a roller chuck (not shown) is directed in the table 10 direction. Guides for guided spindle slides (not shown) and spindles 22a and 22b in the direction of the table 10 of the spindle slide drive (not shown) and spindles 22a and 22b for sliding along the guides for the spindle slides. The rubbing roller gap adjustment part (not shown) which controls the slide distance of the roller is provided.

한 쌍의 스핀들(22a, 22b)은 각각의 회전축이 서로 대향하는 방향으로 늘어나 있고, 일측(구동측)의 스핀들(22a)의 회전축 러빙 롤러(20)가 지지되지 않은 쪽의 단부는 러빙 롤러(20)에 회전 운동을 주는 러빙 롤러 회전 구동부(23)에 끼워 맞춤 고정되고, 타측(종동측)의 스핀들(22b)은 그 회전축에 러빙 롤러(20)를 회전 가능하게 끼워 맞춘다.The pair of spindles 22a and 22b extend in a direction in which the respective rotating shafts face each other, and the end of the side where the rotating shaft rubbing roller 20 of the spindle 22a on one side (drive side) is not supported is a rubbing roller ( It is fitted and fixed to the rubbing roller rotation drive part 23 which gives a rotational motion to 20, and the spindle 22b of the other side (following side) rotatably fits the rubbing roller 20 to the rotating shaft.

다음에, 상기 구성의 러빙 장치를 사용한 러빙 방법에 대해 설명한다. 우선, 테이블(10)의 제1 베드(8)와 반대측의 면(10b) 상에 표면에 배향막이 형성된 유리 기판(9)을 진공 흡착 등의 방법을 따라 고정·유지한다.Next, the rubbing method using the rubbing device of the said structure is demonstrated. First, the glass substrate 9 in which the alignment film was formed on the surface 10b on the opposite side to the first bed 8 of the table 10 is fixed and held by a vacuum suction or the like method.

그리고, 러빙 롤러 각도 가변용 구동부(18)를 구동해, 러빙 롤러 지지체(17)를 상기 러빙 롤러 지지체(17)에 배치된 러빙 롤러 지지체 선회 슬라이드용 슬라이더(21)를 통해 제2 베드(14)에 배치된 러빙 롤러 지지체 선회 슬라이드용 가이드 레일(19)을 따라 선회 슬라이드시켜, 러빙 롤러(20)를 소망하는 배향 각도로 설정한다.Then, the driving roller 18 for varying the rubbing roller angle is driven, and the rubbing roller support 17 is moved to the second bed 14 through the rubbing roller support pivot slide slider 21 disposed on the rubbing roller support 17. It pivots along the guide rail 19 for rubbing roller support swing slides arrange | positioned at this, and sets the rubbing roller 20 to desired orientation angle.

다음에, 각 러빙 롤러 지지체(17)에 설치된 각각의 스핀들 슬라이드용 구동부를 개별적으로 구동해, 러빙 롤러 갭 조정부에서 슬라이드 거리를 제어하면서 스핀들(22a, 22b)을 스핀들 슬라이드용 가이드에 따라 유리 기판(9) 방향으로 슬라이드시켜, 유리 기판(9)에 형성된 배향막 전면에 걸쳐 소망하는 압력으로 균일하게 러빙 처리가 실시되도록 러빙 롤러(20)와 유리 기판(9)의 거리를 설정한다.Next, each spindle slide drive unit provided on each rubbing roller support 17 is individually driven, and the spindles 22a and 22b are moved along the guide for the spindle slide while controlling the slide distance from the rubbing roller gap adjustment unit. It slides in the 9) direction, and sets the distance of the rubbing roller 20 and the glass substrate 9 so that a rubbing process may be performed uniformly with desired pressure over the whole surface of the oriented film formed in the glass substrate 9.

이와 같이, 러빙 롤러(20)의 유리 기판(9)에 대한 각도 및 거리의 설정이 완료하면, 러빙 롤러 회전 구동부(23)를 회전시켜 러빙 롤러 회전 구동부(23)에 끼워 맞춘 스핀들(22a)을 통해 러빙 롤러(20)에 회전 운동을 전달해, 러빙 롤러(20)를 소망하는 회전 속도로 회전시킨다.Thus, when setting of the angle and distance with respect to the glass substrate 9 of the rubbing roller 20 is complete | finished, the spindle 22a which rotated the rubbing roller rotation drive part 23 and fitted into the rubbing roller rotation drive part 23 is mounted. The rotational motion is transmitted to the rubbing roller 20 through it, and the rubbing roller 20 is rotated at a desired rotational speed.

