KR20080014250A - The de-center adjustment device and method for lens assembly - Google Patents

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Abstract

A de-center adjustment device for a lens assembly and a method thereof are provided to prevent a slant of a lens due to a gap from a lens barrel by not using the interval ring. A de-center adjustment device(1) for a lens assembly includes a table(100), a center adjustor(200), upper and lower auto-collimators(300,301), and upper and lower image display devices(302,306). The table has a through hole(101) on a central part for light to pass through. The center adjustor is adhered onto an upper surface of the table rotatably and has a through hole for the light to pass through on a central part. A lens barrel is fixed to the center adjustor. The upper and lower auto-collimators are adhered on the same axial line to move to upper and lower parts of the table so as to irradiate light on both sides of a lens assembled in the lens barrel. The upper and lower image display devices are installed on one side of the upper and lower auto-collimators.

Description

렌즈 조립 편심조정장치 및 방법{THE DE-CENTER ADJUSTMENT DEVICE AND METHOD FOR LENS ASSEMBLY}Lens assembly eccentric adjustment device and method {THE DE-CENTER ADJUSTMENT DEVICE AND METHOD FOR LENS ASSEMBLY}

도 1 은 본 발명에 사용되는 편심 조정장치의 평면 구성도이다.1 is a plan configuration diagram of an eccentric adjustment device used in the present invention.

도 2 은 본 발명의 제 1 실시예에서 제 1 렌즈 상면의 광축이 화상표시장치로 표시되는 것을 도시한 도이다.FIG. 2 is a diagram showing that the optical axis of the first lens image surface is displayed by the image display apparatus in the first embodiment of the present invention.

도 3 은 본 발명의 제 1 실시예에서 제 1 렌즈의 편심조정을 도시하는 도면이다.Fig. 3 is a diagram showing eccentricity adjustment of the first lens in the first embodiment of the present invention.

도 4 는 본 발명의 제 1 실시예에서 제 1 렌즈의 편심조정을 도시하는 도면이다.Fig. 4 is a diagram showing eccentricity adjustment of the first lens in the first embodiment of the present invention.

도 5 는 본 발명의 제 2 실시예로서, 상부 오토콜리메이터의 반사상을 이용하여 렌즈를 조립하는 도이다.5 is a view of assembling a lens using a reflection image of an upper auto collimator as a second embodiment of the present invention.

도 6 은 본 발명의 제 3 실시예로서, 투과상을 이용하여 렌즈를 조립하는 도이다.6 is a view of assembling a lens using a transmission image as a third embodiment of the present invention.

도 7 은 본 발명의 제 4 실시예로서, 렌즈를 렌즈링에 접합하여 조립하는 도이다. 7 is a view of assembling and assembling a lens to a lens ring as a fourth embodiment of the present invention.

도 8 은 종래 장치의 평면 구성도이다.8 is a plan view of a conventional apparatus.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

1 : 렌즈 조립 편심조정장치 100 : 테이블1: lens assembly eccentric adjustment device 100: table

200 : 중심조정기 300 : 상부 오토콜리메이터200: center controller 300: upper auto collimator

301 : 하부 오토콜리메이터 302 : 상부 CCD301: lower auto collimator 302: upper CCD

306 : 하부 CCD 400 : 렌즈경통306: lower CCD 400: lens barrel

401 : 제 1 렌즈 402 : 제 2 렌즈401: first lens 402: second lens

본 발명은 렌즈경통에 렌즈를 조립하는 것에 관한 것으로, 특히 렌즈경통의 기구적 중심축과 렌즈의 광축을 일치시키는 편심조정 (축맞춤) 을 정밀하게 행할 수 있어, 광학계의 해상력을 증대시킬 수 있는 렌즈 조립 편심 조정장치 및 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to assembling a lens to a lens barrel. In particular, an eccentricity adjustment (axis alignment) for matching the mechanical center axis of the lens barrel and the optical axis of the lens can be precisely performed, and the resolution of the optical system can be increased. It relates to a lens assembly eccentric adjustment device and method.

통상의 광학계는 렌즈경통에 렌즈를 삽입할 때 제작 공차내에서 렌즈를 삽입하게 된다. 이러한 방법은 현재까지 거의 모든 보편적인 광학계에 사용되어 왔다. 그러나, 광학계의 성능이 중요한 경우에는 통상의 조립방법으로는 충분한 성능을 내지 못한다.Conventional optical systems insert lenses within the manufacturing tolerances when inserting them into the lens barrel. This method has been used in almost all universal optics to date. However, when the performance of the optical system is important, the conventional assembly method does not provide sufficient performance.

종래의 렌즈 조립을 위한 편심 조정장치 (500) 로서, 도 9 에 도시된 바와 같이 테이블 (502) 의 상면에 중심조정기 (503) 가 설치되고, 그 상측에 오토콜리메이터 (501) 를 구비하고 있어, 렌즈경통 (600) 의 중심축 (기구적 중심축) 과 렌즈 (601) 의 광축을 일치시켜 렌즈경통 (600) 에 렌즈 (601) 의 조립시 편심을 조 정하는 장치가 알려져 있다.As the conventional eccentric adjusting device 500 for assembling the lens, as shown in FIG. 9, a center adjuster 503 is provided on the upper surface of the table 502, and an auto collimator 501 is provided on the upper side thereof. An apparatus for adjusting the eccentricity in assembling the lens 601 in the lens barrel 600 by matching the central axis (mechanical central axis) of the lens barrel 600 with the optical axis of the lens 601 is known.

중심조정기 (503) 는 에어베어링 (504: 회전수단) 위에 x축, y축 이동스테이지 (505) 와 틸트 (tilt) -x, 틸트-y 스테이지 (506), 평행원반 (507) 이 차례로 중첩되어 구성되어 있다.The center adjuster 503 has an x-axis and a y-axis moving stage 505, a tilt-x, a tilt-y stage 506, and a parallel disk 507 sequentially stacked on the air bearing 504. Consists of.

오토콜리메이터 (501) 는 공지의 장치로서 내부는 광학부이고, 외부의 일측에는 CCD (570) 가 부착되어 있으며, 다른 일측은 테이블에 고정된 지주부 (580) 에 부착되어 상하로 이동가능하게 구성되어 있다.Auto collimator 501 is a known device, the inside is an optical portion, the outside of the CCD 570 is attached, the other side is attached to the holding portion 580 fixed to the table is configured to be moved up and down It is.

CCD (570) 는, 오토콜리메이터 (501) 의 광학부로부터의 결상부를 PC (571) 를 경유하여 모니터 (572) 의 화상으로 관측할 수 있도록 하는 것이다. The CCD 570 allows the imaging portion from the optical portion of the auto collimator 501 to be observed in the image of the monitor 572 via the PC 571.

중심조정기 (503) 의 평형원반 (507) 의 대략 중앙부에 렌즈경통 (600) 을 올려놓고, 오토콜리메이터 (501) 로부터 출사된 광을 이용하여 렌즈경통 (600) 의 중심축을 맞춘다.The lens barrel 600 is placed in the substantially center portion of the balance disk 507 of the center adjuster 503, and the center axis of the lens barrel 600 is aligned using the light emitted from the auto collimator 501.

상기와 같이 렌즈경통 (600) 의 중심축 맞춤을 완료한 후 렌즈를 렌즈경통에 조립하여 셋팅하는 작업을 실행한다.After completing the alignment of the central axis of the lens barrel 600 as described above, the assembly of the lens to the lens barrel and the setting is performed.

먼저, 렌즈경통 (600) 내의 저면에 제 1 렌즈 (601) 를 삽입하고, 오토콜리메이터 (501) 로부터 광을 출사시켜 제 1 렌즈 (601) 의 상측 표면에 조사한 후, 상기 제 1 렌즈 (601) 의 표면에서 반사된 광을 모니터링하면서 렌즈경통 (600) 의 둘레면에 형성된 제 1 조정홀 (603) 에 핀을 삽입하여 제 1 렌즈 (601) 를 미세조정함으로써, 렌즈경통 (600) 의 중심축과 제 1 렌즈 (601) 의 광축을 일치시킨다.First, the first lens 601 is inserted into the bottom surface of the lens barrel 600, the light is emitted from the auto collimator 501, and irradiated onto the image surface of the first lens 601. The central axis of the lens barrel 600 is finely adjusted by inserting a pin into the first adjustment hole 603 formed in the circumferential surface of the lens barrel 600 while monitoring the light reflected from the surface of the lens barrel 600. And the optical axis of the first lens 601 coincide.

