KR20060065123A - Method for fabricating organic electro luminescence display panel - Google Patents

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KR20060065123A
KR20060065123A KR1020040103859A KR20040103859A KR20060065123A KR 20060065123 A KR20060065123 A KR 20060065123A KR 1020040103859 A KR1020040103859 A KR 1020040103859A KR 20040103859 A KR20040103859 A KR 20040103859A KR 20060065123 A KR20060065123 A KR 20060065123A
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신성영
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Abstract

본 발명은 패널의 휨을 방지할 수 있는 유기전계발광표시패널에 관한 것이다. The present invention relates to an organic light emitting display panel capable of preventing the panel from warping.

본 발명에 따른 유기 전계발광표시패널의 제조방법은 박막 트랜지스터 어레이가 형성된 제1 기판을 마련하는 단계와; 상기 제1 기판과 대향하는 제2 기판 상에 제1 전극을 형성하는 단계와; 상기 제1 전극이 형성된 제2 기판 상에 상기 제1 전극을 부분적으로 노출시켜 발광영역을 정의하는 절연막을 형성하는 단계와; 상기 절연막 상에 격벽을 형성하는 단계와; 상기 격벽이 형성된 제2 기판 상에 스페이서들을 형성하는 단계와; 그라인딩 공정 및 폴리싱 공정 중 적어도 어느 하나의 공정에 의해 상기 스페이서의 끝단이 연마되어 상기 각각의 스이서의 높이가 균일해지는 단계와; 상기 스페이서가 형성된 제2 기판 상에 유기발광층을 형성하는 단계와; 상기 유기발광층을 사이에 두고 상기 제1 전극과 교차되는 제2 전극을 형성하는 단계와; 상기 제1 및 제2 기판이 상기 스페이서를 사이에 두고 합착되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
A method of manufacturing an organic light emitting display panel according to the present invention includes the steps of: preparing a first substrate on which a thin film transistor array is formed; Forming a first electrode on a second substrate facing the first substrate; Forming an insulating layer defining a light emitting area by partially exposing the first electrode on a second substrate on which the first electrode is formed; Forming a partition on the insulating film; Forming spacers on the second substrate on which the partition wall is formed; Grinding the end of the spacer by at least one of a grinding process and a polishing process so that the height of each of the spacers is uniform; Forming an organic light emitting layer on a second substrate on which the spacers are formed; Forming a second electrode crossing the first electrode with the organic light emitting layer interposed therebetween; And bonding the first and second substrates together with the spacers interposed therebetween.

Description

유기 전계발광표시패널의 제조방법{Method For Fabricating Organic Electro Luminescence Display Panel} Method for manufacturing organic electroluminescent display panel {Method For Fabricating Organic Electro Luminescence Display Panel}             

도 1은 종래 능동형 유기전계발광표시패널을 나타내는 단면도이다. 1 is a cross-sectional view illustrating a conventional active organic light emitting display panel.

도 2는 유기전계발광표시소자의 발광원리를 설명하기 위한 다이어그램을 나타내는 도면이다. 2 is a diagram illustrating a diagram for explaining a light emission principle of an organic light emitting display device.

도 3a 내지 도 3h는 본 발명의 실시예에 따른 유기 전계발광표시패널의 제조방법을 설명하기 위한 도면이다.3A to 3H illustrate a method of manufacturing an organic light emitting display panel according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 4는 그라인딩 및 폴리싱 공정 등에 의해 높이가 균일해지 스페이서를 나타내는 도면이다.
4 is a view showing a spacer whose height becomes uniform due to grinding and polishing processes and the like.

〈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉<Explanation of symbols for main parts of drawing>

52,152 : 제1 기판 60,160 : 유기전계발광어레이52,152: first substrate 60,160: organic light emitting array

4,104 ; 제1 전극 10,110 : 유기발광층4,104; First electrode 10,110: organic light emitting layer

12,112 : 제2 전극 16,116 : 스페이서12,112: second electrode 16,116: spacer

8,108 : 격벽 74,174 : 박막 트랜지스터 어레이8,108 partition wall 74174 thin film transistor array

2,102 : 제2 기판
2,102: second substrate

본 발명은 유기 전계발광표시소자에 관한 것으로 특히, 스페이서 두께의 불균일에 의해 발생되는 패널의 휨 현상을 방지할 수 있는 능동 매트릭스형 유기전계발광표시소자의 제조방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic electroluminescent display device, and more particularly, to a method of manufacturing an active matrix type organic electroluminescent display device capable of preventing warpage of a panel caused by nonuniformity of spacer thickness.