그리고, 표면에 배향막이 형성된 유리 기판(9)이 고정 유지된 테이블(10)을 리니어 기구(13)에 의해 테이블 슬라이드용 슬라이더(12)를 통해 테이블 슬라이드용 가이드 레일(7)에 따라 소정의 일정 속도로 슬라이드시켜, 유리 기판을 이동시키면서 회전하는 러빙 롤러(20)에 부착된 러빙 포(도시하지 않음)에 의해 유리 기판(9)의 표면에 형성된 배향막을 균일하게 러빙한다.And the table 10 in which the glass substrate 9 in which the alignment film was formed on the surface was fixed was fixed according to the guide rail 7 for table slides through the table slide slider 12 by the linear mechanism 13. The alignment film formed on the surface of the glass substrate 9 is rubbed uniformly by a rubbing cloth (not shown) attached to the rotating rubbing roller 20 while moving the glass substrate at a speed.

그 후, 유리 기판(9)에 형성된 배향막 전면에 걸쳐 처리가 종료하면 스핀들 슬라이드용 구동부를 구동해 스핀들(22a, 22b)을 스핀들 슬라이드용 가이드에 따라 유리 기판(9)과 반대 방향으로 슬라이드해, 양단부를 스핀들(22a, 22b)에 지지된 러빙 롤러(20)를 퇴피 위치로 이동시킨다.After that, when the process is completed over the entire alignment film formed on the glass substrate 9, the drive unit for the spindle slide is driven to slide the spindles 22a and 22b in the opposite direction to the glass substrate 9 according to the spindle slide guide. The rubbing rollers 20 supported by the spindles 22a and 22b are moved to the retracted position.

마지막으로, 러빙 처리가 실시된 유리 기판을 테이블(10) 상으로부터 떼어내 일련의 러빙 공정이 종료된다. 이후, 이 공정을 반복함으로써 다수의 유리 기판의 러빙 처리가 실행된다.Finally, the glass substrate subjected to the rubbing treatment is removed from the table 10 and the series of rubbing steps is completed. Then, the rubbing process of many glass substrates is performed by repeating this process.

이 경우, 러빙 장치의 제1 받침대(1)이 중력 방향에 수직한 면 위에 설치되어 있다고 하면, 유리 기판(9)을 고정·유지하는 테이블(10)의 면(10b)은 중력 방향과 평행하게 되어 있고, 따라서 유리 기판(9)은 중력에 평행한 상태로 러빙 처리가 실시되게 된다.In this case, assuming that the first pedestal 1 of the rubbing device is provided on a surface perpendicular to the gravity direction, the surface 10b of the table 10 holding and holding the glass substrate 9 is parallel to the gravity direction. Thus, the glass substrate 9 is subjected to a rubbing treatment in a state parallel to gravity.

그런데, 본 발명의 러빙 장치는, 유리 기판의 대형화에 수반하는 장치의 대형화에 대응할 수 있도록 분리 및 연결을 자유롭게 할 수 있는 구성으로 되어 있 고, 반송에 관한 시간적, 비용적인 부담을 저감한 것으로 되어 있다.By the way, the rubbing device of this invention is comprised by the structure which can freely isolate | separate and connect so that the apparatus of the enlargement of a glass substrate with enlargement can respond, and it will reduce the time and cost burden concerning conveyance. have.

구체적으로는, 본 실시 형태에서는 도 3에 나타내는 바와 같이 러빙 장치를 주로 3개의 부분으로 분리하는 구성으로 되어 있다. 하나의 부분은, 제1 받침대(1), 제1 받침대(1)에 고정된 리니어 기구 지지체(4) 및 리니어 기구 지지체(4)의 양측으로 배치된 제1 베드(8) 및 제1 베드(8)에 리니어 기구(13)를 통해 지지된 테이블(10)을 구비한 주기구부(24)이다.Specifically, in this embodiment, as shown in FIG. 3, a rubbing device is mainly divided into three parts. One portion includes a first bed 1, a linear mechanism support 4 fixed to the first support 1, and a first bed 8 and a first bed disposed on both sides of the linear mechanism support 4. 8) is a main tool 24 provided with the table 10 supported by the linear mechanism 13.

