KR20070095184A - Film peeling device - Google Patents
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Abstract
Description
도 1은 본 발명의 1 실시형태를 도시한 정면도이고,1 is a front view showing an embodiment of the present invention,
도 2는 본 발명의 1 실시형태를 도시한 좌측면도이고,2 is a left side view showing an embodiment of the present invention,
도 3은 본 발명의 1 실시형태를 도시한 평면도이고,3 is a plan view showing one embodiment of the present invention;
도 4는 본 발명의 1 실시형태에 따른 클램프 장치(1)의 확대도이고,4 is an enlarged view of the clamp device 1 according to one embodiment of the present invention,
도 5는 본 발명의 1 실시형태의 동작 설명도이고,5 is an operation explanatory diagram of one embodiment of the present invention;
도 6은 본 발명의 1 실시형태의 동작 설명도이고,6 is an operation explanatory diagram of one embodiment of the present invention;
도 7은 본 발명의 1 실시형태의 동작 설명도이다.7 is an operation explanatory diagram of one embodiment of the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
1: 클램프 장치 2: 점착롤러1: clamp device 2: adhesive roller
3: 평벨트 장치 4: 보조박리장치3: flat belt device 4: auxiliary peeling device
9: 제어장치 10: 클램프부9: control device 10: clamp part
11: 슬라이드부 12: 기대11: slide section 12: expectation
19: 회동판 31: 평벨트 풀리19: Meeting board 31: Flat belt pulley
32: 평벨트 풀리 33: 평벨트32: flat belt pulley 33: flat belt
34: 평벨트 50: 반입 컨베이어34: flat belt 50: carrying conveyor
51: 반출 컨베이어 55: 반송롤러51: carrying out conveyor 55: conveying roller
60: 필름 수납 카고(cargo)60: film storage cargo (cargo)
61: 필름 수납 덕트61: film storage duct
90: 프린트 배선 기판90: printed wiring board
91: 노출부 92: 포토 레지스트91: exposed portion 92: photoresist
93: 필름 94: 필름단부93: film 94: film end
[특허문헌 1] 일본국 특허공개 2002-211836호 공보[Patent Document 1] Japanese Unexamined Patent Publication No. 2002-211836
본 발명은 프린트 배선기판(print circuit board) 등의 드라이 필름 포토 레지스트(photo resist)의 표면에 장착되어진 폴리에스테르 커버 필름 등의 필름을 벗겨내기 위한 필름 박리장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a film peeling apparatus for peeling a film such as a polyester cover film mounted on a surface of a dry film photoresist such as a printed circuit board.
기판 등에 회로를 형성할 때에 IC 제조기술에 사용되어지는 리쏘그라피 방법(photolithographic method)이 근년에 이용되고 있다. 이 경우 기판 상에 도포되는 포토 레지스트로서는 드라이 필름 포토 레지스트가 이용되어지고 있다. 그런데, 이 포토 레지스트 상에는 폴리에스테르 재질의 보호용 커버 필름이 점착되어 지는 것이 일반적이다.In recent years, the photolithographic method used in IC manufacturing technology when forming a circuit in a board | substrate etc. is used. In this case, a dry film photoresist is used as the photoresist applied on the substrate. By the way, it is common for the protective cover film of polyester material to stick on this photoresist.
이 필름은 포토 레지스트 상에 회로 패턴을 인화시키는 노광공정 후에 벗겨 낼 필요가 있어 종래부터 이러한 종류의 필름을 자동적으로 효율적으로 박리하는 장치의 개발이 시도되어 왔다.Since this film needs to be peeled off after the exposure process which prints a circuit pattern on a photoresist, the development of the apparatus which peels this kind of film automatically and efficiently efficiently has been tried conventionally.
이 중 하나로는 본 발명의 출원인에 의해 제안되어진 일본국 특허공개 2002-211836호에 개시되어진 것이 알려져 있다. 이 발명에서는 표면에 요철(凹凸)이 돌설된 널링 롤러(knurling roller)에 의해 필름 단부를 끌어 올려 부분적으로 박리부를 형성하고, 이로부터 기판을 반송롤러에 의해 반송하면서 점착롤러에 의해 박리를 행하는 구성이다.One of them is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 2002-211836 proposed by the applicant of the present invention. In the present invention, the film ends are pulled up by a knurling roller with irregularities protruding from the surface to form a peeling part, and the peeling is performed by an adhesive roller while conveying the substrate by the conveying roller. to be.
