KR20060057930A - Pressure automatic controlling apparatus for quartz tube - Google Patents

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KR20060057930A
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김학선
이영섭
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삼성전자주식회사
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Abstract

본 발명은 석영관내의 가스 압력을 감지하여 자동으로 조절할 있도록 구성한 석영관의 압력 자동 조절 장치에 관한 것으로, 이를 위해 석영관내로 가스를 공급 및 배출시키는 슈트 박스와, 상기 슈트 박스내로 기 설정된 압력값에 따라서 가스를 불어 넣어 석영관내의 가스 압력을 조절하는 석영관의 압력 조절 장치에 있어서, 상기 슈트 박스에 연결되어 기 설정된 압력값에 따라서 상기 석영관내로 가스를 공급하는 메인 유량제어기와, 상기 슈트 박스에 연결되어 상기 박스내의 압력이 변경될 경우 설정된 압력으로 유지시키기 위해 상기 석영관내로 가스를 공급하는 서브 유량제어기와, 상기 슈트박스내에 압력센서를 삽입하고, 상기 압력센서에 의해 실시간으로 감지된 신호의 압력값과 기 설정된 압력값을 비교하여 그 가변되는 압력값에 따라서 상기 박스내의 가스 압력을 일정하게 유지시킬 수 있게 상기 각각의 유량제어기를 제어하여 가스 공급을 조절하는 가스 압력 제어부로 구성되어짐을 특징으로 하며, 이에 따라, 석영관내의 가스공급을 안정화 시켜 광섬유 모재의 제조 품질을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.The present invention relates to a pressure automatic control device of a quartz tube configured to automatically adjust the sensing of the gas pressure in the quartz tube, for this purpose, a chute box for supplying and discharging the gas into the quartz tube, and a predetermined pressure value into the chute box A pressure regulating device of a quartz tube for adjusting gas pressure in a quartz tube by blowing gas according to the present invention, comprising: a main flow controller connected to the chute box and supplying gas into the quartz tube according to a predetermined pressure value; A sub flow controller connected to a box and supplying gas into the quartz tube to maintain a set pressure when the pressure in the box is changed, a pressure sensor is inserted into the chute box, and is sensed in real time by the pressure sensor. The pressure value of the signal is compared with the preset pressure value, and the phase is changed according to the variable pressure value. It is characterized in that it consists of a gas pressure control unit for controlling the gas supply by controlling the respective flow controllers to maintain a constant gas pressure in the box, thereby stabilizing the gas supply in the quartz tube of the optical fiber base material There is an advantage that can improve the manufacturing quality.

석영관, 슈트 박스, 메인/서브 유량제어기, 가스 압력 제어부Quartz tube, chute box, main / sub flow controller, gas pressure control

Description

석영관의 압력 자동 조절 장치{PRESSURE AUTOMATIC CONTROLLING APPARATUS FOR QUARTZ TUBE} PRESSURE AUTOMATIC CONTROLLING APPARATUS FOR QUARTZ TUBE}             

도 1은 종래의 화학 기상 증착법을 이용한 광섬유 모재 제조 장치의 개략도,1 is a schematic diagram of an optical fiber base material manufacturing apparatus using a conventional chemical vapor deposition method,

도 2는 종래의 석영관의 압력 조절 장치의 개략도,2 is a schematic diagram of a pressure regulating device of a conventional quartz tube,

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 석영관의 압력 자동 조절 장치의 구성을 나타낸 개략도.Figure 3 is a schematic diagram showing the configuration of the automatic pressure regulating device of the quartz tube according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 석영관의 압력 자동 조절 장치의 구성 중 서브 배기구를 나타낸 개략도.Figure 4 is a schematic diagram showing a sub exhaust port of the configuration of the automatic pressure regulator of the quartz tube according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 석영관의 압력 자동 조절 장치에 관한 것으로, 특히, 석영관내의 가스 압력을 자동으로 제어할 있도록 구성한 석영관의 압력 자동 조절 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an automatic pressure regulating device for quartz tubes, and more particularly, to an automatic pressure regulating device for quartz tubes configured to automatically control the gas pressure in the quartz tube.

