KR20070023313A - Vacuum Envelop and Electron Emission Display Device Using The Same - Google Patents

Abstract

조립의 정밀도를 향상시키고 구조물의 설치 위치를 정밀하게 제어하는 것이 가능하도록, 소정의 간격을 두고 대향 배치되는 제1기판 및 제2기판을 포함하고, 제1기판 또는 제2기판에는 조립을 위한 조립 위치 및 각종 구조물의 설치 위치를 나타내는 복수의 위치표시가 형성된 진공용기를 제공한다.In order to improve the accuracy of assembly and to precisely control the installation position of the structure, it includes a first substrate and a second substrate facing each other at a predetermined interval, the first substrate or the second substrate is assembled for assembly Provided is a vacuum container having a plurality of position marks indicating the position and the installation position of various structures.

전자 방출 소자, 위치표시, 얼라인 마크, 조립, 배기관, 외곽 스페이서, 자동화, 표준화, 진공용기 Emission element, position indication, align mark, assembly, exhaust pipe, outer spacer, automation, standardization, vacuum container

Description

진공용기 및 이를 이용한 전자 방출 표시 디바이스 {Vacuum Envelop and Electron Emission Display Device Using The Same}Vacuum vessel and electron emission display device using the same {Vacuum Envelop and Electron Emission Display Device Using The Same}

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 진공용기를 적용한 전자 방출 표시 디바이스의 일실시예를 나타내는 부분확대 사시도이다.1 is a partially enlarged perspective view showing an embodiment of an electron emission display device to which a vacuum container according to an embodiment of the present invention is applied.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 진공용기를 적용한 전자 방출 표시 디바이스의 일실시예를 나타내는 부분확대 단면도이다.2 is a partially enlarged cross-sectional view showing an embodiment of an electron emission display device to which a vacuum container according to an embodiment of the present invention is applied.

도 3은 본 발명에 따른 전자 방출 표시 디바이스의 일실시예에 있어서 제1기판에 위치표시를 형성한 상태를 나타내는 사시도이다.3 is a perspective view illustrating a state in which a position display is formed on a first substrate in an embodiment of an electron emission display device according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 전자 방출 표시 디바이스의 일실시예에 있어서 위치표시의 음각패턴을 나타내는 평면도이다.4 is a plan view illustrating an intaglio pattern of a position display according to an exemplary embodiment of the electron emission display device according to the present invention.

도 5는 본 발명에 따른 전자 방출 표시 디바이스의 일실시예에 있어서 위치표시의 양각패턴을 나타내는 평면도이다.5 is a plan view illustrating an embossed pattern of a position display according to an embodiment of the electron emission display device according to the present invention.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 진공용기를 적용한 전자 방출 표시 디바이스의 다른 실시예를 나타내는 부분확대 단면도이다.6 is a partially enlarged cross-sectional view showing another embodiment of an electron emission display device to which a vacuum container according to an embodiment of the present invention is applied.

도 7은 본 발명의 실시예에 따른 진공용기를 적용한 전자 방출 표시 디바이스의 다른 실시예에 있어서 전극의 구조를 나타내는 부분확대 평면도이다.7 is a partially enlarged plan view illustrating a structure of an electrode in another embodiment of an electron emission display device to which a vacuum container according to an embodiment of the present invention is applied.

본 발명은 진공용기에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 위치표시를 형성하는 것에 의하여 조립 정밀도를 향상시켜 제조공정의 자동화 및 표준화 효율을 크게 향상시킬 수 있는 진공용기와 이를 이용한 전자 방출 표시 디바이스에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum container, and more particularly, to a vacuum container and an electron emission display device using the same, which can improve assembly accuracy by forming a position display and greatly improve the automation and standardization efficiency of the manufacturing process. .

일반적으로 전자 방출 소자(Electron Emission Device)는 전자원의 종류에 따라 열음극(hot cathode)을 이용하는 방식과 냉음극(cold cathode)을 이용하는 방식으로 분류할 수 있다. 상기에서 냉음극을 이용하는 방식의 전자 방출 소자로는 전계방출 어레이(FEA;Field Emitter Array)형, 표면전도 에미션(SCE;Surface-Conduction Emission)형, 금속-유전층-금속(MIM;Metal-Insulator-Metal)형 및 금속-유전층-반도체(MIS;Metal-Insulator-Semiconductor)형, 발리스틱(BSE;Ballistic electron Surface Emitting)형 등이 알려져 있다.In general, an electron emission device may be classified into a method using a hot cathode and a cold cathode according to the type of electron source. The electron emission device using the cold cathode may include a field emitter array (FEA) type, a surface conduction emission type (SCE) type, and a metal-dielectric layer-metal (MIM) type. Metal-type, metal-insulator-semiconductor (MIS) type, ballistic electron surface emitting (BSE) type, and the like are known.

상기에서 FEA형 전자 방출 소자는 일 함수(work function)가 낮거나 종횡비가 큰 물질을 전자방출원으로 사용할 경우 진공 중에서 전계에 의하여 쉽게 전자가 방출되는 원리를 이용한 것으로, 몰리브덴(Mo) 또는 실리콘(Si) 등을 주 재질로 하는 선단이 뾰족한 팁 구조물이나 흑연, 다이아몬드상 카본(DLC) 등의 탄소계 물질 및 나노튜브(nano tube)나 나노와이어(nano wire) 등의 나노물질을 전자방출원으로 적용하는 기술이 개발되고 있다.The FEA type electron emission device uses a principle that electrons are easily emitted by an electric field in vacuum when a material having a low work function or a large aspect ratio is used as the electron emission source, and molybdenum (Mo) or silicon ( An electron emission source is a tip structure having a sharp tip (Si) or the like, carbonaceous materials such as graphite or diamond-like carbon (DLC), and nanomaterials such as nanotubes or nanowires. Application techniques are being developed.