그런 다음, 제 1 렌즈 (601) 의 상측 가장자리에 원통형의 간격링을 삽입하 고, 그 위에 제 2 렌즈 (602) 를 삽입하여 제 1 렌즈 (601) 의 편심조정방법과 동일하게 제 2 렌즈 (602) 의 상측 표면으로부터의 반사광을 모니터링하면서 편심조정을 실시한다.Then, a cylindrical spacing ring is inserted into the upper edge of the first lens 601, and the second lens 602 is inserted thereon, so that the second lens ( Eccentric adjustment is performed while monitoring the reflected light from the upper surface of 602.

그러나, 이러한 종래의 렌즈 조립 편심 조정장치 및 방법에 있어서는, 렌즈경통에 조립되는 제 1 렌즈 및 제 2 렌즈의 일측면 즉, 각 렌즈의 상면만을 관측하여 렌즈경통의 중심축에 대한 광축 맞춤을 실행하기 때문에 편심조정이 정밀하게 이루어지지 않는다. 이 때문에, 초정밀도가 요구되는 광학계에 있어서, 편심이 존재한채로의 광학계를 사용하게 되므로, 광학계의 해상력이 저하되고, 이 광학계를 사용하는 경우 정밀한 측정이 불가능하게 되는 문제가 빈번하게 발생하였다.However, in such a conventional lens assembly eccentric adjustment device and method, the optical axis alignment with respect to the central axis of the lens barrel is performed by observing only one side surface of the first lens and the second lens, that is, the upper surface of each lens, assembled in the lens barrel. As a result, the eccentricity adjustment is not precise. For this reason, in an optical system requiring ultra-precision, an optical system with an eccentricity is used, so that the resolution of the optical system is lowered, and when this optical system is used, a problem that precise measurement is impossible frequently occurs.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위해 정밀한 편심조정이 가능하여 고정밀도로 광학계를 조립할 수 있음과 함께, 광학계의 해상력을 증대시킬 수 있는 렌즈 조립 편심 조정장치 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a lens assembly eccentric adjustment apparatus and method capable of precise eccentric adjustment to assemble the optical system with high precision and to increase the resolution of the optical system.

본 발명은 전술한 과제를 해결하기 위해, 렌즈경통에 렌즈를 조립하는 경우에 편심을 조정하기 위한 렌즈 조립 편심 조정장치에 있어서, 광이 통과할 수 있도록 중심부에 관통홀이 형성되어 있는 테이블과, 상기 테이블의 상면에 탑재되어 광이 통과할 수 있도록 중심부에 관통홀이 형성되고, 렌즈경통의 중심축을 맞추는 중심조정기와, 상기 렌즈경통에 조립되는 렌즈의 양면을 조사할 수 있도록 상기 테이블의 상하에 동일 축선상으로 부착되어 있는 오토콜리메이터와, 상기 오토콜리메이 터의 일측에 설치되는 화상표시장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a lens assembly eccentricity adjusting device for adjusting eccentricity when assembling a lens to a lens barrel, comprising: a table having a through-hole formed at a center thereof so that light can pass therethrough; A through hole is formed in the center of the table to allow light to pass therethrough, and a center adjuster for aligning the central axis of the lens barrel, and upper and lower sides of the table to irradiate both surfaces of the lens assembled to the lens barrel. It characterized in that it comprises an auto collimator attached on the same axis and an image display device provided on one side of the auto collimator.

또한, 본 발명은 상기 오토콜리메이터와 상기 렌즈경통의 렌즈 사이에는 광을 집속하기 위한 집속대물렌즈가 추가로 설치되어 있는 것을 포함하는 구성을 특징으로 한다.In addition, the present invention is characterized in that the focusing object lens for focusing light is further provided between the auto collimator and the lens of the lens barrel.

한편, 본 발명은 상기 중심조정기가, 회전가능한 회전부와, x축, y축으로 이동가능한 x축, y축 이동스테이지와, 경사 조정가능한 틸트-x, 틸트-y 스테이지와, 렌즈경통을 고정하는 평행원반을 포함하는 것을 특징으로 한다.On the other hand, the present invention is the center adjuster, the rotatable rotating portion, the x-axis, the y-axis movable stage movable in the x-axis, the y-axis moving stage, the tilt-adjustable tilt-x, tilt-y stage, and the lens barrel is fixed It characterized in that it comprises a parallel disk.

이하 본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 설명하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(제 1 실시예) (First embodiment)

본 발명의 제 1 실시예가 도 1 내지 도 4 에 도시되어 있다. 도 1 은 본 발명에 사용되는 편심 조정장치의 평면 구성도, 도 2 는 본 발명의 제 1 실시예에서 제 1 렌즈 상면의 광축이 화상표시장치로 표시되는 것을 도시한 도, 도 3 은 본 발명의 제 1 실시예로서, 제 1 렌즈를 조립하는 도, 도 4 는 본 발명의 제 1 실시예로서, 제 2 렌즈를 조립하는 도이다.A first embodiment of the invention is shown in Figures 1-4. 1 is a planar configuration diagram of an eccentric adjustment device used in the present invention, FIG. 2 is a view showing an optical axis of an image surface of a first lens in the first embodiment of the present invention, and FIG. As a first embodiment of FIG. 4, the first lens is assembled. FIG. 4 is a first embodiment of the present invention.

도 1 에 있어서, 렌즈 조립 편심 조정장치 (1) 는 테이블 (100), 중심조정기 (200), 상부 오토콜리메이터 (300), 하부 오토콜리메이터 (301) 로 이루어져 있다.In FIG. 1, the lens assembly eccentricity adjusting apparatus 1 consists of the table 100, the center adjuster 200, the upper auto collimator 300, and the lower auto collimator 301. As shown in FIG.

테이블 (100) 은, 상면과 하면에 설치된 상부·하부 오토콜리메이터 (300, 301) 의 광이 관통 가능하게 테이블 (100) 의 중앙에 관통홀 (101) 이 형성되어 있다. The through hole 101 is formed in the center of the table 100 so that the light of the upper and lower auto collimators 300 and 301 provided in the upper surface and the lower surface can penetrate.

중심조정기 (200) 는, 테이블 (100) 의 상면의 대략 중앙부에 탑재되며 에어 베어링 (201) 위에 x축, y축 이동스테이지 (202) 와 틸트-x, 틸트-y 스테이지 (203) 및 평행원반 (204: 지지부) 이 차례로 중첩되어 구성되어 있다. The center adjuster 200 is mounted at an approximately center portion of the upper surface of the table 100, and the x-axis, y-axis moving stage 202 and the tilt-x, tilt-y stage 203 and parallel disks are mounted on the air bearing 201. (204: support part) are overlapped one by one and are comprised.

에어베어링 (201) 은 중심조정기 (200) 의 최하측에 위치하며 중앙에 관통홀 (201a) 이 형성되어 있다. 에어베어링 (201) 은 테이블 (100) 로부터의 진동 및 중심조정기 (200) 자체의 회전시의 진동을 방지하기 위한 것으로 외부로부터 에어를 주입하여 회전가능하게 구성된 것이다.The air bearing 201 is located at the lowermost side of the center adjuster 200 and has a through hole 201a formed at the center thereof. The air bearing 201 is configured to prevent vibration from the table 100 and vibration during rotation of the center adjuster 200 itself, and is configured to be rotatable by injecting air from the outside.

x축, y축 이동스테이지 (202) 는 에어베어링 (201) 의 바로 상측에 설치되며, 중앙에는 관통홀 (202a) 이 형성되고 측면에는 조정부 (205) 를 통해 중심조정기 (200) 를 x축과 y축으로 이동시킬 수 있도록 구성된 것이다.The x-axis, y-axis moving stage 202 is installed directly above the air bearing 201, the through hole 202a is formed in the center and the center adjuster 200 and the x-axis through the adjustment unit 205 in the side It is configured to move on the y axis.

