KR20080048637A

KR20080048637A - 기판 합착기

Info

Publication number: KR20080048637A
Application number: KR1020060118841A
Authority: KR
Inventors: 황재석
Original assignee: 주식회사 에이디피엔지니어링
Priority date: 2006-11-29
Filing date: 2006-11-29
Publication date: 2008-06-03
Also published as: CN101191937A; KR101395821B1; CN100562784C

Abstract

기판 합착기를 개시한다. 기판 합착기는 외부 프레임과 상부 기판을 안착하는 상부 챔버, 상기 상부 기판과 합착할 하부 기판을 안착하고, 상기 상부 챔버와 결합하여 합착 공간을 형성하는 하부 챔버, 상기 하부 챔버를 승강시키고 지지하는 승강부 및 상기 승강부와 결합하고, 상기 외부 프레임에 자력(Magnetic force)을 이용하여 부착되어, 상기 승강부의 하부 챔버 지지력을 높이는 고정 장치를 포함한다. 하부 챔버를 승강시키고 지지하는 승강부를 고정 장치에 의해 외부 프레임과 결합시켜 승강부의 하부 챔버 지지력을 높일 수 있다. 그 결과, 하부 챔버가 안정적으로 고정되므로, 기판의 간격을 조정하고 기판을 정렬하는 등의 기판 합착 공정에서 불량이 발생하는 것을 줄일 수 있다.

Description

기판 합착기{Apparatus for joining of substrate}

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 합착기의 구성을 간략히 도시한 단면도이다.

도 2a는 고정 장치의 구성을 개략적으로 도시한 예시도이다.

도 2b는 고정 장치가 승강부의 승강 테이블에 설치된 상태를 개략적으로 나타낸 도면이다.

도 2c는 고정 장치의 마그네틱부가 외부 프레임에 부착된 상태를 나타낸 평면도이다.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 합착기의 마그네틱부가 외부 프레임에 자력을 이용하여 부착된 상태를 나타내는 도면이다.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

100 : 외부 프레임

200 : 상부 챔버

300 : 하부 챔버

400 : 승강부

600 : 고정장치

본 발명은 기판 합착기에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는 하부 챔버를 승강시키고 지지하는 승강부와 기판 합착기의 외관을 형성하는 프레임 간에 부착력을 제공하는 고정 장치를 마련하여 승강부의 하부챔버 지지력을 높일 수 있는 기판 합착기에 관한 것이다.

LCD 패널은 액정(Liquid Crystal)의 굴절률의 비등방성(anisotropy)을 이용하여 화면에 정보를 표시하는 디스플레이 장치이다. LCD 패널에는 두 개의 기판이 사용되는데, 하나는 구동소자 어레이(Array) 기판이고, 다른 하나는 칼라필터(Color Filter) 기판이다. 구동소자 어레이 기판에는 다수개의 화소가 형성되어 있으며, 각 화소에는 박막트랜지스터(Thin Film Transistor)와 같은 구동소자가 형성된다. 칼라필터 기판에는 칼라를 구현하기 위한 칼라 필터 층이 형성되어 있으며, 화소전극, 공통전극 및 액정분자를 배향하기 위한 배향막이 도포된다.

이러한 LCD 패널을 제조하는 방식은, 두 기판을 합착시킨 후 양 기판의 사이에 액정을 주입하고 주입구를 봉합하여 만들어지는 통상적인 액정 주입 방식, 또는 미리 액정을 하나의 기판에 적하하고 진공 중에서 다른 하나의 기판과 근접시켜 합착하는 액정 적하 방식 등으로 크게 구분할 수 있다. 어떠한 방식에 의하여도 LCD 패널의 제조 과정에서 두 기판을 합착하는 공정은 제품의 품질을 좌우하는 매우 중요한 공정이다.

기판의 합착 공정은 기판 합착기에서 이루어진다. 기판 합착기는 상부 챔버는 프레임에 고정되어 있고 하부 챔버가 승강부에 의해 승강하고 지지되는 형태일 수 있다. 이러한 기판 합착기에서의 기판 합착 공정을 살펴본다.