통상적으로, 광통신은 광섬유를 통해 빛을 전송하여 정보를 교환하는 것으로 현재의 동축케이블에 의한 전기 통신에 비해 수만배의 정보를 전송할 수 있다.In general, optical communication is to exchange information by transmitting light through an optical fiber, which can transmit tens of thousands of times more information than electric communication by current coaxial cable.

이러한 상기 광섬유를 제작하기 위해서는 광섬유 제작용 모재가 필요로 하기 때문에 모재를 제작하는 과정이 선행되게 된다.In order to manufacture such an optical fiber, a process for manufacturing a base material is preceded because a base material for manufacturing an optical fiber is required.

모재를 제작하기 위한 공정으로 외부기상 증착공법(Outside Vapor Deposition: 'OVD' 이라 함)과, 축기상 증착공법 (Vapor Phase Axial Deposition: ' VAD ' 이라 함) 및 화학기상 증착공법(Modified Chemical Vapor Deposition: 'MCVD' 이라 함)이 있다.The process for fabricating the base material is called External Vapor Deposition (OVD), Vapor Phase Axial Deposition (VAD) and Modified Chemical Vapor Deposition. : Called 'MCVD'.

상기 OVD공법은 타켓 로드(Target Rod. 알루미나 봉)에 버너의 화염을 분사시켜 가열함과 아울러 화학 물질(Chemical)을 공급하여 열영동 현상(Thermophoresis)에 의해 화학물질이 타겟로드의 표면에 증착되도록 하는 것으로, 초기에는 타겟로드의 표면에 코어층을 형성하기 위해 코어층 형성용 화학물질을 공급하고, 이어서 이러한 코어층의 표면에 클래드층(Clad Layer)을 형성하기 위해 다시 화학물질을 공급한다.The OVD method injects a flame of a burner onto a target rod (alumina rod) and supplies the chemical to the target rod so that the chemical is deposited on the surface of the target rod by thermophoresis. Initially, a chemical for forming a core layer is supplied to form a core layer on the surface of the target rod, and then chemical is supplied again to form a clad layer on the surface of the core layer.

이와같이, 모재를 제작하는 공정이 타켓로드의 둘레에 점진적으로 증착되도록 하여 코어층을 먼저 만들고 그 위에 클래드층을 만드는 것이 OVD 공법의 특징이다.In this way, the process of manufacturing the base material is to be gradually deposited around the target rod to make a core layer first, and then a clad layer thereon is a feature of the OVD method.

또한, 상기 MCVD 공법은 석영관의 둘레를 가열함과 아울러 그 내부로 전술한 바와 같은 화학물질을 불어 넣으면 열영동 현상에 의해 석영관의 내면에 클래드층이 생성되게 되며, 이후 클래드층의 내면에 코어층을 형성하기 위한 화학물질을 전 술한 바와 같이 불어 넣어 코어층을 생성시킨다.In addition, the MCVD method heats the circumference of the quartz tube and blows the chemicals as described above into the inside of the quartz tube, thereby creating a cladding layer on the inner surface of the quartz tube by the thermophoretic phenomenon, and then on the inner surface of the cladding layer. Chemicals to form the core layer are blown as described above to create the core layer.

또한, 상기 VAD 공법은 수직방향의 타겟로드에 각각의 버너를 이용하여 상부의 버너는 코어층을 증착시키고, 하부의 버너는 클래드층을 증착시키는 방법으로 동시에 코어층과 클래드층을 형성하는 것을 특징으로 한다.In addition, the VAD method is a method of forming a core layer and a clad layer at the same time by depositing a core layer on the upper burner and a clad layer on the lower burner by using each burner on a vertical target rod. It is done.

