KR20080017946A - Substrate aligner which is convenient for maintenance - Google Patents

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KR20080017946A KR1020060079844A KR20060079844A KR20080017946A KR 20080017946 A KR20080017946 A KR 20080017946A KR 1020060079844 A KR1020060079844 A KR 1020060079844A KR 20060079844 A KR20060079844 A KR 20060079844A KR 20080017946 A KR20080017946 A KR 20080017946A
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Abstract

A substrate aligner for maintenance is provided to reduce maintenance time by easily detaching an internal aligner according to the disassembling of an external coupling member. A substrate aligner includes a chamber coupling member(110), a rotation shaft(140), a rotation shaft supporting member(130), an aligner(150), a driving cylinder(170), and a power delivering member(120). The chamber coupling member, which is coupled with an external wall of the chamber, seals a through part formed at a side wall of the chamber. The rotation shaft is vertically positioned in the chamber. The rotation shaft supporting member fixes one end of the rotation shaft into the chamber coupling member. The aligner, which is coupled with the rotation shaft, is rotated. The driving cylinder is installed at an external of the chamber. The power delivering member connects the driving cylinder and aligner.

Description

유지보수가 간편한 기판 얼라이너{Substrate aligner which is convenient for maintenance}Substrate aligner which is convenient for maintenance}

도 1은 종래 클러스트형 기판처리장치의 구성도1 is a block diagram of a conventional cluster type substrate processing apparatus

도 2는 로드락챔버에 설치된 종래 방식의 얼라이너를 나타낸 평면도Figure 2 is a plan view showing a conventional aligner installed in the load lock chamber

도 3은 로드락챔버에 종래 방식의 얼라이너가 설치된 모습을 나타낸 부분사시도Figure 3 is a partial perspective view showing a state in which the conventional aligner is installed in the load lock chamber

도 4는 로드락챔버에 설치된 종래 방식의 얼라이너가 기판을 정렬하는 모습을 나타낸 도면Figure 4 is a view showing the alignment of the substrate aligner of the conventional method installed in the load lock chamber

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 얼라이너의 사시도5 is a perspective view of an aligner according to an embodiment of the present invention;

도 6은 로드락챔버에 본 발명의 실시예에 따른 얼라이너가 설치된 모습을 나타낸 부분사시도Figure 6 is a partial perspective view showing a state in which the aligner is installed in the load lock chamber according to an embodiment of the present invention

도 7은 본 발명의 실시예에 따른 얼라이너의 부분 단면도7 is a partial cross-sectional view of an aligner in accordance with an embodiment of the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* * Description of the symbols for the main parts of the drawings *

100 : 제1 조정장치 110 : 챔버결합부재100: first adjusting device 110: chamber coupling member

112 : 오링홈 120 : 벨로우즈112: O-ring groove 120: Bellows

130 : 회전축지지대 140 : 회전축130: rotating shaft support 140: rotating shaft

142 : 고정부재 150 : 정렬부재142: fixing member 150: alignment member

151 : 지지판 152 : 롤러151: support plate 152: roller

160 : 실린더 지지대 170 : 구동실린더160: cylinder support 170: drive cylinder

본 발명은 기판 얼라이너(aligner)에 관한 것으로서, 구체적으로는 보다 간편하게 유지보수할 수 있는 기판 얼라이너에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate aligner, and more particularly, to a substrate aligner which can be more easily maintained.

종래의 음극선관(CRT)은 무겁고 부피가 큰 단점이 있어 최근에는 액정표시장치(Liquid Crystal Display, LCD), 플라즈마 표시장치(Plasma Display Panel, PDP), 유기발광다이오드장치(Organic Light Emitting Diode Device, OLED) 등과 같은 평면표시장치가 널리 사용되고 있다.Conventional cathode ray tube (CRT) has a disadvantage of heavy and bulky liquid crystal display (LCD), plasma display panel (PDP), organic light emitting diode device (Organic Light Emitting Diode Device) Flat display devices such as OLEDs are widely used.

이러한 평면표시장치를 제조하기 위해서는 모재가 되는 기판에 대하여 박막증착, 포토리소그래피, 에칭 등의 공정을 수행하여 박막트랜지스터, 전극, 컬러필터 또는 발광층 등을 형성하여야 하며, 상기 공정은 해당 공정을 위해 최적의 환경으로 설계된 기판처리장치의 내부에서 진행된다.In order to manufacture such a flat panel display device, a thin film transistor, an electrode, a color filter, or a light emitting layer must be formed by performing a process such as thin film deposition, photolithography, and etching on a substrate as a base material. It proceeds inside the substrate processing apparatus designed in an environment of.

또한 최근에는 생산성을 높이기 위하여 이송챔버 및 공정챔버 등을 집적화하여 기판의 이송거리 및 시간을 크게 단축시킨 클러스트형 기판처리장치가 많이 사 용되고 있다.Recently, in order to increase productivity, a cluster type substrate processing apparatus in which a transfer chamber and a process chamber are integrated to shorten a transfer distance and a time of a substrate is widely used.

도 1은 클러스트형 기판처리장치(10)의 일 예를 나타낸 평면도로서, 이송챔버(11)의 주위로 다수의 공정챔버(13) 및 로드락챔버(14)가 방사형으로 연결되어 있다.1 is a plan view showing an example of the cluster type substrate processing apparatus 10, in which a plurality of process chambers 13 and a load lock chamber 14 are radially connected around the transfer chamber 11.

