KR20060072743A - 수평전계방식 액정표시소자 및 그 제조방법 - Google Patents
수평전계방식 액정표시소자 및 그 제조방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20060072743A KR20060072743A KR1020040111462A KR20040111462A KR20060072743A KR 20060072743 A KR20060072743 A KR 20060072743A KR 1020040111462 A KR1020040111462 A KR 1020040111462A KR 20040111462 A KR20040111462 A KR 20040111462A KR 20060072743 A KR20060072743 A KR 20060072743A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- line
- data
- gate
- layer
- forming
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/136259—Repairing; Defects
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1343—Electrodes
- G02F1/13439—Electrodes characterised by their electrical, optical, physical properties; materials therefor; method of making
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1345—Conductors connecting electrodes to cell terminals
- G02F1/13458—Terminal pads
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/136231—Active matrix addressed cells for reducing the number of lithographic steps
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/136259—Repairing; Defects
- G02F1/136272—Auxiliary lines
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
Description
Claims (12)
- 제1 및 제2기판을 준비하는 단계;상기 제1기판 상에 제1금속막을 증착한 다음, 제1마스크 공정을 통해 게이트라인, 공통라인, 제1공통전극 및 게이트패드를 형성하는 단계;상기 게이트라인, 제1공통전극 및 공통라인을 포함하는 제1기판 전면에 제1절연막과 비정질실리콘과 n+ 비정질실리콘 및 제2금속막을 순차적으로 적층한 다음, 제2마스크 공정을 통해 게이트라인과 수직으로 교차하며, 화소영역을 정의하는 데이터라인, 반도체층(액티브층,오믹접촉층), 소스/드레인전극 및 데이터패드를 형성하는 단계;상기 데이터라인 및 소스/드레인전극을 포함하는 기판 전면에 제2절연막을 형성한 다음, 제3마스크 공정을 통해 상기 데이터라인, 제1기판, 공통라인 및 상기 게이트/데이터패드의 일부를 노출시키는 단계; 및상기 데이터라인 및 게이트/데이터패드를 포함하는 제1기판 전면에 저저항 금속층을 증착하여, 상기 데이터라인과 접촉하는 데이터리페어라인과, 화소내에서 수평전계를 발생시키는 제2공통전극 및 화소전극과, 상기 게이트/데이터패드와 접속하는 게이트연결패드 및 데이터연결패드를 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 수평전계방식 액정표시소자의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제2마스크 공정은,상기 제2금속막 위에 PR막(photoresist layer)을 도포하는 단계;광을 일부만 투과시키는 제1투과영역과 광을 모두 투과시키는 제2투과영역 및 광을 차단하는 차단영역이 마련된 마스크를 통해 상기 감광막에 빛을 조사하는 단계;상기 마스크를 통해 빛이 조사된 PR을 현상하여, 제2금속막 상에 PR패턴을 형성하되, 제1투과영역에 제1두께를 갖는 제1PR패턴을 형성하고, 제2투과영역에는 제2두께를 갖는 제2PR패턴을 형성하는 단계;상기 제1 및 제2PR패턴을 마스크로 하여 비정질실리콘 및 n+ 비정질실리콘층을 식각함으로써, 데이터라인, 액티브층, n+층 및 데이터패드를 형성하는 단계;상기 제1PR패턴을 제거함으로써, n+층 위에 형성된 제2금속패턴의 중앙 영역을 노출시키는 단계;상기 제2PR패턴을 마스크로하여 제2금속패턴 및 n+층의 일부를 제거함으로써, 오믹접촉층 및 소스/드레인전극을 형성하는 단계; 및상기 제1 및 제2기판 사이에 액정층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 수평전계방식 액정표시소자의 제조방법.