여기서, 도 1과 같이, 상기 MCVD 공법의 구조를 살펴보면, 후드(Hood)(2)가 구비된 챔버 (Chamber)(1)를 구비하고, 상기 챔버(1)내에는 수평 선반에 서로 마주보게 제공된 헤드 스톡(3)과 테일 스톡(4)에 의해 석영관(7)을 잡아주고, 상기 석영관(7)의 하부에는 이동 레일(5)을 구비하여 이동레일(5)을 따라서 이동하는 버너(6)가 구비되고, 상기 석영관(7)의 회전축을 중심으로 회전시키고, 상기 버너(6)가 상기 이동 레일(5)을 따라서 이동함과 아울러 석영관(7)의 길이방향을 따라서 직선왕복운동을 하여 가열한다. Here, as shown in FIG. 1, the structure of the MCVD method includes a chamber 1 having a hood 2, and provided inside the chamber 1 facing each other on a horizontal shelf. A burner which holds the quartz tube 7 by the head stock 3 and the tail stock 4 and has a moving rail 5 in the lower portion of the quartz tube 7 and moves along the moving rail 5. 6) is provided, rotates about the axis of rotation of the quartz tube (7), the burner (6) moves along the moving rail (5) and straight reciprocating along the longitudinal direction of the quartz tube (7) Exercise and heat up.

상기 석영관(7)내에 질소 가스와 기타 그 외의 화학 물들을 산소 가스에 실어서 기체의 형태로 공급하면서 상기 석영관(7)의 외부면 및 내면에 슈트(SOOT)를 증착시켜 광섬유 모재를 완성한다.Nitrogen gas and other chemicals are loaded into the quartz tube 7 in an oxygen gas, and a suit is deposited on the outer and inner surfaces of the quartz tube 7 to supply an oxygen gas, thereby completing an optical fiber base material. do.

상기 헤드 스톡(3)과 테일 스톡(4)은 상기 석영관(7)의 양일단을 척(3a)(4a)에 의해 잡고, 상기 각각의 스톡(3)(4)은 상기 석영관(7)을 회전가능하게 잡고 있다.The head stock 3 and the tail stock 4 hold both ends of the quartz tube 7 by chucks 3a and 4a, and each of the stocks 3 and 4 is the quartz tube 7 ) Is rotatably holding.

도 2와 같이, 상기 테일 스톡(4)에는 상기 척(4a)을 고정시키고, 상기 석영관(7)내로 질소 가스(10)와 기타 그 외의 화학 물질들을 산소 가스에 실어서 기체의 형태로 공급 및 배출시키는 슈트 박스(SOOT BOX)(8)가 구비된다.As shown in FIG. 2, the chuck 4a is fixed to the tail stock 4, and nitrogen gas 10 and other chemical substances are loaded into the quartz tube 7 in the form of gas. And a chute box 8 for discharging.

상기 슈트 박스(8)에는 질소 가스(10)를 유입하는 질소관(8a)이 구비되고, 상기 질소관(8a)에는 가스(10)를 배출시키는 배기보조관(8b)이 형성되어 있다.The chute box 8 is provided with a nitrogen pipe 8a for introducing nitrogen gas 10, and an exhaust auxiliary pipe 8b for discharging the gas 10 is formed in the nitrogen pipe 8a.

상기 질소관(8a)은 상기 석영관(7)내로 상기 가스(10)를 공급할 수 있도록 지지하는 보조 지지관(9)이 구비된다.The nitrogen pipe (8a) is provided with an auxiliary support pipe (9) for supporting the gas (10) to be supplied into the quartz pipe (7).

상기 슈트 박스(8)에는 상기 배기 보조관(8b)을 통해 유입되는 미증착된 슈트 및 가스(10)를 외부로 배출시키는 수동밸브(9a)가 구비된다.The chute box (8) is provided with a manual valve (9a) for discharging the undeposited chute and gas (10) flowing through the exhaust auxiliary pipe (8b) to the outside.

