KR20060049712A - 유체 유동 제어 장치, 반도체 처리에 사용하는 시스템,다수의 유체의 유동의 제어에 사용하는 시스템 및 다수의유체의 혼합에 사용하는 시스템 - Google Patents

유체 유동 제어 장치, 반도체 처리에 사용하는 시스템,다수의 유체의 유동의 제어에 사용하는 시스템 및 다수의유체의 혼합에 사용하는 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR20060049712A
KR20060049712A KR1020050058346A KR20050058346A KR20060049712A KR 20060049712 A KR20060049712 A KR 20060049712A KR 1020050058346 A KR1020050058346 A KR 1020050058346A KR 20050058346 A KR20050058346 A KR 20050058346A KR 20060049712 A KR20060049712 A KR 20060049712A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
flow control
fluid
control device
fluid flow
valve
Prior art date
Application number
KR1020050058346A
Other languages
English (en)
Inventor
피터 엠 포즈니아크
Original Assignee
더 비오씨 그룹 인코포레이티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 더 비오씨 그룹 인코포레이티드 filed Critical 더 비오씨 그룹 인코포레이티드
Publication of KR20060049712A publication Critical patent/KR20060049712A/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00—Control of flow
    • G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
    • G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
    • G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
    • G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
    • G05D7/0641—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means using a plurality of throttling means
    • G05D7/0647—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means using a plurality of throttling means the plurality of throttling means being arranged in series
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/7722—Line condition change responsive valves
    • Y10T137/7758—Pilot or servo controlled
    • Y10T137/7761—Electrically actuated valve

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Flow Control (AREA)

Abstract

유체 유동 제어 장치는 장치 내부로 유체를 통과시키는 흡입구와, 장치로부터 유체를 배출하는 배출구를 포함한다. 또한 유체 유동 제어 장치는 제어된 압력으로 유체를 수용 및 반송하도록 형성된 압력 조절부를 포함할 수도 있다. 유체 유동 제어 장치는 압력 조절부에 의해 반송된 유체를 수용하고 제어된 유량으로 유체를 반송하도록 형성된 유동 제어 밸브부를 더 포함할 수도 있다. 이외에도, 유체 유동 제어 장치는 유체의 유량을 측정하도록 형성된 유량계와, 적어도 유량계에 의해 측정된 유동에 따라 적어도 유동 제어 밸브부를 제어하는 제어기를 포함할 수도 있다. 몇몇의 예에서, 유체 유동 제어 장치는 반도체 처리 툴에 유체를 통과시키고 및/또는 다수의 유체를 혼합시키는 데 사용될 수도 있다.