이송챔버(11)는 진공상태를 유지하며, 내부에 설치되는 이송로봇(12)이 공정챔버(13)와 로드락챔버(14)의 사이에서 기판(s)을 운반한다.The transfer chamber 11 maintains a vacuum state, and a transfer robot 12 installed therein transports the substrate s between the process chamber 13 and the load lock chamber 14.

공정챔버(13)는 진공상태를 유지하면서 기판(s)에 대한 공정을 진행하는 공간이다.The process chamber 13 is a space in which a process is performed on the substrate s while maintaining a vacuum state.

로드락챔버(14)의 외부에는 대기압환경의 기판적재부(15)가 연결되며, 기판적재부(15)는 내부에 위치하는 ATM로봇(16)을 이용하여 기판카세트(17)와 로드락챔버(14)의 사이에서 기판을 이송하는 공간이다. The substrate loading portion 15 of the atmospheric pressure environment is connected to the outside of the load lock chamber 14, the substrate loading portion 15 is the substrate cassette 17 and the load lock chamber using the ATM robot 16 located therein It is a space which transfers a board | substrate between 14.

로드락챔버(14)는 대기압환경의 기판적재부(15)와 진공상태의 이송챔버(11) 사이에서 기판(s)을 교환하기 위해 압력조절을 실시하는 공간이다.The load lock chamber 14 is a space in which pressure regulation is performed to exchange the substrate s between the substrate loading portion 15 in the atmospheric pressure environment and the transfer chamber 11 in the vacuum state.

즉, 기판적재부(15)로부터 기판(s)을 반입하거나 기판적재부(15)로 기판(s)을 반출하는 경우에는 로드락챔버(14)를 대기압상태로 전환한 후에 기판적재부(15)와 연통시키고, 공정챔버(13)로 기판(s)을 반입하거나 공정챔버(13)로부터 기판(s)을 반출할 때는 로드락챔버(14)를 진공상태로 전환한 후에 이송챔버(11)와 연통시킨다.That is, in the case where the substrate s is loaded from the substrate loading portion 15 or the substrate s is carried out to the substrate loading portion 15, the substrate loading portion 15 after the load lock chamber 14 is switched to the atmospheric pressure state. ), The transfer chamber 11 after the load lock chamber 14 is converted to a vacuum state when the substrate s is brought into the process chamber 13 or the substrate s is taken out from the process chamber 13. Communicate with

따라서 로드락챔버(14)에는 진공펌핑라인 또는 벤팅라인 등과 같은 압력조절 수단이 연결된다.Therefore, the load lock chamber 14 is connected to a pressure regulating means such as a vacuum pumping line or a venting line.

한편, 로드락챔버(14)에는 이러한 압력조절수단뿐만 아니라 공정챔버(13)의 내부로 기판(s)을 반입하기 전에 기판(s)을 정렬하는 얼라이너가 설치되기도 한다.On the other hand, the load lock chamber 14 is provided with an aligner for aligning the substrate s before bringing the substrate s into the process chamber 13 as well as the pressure adjusting means.

로드락챔버(14)에 설치되는 얼라이너의 구성은 등록특허 제523277호에 이미 개시된 바 있으며, 상기 등록특허의 얼라이너는 도 2의 평면도에 도시된 바와 같이 로드락챔버(14)의 서로 마주보는 모서리 부근에 각각 설치되는 제1 조정장치(20)와 제2 조정장치(30)의 쌍으로 이루어진다.The configuration of the aligner installed in the load lock chamber 14 has already been disclosed in Korean Patent No. 523277. The aligner of the registered patent has opposite edges of the load lock chamber 14 as shown in the plan view of FIG. It consists of a pair of 1st adjustment apparatus 20 and 2nd adjustment apparatus 30 each installed in the vicinity.

제1 조정장치(20)는 로드락챔버(14)의 모서리에서 변쪽으로 약간 치우쳐서 설치되며 그 구성을 살펴보면 다음과 같습니다.The first adjustment device 20 is installed with a slight bias toward the side from the edge of the load lock chamber 14, the configuration is as follows.

먼저 로드락챔버(14)에는 관통부(18)가 형성되어 있으며, 상기 제1 조정장치(20)는 상기 관통부(18)를 통해 상기 로드락챔버(14)의 내외부에 걸쳐서 설치된다.First, a through part 18 is formed in the load lock chamber 14, and the first adjusting device 20 is installed over the inside and outside of the load lock chamber 14 through the through part 18.

상기 관통부(18)는 로드락챔버(14)의 측벽 외부에 고정되는 챔버결합부재(23)에 의해 밀폐된다.The through part 18 is closed by a chamber coupling member 23 fixed to the outside of the side wall of the load lock chamber 14.

상기 챔버결합부재(23)의 외측에는 실린더지지대(22)가 돌출 설치되며, 구동실린더(21)가 상기 실린더지지대(22)에 의해 지지된다.A cylinder support 22 is protruded to the outside of the chamber coupling member 23, and a driving cylinder 21 is supported by the cylinder support 22.

