KR20080049558A - Probe inspecting unit - Google Patents

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KR20080049558A
KR20080049558A KR1020060120223A KR20060120223A KR20080049558A KR 20080049558 A KR20080049558 A KR 20080049558A KR 1020060120223 A KR1020060120223 A KR 1020060120223A KR 20060120223 A KR20060120223 A KR 20060120223A KR 20080049558 A KR20080049558 A KR 20080049558A
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Abstract

A probe inspection apparatus is provided to prevent a contact error in a contacting state between a probe pin and a liquid crystal display panel by using an elastic member such as a spring. A frame(191) includes a plurality of penetrating parts which are arranged in a matrix. A probe pin(193) includes a pin for penetrating the penetrating parts of the frame and a protrusion formed at a center of the pin in order to be inserted into the penetrating parts. An elastic unit(192) is inserted into the inside of the penetrating parts in order to buffer a shock applied to the probe pin. The even-numbered penetrating parts of the penetrating parts are shifted as much as 1/2 of a gap between the odd-numbered penetrating parts of the penetrating parts.

Description

프로브 검사장치{PROBE INSPECTING UNIT}Probe Inspection Device {PROBE INSPECTING UNIT}

도 1은 일반적인 액정표시장치의 구동시스템의 일부를 보여주는 도면1 is a view illustrating a part of a driving system of a general liquid crystal display device.

도 2는 액정패널의 패드상에 접착된 TCP를 나타내는 일부 평면도2 is a partial plan view showing TCP bonded to a pad of a liquid crystal panel;

도 3은 도 2의 액정패널의 검사과정을 나타내는 도면3 is a view illustrating an inspection process of the liquid crystal panel of FIG.

도 4는 본 발명에 따른 프로브 검사장치를 액정패널의 패드부에 접촉하고, 프로브 검사장치의 상측으로 FPCB를 접촉하게 되는 상태를 보여주는 평면도4 is a plan view showing a state in which the probe inspection device according to the present invention in contact with the pad portion of the liquid crystal panel, the FPCB contacts the upper side of the probe inspection device

도 5는 도 4에 나타낸 액정패널의 패드부에 프로브 검사장치 및 FPCB를 접촉한 상태를 보여주는 측면도FIG. 5 is a side view illustrating a state in which a probe inspection device and an FPCB are in contact with a pad portion of the liquid crystal panel illustrated in FIG. 4.

도 6은 도 4 및 도 5에 나타낸 프로브 검사장치의 내부구조를 보여주는 도면6 is a view showing the internal structure of the probe inspection device shown in Figures 4 and 5

도 7a는 도 4 내지 도 6에 나타낸 프로브 검사장치의 외부 프레임을 나타내는 사시도7A is a perspective view showing an outer frame of the probe inspection device shown in FIGS. 4 to 6.

도 7b는 도 7a에 나타낸 하측 프레임의 내부에 프로브 핀 및 탄성 수단을 체결한 후, 절단면(I-I`)을 따라 X축 방향에서 본 측면도FIG. 7B is a side view seen from the X-axis direction along the cutting plane I-I` after fastening the probe pin and the elastic means to the inside of the lower frame shown in FIG. 7A.

도 8a 내지 도 8c는 본 발명에 따른 프로브 핀의 다양한 형상을 보여주는 도면 8a to 8c show various shapes of the probe pin according to the present invention;

본 발명은 프로브 검사장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 개별단위로 출하되는 액정패널에 모듈 과정을 수행하기에 앞서 그 액정패널의 전기적 양호상태를 점검하기 위하여 프로브 검사장치를 적용할 때, 액정패널의 패드부와 프로브 검사장치의 프로브 핀간 접촉 오류를 방지하기 위하여 각각의 패드당 복수 개의 프로브 핀이 접촉할 수 있도록 다중 접촉방식의 프로브 검사장치를 구성하려는 것에 관계된다.The present invention relates to a probe inspection device, and more particularly, when applying a probe inspection device to check the electrical good state of the liquid crystal panel prior to performing a module process on the liquid crystal panel shipped in individual units, In order to prevent a contact error between the pad portion of the probe and the probe pin of the probe inspection apparatus, a plurality of probe inspection apparatuses of a multi-contact method can be configured to allow a plurality of probe pins to contact each pad.

현재 표시장치로서 가장 많이 사용되고 있는 CRT 브라운관은 색상구현이 쉽고, 동작속도가 빨라 TV와 컴퓨터 모니터를 포함한 표시장치로서 각광을 받아 왔다. 그러나, CRT 브라운관은 전력소비가 크고, 전자총과 화면 사이의 거리를 어느 정도 확보해야 하는 구조적 특성으로 인하여 두께가 두꺼울 뿐만 아니라, 게다가 무게도 상당히 무거워 휴대성이 떨어지는 단점이 있다. CRT CRT, which is the most widely used display device, has been in the spotlight as a display device including a TV and a computer monitor because of easy color implementation and fast operation speed. However, the CRT CRT has a disadvantage in that the power consumption is large and the thickness is not only thick due to the structural characteristic of securing the distance between the electron gun and the screen, but also the weight is very heavy.

이러한 CRT 브라운관의 단점을 극복하고자 여러 가지 다양한 표시장치가 고안되고 있는데, 그 중 가장 실용화되어 있는 장치가 바로 액정표시장치(Liquid Crystal Display Device)이다. In order to overcome the disadvantages of the CRT CRT, various various display devices have been devised. Among them, the most practical device is a liquid crystal display device.