Description

유체 유동 제어 장치, 반도체 처리에 사용하는 시스템, 다수의 유체의 유동의 제어에 사용하는 시스템 및 다수의 유체의 혼합에 사용하는 시스템{FLUID FLOW CONTROL DEVICE AND SYSTEM}
도 1은 본 발명에 따른 유체 유동 제어 장치(fluid flow control device)의 일 실시예의 일부 절단 측면도,
도 2는 도 1의 유체 유동 제어 장치의 일부 절단 평면도,
도 3은 도 1의 유체 유동 제어 장치와 함께 사용하는 예시적인 버스 모듈(bus module)의 측면도,
도 4는 복수의 유체 유동 제어 장치 및 버스 모듈을 포함하는 시스템의 일 실시예의 측면도,
도 5는 도 1의 유체 유동 제어 장치의 개략도,
도 6은 구성 요소에 유동 결합되는 유체 유동 제어 장치를 포함하는 시스템의 변형 실시예의 개략도,
도 7은 도 1의 유체 유동 제어 장치용의 예시적인 제어기의 개략도로서, 제어기가 다수의 파일럿 밸브(pilot valves), 조절기 파일럿 밸브(regulator pilot valve), 스텝 모터(stepper motor), 유량계, 및 압력계와 연통하고 있는 상태를 도 시하는 도면.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
5 : 유체 유동 제어 장치 15 : 압력 조절기
20 : 조절기 파일럿 밸브 24 : 압력계
25 : 유량계 35 : 유동 제어 밸브
40 : 스텝 모터 50 : 파일럿 밸브
60 : 정화 매체 밸브(purge media valve)
70 : 차단 밸브(shut off valve) 95 : 버스 모듈
115 : 제어기 120 : 흡입구(inlet)
125 : 배출구(outlet) 135 : 디스플레이(display)
본 발명은 유체의 유동을 제어하는 장치에 관한 것이다. 본 발명의 어떤 예시적인 측면은 반도체 응용에서 유체를 반송하도록 구성된 유량 제어 장치에 관한 것일 수도 있다.
유체의 유동을 제어하는 데 이용 가능한 현재의 장치는, 이러한 제어를 필요로 하는 상이한 용도만큼 다수이고 다양하다. 어떤 경우에, 유체 유동 제어는 과제일 수 있다. 예를 들어, 어떤 용도에서는, 유체의 공급, 또는 그러한 유체에 대 한 출력 조건이 변동해서, 유체의 유량을 정확하게 또 반복적으로 제어하는 것이 어렵다. 또한 이러한 변동은 유체 압력 및 유량의 변화를 조정하기 어렵게 한다.
이러한 어려움 때문에, 몇몇의 현존하는 유체 유동 제어 장치는 유체를 정확하게 또 반복적으로 반송하는 것 둘 다 가능하지는 않다. 사실, 몇몇의 현존하는 유체 유동 제어 장치는 단지 상류 또는 하류 쪽으로의 유동의 변화를 보완하는 제한된 능력만을 가지고 있고, 장치 내의 유체 조건이 변동하는 것에 적응하기에 썩 적합하지 않다. 현재의 몇몇 설계의 제한된 능력은 다수의 원인에 의한 것일 수도 있다. 예를 들어, 몇몇의 유체 유동 제어 장치 내에서 사용되는 밸브는 유체의 유량을 제어하는 데는 충분할 수도 있으나 특히 유동을 전환시키는 데에는 적합하지 않을 수도 있다. 유사하게, 몇몇의 유체 유동 제어 장치에 사용되는 구성 요소는 유체의 유동 또는 압력을 측정하는 것이 가능할 수도 있으나, 유체 유동 또는 압력의 변동 때문에 매우 정확하지는 않을 수도 있다.
몇몇의 현존하는 장치는 유동 제어 조건을 변화시키는 것에 빠르게 반응하지 않는다. 어떤 경우에, 유량의 변화 및 이러한 변화의 탐지 사이에 비교적 뚜렷한 지연(delay)이 존재한다. 결과적으로, 피드백 제어 루프(feedback control loop)는 유량계 또는 사용되는 다른 측정 장치만큼만 민감하다.
본 발명의 개시는 유체 유동 제어 장치에 관한 것으로, 이 장치는 현존하는 유체 유동 제어 장치의 상기 언급된 단점의 일부분 또는 전체를 적어도 부분적으로 해소할 수도 있다.
하기의 상세한 설명에서, 본 발명의 특정 관점 및 실시예가 명백해 질 것이다. 본 발명은, 가장 광범위한 의미에서, 이러한 관점 및 실시예의 하나 또는 그 이상의 특징을 갖지 않고 실행될 수 있는 것으로 이해되어야 한다. 바꾸어 말하면, 이러한 관점 및 실시예는 단지 예시적인 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 유체 유동 제어 장치는 장치 내부로 유체를 통과시키는 흡입구와, 장치로부터 유체를 빠져나가게 하는 배출구를 포함할 수도 있다. 또한 유체 유동 제어 장치는 제어된 압력으로 유체를 수용 및 반송하도록 구성된 압력 조절부를 포함할 수도 있다. 유체 유동 제어 장치는 압력 조절부에 의해 반송된 유체를 수용하고 제어된 유량으로 유체를 반송하도록 구성된 유동 제어 밸브부를 더 포함할 수도 있다. 이외에도, 유체 유동 제어 장치는 유체의 유량을 측정하도록 구성된 유량계와, 적어도 유량계에 의해 측정된 유동에 따라 적어도 유동 제어 밸브부를 제어하는 제어기를 포함할 수도 있다.
다른 실시예에서, 유체 유동 제어 장치의 압력 조절부는 압력 조절기와, 압력 조절기를 공기압으로 제어하는 조절기 파일럿 밸브를 포함할 수도 있다. 또한 유체 유동 제어 장치는 유체의 압력을 측정하도록 형성된 압력계를 포함할 수도 있다. 제어기는 조절기 파일럿 밸브를 제어할 수도 있고, 또한 적어도 압력계에 의해 측정된 압력에 따라 조절기 파일럿 밸브를 제어하도록 구성될 수도 있다.
또 다른 실시예에서, 유동 제어 밸브부는 유동 제어 밸브와, 이 유동 제어 밸브를 제어하는 스텝 모터를 포함할 수도 있다. 예를 들어, 제어기는 스텝 모터 를 제어할 수도 있고, 유량계는 유동 제어 밸브로부터 상류측의 유체의 유량을 측정할 수도 있다.
또 다른 실시예에 있어서, 유체 유동 제어 장치는 소정의 유체 유량을 입력하는 수단을 더 포함할 수도 있다. 제어기는 적어도 소정의 유체 유량 및 측정된 유량에 따라 유동 제어 밸브를 제어할 수도 있다. 또한 유체 유동 제어 장치는 입력 유량, 소정의 유량, 및 측정된 유량을 표시하는 디스플레이를 포함할 수도 있다.
또 다른 실시예에서, 또한 유체 유동 제어 장치는 유출 밸브(outflow valve)부를 포함할 수도 있다. 이 유출 밸브부는 배출구를 통해 흡입하도록 구성될 수도 있고, 유출 밸브[예를 들어, 흡수 백 밸브(suck back valve)] 및 유출 밸브를 공기압으로 제어하는 파일럿 밸브를 더 포함할 수도 있다. 어떤 예에서, 압력 조절부 및 유동 제어 밸브부가 소정의 유동 조건으로 설정되면 제어기는 유출 밸브부를 제어하여, 유출 밸브부가 유체 차단 위치로부터 유체 유동 위치로 변화되도록 한다.
다른 실시예에서, 또한 유체 유동 제어 장치는 적어도 배출구를 포함하는 유체 유동 제어 장치의 적어도 일부분을 통해 정화 매체의 유동을 제어하도록 구성된 정화 매체 및 정화 매체 밸브부용의 유입 포트(inflow port)를 포함할 수도 있다. 정화 매체 밸브부는 정화 매체 밸브와, 이 정화 매체 밸브를 공기압으로 제어하는 파일럿 밸브를 포함할 수도 있다.
또 다른 실시예에서, 또한 유체 유동 제어 장치는 흡입구를 통해 장치로부터 유체의 유동을 제한하도록 구성된 체크 밸브를 포함할 수도 있다. 또한 유체 유동 제어 장치는 가압 물질(pressurized substance)용의 유입 포트를 포함할 수도 있다. 압력 조절부는 가압 물질을 사용함으로써 공기압으로 제어되도록 구성될 수도 있다.