먼저, 컬러 필터 기판과 어레이 기판을 기판 합착기 내부로 공급한 후, 컬러 필터 기판은 상부 챔버의 상부 척에 부착되고, 어레이 기판은 하부 챔버의 하부 척에 부착한다. 그러면, 하부 챔버가 승강부에 의해 이동하여 상부 챔버와 결합하는 방식으로 밀폐된 기판 합착 공간을 형성한다. 이 경우, 상부 척과 하부 척에 부착된 양 기판이 균일한 거리를 두고 이격되도록 기판 간격을 조정한다.

또한, 기판 합착 공간의 공기를 진공 펌프 등을 이용하여 외부로 배출하여 기판 합착 공간을 진공 상태로 만든다. 그리고, 카메라를 이용하여 기판의 얼라인 마크 등을 촬영하고 정렬 상태를 확인하여 기판이 정확히 합착되도록 정렬한다. 기판의 정렬이 양호하면 상부 척에 부착된 컬러 필터 기판을 자유 낙하 시킨 후 양 기판의 사이 부분에 밀봉재(Sealant)를 붙혀 가접합 시킨다. 이 후, 가스(예를 들면 질소 가스)를 주입하여 양 기판 내부의 진공 압력과 기판 외부의 가스 압력 차이를 이용하여 기판을 합착한다.

이러한 기판 합착 공정에서 합착될 양 기판이 균일한 거리를 두고 이격되도록 간격을 조정하는 과정이나, 양 기판이 정확히 합착되도록 위치를 정렬하는 정렬 과정이 중요하다. 그리고, 이러한 간격 조정과정이나 위치 정렬과정은 하부 챔버가 고정되어야 정확히 수행될 수 있다.

그런데, 기판의 사이즈가 대형화되면서 기판 합착기 역시 대형화되고 있고, 그 결과 기판 합착기의 하부 챔버와 하부 챔버 내에 위치하는 기판의 무게도 무거워지고 있다. 따라서, 하부 챔버를 승강시키고 지지하는 승강부에 걸리는 하중이 커진다.

기판 합착기의 승강부는 하부 챔버를 승강시키기 위한 구동력을 제공하는 승강 모터 및 축회전하여 챔버를 승강시키는 승강 스크류 등으로 이루어질 수 있다. 그런데, 앞서 언급한 바와 같이 승강부에 걸리는 하중이 커지면서 승강 스크류가 탄성 변형되는 등의 이유로 승강부의 하부 챔버 지지력에 문제가 발생한다. 그 결과, 기판 간격을 조절하는 간격 조정 과정이나 위치 정렬 과정에서 오차가 발생할 수 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 하부 챔버를 승강시키고 지지하는 승강부와 결합하고 외부 프레임에 자력을 이용하여 부착되는 고정 장치를 포함하여, 승강부의 하부 챔버 지지력이 향상된 기판 합착기를 제공함에 있다.

이러한 목적을 이루기 위하여 본 발명에 따른 기판 합착기는 외부 프레임과, 상부 기판을 안착하는 상부 챔버와, 상기 상부 기판과 합착할 하부 기판을 안착하고 상기 상부 챔버와 결합하여 합착공간을 형성하는 하부 챔버와, 상기 하부 챔버 를 승강시키고 지지하는 승강부 및 상기 승강부와 결합하고 상기 외부 프레임에 자력(Magnetic force)을 이용하여 부착되어 상기 승강부의 하부 챔버 지지력을 높이는 고정 장치를 포함한다.

상기 상부 챔버는 상기 외부 프레임에 고정될 수 있다.

상기 고정 장치는 자력을 이용하여 상기 외부 프레임에 부착될 수 있는 마그네틱부 및 상기 마그네틱부를 이동시킬 수 있는 이동 수단부를 포함할 수 있다.