최근들어, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 개발되고 있다. 이러한 평판 표시장치는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display : 이하 "LCD"라 함), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display : FED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : 이하 PDP"라 함) 및 일렉트로 루미네센스(Electro-luminescence:이하 "EL "이라 함)소자 등이 있다. 이와 같은 평판표시장치의 표시품질을 높이고 대화면화를 시도하는 연구들이 활발히 진행되고 있다. Recently, various flat panel displays have been developed to reduce weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes. Such flat panel displays include liquid crystal displays (hereinafter referred to as "LCDs"), field emission displays (FEDs), plasma display panels (hereinafter referred to as PDPs), and electroluminescence. Nessence ("EL") elements, etc. There are active researches to improve the display quality of such a flat panel display device and attempt to enlarge the screen.

이들 중 PDP는 구조와 제조공정이 단순하기 때문에 경박 단소하면서도 대화면화에 가장 유리한 표시장치로 주목받고 있지만 발광효율과 휘도가 낮고 소비전력이 큰 단점이 있다. 이에 비하여, 스위칭 소자로 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor : 이하 "TFT"라 함)가 적용된 액티브 매트릭스 LCD는 반도체공정을 이용하기 때문에 대화면화에 어렵고 백라이트 유닛으로 인하여 소비전력이 큰 단점이 있고, 편광필터, 프리즘시트, 확산판 등의 광학소자들에 의해 광손실이 많고 시야 각이 좁은 특성이 있다. Among them, PDP is attracting attention as a display device which is light and small and is most advantageous for large screen because of its simple structure and manufacturing process. However, PDP has low luminous efficiency, low luminance and high power consumption. On the other hand, an active matrix LCD having a thin film transistor (hereinafter referred to as a TFT) as a switching element has a disadvantage in that it is difficult to large screen due to the semiconductor process and consumes a lot of power due to the backlight unit. , Optical elements such as prism sheet and diffuser plate have high light loss and narrow viewing angle.

이에 비하여, EL소자는 발광층의 재료에 따라 무기EL소자와 유기EL소자로 대별되며 스스로 발광하는 자발광소자로서 응답속도가 빠르고 발광효율, 휘도 및 시야각이 큰 장점이 있다. 무기EL소자는 유기EL소자에 비하여 전력소모가 크고 고휘도를 얻을 수 없으며 R, G, B의 다양한 색을 발광시킬 수 없다. 반면에, 유기EL소자는 수십 볼트의 낮은 직류 전압에서 구동됨과 아울러, 빠른 응답속도를 가지고, 고휘도를 얻을 수 있으며 R, G, B의 다양한 색을 발광시킬 수 있어 차세대 평판 디스플레이소자에 적합하다. On the other hand, EL devices are classified into inorganic EL devices and organic EL devices according to the material of the light emitting layer. The EL devices are self-luminous devices that emit light by themselves, and have fast response speed, high luminous efficiency, high brightness, and high viewing angle. Inorganic EL devices have higher power consumption and higher luminance than organic EL devices and cannot emit various colors of R, G, and B. On the other hand, the organic EL device is driven at a low DC voltage of several tens of volts, has a fast response speed, obtains high brightness, and emits various colors of R, G, and B, which is suitable for next-generation flat panel display devices.

이러한 유기EL소자를 구동하는 방식은 수동 매트릭스형(passive matrix type)과 능동 매트릭스형(active matrix type)으로 나눌 수 있다. The method of driving such an organic EL device can be divided into a passive matrix type and an active matrix type.

수동 매트릭스형 유기EL표시소자는 그 구성이 단순하여 제조방법 또한 단순 하나 높은 소비전력과 표시소자의 대면적화에 어려움이 있으며, 배선의 수가 증가하면 할수록 개구율이 저하되는 단점이 있다. The passive matrix organic EL display device has a simple structure and a simple manufacturing method. However, the passive matrix organic EL display device has a high power consumption and a large area of the display device, and the opening ratio decreases as the number of wires increases.