이와 같은 액정표시장치는 CRT 브라운관에 비해 화면이 어둡고 동작속도가 다소 느리지만, 전자총과 같은 장치를 갖추지 않아도 각각의 화소를 평면상에서 주사되는 신호에 따라 동작시킬 수 있으므로, 얇은 두께로 제작될 수 있어 장차 벽걸이 TV와 같은 초박형 표시장치로 사용될 수 있다. 뿐만 아니라, 액정표시장치는 무게가 가볍고, 전력소비도 CRT 브라운관에 비해 상당히 적어 배터리로 동작하는 노 트북 컴퓨터의 디스플레이로 사용되는 등, 휴대용 표시장치로서 가장 적합하다는 평도 받고 있다.Such a liquid crystal display device has a darker screen and a slower operating speed than a CRT CRT. However, even without a device such as an electron gun, each pixel can be operated according to a signal scanned on a plane, and thus can be manufactured to have a thin thickness. It can be used as an ultra-thin display such as a wall-mounted TV in the future. In addition, the liquid crystal display device has a reputation for being the most suitable as a portable display device, such as being used as a display of a battery-operated notebook computer because of its light weight and considerably less power consumption than a CRT CRT.

그러면 이러한 액정표시장치와 관련해 간략하게 살펴보고자 한다. 도 1은 일반적인 액정표시장치의 구동시스템의 일부를 나타낸 것으로, 도면에서는 영상을 표시하는 액정패널(30), 그리고 그 주변 구동부로서 영상신호를 발생하는 데이터구동회로(12) 및 박막 트랜지스터를 동작시키는 게이트 구동회로(10)만을 도시하였다. 액정패널(30)은 복수 개의 게이트 라인(14)과 복수 개의 데이터 라인(16)이 매트릭스 형태로 형성되어 있고, 그 교차점에는 화소(18)와 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT)(19)가 형성되어 있다. 도면에 나타내지 않았으나, 화소 전극과 공통전극 사이에는 액정이 채워져 있다.Then, the liquid crystal display device will be briefly described. FIG. 1 illustrates a part of a driving system of a general liquid crystal display device. In the drawing, a liquid crystal panel 30 displaying an image, and a data driver circuit 12 and a thin film transistor which generate an image signal as a peripheral driver are shown. Only the gate driving circuit 10 is shown. In the liquid crystal panel 30, a plurality of gate lines 14 and a plurality of data lines 16 are formed in a matrix form, and at an intersection thereof, a pixel 18 and a thin film transistor (TFT) 19 are formed. Formed. Although not shown, the liquid crystal is filled between the pixel electrode and the common electrode.

그리고 이와 같이 구성된 액정표시장치는 게이트 구동회로(10)로부터 게이트 전압을 인가하게 되면 게이트 라인에 연결된 액정패널(30)의 TFT(19)는 도통되고, 동시에 데이터 구동회로(12)로부터는 신호전압이 인가되어 데이터 라인에 연결된 위의 도통된 TFT를 통하여 그 신호전압이 화소로 인가되는 것이다.In the liquid crystal display device configured as described above, when the gate voltage is applied from the gate driving circuit 10, the TFT 19 of the liquid crystal panel 30 connected to the gate line is turned on, and at the same time, the signal voltage is received from the data driving circuit 12. This signal voltage is applied to the pixel through the conductive TFT above and connected to the data line.

이때, 게이트 구동회로(10)와 데이터 구동회로(12)에서 발생된 신호를 액정패널에 전달하기 위하여는 복수 개의 드라이브 IC를 거치게 된다. 물론 그 IC 각각의 입·출력단을 연결하는 방식에 있어서는 여러 가지가 있을 수 있겠지만, 대표적으로 필름과 같은 접착 리드(lead)의 양단에 각각 드라이브 IC의 범프(bump) 및 액정패널상의 패드를 접착시켜 연결하는 TAB(Tape Automated Bonding) 방식과, 드라이브 IC를 액정패널의 패드상에 직접 접착시키는 COG(Chip On Glass) 방식이 있다. 여기에서, TAB는 FPCB(Flexible Printed Circuit Board)와 같은 필름을 실장기판으로 IC, LSI칩을 직접 리드 프레임에 접착하여 접속하는 실장방법 중 하나로서 위의 IC가 실장된 필름을 TCP(Tape Carrier Package)라고 부르기도 한다.In this case, in order to transfer the signals generated by the gate driving circuit 10 and the data driving circuit 12 to the liquid crystal panel, the plurality of drive ICs pass through the plurality of drive ICs. Of course, there may be various methods of connecting the input and output terminals of each IC, but typically, bumps of the drive IC and pads on the liquid crystal panel are adhered to both ends of an adhesive lead such as a film. There is a TAB (Tape Automated Bonding) method for connecting, and a COG (Chip On Glass) method for directly bonding the drive IC on the pad of the liquid crystal panel. Here, TAB is one of the mounting methods for attaching a film such as FPCB (Flexible Printed Circuit Board) to the lead frame by directly connecting the IC and the LSI chip to the lead frame, and connecting the film on which the above IC is mounted to TCP (Tape Carrier Package). Also called).

도 2는 액정패널의 패드상에 접착된 TCP를 나타내는 일부 평면도이다. 도면에서 볼 때, 액정패널은 복수 개의 게이트 라인과 복수 개의 데이터 라인이 매트릭스 형태로 형성되어 있고, 그 교차점에는 화소와 박막 트랜지스터가 형성되는 박막트랜지스터 어레이기판(31)과, 컬러필터가 형성되는 컬러필터(32)의 합착으로 구성된다. 이때, 박막트랜지스터 어레이기판(31)의 외곽으로는 게이트 및 데이터 전압을 인가하기 위한 패드부(31a)가 형성되며, 패드부(31a)에 전기적으로 도통하여 외부로부터의 영상신호를 전송하기 위한 TCP가 접촉하게 된다.2 is a partial plan view showing TCP bonded to a pad of a liquid crystal panel. As shown in the drawing, the liquid crystal panel has a plurality of gate lines and a plurality of data lines formed in a matrix form, and a thin film transistor array substrate 31 having pixels and thin film transistors formed at the intersection thereof, and a color in which color filters are formed. It consists of the adhesion of the filter 32. At this time, a pad portion 31a for applying a gate and data voltage is formed outside the thin film transistor array substrate 31, and is electrically connected to the pad portion 31a to transmit a video signal from the outside. Will come into contact.