틸트-x, 틸트-y 스테이지 (203) 는 상기 x축, y축 이동스테이지 (202) 의 상측에 위치하며, 중앙에는 관통홀 (203a) 이 형성되고 측면에는 조정부 (205) 를 통해 중심조정기 (200) 의 틸팅각도를 조정할 수 있도록 구성된 것이다.Tilt-x, tilt-y stage 203 is located above the x-axis, y-axis moving stage 202, the through-hole 203a is formed in the center and the center adjuster (205) through the adjustment unit 205 on the side 200) to adjust the tilting angle.

평행원반 (204) 은 틸트-x, 틸트-y 스테이지 (203) 의 상부에 위치하며 중앙에 역시 관통홀 (204a) 이 형성되어 있으며, 그의 상면에 렌즈경통이 고정된다.The parallel disk 204 is located above the tilt-x and tilt-y stages 203 and has a through hole 204a formed in the center thereof, and a lens barrel is fixed to an upper surface thereof.

다음으로, 상부 오토콜리메이터 (300) 가 중심조정기 (200) 의 상측에 위치하고, 상부 오토콜리메이터 (300) 와 동일한 종축상인 테이블 (100) 의 하측에 하부 오토콜리메이터 (301) 는 상부 오토콜리메이터 (300) 와 상하 대칭으로 설치된다.Next, the upper auto collimator 300 is located above the center adjuster 200, and the lower auto collimator 301 is located below the table 100 which is on the same longitudinal axis as the upper auto collimator 300. It is installed symmetrically up and down.

상부 오토콜리메이터 (300) 및 하부 오토콜리메이터 (301) 는 동일하게 구성되며 내부에 광학부 (350) 가 형성되어 있다. 광학부 (350) 는 하우징 (351) 내에서 광을 발생시키는 광원 (352) 과, 광원 (352) 에서 조사된 광이 통과되는 십자무늬표판 (354) 과, 십자무늬표판 (354) 을 통과한 광원 (352) 의 발산광을 평행광으로 집속하는 대물렌즈 (355) 와, 십자무늬표판 (354) 과 대물렌즈 (355) 사이에 설치되며 대물렌즈 (355) 를 통해 출사된 후 외부에서 재입사된 광을 횡방향으로 반사하여 상부 및 하부 CCD (302, 306) 로 출사하는 광분할기 (357) 를 구비한다.The upper auto collimator 300 and the lower auto collimator 301 are configured in the same manner, and the optical unit 350 is formed therein. The optical unit 350 has passed through the light source 352 for generating light in the housing 351, the cross pattern plate 354 through which the light irradiated from the light source 352 passes, and the cross pattern plate 354. It is installed between the objective lens 355 for focusing the divergent light of the light source 352 into parallel light, the cross pattern plate 354 and the objective lens 355, and is emitted through the objective lens 355 and re-entered from the outside. And a light splitter 357 which reflects the reflected light laterally and exits the upper and lower CCDs 302 and 306.

또한, 상부·하부 오토콜리메이터 (300, 301) 의 일측에는 상부 및 하부 CCD (302, 306), 상부 및 하부 PC (304, 308) 및 상부 및 하부모니터 (305, 309) 로 각각 이루어지는 화상표시장치가 부착되어 있으며, 테이블 (100) 에 고정된 지주부 (303) 에 연결부 (303a) 에 의해 상하이동가능하게 부착된다.In addition, an image display device including upper and lower CCDs 302 and 306, upper and lower PCs 304 and 308, and upper and lower monitors 305 and 309 on one side of the upper and lower auto collimators 300 and 301, respectively. Is attached to the support portion 303 fixed to the table 100 by a connecting portion 303a.

상부 CCD (302) 는, 상부 오토콜리메이터 (300) 의 광학부 (350) 로부터의 결상을 PC (304) 를 통해 상부 모니터 (305) 의 화상으로 관측할 수 있도록 되어 있으며, 하부 CCD (306) 의 경우에도 동일한 방식으로 하부 모니터 (309) 에 화상으로 표시된다.The upper CCD 302 can observe the image from the optical unit 350 of the upper auto collimator 300 as an image of the upper monitor 305 through the PC 304, Even in the same manner, the lower monitor 309 is displayed as an image.

다음으로, 도 2 내지 도 4 를 참조하여 렌즈 조립시 편심 조정방법에 대하여 설명한다.Next, an eccentric adjustment method for lens assembly will be described with reference to FIGS. 2 to 4.

본 발명의 렌즈 조립시 광축 편심을 조정하기 위해서는 먼저, 렌즈경통 (400) 의 제로셋팅을 실시한 후, 제로셋팅된 렌즈경통 (400) 내에 렌즈 (401, 402) 를 조립하면서 편심을 조절하여 실시한다.In order to adjust the optical axis eccentricity when assembling the lens of the present invention, first, the zero setting of the lens barrel 400 is performed, and then the eccentricity is adjusted while assembling the lenses 401 and 402 in the zero-set lens barrel 400. .

먼저, 중심조정기 (100) 의 평행원반 (204) 의 대략 중앙부에 형성된 관통홀 (101) 의 위에 상기 관통홀 (101) 보다 대직경인 렌즈경통 (400) 을 장착한 상태에서 에어베어링 (201) 을 회전시킨다. 그런 다음, 렌즈경통 (400) 의 내경을 측정하도록 고정지지된 다이알게이지 (207) 의 눈금이 변하지 않도록 x축, y축 이동스테이지 (202) 를 조정하여, 렌즈경통 (400) 내경의 회전중심과 에어베어링 (201) 의 회전중심을 일치시킨다.First, the air bearing 201 is mounted in a state where the lens barrel 400 having a larger diameter than that of the through hole 101 is mounted on the through hole 101 formed in the substantially center portion of the parallel disk 204 of the center adjuster 100. Rotate Then, the x-axis and y-axis moving stages 202 are adjusted so that the scale of the dial gauge 207 fixed and fixed to measure the inner diameter of the lens barrel 400 is adjusted so that the center of rotation of the inner diameter of the lens barrel 400 is adjusted. Match the center of rotation of the air bearing 201.

다음으로 렌즈경통 (400) 의 내저면에 최초의 렌즈가 장착되는 기준단에 제로셋팅용 평행평판 (359) 을 두고 회전시키면서 평행평판 (359) 의 표면으로부터 반사되어 상부 및 하부 오토콜리메이터 (300, 301) 에 반사된 상이 변하지 않도록 모니터링하면서 틸트-x, 틸트-y 스테이지 (203) 로 틸팅각도를 조정한다.Next, the upper and lower auto collimators 300, which are reflected from the surface of the parallel plate 359 while rotating with the zero-setting parallel plate 359 at the reference end on which the first lens is mounted on the inner bottom of the lens barrel 400, are rotated. The tilt angle is adjusted with the tilt-x, tilt-y stage 203 while monitoring that the image reflected on 301 does not change.

이러한 방식에 의해 x축, y축 및 틸트-x, 틸트-y 가 조정되어 렌즈경통 (400) 의 중심축 맞춤이 이루어진다.In this manner, the x-axis, the y-axis and the tilt-x and the tilt-y are adjusted to achieve the central axis of the lens barrel 400.

다음으로, 렌즈경통 (400) 으로부터 제로셋팅용 평행평판 (359) 을 제거하고 제 1 렌즈 (401) 를 렌즈경통 (400) 의 내저면에 삽입한 후, 상부·하부 오토콜리메이터 (300, 301) 로부터 제 1 렌즈 (401) 의 상면 (R1) 및 하면 (R2) 에 광을 조사시킨다. Next, the zero-setting parallel plate 359 is removed from the lens barrel 400, and the first lens 401 is inserted into the inner bottom of the lens barrel 400, and then the upper and lower auto collimators 300 and 301 are removed. Light is irradiated to the upper surface R1 and the lower surface R2 of the first lens 401 from the light source.