반면 능동 매트릭스형 유기EL표시소자는 높은 발광효율과 고화질을 제공할 수 있는 장점이 있다. On the other hand, an active matrix organic EL display device has an advantage of providing high luminous efficiency and high image quality.

도 1은 종래의 능동형 유기EL표시패널의 구성을 나타내는 도면이다. 1 is a view showing the configuration of a conventional active organic EL display panel.

도 1에 도시된 유기EL표시패널은 투명한 제1 기판(52)의 상부에 박막트랜지스터(T) 어레이(74)와, 스페이서(16)를 사이에 두고 박막트랜지스터(T) 어레이(74)와 접속되는 유기EL어레이(60)를 구비한다. The organic EL display panel shown in FIG. 1 is connected to the thin film transistor T array 74 on the transparent first substrate 52 and the thin film transistor T array 74 with the spacer 16 interposed therebetween. An organic EL array 60 is provided.

박막트랜지스터(T) 어레이(74)는 게이트 전극, 드레인 전극, 소스전극, 반도 체 패턴 등으로 구성되는 스위칭 박막 트랜지스터(T) 및 구동 박막 트랜지스터(T), 게이트 라인 및 데이터 라인 등의 신호라인, 스토리지 캐패시터 등이 포함된다. The thin film transistor (T) array 74 may include signal lines such as a switching thin film transistor T and a driving thin film transistor T, a gate line and a data line, each of which includes a gate electrode, a drain electrode, a source electrode, and a semiconductor pattern. Storage capacitors and the like.

유기EL어레이(60)는 제2 기판(2) 상에 제1 전극(또는 애노드전극)(4)과 제2 전극(또는 캐소드전극)(12)이 서로 교차하는 방향으로 형성된다. The organic EL array 60 is formed on the second substrate 2 in a direction in which the first electrode (or anode electrode) 4 and the second electrode (or cathode electrode) 12 cross each other.

제1 전극(4)은 제1 기판(2) 상에 소정간격으로 이격되어 다수개 형성된다. 이러한 제1 전극(4)이 형성된 제2 기판(2) 상에는 EL셀(E) 영역마다 개구부를 갖고 발광영역(P1)을 정의하는 절연막(6)이 형성된다. 절연막(6) 상에는 그 위에 형성되어질 유기발광층(10) 및 캐소드전극(12)의 분리를 위한 격벽(8)이 위치한다. 격벽(8)은 애노드전극(4)을 가로지르는 방향으로 형성되며, 상단부가 하단부보다 넓은 폭을 가지게 되는 역 테퍼(taper) 구조를 갖게 된다. 격벽(8)과 격벽(8) 사이에서 박막 트랜지스터 어레이(74)와 유기EL어레이(60)를 연결시킴과 아울러 제1 기판(52)과 제2 기판(2) 사이의 갭을 유지시키는 스페이서(16)가 위치한다. A plurality of first electrodes 4 are formed on the first substrate 2 at predetermined intervals. On the second substrate 2 on which the first electrode 4 is formed, an insulating film 6 having an opening for each EL cell E region and defining a light emitting region P1 is formed. On the insulating film 6, a partition 8 for separating the organic light emitting layer 10 and the cathode electrode 12 to be formed thereon is positioned. The partition wall 8 is formed in a direction crossing the anode electrode 4 and has a reverse taper structure in which the upper end portion has a wider width than the lower end portion. A spacer for connecting the thin film transistor array 74 and the organic EL array 60 between the barrier rib 8 and the barrier rib 8 and maintaining a gap between the first substrate 52 and the second substrate 2. 16) is located.

격벽(8)이 형성된 절연막(6) 상에는 유기화합물로 구성되는 유기발광층(10)과 캐소드전극(12)이 순차적으로 전면 증착된다. 유기발광층(10)은 절연막(106) 상에 정공 수송층, 발광층 및 전자 수송층이 적층되어 형성된다. On the insulating film 6 on which the partition 8 is formed, the organic light emitting layer 10 and the cathode electrode 12 made of an organic compound are sequentially deposited on the entire surface. The organic light emitting layer 10 is formed by stacking a hole transporting layer, a light emitting layer, and an electron transporting layer on the insulating film 106.