상기 질소관(8a)에 압력센서(30)를 삽입하여 기 설정된 압력값으로 유량제어기(20)에 의해 상기 질소관(8a)을 통해 질소 가스(10)를 불어 넣어 상기 석영관(7)내의 압력을 제어한다.The pressure sensor 30 is inserted into the nitrogen tube 8a and the nitrogen gas 10 is blown through the nitrogen tube 8a by the flow controller 20 at a preset pressure value. To control the pressure.

그러나, 상기 MCVD 공정에서 외부 요인에 의해 상기 석영관내의 가스 압력의 변화로 상기 배기보조관이 막히고, 이로인해 불안정한 상태에서 공정이 진행할 경우 상기 질소관내에 공급되는 질소 가스의 양이 많이 변하게 되어 상기 석영관내의 압력이 변하여 상기 석영관내의 기류 변화를 일으켜 모재의 증착 품질이 저하되는 문제점이 있었다.However, in the MCVD process, the exhaust auxiliary pipe is clogged due to a change in the gas pressure in the quartz tube due to external factors, and thus, when the process proceeds in an unstable state, the amount of nitrogen gas supplied into the nitrogen tube changes significantly. The pressure in the quartz tube is changed to cause a change in air flow in the quartz tube, thereby degrading the deposition quality of the base material.

또한, 상기 석영관내의 압력 조절을 수동으로 조절함으로, 실시간으로 변하는 압력을 일일이 체크하고, 체크된 압력에 따라서 가스를 다시 공급 및 배출해야하는 번거러움이 있었다.In addition, by manually adjusting the pressure control in the quartz tube, there is a hassle of checking the pressure changing in real time, and supplying and discharging the gas again according to the checked pressure.

따라서, 본 발명은 석영관내의 가스 압력을 감지하여 자동으로 조절할 있도 록 구성함으로써, 광섬유 모재의 제조 품질을 향상시킬 수 있도록 한 석영관의 압력 자동 조절 장치를 제공하는데 있다.Accordingly, the present invention provides a device for automatically adjusting the pressure of the quartz tube to improve the manufacturing quality of the optical fiber base material by configuring the gas pressure in the quartz tube to be automatically adjusted.

본 발명의 다른 목적은, 석영관내의 가스 압력을 감지향 자동으로 조절할 있도록 구성함으로써, 석영관내의 가스공급을 안정화 시킬 수 있도록 한 석영관의 압력 자동 조절 장치를 제공하는데 있다.
Another object of the present invention is to provide an automatic pressure adjusting device for a quartz tube to stabilize the gas supply in the quartz tube by automatically adjusting the gas pressure in the quartz tube.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 석영관의 일단을 잡는 척과, 상기 척를 고정시키고, 상기 석영관내로 가스를 공급 및 배출시키는 슈트 박스와, 상기 슈트 박스내로 기 설정된 압력값에 따라서 가스를 불어 넣어 석영관내의 압력을 조절하는 석영관의 압력 조절 장치에 있어서,In order to achieve the above object, the present invention provides a chuck for holding one end of a quartz tube, a chute box for fixing the chuck and supplying and discharging gas into the quartz tube, and a gas according to a preset pressure value in the chute box. In the pressure control device of a quartz tube which blows in to control the pressure in the quartz tube,

상기 슈트 박스에 연결되어 기 설정된 압력값에 따라서 상기 석영관내로 가스를 공급하는 메인 유량제어기;A main flow controller connected to the chute box and supplying gas into the quartz tube according to a predetermined pressure value;

상기 슈트 박스에 연결되어 상기 박스내의 압력이 변경될 경우 설정된 압력으로 유지시키기 위해 상기 석영관내로 가스를 공급하는 서브 유량제어기; 및A sub flow controller connected to the chute box and supplying gas into the quartz tube to maintain the set pressure when the pressure in the box is changed; And

상기 슈트박스내에 압력센서를 삽입하고, 상기 압력센서에 의해 실시간으로 감지된 신호의 압력값과 기 설정된 압력값을 비교하여 그 가변되는 압력값에 따라서 상기 박스내의 가스 압력을 일정하게 유지시킬 수 있게 상기 각각의 유량제어기를 제어하여 가스 공급을 조절하는 가스 압력 제어부로 구성되어짐을 특징으로 한다.
Inserting a pressure sensor into the chute box, and compares the pressure value of the signal detected in real time by the pressure sensor with a predetermined pressure value to maintain the gas pressure in the box according to the variable pressure value Characterized in that it consists of a gas pressure control unit for controlling the gas supply by controlling each flow controller.