구동실린더(21)는 로드락챔버(14) 내부의 정렬부재(27)를 회동시키는 역할을 하며, 이를 위해 구동실린더(21)의 구동력을 정렬부재(27)로 전달하는 동력전달수 단이 요구된다.The driving cylinder 21 serves to rotate the alignment member 27 inside the load lock chamber 14, and for this purpose, a power transmission stage for transmitting the driving force of the driving cylinder 21 to the alignment member 27 is required. do.

상기 동력전달수단은 일단이 상기 구동실린더(21)에 연결되고 타단은 챔버결합부재(23)를 관통하여 로드락챔버(14)의 내부로 연장되는 제1연결부재(24)와, 로드락챔버(14)의 내부에서 상기 제1 연결부재(24)를 감싸는 한편 상기 제1 연결부재(24)가 챔버결합부재(23)를 관통한 부분을 밀폐하는 벨로우즈(25)와, 상기 벨로우즈(25)와 정렬부재(27)를 연결하는 제2 연결부재(26)를 포함한다.The power transmission means has a first connection member 24, one end of which is connected to the driving cylinder 21 and the other end of which extends into the load lock chamber 14 through the chamber coupling member 23, and the load lock chamber. A bellows 25 enclosing the first connecting member 24 in the interior of the chamber 14 and sealing a portion where the first connecting member 24 penetrates the chamber coupling member 23, and the bellows 25. And a second connection member 26 for connecting the alignment member 27.

정렬부재(27)는 로드락챔버(14)의 내부에 수직방향으로 설치되는 회전축(28)에 그 일단이 회전가능하게 결합되며, 따라서 구동실린더(21)의 구동력이 제1 연결부재(24), 벨로우즈(25) 및 제2연결부재(26)를 통해 전달되면 정렬부재(27)가 회전축(28)을 중심으로 회전하게 된다.The alignment member 27 is rotatably coupled to one end of the rotation shaft 28 installed in the vertical direction inside the load lock chamber 14, so that the driving force of the driving cylinder 21 is the first connection member 24. When delivered through the bellows 25 and the second connection member 26, the alignment member 27 rotates about the rotation shaft 28.

도 3은 제1 조정장치(20)의 구성을 보다 상세히 도시한 부분 사시도로서, 편의상 로드락챔버(14)의 리드는 제거한 채 도시하였다.3 is a partial perspective view showing the configuration of the first adjusting device 20 in more detail, and the lead of the load lock chamber 14 is shown removed for convenience.

이를 통해 정렬부재(27)가 'ㄱ' 형상의 지지판(270)과 상기 지지판(270)의 각 변 하부에 2개씩 결합된 롤러(272)로 구성됨을 알 수 있다.Through this, it can be seen that the alignment member 27 is composed of a support plate 270 having a 'b' shape and rollers 272 coupled to each of two lower sides of the support plate 270.

각 롤러군(群)은 기판(s)의 제1 변과 상기 제1변과 인접하는 제2 변에 압력을 가하여 기판(s)을 정렬시키는 역할을 한다.Each roller group serves to align the substrate s by applying pressure to a first side of the substrate s and a second side adjacent to the first side.

롤러(272)는 기판(s)이 직접 접촉하는 부분이므로 기판(s)의 손상이나 마모를 방지하기 위하여 탄성재질로 제조된다. Since the roller 272 is a portion in which the substrate s is in direct contact, the roller 272 is made of an elastic material to prevent damage or wear of the substrate s.

상기 정렬부재(27)의 지지판(270)의 일단이 결합하는 회전축(28)의 하단은 로드락챔버(14)의 바닥면에 볼트를 이용하여 고정되며, 상기 회전축(28)의 내부에 베어링(보이지 않음)을 설치하고 상단에 상기 정렬부재(27)를 회전 가능하게 결합한다.The lower end of the rotary shaft 28 to which one end of the support plate 270 of the alignment member 27 is coupled is fixed to the bottom surface of the load lock chamber 14 using a bolt, and a bearing ( Invisible) and rotatably couple the alignment member 27 to the top.

한편, 제2 조정장치(30)는 도 2에 도시된 바와 같이, 챔버결합부재(32)의 외측에 설치되는 구동실린더(31)에 의해 정렬부재(34)가 동작하며, 로드락챔버(14)의 진공시일을 유지하기 위해 챔버 내부로 벨로우즈(33)가 설치되며, 정렬부재(34)가 2방향으로 배열된 롤러를 구비하는 점 등은 제1 조정장치(20)와 동일하다.On the other hand, as shown in Figure 2, the second adjustment device 30, the alignment member 34 is operated by the drive cylinder 31 installed on the outside of the chamber coupling member 32, the load lock chamber 14 The bellows 33 is installed inside the chamber to maintain the vacuum seal of), and the alignment member 34 is provided with rollers arranged in two directions, which is the same as the first adjusting device 20.

그러나 제2 조정장치(30)는 로드락챔버(14)의 모서리에 설치되기 때문에 정렬부재(34)가 챔버 중심방향으로 왕복 직선운동하는 점이 제1 조정장치(20)와 차이가 있다.However, since the second adjusting device 30 is installed at the edge of the load lock chamber 14, the point that the alignment member 34 reciprocates linearly toward the center of the chamber is different from the first adjusting device 20.