그러나, 근년들어 프린트 배선 기판의 두께가 감소되는 경향이 있고, 또한 점착롤러의 점착력이 균일하지 못하여 필름박리 중에 기판의 단부가 휘어지거나, 장치 내에 권입되는 사고가 발생하는 문제가 있다.However, in recent years, the thickness of the printed wiring board tends to be reduced, and there is a problem that the adhesive force of the adhesive roller is not uniform and the end of the substrate is bent during film peeling or an accident occurs in the device.
본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하는 것을 그 목적으로 한다.The present invention aims to solve the above problems of the prior art.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 적어도 일면에 필름이 점착되고, 이 필름 점착면의 적어도 하나의 단부에는 필름이 점착되어 있지 않은 노출부를 갖는 대상물의 상기 필름을 박리하기 위한 필름 박리장치에 있어서, 상기 노출부를 잡아주는 클램프 기구와, 상기 필름을 점착시키는 점착체와, 상기 클램프 기구를 이동 시켜 상기 점착체에 점착된 필름을 대상물로부터 벗겨내는 이동장치를 구비하는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, the present invention provides a film peeling apparatus for peeling the film of the object having an exposed portion in which a film is adhered to at least one surface, and at least one end of the film adhesive surface is not adhered to the film. And a clamp mechanism for holding the exposed portion, an adhesive to adhere the film, and a moving device to move the clamp mechanism to peel off the film adhered to the adhesive from an object.
클램프 기구에 의해 대상물을 끌어 당김으로, 대상물의 휘어짐 등을 방지하고, 안정된 필름 박리를 가능하게 한다. By pulling the object by the clamp mechanism, it is possible to prevent the object from warping and to allow stable film peeling.
또한, 청구항 2의 발명은 적어도 일면에 필름이 점착되고, 이 필름 점착면의 적어도 일 단부에는 필름이 점착되어 있지 않은 노출부를 가지고 있는 판상체의 상기 필름을 박리하는 필름 박리장치에 있어서, 상기 판상체를 반송하는 반송장치와, 이 반송장치에 의해 반송되어 지는 판상체의 상기 필름에 점착하여 회전가능한 점착롤러와, 이 반송장치에 의해 반송된 판상체의 상기 노출부를 잡아주는 클램프 기구와, 상기 클램프 기구를 상기 반송방향으로 이동시키는 이동장치를 구비하고, 상기 이동장치에 따른 클램프 기구의 이동에 의해 상기 점착롤러의 회전과 함께 이 점착롤러에 점착된 필름을 대상물로부터 박리하는 것을 특징으로 한다. In the invention of
상기 구성의 경우에 동일한 양식으로, 클램프 기구에 의해 판상체를 끌어 당김으로, 판상체의 휘어짐 등을 방지하고, 안정한 필름 박리가 가능하게 된다.In the case of the said structure, by pulling a plate-shaped object by a clamp mechanism by the clamp mechanism, the plate-shaped body etc. are prevented from bending and stable film peeling is attained.
상기 대상물 및 판상체로서는 프린트 배선기판을 가장 전형적인 것의 하나로 들 수 있다. Examples of the object and the plate-shaped body include a printed wiring board as one of the most typical ones.
또한, 상기 클램프 기구의 이동에 의해 상기 필름의 박리는 그의 단부로부터 소정 길이만을 박리시키면 양호하여, 완전하게 클램프 기구에 의해 박리시킬 필요는 없다.In addition, peeling of the said film by the movement of the said clamp mechanism should just peel a predetermined length from the edge part, and it is not necessary to peel it completely by a clamp mechanism.
이하, 본 발명의 실시의 형태를 첨부 도면에 근거하여 자세하게 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described in detail based on an accompanying drawing.