이러한 유기EL표시패널을 구비하는 능동 매트릭스형 유기전계발광표시소자는 박막 트랜스터 어레이(74)에 포함된는 게이트 라인과 데이터라인의 교차로 정의된 영역에 각각 배열되어진 픽셀을 구비한다. 픽셀들 각각은 게이트라인에 게이트펄스가 공급될 때 데이터라인으로부터의 데이터신호를 공급받아 그 데이터신호에 상응하는 빛이 발생하게 된다. An active matrix type organic light emitting display device having such an organic EL display panel includes pixels arranged in a region defined by the intersection of a gate line and a data line included in the thin film transformer array 74. Each of the pixels receives a data signal from the data line when a gate pulse is supplied to the gate line to generate light corresponding to the data signal.                         

즉, 도 2에 도시된 바와 같이, 유기발광층(10)은 정공 주입층(10a), 정공 수송층(10d), 발광층(10c), 전자 수송층(10d), 전자 주입층(10e)이 적층되어 형성된다. 이러한 유기 EL표시패널은 제1 전극(4)과 제2 전극(12)에 구동신호가 인가되면 전자와 정공이 방출되고, 제1 전극(4) 및 제2 전극(12)에서 방출된 전자와 정공은 유기발광층(10) 내의 발광층(10c)에서 재결합하면서 가시광을 발생하게 된다. 이때, 발생된 가시광은 제1 전극(4)을 통하여 외부로 나오게 되어 소정의 화상 또는 영상을 표시하게 된다. That is, as shown in FIG. 2, the organic light emitting layer 10 is formed by stacking a hole injection layer 10a, a hole transport layer 10d, a light emitting layer 10c, an electron transport layer 10d, and an electron injection layer 10e. do. The organic EL display panel emits electrons and holes when a driving signal is applied to the first electrode 4 and the second electrode 12, and electrons emitted from the first electrode 4 and the second electrode 12. The holes generate visible light while recombining in the light emitting layer 10c in the organic light emitting layer 10. At this time, the generated visible light comes out through the first electrode 4 to display a predetermined image or image.

한편, 이러한 유기 EL표시패널의 스페이서(16)는 격벽(8)이 형성된 후 스페이서 물질이 증착된 후 포토리쏘그래피 공정 및 식각공정이 실시됨으로써 형성된다. 그러나, 스페이서(16)는 상당한 높이를 갖도록 형성됨으로써 그 만큼 공정 편차가 크게 발생된다. 이에 따라, 각각의 스페이서(16)들 간의 높이가 불균일하게 됨으로써 박막 트랜지스터 어레이(74)와 유기EL어레이와(60)의 합착시 패널이 휘어지는 등의 문제가 발생된다.
Meanwhile, the spacer 16 of the organic EL display panel is formed by performing a photolithography process and an etching process after the spacer 8 is formed and then the spacer material is deposited. However, the spacer 16 is formed to have a significant height, so that the process variation is large. As a result, the height between the spacers 16 is non-uniform, such that the panel is bent when the thin film transistor array 74 and the organic EL array 60 are bonded together.