물론 여기에서의 TCP는 FPCB(80)와 같은 도전성 필름상에 드라이브 IC(50)를 실장하여 전기적으로 접속하게 되는데, 액정패널의 패드부(30b)에 접속하는 부위는 FPCB(80)의 출력측(81)이 되고, 그 반대측은 게이트 및 데이터 PCB와 같은 외부로부터의 영상신호가 입력되는 입력측(82)이 된다.Of course, the TCP here is electrically connected by mounting the drive IC 50 on a conductive film such as the FPCB 80, and the part connected to the pad portion 30b of the liquid crystal panel is the output side of the FPCB 80 ( 81), and the opposite side is an input side 82 to which an image signal from an external source such as a gate and a data PCB is input.

그러나, 이와 같은 구성에 있어서 실질적으로 FPCB(80)를 액정패널에 본딩하기에 앞서 별도의 검사 과정이 이루어지게 된다. 다시 말해, 이러한 과정은 개별 단위로 출하된 액정패널상에 게이트 및 데이터 PCB를 결합하는 액정모듈 과정의 이전 단계로서 별도의 검사장치를 사용하여 액정패널의 전기적 양호상태를 점검하게 된다.However, in such a configuration, a separate inspection process is substantially performed before bonding the FPCB 80 to the liquid crystal panel. In other words, this process is a previous step of the liquid crystal module process of combining the gate and the data PCB on the liquid crystal panel shipped in individual units to check the electrical good state of the liquid crystal panel using a separate inspection device.

도 3은 일반적인 액정패널의 검사과정을 나타내는 도면이다. 도면에서와 같 이 드라이브 IC(50)를 실장한 FPCB(80)의 출력측(81)과 박막트랜지스터 어레이기판(31)상의 패드부(31a) 사이에 프로브 검사장치(90)를 설치하고, 또한 도면에 나타내지는 않았지만 FPCB(80)의 입력측(82)에 별도의 장치를 사용하여 외부로부터 전기신호를 인가함으로써 액정패널의 상태를 점검할 수 있다.3 is a diagram illustrating an inspection process of a general liquid crystal panel. As shown in the figure, a probe inspection device 90 is provided between the output side 81 of the FPCB 80 on which the drive IC 50 is mounted and the pad portion 31a on the thin film transistor array substrate 31. Although not shown, the state of the liquid crystal panel can be checked by applying an electric signal from the outside using a separate device on the input side 82 of the FPCB 80.

무엇보다 위의 프로브 검사장치(90)에 있어서, 그 내부로는 일종의 도전성 와이어와 같은 프로브 핀(90a)이 형성되는데, 이러한 프로브 핀(90a)은 박막트랜지스터 어레이 기판(31)상의 패드부(31a)와 1:1로 대응하여 전기신호를 전달하게 된다. 이때 각각의 패드별 프로브 핀의 접촉시 핀의 휨 등에 기인한 접촉 오류가 빈번하게 발생하게 됨으로써 이로 인한 액정패널의 검출력이 저하되는 문제점이 발생하게 된다.Above all, in the probe inspection device 90 above, a probe pin 90a, such as a kind of conductive wire, is formed therein, and the probe pin 90a is a pad portion 31a on the thin film transistor array substrate 31. ) And 1: 1 to transmit electrical signals. At this time, contact errors caused by bending of the pins are frequently generated when the probe pins of the respective pads contact each other, thereby causing a problem in that the detection force of the liquid crystal panel is lowered.

따라서, 본 발명은 이와 같은 박막트랜지스터 어레이기판(31)상의 패드부(31a)와 프로브 검사장치의 독립적인 프로브 핀의 접촉시 발생하는 접촉 오류를 방지하기 위하여 개별 패드당 복수 개의 프로브 핀을 접촉할 수 있도록 함으로써 그 접촉 오류를 방지하고자 한다. Accordingly, the present invention is to contact a plurality of probe pins per individual pad in order to prevent contact error caused when the pad portion 31a on the thin film transistor array substrate 31 and the independent probe pins of the probe inspection apparatus are contacted. To prevent the contact error.

아울러 액정패널의 패드부에 프로브 핀의 접촉시 발생할 수 있는 핀의 휨 등과 같은 긴장상태(tension)를 완화시키고자 추가적으로 완충 수단을 구성함으로써 보다 신뢰성 있는 프로브 검사장치를 제공하려는데 그 목적이 있다. In addition, it is an object of the present invention to provide a more reliable probe inspection apparatus by configuring a buffer means to alleviate the tension (tension) such as the bending of the pin that may occur when the probe pin contacts the pad portion of the liquid crystal panel.

그리고 이와 같은 목적 달성은 본 발명에 의하여 더욱더 구체화될 수 있다. 즉, 본 발명에 따른 프로브 검사장치는 다수 개의 관통부가 행렬(matrix)을 이루어 형성되는 프레임과; 상기 프레임의 관통부를 관통하여 양단부가 접촉하는 핀과, 상기 핀의 중앙영역에 형성되어 관통부에 삽입되는 돌출부를 포함하는 프로브 핀; 및 상기 관통부의 내부로 삽입되어 상기 프로브 핀으로 인가되는 충격을 완화시키는 탄성 수단을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.And the achievement of this object can be further embodied by the present invention. That is, the probe inspection device according to the present invention includes a frame formed by forming a plurality of through portions in a matrix; A probe pin including a pin penetrating through a through portion of the frame and contacting both ends thereof, and a protrusion formed in a central region of the pin and inserted into the through portion; And elastic means inserted into the through part to mitigate an impact applied to the probe pin.