도 1 및 2에 의하면, 프린트 배선 기판(90)은 반입 컨베이어(50)에 의해 장치 본체(A)에 반입되고, 이에 의해 필름(93)의 박리가 이루어지며, 반출 컨베이어(51)에 의해 반출되어 다음의 공정으로 이송되어 지도록 구성되어있다.1 and 2, the printed
반입 컨베이어(50)와 반출 컨베이어(51)는 복수의 반송롤러(55)를 구비하고 반송롤러(55)를 회전구동시켜 그 위에 실린 프린트 배선 기판(90)을 반송하도록 구성되어 있다.The carrying-in
장치 본체(A)의 반입 컨베이어(50) 측에는 보조박리장치(4)가 설치되어 있고, 필름단부(94)의 표면에 널링롤러 등에 의해 요철을 형성하여, 박리가 용이하도록 박리 개시부를 형성하도록 구성되어 있다. 이 보조박리장치(4)로는, 예로서 일본국 특허공개공보 제2002-211836호 공보에 개시된 널링롤러와 같은 구성을 채용하는 것이 가능하다.The
장치 본체(A)는 점착롤러(2)를 구비하고, 이 점착롤러(2)에 의해 필름(93)을 벗겨내도록 구성되어 있다. 점착롤러(2)는 프린트 배선 기판(90)의 표리에 대향하도록 1대 설치되어 프린트 배선 기판(90)의 표리에 점착된 필름(93)을 벗겨낼 수 있도록 되어 있다. 벗겨진 필름(93)은 평벨트 장치(3)에 의해 배출된다.The apparatus main body A is equipped with the
점착롤러(2)는 도 2에 도시된 바와 같이 프린트 배선 기판(90)의 폭 방향으로 4개 설치되어져 표리로 합계 8개가 설치되어 있다.As shown in FIG. 2, four
평벨트 장치(3)는 점착롤러(2)에 동일한 축으로 설치되어진 평벨트 풀리(31) 를 가지며, 이 평벨트 풀리(31)와 상방에 설치되어있는 다른 평벨트 풀리(31)와의 사이에 평벨트(33)가 걸려 지지되어 있다. 또한, 점착롤러(2)의 반출 컨베이어(51) 측에는 평벨트 풀리(32)가 설치되고, 동일한 양식으로 상방에 설치된 평벨트 풀리(32)와의 사이에 평벨트(34)가 설치되어 있다. 이 평벨트(33)와 평벨트(34)에 의해 점착롤러(2)에서 벗겨진 필름(93)을 잡아주어 배출하도록 되어 있다. 평벨트(33)와 평벨트(34)는 폭 방향으로 복수의 세트로 설치되어 있다.The flat belt device (3) has a flat belt pulley (31) provided on the adhesive roller (2) in the same axis, and between the flat belt pulley (31) and another flat belt pulley (31) provided above. The
상기 구성의 평벨트 장치(3)는 동일한 양식으로 프린트 배선 기판(90)의 표리에 설치되어 있다.The
점착롤러(2)의 반출 컨베이어(51) 측에 클램프 장치(1)가 설치되어 있다. 클램프 장치(1)는 장치 본체(A)에 장착되어, 장치 본체(A)에 대하여 상하 방향으로 승강할 수 있도록 기대(12)를 가지고 있다. 그리고 기대(12)에는 프린트 배선 기판(90)의 반송 방향으로 미끄러질 수 있도록 슬라이드부(11)가 설치되어 있고, 이 슬라이드부(11)의 선단에는 클램프부(10)가 설치되어 있다.The clamping apparatus 1 is provided in the carrying-out
기대(12)는 도 3에 도시된 바와 같이 폭 방향의 양 단으로 1대 설치되고, 이 기대(12, 12) 사이에는 슬라이드부(11)가 프린트 배선 기판(90)의 반송방향 및 그 역방향으로 미끄러질 수 있도록 설치되어 있다. 슬라이드부(11)의 폭 방향에 복수의 클램프부(10)(이 실시형태에서는 5개)가 설치되어 있고, 슬라이드부(11)와 함께 슬라이드 가능하게 되어있다.As shown in Fig. 3, one
점착롤러(2)와 클램프부(10)의 폭 방향위치는 상호 간섭이 일어나지 않는 위치로 배치되어있고, 5개의 클램프부(10) 사이에는 4개의 점착롤러(2)가 위치되도록 구성되어 있다.The