상기 전자 방출 소자를 이용한 전자 방출 표시 디바이스의 전형적인 구조는, 서로 대향하는 두 기판 중 제1기판 위에 전자방출부가 형성되고, 전자방출부의 전 자 방출을 제어하는 구동 전극들로 캐소드 전극과 게이트 전극이 형성되며, 제1기판에 대향하는 제2기판의 일면에 형광층과 더불어 형광층을 고전위 상태로 유지시키는 애노드 전극이 형성되는 구성으로 이루어진다.A typical structure of an electron emission display device using the electron emission element includes an electron emission portion formed on a first substrate of two substrates facing each other, and driving electrodes for controlling electron emission of the electron emission portion. The anode is formed on one surface of the second substrate opposite to the first substrate, and an anode electrode for maintaining the fluorescent layer in a high potential state is formed.

상기 제1기판과 제2기판은 밀봉부재에 의해 가장자기가 일체로 접합된 다음, 전자의 방출과 이동이 원활하게 이루어지도록 내부가 진공상태로 배기되어 진공용기를 구성한다. 이러한 진공용기에는 내부와 외부의 압력 차이에 의한 강한 압축력이 작용하므로, 압축력에 의한 파손을 방지하기 위하여 진공용기 내부에 복수의 스페이서가 설치된다.The first substrate and the second substrate are integrally bonded to each other by a sealing member, and then the inside of the first substrate and the second substrate are evacuated in a vacuum state so as to facilitate the emission and movement of electrons to constitute a vacuum container. Since a strong compressive force is applied to the vacuum vessel due to the pressure difference between the inside and the outside, a plurality of spacers are installed inside the vacuum vessel to prevent breakage due to the compressive force.

종래의 전자 방출 표시 디바이스에 있어서, 제1기판과 제2기판을 조립하는 경우 서로의 조립위치를 정확하게 위치 정렬하는 것이 매우 어렵다.In the conventional electron emission display device, when assembling the first substrate and the second substrate, it is very difficult to accurately align the assembling positions with each other.

나아가 제1기판 또는 제2기판에 각종 구조물(예를 들면 외곽 스페이서, 배기관, 게터 등)을 정확한 위치에 설치하는 것이 어렵다.Furthermore, it is difficult to install various structures (eg, outer spacers, exhaust pipes, getters, etc.) at the correct position on the first substrate or the second substrate.

상기와 같이 제1기판과 제2기판 사이의 위치 정렬이 정확하게 이루어지지 않게 되면, 화소의 발광이 정확하고 균일하게 이루어지지 않으므로 화질의 품질이 저하된다는 문제가 있다.If the position alignment between the first substrate and the second substrate is not accurate as described above, there is a problem that the quality of the image quality is deteriorated since the light emission of the pixel is not made accurately and uniformly.

그리고 각종 구조물의 설치 위치가 정확하게 이루어지지 않는 경우에는 구조물 사이에 간섭이 발생할 우려가 있으며, 구조물에 의하여 유효화면부의 화소를 사용하지 못하게 될 우려도 있다.In addition, when the installation positions of the various structures are not made correctly, interference may occur between the structures, and the structures may not use pixels of the effective screen unit.

본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 제1기판 및/또는 제2기판에 조립을 위한 위치표시 및 각종 구조물을 설치하기 위한 위치표시를 형성하는 것에 의하여 조립의 정밀도를 향상시키고 구조물의 설치 위치를 정밀하게 제어하는 것이 가능한 진공용기와 이를 이용한 전자 방출 표시 디바이스를 제공하기 위한 것이다.An object of the present invention is to solve the above problems, to improve the precision of assembly by forming a position mark for assembling and the installation of various structures on the first substrate and / or the second substrate; The present invention provides a vacuum container capable of precisely controlling the installation position of a structure and an electron emission display device using the same.

본 발명이 제안하는 진공용기는 소정의 간격을 두고 대향 배치되는 제1기판 및 제2기판을 포함하고, 상기 제1기판 및/또는 제2기판에는 조립 위치 및 각종 구조물의 설치 위치를 나타내는 복수의 위치표시가 형성된다.The vacuum container proposed by the present invention includes a first substrate and a second substrate which are disposed to face each other at a predetermined interval, and the first substrate and / or the second substrate have a plurality of markings indicating an assembly position and installation positions of various structures. A location mark is formed.

상기 위치표시는 상기 제1기판과 제2기판의 조립 위치를 표시하는 조립용 위치표시, 배기관의 설치 위치를 표시하는 배기관용 위치표시, 게터의 설치 위치를 표시하는 게터용 위치표시, 유효화면부의 외곽에 설치되는 외곽 스페이서의 설치 위치를 표시하는 스페이서용 위치표시 등을 포함한다.The position display is an assembly position display for displaying the assembly position of the first substrate and the second substrate, an exhaust pipe position display for displaying the installation position of the exhaust pipe, a getter position display for displaying the installation position of the getter, effective screen portion It includes a position indicator for the spacer for indicating the installation position of the outer spacer to be installed on the outer.

상기 위치표시의 형상은 사각형, 삼각형, 원형, 마름모형, 고리(ring)형, "ㄱ"형, "ㅡ"형, "ㅣ"형, "+"형 등 다양한 형상으로 형성하는 것이 가능하다.The shape of the position display may be formed in various shapes such as square, triangle, circle, rhombus, ring type, "a" type, "-" type, "|" type, and "+" type.

또 상기 위치표시는 음각패턴으로 형성하는 것도 가능하고, 양각패턴으로 형성하는 것도 가능하다.The position display may be formed in an intaglio pattern, or may be formed in an embossed pattern.