이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 또한, 도면이 구성요소 중 종래의 기능과 동일한 기능은 동일 부호를 사용하였음을 유의해야 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention. In addition, it should be noted that the same reference numerals denote the same functions as the conventional functions among the components.

도 3과 같이, 석영관(7)의 일단에는 상기 석영관(7)내로 질소 가스(10)를 공급 및 배출시킬 수 있도록 슈트 박스(8)가 구비되어 있고, 상기 슈트 박스(8)에는 상기 석영관(7)의 일단을 잡는 척(4a)이 구비되어 있다As shown in FIG. 3, a chute box 8 is provided at one end of the quartz tube 7 to supply and discharge nitrogen gas 10 into the quartz tube 7. A chuck 4a for holding one end of the quartz tube 7 is provided.

도 3과 같이, 석영관의 압력 자동 조절장치는 메인 유량제어기(100)와, 서브 유량제어기(200)와, 가스 압력 제어부(300)로 이루어져 있고, 상기 메인 유량제어기(100)는 기 설정된 압력값에 따라서 상기 석영관(7)내로 가스(10)를 유입시킬 수 있도록 상기 슈트 박스(8)에 연결되어 있으며, 상기 서브 유량제어기(200)는 상기 슈트 박스(8)내의 압력이 변경될 경우 설정된 압력으로 유지시키기 위해 상기 석영관(7)내로 가스(10)를 공급시킬 수 있도록 상기 슈트 박스(8)에 연결되어 있고, 상기 슈트 박스(8)내에는 상기 석영관(7)내의 압력을 감지할 수 있도록 압력센서(20)가 삽입되어 있으며, 상기 가스 압력 제어부(300)는 상기 압력센서(30)에 의해 실시간으로 감지된 신호의 압력값과 기 설정된 압력값을 비교하여 그 가변된 압력값에 따라서 상기 슈트 박스(8)내의 가스 압력을 일정하게 유지시킬 수 있게 상기 서브 유량제어기(200)를 제어하여 가스 공급을 조절하도록 되어 있다.As shown in FIG. 3, the automatic pressure regulating device of the quartz tube includes a main flow controller 100, a sub flow controller 200, and a gas pressure controller 300. The main flow controller 100 includes a preset pressure. It is connected to the chute box 8 so that the gas 10 can be introduced into the quartz tube 7 according to the value, and the sub flow controller 200 is changed when the pressure in the chute box 8 changes. It is connected to the chute box 8 so that the gas 10 can be supplied into the quartz tube 7 to maintain the set pressure. In the chute box 8, the pressure in the quartz tube 7 is applied. The pressure sensor 20 is inserted to detect the pressure, and the gas pressure controller 300 compares the pressure value of the signal sensed in real time by the pressure sensor 30 with a preset pressure value, thereby changing the pressure. The gas in the chute box 8 depending on the value Possible to maintain a constant force by controlling the flow rate of the sub-controller 200 is adapted to control the gas supply.

또한, 상기 메인 유량제어기(100)는 상기 가스 압력 제어부(300)에 의해 기설정된 압력값에 따라서 상기 슈트 박스(8)내로 가스(10)를 공급하도록 되어 있다.In addition, the main flow controller 100 is configured to supply the gas 10 into the chute box 8 in accordance with a pressure value preset by the gas pressure controller 300.

또한, 상기 서브 유량제어기(200)는 상기 가스 압력 제어부(300)에 의해 상기 슈트 박스(8)내의 가변된 압력에서 기 설정된 압력에 맞게 유지시킬 있게 가스(10)를 공급하도록 되어 있다.In addition, the sub flow controller 200 is configured to supply the gas 10 by the gas pressure controller 300 to maintain the preset pressure at a variable pressure in the chute box 8.