클램프부(10)는 도 4 내지 도 7에 도시된 바와 같이 점착롤러(2)의 반출 컨베이어(51) 측에 위치되도록 설계되어져, 프린트 배선 기판(90)의 선단의 노출부(91)를 파지하도록 되어 있다. 클램프부(10)의 잡아주는 동작을 행하는 기구로는 각종의 것이 가능하나, 그 실시형태로는 플라이어(plier) 형상의 1쌍의 회동판(19)으로 노출부(91)를 표리로부터 단단하게 파지할 수 있도록 되어 있다.The
도 4에 도시된 바와 같이, 프린트 배선 기판(90)에는 포토 레지스트(92)가 피복되고 다시 그 위에 필름(93)이 점착되어 있지만, 프린트 배선 기판(90)의 선단부에는 포토 레지스트(92)와 필름(93)이 없는 노출부(91)가 형성되어 있다. 클램프부(10)는 이 노출부(91)를 잡아주기 위해, 프린트 배선 기판(90)에 손상을 줄 위험이 없도록 한다. As shown in FIG. 4, the
클램프부(10)에 의해 노출부(91)를 잡아주면서, 슬라이드부(11)를 반송방향으로 슬라이드시켜 프린트 배선 기판(90)을 끌어당기면서 이동시킨다. 이에 의해, 도 7에 도시된 바와 같이, 필름(93)은 점착롤러(2)에 의해서 프린트 배선 기판(90)으로부터 박리되어질 수 있게 된다.While holding the exposed
또한, 프린트 배선 기판(90)은 클램프부(10)에 의해 잡아 당겨짐으로, 프린트 배선 기판(90)이 얇더라도, 또 점착롤러(2)의 점착력이 균일하지 못하더라도, 필름 박리 중에 프린트 배선 기판(90)의 단부가 절곡되지 않고, 프린트 배선 기판(90)이 장치 내로 말려 들어가는 사고의 발생을 방지하는 것이 가능하다.In addition, since the printed
클램프 장치(1)의 슬라이드 길이는 150㎜ 정도이거나 그 이상으로 되는 것이 바람직하다. 0.05㎜ 미만의 얇은 프린트 배선 기판(90)인 경우에도 150 ~ 180㎜ 정도 끌어당기면 그 뒤에는 반송롤러(55)의 송출만으로 안정적인 박리를 할 수 있게 된다.The slide length of the clamp device 1 is preferably about 150 mm or more. Even in the case of a thin printed
클램프부(10)와 슬라이드부(11)은 일정한 거리를 슬라이드 한 후, 기대(12)의 상승에 따라 상방으로 대피시킬 수 있게 구성되어 있다.The
박리된 필름(93)은 평벨트 장치(3)에 의해 배출된다. 프린트 배선 기판(90)의 표면측(상측)의 필름(93)은 도 2에 도시된 바와 같이 평벨트(33, 34)에 의해 상방의 필름 수납 덕트(61)로 운반되고, 송풍장치(도시 생략)에 의한 송풍으로 필름 수납 덕트(61) 내로 이동되어 필름 수납 카고(60)로 회수된다.The peeled
한편, 프린트 배선 기판(90)의 뒷면(하측)의 필름(93)은 평벨트 장치(3)에 의해 필름 수납 카고(60)로 떨어져 회수된다.On the other hand, the
또한, 반입 컨베이어(50)와 반출 컨베이어(51)의 반송롤러(55) 및 점착롤러(2)는 구동장치(도시 생략)에 의해 구동되도록 되며, 그 주기는 동일하게 되어 있다. 또 클램프 장치(1)의 슬라이드 속도도 이 주기와 동일하게 조정되어 있다.In addition, the
또, 상기 실시형태에서는 클램프 장치(1)는 폭방향으로 5개 설치되지만, 프린트 배선 기판(90)의 폭으로 합하여서 사용되는 클램프 장치(1)의 수를 증감할 수 있도록 구성되어 있으나, 그 설치수의 증감은 적절히 선택가능하게 된다. 또한, 클램프 장치(1)의 폭을 넓게 하는 것도 가능하지만 프린트 배선 기판(90)의 절곡을 방지하는 점에서는 프린트 배선 기판(90)과 동일한 폭으로 하는 것이 바람직하다. 상기 실시예에서는 점착롤러(2)와의 간섭을 피하도록 하기 위해 분할하여 5개를 설 치하고 있다.In addition, although 5 clamp apparatuses 1 are provided in the width direction in the said embodiment, it is comprised so that the number of clamp apparatuses 1 used in the sum of the width of the printed
다음에는 동작을 설명한다.Next, the operation will be described.