이와 같은 로드락챔버(14)에서 기판(s)을 정렬하는 과정을 살펴보면, 먼저 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 조정장치(20)의 정렬부재(27)를 회전축(28)을 중심으로 도면상 시계방향으로 회전시키고, 제2 조정장치(30)의 정렬부재(34)를 챔버 외곽쪽으로 후퇴시킨다.Looking at the process of aligning the substrate (s) in the load lock chamber 14, as shown in Figure 2, first, the alignment member 27 of the first adjusting device 20 with respect to the rotary shaft 28 Rotate clockwise in the figure, and retract the alignment member 34 of the second adjustment device 30 to the outside of the chamber.

이어서 로드락 챔버(14)의 내부로 기판(s)을 반입하여 안치한다. 이때 로드락챔버(14)의 내부에는 리프트 핀 등을 구비하는 기판안치대가 설치되어 있으므로 기판(s)을 상기 기판안치대에 안치하면 된다.Subsequently, the substrate s is loaded into the load lock chamber 14 and placed therein. In this case, since the substrate holder including the lift pin and the like is provided inside the load lock chamber 14, the substrate s may be placed in the substrate holder.

기판(s)이 안치된 이후에는 구동실린더(21,31)를 구동하여 도 4에 도시된 바와 같이 제1 조정장치(20)의 정렬부재(27)를 도면상 반시계방향으로 회전시키고, 동시에 제2 조정장치(30)의 정렬부재(34)는 챔버의 중심쪽으로 이동시킨다. After the substrate s is placed, the driving cylinders 21 and 31 are driven to rotate the alignment member 27 of the first adjusting device 20 counterclockwise in the drawing as shown in FIG. The alignment member 34 of the second adjusting device 30 moves toward the center of the chamber.

이 과정에서 각 정렬부재(27,34)의 롤러 군이 기판(s)의 서로 마주보는 모서리에 밀착하여 압력을 가하게 되어 기판이 정렬된다.In this process, the roller group of each of the alignment members 27 and 34 is pressed against the edges facing each other of the substrate s so as to apply pressure to the substrate.

그러데 이러한 기판 얼라이너를 장기간 사용하면, 각 정렬부재(27, 34)에 부착된 롤러나 기타 부품이 마모되어 이를 교환해야 하는 경우가 필연적으로 발생한다.However, if such a substrate aligner is used for a long time, a roller or other component attached to each of the alignment members 27 and 34 may wear out and need to be replaced.

이때 로드락챔버(14)의 내부로 작업자가 손을 넣어서 부품교환을 할 수 있으면 다행이지만, 통상 로드락챔버(14)의 내부 공간의 높이는 10 내지 15cm 정도에 불과하기 때문에 측벽에 제공되는 뷰포트 또는 기판출입구 등을 통해 작업자가 손을 넣어 작업하는데는 한계가 있다.At this time, it is fortunate if the worker can exchange parts by putting his hand inside the load lock chamber 14, but since the height of the internal space of the load lock chamber 14 is only about 10 to 15 cm, the viewport provided on the side wall or There is a limit to the worker's hand to work through the substrate entrance and the like.

따라서 손상된 부분의 유지보수를 위해서는 해당 부품을 챔버 외부로 끄집어 내거나 로드락챔버(14)의 리드를 분해하여야 한다.Therefore, in order to maintain the damaged part, the component must be taken out of the chamber or the lead of the load lock chamber 14 must be disassembled.

그런데 종래의 얼라이너는 특히 제1 조정장치(20)의 경우 회전축(28)의 하단이 로드락챔버(14)의 바닥면에 볼트 등으로 고정되어 있기 때문에 로드락챔버(14)의 리드를 제거하지 않고 내부의 정렬부재(27)만을 외부로 끄집어 내기가 매우 어렵다. 또한 좁은 공간으로 인해 정렬부재(27)가 내부에 설치된 상태에서는 롤러 등의 부품을 교환하기도 용이하지 않다.However, the conventional aligner does not remove the lead of the load lock chamber 14 because the lower end of the rotating shaft 28 is fixed to the bottom surface of the load lock chamber 14, especially in the case of the first adjusting device 20. It is very difficult to pull out only the inner alignment member 27 to the outside. In addition, due to the narrow space, it is not easy to replace parts such as rollers in a state where the alignment member 27 is installed therein.

특히, 클러스트형 기판처리장치에서는 2개 이상의 로드락챔버(14)를 상하로 적층시키는 경우도 빈번한데, 만일 이때에 하부 로드락챔버(14)에 문제가 발생하면 유지보수를 위해 상부의 로드락챔버를 제거하여야 하는 등 더욱 복잡한 과정을 거쳐야 한다는 문제점도 가진다.In particular, in the cluster type substrate processing apparatus, two or more load lock chambers 14 are stacked up and down frequently. If a problem occurs in the lower load lock chamber 14 at this time, the upper load lock is for maintenance. There is also a problem that a more complicated process, such as the need to remove the chamber.

이러한 문제는 굳이 로드락챔버(14)가 아니더라도 다른 용도의 챔버에서도 발생할 수 있다.This problem may occur even in the chamber for other purposes even if the load lock chamber (14).