그리고 본 발명이 제안하는 전자 방출 표시 디바이스는 상기한 진공용기와, 상기 제1기판 상에 형성되는 전자 방출 유닛과, 상기 제2기판 상에 형성되는 발광 유닛을 포함하여 이루어진다.The electron emission display device proposed by the present invention includes the vacuum container, the electron emission unit formed on the first substrate, and the light emission unit formed on the second substrate.

다음으로 본 발명에 따른 진공용기와 이를 이용한 전자 방출 표시 디바이스 의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세하게 설명하다.Next, a preferred embodiment of the vacuum container and the electron emission display device using the same according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1∼도 5는 본 발명의 실시예에 따른 진공용기를 적용한 전자 방출 표시 디바이스의 일실시예로서 FEA형 전자 방출 소자를 전자 방출 유닛에 포함하는 경우를 나타내며, 도 6∼도 7은 본 발명의 실시예에 따른 진공용기를 적용한 전자 방출 표시 디바이스의 다른 실시예로서 SCE형 전자 방출 소자를 전자 방출 유닛에 포함하는 경우를 나타낸다.1 to 5 show a case in which an FEA type electron emission device is included in an electron emission unit as an embodiment of an electron emission display device to which a vacuum container according to an embodiment of the present invention is applied, and FIGS. 6 to 7 illustrate the present invention. As another embodiment of the electron emission display device to which the vacuum container according to the embodiment of the present invention is applied, an SCE type electron emission element is included in the electron emission unit.

먼저 도 1∼도 2에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 진공용기를 적용한 전자 방출 표시 디바이스는 소정의 간격을 두고 대향 배치되는 제1기판(20) 및 제2기판(22)과, 상기 제1기판(20) 상에 소정의 간격으로 형성되는 복수의 캐소드 전극인 제1전극(24)과, 제1절연층(25)을 사이에 두고 상기 제1전극(24) 위에 교차하는 패턴으로 형성되는 복수의 게이트 전극인 제2전극(26)과, 상기 제2전극(26)과 교차하는 부분의 제1전극(26) 위에 형성되는 전자방출부(28)와, 상기 제2기판(22) 상에 형성되는 애노드 전극(30)과, 상기 애노드 전극(30)의 일면에 소정의 패턴으로 형성되는 형광막(33)과, 상기 제1기판(20)과 제2기판(22) 사이에 설치되고 상기 전자방출부(28)를 벗어난 위치에 설치되는 스페이서(60)와, 제2절연층(50)을 사이에 두고 상기 제1기판(20)의 제1전극(24) 및 제2전극(26) 위에 형성되며　상기 전자방출부(28)에서 방출된 전자빔이 통과하는 빔통과공(41)이 소정의 패턴으로 배열되어 형성되는 집속전극(40)을 포함하여 이루어진다.First, as shown in FIGS. 1 and 2, an electron emission display device to which a vacuum container according to an exemplary embodiment of the present invention is applied includes a first substrate 20 and a second substrate 22 disposed to face each other at a predetermined interval; A pattern intersecting the first electrode 24, which is a plurality of cathode electrodes formed on the first substrate 20 at predetermined intervals, and the first electrode 24 with the first insulating layer 25 therebetween. A second electrode 26, which is a plurality of gate electrodes formed of the plurality of gate electrodes, an electron emission unit 28 formed on the first electrode 26 at a portion intersecting the second electrode 26, and the second substrate ( 22, an anode electrode 30 formed on the surface, a phosphor film 33 formed on a surface of the anode electrode 30 in a predetermined pattern, and between the first substrate 20 and the second substrate 22. A first electrode 24 of the first substrate 20 and a spacer 60 interposed therebetween and a second insulating layer 50 interposed therebetween. It formed on the second electrode 26, and comprises a focusing electrode 40 that is the beam passage hole 41 for the electron beams emitted from the electron-emitting portion 28 passes through is formed is arranged in a predetermined pattern.

상기 집속전극(40)은 포커싱(focusing)전극으로서 상기 전자방출부(28)에서 방출되는 전자빔의 집속 성능을 높이는 역할과 애노드 전극(30)의 전계를 차폐하는 역할을 한다. 상기 집속전극(40)은 제2게이트 전극으로 기능하는 것도 가능하다.The focusing electrode 40 serves as a focusing electrode to enhance the focusing performance of the electron beam emitted from the electron emission unit 28 and to shield the electric field of the anode electrode 30. The focusing electrode 40 may also function as a second gate electrode.

상기 집속전극(40)과 게이트 전극인 제2전극(26) 사이에는 전기적인 절연을 위하여 제2절연층(50)을 형성한다. 상기 제2절연층(50)에는 상기 전자방출부(28)에 대응되는 위치에 빔통과공을 형성한다.A second insulating layer 50 is formed between the focusing electrode 40 and the second electrode 26 as a gate electrode for electrical insulation. Beam passing holes are formed in the second insulating layer 50 at positions corresponding to the electron emission units 28.

상기에서 제1전극(24) 및 제2전극(26)과, 전자방출부(28), 집속전극(40)은 제2기판(22)을 향하여 실제 전자를 방출하는 전자 방출 유닛을 구성한다.In the above, the first electrode 24 and the second electrode 26, the electron emission unit 28, and the focusing electrode 40 constitute an electron emission unit that emits actual electrons toward the second substrate 22.

그리고 애노드 전극(30)과 형광막(32)은 상기 전자 방출 유닛에서 방출된 전자에 의해 발광하는 발광 유닛을 구성한다.The anode electrode 30 and the fluorescent film 32 constitute a light emitting unit that emits light by electrons emitted from the electron emission unit.