반입 컨베이어(50)에 의해 프린트 배선 기판(90)을 반송하여, 도 1에 나타난 보조박리장치(4)에서 일단 정지시키고 보조적인 박리를 실시한다. 이 동작의 상세한 예로는 일본국 특허공개공보 제2002-211836호 공보에 개시되어 있다.The printed
보조박리 후에는, 도 5에 나타난 바와 같이 반입 컨베이어(50)로 다시 프린트 배선 기판(90)을 반송하여, 클램프부(10)의 선단에 노출부(91)가 도래할 시에 프린트 배선 기판(90)의 이송을 정지하고 노출부(91)를 클램프부(10)에 의해 잡아주도록 한다(도 6). 그리고, 클램프부(10)를 홀딩하는 슬라이드부(11)를 반송방향으로 150 ~ 180mm 정도 슬라이드시킴과 동시에 점착롤러(2)를 회전시켜 점착롤러(2)에 필름(93)을 접합시켜 필름(93)의 선단부를 박리한다.After the auxiliary peeling, the printed
일정한 거리를 슬라이드시키면 클램프부(10)를 언클램프(unclamp)시켜, 노출부(91)의 파지를 해제시키고, 기대(12)를 상승시켜서 클램프부(10)를 대피시킨다. 그리하여, 반입 컨베이어(50)와 반출 컨베이어(51)의 반송롤러(55)를 구동시키고, 점착롤러(2)도 회전구동시켜, 필름(93)의 박리를 계속시킨다.When the fixed distance is slid, the
프린트 배선 기판(90)이 점착롤러(2)를 통과한 시점에서 필름(93)의 박리는 완료되고, 프린트 배선 기판(90)은 그대로 반송롤러(55)에 의해 반송되어져 다음 공정으로 보내게 된다.When the printed
박리된 필름(93)은 평벨트 장치(3)에 의해 배출된다.The peeled
상기와 같이 구성되는 본 발명의 필름박리장치는 대상물의 휘어짐 등을 방지할 수 있는 효과가 있다.The film peeling apparatus of the present invention configured as described above has an effect of preventing warpage of an object.
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100980326B1 (en) * | 2008-09-08 | 2010-09-06 | (주)에이에스티 | Dissolution system |
CN109302798A (en) * | 2017-07-25 | 2019-02-01 | 深圳市欧亚建设工程有限公司 | Thin plate support construction |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI396612B (en) * | 2010-12-30 | 2013-05-21 | Au Optronics Corp | Peeling equipment and peeling method for thin workpiece |
KR101287754B1 (en) * | 2011-10-05 | 2013-07-18 | 삼성전기주식회사 | Apparatus for peeling protecting film of substrate, and method for peeling protecting film of substrate |
TWI444295B (en) * | 2011-11-18 | 2014-07-11 | Au Optronics Corp | Tool of de-bonding and method for separating a thin-film from a substrate |
CN102615922A (en) * | 2012-03-20 | 2012-08-01 | 张家港市弘扬石化设备有限公司 | Separating device |
CN103802441B (en) * | 2012-11-14 | 2016-06-08 | 财团法人工业技术研究院 | Film peeling device and method thereof |
TWI542470B (en) * | 2012-11-14 | 2016-07-21 | 財團法人工業技術研究院 | Film debonding apparatus and method of the same |
CN103223765B (en) | 2013-03-07 | 2015-12-09 | 京东方科技集团股份有限公司 | Membrane stripping device |
JP6055705B2 (en) * | 2013-03-28 | 2016-12-27 | 株式会社Screenホールディングス | Transfer apparatus and transfer method |
KR102059827B1 (en) * | 2013-05-14 | 2020-02-12 | 삼성디스플레이 주식회사 | Apparatus And Method For Separating Plates |
CN103522728B (en) * | 2013-07-31 | 2015-08-12 | 深圳市永能机械有限公司 | Automatically gluing equipment and method is taken off |
CN103448347B (en) * | 2013-08-19 | 2015-08-26 | 无锡市兰翔胶业有限公司 | The automatic stripping machine of a kind of cushion rubber |