상기 고정 장치는 상기 마그네틱부에 전기를 공급하는 전기 공급부를 더 포함할 수 있다.

또한, 상기 마그네틱부는 상기 전기 공급부의 전기 공급 여부에 따라 자력 유무가 결정되는 전자석일 수 있다.

이하, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 이 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조로 설명하기로 한다.

도 1을 참조하면, 기판 합착기는 장치의 외관을 형성하는 외부 프레임(100), 기판의 합착 공간을 형성하는 상부 챔버(200)와 하부 챔버(300), 하부 챔버(300)에게 승강 작용력과 지지력을 제공하는 승강부(400) 및 상기 승강부(400)와 결합하고, 상기 프레임(100)에 자력(Magnetic force)을 이용하여 부착되어, 상기 승강부 의 하부 챔버 지지력을 높이는 고정 장치(600)를 구비한다.

외부 프레임(100)은 기판 합착기의 외관을 형성하는 몸체(Body)로서, 압력에 변형이 잘 되지 않는 강체에 가까운 틀을 의미한다. 외부 프레임에는 기판을 반입 및 반출할 수 있는 도어(110)가 마련된다. 도어(110)는 기판의 반입과 반출시에만 개방되어 기판 합착기의 내부로 먼지 등의 이물질이 들어가지 않도록 하는 것이 바람직하다.

한편, 기판 합착기의 내부로의 기판의 반입 및 반출은 이송 장치(미도시)가 담당할 수 있다. 이송 장치는 상부 기판(S1)을 이송하는 암(arm)과 하부 기판(S2)을 이송하는 암(arm)을 구비하여, 순차적으로 상부 기판(S1)과 하부 기판(S2)을 기판 합착기의 내부로 반입하고, 합착된 기판을 기판 합착기의 외부로 반출한다.

또 한편, 외부 프레임(100)의 외부 및 내부에는 챔버 내부를 진공 상태로 형성시키는 제 1진공펌프(510) 및 상부 기판(S1)과 하부 기판(S2)을 수취하는 기판 수취핀(220)에 진공 흡착력을 제공하는 제 2진공펌프(520)를 포함한다.

제 1진공펌프(510)는 외부 프레임(100)의 외부에 마련되고, 진공 파이프를 통하여 상부 챔버(200)와 하부 챔버(300)가 형성하는 기판 합착 공간으로 연결된다. 제 2진공펌프(520)는 외부 프레임(100)에 고정되고, 진공 파이프를 통하여 상부 챔버(200)와 하부 챔버(300)의 기판 수취핀(220)과 연결된다.

상기 진공펌프는 예를 들면, 드라이 펌프(Dry Pump), 터보몰큘러 펌프(Turbomolecular Pump, TMP), 미케니컬 부스터 펌프(Mechanical booster pump) 등이 사용될 수 있다. 그리고, 진공펌프는 진공 펌핑한 축출물을 외부로 배출할 수 있는 로터리 베인 펌프(Rotary Vane Pump, RVP)와 연결되는 것이 바람직하다.

상부 챔버(200)는 외부 프레임(100)에 고정되고, 하부 챔버(300)는 승강부(400)에 의하여 승강하고 지지된다. 하부 챔버(300)가 승강하여 상부 챔버(200)와 결합되면 상부 기판(S1)과 하부 기판(S2)을 합착할 수 있는 밀폐된 기판 합착 공간을 형성한다.

상부 챔버(200)는 외부 프레임(100)의 내벽에 고정된 지지대에 부착되어 고정되고, 상부 챔버(200)에는 상부 기판(S1)을 안착하는 상부 척(210)이 마련된다. 상부 척(210)은 상부 기판(S1)을 안착하기 위하여 정전기력으로 흡착하는 정전척(Electro Static Chuck, ESC)일 수 있다. 상부 척(210)은 상부 챔버(200)에 함입되어 구성된 일체형 챔버 구조를 이룰 수 있다.