상기 제1전극(24) 및 제2전극(26)은 스트라이프 패턴으로 형성하며, 서로 직교하는 방향으로 배열하여 형성한다. 예를 들면 상기 제1전극(24)은 도 1의 X축 방향을 따라 스트라이프 패턴으로 형성하고, 상기 제2전극(26)은 도 1의 Y축 방향을 따라 스트라이프 패턴으로 형성한다.The first electrode 24 and the second electrode 26 are formed in a stripe pattern and arranged in a direction perpendicular to each other. For example, the first electrode 24 is formed in a stripe pattern along the X-axis direction of FIG. 1, and the second electrode 26 is formed in a stripe pattern along the Y-axis direction of FIG. 1.

상기 제1전극(24) 및 제2전극(26)의 사이에는 제1기판(20)의 전체 면적에 걸쳐서 제1절연층(25)을 형성한다.A first insulating layer 25 is formed between the first electrode 24 and the second electrode 26 over the entire area of the first substrate 20.

상기에서 제1전극(24)과 제2전극(26)의 교차 영역을 화소 영역으로 정의하면, 캐소드 전극인 제1전극(24) 위로 각 화소 영역마다 하나 이상의 전자방출부(28)를 형성하고, 상기 제1절연층(25)과 게이트 전극인 제2전극(26)에는 각 전자방출부(28)에 대응하는 개구부를 형성하여 제1기판(20) 상에 전자방출부(28)가 노출되도록 한다.If the cross region of the first electrode 24 and the second electrode 26 is defined as the pixel region, at least one electron emission unit 28 is formed in each pixel region over the first electrode 24 as the cathode electrode. In addition, an opening corresponding to each electron emission part 28 is formed in the first insulating layer 25 and the second electrode 26 as a gate electrode, thereby exposing the electron emission part 28 on the first substrate 20. Be sure to

도면에서는 전자방출부(28)가 원형으로 형성되고, 각 화소 영역에서 제1전극 (24)의 길이 방향을 따라 일렬로 배열되는 구성으로 나타냈지만, 전자방출부(28)의 평면 형상과 화소 영역당 개수 및 배열 형태 등은 도면에 나타낸 예에 한정되지 않는다.In the figure, although the electron emission unit 28 is formed in a circular shape and arranged in a line along the length direction of the first electrode 24 in each pixel area, the planar shape and the pixel area of the electron emission unit 28 are shown. The number of sugars and the arrangement form are not limited to the examples shown in the drawings.

상기 전자방출부(28)는 진공 중에서 전계가 가해지면 전자를 방출하는 물질로써 탄소계 물질 또는 나노물질(나노미터 사이즈 물질)등으로 이루어진다. 상기 전자방출부(28)로 사용하는 바람직한 물질로는 흑연(graphite), 다이아몬드, 다이아몬드상 카본(DLC;Diamond Liked Carbon), C₆₀(fulleren) 등의 탄소계 물질 또는 탄소나노튜브(CNT;Carbon Nanotube), 흑연 나노파이버, 실리콘 나노와이어 등의 나노물질 및 이들의 조합 물질이 있다.The electron emission unit 28 is a material that emits electrons when an electric field is applied in a vacuum, and is made of a carbon-based material or a nanomaterial (nanometer size material). Preferred materials used for the electron emission unit 28 include carbon-based materials such as graphite, diamond, diamond like carbon (DLC), C ₆₀ (fulleren), or carbon nanotubes (CNT; Carbon). Nanotubes), graphite nanofibers, silicon nanowires and the like, and combinations thereof.

또 상기에서는 제1기판(20)에 캐소드 전극인 제1전극(24)을 형성하고 그 위에 제1절연층(25)을 사이에 두고 게이트 전극인 제2전극(26)을 형성하는 것으로 설명하였지만, 제1기판(20)에 게이트 전극인 제2전극(26)을 형성하고 그 위에 절연층을 사이에 두고 캐소드 전극인 제1전극(24)을 형성하는 것도 가능하다. 이 경우에는 제1전극(24)과 제2전극(26)의 교차영역 부분의 캐소드 전극인 제1전극(24) 표면에 직접 전자방출부(28)를 형성한다.In the above description, the first electrode 24 as the cathode electrode is formed on the first substrate 20, and the second electrode 26 as the gate electrode is formed with the first insulating layer 25 therebetween. It is also possible to form the second electrode 26 as the gate electrode on the first substrate 20 and to form the first electrode 24 as the cathode electrode with an insulating layer therebetween. In this case, the electron emission part 28 is directly formed on the surface of the first electrode 24 which is the cathode electrode of the cross region of the first electrode 24 and the second electrode 26.

그리고 상기 제1기판(20)에 대향하는 제2기판(22)의 일면에는 형광막(32)과 흑색영역(33)이 형성되고, 형광막(32)과 흑색영역(33) 일면에는 알루미늄과 같은 도전성을 갖는 금속막으로 이루어지는 애노드 전극(30)이 형성된다. 상기 애노드 전극(30)은 외부로부터 전자빔 가속에 필요한 고전압을 인가받으며, 형광막(32)에 서 방사된 가시광 중 제1기판(20)을 향해 방사된 가시광을 제2기판(22)쪽으로 반사시켜 화면의 휘도를 높이는 역할을 한다.A fluorescent film 32 and a black region 33 are formed on one surface of the second substrate 22 facing the first substrate 20, and aluminum and a surface of the fluorescent film 32 and the black region 33 are formed on one surface of the second substrate 22. An anode electrode 30 made of a metal film having the same conductivity is formed. The anode electrode 30 receives a high voltage necessary for accelerating the electron beam from the outside, and reflects the visible light emitted toward the first substrate 20 of the visible light emitted from the fluorescent film 32 toward the second substrate 22. It increases the brightness of the screen.

