KR20060102781A - 대기압 플라즈마 유전체 세정장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (7)
- 유전체 방전(Dielectric barrier discharge) 방식으로 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 세정장치를 구성함에 있어서,유전물질(Dielectric material)로 제작된 피가공물(1)을 이송하는 이송장치(6)와;이송장치의 일부 구간에 설치되며, 상기 피가공물이 통과할 수 있도록 일정 간격 떨어진 상부전극(31)과 하부전극(32)으로 구성되는 전극부와;상기 전극부에 장파 주파수대(1kHz ~ 1MHz)의 전원을 공급하는 전원 공급부(2)를 포함하여 구성되어;피가공물을 유전체로 사용하는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 유전체 세정장치
- 상기 1항에 있어서, 전극부는,상부전극의 하측면을 가리는 유전체(33a)를 추가하거나,하부전극의 상측면을 가리는 유전체(33b)를 추가하거나,상부전극과 하부전극의 내측면을 가리는 유전체를 모두 추가하여 구성하고, 전원을 단속적으로 공급하여 유전체 파괴를 막는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 유전체 세정장치
- 상기 1항에 있어서,상기 전극부의 간극 사이로 피가공물이 통과되는 동안만 전극부에 전원이 공급되도록 피가공물의 위치를 확인하는 센서나, 별도의 전기장치를 추가하는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 유전체 세정장치
- 상기 1항에 있어서, 상기 전극부는,다수 개의 상부전극과 하부전극이 열 지어 배열되며, 피가공물이 이동함에 따라 순차적으로 동작하는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 유전체 세정장치
- 상기 1항 또는 2항 또는 3항 또는 4항에 있어서,특정 가스를 이용하거나 특정 압력에서 동작시키기 위해, 가스 공급장치(43) 또는 펌핑 장치(44)를 추가하는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 유전체 세정장치
- 상기 5항에 있어서,오존 발생을 억제하기 위하여 산소를 배제한 가스 환경에서 동작하도록 하는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 유전체 세정장치
- 상기 1항 또는 2항 또는 3항 또는 4항에 있어서,전자파에 의한 EMI(Electro Magnetic Interference)를 막기 위한 전자파 차단장치를 추가하여 구성되는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 유전체 세정장치
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