또한, 도 4와 같이, 상기 슈트 박스(8)의 소정 위치에는 수동밸브(9a)를 통해 미증착된 슈트 및 가스(10)를 배출시킬 수 있도록 메인 배기구(400)가 형성되어 있고, 상기 슈트 박스(8)의 소정 위치에는 상기 미증착된 슈트 및 가스(10)의 배출을 증진시킬 수 있도록 상기 메인 배기구(400)와 대칭으로 구비되어 있다.In addition, as shown in FIG. 4, a main exhaust port 400 is formed at a predetermined position of the chute box 8 so as to discharge the undeposited chute and gas 10 through the manual valve 9a. The predetermined position of the box 8 is provided symmetrically with the main exhaust port 400 so as to promote the discharge of the undeposited chute and gas 10.

상기와 같은 구성을 가지는 본 발명의 바람직한 일 실시 예에 의한 석영관의 압력 자동 조절 장치의 동작과정을 첨부된 도 3 및 도 4를 참조하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.Referring to Figures 3 and 4 attached to the operation of the automatic pressure control device of the quartz tube according to an embodiment of the present invention having the configuration as described above in detail as follows.

도 3과 같이, 챔버(1)내로 수평 선반에 서로 맞주보게 제공된 헤드 스톡(3)과 테일 스톡(4)에 석영관(7)의 양일단을 결합한다.As shown in FIG. 3, both ends of the quartz tube 7 are coupled to the head stock 3 and the tail stock 4 provided to face each other on a horizontal shelf into the chamber 1.

상기 테일 스톡(4)에는 석영관(7)의 일단을 잡는 척(4a)이 구비되고, 상기 척(4a)에 의헤 상기 석영관(7)의 일단을 고정시킨다.The tail stock 4 is provided with a chuck 4a for holding one end of the quartz tube 7, and is fixed to one end of the quartz tube 7 by the chuck 4a.

이 상태에서, 상기 테일 스톡(4)에는 상기 석영관(7)내로 가스(10)를 공급 및 배출시키는 슈트 박스(8)가 구비된다. In this state, the tail stock 4 is provided with a chute box 8 for supplying and discharging the gas 10 into the quartz tube 7.

상기 슈트 박스(8)에는 상기 석영관(7)내로 가스(10)를 공급하는 메인 유량제어기(100)가 연결되어 있으므로, 상기 메인 유량제어기(100)를 통해 상기 석연관내로 가스(10)를 공급한다.Since the chute box 8 is connected to the main flow controller 100 for supplying the gas 10 into the quartz tube 7, the gas 10 is introduced into the quartz tube through the main flow controller 100. Supply.

이때, 상기 메인 유량제어기(100)는 가스 압력 제어부(300)에 입력된 기설정 된 압력값에 따라서 가스(10)를 공급한다.In this case, the main flow controller 100 supplies the gas 10 according to a preset pressure value input to the gas pressure controller 300.

이때, 상기 슈트 박스(8)내에는 압력센서(30)가 삽입되고, 상기 압력 센서(30)에 의해 상기 석영관(7)내의 가스 압력을 실시간으로 감지한다.At this time, the pressure sensor 30 is inserted into the chute box 8, and the pressure sensor 30 senses the gas pressure in the quartz tube 7 in real time.

이 상태에서, 상기 석영관(7)내의 압력이 가변될 경우 상기 압력센서(30)가 이를 감지하고, 감지된 신호를 상기 가스 압력 제어부(300)로 인가한다.In this state, when the pressure in the quartz tube 7 is variable, the pressure sensor 30 detects this and applies the detected signal to the gas pressure controller 300.