한편, 애노드 전극(30)은 금속막이 아닌 ITO(Indium Tin Oxide) 등과 같은 광투과율이 우수한 투명한 도전막으로 구성하는 것도 가능하다. 이 경우에는 상기 애노드 전극은 제2기판(22)을 향한 형광막(32)과 흑색영역(33)의 일면에 위치하며, 소정의 패턴으로 구분되어 복수개로 형성되는 것도 가능하다.Meanwhile, the anode electrode 30 may be formed of a transparent conductive film having excellent light transmittance, such as indium tin oxide (ITO), but not a metal film. In this case, the anode electrode is positioned on one surface of the fluorescent film 32 and the black region 33 facing the second substrate 22, and may be formed in plural in a predetermined pattern.

상기 제2기판(22)에 형성되는 형광막(32)은 적색(R) 형광막(32R), 녹색(G) 형광막(32G), 청색(B) 형광막(32B)을 소정의 간격을 두고 차례로 교대로 배열하여 이루어진다. 상기 각각의 형광막(32R), (32G), (32B) 사이에는 콘트라스트 향상을 위하여 흑색영역(33)을 형성한다.The fluorescent film 32 formed on the second substrate 22 has a predetermined interval between the red (R) fluorescent film 32R, the green (G) fluorescent film 32G, and the blue (B) fluorescent film 32B. And alternately arranged in turn. A black region 33 is formed between the fluorescent films 32R, 32G, and 32B to improve contrast.

상기 형광막(32)은 각 형광체가 소정의 패턴으로 배열되어 형성된다.The fluorescent film 32 is formed with each phosphor arranged in a predetermined pattern.

상기와 같이 구성되는 제1기판(20)과 제2기판(22)은 전자방출부(28)와 형광막(32)이 마주한 상태에서 소정의 간격을 두고 실링물질(frit)인 밀봉재(도면에 나타내지 않음)에 의해 접합되고, 그 사이에 형성되는 내부 공간은 배기시켜 진공상태를 유지하여 진공용기를 구성한다.The first substrate 20 and the second substrate 22 configured as described above are sealing materials that are sealing materials (frit) at predetermined intervals in a state where the electron emission unit 28 and the fluorescent film 32 face each other (as shown in the drawing). (Not shown), and the internal space formed therebetween is evacuated to maintain a vacuum state to constitute a vacuum container.

그리고 제1기판(20)과 제2기판(22)의 간격을 일정하게 유지시키기 위하여 상기 스페이서(60)를 제1기판(20)과 제2기판(22)의 사이에 소정의 간격으로 배열하여 설치한다. 상기 스페이서(60)는 화소의 위치 및 전자빔의 경로를 피하여 비발광 영역에 설치하는 것이 바람직하다.The spacer 60 is arranged at a predetermined interval between the first substrate 20 and the second substrate 22 in order to maintain a constant distance between the first substrate 20 and the second substrate 22. Install. The spacer 60 may be disposed in the non-light emitting area, avoiding the position of the pixel and the path of the electron beam.

상기 스페이서(60)는 도 1 내지 도 2에 나타낸 바와 같이,상기 제1기판(20) 과 제2기판(22)을 지지하여 일정한 간격을 유지하도록 설치된다.As shown in FIGS. 1 and 2, the spacer 60 supports the first substrate 20 and the second substrate 22 to maintain a constant distance.

그리고 본 발명에 따른 전자 방출 표시 디바이스의 일실시예는 도 3에 나타낸 바와 같이, 상기 제1기판(20)에는 조립 위치 및 각종 구조물의 설치 위치를 나타내는 복수의 위치표시(82), (84), (86), (88)를 형성한다.In addition, as shown in FIG. 3, the first substrate 20 includes a plurality of position indications 82 and 84 indicating assembly positions and installation positions of various structures, as shown in FIG. 3. , (86), (88).

상기 위치표시(82), (84), (86), (88)는 제1기판(20)과 제2기판(22)의 조립 위치를 표시하는 조립용 위치표시(82), 배기관의 설치 위치를 표시하는 배기관용 위치표시(84), 게터의 설치 위치를 표시하는 게터용 위치표시(86), 유효화면부의 외곽에 설치되는 외곽 스페이서의 설치 위치를 표시하는 스페이서용 위치표시(88) 등을 포함한다.The position indications 82, 84, 86, and 88 are assembly position indications 82 for indicating an assembly position of the first substrate 20 and the second substrate 22, and an installation position of the exhaust pipe. A position display 84 for displaying an exhaust pipe, a position display 86 for displaying a getter installation position, a position display 88 for a spacer indicating an installation position of an outer spacer installed on the outside of the effective screen portion, and the like. Include.

상기 조립용 위치표시(82), 배기관용 위치표시(84), 게터용 위치표시(86), 스페이서용 위치표시(88) 등에서 필요에 따라 하나이상(바람직하게는 2개 이상)을 선택하여 형성한다.One or more (preferably two or more) are formed in the assembly position display 82, the exhaust pipe position display 84, the getter position display 86, the spacer position display 88, etc. as necessary. do.

상기 위치표시(82), (84), (86), (88)는 필요에 따라 동일한 위치표시(82), (84), (86), (88)를 하나 또는 복수로 형성하며, 이는 각종 구조물이 설치되는 수 및 설치되는 길이에 따라 적절한 수로 선택하여 형성한다.The position marks 82, 84, 86, and 88 form the same position marks 82, 84, 86, and 88 in one or a plurality, as necessary. It is selected and formed in an appropriate number according to the number of structures to be installed and the length to be installed.

