KR20070075849A

KR20070075849A - Plasma display panel

Info

Publication number: KR20070075849A
Application number: KR1020060004538A
Authority: KR
Inventors: 김범준; 이수면
Original assignee: 엘지전자 주식회사
Priority date: 2006-01-16
Filing date: 2006-01-16
Publication date: 2007-07-24

Abstract

A plasma display panel is provided to decrease a driving voltage of large sized panel by depositing DLC on a dielectric protective layer for increasing an emission coefficient of secondary electrons of the dielectric protective layer. A plasma display panel includes an upper substrate(10) having plural electrodes, a dielectric layer and a dielectric protective layer(15) protecting the dielectric layer, and a lower substrate positioned opposite to the upper substrate and having barrier ribs for defining discharge cells. DLC(Diamond Like Carbon) is deposited on the dielectric protective layer to increase an emission coefficient of secondary electrons through plasma enhanced chemical vapor deposition.

Description

플라즈마 디스플레이 패널 {Plasma display panel}Plasma Display Panel {Plasma display panel}

도 1은 종래 기술에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 구성이 도시된 구성도,1 is a block diagram showing a configuration of a plasma display panel according to the prior art,

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 DLC층의 이차전자 방출계수(γ)를 나타내는 그래프, 2 is a graph showing a secondary electron emission coefficient (γ) of a DLC layer according to an embodiment of the present invention;

도 3은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 상부기판을 도시한 사시도이다.3 is a perspective view illustrating an upper substrate of a plasma display panel according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명><Explanation of symbols on main parts of the drawings>

10 : 상부기판 11 : 상부글라스10: upper substrate 11: upper glass

12 : 스캔전극 13 : 서스테인 전극12 scan electrode 13 sustain electrode

14 : 상부 유전체층 15 : 유전체 보호막14 upper dielectric layer 15 dielectric protective film

20 : 하부기판 21 : 하부글라스20: lower substrate 21: lower glass

22 : 어드레스 전극 23 : 하부 유전체층 22: address electrode 23: lower dielectric layer

24: 가로/세로 격벽 25 : 형광체24: horizontal and vertical bulkhead 25: phosphor

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로서, 특히 상기 패널 상부기판의 유전체 보호층에 DLC(Diamond Like Carbon)층을 형성하여 줌으로서, 상기 유전체 보호층의 이차전자 방출계수(γ)를 증가시켜 상기 패널의 방전효율을 증가시킬수 있는 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것이다.The present invention relates to a plasma display panel, and in particular, by forming a DLC (Diamond Like Carbon) layer on a dielectric protective layer of the upper substrate of the panel, thereby increasing the secondary electron emission coefficient (γ) of the dielectric protective layer. It relates to a plasma display panel that can increase the discharge efficiency of the.

도 1은 종래 기술에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 구성이 도시된 구성도이다.1 is a block diagram showing a configuration of a plasma display panel according to the prior art.

도 1에 도시된 바와 같이, 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널은 기본적으로 상부기판(10) 및 하부기판(20)을 포함하여 구성된다. As shown in FIG. 1, a general plasma display panel basically includes an upper substrate 10 and a lower substrate 20.

상기 상부기판(10)에는 상부글라스(11)위에 스캔전극 및 서스테인 전극(12, 13)이 형성되며, 형성된 상기 전극(12, 13)의 상단에 유전체(14) 및 유전체 보호층(15)이 차례로 형성된다.Scan electrodes and sustain electrodes 12 and 13 are formed on the upper glass 11 on the upper substrate 10, and a dielectric 14 and a dielectric protective layer 15 are formed on top of the formed electrodes 12 and 13. It is formed in turn.

상기 하부기판(20)에는 하부글라스(21)위에 데이터 신호를 전달하는 어드레스 전극(22)이 형성되며, 상기 어드레스 전극(22)의 상단에 유전체층(23)이 형성되고, 형성된 상기 유전체층(23)의 상단에는 방전공간을 구획하는 격벽(24)이 차례로 구비된다.An address electrode 22 is formed on the lower substrate 20 to transmit a data signal on the lower glass 21. A dielectric layer 23 is formed on the address electrode 22, and the dielectric layer 23 is formed. At the top of the partition wall 24 is provided, which in turn partitions the discharge space.

상기 방전공간에는 형광체(25)가 도포되어 상기 각 전극(12, 13, 22)으로 전압이 인가되어 방전이 발생하면 상기 형광체(25)가 여기 및 발광하여 자외선을 방 출하게 된다.Phosphor 25 is coated in the discharge space, and a voltage is applied to each of the electrodes 12, 13, and 22, and when discharge occurs, the phosphor 25 excites and emits light to emit ultraviolet rays.