상기 가스 압력 제어부(300)는 상기 압력 센서(30)에 의해 감지된 신호의 압력값과 기 설정된 압력값을 비교하여 그 가변되는 압력값에 따라서 상기 슈트 박스(8)내의 가스 압력을 일정하게 유지시킬 수 있도록 상기 서브 유량제어기(200)를 통해 가스 공급을 조절한다.The gas pressure controller 300 compares the pressure value of the signal sensed by the pressure sensor 30 with a preset pressure value and maintains a constant gas pressure in the chute box 8 according to the variable pressure value. The gas supply is controlled through the sub flow controller 200 so as to enable the control.

상기 서브 유량제어기(200)는 상기 슈트 박스(8)내로 가스(10)를 공급하여 상기 박스(8)내의 가스 압력을 일정하게 유지시킨다.The sub flow controller 200 supplies the gas 10 into the chute box 8 to maintain a constant gas pressure in the box 8.

이때, 도 4와 같이, 상기 석영관(7)내의 미증착된 슈트 및 가스(10)는 상기 슈트 박스(8)에 구비된 메인 배기구(400) 및 서브 배기구(500)에 의해 배출된다.At this time, as shown in FIG. 4, the undeposited chute and gas 10 in the quartz tube 7 are discharged by the main exhaust port 400 and the sub exhaust port 500 provided in the chute box 8.

상기와 같이, 석영관내에 가스 압력을 일정하게 유지시키고, 미증착된 슈트 및 가스를 신속하게 배출함으로써, 외부의 변화요인에 대응하여 가스 압력을 안정화시켜 광섬유 모재의 품질을 향상시킬 수 있다.As described above, by maintaining the gas pressure constant in the quartz tube and quickly discharging the undeposited chute and gas, the quality of the optical fiber base material can be improved by stabilizing the gas pressure in response to external change factors.

이상에서 설명한 본 발명의 석영관의 압력 자동 조절 장치는 전술한 실시 예 및 도면에 의해 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않은 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.The automatic pressure regulating device of the quartz tube of the present invention described above is not limited to the above-described embodiments and drawings, and various substitutions, modifications, and changes are possible within the scope without departing from the technical idea of the present invention. It will be apparent to those of ordinary skill in the art.

상술한 바와 같이 본 발명에 의한 석영관의 압력 자동 조절 장치에 의하면, As described above, according to the pressure automatic control apparatus of the quartz tube according to the present invention,

석영관내의 가스 압력을 자동으로 제어할 있도록 구성함으로써, 석영관내의 가스공급을 안정화 시켜 광섬유 모재의 제조 품질을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.By configuring to control the gas pressure in the quartz tube automatically, it is possible to stabilize the gas supply in the quartz tube to improve the manufacturing quality of the optical fiber base material.

Claims (5)