상기 위치표시(82), (84), (86), (88)는 구조물이 설치되는 전체 길이에 걸쳐 길게 형성하는 것도 가능하지만, 구조물이 설치되는 전체 길이를 복수로 나누어 부분적으로 일부에만 형성하는 것도 가능하다. 예를 들면 구조물이 설치되는 전체 길이 중에서 시작점과 끝점을 중점적으로 나타내도록 형성하는 것도 가능하고, 시작점과 중앙점, 끝점만을 형성하는 것도 가능하고, 파선 또는 점선 형태로 나타내 는 것도 가능하다.The position marks 82, 84, 86, and 88 may be formed long over the entire length of the structure, but are divided into a plurality of parts of the entire length of the structure, and only partially formed. It is also possible. For example, it is possible to form so as to focus on the starting point and the end point of the entire length of the structure is installed, it is possible to form only the starting point, the center point, the end point, it may be represented in the form of dashed line or dashed line.

상기 조립용 위치표시(82)는 제1기판(20)과 제2기판(22)을 조립하는 경우 유리막대나 프리트바(frit bar) 또는 프리트 글라스(frit glass) 등의 실링부재(64)가 설치되는 위치를 표시한다.The assembly position indicator 82 is provided with a sealing member 64 such as a glass rod, a frit bar, or frit glass when assembling the first substrate 20 and the second substrate 22. Mark the location.

상기 조립용 위치표시(82)는 제1기판(20)과 제2기판(22)의 위치를 정확하게 정렬하여 조립하기 위한 표시 기능도 수행하도록 구성하는 것이 바람직하다. 만약 상기 조립용 위치표시(82)로 제1기판(20)과 제2기판(22)의 조립 위치를 정확하게 정렬시키기 어렵다면, 별도의 위치정렬용 위치표시(도면에 나타내지 않음)를 형성하는 것도 가능하다.The assembly position display 82 is preferably configured to perform a display function for assembling the assembly of the position of the first substrate 20 and the second substrate 22 accurately. If it is difficult to accurately align the assembly position of the first substrate 20 and the second substrate 22 by the assembly position indicator 82, it is also possible to form a separate position alignment position indicator (not shown) It is possible.

상기 위치표시(82), (84), (86), (88)의 형상은 사각("□")형, 삼각("△")형, 원("○")형, 마름모("◇")형, 고리("◎")형, "ㄱ"형, "ㅡ"형, "ㅣ"형, "+"형 등 다양한 형상으로 형성하는 것이 가능하다.The position displays 82, 84, 86, and 88 have a rectangular ("□") shape, a triangular ("△") shape, a circle ("○") shape, a rhombus ("◇"). ), Ring ("◎") type, "a" type, "-" type, "ㅣ" type, it is possible to form in various shapes, such as "+" type.

상기 위치표시(82), (84), (86), (88)의 형상은 여러 종류 중에서 하나이상(바람직하게는 2개 이상)을 선택하여 형성하는 것이 바람직하고, 가능하면 서로 중복되지 않도록 많은 종류를 각 구조물에 대응 선택하여 형성하는 것이 바람직하다.The shape of the position indications 82, 84, 86, and 88 is preferably formed by selecting one or more (preferably two or more) from various types, and if possible, avoids overlapping each other. It is preferable to form and select the kind corresponding to each structure.

즉 상기 위치표시(82), (84), (86), (88)의 형상은 표시하고자 하는 구조물의 형상에 대응하여 적절한 형상을 선택하는 것이 바람직하다.That is, the shape of the position display (82), (84), (86), (88) is preferably selected to the appropriate shape corresponding to the shape of the structure to be displayed.

그리고 상기 위치표시(82), (84), (86), (88)는, 도 4에 나타낸 바와 같이 내부가 빈 상태로 외부 테두리만 착색을 하는 음각패턴으로 형성하는 것도 가능하고, 도 5에 나타낸 바와 같이 내부를 모두 착색하는 양각패턴으로 형성하는 것도 가능하다.The position displays 82, 84, 86, and 88 may be formed in an intaglio pattern in which only the outer edge is colored with the inside empty, as shown in FIG. As shown, it is also possible to form the embossed pattern which colors all the inside.

상기에서 양각패턴은 설치되는 구조물이 위치표시(82), (84), (86), (88) 위에 설치되는 경우에 바람직하고, 음각패턴은 위치표시(82), (84), (86), (88) 부근에 다른 구조물이 존재하는 경우에 이를 피하여 형성할 때에 사용하는 것이 바람직하다.In the above, the embossed pattern is preferable when the structure to be installed is installed on the position display (82), (84), (86), (88), the intaglio pattern is the position display (82), (84), (86) In the case of other structures in the vicinity of (88), it is preferable to use them when forming them.

상기 위치표시(82), (84), (86), (88)는 제1기판(20)에만 형성하는 것도 가능하고, 제2기판(22)에만 형성하는 것도 가능하며, 제1기판(20) 및 제2기판(22)에 모두 형성하는 것도 가능하다.The position indications 82, 84, 86, and 88 may be formed only on the first substrate 20, may be formed only on the second substrate 22, and may be formed on the first substrate 20. ) And the second substrate 22 can be formed.