여기서, 상기 유전체층 보호막(24)은 MgO로 막이 구성되는데, 상기 MgO를 이용하여 상기 패널의 방전시 필요한 2차 전자를 많이 방출하게 함으로서 방전전압을 낮추는 기능을 하게 된다.Here, the dielectric layer protective film 24 is composed of a film of MgO, by using the MgO to discharge a lot of secondary electrons required for the discharge of the panel serves to lower the discharge voltage.

그러나, 종래 기술에 의한 플라즈마 디스플레이 패널의 유전체층 보호막은 상기 패널이 대면적과 고해상도로 가면서 상기 방전전압이 상승하게 되는 문제점이 있다.However, the dielectric layer protective film of the plasma display panel according to the related art has a problem in that the discharge voltage is increased while the panel has a large area and a high resolution.

따라서, 상기 MgO보다 더 높은 이차전자 방출계수(γ)로 상기 방전전압을 감소시키는 것이 필요로 하게 된다.Therefore, it is necessary to reduce the discharge voltage with a secondary electron emission coefficient? Higher than the MgO.

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 특히 플라즈마 디스플레이 패널의 유전체 보호막위에 이차전자 방출계수(γ)가 더 높은 DLC 층을 증착하여 줌으로서 대면적과 고해상도에 요구되는 높은 방전전압을 감소시킬 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널을 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art, and in particular, by depositing a DLC layer having a higher secondary electron emission coefficient (γ) on a dielectric protective film of a plasma display panel, a large area and high resolution required It is an object of the present invention to provide a plasma display panel capable of reducing a discharge voltage.

상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널은 다수개의 전극 및 유전체 층과, 상기 유전체 층을 보호하는 유전체 보호막을 포함하는 상부기판과, 상기 상부기판과 대향하여 형성되고 방전 셀을 구획하는 격벽을 포함하는 하부기판이 합착되어 구성된 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서, 상기 상부기판의 유전체 보호막 위에 이차전자 방출 계수량을 높이기 위해 DLC(Diamond Like Carbon)를 증착하여 주는 것을 특징으로 한다.The plasma display panel according to the present invention for solving the above problems is formed with a plurality of electrodes and a dielectric layer, an upper substrate including a dielectric protective film for protecting the dielectric layer, facing the upper substrate and partition the discharge cells In a plasma display panel including a lower substrate including a partition wall, the DLC (Diamond Like Carbon) is deposited on the dielectric protective layer of the upper substrate to increase secondary electron emission coefficient.

여기서, 상기 DLC(Diamond Like Carbon)는 상기 상부기판의 전극위에 증착되고, PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)방식으로 증착되는 것을 특징으로 한다.Here, the DLC (Diamond Like Carbon) is deposited on the electrode of the upper substrate, characterized in that the deposition by PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) method.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 DLC층의 이차전자 방출계수(γ)를 나타내는 그래프이고, 도 3은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 상부기판을 도시한 사시도이다.2 is a graph showing the secondary electron emission coefficient (γ) of the DLC layer according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a perspective view showing an upper substrate of the plasma display panel according to the present invention.

플라즈마 디스플레이 패널은 패널 내부의 가스를 방전시켜 발생하는 진공자외선(VUV)이 패널내부의 형광체와 충돌하여 빛을 발생시키는 표시장치로서, 플라즈마 디스플레이 패널의 전면기판에 구비되는 스캔전극, 서스테인 전극과 배면기판에 구비되는 어드레스 전극으로 적절하게 인가하여 방전을 발생시켜 화면을 표시한다.A plasma display panel is a display device in which a vacuum ultraviolet light (VUV) generated by discharging gas inside a panel collides with a phosphor inside the panel to generate light. The plasma display panel includes a scan electrode, a sustain electrode, and a rear surface of the plasma display panel. The screen is displayed by generating a discharge by appropriately applying to the address electrodes provided on the substrate.

즉, 상기 스캔전극 및 어드레스 전극으로 반대 극성을 가지는 전압을 인가하여 방전을 발생될 셀(cell)을 선택하고, 상기 스캔전극, 서스테인 전극 및 어드레스 전극으로 같은 크기의 전압을 교번적으로 인가하여 방전을 발생시킨다.That is, a cell to generate a discharge is selected by applying a voltage having opposite polarities to the scan electrode and the address electrode, and discharges by alternately applying the same size voltage to the scan electrode, the sustain electrode and the address electrode. Generates.