앞서서도 언급한 바 있지만, 개별 단위로 출하되는 모든 액정패널은 게이트 및 데이터 PCB를 결합하는 등의 액정모듈 과정의 이전 단계로서 별도의 검사장치를 사용하여 전기적 양호상태를 점검하게 된다. 더 구체적으로 말해, 액정패널의 패드부와 FPCB의 일측, 그리고 FPCB의 타측과 게이트 및 데이터 PCB를 서로 전기적으로 접촉시키는 별도의 장치를 각각 구비시켜 액정패널의 양호상태를 점검하게 되는데, 이때 액정패널의 패드부와 FPCB의 일측에 구비되어 전기적 접속을 돕게 되는 것이 프로브 검사장치이다.As mentioned above, all liquid crystal panels shipped as individual units are used as separate stages of the liquid crystal module process such as combining the gate and the data PCB to check the electrical good condition using a separate inspection device. More specifically, a separate device for electrically contacting the pad portion of the liquid crystal panel and one side of the FPCB, the other side of the FPCB, and the gate and the data PCB is provided to check the good state of the liquid crystal panel. It is provided on one side of the pad portion and the FPCB of the probe inspection device to assist the electrical connection.

이하, 본 발명에 따른 프로브 검사장치와 관련해 도면을 참조하여 설명하고자 한다. 도 4는 본 발명에 따른 프로브 검사장치를 액정패널의 패드부에 접촉하고, 프로브 검사장치의 상측으로 FPCB를 접촉하게 되는 상태를 보여주는 평면도이고, 도 5는 도 4에 나타낸 액정패널의 패드부에 프로브 검사장치 및 FPCB를 접촉한 상태를 보여주는 측면도이다. Hereinafter, a probe inspection apparatus according to the present invention will be described with reference to the drawings. 4 is a plan view illustrating a state in which the probe inspection device according to the present invention contacts the pad portion of the liquid crystal panel, and the FPCB contacts the upper side of the probe inspection apparatus, and FIG. 5 is a pad portion of the liquid crystal panel shown in FIG. 4. This is a side view showing the state of contacting the probe inspection device and the FPCB.

도 4 및 도 5를 참조하면, 액정패널(131, 132)의 외곽으로 형성되는 패드부(131a)상에 프로브 검사장치(190)의 하측 핀들을 전기적으로 접촉시키고, 그 상측 핀들과는 드라이브 IC(150)가 결합된 FPCB(180)를 전기적으로 접촉시키게 된다.4 and 5, the lower pins of the probe inspection device 190 are electrically contacted to the pad portion 131a formed outside the liquid crystal panels 131 and 132, and the upper pins are connected to the drive ICs. 150 is brought into electrical contact with the coupled FPCB 180.

먼저, 액정패널(131, 132)은 복수 개의 게이트 라인과 복수 개의 데이터 라인이 매트릭스 형태로 형성되어 있고, 그 교차점에는 화소와 박막 트랜지스터가 형성되는 박막트랜지스터 어레이기판(131)과, 각각의 화소에 대응하여 R, G, B의 컬러필터가 구비되고 전면에 걸쳐 상대전극이 구비된 컬러필터기판(132)이 다수개의 액정분자로 구성된 액정층의 개재(介在)하에 합착된 구조를 갖는다. 이때, 박막트랜지스터 어레이기판(31)의 외곽으로는 게이트 및 데이터 전압을 인가하기 위한 패드부(131a)가 형성된다. First, in the liquid crystal panels 131 and 132, a plurality of gate lines and a plurality of data lines are formed in a matrix form, and a thin film transistor array substrate 131 having pixels and thin film transistors formed at the intersections thereof, and each pixel Correspondingly, a color filter substrate 132 having a color filter of R, G, and B and a counter electrode provided over the entire surface has a structure in which the color filter substrate 132 is bonded under the interposition of a liquid crystal layer composed of a plurality of liquid crystal molecules. In this case, a pad portion 131a for applying a gate and a data voltage is formed outside the thin film transistor array substrate 31.

이때 액정패널(131, 132)의 외곽으로 형성된 각각의 패드부(131a)는 프로브 검사장치(190)의 복수 개의 핀들과 접촉하게 된다. 더 정확히 말하면, 프로브 검사장치(190)의 다수개의 핀들은 각각의 패드부(131a) 내부에 접촉하거나, 혹은 패드부(131a)와 패드부(131a) 사이에 접촉하는 핀들로 나뉘게 되며, 이와 같은 경우 본 발명에서는 패드부(131a) 내부에 접촉하게 되는 핀들을 액정패널(131, 132)의 전기적 점검에 사용하게 된다.In this case, each of the pads 131a formed outside the liquid crystal panels 131 and 132 is in contact with a plurality of pins of the probe inspection device 190. More precisely, the plurality of pins of the probe inspection device 190 may be divided into pins that contact each pad portion 131a or between the pad portion 131a and the pad portion 131a. In this case, the pins in contact with the inside of the pad unit 131a are used for the electrical inspection of the liquid crystal panels 131 and 132.