나머지 두개의 부분은, 상기 주기구부(24)를 사이에 낀 양측에 위치하고, 한 쌍의 제2 받침대(2), 각각의 제2 받침대(2)에 입설된 한 쌍의 제2 베드 지지체(15a, 15b), 제2 베드 지지체(15a, 15b)에 지지된 제2 베드(14), 제2 베드(14)에 러빙 롤러 지지체 선회 슬라이드용 가이드 레일(19)과 러빙 롤러 지지체 선회 슬라이드용 슬라이더(21)를 통해 지지된 러빙 롤러 지지체(17), 및 러빙 롤러 지지체(17)에 스핀들(22a, 22b)을 통해 지지된 러빙 롤러(20), 제2 베드(14)에 지지된 러빙 롤러 지지체(17)에 선회 운동을 주는 러빙 롤러 각도 가변용 구동부(18)를 구비한 보조 기구부(25)이다.The other two parts are located on both sides with the main tool section 24 interposed therebetween, and a pair of second bed supports 15a mounted on a pair of second pedestals 2 and each second pedestal 2, respectively. , 15b), a second bed 14 supported on the second bed support 15a, 15b, a guide rail 19 for turning the rubbing roller support on the second bed 14, and a slider for turning the rubbing roller support A rubbing roller support 17 supported through the support 21 and a rubbing roller support supported by the second bed 14 and a rubbing roller 20 supported by the spindles 22a and 22b to the rubbing roller support 17. It is an auxiliary mechanism part 25 provided with the driving part 18 for changing the rubbing roller angle which gives turning motion to 17).

이와 같이 분리된 하나의 주기구부(24)와 2개의 보조 기구부(25)에 횡가재(16a, 16b)를 더해 연결함으로써, 분리해 반송한 러빙 장치를 납입처에서 사용 제공할 수 있는 상태로 작성하는 것이 가능하게 된다.By adding and connecting the lobsters 16a and 16b to the one main tool part 24 and the two auxiliary mechanism parts 25 which were separated in this way, the rubbing device which separated and conveyed was created in the state which can be used and provided at the delivery site. It becomes possible.

그 결과, 분리된 개개의 기구부는 러빙 장치 전체적으로서는 소형, 경량화가 도모되어 반송시의 수고와 노력이 삭감되어, 작업 효율이 개선된 것으로 되어 있다. 특히, 본 발명의 러빙 장치는 배향막이 형성된 유리 기판을 받침대에 대해 수 직으로 유지한 상태로 러빙 처리가 실행되는 기구를 채용하기 때문에, 유리 기판이 대형화해도 러빙 장치의 짧은 길이 방향의 치수를 억제할 수 있고, 도로 교통법에 근거하는 특별한 신청 업무가 필요한 폭3200㎜ 이내로 충분히 들어간다. 그 때문에, 반송시에 번잡한 절차 업무가 불필요해지고, 분리된 각 기구부를 탑재한 차량을 제약 없이 공도(公道)를 주행해 반입처까지 반송할 수 있다.As a result, each of the separated mechanism parts is designed to be small and light in weight as a whole of the rubbing device, thereby reducing the effort and effort at the time of conveyance, thereby improving work efficiency. In particular, since the rubbing device of the present invention employs a mechanism in which the rubbing treatment is carried out while the glass substrate on which the alignment film is formed is held vertically with respect to the pedestal, the size of the rubbing device in the shorter direction is suppressed even when the glass substrate is enlarged. We can do it and enter enough within 3,200mm in width that special application duties based on Road Traffic Law are necessary. Therefore, troublesome procedure work is unnecessary at the time of conveyance, and the vehicle equipped with each separated mechanism part can be conveyed to a destination by carrying a highway without restriction.