또 다른 실시예에서, 유체 유동 제어 장치는 유체의 압력을 측정하도록 구성된 압력계를 더 포함할 수도 있다. 제어기는 적어도 압력계에 의해 측정된 압력에 따라 조절기 파일럿 밸브를 제어할 수도 있다.
또 다른 실시예는 반도체 처리에 사용되는 시스템에 관한 것이다. 이 시스템은 적어도 하나의 유체 유동 제어 장치 및 적어도 하나의 반도체 처리 툴을 포함할 수도 있다. 반도체 처리 툴은 적어도 하나의 유체 유동 제어 장치로부터 유체를 수용할 수도 있다.
또 다른 실시예는 다수의 유체의 유동 제어에서 사용되는 시스템에 관한 것인데, 이 시스템은 제 1 유체 유동 제어 장치 및 제 2 유체 유동 제어 장치를 포함한다. 유체 유동 제어 장치는 서로 연통될 수도 있다. 제 1 유체 유동 제어 장치는 수 커넥터(male connector)를 포함할 수도 있고, 제 2 유체 유동 제어 장치는 수 커넥터에 결합되도록 구성된 암 커넥터(female connector)를 포함할 수도 있다.
또한 시스템은 이 시스템을 제어 유닛(controlling unit)과 연통시킬 수 있도록 구성된 버스 모듈을 포함할 수도 있다. 버스 모듈은 제 2 유체 유동 제어 장치의 수 커넥터에 결합되도록 형성된 암 커넥터를 포함할 수도 있다. 이외에도, 또한 각각의 제 1 및 제 2 유체 유동 제어 장치는 소정의 유체 유량을 입력하는 수단을 포함할 수도 있다. 각각의 유체 유동 제어 장치는 소정의 입력 유량 및 측정 된 유량을 표시하는 디스플레이를 더 포함할 수도 있다.
또 다른 일 실시예는 다수의 유체를 혼합할 때 사용하는 시스템에 관한 것이다. 시스템은 제 1 유체 유동 제어 장치, 제 2 유체 유동 제어 장치, 및 혼합기(mixer)를 포함할 수도 있는데, 각각의 제 1 및 제 2 유체 유동 제어 장치의 배출구가 혼합기와 유동 결합되어 있다. 예를 들어, 시스템은 혼합기에 다중의 유체 유동을 공급하기 위해 제 1 및 제 2 유체 유동 제어 장치를 제어하도록 구성될 수도 있는데, 각각의 유체 유동은 제어된 유량 및 제어된 유량 지속을 가질 수도 있다.
상기의 구조적 장치 이외에, 또한 본 발명은 하기에 설명하는 것과 같은 다수의 다른 장치를 포함할 수 있다. 상기의 상세한 설명 및 하기의 상세한 설명 두 가지 모두 단지 예시적이라는 것이 이해되어야 한다.
첨부된 도면은 이 명세서에 통합되어 명세서의 일부분을 구성한다. 도면은 예시적인 실시예를 도시하고 상세한 설명과 함께, 본 발명의 몇몇의 원리를 설명하는 데 이용된다.
본 개시의 몇몇의 예시적인 실시예에 대해 상세하게 설명할 것이다. 가능한 어느 위치든지, 동일한 참조 번호는 전체 도면을 통해 동일하거나 유사한 부분을 나타내도록 사용될 것이다.
도 1 및 도 2는 흡입구(120) 및 배출구(125)를 포함하는 유체 유동 제어 장 치(5)의 실시예를 도시한다. 흡입구(120)는 도 5에 도시된 유체 소스(80)에 유체 연결될 수도 있고, 유체를 유체 유동 제어 장치(5)에 유입시킬 수 있도록 형성될 수도 있다. 유체 유동 제어 장치(5)에 의해 제어된 유체는 유체의 유동을 제어할 수 있기에 적절한 특성을 갖는 유체일 수도 있다. 유체는 액체, 현탁액(slurry), 또는 기체 형태일 수도 있고, 상대적으로 낮은 점성 및 반응성을 가질 수도 있다. 몇몇의 유체의 예는 물, 용융된 실리콘, 백금, 구리, 또는 임의의 다른 유체를 포함하지만, 이에 한정되지 않으며, 이 유체는 종래의 반도체 제조에서 사용되는 다른 유체와 같은 것이다.
배출구(125)는 도 5에 도시된 바와 같이, 구성 요소(81)에 유체 연결될 수도 있고, 유체가 유체 유동 제어 장치(5)를 빠져나가는 것을 허용하도록 구성될 수도 있다. 구성 요소(81)는 처리 툴일 수도 있고, 또는 유체를 수용하도록 형성된 구성 요소의 다른 형식일 수도 있다. 배출구(125)에 연결된 구성 요소(81)의 종류는 유체 유동 제어 장치(5)가 사용되는 용도에 따라 달라질 수도 있다. 하나의 예시적인 구성 요소(81)는 반도체 처리 툴이고, 이것은 예를 들어, 스프레이-온 툴(spray-on tool), 스핀-온 툴(spin-on tool), 또는 물 처리 챔버(water processing chamber) 및 진공 챔버, 또는 종래 기술에서 공지된 다른 환경에 유체를 분배하는 툴과 같은 것이다.
유체 유동 제어 장치(5)는 제어기(115)(도 1 및 도 7에 도시됨), 압력 조절부(10), 유량계(25), 및 유동 제어 밸브부(30)를 더 포함할 수도 있다. 압력 조절부(10), 유량계(25), 및 유동 제어 밸브부(30)는 도 5에 개략적으로 도시되어 있 다. 압력 조절부(10)는 압력 조절기(15) 및 조절기 파일럿 밸브(20)를 포함할 수도 있고, 제어된 압력으로 유체의 유동을 수용하고 유체를 반송할 수 있도록 구성될 수도 있다. 압력 조절기(15)는, 예를 들어, 돔(dome)이 탑재된 압력 조절기 또는 기술 분야에 공지된 임의의 다른 작동 압력 조절기일 수도 있다. 압력 조절기(15)는 압력 조절부(10)의 하류측의 유체의 압력을 처리하는 데 사용될 수도 있고, 피드백 루프를 통해 유체의 하류측 압력에 응답할 수도 있다. 압력 조절기(15)는 공기압으로 제어되도록 구성된 밸브 조절기일 수도 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 조절기 파일럿 밸브(20)는 가압 물질 소스(65)와 유동 결합될 수도 있다. 조절기 파일럿 밸브(20)는 소스(65)로부터 압력 조절기(15) 쪽으로 가압 물질의 가압 유동을 제어하여 공기압으로 조절기(15)를 작동시킬 수 있고, 또한 조절기(15)가 그 조절기(15)로부터 하류측에 특정한 유체 압력을 형성하게 한다. 조절기 파일럿 밸브(20)는 제어기(115)로부터 전기 신호를 수신할 수도 있고, 그 신호에 따라서, 가압 물질의 특정한 압력을 공급하고 그것에 의해 압력 조절기(15)를 작동시키기 위해 대응하는 양으로 압력 조절기(15)를 작동시킨다. 따라서, 파일럿 밸브(20)는 제어기(115)로부터의 전기 신호를 수신할 수도 있고 그 전기 신호에 근거하여 조절된 압력의 가압 물질이 압력 조절기(10)에 작용하는 것을 허용할 수도 있다. 압력 조절기(15)는 오리피스(orifice) 또는 다른 유로를 대응하는 양 만큼 개방함으로써 가압 물질에 반응할 수도 있고, 이것에 의해 압력 조절부(10)의 하류측의 유체의 압력을 조절한다. 따라서, 압력 조절기(15)의 하류측의 유체는 처리된 압력을 유지할 수도 있다.
가압 물질은 질소, 산소, 공기, 또는 본 기술 분야에서 공지된 다른 기체를 포함할 수도 있는데, 이에 한정되지 않고, 이 기체는 공기압 밸브 또는 다른 유체 유동 제어 구성 요소에 적절하다.
선택적으로, 유체 유동 제어 장치(5)는 도 5에 도시된 바와 같이 하나 또는 그 이상의 압력계(24)를 더 포함할 수도 있다. 압력계(24a)는 압력 조절부(10)의 상류 쪽에 위치될 수도 있다. 이러한 예에서, 압력계(24a)는 유체가 압력 조절기(15)로 도입되기 전에 유체의 압력을 측정할 수도 있고, 그리고 제어기(115)가 검출된 압력에 따라 조절기 파일럿 밸브(20)를 제어하는 것을 가능하게 하도록 제어기(115)에 측정 신호를 보낼 수도 있다. 이것에 의해, 압력 조절기(15)가 상류 쪽에 발생하는 유체 압력의 변동을 조정하는 것이 가능하게 된다.