한편, 상부 챔버(200)에는 상부 기판(S1)을 수취하기 위한 기판 수취핀(220) 및 상부 기판(S1)과 하부 기판(S2)의 합착지점을 정렬하기 위한 카메라(230)가 마련된다.

기판 수취핀(220)은 하부 기판(S2)을 수취하기 위하여 하부 챔버(300)에도 마련된다. 기판 수취핀(220)은 상부 기판(S1)과 하부 기판(S2)을 이송 장치의 암(arm)으로부터 수취하여 상부 챔버(200) 및 하부 챔버(300)에 안착시키기 위하여 마련된다. 기판 수취핀(220)은 상부 챔버(200) 및 하부 챔버(300)로부터 돌출하고 함입하는 방식으로 승강 구동한다. 또한, 기판 수취핀(220)은 진공 흡착력으로 상부 기판(S1)과 하부 기판(S2)을 흡착하여 수취한다.

카메라(230)는 상부 챔버(200)의 상측에 마련되어 상부 챔버(200)를 관통하 는 촬영공을 통하여 상부 기판(S1)과 하부 기판(S2)에 표시되는 정렬 마크(align mark)를 촬영하여 기판이 정확한 합착지점에 위치하였는지를 확인할 수 있도록 한다. 이때, 카메라(230)가 정렬 마크를 촬영할 수 있도록, 조명장치(330)가 하부 챔버(300)의 하측에 마련되어 하부 챔버(300)를 관통하는 조명공을 통하여 카메라(230)로 조명광을 제공한다.

하부 챔버(300)에는 하부 기판(S2)을 안착하는 하부 척(310)이 마련된다. 하부 척(310)은 앞서 설명한 상부 척(210)과 마찬가지로, 하부 기판(S2)을 안착하기 위하여 정전기력으로 흡착하는 정전척(Electro Static Chuck, ESC)일 수 있다. 또한, 하부 척(310)은 하부 챔버(300)에 함입되어 구성된 일체형 챔버 구조를 이룰 수 있다.

하부 챔버(300)는 승강부(400)와 연결되는 수평 프레임(350)의 상단에 마련되어 승강한다. 한편, 하부 챔버(300)와 수평 프레임(350) 사이에는 상부 기판(S1)과 하부 기판(S2)이 합착지점에서 합착되도록 하부 챔버(300)를 이동시키는 정렬 수단(340)이 마련된다. 정렬 수단(340)은 하부 챔버(300)를 X, Y 방향 및 회전 방향으로 이동시킬 수 있는 것이 바람직하다. 일반적으로 정렬 수단(340)으로 캠(Cam)이 사용된다. 캠은 복수로 구성되어, 캠의 상측은 하부 챔버(300)의 하단에 접하고, 캠의 하측은 하부 챔버(300)를 지지하는 수평 프레임(350)에 고정된다. 하부 챔버(300)에 접하는 캠의 상측은 구동모터에 의한 회전력으로 하부 챔버(300)를 이동시킨다.

승강부(400)는 하부 챔버(300)를 승강시키고 지지하는 부분으로, 승강 모 터(410), 승강 스크류(420) 및 승강 테이블(430)을 포함할 수 있다.

승강 모터(410)는 하부 챔버(300)를 승강시킬 수 있는 동력을 제공하는 부분으로, 예를 들면, 저압 모터(AC-Motor), 직류 모터(DC-motor) 등을 사용할 수 있다. 승강 스크류(420)는 승강 모터의 동력을 승강 테이블로 전달하는 매개체가 되는 부분이며, 승강 테이블(430)은 승강 스크류(420)와 결합하고, 수평 프레임(350)과 접촉하는 부분이다.

승강부(400)에 의하여 하부 챔버(300)가 상승하여 상부 챔버(200)와 결합하여 밀폐된 기판 합착 공간을 형성하는데, 이 기판 합착 공간은 제 1진공펌프(510)에 의해 진공 배기되어 진공 상태를 형성할 수 있다.