또한, 러빙 장치의 분리수는 많으면 많을수록 취급은 용이하지만, 그에 따라 분리 및 연결의 수고가 증가한다. 따라서, 러빙 장치를 몇 개로 분리할지는, 취급, 분리 및 연결, 반송 등의 작업 효율을 종합적으로 판단하여 결정된다.In addition, the more the number of separation of the rubbing device is, the easier it is to handle, but the effort of separation and connection increases accordingly. Therefore, the number of pieces of rubbing device to be separated is determined by comprehensively determining the work efficiency such as handling, separating, connecting and conveying.

본 발명은 또, 2장의 유리 기판을 개별적인 러빙 롤러로 동시에 러빙 처리하는 기구가 되어 있기 때문에, 러빙 장치의 점유 면적에 대한 러빙 처리의 작업 효율이 높고, 제조 비용을 낮게 억제할 수 있는 장치로 되어 있다.In addition, since the present invention provides a mechanism for simultaneously rubbing two glass substrates with separate rubbing rollers, the working efficiency of the rubbing treatment with respect to the occupied area of the rubbing device is high, and the apparatus can be kept low in manufacturing cost. have.

또, 상기 본 실시 형태와 동일한 구성으로 도 4에 나타내는 형태의 러빙 장치를 실현하는 것도 가능하다. 그는, 리니어 기구 지지체(4)의 양측으로 지지되는 한 쌍의 테이블(10)의 유리 기판(9)이 고정·유지되는 면(10b)을 받침대(1)의 수직선 X에 대해 받침대(1)을 향해 열린 상태로 경사시켜, 배향막이 형성된 유리 기판을 중력 방향에 대해 경사시킨 상태로 러빙 처리를 행하는 것이다.Moreover, it is also possible to implement the rubbing device of the aspect shown in FIG. 4 with the structure similar to the said embodiment. He moves the pedestal 1 to the vertical line X of the pedestal 1 with the surface 10b on which the glass substrates 9 of the pair of tables 10 supported by both sides of the linear mechanism support 4 are fixed and held. It is inclined in the open state, and a rubbing process is performed in the state which inclined the glass substrate in which the orientation film was formed with respect to the gravity direction.

이에 의해, 유리 기판의 중력 방향측의 단면에 가하는 유리 기판면과 평행한 방향을 향하는 자중을 경감해, 유리 기판의 휘어짐, 러빙 장치의 휘어짐, 및 러빙 롤러의 휘어짐이 적은 상태에서 러빙 처리를 실시할 수 있다.Thereby, the self-weight in the direction parallel to the glass substrate surface applied to the end surface of the gravity direction side of a glass substrate is reduced, and a rubbing process is performed in the state in which the bending of a glass substrate, the bending of a rubbing device, and the bending of a rubbing roller are small. can do.

이 경우, 유리 기판의 휘어짐, 러빙 장치의 휘어짐, 및 러빙 롤러의 휘어짐 에 의한 러빙 처리의 면 불균일성의 한계와 러빙 장치의 짧은 길이 방향의 치수의 한계를 고려하면, 테이블(10)의 유리 기판(9)이 고정·유지되는 면(10b)의 받침대(1)의 수선에 대한 경사각α는 0°보다 크고 30°이하인 것이 바람직하다.In this case, the glass substrate of the table 10 is considered in consideration of the limitation of the surface nonuniformity of the rubbing treatment due to the bending of the glass substrate, the bending of the rubbing device, and the bending of the rubbing roller and the limitation of the dimension of the short length direction of the rubbing device. It is preferable that the inclination angle α with respect to the waterline of the pedestal 1 of the surface 10b on which 9) is fixed and held is greater than 0 ° and less than 30 °.

또한, 이 형태의 러빙 장치도 도 5에 나타내는 바와 같이, 1개의 주기구부(24)와 2개의 보조 기구부(25)와 횡가재(16a, 16b)로 분리 및 연결이 가능한 구성으로 할 수 있다. 이에 의해, 출하시의 반송 업무에 관한 시간적, 비용적인 부담을 저감해, 설치시에는 필요한 점유 면적의 확대를 억제할 수 있는 러빙 장치에 의해 표시 품위가 양호한 액정 디스플레이를 실현할 수 있다.Moreover, as shown in FIG. 5, this type of rubbing apparatus can also be set as the structure which can be isolate | separated and connected by one main tool part 24, two auxiliary | assistant mechanism parts 25, and lateral crawfish 16a, 16b. Thereby, the liquid crystal display with a favorable display quality can be implement | achieved by the rubbing device which can reduce the time and cost burden concerning the conveyance work at the time of shipment, and can suppress the expansion of the occupied area required at the time of installation.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 러빙 장치의 효과는, 대형화 및 중량화 된 러빙 장치를 분리함으로써 반송의 효율화를 도모함과 더불어, 설치시에는 필요한 점유 면적의 확대를 억제할 수 있게 된다.As described above, the effect of the rubbing device of the present invention is to increase the efficiency of conveyance by separating the enlarged and weighted rubbing device, and to suppress the expansion of the occupied area necessary for installation.