또한(또는 변형예로서) 압력계(24b)는 압력 조절부(10)의 하류 쪽에 위치될 수도 있다. 하류 쪽의 압력계(24b)는 제어기(115)에 피드백을 제공하여, 유체의 압력이 압력 조절기(15)에 의해 어떻게 잘 제어되는지를 제어기(115)가 결정하는 것을 가능하게 한다. 상류의 압력계(24a)와 유사하게, 하류의 압력계(24b)에 의해 측정된 압력은 압력 조절기(15)를 제어하는 데 사용될 수도 있다.
도 1 및 도 5에 도시된 바와 같이, 유체 유동 제어 장치(5)의 유동 제어 밸브부(30)는 모터(40)에 의해 제어되는 유동 제어 밸브(35)를 포함할 수도 있다. 유동 제어 밸브(35)는 조절부(10)에 의해 제어된 압력으로 유체를 수용할 수도 있고, 유체 유동 제어 장치(5)로부터 유체가 빠져나갈 때 유체의 유량을 조절할 수도 있다. 몇몇의 예에서, 유동 제어 밸브(35)를 제어하는 모터(40)는 제어기(115)로 부터 전기 신호를 수신하고, 이러한 신호에 근거하여 유체 유량을 제어하도록 기계적으로 밸브(35)를 작동시킨다. 모터(40)는 스텝 모터, 서보 모터(servo motor), 또는 종래의 기술에서 공지된 다른 형식의 전기 모터[예를 들어, 정밀 전기 모터(precision electric motor)]일 수 있다. 마찬가지로, 유동 제어 밸브(35)는 종래 기술에서 일반적으로 공지된 임의의 형태의 모터 구동형 유동 제어 밸브일 수 있다.
상술하고 또, 도 1, 도 2 및 도 5에 도시된 바와 같이, 또한 유체 유동 제어 장치(5)는 유량계(25)를 포함할 수도 있다. 유체가 처리된 압력으로 압력 조절기(15)를 빠져나간 후에, 유량계(25)는 유동 제어 밸브(35)의 상류측의 유체의 유량을 측정할 수도 있다. [변형예로서, 유량계(25)는 유동 제어 밸브(35)의 하류에 위치될 수도 있다.] 유량계(25)는 제어기(115)에 유량 측정 신호를 전달할 수도 있다. 제어기(115)는 측정된 유량에 따라, 압력 조절부(10) 및 유동 제어 밸브부(30)를 제어할 수도 있다.
유량계(25)는 비행 형식 측정(flight type measurements)의 도플러 편이(偏移)(doppler shift) 또는 시간을 통해 조정된 튜브에서 유동의 속도를 검출하는 것이 가능한 초음파 유량계(ultrasonic flow meter)일 수도 있다. 변형예로서, 유량계(25)는 차압 형식(pressure differential type), 코리올리 형식(coriolis type), 와류 발생 형식(vortex shedding type), 열선 형식(hot wire type), 또는 종래의 기술에서 공지된 임의의 다른 형식의 유량계일 수도 있다.
몇몇의 예에서, 유량계(25)는 압력 조절기(15)의 하류측의 유체 유동을 측정 하고, 제어기(115)에 측정된 신호를 보낸다. 제어기(115)는 또한 추가적인 신호를 수신하는 것 이외에도 측정 신호를 수신하는데, 이러한 신호는 유체의 소정의 유량에 관한 신호이다. 신호 제어기(115)는 각각의 조절기 파일럿 밸브(20) 및 모터(40)에 상응하는 압력 및 유동 신호를 보낸다. 이러한 방법으로, 유량계(25)는 제어기(115)와 연통하여 유체 유동 제어 장치(5)의 다른 구성 요소를 제어하는 연속적인 피드백 루프를 형성한다. 도 7은 피드백 루프와 연관될 수도 있는 구성 요소 사이의 연통 링크의 일례를 도식적으로 도시한 것이다.
다른 예에서(도시되지 않음), 피드백 루프는 단지 유량계(25), 모터(40), 및 제어기(115)를 포함할 수도 있다.
다른 예에서, 피드백 루프는 유동 및 압력 측정값을 제어기(115)로 각각 보내는 유량계(25) 및 압력계(24a 및/또는 24b)를 모두 포함할 수도 있다. 이러한 예에서, 제어기(115)는 다른 입력(예를 들어, 소정의 유량)뿐만 아니라 상기 입력에 따라 압력 및 유량 명령 신호를 결정할 수도 있고, 그 후에 대응하는 압력 및 유량 신호를 조절기 파일럿 밸브(20) 및 스텝 모터(40)에 각각 전송할 수도 있다.
또 다른 예에서(도시되지 않음), 유체 유동 제어 장치(5)는 제 2 압력 조절부를 더 포함할 수도 있는데, 이것은 압력 조절부(10)와 같은 것이지만, 유동 제어 밸브부(30)의 하류에 위치된다. 이러한 제 2 압력 조절부는 배압(背壓)(back pressure) 조절기의 역할을 할 수도 있으며, 이것은 유량계(25) 및 압력계(24a 및/또는 24b)로부터 하류측 압력 조건의 변동을 분리시킨다.
유체 유동 제어 장치(5)는 유출 밸브부(46)를 더 포함할 수도 있는데, 이 밸 브부는 파일럿 밸브(50c)에 의해 선택적으로 제어되는 유출 밸브(45)를 포함한다. 유출 밸브(45)는 유체 유동 제어 장치(5)의 배출구(125) 근처에 위치된다. 몇몇의 예에서, 유출 밸브(45)는 적어도 약간의 유체가 유체 유동 제어 장치 내부(5)에 유입될 수도 있는 배출구(125)를 통해 흡입을 가하도록 구성된 흡수 백(suck back) 밸브일 수도 있다. 몇몇의 예시적인 장치의 경우에, 흡입력은 구성 요소(81)에 관련된 유체 방울(droplets), 잔류물(residue), 또는 다른 유체 관련 유출물(issues)의 형태를 제한할 수도 있다. 예를 들어, 구성 요소(81)가 분배 노즐, 분사기, 또는 다른 형태의 유체 분배기를 갖는 반도체 처리 툴인 경우, 흡수 백 밸브는 구성 요소의 유체 분배기와 관련된 유체 방울 또는 잔류물의 형태를 제한할 수도 있다. 흡수 백 밸브(45)는 하류측의 유동 프로세스[예를 들어, 반도체 처리 툴(81) 형태의 구성 요소(81)]가 유체를 요구하는 것을 중지했을 때 작동될 수도 있다. 흡수 백 밸브가 작동되면, 이 흡수 백 밸브(45)는 적어도 약간의 유체를 유체 유동 제어 장치(5)의 배출구(125)를 통해 역방향으로 회수할 수도 있다. 결과적으로, 흡수 백 밸브(45)는 유체 유동이 정지된 동안 발생하는 유동 관련 유출물을 제한할 수도 있다. 예를 들어, 구성 요소가 유체 분사 노즐을 구비하고 있는 경우, 흡수 백 밸브는 유체 유동이 재개되면 분사 노즐로부터 청정한 유체를 분사한다.
다른 예에서, 유출 밸브(45)는 종래의 유체 제어 기술에서 일반적으로 공지된 차단 밸브 또는 다른 형식의 2 방향 밸브(two-way valve)일 수도 있고, 이 밸브(45)는 유체가 배출구(125)를 통해 빠져나가면, 또는 유체의 유동이 정지한 후에 임의의 유체가 유체 유동 제어 장치(5) 내부로 역류하는 것을 막도록 구성될 수도 있다. 또한 유출 밸브(45)는 하류 쪽의 진공 또는 다른 예외적인 수압 조건에 의해 야기되는 손상으로부터 유체 유동 제어 장치(5)의 구성 요소를 보호하도록 구성될 수도 있다.
몇몇의 예에서, 유출 밸브(45)는, 압력 조절부(10) 및 유동 제어 밸브부(35)가 소정의 유동을 허용하는 위치에 위치되도록 제어되고 또 하류 쪽의 프로세스[예를 들어, 구성 요소(81)]가 유동을 요구하는 경우에만 [예를 들어, 제어기(115)를 통해] 개방되도록 설정될 수도 있다. 유출 밸브(45)는 다른 모든 조건에서 폐쇄 상태로 유지되도록 설정될 수도 있고, 또한 하류 쪽의 처리 툴(81)이 유체 요구를 중단하자마자 유체 밸브가 폐쇄되도록 설정될 수도 있다. 다른 예에서, 유출 밸브(45)는 압력 조절기(15) 및 유동 제어 밸브(35)가 유체 유동의 개시 및 고장시 일정한 위치를 유지하는 것을 허용할 수도 있고, 그에 따라 유동 변화를 감소시키는 것이 가능해진다.