따라서, 본 발명의 목적은 패널의 휨을 방지할 수 있는 유기전계발광표시소자의 제조방법을 제공하는 데 있다.
Accordingly, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing an organic light emitting display device which can prevent the panel from warping.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 유기전계발광표시소자의 제조 방법은 박막 트랜지스터 어레이가 형성된 제1 기판을 마련하는 단계와; 상기 제1 기판과 대향하는 제2 기판 상에 제1 전극을 형성하는 단계와; 상기 제1 전극이 형성된 제2 기판 상에 상기 제1 전극을 부분적으로 노출시켜 발광영역을 정의하는 절연막을 형성하는 단계와; 상기 절연막 상에 격벽을 형성하는 단계와; 상기 격벽이 형성된 제2 기판 상에 스페이서들을 형성하는 단계와; 그라인딩 공정 및 폴리싱 공정 중 적어도 어느 하나의 공정에 의해 상기 스페이서의 끝단이 연마되어 상기 각각의 스페이서의 높이가 균일해지는 단계와; 상기 스페이서가 형성된 제2 기판 상에 유기발광층을 형성하는 단계와; 상기 유기발광층을 사이에 두고 상기 제1 전극과 교차되는 제2 전극을 형성하는 단계와; 상기 제1 및 제2 기판이 상기 스페이서를 사이에 두고 합착되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a method of manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention comprises the steps of: preparing a first substrate having a thin film transistor array; Forming a first electrode on a second substrate facing the first substrate; Forming an insulating layer defining a light emitting area by partially exposing the first electrode on a second substrate on which the first electrode is formed; Forming a partition on the insulating film; Forming spacers on the second substrate on which the partition wall is formed; Grinding the end of the spacer by at least one of a grinding process and a polishing process so that the height of each spacer is uniform; Forming an organic light emitting layer on a second substrate on which the spacers are formed; Forming a second electrode crossing the first electrode with the organic light emitting layer interposed therebetween; And bonding the first and second substrates together with the spacers interposed therebetween.

상기 스페이서는 신축성 및 발포성을 갖는 물질을 포함하는 것을 특징으로 한다.The spacer is characterized in that it comprises a material having elasticity and foamability.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부한 도면들을 참조한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다. Other objects and features of the present invention in addition to the above object will become apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 도 3a 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 3A to 4.

도 3a 내지 도 3h는 본 발명에 따른 본 발명의 실시예에 따른 유기 EL표시패널의 제조방법을 설명하기 위한 도면이다. 3A to 3H are views for explaining a method of manufacturing an organic EL display panel according to an embodiment of the present invention.

먼저, 도 3a에 도시된 바와 같이 제1 기판(152) 상에 박막트랜지스터(T) 어레이(174)가 형성된다. 여기서, 박막트랜지스터(T) 어레이(174)는 게이트 전극, 드 레인 전극, 소스전극, 반도체 패턴 등으로 구성되는 박막 트랜지스터(T), 게이트 라인 등의 신호라인, 스토리지 캐패시터 등을 포함한다. First, a thin film transistor (T) array 174 is formed on the first substrate 152 as shown in FIG. 3A. Here, the thin film transistor (T) array 174 includes a thin film transistor (T) including a gate electrode, a drain electrode, a source electrode, a semiconductor pattern, a signal line such as a gate line, a storage capacitor, and the like.

이후, 별도의 제2 기판(102) 상에 스퍼터링 등의 증착방법을 통해 투명전극 물질이 전면 증착된 후 포토리쏘그래피 공정 및 식각공정에 의해 투명전극 물질이 패터닝된다. 이에 따라, 도 3b에 도시된 바와 같이 제1 전극(102)이 형성된다. 여기서, 투명전극물질로는 인듐주석산화물(Indium Tin Oxide : ITO)이나 주석산화물(Tin Oxide : TO) 또는 인듐아연산화물(Indium Zinc Oxide : IZO)이 이용된다. Subsequently, the transparent electrode material is deposited on the separate second substrate 102 through a deposition method such as sputtering, and then the transparent electrode material is patterned by a photolithography process and an etching process. As a result, the first electrode 102 is formed as shown in FIG. 3B. Here, indium tin oxide (ITO), tin oxide (TO) or indium zinc oxide (IZO) is used as the transparent electrode material.

제1 전극(104)이 형성된 제2 기판(102) 상에 폴리이미드 등의 감광성절연물질이 증착된 후 포토리쏘그래피 공정에 의해 절연물질이 패터닝됨으로써 도 3c에 도시된 바와 같이 제1 전극(104)을 부분적으로 노출시키는 절연막(106)이 형성된다. 즉, 절연막(106)이 제1 전극(104)을 노출시켜 발광영역을 정의한다.After the photosensitive insulating material such as polyimide is deposited on the second substrate 102 on which the first electrode 104 is formed, the insulating material is patterned by a photolithography process, so that the first electrode 104 is shown in FIG. 3C. Is partially formed. That is, the insulating layer 106 exposes the first electrode 104 to define a light emitting area.