물론 본 발명에 따른 프로브 검사장치(190)의 다수개의 핀들을 배열하는 방법은 다양할 수 있다. 그 하나의 예로서 프로브 검사장치(190)의 제2행의 핀을 각각 제1 내지 제n번째 핀이라 가정할 때, 제1행의 핀들 중 제1번째 핀은 제2행의 제1번째와 제2번째 핀의 중간 지점에 해당하는 간격만큼 이동(shift)하여 형성하고, 제1행의 제2번째 핀은 제2행의 제2번째와 제3번째 핀의 중간 지점에 해당하는 간격만큼 이동하여 형성할 수 있다. 따라서 전체적으로 볼 때, 홀수 행의 제(n-1)번째 핀은 짝수 행의 제(n-1)번째 핀과 제n번째 핀의 중간 지점에 대응하는 부위로 형성 됨으로써 지그-재그(zig-zag) 형상을 띠게 된다.Of course, the method of arranging a plurality of pins of the probe inspection apparatus 190 according to the present invention may vary. As an example, assuming that the second row pins of the probe inspection apparatus 190 are the first to nth pins, the first one of the first row pins is the first row of the second row. It is formed by shifting by an interval corresponding to the middle point of the second fin, and the second pin of the first row is shifted by an interval corresponding to the middle point of the second and third fins of the second row. Can be formed. Therefore, as a whole, the (n-1) th pin of the odd row is formed by a portion corresponding to the midpoint of the (n-1) th and nth pins of the even row, thus the zig-zag. ) Will take shape.

이것은 바꾸어 말하면, 제1행과 같은 홀수 행의 핀을 각각 제1 내지 제n번째 핀이라 가정할 때, 짝수 행의 제(n-1)번째 핀을 홀수 행의 제(n-1)번째 핀과 제n번째 핀의 중간 지점에 대응하는 부위로 형성할 수도 있음을 방증하는 것이다. 이러한 경우 프로브 검사장치(190)의 다수개의 핀들 중 각각의 패드부(131a) 내부에 접촉하거나, 혹은 패드부(131a)와 패드부(131a) 사이에 접촉하는 핀들이 앞서서의 경우와 서로 다르게 될 수 있다.In other words, assuming that the pins of odd rows, such as the first row, are the first through nth pins, respectively, the (n-1) th pins of the even rows are the (n-1) th pins of the odd rows. It can also be formed as a portion corresponding to the midpoint of the n-th pin. In this case, among the plurality of pins of the probe inspection apparatus 190, the pins which contact each inside the pad part 131a or between the pad part 131a and the pad part 131a may be different from those of the previous case. Can be.

실질적으로 도면에 정확히 도시되지는 않았지만 프로브 검사장치(190)를 사용하여 액정패널((131, 132)의 양호상태를 점검하게 될 때, 프로브 검사장치(190)는 대략 700개의 게이트 라인 혹은 데이터 라인의 패드를 하나의 블록(block)으로 하여 점검하기 때문에, 본 발명에 따른 프로브 검사장치(190)의 프로브 핀은 제1행 및 제2행 등의 각각의 행마다 형성되는 핀들이 천 여개에서 수천 개에 이르게 되므로, 프로브 검사장치(190)에 형성된 전체의 프로브 핀은 수천에서 수만 개에 이를 수 있다. 물론 전체적으로 지그-재그 형상을 띠며 이 중 일부는 액정패널(131, 132)의 패드부(131a)와 접촉하거나, 나머지 일부는 패드부(131a)와 패드부(131a) 사이에 접촉하게 되는 것이다. Although not exactly shown in the drawings, when the probe inspection apparatus 190 is used to check the good condition of the liquid crystal panels 131 and 132, the probe inspection apparatus 190 may have approximately 700 gate lines or data lines. Since the pads of the probes are inspected as one block, the probe pins of the probe inspection apparatus 190 according to the present invention have thousands to thousands of pins formed in each row such as the first row and the second row. As a result, the total number of probe pins formed in the probe inspection apparatus 190 may range from several thousands to tens of thousands, and of course, the overall probe pins may have a zigzag shape, and some of them may be pads of the liquid crystal panels 131 and 132. 131a may be in contact with the other part, or the other part may be in contact between the pad part 131a and the pad part 131a.

예컨대, 액정패널(131, 132)의 패드부(131a) 각각의 폭을 25∼39㎛, 패드부(131a)간 간격을 25∼50㎛, 그리고 패드부(131a)의 피치(pitch)를 25∼50㎛로 형성한다고 가정할 때, 이와 같은 폭을 갖는 패드부(131a) 내에 복수 개의 핀이 접촉하도록 하기 위하여는 프로브 검사장치(190)의 프로브 핀간 간격을 5∼10㎛로 하여 그 프로브 핀의 직경을 최대 10㎛에 상당하도록 한다. 물론 여기에서 패드부(131a)의 폭을 39㎛, 프로브 핀의 직경을 10㎛, 그리고 그 핀간 간격을 10㎛로 가정하여 추산하게 되면, 각각의 패드부(131a)에 대략 2개의 프로브 핀이 접촉하게 되는 셈이 되는데, 이것은 프로브 핀의 지그-재그 형상을 고려하지 않은 것임을 염두에 두어야 한다.For example, the width of each pad portion 131a of the liquid crystal panels 131 and 132 is 25 to 39 μm, the space between the pad portions 131a is 25 to 50 μm, and the pitch of the pad portion 131a is 25. Assuming that it is formed to have a width of ˜50 μm, in order to contact a plurality of pins in the pad portion 131a having such a width, the probe pins of the probe inspection device 190 may be 5 to 10 μm, and the probe pins The diameter of is to be equivalent to a maximum of 10㎛. Of course, if the width of the pad portion 131a is estimated to be 39 μm, the diameter of the probe pin is 10 μm, and the interval between the pins is assumed to be 10 μm, approximately two probe pins may be formed in each pad portion 131a. It is in contact with each other, and it is to be noted that this does not take into account the zigzag shape of the probe pin.