본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 챔버 내부에 설치된 기판 얼라이너를 보다 간편하게 유지보수할 수 있도록 개선하는데 목적이 있다.The present invention is to solve such a problem, and an object of the present invention is to improve the maintenance of the substrate aligner installed inside the chamber more easily.

본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하기 위해서, 일정한 공간을 형성하는 챔버의 내부에 안치된 기판을 정렬시키는 기판 얼라이너에 있어서, 상기 챔버의 측벽에 형성되는 관통부를 밀폐하면서 상기 챔버의 외벽에 결합하는 챔버결합부재; 상기 챔버의 내부에 위치하는 수직방향의 회전축; 상기 회전축의 일단을 상기 챔버결합부재에 고정시키는 회전축지지대; 일단이 상기 회전축에 결합되어 회전운동하는 정렬부재; 상기 챔버의 외부에 설치되는 구동실린더; 상기 구동실린더와 상기 정렬부재를 연결하는 동력전달수단을 포함하는 기판 얼라이너를 제공한다.The present invention, in order to achieve the above object, in the substrate aligner for aligning the substrate placed in the interior of the chamber to form a predetermined space, coupled to the outer wall of the chamber while sealing the through-hole formed in the side wall of the chamber Chamber coupling member to; A vertical axis of rotation located inside the chamber; A rotating shaft support for fixing one end of the rotating shaft to the chamber coupling member; An alignment member having one end coupled to the rotation shaft to rotate; A driving cylinder installed outside the chamber; It provides a substrate aligner including a power transmission means for connecting the drive cylinder and the alignment member.

상기 챔버결합부재의 내측면 주변부에는 오링이 삽입되는 오링홈이 형성될 수 있다.An O-ring groove into which an O-ring is inserted may be formed at a periphery of the inner surface of the chamber coupling member.

상기 챔버 측벽에 형성된 관통부의 개구면적은 상기 회전축, 회전축지지대 및 정렬부재가 통과할 수 있는 크기를 가지는 것이 바람직하다.The opening area of the through part formed in the side wall of the chamber preferably has a size through which the rotation shaft, the support shaft and the alignment member can pass.

상기 회전축지지대는 상기 챔버결합부재의 내측에 수평방향으로 결합되는 판상부재로서, 상기 회전축지지대의 상면에 상기 회전축의 타단이 고정될 수 있다.The rotary shaft support is a plate-shaped member coupled in the horizontal direction to the inside of the chamber coupling member, the other end of the rotary shaft may be fixed to the upper surface of the rotary shaft support.

상기 정렬부재는, 일단이 상기 회전축에 회전가능하게 결합하는 지지판; 상기 지지판의 일면에 결합되어 기판의 제1변을 정렬시키며, 하나 이상의 롤러로 이루어지는 제1 롤러군(群); 상기 지지판의 일면에 결합되어 기판의 상기 제1변과 인접하는 제2변을 정렬시키며, 하나 이상의 롤러로 이루어지는 제2 롤러군(群)을 포함할 수 있다.The alignment member may include a support plate having one end rotatably coupled to the rotation shaft; A first roller group coupled to one surface of the support plate to align the first side of the substrate, the first roller group comprising one or more rollers; Coupled to one surface of the support plate to align the second side adjacent to the first side of the substrate, it may include a second roller group (로) consisting of one or more rollers.

이때, 상기 지지판의 일단에는 내주면을 따라 베어링이 설치된 관통부가 형성되고, 상기 회전축의 상단부를 상기 관통부에 삽입된 상태에서 상기 관통부의 내경보다 큰 직경의 고정부재를 상기 회전축의 상단에 결합할 수 있다.At this time, one end of the support plate is formed with a through-bearing portion is formed along the inner circumferential surface, the fixing member having a diameter larger than the inner diameter of the through portion in the state in which the upper end portion of the rotating shaft is inserted into the through portion can be coupled to the upper end of the rotating shaft. have.

상기 동력전달수단은, 일단은 상기 구동실린더에 연결되고 타단은 상기 챔버결합부재를 관통하여 상기 챔버의 내부로 연장되는 제1 연결부재; 상기 챔버의 내부로 연장된 상기 제1 연결부재를 둘러싸며, 일단은 상기 챔버결합부재의 내측에 고정되고, 내측에 상기 제1 연결부재의 타단이 연결되는 벨로우즈; 상기 챔버의 내부에서 상기 벨로우즈와 상기 정렬부재를 연결하는 제2 연결부재를 포함할 수 있다.The power transmission means, one end is connected to the drive cylinder and the other end of the first connecting member extending through the chamber coupling member into the chamber; A bellows surrounding the first connection member extending into the chamber, one end of which is fixed to the inside of the chamber coupling member, and the other end of the first connection member is connected to the inside of the chamber; The interior of the chamber may include a second connection member for connecting the bellows and the alignment member.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, with reference to the drawings will be described a preferred embodiment of the present invention.

본 발명의 실시예에 따른 얼라이너는 전술한 등록특허와 마찬가지로 기판의 서로 마주보는 모서리를 각각 정렬시키는 제1 조정장치와 제2 조정장치를 포함한다.The aligner according to the embodiment of the present invention includes a first adjusting device and a second adjusting device for aligning opposite edges of the substrate, respectively, like the aforementioned patent.