여기서 상기와 같이 구성된 플라즈마 디스플레이 패널의 전면기판과 배면기판을 실(seal)재에 의해 접합을 하게 되는데, 상기 전면기판의 블랙매트릭스와 상 기 배면기판의 격벽이 접합되고, 상기 격벽 사이에서 방전이 발생하게 된다.Here, the front substrate and the rear substrate of the plasma display panel configured as described above are bonded to each other by a seal material. The black matrix of the front substrate and the partition wall of the rear substrate are bonded to each other, and discharge is generated between the partition walls. Will occur.

따라서, 방전에 의하여 진공자외선(VUV)이 발생하면, 상기 진공자외선은 상기 방전공간내부에 도포된 형광체를 여기/발광시켜 가시광선이 발생되어 사용자들에게 화면을 통하여 영상을 보여주게 된다.Therefore, when a vacuum ultraviolet ray (VUV) is generated by discharge, the vacuum ultraviolet ray excites / lights up a phosphor coated in the discharge space to generate visible light, thereby showing an image to users through a screen.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시 예에 따른 DLC(Diamond Like Carbon)층은 일반적으로 사용되는 이차전자 방출을 위한 물질(B)보다 방전전압 즉, 구동전압이 상승할수록 더 높은 이차전자 방출계수(γ, A)를 가진 물질로 구성되어 진다.As shown in FIG. 2, the DLC layer according to an embodiment of the present invention has a higher secondary voltage as the discharge voltage, that is, the driving voltage, is higher than the material B used for secondary electron emission. It consists of a material with an electron emission coefficient (γ, A).

여기서, 상기 이차전자 방출계수(γ)는 높을수록 상기 패널의 전극표면에서 이온충돌을 많이 발생하여 상기 플라즈마 디스플레이 패널의 방전 전압을 낮추어주고 상기 플라스마의 생성을 잘시켜주게 된다. Here, the higher the secondary electron emission coefficient (γ), the more ion collision occurs at the electrode surface of the panel, thereby lowering the discharge voltage of the plasma display panel and making the plasma well generated.

그리고, 상기 DLC(Diamond Like Carbon)는 각종 디스플레이 패널에 다이아몬드의 sp3결합과 그래파이트의 sp2결합의 둘 다를 포함하고 있고, 결정된 결정 구조를 갖지 않는 아몰퍼스 구조로 되어 있으며, 경질피막가운데서는 고 경도로 우수한 내마모성과 극단으로 낮은 마찰계수를 가진 트라이 볼로지 특성에 우수한 경질막으로서 특성을 가진다.In addition, the DLC (Diamond Like Carbon) includes both sp3 bonds of diamond and sp2 bonds of graphite in various display panels, has an amorphous structure having no crystal structure, and is excellent in high hardness in a hard film. It has the characteristics as a hard film excellent in the tribological property with wear resistance and extremely low coefficient of friction.

또한, 상기 DLC(Diamond Like Carbon)의 성막방식으로는 기체상의 벤젠(C6H6)을 사용하는 이온 증착 방식, 직접고체 카본(Carbon)원을 사용하는 아크방전방식, 메탄(CH4)가스등을 이용하는 플라즈마 CVD(Chemical Vapor Deposition)방식 등이 있으나, 상기 본 발명에서는 양산성이 우수한 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)방식을 이용하기로 하여 이하 설명한다.In addition, as the deposition method of the DLC (Diamond Like Carbon), ion deposition using gaseous benzene (C6H6), arc discharge using a direct solid carbon (Carbon) source, plasma CVD using methane (CH4) gas, etc. (Chemical Vapor Deposition) method, etc., but the present invention will be described below by using a Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) method having excellent mass productivity.

여기서, 상기 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)방식은 상기 CVD방식의 한 종류로서 일반 CVD보다 플라즈마의 역할로 인하여 저온에서 성박가능하고, 챔버(Chamber)안에 기판을 넣고 일정반응온도(보통은 400도 이하)상태에서 플라즈마를 시키는 방식이다.The Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) method is a type of the CVD method, which can be formed at a low temperature due to the role of plasma than general CVD, and has a constant reaction temperature (usually 400 degrees) by placing a substrate in a chamber. The plasma is applied in the following state.