도 5에 도시된 바와 같이, 유출 밸브부(46)의 파일럿 밸브(50c)는 가압 물질 소스(65)와 결합될 수도 있고, 소스(65)로부터 유출 밸브(45)로 가압 물질의 유동을 제어하도록 구성될 수도 있다. 파일럿 밸브(50c)는 전기 솔레노이드(solenoid) 밸브일 수도 있고, 또는 종래 기술에서 공지된 다른 형식의 개/폐 공기 밸브일 수도 있다. 변형예로서, 스텝 모터, 서보 모터, 또는 종래 기술에서 공지된 다른 형식의 전기 모터(예를 들어, 정밀 전기 모터)는 파일럿 밸브(50c)보다는, 유출 밸브(45)를 작동시키는 데 사용될 수도 있다. 유출 밸브(45)가 흡수 백 밸브인 예에서, 파일럿 밸브(50c), 또는 변형예로서 상기에 기술된 전기 모터 중의 하나는, 유 체가 배출구(125)를 거쳐 유체 유동 제어 장치(5) 내부로 역류시키는 흡입량 및 흡입 속도를 제어하는 데 사용될 수도 있다.
유출 밸브(45)를 작동시키기 위해, 제어기(115)는 파일럿 밸브(50c)에 전기 신호를 전송하여, 파일럿 밸브(50c)가 가압 물질에 의해 유출 밸브(45)를 공기압으로 작동시키게 한다. 이러한 방법으로, 유출 밸브(45)는 유체의 유동을 차단하거나, 유체가 배출구(125)의 외부로 유동하는 것을 허용하거나 또는 유체 유동 제어 장치(5) 내부로 유체를 회수하도록 공기압으로 작동될 수도 있다.
도 2 및 도 5에 도시된 바와 같이, 유체 유동 제어 장치(5)는 체크 밸브(check valve)(75)를 더 포함할 수도 있다. 체크 밸브는 유체 유동 제어 장치(5)의 흡입구(120)에, 또는 흡입구 근처에 위치될 수도 있고, 유체가 흡입구(120)를 거쳐 유체 유동 제어 장치(5)로부터 유동되는 것을 방지하는 한편, 유체가 유체 소스(80)로부터 유체 유동 제어 장치(5) 내부로 유동하는 것은 허용할 수도 있다. 체크 밸브(75)는 종래의 기술에서 공지된 임의의 1 방향(one-way) 형식의 유동 밸브일 수도 있다.
유체 유동 제어 장치(5)는 정화 매체 밸브부(55) 및 차단 밸브부(65)를 더 포함할 수도 있다. 정화 매체 밸브부(55)는 파일럿 밸브(50b)에 의해 제어되는 정화 매체 밸브(60)를 포함할 수도 있다. 유사하게, 차단 밸브부(65)는 파일럿 밸브(50a)에 의해 제어되는 차단 밸브(70)를 포함할 수도 있다. 정화 매체 밸브 및 차단 밸브(60, 70)는 차단 밸브 또는 종래 유체 제어 기술에서 일반적으로 공지된 다른 형식의 2 방향 밸브일 수도 있다.
정화 매체 밸브(60)는 정화 매체 소스(90)와 유체적으로 결합될 수도 있고, 또 정화 매체가 유체 유동 제어 장치(5) 내부로 유동하고, 또한 배출구(125)를 통해 및 툴(81) 내부로 지나가는 것을 허용하도록 구성될 수도 있다. 정화 매체는 종래의 유체 제어 기술에서 공지된 상대적으로 순수한 정화 매체(예를 들어, 세정제)일 수도 있는데, 이온수, 증류수, 또는 희석 표벽제와 같은 것이지만, 이에 한정되지는 않는다. 도 5에 도시된 바와 같이, 정화 매체 밸브(60)는 압력 조절부(10)의 상류 쪽에 위치될 수도 있어서, 유체 유동 제어 장치(5)를 통해 정화 매체의 이동을 최대화시킬 수도 있다. 그에 따라, 정화 매체 밸브부(55)는 정화 매체가 적어도 배출구(125)를 포함하는 유체 유동 제어 장치(5)의 적어도 일부분을 통해 유동하는 것을 가능하게 할 수도 있다. 이러한 정화 매체의 유동은, 유체가 처리 툴(81)에 반송되기 전 또는 반송된 후에, 또는 새로운 유체가 유체 유동 제어 장치 내부(5)로 도입되기 전에, 실행되는 것이 바람직할 수도 있다.
차단 밸브(70)는 정화 매체 밸브(60)의 상류 쪽 또는 하류 쪽에 위치될 수도 있고, 유체 유동 제어 장치(5)의 다른 구성 요소에 유체의 유동을 개시 또는 정지시키도록 구성될 수도 있다. 정화 매체 밸브(60) 및 차단 밸브(70)는 파일럿 밸브(50b, 50a)에 의해 공기압으로 제어 및 작동될 수도 있다. 파일럿 밸브(50b, 50a)는 가압 물질 소스(65)에 결합되고 소스(65)로부터 정화 매체 밸브 및 차단 밸브(60, 70) 쪽으로 가압 물질의 유동을 제어하도록 구성된다. 파일럿 밸브(50b, 50a)는 전기 솔레노이드 밸브일 수도 있고, 또는 종래의 기술에서 일반적으로 공지된 다른 형식의 개/폐 공기압 밸브일 수도 있다. 밸브(60, 70)를 작동시키기 위 해, 제어기(115)는 각각의 파일럿 밸브(50b, 50c)에 전기 신호를 전송하여, 파일럿 밸브(50b, 50c)가 가압 물질에 의해서 정화 매체 밸브(60) 또는 차단 밸브(70)를 공기압으로 작동시키게 할 수도 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 유체 유동 제어 장치(5)는 정화 매체(140)용 유입 포트 및 가압 물질(145)용 유입 포트를 포함할 수도 있다. 정화 매체 유입 포트(140)는 정화 매체 소스(90)로부터 정화 매체의 유동을 수용하도록 구성됨으로써, 정화 매체를 유체 유동 제어 장치(5)의 정화 매체 밸브부(55) 쪽으로 유동시킬 수도 있다. 몇몇의 예에서, 정화 매체 소스(90)는 유체 탱크, 섬프(sump), 유체 헤더(header), 또는 종래의 기술에서 공지된 다른 형식의 정화 매체 소스 용기(container)를 포함할 수도 있는데, 반드시 이들에 한정되지는 않는다.
가압 물질 유입 포트(145)는 가압 물질 소스(65)로부터 가압 물질의 유동을 수용하도록 구성될 수도 있다. 가압 물질 소스(65)는, 고압 가스 탱크, 가압 가스 헤더, 가압 가스 레일(rail), 또는 종래의 기술에서 공지된 다른 형식의 가압 물질 공급 소스 용기를 포함할 수도 있는데, 반드시 이들에 한정되지는 않는다. 유입 포트(145)는 가압 물질이 조절기 파일럿 밸브(20) 뿐만 아니라 유체 유동 제어 장치(5)에서 사용되는 임의의 파일럿 밸브(50a, 50b, 50c)로 유동되는 것을 가능하게 한다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에서, 다수의 유체 유동 제어 장치(5)는 서로 연통되도록 함께 연결될 수도 있다. 이러한 방법으로 연결되면, 유체 유동 제어 장치(5)는 다수의 유체의 유동 제어에서 사용하는 시스템으로서 함께 작동한다. 도 2에 도시된 바와 같이, 각각의 유체 유동 제어 장치는 수 및 암 커넥터(150, 155)를 포함할 수도 있는데, 이들은 하나의 유체 유동 제어 장치(5)를 다른 유체 유동 제어 장치(5)에 서로 연통되도록 연결하는데 각각 사용 가능하다. 인접한 유체 유동 제어 장치(5)의 쌍 사이에 물리적 연결을 제공하는 것 이외에도, 또한 커넥터(150, 155)는 유체 유동 제어 장치(5) 사이에 전기의, 공기의, 유동성있는, 및/또는 다른 연결을 형성할 수도 있다.
도 4에 도시된 시스템은, 이 시스템을 제어 유닛(도시되지 않음)과 연통시킬 수 있도록 구성된 버스 모듈(95)을 선택적으로 포함할 수도 있다. 예를 들어, 제어 유닛은 개인용 컴퓨터, 서버(server), 프로그래밍이 가능한 로직(logic) 제어기 또는 유체 제어 또는 다른 시스템의 제어에 사용되는 종래의 기술에서 공지된 다른 형식의 장치일 수도 있다. 이러한 통신을 용이하게 하기 위해서, 버스 모듈(95)은 인터넷(internet) 포트(105) 및 이더넷(Ethernet) 포트(110)를 포함할 수도 있다. 또한 버스 모듈(95)은, 예를 들어, 장치 포트, 파워 포트, 또는 전기적인 구성 요소를 연결하는 종래의 기술에서 공지된, 다른 연결 포트 또는 구조를 포함할 수도 있다.