석영관의 일단을 잡는 척과, 상기 척를 고정시키고, 상기 석영관내로 가스를 공급 및 배출시키는 슈트 박스와, 상기 슈트 박스내로 기 설정된 압력값에 따라서 가스를 불어 넣어 석영관내의 압력을 제어하는 석영관의 압력 조절 장치에 있어서,A chuck holding one end of the quartz tube, a chute box for fixing the chuck and supplying and discharging gas into the quartz tube, and a quartz tube for controlling the pressure in the quartz tube by blowing gas into the chute box according to a predetermined pressure value. In the pressure regulating device of, 상기 슈트 박스에 연결되어 기 설정된 압력값에 따라서 상기 석영관내로 가스를 공급하는 메인 유량제어기;A main flow controller connected to the chute box and supplying gas into the quartz tube according to a predetermined pressure value; 상기 슈트 박스에 연결되어 상기 박스내의 압력이 변경될 경우 설정된 압력으로 유지시키기 위해 상기 석영관내로 가스를 공급하는 서브 유량제어기; 및A sub flow controller connected to the chute box and supplying gas into the quartz tube to maintain the set pressure when the pressure in the box is changed; And 상기 슈트박스내에 압력센서를 삽입하고, 상기 압력센서에 의해 실시간으로 감지된 신호의 압력값과 기 설정된 압력값을 비교하여 그 가변되는 압력값에 따라서 상기 박스내의 가스 압력을 일정하게 유지시킬 수 있게 상기 각각의 유량제어기를 제어하여 가스 공급을 조절하는 가스 압력 제어부로 구성되어짐을 특징으로 하는 석영관의 압력 자동 조절 장치.Inserting a pressure sensor into the chute box, and compares the pressure value of the signal detected in real time by the pressure sensor with a predetermined pressure value to maintain the gas pressure in the box according to the variable pressure value And a gas pressure controller for controlling the gas supply by controlling the respective flow controllers. 제 1 항에 있어서, 상기 메인 유량 제어기는 상기 가스 압력 제어부에 의해 기 설정된 압력값에 따라서 상기 슈트 박스내로 가스를 공급함을 특징으로 하는 석영관의 압력 자동 조절 장치.2. The apparatus of claim 1, wherein the main flow controller supplies gas into the chute box according to a pressure value preset by the gas pressure controller. 제 1 항에 있어서, 상기 서브 유량 제어기는 상기 가스 압력 제어부에 의해 상기 슈트 박스내의 가변된 압력에서 기 설정된 압력에 맞게 유지시킬 수 있도록 가스를 공급함을 특징으로 하는 석영관의 압력 자동 조절 장치.The apparatus of claim 1, wherein the sub flow rate controller supplies gas by the gas pressure controller to maintain the gas at a variable pressure in the chute box according to a predetermined pressure. 제 1 항에 있어서, 상기 슈트 박스의 소정 위치에는 수동밸브를 통해 미증착된 슈트 및 가스를 배출시키는 메인 배기구가 형성되고,According to claim 1, wherein the predetermined location of the chute box is provided with a main exhaust port for discharging the undeposited chute and gas through the manual valve, 상기 메인 배기구와 대칭되는 위치에는 상기 미증착된 슈트 및 가스를 배출시키는 다수의 서브 배기구가 형성되어짐을 특징으로 하는 석영관의 압력 자동 조절 장치.And a plurality of sub exhaust ports for discharging the undeposited chute and gas are formed at positions symmetrical with the main exhaust ports. 석영관의 일단을 잡는 척과, 상기 척를 고정시키고, 상기 석영관내로 가스를 공급 및 배출시키는 슈트 박스와, 상기 슈트 박스내로 기 설정된 압력값에 따라서 가스를 불어 넣어 석영관내의 가스 압력을 조절하는 석영관의 압력 조절 장치에 있어서,A chuck holding one end of the quartz tube, a chute box for fixing the chuck and supplying and discharging gas into the quartz tube, and a quartz for blowing gas into the chute box according to a predetermined pressure value to adjust the gas pressure in the quartz tube. In the pressure regulator of the pipe, 상기 슈트 박스에 기 설정된 압력값에 따라서 가스를 공급하고, 상기 박스내의 가스 압력이 가변될 경우 설정된 압력으로 유지시키기 위해 상기 석영관내로 가스를 공급하는 적어도 하나 이상의 유량제어기와,At least one flow controller for supplying gas to the chute box according to a preset pressure value and supplying gas into the quartz tube to maintain the set pressure when the gas pressure in the box is varied; 상기 슈트박스내에 압력센서를 삽입되고, 상기 압력센서에 의해 감지된 신호의 압력값과 기 설정된 압력값을 비교하여 그 변경되는 압력값에 따라서 상기 박스내의 가스 압력을 일정하게 유지시킬 수 있도록 상기 각각의 유량제어기를 제어하하여 가스 공급을 조절하는 가스 압력 제어부로 구성되어짐을 특징으로 하는 석영관의 압력 자동 조절 장치.The pressure sensor is inserted into the chute box, and the pressure value of the signal sensed by the pressure sensor is compared with the preset pressure value so that the gas pressure in the box can be kept constant according to the changed pressure value. The pressure regulator of the quartz tube, characterized in that consisting of a gas pressure control unit for controlling the gas supply by controlling the flow controller of the.
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