그리고 본 발명에 따른 전자 방출 표시 디바이스의 다른 실시예는 도 6 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 소정의 간격을 두고 대향 배치되는 제1기판(20) 및 제2기판(22)과, 상기 제1기판(20) 상에 소정의 간격을 두고 서로 대향하여 형성되는 제1전극(72) 및 제2전극(74)과, 상기 제1전극(72) 및 제2전극(74)에 연결되어 형성되는 전자방출부(78)와, 상기 제2기판(22) 상에 형성되는 애노드 전극(30)과, 상기 애노드 전극(30)의 일면에 소정의 패턴으로 형성되는 형광막(32)과, 절연층(50)을 사이에 두고 상기 제1기판(20)의 제1전극(72) 및 제2전극(74) 위에 형성되며 상기 전자방출부(78)에서 방출된 전자빔이 통과하는 빔통과공(41)이 소정의 패턴으로 배열되어 형성되는 집속전극(40)과, 상기 제1기판(20)과 제2기판(22) 사이의 간격을 일정하게 유지하는 스페이서(60)를 포함하여 이루어진다.Another embodiment of the electron emission display device according to the present invention includes a first substrate 20 and a second substrate 22 disposed to face each other at a predetermined interval, as shown in FIGS. 6 and 7, and the first substrate. The first electrode 72 and the second electrode 74 formed to face each other at predetermined intervals on the substrate 20, and are connected to the first electrode 72 and the second electrode 74. An electron emission unit 78, an anode electrode 30 formed on the second substrate 22, a fluorescent film 32 formed in a predetermined pattern on one surface of the anode electrode 30, and an insulating layer A beam through hole 41 formed on the first electrode 72 and the second electrode 74 of the first substrate 20 with the 50 interposed therebetween and through which the electron beam emitted from the electron emission unit 78 passes. ) Includes a focusing electrode 40 formed by arranging a predetermined pattern, and a spacer 60 maintaining a constant gap between the first substrate 20 and the second substrate 22. Lose.

상기 제1전극(72)과 제2전극(74)은 상기 제1기판(20)의 동일 평면상에 형성된다.The first electrode 72 and the second electrode 74 are formed on the same plane of the first substrate 20.

상기에서 제1전극(72) 및 제2전극(74)에는 각각 표면의 일부를 덮으면서 서로 근접하도록 제1도전박막(73) 및 제2도전박막(75)을 형성하고, 상기 전자방출부(78)는 서로 근접하여 형성되는 상기 제1도전박막(73)과 제2도전박막(75) 사이에 상기 제1도전박막(73) 및 제2도전박막(75)과 연결되어 형성된다. 따라서 상기 전자방출부(78)는 제1도전박막(73) 및 제2도전박막(75)을 통하여 상기 제1전극(72) 및 제2전극(74)에 전기적으로 연결된다.In the first electrode 72 and the second electrode 74, the first conductive thin film 73 and the second conductive thin film 75 are formed so as to be close to each other while covering a part of the surface, respectively, and the electron emitting portion ( 78 is formed to be connected to the first conductive thin film 73 and the second conductive thin film 75 between the first conductive thin film 73 and the second conductive thin film 75 which are formed in close proximity to each other. Therefore, the electron emission unit 78 is electrically connected to the first electrode 72 and the second electrode 74 through the first conductive thin film 73 and the second conductive thin film 75.

상기에서 제1전극(72) 및 제2전극(74)에 각각 전압을 인가하면, 제1도전박막(73)과 제2도전박막(75)을 통하여 작은 면적의 박막으로 형성되는 전자방출부(78)의 표면과 수평으로 전류를 흐르면서 표면전도형 전자 방출이 이루어진다.When the voltage is applied to the first electrode 72 and the second electrode 74, respectively, the electron emission unit formed of a thin film having a small area through the first conductive thin film 73 and the second conductive thin film 75 ( Surface conduction electron emission takes place while current flows horizontally with the surface of 78).

상기 제1전극(72)과 제2전극(74) 사이의 간격은 대략 수십nm~수백㎛ 정도의 범위에서 설정한다.An interval between the first electrode 72 and the second electrode 74 is set in a range of about several tens of nm to several hundreds of micrometers.

상기 제1전극(72) 및 제2전극(74)은 전기적으로 도전성을 가진 다양한 재료가 사용가능하며, 니켈(Ni), 크롬(Cr), 금(Au), 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 백금(Pt), 티탄(Ti), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 팔라듐(Pd), 은(Ag) 등의 금속 및 그 합금, 금속산화물로 이루어지는 인쇄도체 및 ITO 등의 투명전극 등이 모두 사용가능하다.The first electrode 72 and the second electrode 74 may be formed of various electrically conductive materials, and include nickel (Ni), chromium (Cr), gold (Au), molybdenum (Mo), and tungsten (W). ), Platinum (Pt), titanium (Ti), aluminum (Al), copper (Cu), metals such as palladium (Pd), silver (Ag) and alloys thereof, printed conductors made of metal oxides, and transparent electrodes such as ITO And the like can all be used.

상기 제1도전박막(73) 및 제2도전박막(75)은 니켈(Ni), 금(Au), 백금(Pt), 팔라듐(Pd) 등의 도전성 재료를 이용한 미립자 박막으로 형성한다.The first conductive thin film 73 and the second conductive thin film 75 are formed of a particulate thin film using a conductive material such as nickel (Ni), gold (Au), platinum (Pt), and palladium (Pd).

상기 전자방출부(78)는 흑연형 탄소나 탄소화합물 등으로 형성하는 것이 바람직하다. 또 상기 전자방출부(78)는 상기한 일실시예와 마찬가지로, 그라파이트, 다이아몬드, 다이아몬드상 카본, 카본 나노튜브, C₆₀ 등에서 선정하여 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 형성하는 것도 가능하다.The electron emitting portion 78 is preferably formed of graphite carbon, a carbon compound, or the like. In addition, the electron emission unit 78 may be formed of graphite, diamond, diamond-like carbon, carbon nanotubes, C ₆₀ , or the like, alone or in combination of two or more, as in the above-described embodiment.

상기에서 제1전극(72) 및 제2전극(74), 제1도전박막(73) 및 제2도전박막(75), 전자방출부(78), 집속전극(40)은 제2기판(22)을 향하여 실제 전자를 방출하는 전자 방출 유닛을 구성한다.The first electrode 72, the second electrode 74, the first conductive thin film 73, the second conductive thin film 75, the electron emission unit 78, and the focusing electrode 40 may be formed on the second substrate 22. And an electron emission unit emitting actual electrons.