또, 러빙 처리가 실시되는 유리 기판이 대형화해도, 러빙 롤의 자중에 의한 휘어짐, 및 유리 기판을 고정·유지하는 스테이지의 자중에 의한 휘어짐의 영향을 저감할 수 있고, 대형 유리 기판이라도 유리 기판에 형성된 배향막 전체를 균일한 압력으로 러빙할 수 있기 때문에 표시 품위가 양호한 액정 디스플레이가 실현될 수 있다.Moreover, even if the glass substrate to which a rubbing process is performed enlarges, the influence of the curvature by the self-weight of a rubbing roll, and the curvature by the self-weight of the stage which fixes and maintains a glass substrate can be reduced, and even a large glass substrate can Since the entire formed alignment film can be rubbed at a uniform pressure, a liquid crystal display with good display quality can be realized.

또, 유리 기판에 형성된 배향막을 중력 방향에 대해 평행 또는 소정의 각도 범위 내에서 경사시킨 상태로 러빙 처리가 실행되기 때문에, 러빙 처리시에 발생한 러빙 포 등에 의한 먼지가 배향막에 부착하는 것을 저감할 수 있고, 양호한 품질을 확보할 수 있게 된다.In addition, since the rubbing treatment is performed in a state in which the alignment film formed on the glass substrate is inclined in the parallel or predetermined angle range with respect to the gravity direction, adhesion of dust by rubbing cloth or the like generated during the rubbing treatment to the alignment film can be reduced. And good quality can be ensured.

또한, 러빙 롤러의 교환시에는 러빙 장치에 실장된 자세인 채로 러빙 롤러를 떼어내 보관할 수 있고, 또, 보관된 자세인 채로 러빙 롤러를 러빙 장치에 실장할 수 있다. 그 때문에, 러빙 롤러의 교환 작업에 대해 작업 스페이스가 적어도 되고, 또한 러빙 롤러의 자세의 변화가 적기 때문에 취급이 용이하다는 등의 뛰어난 효과를 가지는 것이다.In addition, when the rubbing roller is replaced, the rubbing roller can be detached and stored in the posture mounted on the rubbing device, and the rubbing roller can be mounted on the rubbing device in the stored posture. Therefore, the work space is minimal for the replacement operation of the rubbing roller, and since the change of the attitude of the rubbing roller is small, the handling is easy.

도 1은 본 발명의 러빙 장치와 관계되는 실시 형태를 나타내는 사시도이다.1 is a perspective view showing an embodiment according to the rubbing device of the present invention.

도 2는 도 1의 A-A단면도이다.2 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG.

도 3은 본 발명의 러빙 장치와 관계되는 실시 형태를 분리한 상태로 나타내는 설명도이다.It is explanatory drawing which shows embodiment which concerns on the rubbing device of this invention in the state isolate | separated.

도 4는 본 발명의 러빙 장치와 관계되는 다른 실시 형태를 나타내는 측면도이다.It is a side view which shows other embodiment which concerns on the rubbing device of this invention.

도 5는 본 발명의 러빙 장치와 관계되는 다른 실시 형태를 분리한 상태로 가리키는 설명도이다.It is explanatory drawing which shows the other embodiment which concerns on the rubbing device of this invention in the state isolate | separated.

도 6은 종래예를 나타내는 사시도이다.6 is a perspective view showing a conventional example.