- 제2항에 있어서, 상기 제1PR패턴의 두께는 제2PR패턴의 두께보다 얇게 형성하는 것을 특징으로 하는 수평전계방식 액정표시소자의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제3마스크 공정은,상기 제2절연막 위에 PR패턴을 형성하는 단계;상기 PR패턴을 마스크로하여 제1,2절연막을 식각함으로써, 상기 드레인전극을 노출시키는 드레인콘택홀과 게이트패드 및 데이터패드를 각각 노출시키는 제1 및 제2콘택홀을 형성하고, 상기 공통라인, 데이터라인 및 제1기판의 일부를 노출시키는 단계;상기 PR패턴을 포함하는 제1기판 전면에 저저항 금속막을 증착한 후, 상기 PR패턴을 제거함으로써, 상기 드레인콘택홀을 통해 드레인전극과 접속하는 화소전극과, 상기 공통라인과 접속하는 공통전극과, 상기 제1,2콘택홀을 통해 게이트/데이터패드와 접속하는 게이트연결패드 및 데이터연결패드와, 상기 데이터라인과 접속하는 데이터 리페어라인을 형성하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 수평전계방식 액정표시소자의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 저저항 금속은 Cu(구리)을 사용하는 것을 특징으로 하는 수평전계방식 액정표시소자의 제조방법.
- 제5항에 있어서, 상기 저저항 금속 상에 ITO(indium tin oxide) 또는 IZO(indium zinc oxide)를 형성하는 단계를 더 추가하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 수평전계방식 액정표시소자의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 저저항 금속은 Ti(티탄)을 사용하는 것을 특징으로 하 는 수평전계방식 액정표시소자의 제조방법.
- 제1항에 있어서,상기 제2기판 상에 블랙매트릭스를 형성하는 단계; 및상기 블랙매트릭스 상에 칼라필터를 형성하는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 수평전계방식 액정표시소자의 제조방법.
- 제1 및 제2기판;상기 제1기판 상에 제1방향으로 배열된 복수의 게이트라인;상기 게이트라인과 수직으로 교차하여 복수의 화소영역을 정의하는 데이터라인;상기 게이트라인과 데이터라인의 교차영역에 형성된 스위칭소자;상기 화소영역에 수평전계를 발생시키는 공통전극 및 화소전극;상기 데이터라인을 따라 형성되며, 저저항 금속물질로 이루어진 데이터 리페어라인; 및상기 제1 및 제2기판 상에 형성된 액정층을 포함하여 구성된 수평전계방식 액정표시소자.
- 제9항에 있어서, 상기 데이터 리페어라인은 구리(Cu)인 것을 특징을 하는 수평전계방식 액정표시소자.
- 제10항에 있어서, 상기 데이터 리페어라인 상에 형성된 ITO층을 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 수평전계방식 액정표시소자.
- 제9항에 있어서, 상기 데이터 리페어라인은 Ti(티탄)인 것을 특징으로 하는 수평전계방식 액정표시소자.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020040111462A KR101086121B1 (ko) | 2004-12-23 | 2004-12-23 | 수평전계방식 액정표시소자 및 그 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020040111462A KR101086121B1 (ko) | 2004-12-23 | 2004-12-23 | 수평전계방식 액정표시소자 및 그 제조방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20060072743A true KR20060072743A (ko) | 2006-06-28 |
KR101086121B1 KR101086121B1 (ko) | 2011-11-25 |
Family
ID=37165893
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020040111462A KR101086121B1 (ko) | 2004-12-23 | 2004-12-23 | 수평전계방식 액정표시소자 및 그 제조방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101086121B1 (ko) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7787068B2 (en) * | 2006-12-29 | 2010-08-31 | Lg. Display Co., Ltd. | Array substrate for liquid crystal display device and method of fabricating the same |
KR101307945B1 (ko) * | 2006-06-30 | 2013-09-12 | 엘지디스플레이 주식회사 | 박막트랜지스터 어레이 기판 및 그 제조 방법 |
US9182640B2 (en) | 2010-12-02 | 2015-11-10 | Samsung Display Co., Ltd. | Display apparatus and method of manufacturing the same |
US9513521B2 (en) | 2012-12-31 | 2016-12-06 | Samsung Display Co., Ltd. | Display device |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100543030B1 (ko) * | 1998-07-24 | 2006-05-09 | 삼성전자주식회사 | 액정 표시 장치 |
KR100556345B1 (ko) * | 1998-11-24 | 2006-04-21 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 횡전계방식 액정표시소자의 제조방법 |
KR100646783B1 (ko) * | 1999-11-23 | 2006-11-17 | 삼성전자주식회사 | 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법 |
KR100494703B1 (ko) * | 2001-12-31 | 2005-06-13 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 박막트랜지스터 액정표시장치의 제조방법 |
KR100895017B1 (ko) * | 2002-12-10 | 2009-04-30 | 엘지디스플레이 주식회사 | 개구율이 향상된 횡전계모드 액정표시소자 |
KR100538327B1 (ko) * | 2003-04-03 | 2005-12-22 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 수평 전계 인가형 박막 트랜지스터 어레이 기판 및 그제조 방법 |
-
2004
- 2004-12-23 KR KR1020040111462A patent/KR101086121B1/ko active IP Right Grant
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101307945B1 (ko) * | 2006-06-30 | 2013-09-12 | 엘지디스플레이 주식회사 | 박막트랜지스터 어레이 기판 및 그 제조 방법 |