고정 장치(600)는 승강부(400) 및 외부 프레임(100)과 체결되어 승강부(400)의 하부 챔버(300) 지지력을 높이는 부분이다. 고정 장치(600)는 승강부(400)의 승강 테이블(430)에 마련되어 일체형으로 구성될 수 있다. 고정 장치(600)는 하부 챔버(300)가 상승하여 기판 합착 공간을 형성하고, 기판 간격을 균일하게 하기 위해 하부 챔버(300)의 위치를 조정한 후에, 외부 프레임에 자력을 이용하여 부착된다. 고정 장치(600)에 대해서는 더욱 상세하게 후술한다.

이상, 도면에서 생략하였으나, 기판 합착기에 기판을 가압하기 위한 가압수단이 포함될 수 있다. 가압수단으로는 기판을 직접 압착하는 기구적 가압과 기체의 압력을 이용한 가압이 있다. 가압수단으로 기체의 압력을 이용할 경우, 질소 가스와 같은 비활성 가스를 공급하는 가스탱크와 가스공급 파이프 및 합착공간으로 가스를 방출할 수 있는 가스 가압공이 포함될 수 있다.

이하에서는, 고정 장치(600)에 대하여 설명한다.

도 2a는 고정 장치의 구성을 개략적으로 도시한 예시도이다. 도 2b는 고정 장치가 승강부의 승강 테이블에 설치된 상태를 개략적으로 나타낸 도면이다. 도 2c는 고정 장치의 마그네틱부가 외부 프레임에 부착된 상태를 나타낸 평면도이다.

도 2a 내지 도 2c를 참조하면, 고정 장치(600)는 자력을 이용하여 상기 외부 프레임(100)에 부착될 수 있는 마그네틱부(610) 및 상기 마그네틱부(610)를 이동시킬 수 있는 이동 수단부(620)를 포함한다. 또한, 상기 마그네틱부(610)에 전기를 공급하는 전기 공급부(630)를 더 포함할 수 있다(도 2a 참조). 이러한 고정 장치(600)는 승강부(400)의 승강 테이블(430)내에 설치되어 승강부(400)와 결합될 수 있다(도 2b 참조).

마그네틱부(610)는 외부 프레임(100)에 자력을 이용하여 부착되는 부분이다. 이 경우, 마그네틱부(610)는 항상 자력을 가지고 있는 영구 자석일 수 있으나, 전기의 공급에 의하여 자력 발생 여부를 결정할 수 있는 전자석인 것이 바람직하다.승강부(400)의 승강 테이블(430)에 마련된 전자석은 외부 프레임(100)에 부착되어, 승강부(400)를 외부 프레임(100)에 대해 고정시키게 한다. 그 결과, 승강부(400)의 하부 챔버(300) 지지력이 높아진다. 또한, 마그네틱부(610)는 한 개 또는 두 개 이상일 수 있다. 복수개의 마그네틱부(610)가 설치되는 경우에는 인접하는 두 개 이상의 외부 프레임(100)과 부착될 수 있다(도 2c 참조).

이동 수단부(620)는 마그네틱부(610)를 이동시키는 역할을 한다. 이동 수단부(620)는 마그네틱부(610)와 체결되어 마그네틱부(610)를 외부 프레임(100) 방향 또는 그 반대 방향으로 이동시킨다. 이동 수단부(620)는 리니어(linear) 모터를 포함할 수 있다.

또한, 이동 수단부(620)는 스프링 만으로 구성될 수 있다. 이동 수단부(620)가 스프링인 경우에는 이동 수단부(620)는 마그네틱부(610)를 외부 프레임(100)과 반대 방향으로 당기는 역할만을 수행할 수도 있다. 마그네틱부(610)에 전류를 공급하면, 스프링이 마그네틱부(610)를 당기는 힘보다 더 크고 방향이 반대인 자력(magnetic force)으로 인하여, 마그네틱부(610)가 외부 프레임(100)에 부착될 수 있다. 마그네틱부(610)에 전류가 끊어지면 자력이 사라져 자동적으로 마그네틱부(610)가 승강 테이블(430)내로 복귀하게 될 것이다. 따라서, 스프링을 사용하여 저비용으로 간단히 이동 수단부(620)를 구성할 수도 있다.