상부 오토콜리메이터 (300) 의 선단부와 제 1 렌즈 (401) 의 사이에는 소정의 긴 촛점거리를 가지는 상부 집속대물렌즈 (356) 를 추가로 설치한다. 피검렌즈인 제 1 렌즈 (401) 의 측정면이 볼록한 경우에는 볼록면의 곡률반경보다 긴 촛점거리를 갖는 집속대물렌즈를 사용하나 오목면의 측정시에는 집속대물렌즈의 촛점거리와 피검렌즈의 곡률반경과는 무관하다.An upper focusing objective lens 356 having a predetermined long focal length is further provided between the front end of the upper auto collimator 300 and the first lens 401. When the measurement surface of the first lens 401, which is the lens under examination, is convex, a focusing objective lens having a focal length longer than the radius of curvature of the convex surface is used.However, when measuring the concave surface, the focal length of the focusing object lens and the curvature of the inspection lens are used. Irrespective of the radius.

이러한 구성에 의해 대물렌즈 (355) 를 통과한 광이 상부 집속대물렌즈 (356) 를 통해 제 1 렌즈 (401) 의 상면에 수직으로 입사함으로써 조사된 광이 반사되어 외부로 확산되지 않고 오토콜리메이터로 모두 수광되어 상부 CCD (302) 를 통해 모니터 (305) 에서 보는 화상이 더욱 선명하게 된다. 하부 오토콜리메이터 (301) 의 경우에도 동일한 방식으로 하부 집속대물렌즈 (358) 를 셋팅하여 동일한 작용을 하게 된다.With this configuration, the light passing through the objective lens 355 is incident perpendicularly to the upper surface of the first lens 401 through the upper focusing objective lens 356, so that the irradiated light is reflected and does not diffuse to the outside to the auto collimator. All are received so that the image seen by the monitor 305 through the upper CCD 302 becomes clearer. In the case of the lower auto collimator 301, the lower focusing objective lens 358 is set in the same manner to perform the same function.

한편, 제 1 렌즈 (401) 의 양 렌즈면에 대한 조립시 편심조정은 에어베어링으로 렌즈경통을 회전시키면서 제 1 렌즈 (401) 의 상면 (R1) 에 대한 모니터 (305) 및 제 1 렌즈 (401) 의 하면 (R2) 에 대한 모니터 (309) 에 나타난 상을 관찰하면서 렌즈경통 (400) 에 120도 각격으로 형성된 3개의 홀 (403) 을 통하여 렌즈를 밀고 당기면서 모니터의 상이 움직이지 않도록 하는 것 즉, 렌즈 양면의 광축이 동시에 일치되도록 수행된다.On the other hand, the eccentric adjustment at the time of assembly of both lens surfaces of the first lens 401 is the monitor 305 and the first lens 401 with respect to the image surface R1 of the first lens 401 while rotating the lens barrel with air bearing. ), While observing the image shown on the monitor 309 for the lower surface R2, pushing and pulling the lens through three holes 403 formed 120 degrees apart in the lens barrel 400 so that the image of the monitor does not move. In other words, the optical axes of both surfaces of the lens are coincident with each other.

도 2 는 제 1 렌즈 (400) 의 상면 (R1) 의 광축을 촬영한 상부 모니터 (305) 상의 실제 화면이다. 제 1 렌즈 (401) 의 하면 (R2) 에 대한 하부 모니터 (309) 에도 동일한 화면이 나타난다.2 is an actual screen on the upper monitor 305 which photographs the optical axis of the image plane R1 of the first lens 400. The same screen also appears on the lower monitor 309 for the lower surface R2 of the first lens 401.

상부 모니터 (305) 의 화면상에 나타난 우측의 이미지는 좌측의 주요부분을 확대한 것으로, 굵은 십자선 (410) 은 제 1 렌즈 (401) 의 상면 (R1) 으로부터 반사된 상이며, 그 내부의 얇은 십자선 (411) 은 굵은 십자선 (410) 에 대한 최대 피크점을 표시한 것이다.The image on the right side shown on the screen of the upper monitor 305 is an enlargement of the main part on the left side, and the thick cross hairs 410 are the images reflected from the upper surface R1 of the first lens 401, and the thin inside thereof. The cross hairs 411 indicate the maximum peak point with respect to the thick cross hairs 410.

원부분 (412) 은, 렌즈경통의 (400) 의 중심축을 취하기 위한 단계에서 렌즈 경통 (400) 의 내저면에 평행평판 (359) 두고 양 표면에 광을 조사하여 그 반사광을 모니터상에 일점(십자모양)으로 나타낸 후, 에어베어링을 회전시키면 상기 일점이 궤적을 그리며 회전하고, 그 궤적을 따라 대략 120도 간격으로 마우스로 3점을 찍으면 PC (304) 의 소프트웨어에 의해 자동으로 표시되는 원인 것이다. 상기 원부분 (412) 의 내부의 경통 십자선 (413) 은 원부분 (412) 의 중심, 즉 렌즈경통 (400) 의 중심축으로 이 또한 PC (304) 에 의해 자동으로 표시되는 것이다. 또한, 화살표는 현재 마우스의 위치이다.In the step for taking the central axis of the lens barrel 400, the original portion 412 is provided with a parallel plate 359 on the inner bottom surface of the lens barrel 400 and irradiates light on both surfaces thereof, thereby reflecting the reflected light on the monitor. (Cross-shaped), if the air bearing is rotated, the one point is rotated in a trajectory, and if the three points are taken with a mouse at approximately 120 degree intervals along the trajectory, the cause is automatically displayed by the software of the PC 304. . The barrel crosshair 413 inside the circle portion 412 is automatically displayed by the PC 304 as the center of the circle portion 412, that is, the central axis of the lens barrel 400. Also, the arrow is the current mouse position.

에어베어링 (201) 을 회전시킨 상태에서 화면상으로 관찰하면서 제 1 렌즈 (401) 의 상면 (R1) 에 대한 광축중심인 얇은 십자선 (411) 를 렌즈경통 (400) 의 중심축인 경통 십자선 (413) 에 일치되도록 렌즈경통 (400) 에 형성된 제 1 조정홀 (403) 을 통하여 제 1 렌즈 (401) 를 미세조정한다.Observation on the screen while the air bearing 201 is rotated, and the thin crosshair 411 which is the optical axis center with respect to the upper surface R1 of the first lens 401, the barrel crosshair 413 which is the central axis of the lens barrel 400. ), The first lens 401 is finely adjusted through the first adjustment hole 403 formed in the lens barrel 400.

이때, 제 1 렌즈 (401) 의 미세조정시에는 단지 상부 모니터 (305) 에서 전술한 바와 같이 광축일치만을 조정하는 것이 아니라, 하면 (R2) 에 대한 하부 모니터 (309) 도 동시에 모니터링하면서 동일한 방식으로 하면 (R2) 에 대한 광축도 일치되도록 조정한다.At this time, during fine adjustment of the first lens 401, not only the optical axis coincidence is adjusted as described above in the upper monitor 305, but also the lower monitor 309 for the lower surface R2 is simultaneously monitored in the same manner. The optical axis for the lower surface R2 is also adjusted to coincide.

다음으로 제 2 렌즈 (402) 의 조립시 편심조정에 대해 설명한다.Next, the eccentricity adjustment in assembling the second lens 402 will be described.

도 4 에 나타낸 바와 같이, 제 2 렌즈 (402) 는 제 1 렌즈 (401) 의 상측 가장자리에 설치된 간격링 (405) 의 상면에 설치된다. 간격링 (405) 은 제 1 렌즈와의 일정 간격을 유지하게 된다.As shown in FIG. 4, the second lens 402 is provided on the upper surface of the gap ring 405 provided at the image edge of the first lens 401. The spacing ring 405 maintains a constant spacing with the first lens.

제 2 렌즈 (402) 의 상면 (R3) 에 대한 편심조정방법은 제 1 렌즈의 경우와 동일하며 제 2 렌즈 (402) 의 하면 (R4) 에 하부 오토콜리메이터 (301) 의 광을 조사시키는 점이 다소 상이하다. The method of adjusting the eccentricity with respect to the upper surface R3 of the second lens 402 is the same as that of the first lens, and the point of irradiating light of the lower auto collimator 301 to the lower surface R4 of the second lens 402 is somewhat different. Different.