JP5577003B1 (en) * | 2013-10-15 | 2014-08-20 | 株式会社 ベアック | Film peeling apparatus and film peeling method |
CN103745951B (en) * | 2013-11-15 | 2016-05-25 | 杭州长川科技股份有限公司 | Integrated circuit epiphragma removes mechanism |
CN104392905B (en) * | 2014-11-26 | 2020-08-11 | 尼米仪器株式会社 | Method and apparatus for peeling film for semiconductor |
CN105564957A (en) * | 2015-12-18 | 2016-05-11 | 苏州康鸿电子科技有限公司 | Multi-station film tearing machine and sorting method based on film tearing machine |
JP6665021B2 (en) * | 2016-05-10 | 2020-03-13 | 株式会社日立プラントメカニクス | Film peeling device |
JP6601332B2 (en) * | 2016-07-04 | 2019-11-06 | 株式会社村田製作所 | Sheet peeling method and sheet peeling apparatus |
CN107031168B (en) * | 2016-12-15 | 2019-08-06 | 曹玉雷 | A kind of sheet cover film automatic stripper |
CN108046032B (en) * | 2017-12-08 | 2019-07-23 | 江苏科瑞恩自动化科技有限公司 | A kind of PE bags of release paper removal device |
CN110126437B (en) * | 2019-07-01 | 2021-07-02 | 苏州凌云视界智能设备有限责任公司 | Liquid crystal display tears membrane device |
TWI730583B (en) * | 2020-01-08 | 2021-06-11 | 鴻鉑科技有限公司 | Film peeling device |
TWI723926B (en) * | 2020-07-24 | 2021-04-01 | 鴻鉑科技有限公司 | Adjustable film stripping structure |
TWI723925B (en) * | 2020-07-24 | 2021-04-01 | 鴻鉑科技有限公司 | Film stripping apparatus |
CN112489555B (en) * | 2020-12-31 | 2022-08-30 | 福建省腾盈印刷工贸有限公司 | Method for manufacturing dot 3D thermal transfer pattern trademark identification |
CN113264409B (en) * | 2021-07-20 | 2021-10-15 | 深圳市誉辰自动化设备有限公司 | Film pasting equipment |
CN115805748A (en) * | 2022-11-22 | 2023-03-17 | 深圳市一航源智能设备有限公司 | Automatic film tearing mechanism for FPC cover film |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3473337B2 (en) * | 1997-07-18 | 2003-12-02 | 松下電器産業株式会社 | Film peeling method and apparatus |
JP2004039939A (en) * | 2002-07-05 | 2004-02-05 | Hitachi Industries Co Ltd | Film peeling device |
JP4231018B2 (en) * | 2005-03-23 | 2009-02-25 | 株式会社日立プラントテクノロジー | Film peeling method and film peeling apparatus |
-
2006
- 2006-03-20 JP JP2006076622A patent/JP2007254030A/en active Pending
-
2007
- 2007-01-23 KR KR1020070006941A patent/KR20070095184A/en not_active Application Discontinuation
- 2007-01-24 TW TW096102623A patent/TW200806124A/en unknown
- 2007-02-12 CN CNA200710005549XA patent/CN101041282A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100980326B1 (en) * | 2008-09-08 | 2010-09-06 | (주)에이에스티 | Dissolution system |
CN109302798A (en) * | 2017-07-25 | 2019-02-01 | 深圳市欧亚建设工程有限公司 | Thin plate support construction |
Also Published As
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