상기 플라즈마는 중성자, 양이온, 전자 세 가지의 형태가 평형을 이루고 있는 상태를 말하는 것으로서, 상기 플라즈마에 의하여 이온분해가 일어나고 상기 이온들의 활성화로 인하여 더 좋은 막을 만들어 내게 된다.The plasma refers to a state in which three forms of neutrons, cations, and electrons are in equilibrium, and ionization occurs by the plasma, and a better film is generated due to activation of the ions.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 상기 상부기판(10)에는 상부글라스(11)위에 스캔전극 및 서스테인 전극(12, 13)이 형성되며, 상기 전극(12, 13)의 상단에 유전체(14) 및 유전체 보호층(15)이 차례로 형성되고, 상기 유전체 보호층(14)위에 DLC(Diamond Like Carbon)층이 형성되게 된다.As shown in FIG. 3, scan electrodes and sustain electrodes 12 and 13 are formed on the upper glass 11 on the upper substrate 10 of the plasma display panel according to the present invention. A dielectric 14 and a dielectric protective layer 15 are sequentially formed on the top of the substrate, and a DLC (Diamond Like Carbon) layer is formed on the dielectric protective layer 14.

여기서, 상기 DLC(Diamond Like Carbon)층은 상기 상부기판(10)의 전극 즉, 스캔전극과 서스테인전극(12, 13)위에 형성되게 되는데, 이는 상기 DLC(Diamond Like Carbon)층의 불투명을 개선하기 위하여 상기 상부기판(10)의 Ag전극(12, 13)위에 형성하여 주게 된다.The DLC layer may be formed on the electrodes of the upper substrate 10, that is, the scan electrode and the sustain electrodes 12 and 13, to improve the opacity of the DLC layer. In order to form the Ag electrode 12, 13 of the upper substrate 10 for.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널은 상부기판의 유전체 보호층위에 CH4를 이용한 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)방식으로 이차전자 방출계수(γ)가 높은 DLC(Diamond Like Carbon)층을 성막하여 줌으로서 상기 플라즈마 디스플레이 패널의 대면적과 고화질에 요구되는 높은 방전전압을 감소시켜주게 된다. The plasma display panel according to the present invention configured as described above forms a DLC (Diamond Like Carbon) layer having a high secondary electron emission coefficient (γ) by PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) using CH4 on the dielectric protective layer of the upper substrate. In this way, the high discharge voltage required for the large area and the high image quality of the plasma display panel can be reduced.

이상과 같이 본 발명에 의한 플라즈마 디스플레이 패널을 예시된 도면을 참조로 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시예와 도면에 의해 본 발명은 한정되지 않고, 기술사상이 보호되는 범위 이내에서 응용될 수 있다. As described above, the plasma display panel according to the present invention has been described with reference to the illustrated drawings, but the present invention is not limited by the embodiments and the drawings disclosed herein, and may be applied within the scope of the technical idea.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널은 상기 패널 상부기판의 유전체층을 보호하는 유전체보호막의 이차전자 방출계수(γ)를 증가시켜 대면적의 플라즈마 디스플레이 패널 사용시 구동전압을 감소시킴과 동시에 방전효율을 증가시키고, 이로 인하여 상기 패널 제품의 신뢰도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.Plasma display panel according to the present invention is configured as described above to increase the secondary electron emission coefficient (γ) of the dielectric protective film for protecting the dielectric layer of the panel upper substrate to reduce the driving voltage and discharge at the same time when using a large area plasma display panel Increasing the efficiency, thereby improving the reliability of the panel product.

Claims

다수개의 전극 및 유전체 층과, 상기 유전체 층을 보호하는 유전체 보호막을 포함하는 상부기판과,An upper substrate comprising a plurality of electrodes and a dielectric layer, and a dielectric protective film protecting the dielectric layer;

상기 상부기판과 대향하여 형성되고 방전 셀을 구획하는 격벽을 포함하는 하부기판이 합착되어 구성된 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서,A plasma display panel comprising a lower substrate formed to face the upper substrate and including a partition wall partitioning a discharge cell, wherein the lower substrate is bonded to the upper substrate.

상기 상부기판의 유전체 보호막 위에 이차전자 방출 계수량을 높이기 위해 DLC(Diamond Like Carbon)를 증착하여 주는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.Plasma display panel, characterized in that to deposit a DLC (Diamond Like Carbon) to increase the secondary electron emission coefficient on the dielectric protective film of the upper substrate.

청구항 1에 있어서,The method according to claim 1,

상기 DLC(Diamond Like Carbon)는 상기 상부기판의 전극위에 증착되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.The DLC (Diamond Like Carbon) is deposited on the electrode of the upper substrate plasma display panel.

청구항 2에 있어서,The method according to claim 2,

상기 DLC(Diamond Like Carbon)는 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)방식으로 증착되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.The DLC (Diamond Like Carbon) is a plasma display panel characterized in that the deposition by PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) method.