KR20060134576A - 이송용 로봇의 위치 보정장치 - Google Patents

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KR20060134576A
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Abstract

이송로봇의 위치를 정확하게 보정할 수 있는 이송로봇의 보정장치에 대해 개시한다. 그 보정장치는 로봇의 내측면의 일부에 밀착하여, 로봇의 위치를 보정하는 보정판과, 일측이 보정판에 부착되어 보정판을 지지하기 위한 지지판 및 지지판의 타측에 형성되어, 페데스탈과 지지판이 평행하게 배치되도록 고정되는 고정핀을 포함한다.
이송로봇, 위치, 보정장치, 보정판

Description

이송용 로봇의 위치 보정장치{Apparatus for calibration position of transferring robot}
도 1은 본 발명에 의한 챔버설비를 구비하는 반도체 제조장치를 나타낸 개략적인 도면이다.
도 2a는 본 발명에 의한 보정장치를 나타낸 사시도이고, 도 2b는 도 2a의 평면도이며, 도 2c는 도 2a의 측면도이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
70; 보정장치 72; 지지판
74; 보정판
본 발명은 반도체소자의 제조장치에 관한 것으로, 특히 로봇암의 위치를 정확하게 보정할 수 있는 보정장치에 관한 것이다.
반도체 소자를 제조하기 위한 제조장치들은 대부분 고진공 분위기에서 소정의 공정을 진행할 수 있도록 밀폐된 다수의 챔버설비를 구비한다. 구체적으로, 챔버설비는 고진공 상태에서 소정의 공정을 진행하기 위한 다수의 반응챔버와, 반응 챔버에 웨이퍼를 로딩하기 위하여 웨이퍼를 일시적으로 보관시키기 위한 로드락 챔버와, 웨이퍼를 반응챔버에 대하여 로딩 및 언로딩하기 위한 매개체인 트랜스퍼 챔버를 구비한다.
한편, 웨이퍼를 각 챔버로 이송하기 위하여 이송용 로봇을 이용한다. 웨이퍼를 이송하는 공정은 매우 정밀하게 위치를 제어해야 한다. 이에 따라, 이송용 로봇이 정확한 위치에 놓이도록 하여야 한다. 그런데, 일부 설비에서는 이송용 상온로봇과 진공로봇이 각각 챔버 혹은 스테이션(station)에 놓일 때, 정확하게 위치를 확인할 수 있도록 설정되어 있지 않다. 즉, 위치에 대한 정확한 보정은 작업자의 감각에 의해서 진행되고 있는 실정이다.
통상적으로, 이송용 로봇의 위치보정은 버블게이지 등과 같은 위치센서를 사용하여 수직레벨을 확인한 후, 원형의 보정판, 예컨대 티칭웨이퍼(teaching wafer)와 플러그(plug)를 이용하여 실시한다. 즉, 이송로봇을 사전에 설정된 티칭웨이퍼의 보정기준을 기준을 보정한다. 그런데, 상기 보정을 한 후에, 다시 위치를 맞추려면 티칭웨이퍼를 고정하는 부분이 없기 때문에 정확하게 보정을 할 수 없다. 특히, 웨이퍼를 가져오기 위한 높이를 결정하기 위하여 임의의 지점을 결정하기 위하여, 페데스탈과 웨이퍼 사이에 6000 스텝(여기서, 1000스텝은 1mm)으로 구분된다. 그런데, 정확한 위치는 작업자 및 작업시간 등에 따라 다르게 설정될 수 있다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이송로봇의 위치를 정확하게 보정할 수 있는 이송로봇의 보정장치를 제공하는 데 있다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 의한 이송용 로봇의 보정장치는 챔버의 페데스탈에 기판을 이송하는 이송용 로봇에 있어서, 상기 로봇의 내측면의 일부에 밀착하여, 상기 로봇의 위치를 보정하는 보정판과, 일측이 상기 보정판에 부착되어 상기 보정판을 지지하기 위한 지지판 및 상기 지지판의 타측에 형성되어, 상기 페데스탈과 상기 지지판이 평행하게 배치되도록 고정되는 고정핀을 포함한다.
상기 보정판은 상기 페데스탈의 중심에 대하여 상기 로봇의 수직거리, 각도 및 높이를 결정하는 형상을 가질 수 있다. 상기 보정판의 형상은 상기 로봇의 내측면의 형태에 따라 결정될 수 있다.
이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다음에서 설명되는 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시예들은 당분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 실시예에 의한 챔버설비를 구비하는 반도체 제조장치를 나타낸 개략적인 도면이다.
도 1을 참조하면, 챔버설비는 고진공 상태에서 소정의 공정을 진행하기 위한 다수의 반응챔버(10)와, 반응챔버(10)에 웨이퍼를 로딩하기 전에 웨이퍼를 일시적 으로 보관시키기 위한 로드락 챔버(40)와, 반응챔버(10) 및 로드락 챔버(40)와 각각 연결되어 웨이퍼를 로드락 챔버(40)에 대하여 로딩 및 언로딩하거나, 웨이퍼를 반응챔버(10)에 대하여 로딩 및 언로딩하기 위한 매개체인 트랜스퍼 챔버(20)를 구비한다.