이러한 이동 수단부(620)는 하부 챔버(300)를 이동시켜야 하는 경우, 마그네틱부(610)를 외부 프레임(100)에서 분리시켜 마그네틱부(610)가 외부 프레임(100)과의 마찰로 마모되는 것을 방지한다.

전기 공급부(630)는 마그네틱부(610)에 전류를 공급하는 역할을 한다. 마그네틱부(610)는 전자석일 수 있는데, 전자석에 전류를 흘려주면 자력(magnetic force)이 발생한다. 전자석은 전류를 많이 흘려주면 자력이 강해진다.

이하, 이러한 고정 장치(600)를 구비한 기판 합착기의 작동 과정에 대하여 서술한다.

도 3은 고정 장치의 마그네틱부가 외부 프레임에 자력을 이용하여 부착된 상태를 나타내는 도면이다.

도 3을 참조하면, 기판 합착기 내부로 기판을 반입하기 위하여, 하부 챔버(300)는 하강하여 상부 챔버(200)와 최대 거리로 이격되어 있고, 외부 프레임(100)의 도어(110)는 개방된다. 개방된 도어(110)로 이송 장치의 암(arm)에 상부 기판(S1)을 흡착한 상태로 상부 기판(S1)을 기판 합착기의 내부로 반입한다. 상부 기판(S1)이 반입되면 상부 챔버(200)의 기판 수취핀(220)이 하강하여 상부 기판(S1)을 진공 흡착한다. 상부 기판(S1)을 진공 흡착한 기판 수취핀(220)은 상승하여 상부 기판(S1)을 상부 챔버(200)에 안착시킨다. 이때, 상부 챔버(200)의 상부 척(210)은 정전기력으로 상부 기판(S1)을 흡착한다.

상부 기판(S1)이 상부 챔버(200)에 흡착되고 이송 장치의 암이 기판 합착기의 외부로 빠져 나가면, 이송 장치의 암이 하부 기판(S2)을 안착한 상태로 하부 기판(S2)을 기판 합착기의 내부로 반입한다. 이어서, 하부 챔버(300)의 기판 수취핀(220)이 상승하여 하부 기판(S2)을 수취하고, 이송 장치의 암은 기판 합착기의 외부로 빠져 나간다. 기판 수취핀(220)은 하강하여 하부 기판(S2)을 하부 챔버(300)에 안착시킨다. 이때, 하부 챔버(300)의 하부 척(310)은 정전기력으로 하부 기판(S2)은 흡착하고, 외부 프레임(100)의 도어(110)는 폐쇄된다.

이후, 하부 챔버(300)는 승강부(400)에 의하여 상승하여 상부 챔버(200)와 결합되어 밀폐된 기판 합착 공간을 형성한다. 이 경우, 승강부(400)는 상부 기판(S1)과 하부 기판(S2)이 균일한 거리를 두고 이격될 수 있도록 하부 챔버(300)를 이동시켜 조정한다. 또한, 고정 장치(600)의 마그네틱부(610)는 승강부(400)의 승강 테이블(430) 내부에 위치하고 있는 상태이다.

이러한 간격 조정이 끝나면 고정 장치(600)의 마그네틱부(610)를 이동 수단부(620)에 의해 승강 테이블(430) 외부로 나오게 하여 외부 프레임(100)에 밀착시킨다. 마그네틱부(610)가 외부 프레임(100)에 밀착되면, 전기 공급부(630)에 의하여 마그네틱부(610)로 전기를 공급하여 마그네틱부(610)가 외부 프레임(100)과 자력(magnetic force)으로 단단히 결합하도록 한다. 외부 프레임(100)은 강체(Rigid body)와 유사한 성질을 가지고 있으므로, 외부 프레임(100)과 승강부(400)가 고정 장치(600)에 의하여 결합함으로써 승강부(400)의 하부 챔버(300) 지지력이 높아지게 되는 것이다. 도 3에 도시한 상태이다.