즉, 하부 오토콜리메이터 (301) 를 상하로 적절하게 이동함으로써 제 1 렌즈 (401) 를 투과하여 제 2 렌즈 (402) 의 하면 (R4) 에 직각으로 광이 조사되도록 셋팅한다. 이러한 구성에 의해 제 2 렌즈 (402) 의 하면 (R4) 에서 반사 되는 광이 외부로 확산되지 않아 하부 모니터 (309) 에서 선명한 화상을 얻을 수 있게 된다.That is, by setting the lower auto collimator 301 to move up and down appropriately, the light is transmitted at right angles to the lower surface R4 of the second lens 402 through the first lens 401. By such a configuration, the light reflected from the lower surface R4 of the second lens 402 is not diffused to the outside, so that a clear image can be obtained from the lower monitor 309.

그런 다음, 제 1 렌즈 (401) 의 편심조정경우와 마찬가지로 상부 및 하부 모니터 (305, 309) 를 보면서 제 2 렌즈 (402) 의 상면 (R3) 및 하면 (R4)의 편심을 동시에 조정하게 된다. Then, as in the case of the eccentric adjustment of the first lens 401, the eccentricity of the upper surface R3 and the lower surface R4 of the second lens 402 is simultaneously adjusted while looking at the upper and lower monitors 305 and 309.

이와 같이 조정된 제 2 렌즈 (402) 의 상면에 잠금링 (406) 을 삽입시키는 것으로 렌즈조립이 최종적으로 완료된다. The lens assembly is finally completed by inserting the locking ring 406 into the upper surface of the second lens 402 thus adjusted.

한편, 본 실시예에서는 렌즈가 2 개일 경우에 대하여 설명하였으나, 3 개 이상일 경우에도 전술한 바의 제 2 렌즈 (402) 의 조립방법과 같은 방법으로 조립된다. Meanwhile, in the present embodiment, the case where there are two lenses has been described, but when three or more lenses are assembled in the same manner as the assembly method of the second lens 402 as described above.

즉, 하부 오토콜리메이터 (301) 를 상하로 적절하게 이동함으로써 제 1 렌즈 (401) 와 제 2 렌즈 (402) 를 투과하여 제 3 렌즈의 하면에 직각으로 광이 조사되도록 셋팅한다. 그외의 작업도 동일하므로 생략한다. That is, by setting the lower auto collimator 301 to move up and down appropriately, light is transmitted through the first lens 401 and the second lens 402 so that light is irradiated at right angles to the lower surface of the third lens. Other operations are also the same and will be omitted.

전술한 바와 같이, 렌즈의 일면이 아닌 양면의 반사상을 측정하여 렌즈경통의 기구적 중심축과 렌즈의 광축을 정밀하게 일치시킬 수 있어, 정밀한 편심조정이 가능하여 고정밀도로 광학계를 조립할 수 있음과 함께, 광학계의 해상력을 증대시킬 수 있다.As described above, by measuring the reflection images on both sides of the lens instead of one side of the lens, the mechanical center axis of the lens barrel and the optical axis of the lens can be precisely matched, so that precise eccentricity adjustment is possible and the optical system can be assembled with high precision. The resolution of the optical system can be increased.

(제 2 실시예) (Second embodiment)

도 5 는 본 발명의 렌즈 조립 편심 조정방법의 제 2 실시예를 나타내고 있다. 제 1 실시예와 비교해 볼 때, 제 2 렌즈 (402) 의 하면 (R4) 의 조정방법이 상이하다.Fig. 5 shows a second embodiment of the lens assembly eccentric adjustment method of the present invention. As compared with the first embodiment, the method of adjusting the lower surface R4 of the second lens 402 is different.

즉, 제 2 실시예에서는 하부 오토콜리메이터 (301) 는 제 1 렌즈 (401) 의 기본 셋팅의 변동여부를 감시하면서, 상부 오토콜리메이터 (300) 를 이용하여 상하로 이동시키면서 제 2 렌즈 (402) 의 상면 (R3) 및 하면 (R4) 에 대해 편심을 조정한다는 점에서 상이하다.That is, in the second embodiment, the lower auto collimator 301 monitors whether the basic setting of the first lens 401 is changed, and moves up and down by using the upper auto collimator 300 to move the up and down of the second lens 402. It is different in that it adjusts an eccentricity with respect to upper surface R3 and lower surface R4.

먼저, 상부 오토콜리메이터 (300) 를 상하로 이동시켜 상부 집속대물렌즈 (356) 로부터 투사된 광이 제 2 렌즈 (402) 의 상면 (R3) 의 곡률반경에 직각으로 입사되도록 한다.First, the upper auto collimator 300 is moved up and down so that light projected from the upper focusing objective lens 356 is incident at right angles to the radius of curvature of the upper surface R3 of the second lens 402.

그런 다음, 제 2 렌즈 (402) 의 상면 (R3) 에 대해 제 1 실시예의 경우와 마찬가지로 상부 모니터 (305) 를 보면서 렌즈광축인 십자선 (411) 이 렌즈경통 (400) 의 중심축 (413) 과 일치하도록 편심조정을 실시한다.Then, while looking at the upper monitor 305 with respect to the upper surface R3 of the second lens 402 as in the case of the first embodiment, the crosshairs 411 that are the lens optical axes are aligned with the central axis 413 of the lens barrel 400. Adjust the eccentricity to match.

다음으로, 제 2 렌즈 (402) 의 하면 (R4) 에 대하여도 동일한 방식으로 편심조정을 한다. 이 경우에도 제 1 실시예의 경우와 같이 하부 오토콜리메이터 (301) 가 아닌 상부 오토콜리메이터 (300) 를 상하로 이동하면서 상부 집속대물렌즈 (356) 로부터 투사된 광이 제 2 렌즈 (402) 의 하면 (R4) 의 곡률반경에 직각으 로 입사되도록 한다.Next, the eccentricity adjustment is performed also with respect to the lower surface R4 of the second lens 402. In this case as well, as in the case of the first embodiment, the light projected from the upper focusing objective lens 356 is moved to the lower surface of the second lens 402 while moving the upper auto collimator 300 up and down instead of the lower auto collimator 301 ( Let it enter at right angles to the radius of curvature of R4).

마찬가지로, 제 2 렌즈 (402) 의 하면 (R4) 에 대해 상부 모니터 (305) 를 보면서 렌즈광축인 십자선 (411) 이 렌즈경통 (400) 의 중심축 (413) 과 일치하도록 편심조정을 실시한다.Similarly, while looking at the upper monitor 305 with respect to the lower surface R4 of the 2nd lens 402, an eccentric adjustment is performed so that the crosshair 411 which is a lens optical axis may coincide with the center axis 413 of the lens barrel 400. FIG.

한편, 본 실시예에서도 조립되는 렌즈가 2 개일 경우에 대하여 설명하였으나, 3 개 이상일 경우에도 전술한 바의 제 2 렌즈 (402) 의 조립방법과 동일한 방법으로 이루어진다.Meanwhile, the present embodiment has been described in the case where two lenses are assembled, but in the case of three or more lenses, the same method as the above-described assembly method of the second lens 402 is performed.

제 2 실시예와 같이 렌즈의 편심을 조정한 경우에도 제 1 실시예의 경우와 동일한 편심조정효과를 가진다.Even when the eccentricity of the lens is adjusted as in the second embodiment, it has the same eccentricity adjusting effect as in the case of the first embodiment.

(제 3 실시예)(Third embodiment)

도 6 은 본 발명의 렌즈 조립 편심 조정방법의 제 3 실시예를 나타내고 있다. 제 1 및 제 2 실시예와 다른 점은, 상부 또는 하부의 어느 일측의 오토콜리메이터로부터 광을 투사시키고 다른 일측의 오토콜리메이터는 이 광을 수광하는 방식 즉, 투과상을 이용한다는 점에 있어서만 다르다는 점이다.Fig. 6 shows a third embodiment of the lens assembly eccentric adjustment method of the present invention. The difference from the first and second embodiments is that it only differs in that it projects the light from the autocollimator on either side of the top or bottom and the autocollimator on the other side receives the light, i.e., uses a transmission image. Is the point.