절연막(106)이 형성된 제2 기판(102) 상에 감광성유기물질이 증착된 포토리쏘그래피 공정에 의해 절연물질이 패터닝됨으로써 도 3d에 도시된 바와 같이 역테퍼 형상의 격벽(108)이 형성된다. As the insulating material is patterned by a photolithography process in which a photosensitive organic material is deposited on the second substrate 102 on which the insulating film 106 is formed, an inverted taper-shaped partition wall 108 is formed as shown in FIG. 3D.

격벽(108)이 형성된 제2 기판(102) 상에 스페이서 물질이 증착된 후 포토리쏘그래피 공정에 의해 절연물질이 패터닝됨으로써 스페이서(116)가 형성된다. 이러한, 스페이서(116)는 도 3e에 도시된 바와 같이 공정편차 등에 의해 높이(도면에서 d1,d2,d3의 높이가 동일하지 않다)가 균일하지 않게 된다. 이에 따라, 다이아몬드 휠 등을 이용한 그라인딩(Grinding)공정 및 표면연마(또는 "폴리싱(polishing)) 공정 중 적어도 어느 하나의 공정이 실시됨으로써 스페이서(116)의 끝단이 연마 즉, 갈고 닦아지게 된다. 이에 따라, 도 4에 도시된 바와 같이 모든 스페이서(116) 들의 높이(d)가 균일해진다. 이에 따라, 박막 트랜지스터 어레이(174)와 유기 EL어레이(160)가 균일한 높이를 갖는 스페이서(116)에 의해 연결됨으로써 제1 기판(152) 및 제2 기판(102) 사이의 갭이 균일하게 유지되고 패널의 휨현상이 방지된다. 한편, 스페이서(116)는 신축성 또는 발포성 물질을 포함할 수 있다. 이에 따라, 스페이서(116)는 소정의 탄성 및 신축성을 갖게 됨으로써 제1 기판(152) 및 제2 기판(102) 사이의 갭의 균일성이 더욱더 향상될 수 있고, 패널이 휘는 문제를 더욱더 방지할 수 있게 된다.After the spacer material is deposited on the second substrate 102 on which the partition 108 is formed, the spacer 116 is formed by patterning an insulating material by a photolithography process. As shown in FIG. 3E, the spacer 116 is not uniform in height (the height of d1, d2, d3 in the drawing is not the same) due to process deviations or the like. Accordingly, at least one of grinding and surface polishing (or "polishing") processes using a diamond wheel or the like is performed to polish, i.e., polish and polish the ends of the spacers 116. Accordingly, the height d of all the spacers 116 becomes uniform, as shown in Fig. 4. Accordingly, the thin film transistor array 174 and the organic EL array 160 are placed on the spacer 116 having a uniform height. The gaps between the first substrate 152 and the second substrate 102 are maintained uniformly and warpage of the panel is prevented, while the spacer 116 may include a stretchable or foamable material. The spacer 116 may have a predetermined elasticity and elasticity, thereby further improving the uniformity of the gap between the first substrate 152 and the second substrate 102 and further preventing the panel from bending. do.

스페이서(116)가 형성된 제2 기판(102) 상에 진공증착, 열성착 등의 증착방법을 이용하여 적(R), 녹(G), 청색(B)의 유기물이 증착됨으로써 도 3g에 도시된 바와 같이 유기발광층(110)이 형성된다. 이때, 상기 유기발광층(110)은 정공 수송층, 정공 주입층, 발광층, 전자 수송층, 전자 주입층 등으로 구성된다. Red (R), green (G), and blue (B) organic materials are deposited on the second substrate 102 on which the spacers 116 are formed using a deposition method such as vacuum deposition or thermal deposition. As described above, the organic light emitting layer 110 is formed. In this case, the organic light emitting layer 110 is composed of a hole transport layer, a hole injection layer, a light emitting layer, an electron transport layer, an electron injection layer.