제1 조정장치와 제2 조정장치는 서로 동일한 구조이어도 무방하고, 상기 등록특허와 마찬가지로 서로 다른 구조를 가질 수도 있다. The first adjusting device and the second adjusting device may have the same structure as each other, or may have a different structure like the patent.

다만 본 발명의 실시예는 제1 조정장치와 같이 정렬부재의 일단이 결합되는 회전축이 로드락챔버의 바닥면에 고정됨으로 인해 유지보수가 어렵다는 점에 착안하여 기판 얼라이너 중에서 상기 제1 조정장치의 구조를 개선하기 위해 안출된 것이므로 이하에서는 제1 조정장치에 대하여 설명한다.However, the embodiment of the present invention is focused on the fact that it is difficult to maintain due to the rotational shaft to which one end of the alignment member is coupled to the bottom surface of the load lock chamber, such as the first adjustment device of the first adjustment device of the substrate aligner Since it was devised to improve the structure, the first adjustment device will be described below.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 얼라이너를 구성하는 제1 조정장치(100)를 도시한 사시도이고, 도 6은 상기 제1 조정장치(100)가 로드락챔버(14)에 설치된 모습을 도시한 부분 사시도로서 편의상 로드락챔버(14)의 리드를 제거한 상태에서 도시한 것이다.5 is a perspective view illustrating a first adjusting device 100 constituting an aligner according to an embodiment of the present invention, and FIG. 6 shows a state in which the first adjusting device 100 is installed in the load lock chamber 14. As a partial perspective view, it shows in the state which removed the lead of the load lock chamber 14 for convenience.

제1 조정장치(100)의 구성을 살펴보면, 로드락챔버(14)의 측벽에 형성된 관통부를 밀폐하면서 상기 로드락챔버(14)의 측벽에 고정되는 챔버결합부재(110)와, 상기 챔버결합부재(110)의 외측으로 연장되어 설치되는 실린더지지대(160)와, 상기 실린더지지대(160)에 의해 지지되는 구동실린더(170)를 포함한다.Looking at the configuration of the first adjustment device 100, the chamber coupling member 110 is fixed to the side wall of the load lock chamber 14, while sealing the through portion formed in the side wall of the load lock chamber 14, and the chamber coupling member It includes a cylinder support 160 that extends to the outside of the 110 and the drive cylinder 170 supported by the cylinder support 160.

챔버결합부재(110)와 로드락챔버(14)의 사이에는 진공시일을 위해 오링(O-ring)이 설치되는 것이 바람직하다.An O-ring is preferably installed between the chamber coupling member 110 and the load lock chamber 14 for the vacuum seal.

이때 챔버결합부재(110)의 내측에는 오링을 결합하기 위한 오링홈(112)을 주변부를 따라 형성하고, 챔버결합부재(110)를 로드락챔버(14)의 외벽에 결합할 때는 진공시일을 위해 상기 오링홈(112)에 오링을 개재시키는 것이 바람직하다. 경우에 따라서는 오링홈(112)을 생략할 수도 있다.At this time, the inside of the chamber coupling member 110 is formed along the periphery of the O-ring groove 112 for coupling the O-ring, when the chamber coupling member 110 is coupled to the outer wall of the load lock chamber 14 for the vacuum seal It is preferable to interpose an O-ring in the O-ring groove 112. In some cases, the o-ring groove 112 may be omitted.

구동실린더(170)에는 동력전달을 위한 제1 연결부재(보이지 않음)의 일단이 연결되며, 상기 제1 연결부재의 타단은 챔버결합부재(110)를 관통하여 로드락챔버(14)의 내부에 위치한다.One end of a first connection member (not shown) for power transmission is connected to the driving cylinder 170, and the other end of the first connection member penetrates through the chamber coupling member 110 to the inside of the load lock chamber 14. Located.

챔버결합부재(110)의 내측에는 로드락챔버(14)의 진공시일을 유지시키면서도 구동실린더(170)의 구동력을 전달할 수 있는 벨로우즈(120)가 설치되며, 벨로우즈(120)는 상기 제1 연결부재를 둘러싼 채 일단이 챔버결합부재(110)의 내측에 고정되고, 내부에서 상기 제1 연결부재의 타단과 연결된다.A bellows 120 is provided inside the chamber coupling member 110 to transmit the driving force of the driving cylinder 170 while maintaining the vacuum seal of the load lock chamber 14, and the bellows 120 is the first connection member. One end is fixed to the inside of the chamber coupling member 110 and surrounds the other end of the first connection member.

본 발명의 실시예에서는 상기 챔버결합부재(110)의 내측으로 회전축지지대(130)가 연장되어 설치되는 점에 특징이 있다. 따라서 상기 회전축지지대(130)는 벨로우즈(120)와 같은 방향으로 설치되며, 벨로우즈(120)의 하부 또는 상부에 위치할 수 있다.In the embodiment of the present invention is characterized in that the rotary shaft support 130 is extended to the inside of the chamber coupling member 110 is installed. Therefore, the rotary shaft support 130 is installed in the same direction as the bellows 120, it may be located at the bottom or top of the bellows (120).