또한, 도 5에서 볼 수 있는 바와 같이 액정패널(131, 132)의 패드부(131a)에 프로브 검사장치(190)의 하측을 접촉시킨 다음, 그 상측으로는 드라이브 IC가 실장된 FPCB(180)를 전기적으로 접촉시키게 된다. 이때 전기적 신호의 흐름으로 볼 때, 액정패널의 패드부(130a)에 접속하는 부위는 FPCB(180)의 출력측(181)이 되고, 그 반대 측은 게이트 및 데이터 PCB와 같은 외부로부터의 영상신호가 입력되는 입력측(182)이 된다.In addition, as shown in FIG. 5, the lower portion of the probe inspection device 190 is brought into contact with the pad portion 131a of the liquid crystal panels 131 and 132, and then the FPCB 180 having the drive IC mounted thereon is disposed on the upper side thereof. Is brought into electrical contact. In this case, the portion of the liquid crystal panel connected to the pad 130a of the liquid crystal panel is the output side 181 of the FPCB 180, and the opposite side is inputted with an image signal from the outside such as a gate and a data PCB. To the input side 182.

도 6은 도 4 및 도 5에 나타낸 프로브 검사장치(190)의 내부 구조를 보여주는 도면이다. 도면에 나타낸 바와 같이 프로브 검사장치(190)는 외곽을 이루는 프레임을 관통하는 다수개의 프로브 핀(193)과, 그 프로브 핀(193)이 액정패널(131)의 패드부(131a)와 접촉시 초래될 수 있는 핀(193)의 휨 등과 같은 긴장 상태를 완화시키기 위한 탄성 수단(192)을 구비하게 된다.FIG. 6 is a view illustrating an internal structure of the probe inspection device 190 shown in FIGS. 4 and 5. As shown in the drawing, the probe inspection device 190 causes a plurality of probe pins 193 penetrating through an outer frame and the probe pins 193 come into contact with the pad portion 131a of the liquid crystal panel 131. It is provided with an elastic means 192 to relieve tension such as bending of the pin 193, which may be.

이때, 프로브 핀(193)은 다시 프레임(191)의 상하를 관통하여 나와 액정패널(131, 132)의 패드부(131a) 및 TCP와 접촉하는 프로브 핀(193)의 메인부(193a)와, 그 메인부(193a)의 가운데 영역에서 볼록하게 돌출되어 프레임의 내부에서 스프링(spring) 등의 탄성 수단(192)을 작용시키는 보조부(193b)로 구성된다고 볼 수 있다.At this time, the probe pin 193 passes through the upper and lower sides of the frame 191 again, and the main part 193a of the probe pin 193 and the pad part 131a of the liquid crystal panels 131 and 132 and the TCP, It can be seen that it is composed of an auxiliary portion 193b that protrudes convexly from the central region of the main portion 193a and acts on the elastic means 192 such as a spring inside the frame.

여기에서 프로브 핀(193)은 도전율이 비교적 좋은 베릴륨니켈(BeNi) 혹은 베릴륨구리(BeCu) 등을 재질로 하여 형성하게 된다. 또한, 그 직경은 앞서서도 언급한 바 있지만 액정패널(131, 132)의 패드부(131a)가 각각 25∼39㎛의 폭으로 형성된다고 가정할 때, 이러한 폭을 갖는 패드부(131a) 내에 복수 개의 핀이 접촉하기 위하여는 프로브 검사장치(190)의 프로브 핀간 간격을 고려하여 최대 10㎛에 상당하는 범위에서 형성할 수 있다. 이것은 각각 최대 39㎛의 폭으로 형성되는 패드부(131a)에 2개의 프로브 핀이 접촉하고, 또 그 핀간 간격이 10㎛인 경우를 가정하여 추산한 것이므로 얼마든지 변경될 수 있다.The probe pin 193 may be formed of beryllium nickel (BeNi), beryllium copper (BeCu), or the like having a relatively high conductivity. In addition, although the diameter has been mentioned above, assuming that the pad portions 131a of the liquid crystal panels 131 and 132 are each formed to have a width of 25 to 39 μm, a plurality of diameters may be provided in the pad portions 131a having such widths. In order for the three pins to contact each other, the pins may be formed in a range corresponding to a maximum of 10 μm in consideration of the interval between the probe pins of the probe inspection device 190. This is estimated on the assumption that two probe pins are in contact with the pad portion 131a each having a maximum width of 39 μm, and the interval between the pins is 10 μm.

그리고 탄성 수단(192)은 일종에 스프링으로서 위의 프로브 핀(193)의 가운데 영역을 감싸면서 프로브 핀(193)의 일측 돌출부(193b)와 서로 접촉하게 된다. 또한 그 프로브 핀(193)을 작용시키기 위하여 탄성력이 뛰어나야 하는 것은 물론이지만, 뛰어난 도전성까지 요구하는 것은 아니므로 철 등으로 형성하거나, 폴리 계열의 플라스틱 재질로 형성하여도 무관할 것이다.In addition, the elastic means 192 is in contact with the one side protrusion 193b of the probe pin 193 while surrounding the central region of the probe pin 193 as a spring. In addition, in order to actuate the probe pin 193, of course, the elastic force must be excellent, but since it does not require excellent conductivity, it may be formed of iron or the like, or may be formed of a poly-based plastic material.

그러면 7a 및 도 7b를 참조해 위의 프로브 검사장치(190)의 형성 과정에 대하여 세부적으로 살펴보고자 한다. 도 7a는 도 6에 나타낸 프로브 검사장치(190)의 외곽 프레임을 나타내는 사시도이고, 도 7b는 도 7a의 하측 외곽 프레임으로 프로브 핀 및 탄성 수단을 체결한 후, 절단면(I-I`)을 따라 X축 방향에서 바라본 도면이다.Next, the process of forming the probe inspection apparatus 190 will be described in detail with reference to FIGS. 7A and 7B. FIG. 7A is a perspective view showing an outer frame of the probe inspection device 190 shown in FIG. 6, and FIG. 7B is an X-axis along the cutting plane II ′ after fastening the probe pin and the elastic means to the lower outer frame of FIG. 7A. This is the view seen from the direction.