즉, 제 3 실시예서의 제 1 렌즈 (401) 의 조립은, 하부 오토콜리메이터 (301) 로부터 출사되어 제 1 렌즈 (401) 를 투과한 광을 광원이 꺼져있는 상부 오토콜리메이터 (300) 를 통하여 상부 모니터 (305) 에 결상 (십자상) 시켜 편심조정을 실행하여 조립한다.That is, in the assembly of the first lens 401 of the third embodiment, the light emitted from the lower auto collimator 301 and transmitted through the first lens 401 is moved upward through the upper auto collimator 300 having the light source turned off. The monitor 305 is imaged (crossed) to perform eccentric adjustment for assembly.

다음, 제 2 렌즈 (402) 를 삽입한 후, 제 1 렌즈 (401) 시와 같은 방법으로, 하부 오토콜리메이터 (301) 로부터 출사되어 제 1 렌즈 (401) 를 투과한 광은 평행 하게 제 2 렌즈 (402) 에 입사되어 투과된 후, 상부 오토콜리메이터 (300) 를 통하여 상부 모니터 (305) 에 결상시켜 편심조정을 실행하여 조립한다.Next, after the second lens 402 is inserted, the light emitted from the lower auto collimator 301 and transmitted through the first lens 401 in the same manner as in the case of the first lens 401 is parallel to the second lens. After entering and passing through 402, an image is formed on the upper monitor 305 through the upper auto collimator 300 to be assembled by performing eccentric adjustment.

또한, 3 개 이상의 렌즈가 조립되는 경우에 있어서도 전술한 바의 제 2 렌즈 (402) 의 조립방법과 동일하게 이루어진다.Also, in the case where three or more lenses are assembled, the same method as in the above-described assembly method of the second lens 402 is performed.

한편, 본 실시예에서는 하부 오토콜리메이터 (301) 로부터 출사되는 광을 투과시키는 투과상을 이용하고 있으나, 상부 오토콜리메이터 (300) 로부터 출사되는 광을 투과시키는 투과상을 이용하여도 동일하다.On the other hand, in this embodiment, although the transmission image which transmits the light emitted from the lower auto collimator 301 is used, the transmission image which transmits the light radiate | emitted from the upper auto collimator 300 is also the same.

(제 4 실시예)  (Example 4)

도 8 은 본 발명의 렌즈 조립 편심 조정방법의 제 4 실시예를 나타내고 있 다. 이는 제 1 렌즈 (401) 및 제 2 렌즈 (402) 를 렌즈경통 (400) 에 바로 삽입하여 조립하는 것이 아니라, 렌즈 (401, 402) 를 각각의 렌즈링 (407a, 407b) 에 삽입하여 전술한 방법에 의하여 편심조정을 행한 후, 제 3 조정홀 (408) 을 통하여 본드를 투입하여 접합한 후에 각각의 렌즈링 (407a, 407b) 을 렌즈경통 (400) 에 삽입한 후 조정하는 방법이다.8 shows a fourth embodiment of the lens assembly eccentric adjustment method of the present invention. This is not done by inserting the first lens 401 and the second lens 402 directly into the lens barrel 400, but by inserting the lenses 401, 402 into the respective lens rings 407a, 407b. After the eccentric adjustment is performed by the method, a bond is introduced and bonded through the third adjustment hole 408, and then the lens rings 407a and 407b are inserted into the lens barrel 400 and then adjusted.

렌즈경통 (400) 에 렌즈 (401, 402) 를 조립시 편심을 조정하는 방법은 전술한 제 1 내지 제 3 실시예 중의 어느 한 방법을 선택할 수 있다. The method for adjusting the eccentricity when assembling the lenses 401 and 402 in the lens barrel 400 can be selected from any of the first to third embodiments described above.

또한, 3 개 이상의 렌즈 조립시에도 동일한 방법으로 이루어진다.Also, the same method is used when assembling three or more lenses.

이 방법은, 제 1 렌즈 (401) 와 제 2 렌즈 (402) 사이에 간격링 (405) 을 삽입하는 경우에 간격링 (405) 과 렌즈경통 (400) 과의 유격에 의하여 간격링 (405) 가 기울어져 광축을 변동시키는 문제점을 방지할 수 있으며, 또한 렌즈링 (407a, 407b) 의 사용으로 인해 간격링 (405) 을 사용하지 않을 수 있는 장점을 가진다.The method uses the gap ring 405 by the play between the gap ring 405 and the lens barrel 400 when the gap ring 405 is inserted between the first lens 401 and the second lens 402. Can be prevented from tilting and fluctuating the optical axis, and also has the advantage of not using the spacer ring 405 due to the use of the lens rings 407a and 407b.

상기 서술한 바와 같이, 본 발명의 렌즈 조립 편심 조정장치는, 렌즈경통에 렌즈를 조립하는 경우에 편심을 조정하기 위한 렌즈 조립 편심 조정장치에 있어서, 광이 통과할 수 있도록 중심부에 관통홀이 형성되어 있는 테이블과, 상기 테이블의 상면에 탑재되어 광이 통과할 수 있도록 중심부에 관통홀이 형성되고, 렌즈경통의 중심축을 맞추는 중심조정기와, 상기 렌즈경통에 조립되는 렌즈의 양면을 조사할 수 있도록 상기 테이블의 상하에 동일 축선상으로 부착되어 있는 오토콜리메이터와, 상기 오토콜리메이터의 일측에 설치되는 화상표시장치를 포함하는 것을 특징으로 하였기 때문에, 고정밀도를 갖는 광학계의 조립이 가능한 장치를 제공할 수 있다. As described above, in the lens assembly eccentric adjustment device of the present invention, in the lens assembly eccentric adjustment device for adjusting the eccentricity when assembling the lens in the lens barrel, a through hole is formed in the center so that light can pass. A through hole is formed in the center of the table, the upper surface of the table to allow light to pass therethrough, and a center adjuster for aligning the central axis of the lens barrel, and both sides of the lens assembled to the lens barrel can be irradiated. It is possible to provide an apparatus capable of assembling an optical system with high precision because it includes an auto collimator attached on the same axis on the upper and lower sides of the table, and an image display device provided on one side of the auto collimator. have.

또한, 렌즈 조립 편심 조정장치에 의해 광이 렌즈의 표면을 반사하는 반사상 또는 렌즈를 투과하는 투과상을 이용하여 렌즈경통의 중심축과 렌즈의 광축을 일치시키는 것을 특징으로 하였기 때문에, 편심조정을 정밀하게 행할 수 있어, 광학계의 해상력을 증대시킬 수 있는 렌즈 조립 편심 조정방법을 제공할 수 있다.In addition, the lens assembling eccentricity adjusting device makes it possible to align the central axis of the lens barrel and the optical axis of the lens by using a reflection image that reflects the surface of the lens or a transmission image that passes through the lens. It is possible to provide a lens assembly eccentric adjustment method that can be performed in such a way that the resolution of the optical system can be increased.

또한, 렌즈를 렌즈링에 삽입하여 접합한 후 렌즈경통에 넣어 조정함으로써, 간격링을 사용하지 않아도 되므로, 간격링 삽입시에 발생하는 렌즈경통과의 유격에 의하여 렌즈가 기울어지는 것을 방지할 수 있다.In addition, since the gap ring does not need to be used by inserting the lens into the lens ring and then attaching the lens ring to the lens barrel, the lens can be prevented from tilting due to the clearance between the lens barrel generated when the gap ring is inserted. .