몇몇의 변형예에서, 다수의 유체 유동 제어 장치(5)는 버스 모듈(95)을 사용하지 않고, 서로 연통되도록 연결될 수도 있다. 예를 들어, 하나의 구성 요소 또는 버스 모듈보다는 하나 이상의 구성 요소가 유체 유동 제어 장치(5)의 시스템을 제어 유닛과 연통시킬 수 있도록 사용될 수도 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 적어도 하나의 버스 모듈(95)은 다수의 유체 유동 제어 장치(5)을 제어하는 데 사용될 수도 있고, 이렇게 연결되도록 구성된 암 커넥터(160)(도 3)를 사용하여 하나의 유체 유동 제어 장치(5)의 수 커넥터(150)와 결합될 수도 있다. 이렇게 연결되면, 버스 모듈(95)은 시스템의 모든 유체 유동 제어 장치(5)와 연통될 수도 있고, 소정의 유량을 설정하는 데 사용될 수도 있다. 버스 모듈(95)은 이러한 연통을 용이하게 하도록 개인용 컴퓨터 기판(PC board)(100)을 포함할 수도 있다. 몇몇의 예에서, 개인용 컴퓨터 기판(100)은 시스템 내의 유체 유동 제어 장치(5)로부터, 또는 제어 유닛 또는 호스트(host)로부터, 신호, 압력 측정값, 또는 유동 측정값을 수신할 수도 있다. 또한 개인용 컴퓨터 기판(100)은 수신되는 임의의 신호 또는 측정값을 처리할 수도 있고, 시스템에서 임의의 유체 유동 제어 장치(5)에 제어 신호를 전달할 수도 있다. 이러한 방법으로, 버스 모듈(95)은 시스템 내의 유체 유동 제어 장치(5)를 개별적으로, 또는 서로 함께 제어하여, 상이한 유량에서 다수의 상이한 유체를 공급할 수도 있다.
예를 들어, 반도체 생산 프로세스에서, 각각 상이하고 변화 가능한 유량으로 다수의 유체를 공급하는 것이 바람직할 수도 있다. 이러한 유체의 동적 혼합을 달성하기 위해서, 버스 모듈(95)은 각각의 공급 유체마다 상이한 유량을 제공하도록 각각의 유체 유동 제어 장치(5)를 동시에 제어할 수도 있다. 각각의 유량은 시간을 변경시킴으로써 제어될 수도 있다. 이러한 계획에서, 각각의 유체 유동 제어 장치(5)는 반도체 생산 프로세스에서의 소정의 상대적인 시간에 소정의 상대적인 유체의 양을 공급할 수도 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 각각의 유체 유동 제어 장치(5)는 소정의 유체 유 량을 입력하는 수단(130), 및 디스플레이(135)를 더 포함할 수도 있다. 도 4는 소정의 유체 유량을 입력하는 예시적인 수단(130)으로서, 상 하 버튼 뿐만 아니라 재설정 버튼(reset button) 및 설정 버튼(set button)을 도시한다. 그러나, 많은 상이한 형태의 변형적인 입력 구성이 가능한 것으로 이해된다. 예를 들어, 이러한 수단(130)은 디지털 제어 패드(digital control pad), 터치 스크린, 버튼 패널(button panel), 키보드 또는 키패드, 인터넷 접속, 이더넷, 디바이스넷(devicenet) 또는 개인용 컴퓨터 포트, 무선 또는 적외선 신호 수신기, 또는 일반적으로 공지된 장치에 데이터를 입력하기 위한 다른 수단을 포함하는데, 이에 한정되지는 않는다. 몇몇의 예에서, 툴(81)은 소정의 유량에 관한 정보를 공급할 수도 있다. 다른 예에서, 도 4에 도시된 바와 같이, 사용자는 소정의 유량을 수동으로 입력할 수도 있다.
제어기(115)는 소정의 유체 유량을 입력하는 수단(130)을 통해 입력된 소정의 유량에 따라 유동 제어 밸브부(30) 및/또는 압력 조절부(10)를 제어하도록 구성될 수도 있다. 예를 들어, 제어기(115)는 유체 유동 제어 장치(5)의 구성 요소를 제어해서, 측정된 유체 유량[유량계(25)에 의해 측정됨]을 입력된 소정의 유량에 가능한 한 가깝게 유지할 수도 있다.
디스플레이(135)는 제어기(115), 또는 개인용 컴퓨터 기판(100), 호스트, 사용자, 또는 임의의 유체 유동 제어 장치(5)의 구성 요소에 연관된, 입력된 소정의 유량, 측정된 유량[유량계(25)에 의해 측정됨], 또는 다른 정보를 표시할 수도 있다. 디스플레이(135)는 LCD 스크린, 디지털 판독, 광 배열(light array), 모니터, 또는 정보를 출력하는 데 사용되는 임의의 다른 형식의 디스플레이 장치일 수도 있는데, 이에 한정되지는 않는다. 디스플레이(135)는 컬러 또는 단색일 수도 있고, 도 4에 묘사된 것과 상이한 크기, 형상, 및/또는 구성일 수도 있다고 이해된다.
도 6은 반도체 처리에서 사용하는 시스템의 또 다른 실시예를 개략적으로 도시한다. 이러한 예시적인 시스템은 적어도 하나의 유체 유동 제어 장치(예를 들어, 장치 5a 및 장치 5b) 및 적어도 하나의 장치로부터 유체를 수용하는 적어도 하나의 구성 요소(81)를 포함할 수도 있다. 도 6은 2개의 장치(5a, 5b)를 도시하지만, 임의의 수의 유체 유동 제어 장치(5)는 하나의 구성 요소(81) 또는 다수의 구성 요소(81)에 유체를 공급하는 이러한 실시예에서 사용될 수 있는 것으로 이해된다.
몇몇의 예에서, 도 6에 도시된 구성 요소(81)는 반도체 처리 툴일 수도 있다. 다른 가능한 예는 툴(예를 들어, 반도체 처리 툴과 다름)과 다른 구성 요소를 가질 수도 있다. 예를 들어, 도 6의 구성 요소(81)는 혼합기[예를 들어, 정적 혼합기(static mixer)]일 수도 있고 유체 유동 제어 장치(5a, 5b)의 배출구는 다수의 유체의 혼합을 제공하는 혼합기와 유동 결합될 수도 있다. 예를 들어, 각각의 유체 유동 제어 장치(5a, 5b)는 각 공급 유체마다 상이한 유량을 제공하도록 제어될 수도 있다. 각각의 유량은 시간에 따라 변화하도록 제어될 수도 있다. 이러한 예에서, 각각의 유체 유동 제어 장치(5a, 5b)는 소정의 상대적인 시간에서 소정의 상대적인 양의 유체를 공급할 수도 있다.
본 명세서에 기술된 구조에 대해 다양한 수정 및 변형을 가할 수 있음이 당 업자에게 명백할 것이다. 따라서, 본 발명은 명세서에서 논의된 주제에 한정되는 것이 아니라고 이해되어야 한다. 오히려, 본 발명은 수정과 변형을 포함하는 것으로 의도된다.
유체 유동 제어 장치는 제어된 압력으로 유체를 수용 및 반송하도록 형성된 압력 조절부를 포함하고 있어서, 이러한 압력 조절부에 의해 반송된 유체를 수용하고 제어된 유량으로 유체를 반송한다. 제어기는 소정의 유체 유량을 입력하는 수단을 통해 입력된 소정의 유량에 따라 유동 제어 밸브부 및/또는 압력 조절부를 제어한다. 반도체 생산 프로세스에서 각각 상이하고, 변화 가능한 유량으로 다수의 유체를 공급하도록 요구될 수도 있다. 이러한 유체의 동적 혼합을 달성하기 위해서, 버스 모듈은 상이한 유량으로 각각의 공급 유체마다 상이한 유량을 제공하도록 각각의 유체 유동 제어 장치를 동시에 제어할 수도 있다. 각각의 유량은 시간을 변경시킴으로써 제어될 수도 있다. 이러한 계획에서, 각각의 유체 유동 제어 장치는 반도체 생산 프로세스에서의 소정의 상대적인 시간에 소정의 상대적인 유체의 양을 공급할 수도 있다.