US7787068B2 (en) * | 2006-12-29 | 2010-08-31 | Lg. Display Co., Ltd. | Array substrate for liquid crystal display device and method of fabricating the same |
US7924357B2 (en) | 2006-12-29 | 2011-04-12 | Lg Display Co., Ltd. | Array substrate for liquid crystal display device and method of fabricating the same |
US8154021B2 (en) | 2006-12-29 | 2012-04-10 | Lg Display Co., Ltd. | Array substrate for liquid crystal display device and method of fabricating the same |
US8416359B2 (en) | 2006-12-29 | 2013-04-09 | Lg Display Co., Ltd. | Array substrate for liquid crystal display device and method of fabricating the same |
US9182640B2 (en) | 2010-12-02 | 2015-11-10 | Samsung Display Co., Ltd. | Display apparatus and method of manufacturing the same |
US9513521B2 (en) | 2012-12-31 | 2016-12-06 | Samsung Display Co., Ltd. | Display device |
US9791749B2 (en) | 2012-12-31 | 2017-10-17 | Samsung Display Co., Ltd. | Display device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101086121B1 (ko) | 2011-11-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7751021B2 (en) | Liquid crystal display and fabricating method thereof | |
JP4619997B2 (ja) | 液晶表示装置とその製造方法 | |
US8933460B2 (en) | Array substrate for fringe field switching mode liquid crystal display device | |
US7248323B2 (en) | Liquid crystal display of horizontal electric field applying type and fabricating method thereof | |
US7894032B2 (en) | Liquid crystal display device having particular structure for data line, source electrode, drain electrode and pixel electrode | |
US8199301B2 (en) | Horizontal electric field switching liquid crystal display device | |
US7495733B2 (en) | Thin film transistor array substrate and fabricating method thereof | |
US20110063556A1 (en) | Liquid crystal display device and fabricating method thereof | |
US7118947B2 (en) | Thin film transistor substrate of a horizontal electric field type LCD and fabricating method thereof | |
US20020042167A1 (en) | Thin film transistor array substrate for liquid crystal display device and method of manufacturing the same | |
US8130351B2 (en) | Array substrate for in-plane switching mode liquid crystal display device including pixel and common electrodes on the same layer and method of manufacturing the same | |
US20110237149A1 (en) | Method for fabricating a liquid crystal display device and an lcd device thereby | |
US20060061722A1 (en) | Liquid crystal display and panel therefor | |
US8300166B2 (en) | Display panel and method of manufacturing the same | |
US7705947B2 (en) | Method of fabricating an LCD with second mask process for making common electrode at a portion consist of one conductive layer, and with pixel electrode having a single layer structure | |
US7289180B2 (en) | Liquid crystal display device of a horizontal electric field applying type comprising a storage capacitor substantially parallel to the data line and fabricating method thereof | |
US8294862B2 (en) | Liquid crystal display device and method of fabricating the same | |
KR101423909B1 (ko) | 표시 기판 및 이를 구비하는 액정 표시 장치 | |
KR101086121B1 (ko) | 수평전계방식 액정표시소자 및 그 제조방법 | |
KR20070036915A (ko) | 박막 트랜지스터 기판, 액정 표시 장치 및 그 제조 방법 | |
KR101107685B1 (ko) | 횡전계방식 액정표시소자 및 그 제조방법 | |
KR20050113748A (ko) | 횡전계 방식 액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그 제조 방법 | |
KR20080049442A (ko) | 액정표시소자 및 그 제조방법 | |
KR20060124137A (ko) | 횡전계 방식 액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20141021 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151028 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20161012 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20171016 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20181015 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20191015 Year of fee payment: 9 |