Claims (11)

렌즈경통에 렌즈를 조립하는 경우에 편심을 조정하기 위한 렌즈 조립 편심 조정장치에 있어서,In the lens assembly eccentric adjustment device for adjusting the eccentricity when assembling the lens to the lens barrel, 광이 통과할 수 있도록 중심부에 관통홀이 형성되어 있는 테이블과,A table having a through hole formed at the center thereof to allow light to pass therethrough; 상기 테이블의 상면에 회전가능하게 부착되며 중심부에 광이 통과할 수 있도록 관통홀이 형성되고 렌즈경통이 고정되는 중심조정기와,A center adjuster rotatably attached to an upper surface of the table and having a through hole formed therein to allow light to pass through the center thereof, and a lens barrel fixed thereto; 상기 렌즈경통에 조립되는 렌즈의 양면을 조사할 수 있도록 상기 테이블의 상하로 이동가능하게 동일 축선상으로 부착되어 있는 상부 오토콜리메이터 및 하부 오토콜리메이터와, An upper auto collimator and a lower auto collimator attached on the same axis to move up and down of the table so as to irradiate both surfaces of the lens assembled to the lens barrel; 상기 상부 및 하부 오토콜리메이터의 일측에 설치되는 상부 및 하부 화상표시장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 렌즈 조립 편심 조정장치.And an upper and lower image display device installed at one side of the upper and lower auto collimators. 제 1 항에 있어서, 상기 각 오토콜리메이터와 상기 렌즈경통의 렌즈 사이에는 광을 집속하기 위한 집속대물렌즈를 추가로 설치한 것을 특징으로 하는 렌즈 조립 편심 조정장치.2. The lens assembly eccentric adjustment device according to claim 1, wherein a focusing objective lens for focusing light is further provided between the auto collimator and the lens of the lens barrel. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 중심조정기는, 렌즈경통을 지지하는 지지부와, 상기 지지부를 x축, y축으로 이동가능한 x축, y축 이동스테이지와, 상기 지지부를 경사 조정가능한 틸트-x, 틸트-y 스테이지와, 상기 지지부와 x축, y축 이 동스테이지와 틸트-x, 틸트-y 스테이지를 회전시키는 회전수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 렌즈 조립 편심 조정장치.The tilt adjuster according to claim 1 or 2, wherein the center adjuster includes: a support for supporting the lens barrel, an x-axis and a y-axis moving stage capable of moving the support in the x-axis and y-axis, and the tilt of the support inclination adjustment. -x, tilt-y stage, and the support unit, the x-axis, y-axis rotation assembly means for rotating the moving stage and the tilt-x, the tilt-y stage. 렌즈경통에 렌즈를 조립하는 경우에 렌즈 조립 편심 조정장치에 의해 편심 을 조정하는 방법에 있어서,In the method of adjusting the eccentricity by the lens assembly eccentricity adjustment device when assembling the lens to the lens barrel, 중심조정기에서 렌즈경통의 회전중심과 회전수단의 회전중심을 일치시키고, 틸팅각도를 조절하여 렌즈경통의 중심축을 맞추는 단계;Matching the center of rotation of the lens barrel with the center of rotation of the rotating means in the center adjuster and adjusting the tilting angle to match the center axis of the lens barrel; 상기 렌즈경통의 중심축을 화상표시장치에 표시하는 단계;Displaying a central axis of the lens barrel on an image display device; 중심축이 맞춰진 렌즈경통에 렌즈를 삽입하는 단계;Inserting the lens into the lens barrel aligned with the central axis; 상부 및 하부 오토콜리메이터로부터의 조사된 광이 각각 렌즈의 상면 및 하면에서 반사되어 상부 및 하부 화상표시장치에서 렌즈의 광축을 나타내는 단계; 및The light emitted from the upper and lower auto collimators is reflected on the upper and lower surfaces of the lens to represent the optical axes of the lenses in the upper and lower image display devices, respectively; And 상기 중심조정기를 회전시키면서 상부 화상표시장치 및 하부 화상표시장치에서 동시에 렌즈의 광축과 렌즈경통의 중심축이 일치하도록 렌즈의 위치를 조정하는 편심조정단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 렌즈 조립 편심 조정방법.And an eccentric adjustment step of adjusting the position of the lens such that the optical axis of the lens and the central axis of the lens barrel coincide in the upper image display device and the lower image display device while rotating the center adjuster. . 렌즈경통에 2개 이상의 렌즈를 조립하는 경우에 렌즈 조립 편심 조정장치에 의해 편심을 조정하는 방법에 있어서,In the method of adjusting the eccentricity by the lens assembly eccentricity adjustment device when assembling two or more lenses in the lens barrel, (a) 중심조정기에서 렌즈경통의 회전중심과 회전수단의 회전중심을 일치시키고, 틸팅각도를 조절하여 렌즈경통의 중심축을 맞추는 단계;(a) matching the center of rotation of the lens barrel with the center of rotation of the lens barrel in the center adjuster and adjusting the tilting angle to adjust the center of the lens barrel; (b) 상기 렌즈경통의 중심축을 화상표시장치에 표시하는 단계;(b) displaying a central axis of the lens barrel on an image display device; (c) 중심축이 맞춰진 렌즈경통에 제 1 렌즈를 삽입하는 단계;(c) inserting a first lens into the lens barrel whose center axis is aligned; (d) 상부 및 하부 오토콜리메이터로부터의 조사된 광이 각각 제 1 렌즈의 상면 및 하면에서 반사되어 상부 및 하부 화상표시장치에서 제 1 렌즈의 광축을 나타내는 단계; 및(d) irradiating light from the upper and lower auto collimators on the upper and lower surfaces of the first lens to respectively indicate the optical axes of the first lens in the upper and lower image display apparatuses; And (e) 상기 중심조정기를 회전시키면서 상부 화상표시장치 및 하부 화상표시장치에서 동시에 제 1 렌즈의 광축과 렌즈경통의 중심축이 일치하도록 제 1 렌즈의 위치를 조정하는 편심조정단계;(e) an eccentric adjustment step of adjusting the position of the first lens such that the optical axis of the first lens and the center axis of the lens barrel coincide in the upper image display device and the lower image display device while rotating the center adjuster; (f) 중심축이 맞춰진 렌즈경통의 제 1 렌즈의 상부에 삽입되는 제 n (n = 2,3,4···) 번째 렌즈에 대하여 단계 (d), (e) 를 순차로 실행하여 제 n (n = 2,3,4···) 번째 렌즈의 편심을 조정하는 편심조정단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 렌즈 조립 편심 조정방법.(f) Steps (d) and (e) are sequentially executed for the nth (n = 2,3,4 ...) th lens inserted in the upper portion of the first lens of the lens barrel whose center axis is aligned; and an eccentricity adjusting step of adjusting an eccentricity of the n (n = 2,3,4 ...) th lens. 렌즈경통에 2개 이상의 렌즈를 조립하는 경우에 렌즈 조립 편심 조정장치에 의해 편심을 조정하는 방법에 있어서,In the method of adjusting the eccentricity by the lens assembly eccentricity adjustment device when assembling two or more lenses in the lens barrel, (a) 중심조정기에서 렌즈경통의 회전중심과 회전수단의 회전중심을 일치시키고, 틸팅각도를 조절하여 렌즈경통의 중심축을 맞추는 단계;(a) matching the center of rotation of the lens barrel with the center of rotation of the lens barrel in the center adjuster and adjusting the tilting angle to adjust the center of the lens barrel; (b) 상기 렌즈경통의 중심축을 화상표시장치에 표시하는 단계;(b) displaying a central axis of the lens barrel on an image display device; (c) 중심축이 맞춰진 렌즈경통에 제 1 렌즈를 삽입하는 단계;(c) inserting a first lens into the lens barrel whose center axis is aligned; (d) 상부 및 하부 오토콜리메이터로부터의 조사된 광이 각각 제 1 렌즈의 상면 및 하면에서 반사되어 상부 및 하부 화상표시장치에서 제 1 렌즈의 광축을 나타 내는 단계; 및(d) reflecting the light emitted from the upper and lower auto collimators on the upper and lower surfaces of the first lens to represent the optical axes of the first lens in the upper and lower image display devices, respectively; And (e) 상기 중심조정기를 회전시키면서 상부 화상표시장치 및 하부 화상표시장치에서 동시에 제 1 렌즈의 광축과 렌즈경통의 중심축이 일치하도록 제 1 렌즈의 위치를 조정하는 편심조정단계;(e) an eccentric adjustment step of adjusting the