그리고 애노드 전극(30)과 형광막(32)은 상기 전자 방출 유닛에서 방출된 전자에 의해 발광하는 발광 유닛을 구성한다.The anode electrode 30 and the fluorescent film 32 constitute a light emitting unit that emits light by electrons emitted from the electron emission unit.

상기한 다른 실시예에 있어서도 상기 제1전극(72) 및 제2전극(74)과 상기 집속전극(40) 사이에 절연층(50)이 형성된다.In another embodiment described above, the insulating layer 50 is formed between the first electrode 72 and the second electrode 74 and the focusing electrode 40.

상기한 다른 실시예에 있어서도 상기한 구성 이외에는 상기한 일실시예와 마찬가지의 구성으로 실시하는 것이 가능하므로 상세한 설명은 생략한다.Also in the above-described other embodiments, the present invention can be implemented in the same configuration as the above-described embodiment except for the above-described configuration, and thus detailed description thereof will be omitted.

상기에서는 본 발명에 따른 진공용기와 이를 이용한 전자 방출 표시 디바이스의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다.In the above, a preferred embodiment of a vacuum container and an electron emission display device using the same has been described, but the present invention is not limited thereto, and various modifications are made within the scope of the claims and the detailed description of the invention and the accompanying drawings. It is possible to implement, and this also belongs to the scope of the present invention.

상기와 같이 이루어지는 본 발명에 따른 진공용기와 이를 이용한 전자 방출 표시 디바이스에 의하면, 제1기판 및/또는 제2기판에 위치표시를 형성하므로, 제1기판과 제2기판의 조립 정밀도를 향상시키는 것이 가능하고, 화질의 품위를 향상시 키는 것이 가능하다.According to the vacuum container and the electron emission display device using the same according to the present invention as described above, since the position display is formed on the first substrate and / or the second substrate, improving the assembling accuracy of the first substrate and the second substrate is improved. It is possible to improve the image quality.

그리고 본 발명에 따른 진공용기와 이를 이용한 전자 방출 표시 디바이스에 의하면, 배기관, 게터, 외곽 스페이서, 실링부재 등의 구조물이 설치되는 위치를 정확하게 인식하고 제어하는 것이 가능하므로, 자동화 및 표준화가 가능하고, 생산성이 향상된다.In addition, according to the vacuum container and the electron emission display device using the same according to the present invention, since it is possible to accurately recognize and control the position where the structures such as the exhaust pipe, the getter, the outer spacer, the sealing member are installed, automation and standardization are possible. Productivity is improved.

Claims (8)

소정의 간격을 두고 대향 배치되는 제1기판 및 제2기판을 포함하고,A first substrate and a second substrate disposed to face each other at a predetermined interval; 상기 제1기판 또는 제2기판에는 상기 제1기판과 제2기판의 조립을 위한 조립 위치 및 각종 구조물의 설치 위치를 나타내는 복수의 위치표시가 형성되는 진공용기.The first substrate or the second substrate is a vacuum vessel formed with a plurality of position marks indicating the assembly position for the assembly of the first substrate and the second substrate and the installation position of the various structures. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 위치표시는 상기 제1기판과 제2기판의 조립 위치를 표시하는 조립용 위치표시, 배기관의 설치 위치를 표시하는 배기관용 위치표시, 게터의 설치 위치를 표시하는 게터용 위치표시, 유효화면부의 외곽에 설치되는 외곽 스페이서의 설치 위치를 표시하는 스페이서용 위치표시 중에서 2개 이상이 선택되어 형성되는 진공용기.The position display is an assembly position display for displaying the assembly position of the first substrate and the second substrate, an exhaust pipe position display for displaying the installation position of the exhaust pipe, a getter position display for displaying the installation position of the getter, effective screen portion A vacuum vessel formed by selecting at least two of the position display for the spacer indicating the installation position of the outer spacer to be installed on the outside. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 위치표시의 형상은 사각형, 삼각형, 원형, 마름모형, 고리(ring)형, "ㄱ"형, "ㅡ"형, "ㅣ"형, "+"형 중에서 하나이상이 선택되어 형성되는 진공용기.The shape of the position display is a vacuum vessel formed by selecting one or more of a square, triangle, circle, rhombus, ring (ring) type, "a" type, "ㅡ" type, "ㅣ" type, "+" type is selected. . 청구항 3에 있어서,The method according to claim 3, 상기 위치표시는 내부는 비고 외부 테두리만 착색하는 음각패턴과 내부를 모 두 착색하는 양각패턴 중에서 선택되어 형성되는 진공용기.The position display is a vacuum vessel formed by selecting from an intaglio pattern for recoloring only the outer edge and an embossed pattern for coloring both the inside and the outside. 청구항 3에 있어서,The method according to claim 3, 상기 위치표시는 상기 구조물이 설치되는 전체 길이를 복수로 나누어 부분적으로 일부만 형성되는 진공용기.The position display is divided into a plurality of the entire length of the structure is installed is a vacuum container partially formed. 청구항 3에 있어서,The method according to claim 3, 상기 위치표시는 상기 구조물에 따라 서로 다른 형상이 선택되어 형성되는 진공용기.The position display is a vacuum vessel formed by selecting different shapes according to the structure. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 위치표시는 상기 제1기판과 제2기판에 모두 형성되는 진공용기.The position indicator is a vacuum container formed on both the first substrate and the second substrate. 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 의한 진공용기;A vacuum container according to any one of claims 1 to 7; 상기 제1기판 상에 형성되는 전자 방출 유닛; 및An electron emission unit formed on the first substrate; And 상기 제2기판 상에 형성되고 상기 전자 방출 유닛에서 방출된 전자에 의해 발광하는 발광 유닛A light emitting unit formed on the second substrate and emitting light by electrons emitted from the electron emitting unit 을 포함하는 전자 방출 표시 디바이스.Electron emission display device comprising a.

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