이어서, 제 1진공펌프(510)는 합착 공간의 공기를 외부로 배출하여 기판 합착 공간을 진공 상태로 유지시킨다. 이러한 기판 합착 공간을 진공 상태로 만드는 과정은 기판 간격 조정 전에 할 수도 있다.

한편, 카메라(230)는 상부 기판(S1)과 하부 기판(S2)의 정렬 마크를 촬영하여 기판의 정렬 상태를 확인하고, 기판의 정렬 상태가 불량한 경우, 정렬 수단(340)이 하부 챔버(300)를 이동시켜 상부 기판(S1)과 하부 기판(S2)이 정확한 합착지점에서 합착되도록 정렬한다.

기판의 정렬 상태가 양호하게 되면, 상부 기판(S1)을 흡착하고 있는 상부 척(210)의 정전기력을 제거하여 상부 기판(S1)이 낙하하여 하부 기판(S2)과 접합되도록 한다. 이때, 상부 기판(S1)과 하부 기판(S2)은 밀봉재(sealant)에 의해 가합착된 상태가 된다. 이어서, 가압수단으로 기판을 가압하여 상부 기판(S1)과 하부 기판(S2)이 합착되도록 한다. 기체의 압력으로 기판을 가압하는 경우, 합착 공간으 로 가스가 유입되고, 소정의 압력으로 유입된 가스의 압력과 가합착된 기판 사이의 압력 차이에 의하여 상부 기판(S1)과 하부 기판(S2)이 합착된다.

이후, 하부 챔버(300)가 하강하여 상부 챔버(200)와 분리된다. 이어서, 외부 프레임(100)의 도어(110)가 개방되어 이송 장치가 합착된 기판을 안착하여 챔버 외부로 반출한다.

본 발명이 속하는 기술분야에 있어서 통상의 지식을 가진 사람이라면, 첨부된 청구 범위에 정의된 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 본 발명을 여러 가지로 변형 또는 변경하여 실시할 수 있음을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 앞으로의 실시예들의 변경은 본 발명의 기술을 벗어날 수 없을 것이다.

하부 챔버를 승강시키고 지지하는 승강부를 고정 장치에 의해 외부 프레임과 결합시켜 승강부의 하부 챔버 지지력을 높일 수 있다. 그 결과, 하부 챔버가 안정적으로 고정되므로, 기판의 간격을 조정하고 기판을 정렬하는 등의 기판 합착 공정에서 불량이 발생하는 것을 줄일 수 있다.

Claims

외부 프레임;

상부 기판을 안착하는 상부 챔버;

상기 상부 기판과 합착할 하부 기판을 안착하고, 상기 상부 챔버와 결합하여 합착공간을 형성하는 하부 챔버;

상기 하부 챔버를 승강시키고 지지하는 승강부; 및

상기 승강부와 결합하고, 상기 외부 프레임에 자력(Magnetic force)을 이용하여 부착되어, 상기 승강부의 하부 챔버 지지력을 높이는 고정 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 합착기.
제 1항에 있어서, 상기 상부 챔버는 상기 외부 프레임에 고정되는 것을 특징으로 하는 기판 합착기.
제 1항에 있어서, 상기 고정 장치는

자력을 이용하여 상기 프레임에 부착될 수 있는 마그네틱부; 및

상기 마그네틱부를 이동시킬 수 있는 이동 수단부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 합착기.
제 1항에 있어서, 상기 고정 장치는 상기 마그네틱부에 전기를 공급하는 전기 공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 합착기.
제 4항에 있어서, 상기 마그네틱부는 상기 전기 공급부의 전기 공급 여부에 따라 자력 유무가 결정되는 전자석인 것을 특징으로 하는 기판 합착기.