position of the first lens such that the optical axis of the first lens and the center axis of the lens barrel coincide in the upper image display device and the lower image display device while rotating the center adjuster; (f) 중심축이 맞춰진 렌즈경통의 제 1 렌즈의 상부에 제 n (n = 2,3,4···) 번째 렌즈를 삽입하는 단계;(f) inserting an nth (n = 2,3,4 ...) th lens on top of the first lens of the lens barrel whose central axis is aligned; (g) 상부 오토콜리메이터로부터의 조사된 광이 제 n (n = 2,3,4···) 번째 렌즈의 상면에서 반사되어 상부 화상표시장치에서 렌즈의 광축을 나타내며, 상부 오토콜리메이터로부터의 조사된 광이 제 n (n = 2,3,4···) 번째 렌즈의 하면에서 반사되어 상부 화상표시장치에서 렌즈의 광축을 나타내는 단계;(g) the irradiated light from the upper auto collimator is reflected on the upper surface of the nth (n = 2,3,4 ...) th lens to represent the optical axis of the lens in the upper image display device, and irradiates from the upper auto collimator Reflected light is reflected from the lower surface of the nth (n = 2,3,4 ...) th lens to indicate the optical axis of the lens in the upper image display device; (h) 하부 콜리메이터에 의해 제 1 렌즈의 편심변동여부를 확인하면서 상기 중심조정기를 회전시켜 상부 화상표시장치에서 제 n (n = 2,3,4···) 번째 렌즈의 광축과 렌즈경통의 중심축이 일치하도록 제 n (n = 2,3,4···) 번째 렌즈의 위치를 조정하는 편심조정단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 렌즈 조립 편심 조정방법.(h) Rotating the center adjuster while checking the eccentric variation of the first lens by the lower collimator, so that the upper image display device of the optical axis of the nth (n = 2,3,4 ...) th lens and the lens barrel And an eccentricity adjusting step of adjusting the position of the nth (n = 2,3,4 ...) th lens so that the central axis coincides. 렌즈경통에 렌즈를 조립하는 경우에 렌즈 조립 편심 조정장치에 의해 편심 을 조정하는 방법에 있어서,In the method of adjusting the eccentricity by the lens assembly eccentricity adjustment device when assembling the lens to the lens barrel, 중심조정기에서 렌즈경통의 회전중심과 회전수단의 회전중심을 일치시키고, 틸팅각도를 조절하여 렌즈경통의 중심축을 맞추는 단계;Matching the center of rotation of the lens barrel with the center of rotation of the rotating means in the center adjuster and adjusting the tilting angle to match the center axis of the lens barrel; 상기 렌즈경통의 중심축을 화상표시장치에 표시하는 단계;Displaying a central axis of the lens barrel on an image display device; 중심축이 맞춰진 렌즈경통에 렌즈를 삽입하는 단계;Inserting the lens into the lens barrel aligned with the central axis; 상부 및 하부 오토콜리메이터 중 일방의 오토콜리메이터로부터 조사된 광이 렌즈의 상면 및 하면을 투과하여 타방의 오토콜리메이터의 화상표시장치에 나타나는 단계;Light emitted from one of the upper and lower auto collimators passing through the upper and lower surfaces of the lens and appearing on the image display device of the other auto collimator; 상기 타방 오토콜리메이터의 화상표시장치에서 렌즈의 광축과 렌즈경통의 중심축이 일치하도록 렌즈의 위치를 조정하는 편심조정단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 렌즈 조립 편심 조정방법.And an eccentricity adjusting step of adjusting the position of the lens such that the optical axis of the lens and the central axis of the lens barrel coincide with each other in the image display apparatus of the other auto collimator. 렌즈경통에 2개이상의 렌즈를 조립하는 경우에 렌즈 조립 편심 조정장치에 의해 편심을 조정하는 방법에 있어서,In the case of assembling two or more lenses in the lens barrel, in the method of adjusting the eccentricity by the lens assembly eccentricity adjusting device, (a) 중심조정기에서 렌즈경통의 회전중심과 회전수단의 회전중심을 일치시키고, 틸팅각도를 조절하여 렌즈경통의 중심축을 맞추는 단계;(a) matching the center of rotation of the lens barrel with the center of rotation of the lens barrel in the center adjuster and adjusting the tilting angle to adjust the center of the lens barrel; (b) 렌즈경통의 중심축을 화상표시장치에 표시하는 단계;(b) displaying the central axis of the lens barrel on the image display device; (c) 중심축이 맞춰진 렌즈경통에 제 1 렌즈를 삽입하는 단계;(c) inserting a first lens into the lens barrel whose center axis is aligned; (d) 상부 및 하부 오토콜리메이터 중 일방의 오토콜리메이터으로부터 조사된 광이 제 1 렌즈의 상면 및 하면을 투과하여 타방의 오토콜리메이터의 화상표시장치에 나타나는 단계;(d) light emitted from one of the upper and lower auto collimators passing through the upper and lower surfaces of the first lens and appearing on the image display device of the other auto collimator; (e) 상기 타방 오토콜리메이터의 화상표시장치에서 제 1 렌즈의 광축과 렌즈경통의 중심축이 일치하도록 렌즈의 위치를 조정하는 편심조정단계;(e) an eccentric adjustment step of adjusting the position of the lens such that the optical axis of the first lens and the central axis of the lens barrel coincide in the image display apparatus of the other auto collimator; (f) 중심축이 맞춰진 렌즈경통의 제 1 렌즈의 상부에 제 n (n = 2,3,4···) 번째 렌즈를 삽입하는 단계;(f) inserting an nth (n = 2,3,4 ...) th lens on top of the first lens of the lens barrel whose central axis is aligned; (g) 상부 및 하부 오토콜리메이터 중 일방의 오토콜리메이터으로부터 조사된 광이 제 n (n = 2,3,4···) 번째 렌즈의 상면 및 하면을 투과하여 타방의 오토콜리메이터의 화상표시장치에 나타나는 단계;(g) The light irradiated from one of the upper and lower auto collimators passes through the upper and lower surfaces of the nth (n = 2,3,4 ...) th lens to the image display apparatus of the other autocollimator. Appearing step; (h) 상기 타방 오토콜리메이터의 화상표시장치에서 제 n (n = 2,3,4···) 번째 렌즈의 광축과 렌즈경통의 중심축이 일치하도록 제 n (n = 2,3,4···) 번째 렌즈의 위치를 조정하는 편심조정단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 렌즈 조립 편심 조정방법.(h) In the image display apparatus of the other autocollimator, the nth (n = 2,3,4 ...) so that the optical axis of the nth (n = 2,3,4 ...) lens coincides with the central axis of the lens barrel. Eccentric adjustment step of adjusting the position of the second lens. 제 4 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 각 오토콜리메이터와 렌즈경통의 렌즈 사이에 설치된 집속대물렌즈에 의해 상기 각 오토콜리메이터에서 조사된 광이 렌즈에 수직하게 입사하도록 상기 각 오토콜리메이터의 높이를 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 렌즈 조립 편심 조정방법.The auto collimator according to any one of claims 4 to 8, wherein the light irradiated from each auto collimator is incident perpendicularly to the lens by a focusing objective lens provided between the auto collimator and the lens of the lens barrel. Lens assembly eccentric adjustment method comprising the step of adjusting the height of the. 제 4 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 기재된 방법에 있어서, 상기 렌즈 대신에 렌즈를 삽입한 렌즈링을 삽입하는 것을 특징으로 하는 렌즈 조립 편심 조정방법.The lens assembly eccentricity adjustment method according to any one of claims 4 to 8, wherein a lens ring having a lens inserted therein is inserted in place of the lens. 제 10 항에 있어서, 상기 렌즈를 삽입한 렌즈링에서의 렌즈는 렌즈링에 삽입 전에 제 4 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 기재된 방법에 의해 렌즈링에 대해 편심조정된 것을 특징으로 하는 렌즈 조립 편심 조정방법.The lens according to claim 10, wherein the lens in the lens ring in which the lens is inserted is eccentrically adjusted with respect to the lens ring by the method according to any one of claims 4 to 8 before insertion into the lens ring. Assembly eccentric adjustment method.
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