여기서, 반응챔버(10), 트랜스퍼 챔버(20) 및 로드락 챔버(40)는 그 기능과 역할이 각각 다르다. 즉, 반응챔버(10)는 웨이퍼에 대한 직접적인 단위공정이 이루어지는 장소로서 외부와 완전히 차단된 장소이다. 반면, 트랜스퍼 챔버(20) 및 로드락 챔버(40)는 반응챔버(10)가 외부와 직접 접촉하지 않도록 준비된 장소이다. 또한, 트랜스퍼 챔버(20) 및 로드락 챔버(40)는 반응챔버(10) 내의 압력을 고진공 상태로 만들기 위하여 웨이퍼를 로딩시키거나 언로딩시킬 때마다 오랜 시간 동안 펌프를 가동시켜야 하는 문제점을 해결하기 위한 목적으로 설치된다.
반응챔버(10)에 로딩시키기 전에는 얼라인 챔버(30)에서 웨이퍼의 플랫 존(flat zone)을 정렬시킨다. 로드락 챔버(40) 내에는 공정이 진행될 웨이퍼를 수매 또는 수십매 단위로 장착시키기 위한 웨이퍼 카세트(43)가 적재되며, 카세트(43)에 장착된 웨이퍼를 로드락 챔버(40) 내로 진입시키기 위하여 카세트(43)를 소정의 위치로 상승 또는 하강시키는 카세트 엘리베이터(41)가 설치되어 있다.
또한, 이송용 로봇(21)의 위치를 정확하게 보정하기 위하여, 별도의 보정챔버(50)를 설치할 수 있다. 보정챔버(50) 내에는 페데스탈(52;pedestal)이 구비되어 있어 도 2a 내지 도 2c를 참조하여 설명할 보정장치에 장착된다. 본 발명의 실시예에서는 보정챔버(50)를 구비하는 것으로 도시하였으나, 경우에 따라 별도의 보정챔 버(50)를 구비하지 않을 수도 있다. 즉, 챔버 내의 임의의 지점에서 이송용 로봇(21)의 위치를 결정할 수도 있다.
한편, 로드락 챔버(40)에서 트랜스퍼 챔버(20) 내로 언로딩되어 이동된 웨이퍼를 반응챔버(10)로 한 장씩 로딩할 수 있도록 그리고 공정완료 후 반응챔버(10)에서 트랜스퍼 챔버(20)로 언로딩된 웨이퍼를 로드락 챔버(40)로 한 장씩 로딩할 수 있게 별도의 카세트를 소정의 위치로 조금씩 상승 또는 하강시키는 스토리지 엘리베이터(23)가 위치한다. 또한, 트랜스퍼 챔버(20) 내에서 로드락 챔버(40)에 대한 웨이퍼 로딩 및 언로딩 그리고, 반응챔버(10)에 대한 로딩 및 언로딩을 수행하도록 웨이퍼를 파지하여 이송시키기 위한 웨이퍼 이송용 로봇(21)을 구비한다. 참조부호 25(25a, 25b, 25c, 25d)는 트랜스퍼 챔버(20)와 반응챔버(10), 로드락 챔버(40), 얼라인 챔버(30) 및 보정챔버(50) 사이의 각각에 설치되어 개폐되는 그 곳을 통하여 웨이퍼가 각각의 챔버에 로딩 및 언로딩되도록 하는 입출 슬릿 밸브를 나타낸다.
단위공정이 완료된 웨이퍼는 로드락 챔버(40)의 전면으로 개방되는 도어(도 3의 45)를 통해 챔버설비의 외부로 이송된다. 로드락 챔버(40)의 바깥쪽에는 로드락 챔버(40) 내로 유입된 부식성 잔류물을 흡입하기 위한 배기수단(60)이 부착되어 있다. 이 때, 부식성 잔류물은 Cl2 가스, BCl3 가스, HBr 가스 등일 수 있다.
도 2a는 본 발명의 실시예에 의한 보정장치를 나타낸 사시도이고, 도 2b는 도 2a의 평면도이며, 도 2c는 도 2a의 측면도이다.
도 2a 내지 도 2c를 참조하면, 챔버의 페데스탈에 기판을 이송하는 이송용 로봇(21)은 보정장치(70)를 이용하여 위치가 보정된다. 보정장치(70)는 로봇(21)의 내측면의 일부에 밀착하여, 로봇(21)의 위치를 보정하는 보정판(74)과, 일측이 보정판(74)에 부착되어 보정판(74)을 지지하기 위한 지지판(72) 및 지지판(72)의 타측에 형성되어, 페데스탈과 지지판(72)이 평행하게 배치되도록 고정되는 고정핀(76)을 포함한다.
보정판(74)은 페데스탈의 중심에 대하여 로봇(21)의 수직거리, 각도 및 높이를 결정하는 형상을 가질 수 있다. 또한, 보정판(74)의 형상은 로봇(21)의 내측면의 형태에 따라 다양하게 변화할 수 있다.
이상, 본 발명은 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상의 범위내에서 당분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.
상술한 본 발명에 따른 이송용 로봇의 위치 보정장치에 따르면, 로봇의 형태에 맞추어 로봇의 위치를 보정할 수 있는 보정장치를 구비함으로써, 이송로봇의 위치를 정확하게 보정할 수 있다.

Claims (3)

  1. 챔버의 페데스탈에 기판을 이송하는 이송용 로봇에 있어서,
    상기 로봇의 내측면의 일부에 밀착하여, 상기 로봇의 위치를 보정하는 보정판;
    일측이 상기 보정판에 부착되어 상기 보정판을 지지하기 위한 지지판; 및
    상기 지지판의 타측에 형성되어, 상기 페데스탈과 상기 지지판이 평행하게 배치되도록 고정되는 고정핀을 포함하는 이송용 로봇의 위치 보정장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 보정판은 상기 페데스탈의 중심에 대하여 상기 로봇의 수직거리, 각도 및 높이를 결정하는 형상을 가진 것을 특징으로 하는 이송용 로봇의 위치 보정장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 보정판의 형상은 상기 로봇의 내측면의 형태에 따라 결정되는 것을 특징으로 하는 이송용 로봇의 위치 보정장치.
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