벨로우즈(120)의 하부에 회전축지지대(130)가 설치되면, 회전축(140)은 도시 된 바와 같이 회전축지지대(130)의 상면에 수직방향으로 설치되며, 상기 회전축(140)의 상단에 정렬부재(150)의 일단이 연결된다. When the rotary shaft support 130 is installed at the lower portion of the bellows 120, the rotary shaft 140 is installed in the vertical direction on the upper surface of the rotary shaft support 130 as shown, and the alignment member (top) of the rotary shaft 140 One end of 150 is connected.

정렬부재(150)는 일단이 회전축에 연결되는 지지판(151)과 상기 지지판(151)의 하부에 부착되는 다수의 롤러(152)로 이루어지며, 상기 롤러(152)는 기판의 2개 변을 지지할 수 있도록 서로 직교하는 2방향으로 배치된다. 즉, 상기 롤러(152)는 기판의 제1 변을 지지하는 제1 롤러군(群)과 기판의 상기 제1 변과 인접하는 제2 변을 지지하는 제2 롤러군(群)로 이루어지며, 각 롤러군(群)의 롤러 개수는 2개로 한정되는 것은 아니므로 각각 하나 이상이면 무방하다.Alignment member 150 is composed of a support plate 151, one end of which is connected to the rotating shaft and a plurality of rollers 152 attached to the lower portion of the support plate 151, the roller 152 supports two sides of the substrate It is arranged in two directions perpendicular to each other so as to be able to do so. That is, the roller 152 is composed of a first roller group for supporting a first side of the substrate and a second roller group for supporting a second side adjacent to the first side of the substrate, The number of rollers in each roller group is not limited to two, so that at least one roller may be used.

정렬부재(150)의 지지판(151)의 일단은 회전축(140)에 대하여 회전운동이 가능하게 결합되어야 한다. 이를 위해 본 발명의 실시예에서는 도 7에 도시된 바와 같이 지지판(151)의 일단에 관통부를 형성하고, 상기 관통부의 내주면에 링 형태의 베어링(154)를 설치하고, 상기 베어링(154)에 회전축(140)의 상단을 관통시킨 후에 최대직경이 상기 베어링(154)의 내경보다 큰 고정부재(142)를 회전축(140)의 상단에 결합시킨다.One end of the support plate 151 of the alignment member 150 should be coupled to enable the rotational movement with respect to the rotary shaft 140. To this end, in the embodiment of the present invention, as shown in FIG. 7, a through part is formed at one end of the support plate 151, a ring-shaped bearing 154 is installed on the inner circumferential surface of the through part, and a rotating shaft is installed on the bearing 154. After penetrating the upper end of the 140, the fixing member 142 having a maximum diameter larger than the inner diameter of the bearing 154 is coupled to the upper end of the rotating shaft 140.

정렬부재(150)의 회전운동을 위해서는 구동실린더(170)에 의해 신축하는 벨로우즈(120)의 단부를 제2 연결부재(180)를 이용하여 지지판(151)에 연결한다. In order to rotate the alignment member 150, an end portion of the bellows 120 that is stretched and contracted by the driving cylinder 170 is connected to the support plate 151 using the second connection member 180.

만일 벨로우즈(120)의 상부에 회전축지지대(130)가 설치되면, 회전축(140)은 회전축지지대(130)의 하면에 수직방향으로 설치된다.If the rotary shaft support 130 is installed on the upper portion of the bellows 120, the rotary shaft 140 is installed in the vertical direction on the lower surface of the rotary shaft support 130.

이와 같이 정렬부재(150)를작동시키는 벨로우즈(120) 및 회전축지지대(130)가 챔버결합부재(110)의 내측에 일체로 결합되어 있기 때문에 로드락챔버(14)의 외부에서 챔버결합부재(110)를 분해하면 상기 챔버결합부재(110)와 일체로 결합되어 있는 벨로우즈(120), 회전축지지대(130) 및 정렬부재(150)를 로드락챔버(14)의 외부로 빼낼 수 있으며, 따라서 종래에 비하여 부품교체 등의 유지보수가 매우 간편해진다.Since the bellows 120 and the rotary shaft support 130 operating the alignment member 150 are integrally coupled to the inside of the chamber coupling member 110, the chamber coupling member 110 is located outside the load lock chamber 14. ), The bellows 120, the rotary shaft support 130, and the alignment member 150, which are integrally coupled with the chamber coupling member 110, can be pulled out of the load lock chamber 14. Compared with this, maintenance of parts replacement is very easy.

물론 이를 위해서는 로드락챔버(14)의 측벽에 형성되는 관통부의 개구면적이 상기 벨로우즈(120), 회전축지지대(130) 및 정렬부재(150)가 통과할 수 있을 정도로 충분히 커야 한다.Of course, the opening area of the through part formed on the sidewall of the load lock chamber 14 should be large enough to allow the bellows 120, the rotation shaft support 130, and the alignment member 150 to pass therethrough.

한편 이상에서는 로드락챔버에 설치되는 얼라이너를 설명하였으나, 이러한 종류의 얼라이너가 공정챔버 등과 같은 다른 용도의 챔버에도 설치될 수 있으므로 그 용도가 굳이 로드락챔버로 제한되지 않음은 분명하다.Meanwhile, the aligner installed in the load lock chamber has been described above. However, since the aligner of this kind may be installed in a chamber of another use such as a process chamber, it is obvious that the use is not limited to the load lock chamber.