Claims (26)

  1. 유체 유동 제어 장치(fluid flow control device)에 있어서,
    상기 장치 내부로 유체를 통과시키는 흡입구(inlet)와,
    상기 장치로부터 상기 유체를 배출하는 배출구(outlet)와,
    제어된 압력으로 상기 유체를 수용 및 반송하도록 구성된 압력 조절부와,
    상기 압력 조절부에 의해 반송되는 유체를 수용하고 제어된 유량으로 상기 유체를 반송하도록 구성된 유동 제어 밸브부와,
    상기 유체의 유량을 측정하도록 구성된 유량계와,
    적어도 상기 유량계에 의해 측정된 유량에 따라 적어도 상기 유동 제어 밸브부를 제어하는 제어기를 포함하는
    유체 유동 제어 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 압력 조절부가 압력 조절기(pressure regulator)와, 상기 압력 조절기를 공기압으로 제어하는 조절기 파일럿 밸브(regulator pilot valve)를 포함하는
    유체 유동 제어 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제어기가 상기 조절기 파일럿 밸브를 제어하는
    유체 유동 제어 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 유체의 압력을 측정하도록 구성된 압력계를 더 포함하고, 상기 제어기는 적어도 상기 압력계에 의해 측정된 압력에 따라 상기 조절기 파일럿 밸브를 제어하는
    유체 유동 제어 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 유동 제어 밸브부가 유동 제어 밸브와, 상기 유동 제어 밸브를 제어하는 스텝 모터(stepper motor)를 포함하는
    유체 유동 제어 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제어기가 상기 스텝 모터를 제어하는
    유체 유동 제어 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 유량계가 상기 유동 제어 밸브로부터 상류측의 유체의 유량을 측정하는
    유체 유동 제어 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    소정의 유체 유량을 입력하는 수단을 더 포함하고, 상기 제어기는 적어도 상기 소정의 유체 유량 및 상기 측정된 유량에 따라 상기 유동 제어 밸브를 제어하는
    유체 유동 제어 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 소정의 입력 유량 및 상기 측정된 유량을 표시하는 디스플레이(display)를 더 포함하는
    유체 유동 제어 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 배출구를 통해 흡입을 적용하도록 구성된 유출 밸브부를 더 포함하는
    유체 유동 제어 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 유출 밸브부가 흡수 백 밸브(suck back valve)와, 상기 흡수 백 밸브를 공기로 제어하는 파일럿 밸브를 포함하는
    유체 유동 제어 장치.
  12. 제 1 항에 있어서,
    유출 밸브부를 더 포함하고, 상기 제어기가 상기 유출 밸브부를 제어하되, 상기 압력 조절부 및 상기 유동 제어 밸브부가 소정의 유동 조건에 맞도록 설정되었을 때, 상기 유출 밸브부가 유체 차단 위치로부터 유체 유동 위치로 변경되도록 하는
    유체 유동 제어 장치.
  13. 제 1 항에 있어서,
    적어도 상기 배출구를 포함하는 상기 유체 유동 제어 장치의 적어도 일부분을 통해 정화 매체(purge media)의 유동을 제어하도록 구성된 정화 매체 및 정화 매체 밸브부를 위한 유입 포트(inflow port)를 더 포함하는
    유체 유동 제어 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 정화 매체 밸브부가 정화 매체 밸브와, 상기 정화 매체 밸브를 공기압으로 제어하는 파일럿 밸브를 포함하는
    유체 유동 제어 장치.
  15. 제 1 항에 있어서,
    상기 흡입구를 통해 상기 유체 유동 제어 장치로부터 유체의 유동을 제한하 도록 구성된 체크 밸브를 더 포함하는
    유체 유동 제어 장치.
  16. 제 1 항에 있어서,
    가압 물질용 유입 포트를 더 포함하고, 상기 압력 조절부는 상기 가압 물질을 사용함으로써 공기압으로 제어되도록 형성된
    유체 유동 제어 장치.
  17. 유체 유동 제어 장치에 있어서,
    상기 장치 내부로 유체를 통과시키는 흡입구와,
    상기 장치로부터 상기 유체를 배출하는 배출구와,
    제어된 압력으로 상기 유체를 수용 및 반송하도록 형성된 압력 조절부를 포함하고, 상기 압력 조절부는 압력 조절기와, 상기 압력 조절기를 공기압으로 제어하는 조절기 파일럿 밸브를 포함하며,
    상기 압력 조절기에 의해 반송되는 상기 유체를 수용하고 제어된 유량으로 상기 유체를 반송하도록 형성된 유체 유동 제어 장치를 포함하고, 상기 유동 제어 밸브부는 유동 제어 밸브 및 상기 유동 제어 밸브를 제어하는 스텝 모터를 포함하며,
    상기 유체의 유량을 측정하도록 형성된 유량계와,
    상기 스텝 모터 및 상기 조절기 파일럿 밸브를 제어하는 제어기를 포함하고, 상기 제어기는 적어도 상기 유량계에 의해 측정된 유량에 따라 적어도 상기 스텝 모터를 제어하는
    유체 유동 제어 장치.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 유체의 압력을 측정하도록 형성된 압력계를 더 포함하고, 상기 제어기는 적어도 상기 압력계에 의해 측정된 압력에 따라 상기 조절기 파일럿 밸브를 제어하는
    유체 유동 제어 장치.
  19. 반도체 처리에 사용하는 시스템에 있어서,
    제 1 항의 적어도 하나의 유체 유동 제어 장치와,
    적어도 하나의 반도체 처리 툴을 포함하고, 상기 반도체 처리 툴은 적어도 하나의 유체 유동 제어 장치로부터 유체를 수용하는
    반도체 처리에 사용하는 시스템.
  20. 다수의 유체의 유동의 제어에 사용하는 시스템에 있어서,
    제 1 유체 유동 제어 장치와,
    제 2 유체 유동 제어 장치를 포함하고,
    각각의 상기 제 1 유체 유동 제어 장치와 상기 제 2 유체 유동 제어 장치는 제 1 항의 상기 유체 유동 제어 장치에 따라 구성되는
    다수의 유체의 유동의 제어에 사용하는 시스템.
  21. 제 20 항에 있어서,
    상기 제 1 유체 유동 제어 장치가 수 커넥터(male connector)를 더 포함하고, 상기 제 2 유체 유동 제어 장치는 상기 수 커넥터에 결합되도록 구성된 암 커넥터(female connector)를 더 포함하는
    다수의 유체의 유동의 제어에 사용하는 시스템.
  22. 제 21 항에 있어서,
    상기 시스템이 제어 유닛(controlling unit)과 연통하는 것을 가능하게 하도록 구성된 버스 모듈(bus module)을 더 포함하고, 상기 버스 모듈은 상기 제 2 유체 유동 제어 장치의 수 커넥터에 결합되도록 구성된 암 커넥터를 더 포함하는
    다수의 유체의 유동의 제어에 사용하는 시스템.
  23. 제 20 항에 있어서,
    각각의 상기 제 1 및 제 2 유체 유동 제어 장치가 소정의 유체 유량을 입력하는 수단을 더 포함하는
    다수의 유체의 유동의 제어에 사용하는 시스템.
  24. 제 23 항에 있어서,
    각각의 상기 제 1 및 제 2 유체 유동 제어 장치가 상기 소정의 입력 유량 및 상기 측정된 유량을 표시하는 디스플레이를 더 포함하는
    다수의 유체의 유동의 제어에 사용하는 시스템.
  25. 다수의 유체의 혼합에 사용하는 시스템에 있어서,
    제 1 유체 유동 제어 장치와,
    제 2 유체 유동 제어 장치를 포함하고,
    각각의 상기 제 1 유체 유동 제어 장치 및 상기 제 2 유체 유동 제어 장치는 상기 제 1 항의 유체 유동 제어 장치에 따라 구성되며,
    혼합기(mixer)를 포함하고, 각각의 상기 제 1 및 제 2 유동 장치의 배출구는 상기 혼합기에 유동 결합되는
    다수의 유체의 혼합에 사용하는 시스템.
  26. 제 25 항에 있어서,
    상기 시스템이, 상기 제 1 및 제 2 유체 유동 제어 장치를 제어하여, 상기 혼합기에 다수의 유체 유동을 공급하도록 구성되고,
    각각의 유체 유동은 제어된 유량 및 제어된 유량 지속 기간을 갖는
    다수의 유체의 혼합에 사용하는 시스템.
KR1020050058346A 2004-07-01 2005-06-30 유체 유동 제어 장치, 반도체 처리에 사용하는 시스템,다수의 유체의 유동의 제어에 사용하는 시스템 및 다수의유체의 혼합에 사용하는 시스템 KR20060049712A (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/883,197 2004-07-01
US10/883,197 US20060000509A1 (en) 2004-07-01 2004-07-01 Fluid flow control device and system