먼저, 도 7a를 참조하면 프로브 검사장치(190)의 외곽을 형성하는 프레 임(191a, 192b)은 하측 프레임(191a) 및 상측 프레임(191b)으로 구성될 수 있다. 이때, 상측 프레임(191b) 및 하측 프레임(191a)은 모두 그것을 관통하는 다수개의 홀이 형성되는데, 무엇보다 하측 프레임(191a)에 형성되는 홀(191a1, 191a2)은 내부에 탄성 수단을 체결하기 위하여 상측에서 하측으로 향하는 소정 영역까지는 탄성 수단의 지름과 동일한 크기로 하여 형성되는 제1관통 홀(191a1) 및 그 제1관통 홀(191a)의 가운데 영역에서 다시 하측으로 이어지는 제2관통 홀(191a2)로 나누어 형성된다. 이때 제2관통 홀(191a2)은 앞서 언급한 바 있는 프로브 핀(193)의 지름과 동일한 크기로 형성된다.First, referring to FIG. 7A, the frames 191a and 192b forming the outline of the probe inspection device 190 may be formed of a lower frame 191a and an upper frame 191b. At this time, the upper frame (191b) and the lower frame (191a) are both formed a plurality of holes penetrating it, above all the holes (191a1, 191a2) formed in the lower frame (191a) to fasten the elastic means therein The first through-hole 191a1 and the second through-hole 191a2 extending downward from the center region of the first through-hole 191a formed to have the same size as the diameter of the elastic means from the upper side to the lower side. Formed by dividing by. In this case, the second through hole 191a2 is formed to have the same size as the diameter of the probe pin 193 described above.

또한, 상측 프레임(191b)을 관통하여 형성되는 관통 홀(191b1)은 하측 프레임(191a)의 제2관통 홀(191a2)과 동일한 크기로 형성되므로 앞서서 언급한 바 있는 프로브 핀(193a)의 직경과 동일하게 최대 10㎛의 범위 이내에서 형성될 수 있다.In addition, the through hole 191b1 formed to penetrate the upper frame 191b is formed to have the same size as the second through hole 191a2 of the lower frame 191a, and thus the diameter of the probe pin 193a as described above. The same may be formed within the range of up to 10㎛.

이와 같이 제1 및 제2의 관통 홀(191a1, 191a2)이 형성된 하측 프레임(191a)의 내부로는 프로브 핀(193)과, 탄성 수단(192)을 차례로 삽입한 후, 상측 프레임(191b)을 체결하여 프로브 검사장치(191)를 완성할 수 있다. The probe pin 193 and the elastic means 192 are sequentially inserted into the lower frame 191a in which the first and second through holes 191a1 and 191a2 are formed, and then the upper frame 191b is inserted. By fastening the probe inspection device 191 can be completed.

이것은 어디까지나 하나의 예로서 서술한 것이므로 위와 같은 외곽 프레임(191a, 192)은 다양한 형태로 변경되어 형성될 수 있고, 또 그 내부로 프로브 핀(193) 및 탄성 수단(192)을 삽입함으로써 프로브 검사장치(191)를 제조할 수 있을 것이다.Since this is only described as an example, the outer frame 191a and 192 as described above may be formed in various forms, and probe inspection by inserting the probe pin 193 and the elastic means 192 therein. The device 191 may be manufactured.

예컨대, 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브 검사장치는 외곽 프레임의 높이를 5㎝라 가정하고, 이중 그 내부로 관통하는 양측의 제1관통 홀이 각각 1㎝, 그 리고 제1관통 홀을 잇는 제2관통 홀이 3㎝의 높이를 차지한다고 보면, 상측 프레임으로 일측의 제1관통 홀과 제2관통 홀의 절반을 갖도록 형성하고, 반면 하측 프레임으로는 타측의 제1관통 홀과 제2관통 홀의 절반을 갖게 형성하여 서로 체결함으로써 프로브 검사장치가 완성될 수 있다.For example, a probe inspection apparatus according to another embodiment of the present invention assumes a height of an outer frame of 5 cm, of which a first through hole of each side penetrating therein is 1 cm and a first through hole, respectively. When the second through hole occupies a height of 3 cm, the upper frame is formed to have one half of the first through hole and the second through hole on the one side, while the lower frame includes the first through hole and the second through hole on the other side. The probe inspection apparatus can be completed by forming a half and fastening each other.

한편, 본 발명에 따른 프로브 검사장치(190)의 프로브 핀(193)은 도 8(a) 내지 도 8(c)에 나타낸 바와 같이 다양한 형상으로 제조할 수 있다. 도 8(a)과 같이 프로브 핀(193)의 가운데 영역에서 볼록하게 돌출되는 돌출부(193b)를 원기둥 형상으로 형성할 수 있을 것이다. 이것은 지금까지 기술한 바 있는 본 발명의 바람직한 예일 수 있다. On the other hand, the probe pin 193 of the probe inspection device 190 according to the present invention can be manufactured in various shapes as shown in Figure 8 (a) to 8 (c). As shown in FIG. 8A, a protrusion 193b protruding convexly from the center region of the probe pin 193 may be formed in a cylindrical shape. This may be a preferred example of the invention as described so far.

또한, 도 8(b)과 같이 프로브 핀(293)의 가운데 영역에서 볼록하게 돌출되는 돌출부(293b)는 사각형상의 긴 기둥으로 형성할 수 있다. 그러나 이와 같은 경우에 있어서, 프레임의 제2관통 홀을 탄성 수단과 동일한 원형으로 형성하였다면 그 내부에서 사각형상의 돌출부(293b)가 동작하기 위하여는 이를 고려하여 설계해야 하는 것은 당연하다. 그러나 제2관통 홀을 사각형상으로 형성하였다 하더라도, 원형의 탄성 수단이 내부에서 작용할 수 있다면 이 또한 무관할 것 같다. In addition, as illustrated in FIG. 8B, the protrusion 293b protruding convexly from the center region of the probe pin 293 may be formed as a long rectangular column. However, in such a case, if the second through-hole of the frame is formed in the same circular shape as the elastic means, it is natural to design in consideration of this in order to operate the rectangular protrusion 293b therein. However, even if the second through-hole is formed in a rectangular shape, this also seems to be irrelevant if the circular elastic means can act inside.