본 발명에 따르면, 기판 얼라이너를 유지보수할 때 챔버의 리드를 제거하지 않고 챔버의 외측벽에 고정된 챔버결합부재를 분해하면 챔버 내부의 정렬부재 등까지 모두 외부로 빼낼 수 있기 때문에 작업이 간편할 뿐만 아니라 유지보수시간을 크게 단축시킬 수 있다.According to the present invention, when the substrate aligner is maintained, if the chamber coupling member fixed to the outer wall of the chamber is disassembled without removing the lid of the chamber, all the alignment members and the like inside the chamber can be taken out to the outside. In addition, maintenance time can be significantly shortened.

Claims (7)

일정한 공간을 형성하는 챔버의 내부에 안치된 기판을 정렬시키는 기판 얼라이너에 있어서,A substrate aligner for aligning a substrate placed inside a chamber forming a constant space, 상기 챔버의 측벽에 형성되는 관통부를 밀폐하면서 상기 챔버의 외벽에 결합하는 챔버결합부재;A chamber coupling member coupled to an outer wall of the chamber while sealing a through portion formed on the sidewall of the chamber; 상기 챔버의 내부에 위치하는 수직방향의 회전축;A vertical axis of rotation located inside the chamber; 상기 회전축의 일단을 상기 챔버결합부재에 고정시키는 회전축지지대;A rotating shaft support for fixing one end of the rotating shaft to the chamber coupling member; 일단이 상기 회전축에 결합되어 회전운동하는 정렬부재;An alignment member having one end coupled to the rotation shaft to rotate; 상기 챔버의 외부에 설치되는 구동실린더;A driving cylinder installed outside the chamber; 상기 구동실린더와 상기 정렬부재를 연결하는 동력전달수단;Power transmission means for connecting the drive cylinder and the alignment member; 을 포함하는 기판 얼라이너Substrate aligner comprising 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 챔버결합부재의 내측면 주변부에는 오링이 삽입되는 오링홈이 형성되어 있는 기판 얼라이너A substrate aligner having an O-ring groove into which an O-ring is inserted at a periphery of the inner surface of the chamber coupling member 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 챔버 측벽에 형성된 관통부의 개구면적은 상기 회전축, 회전축지지대 및 정렬부재가 통과할 수 있는 크기를 가지는 기판 얼라이너The opening area of the through part formed in the side wall of the chamber is a substrate aligner having a size through which the rotating shaft, the rotating shaft support, and the alignment member can pass. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 회전축지지대는 상기 챔버결합부재의 내측에 수평방향으로 결합되는 판상부재로서, 상기 회전축지지대의 상면에 상기 회전축의 하단이 고정되는 기판 얼라이너The rotary shaft support is a plate-like member coupled to the inner side of the chamber coupling member in the horizontal direction, the lower end of the rotary shaft is fixed to the upper surface of the rotary shaft support aligner 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 정렬부재는, The alignment member, 일단이 상기 회전축에 회전가능하게 결합하는 지지판;A support plate having one end rotatably coupled to the rotation shaft; 상기 지지판의 일면에 결합되어 기판의 제1변을 정렬시키며, 하나 이상의 롤러로 이루어지는 제1 롤러군(群); A first roller group coupled to one surface of the support plate to align the first side of the substrate, the first roller group comprising one or more rollers; 상기 지지판의 일면에 결합되어 기판의 상기 제1변과 인접하는 제2변을 정렬시키며, 하나 이상의 롤러로 이루어지는 제2 롤러군(群);A second roller group coupled to one surface of the support plate to align a second side adjacent to the first side of the substrate, the second roller group comprising one or more rollers; 을 포함하는 기판 얼라이너Substrate aligner comprising 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 지지판의 일단에는 내주면을 따라 베어링이 설치된 관통부가 형성되고, 상기 회전축의 상단부를 상기 관통부에 삽입된 상태에서 상기 관통부의 내경보다 큰 직경의 고정부재를 상기 회전축의 상단에 결합하는 기판 얼라이너 One end of the support plate is formed with a through-bearing portion is formed along the inner circumferential surface, the substrate aligner for coupling a fixing member having a diameter larger than the inner diameter of the through portion in the state in which the upper end of the rotating shaft is inserted into the through portion 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 동력전달수단은,The power transmission means, 일단은 상기 구동실린더에 연결되고 타단은 상기 챔버결합부재를 관통하여 상기 챔버의 내부로 연장되는 제1 연결부재;A first connection member connected to the driving cylinder at one end thereof and extending into the chamber through the chamber coupling member; 상기 챔버의 내부로 연장된 상기 제1 연결부재를 둘러싸며, 일단은 상기 챔버결합부재의 내측에 고정되고, 내측에 상기 제1 연결부재의 타단이 연결되는 벨로우즈;A bellows surrounding the first connection member extending into the chamber, one end of which is fixed to the inside of the chamber coupling member, and the other end of the first connection member is connected to the inside of the chamber; 상기 챔버의 내부에서 상기 벨로우즈와 상기 정렬부재를 연결하는 제2 연결부재;A second connection member connecting the bellows and the alignment member in the chamber; 를 포함하는 기판 얼라이너Substrate aligner comprising
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