[부호의 설명][Description of the code]

1 제1 받침대1 first pedestal

1a, 1b 제1 받침대면1a, 1b first pedestal surface

2 제2 받침대2 second pedestal

2a, 2b 제2 받침대면2a, 2b second pedestal

3 받침대3 pedestal

4 리니어 기구 지지체4 linear mechanism support

4a, 4b 리니어 기구 지지체면4a, 4b linear mechanism support surface

5 마그넷5 magnet

6 마그넷 플레이트6 magnet plate

7 테이블 슬라이드용 가이드 레일7 Guide rails for table slide

8 제1 베드8 first bed

9 유리 기판9 glass substrate

10 테이블10 tables

10a, 10b 테이블면10a, 10b table surface

11 코일 플레이트11 coil plate

12 테이블 슬라이드용 슬라이더12 Sliders for table slides

13 리니어 기구13 linear mechanism

14 제2 베드14 second bed

14a 제2 베드면14a 2nd bed surface

15a, 15b 제2 베드 지지체15a, 15b second bed support

16a, 16b 횡가재16a, 16b lobster

17 러빙 롤러 지지체17 rubbing roller support

17a 러빙 롤러 지지체면17a rubbing roller support surface

18 러빙 롤러 각도 가변용 구동부18 Rubbing Roller Drive Part

19 러빙 롤러 지지체 선회 슬라이드용 가이드 레일19 Rubbing Roller Support Guide Rail for Swing Slide

20 러빙 롤러20 rubbing roller

21 러빙 롤러 지지체 선회 슬라이드용 슬라이더21 Rubbing Roller Support Slide Slider

22a, 22b 스핀들22a, 22b spindle

23 러빙 롤러 회전 구동부23 Rubbing Roller Rotational Drive

24 주기구부24 cycle hooks

25 보조 기구부25 auxiliary equipment

Claims

기판에 형성된 배향막에, 회전하는 러빙 롤러에 의해 러빙 처리를 실시하는 러빙 장치로서,As a rubbing device which performs a rubbing process to the orientation film formed in the board | substrate with the rotating rubbing roller,

상기 러빙 장치는, 배향막이 형성된 한 쌍의 기판의 각각을 고정하는 한 쌍의 스테이지가 모두 중력 방향에 대해 평행 혹은 소정의 각도로 경사진 상태를 유지하면서 개별적으로 이동하는 것을 제어하는 한 쌍의 스테이지 제어 기구를 가지는 주요 기구부와, 상기 주요 기구부를 사이에 끼고 양측에 위치하여 각각 러빙 포를 감은 러빙 롤러의 이 러빙 롤러가 대향하는 상기 기판과의 거리, 각도 및 상기 러빙 롤러의 회전을 제어하는 러빙 롤러 제어 기구를 가지는 한 쌍의 보조 기구부를 구비하고, 상기 주요 기구부와 상기 한 쌍의 보조 기구부가 분리 및 연결 가능한 것을 특징으로 하는 러빙 장치.The rubbing device includes a pair of stages for controlling a pair of stages for fixing each of the pair of substrates on which the alignment film is formed to move individually while maintaining a state inclined at a predetermined angle or parallel to the gravity direction. A rubbing for controlling the distance, angle and rotation of the rubbing roller with a main mechanism portion having a control mechanism and the rubbing rollers of the rubbing rollers positioned on both sides with the main mechanism portion interposed therebetween, respectively facing each other. And a pair of auxiliary mechanism portions having a roller control mechanism, wherein the main mechanism portion and the pair of auxiliary mechanism portions are removable and connectable.

청구항 1에 있어서,The method according to claim 1,

상기 스테이지의 경사 각도는 0°보다 크고 30°이하인 것을 특징으로 하는 러빙 장치.The inclination angle of the stage is greater than 0 ° and less than 30 ° rubbing device.

청구항 1 또는 2에 있어서,The method according to claim 1 or 2,

상기 주요 기구부와 상기 보조 기구부는, 모두 짧은 길이 방향의 치수가 3200㎜를 초과하지 않는 것을 특징으로 하는 러빙 장치.The rubbing device of both the said main mechanism part and the said auxiliary mechanism part does not exceed 3200 mm in the dimension of a short longitudinal direction.

청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3,

상기 스테이지 제어 기구의 구동원이 리니어 모터인 것을 특징으로 하는 러빙 장치.And a driving source of the stage control mechanism is a linear motor.