뿐만 아니라, 도 8(c)과 같이 돌출부(393b)가 프로브 핀(393)의 메인부(393a)를 둘러싸고 기둥 형상으로 형성되는 것이 아니라, 좌우의 일부로만 돌출되어 형성하게 됨으로써 마치 십자가(†)의 형상으로 형성될 수 있다.In addition, as shown in (c) of FIG. 8, the protrusion 393b is not formed in a columnar shape surrounding the main portion 393a of the probe pin 393, and is formed to protrude only in a part of the left and right, so that it is like a cross (†). It may be formed in the shape of.

지금까지의 구성 결과, 본 발명에 따른 프로브 검사장치는 액정패널의 패드 폭보다 작은 직경으로 복수 개의 핀을 접촉시키고, 접촉시 발생할 수 있는 핀의 긴장 상태를 해소하기 위하여 스프링과 같은 탄성 수단을 이용함으로써 프로브 핀을 액정패널의 패드부에 접촉시 그 오류를 방지할 수 있고, 아울러 이에 따른 전기적 신호 인가시 검출력을 향상시킬 수 있을 것이다. As a result of the configuration up to now, the probe inspection device according to the present invention uses elastic means such as a spring to contact a plurality of pins with a diameter smaller than the pad width of the liquid crystal panel, and to solve the tension state of pins that may occur during contact. As a result, when the probe pin contacts the pad of the liquid crystal panel, an error thereof may be prevented, and accordingly, a detection force may be improved when an electrical signal is applied.

Claims (11)

다수 개의 관통부가 행렬(matrix)을 이루어 형성되는 프레임;A frame having a plurality of through parts formed in a matrix; 상기 프레임의 관통부를 관통하여 양단부가 접촉하는 핀과, 상기 핀의 중앙영역에 형성되어 관통부에 삽입되는 돌출부를 포함하는 프로브 핀; 및A probe pin including a pin penetrating through a through portion of the frame and contacting both ends thereof, and a protrusion formed in a central region of the pin and inserted into the through portion; And 상기 관통부의 내부로 삽입되어 상기 프로브 핀으로 인가되는 충격을 완화시키는 탄성 수단을 포함하여 구성되는 프로브 검사장치.And an elastic means inserted into the through part to mitigate an impact applied to the probe pin. 제1항에 있어서, 상기 프레임에 형성되는 짝수 번째 행의 관통부는 홀수 번째 행의 관통부와 관통부간 간격(X)의 1/2X만큼 이동(shift)하여 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 검사장치.The probe inspection apparatus according to claim 1, wherein the through part of the even row formed in the frame is shifted by 1 / 2X of the distance X between the through part of the odd row and the through part. 제1항에 있어서, 상기 프레임에 형성되는 홀수 번째 행의 관통부는 짝수 번째 행의 관통부와 관통부간 간격(X)의 1/2X만큼 이동하여 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 검사장치.The probe inspection apparatus according to claim 1, wherein the penetrating portion of the odd-numbered row formed in the frame is moved by 1 / 2X of the distance (X) between the penetrating portion of the even-numbered row and the penetrating portion. 제1항에 있어서, 상기 관통부는 상기 프레임의 상·하측에서 내부로 소정 길이로 형성되는 제1관통 홀과, 상기 제1관통 홀을 서로 연결하고 그 직경이 제1관통 홀과 서로 다른 제2관통 홀을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 프로브 검사장치.The second through hole of claim 1, wherein the through part connects the first through hole formed at a predetermined length from the upper side and the lower side of the frame to the inside, and the second through hole connects the first through hole to a different diameter from the first through hole. Probe inspection apparatus characterized in that it comprises a through hole. 제4항에 있어서, 상기 제1관통 홀의 직경은 상기 프로브 핀이 직경과 동일하게 형성하는 것을 특징으로 하는 프로브 검사장치.The probe inspection apparatus according to claim 4, wherein the diameter of the first through hole is equal to that of the probe pin. 제4항에 있어서, 상기 제2관통 홀의 직경은 상기 탄성 수단의 직경과 동일하게 형성하는 것을 특징으로 하는 프로브 검사장치.The probe inspection apparatus according to claim 4, wherein the diameter of the second through hole is the same as that of the elastic means. 제1항에 있어서, 상기 프로브 핀은 도전성 재질의 베릴륨니켈(BeNi) 혹은 베릴륨구리(BeCu)인 것을 특징으로 하는 프로브 검사장치.The probe inspection apparatus of claim 1, wherein the probe pin is made of beryllium nickel (BeNi) or beryllium copper (BeCu). 제1항에 있어서, 상기 프로브 핀의 직경(L)은 0<L≤10㎛인 것을 특징으로 하는 프로브 검사장치.The probe inspection apparatus according to claim 1, wherein a diameter (L) of the probe pin is 0 <L ≦ 10 μm. 제1항에 있어서, 상기 프로브 핀간 간격(X)은 0<X≤10㎛인 것을 특징으로 하는 프로브 검사장치.The probe inspection apparatus of claim 1, wherein the probe pin spacing (X) is 0 <X ≦ 10 μm. 제1항에 있어서, 상기 탄성 수단은 스프링인 것을 특징으로 하는 프로브 검사장치.The probe inspection device according to claim 1, wherein the elastic means is a spring. 제1항에 있어서, 상기 탄성 수단은 플라스틱을 재질로 하여 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 검사장치.The probe inspection apparatus according to claim 1, wherein the elastic means is made of plastic.
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