이어서, 상기 유기발광층(110)의 상부에 스퍼터링등의 증착방법을 통해 도전성 금속물질이 증착됨으로써 도 3h 도시한 바와 같이 제2 전극(112)이 형성된다. 여기서, 도전성 금속물질로는 알루미늄(Al)과 칼슘(Ca)과 마그네슘(Mg)중 선택된 하나로 형성하거나 리튬플루오린/알루미늄(LIF/Al)의 이중 금속층으로 형성할 수 있다. 이로써, 제2 기판(102) 상기 유기 EL어레이가 형성된다.Subsequently, a conductive metal material is deposited on the organic light emitting layer 110 through a deposition method such as sputtering to form a second electrode 112 as illustrated in FIG. 3H. Here, the conductive metal material may be formed of one selected from aluminum (Al), calcium (Ca), and magnesium (Mg), or may be formed of a double metal layer of lithium fluorine / aluminum (LIF / Al). As a result, the organic EL array of the second substrate 102 is formed.

이후, 박막 트랜지스터 어레이(178)가 형성된 제1 기판(152)과 유기 EL어레이(160)가 형성된 제2 기판(102)이 도 3h에 도시된 바와 같이 균일한 높이를 갖는 스페이서(116)를 사이에 두고 합착된다.
Thereafter, the first substrate 152 on which the thin film transistor array 178 is formed and the second substrate 102 on which the organic EL array 160 is formed are interposed between the spacers 116 having a uniform height as shown in FIG. 3H. Is put on and cemented.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 유기 전계발광표시패널의 제조방법은 박막 트랜지스터 어레이가 형성된 제1 기판과 유기 전계발광어레이가 형성된 제2 기판이 그라인딩 및 폴리싱 공정 중 적어도 어느 하나의 공정에 의해 균일한 높이로 형성된 스페이서에 의해 연결된다. 이에 따라, 제1 및 제2 기판 사이의 셀갭이 균일하게 유기됨으로써 패널이 휘는 등의 문제가 발생하지 않게 된다. As described above, in the method of manufacturing an organic electroluminescent display panel according to the present invention, a first substrate on which a thin film transistor array is formed and a second substrate on which an organic electroluminescent array is formed are uniform by at least one of grinding and polishing processes. It is connected by a spacer formed at one height. As a result, the cell gap between the first and second substrates is uniformly induced, so that a problem such as bending of the panel does not occur.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정해 져야만 할 것이다. Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (2)

박막 트랜지스터 어레이가 형성된 제1 기판을 마련하는 단계와; Providing a first substrate on which a thin film transistor array is formed; 상기 제1 기판과 대향하는 제2 기판 상에 제1 전극을 형성하는 단계와; Forming a first electrode on a second substrate facing the first substrate; 상기 제1 전극이 형성된 제2 기판 상에 상기 제1 전극을 부분적으로 노출시켜 발광영역을 정의하는 절연막을 형성하는 단계와; Forming an insulating layer defining a light emitting area by partially exposing the first electrode on a second substrate on which the first electrode is formed; 상기 절연막 상에 격벽을 형성하는 단계와; Forming a partition on the insulating film; 상기 격벽이 형성된 제2 기판 상에 스페이서들을 형성하는 단계와; Forming spacers on the second substrate on which the partition wall is formed; 그라인딩 공정 및 폴리싱 공정 중 적어도 어느 하나의 공정에 의해 상기 스페이서의 끝단이 연마되어 상기 각각의 스페이서의 높이가 균일해지는 단계와; Grinding the end of the spacer by at least one of a grinding process and a polishing process so that the height of each spacer is uniform; 상기 스페이서가 형성된 제2 기판 상에 유기발광층을 형성하는 단계와;Forming an organic light emitting layer on a second substrate on which the spacers are formed; 상기 유기발광층을 사이에 두고 상기 제1 전극과 교차되는 제2 전극을 형성하는 단계와;Forming a second electrode crossing the first electrode with the organic light emitting layer interposed therebetween; 상기 제1 및 제2 기판이 상기 스페이서를 사이에 두고 합착되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시패널의 제조방법. And bonding the first and second substrates to each other with the spacers interposed therebetween. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 스페이서는 신축성 및 발포성을 갖는 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시패널의 제조방법.The spacer is a method of manufacturing an organic electroluminescent display panel comprising a material having elasticity and foamability.
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