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20060049712A true KR20060049712A (ko) 2006-05-19

Family

ID=34981192

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050058346A KR20060049712A (ko) 2004-07-01 2005-06-30 유체 유동 제어 장치, 반도체 처리에 사용하는 시스템,다수의 유체의 유동의 제어에 사용하는 시스템 및 다수의유체의 혼합에 사용하는 시스템

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20060000509A1 (ko)
EP (1) EP1624355A3 (ko)
JP (1) JP2006059322A (ko)
KR (1) KR20060049712A (ko)
CN (1) CN1716138A (ko)
SG (1) SG118378A1 (ko)
TW (1) TW200625046A (ko)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4461329B2 (ja) * 2004-08-31 2010-05-12 旭有機材工業株式会社 流体制御装置
US8997789B2 (en) * 2008-06-22 2015-04-07 Malema Engineering Corporation Internal leak detection and backflow prevention in a flow control arrangement
US8746275B2 (en) 2008-07-14 2014-06-10 Emerson Electric Co. Gas valve and method of control
US8381760B2 (en) 2008-07-14 2013-02-26 Emerson Electric Co. Stepper motor valve and method of control
CN101419469B (zh) * 2008-12-04 2010-06-02 上海森和投资有限公司 Plc自动控制的多晶硅还原炉进气***
JP5934412B2 (ja) * 2014-06-20 2016-06-15 株式会社堀場エステック 中継器
CN104216424B (zh) * 2014-08-29 2019-04-09 湖南三德科技股份有限公司 用于便携设备的精密流量控制器
FR3060257B1 (fr) * 2016-12-21 2019-07-05 Exel Industries Dispositif de distribution d'un produit sur une surface, comprenant un regulateur de pression pour egaliser les valeurs de pression de buses disposees le long d'un element de rampe de distribution
CN110159928B (zh) * 2018-02-13 2021-04-20 辛耘企业股份有限公司 流体控制装置
US11960308B2 (en) 2018-08-10 2024-04-16 Fujikin, Incorporated Fluid control apparatus, fluid control device, and operation analysis system
JP2020091107A (ja) * 2018-12-03 2020-06-11 株式会社堀場エステック 流体制御装置、流体制御装置用制御方法、及び、流体制御装置用プログラム
US11331660B2 (en) * 2019-01-04 2022-05-17 Funai Electric Co. Ltd. Digital dispense system
CN113340560B (zh) * 2021-07-05 2022-05-17 中国空气动力研究与发展中心低速空气动力研究所 一种多普勒干涉仪校准调试***、校准方法及调试方法
CN114215938B (zh) * 2021-12-09 2023-06-06 浙江华章科技有限公司 一种稀释水流浆箱阀门控制***

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3672129A (en) * 1970-03-20 1972-06-27 Lif O Gen Inc Apparatus for dispensing sterile gas
US3941148A (en) * 1975-04-17 1976-03-02 Sun Oil Company Of Pennsylvania Control valve drive
JPS63231603A (ja) * 1987-03-20 1988-09-27 Tokico Ltd 流量制御装置
US5220940A (en) * 1988-04-07 1993-06-22 David Palmer Flow control valve with venturi
JP3073280B2 (ja) * 1991-09-09 2000-08-07 エスエムシー株式会社 真空ユニット
EP0860609B1 (en) * 1991-09-10 2005-11-30 Smc Kabushiki Kaisha Fluid pressure apparatus
JPH05134711A (ja) * 1991-11-13 1993-06-01 Toshiba Corp マスフローコントローラ制御ユニツト
JP2692770B2 (ja) * 1992-09-30 1997-12-17 シーケーディ株式会社 マスフローコントローラ流量検定システム
US5251653A (en) * 1993-02-12 1993-10-12 Tucker Orrin E Control system for automatic fluid shut-off
JP3174856B2 (ja) * 1993-05-07 2001-06-11 日本エア・リキード株式会社 混合ガス供給装置
JP3374337B2 (ja) * 1993-12-20 2003-02-04 日本エム・ケー・エス株式会社 質量流量制御装置
JP2635929B2 (ja) * 1994-04-12 1997-07-30 シーケーディ株式会社 マスフローコントローラ絶対流量検定システム
DE4431463C2 (de) * 1994-09-03 1997-10-16 Honeywell Ag Kompaktregler für ein Regelventil
JP3758717B2 (ja) * 1995-10-03 2006-03-22 大陽日酸株式会社 ガス混合装置
JP3940853B2 (ja) * 1997-03-11 2007-07-04 Ｓｍｃ株式会社 サックバックバルブ
JP3859221B2 (ja) * 1997-09-05 2006-12-20 シーケーディ株式会社 空気圧駆動用の開閉制御弁
US6112137A (en) * 1998-02-04 2000-08-29 Gas Research Institute Adaptive system for predictive control of district pressure regulators
JPH11353030A (ja) * 1998-06-08 1999-12-24 Hitachi Metals Ltd マスフローコントローラ
JP3447567B2 (ja) * 1998-06-30 2003-09-16 株式会社山武 流量制御装置
JP2000018407A (ja) * 1998-07-02 2000-01-18 Ckd Corp プロセスガス供給ユニット
AU4459700A (en) * 1999-04-19 2000-11-02 Millipore Corporation Modular surface mount mass flow and pressure controller
US6210482B1 (en) * 1999-04-22 2001-04-03 Fujikin Incorporated Apparatus for feeding gases for use in semiconductor manufacturing
US6119710A (en) * 1999-05-26 2000-09-19 Cyber Instrument Technologies Llc Method for wide range gas flow system with real time flow measurement and correction
US6209576B1 (en) * 1999-08-05 2001-04-03 Dan Davis Automatic fluid flow shut-off device
JP2001147722A (ja) * 1999-11-22 2001-05-29 Ace:Kk ガス流量制御装置
JP4088010B2 (ja) * 1999-12-22 2008-05-21 株式会社堀場エステック 集積タイプのマスフローコントローラおよびガス供給ライン
US6772781B2 (en) * 2000-02-04 2004-08-10 Air Liquide America, L.P. Apparatus and method for mixing gases
US6814096B2 (en) * 2000-12-15 2004-11-09 Nor-Cal Products, Inc. Pressure controller and method
JP4554853B2 (ja) * 2001-09-17 2010-09-29 シーケーディ株式会社 ガス供給集積弁
KR100878577B1 (ko) * 2001-10-18 2009-01-15 씨케이디 가부시키 가이샤 펄스 샷 타입 유량 조정 장치 및 펄스 샷 타입 유량 조정방법
JP2003280745A (ja) * 2002-03-25 2003-10-02 Stec Inc マスフローコントローラ

Also Published As

Publication number Publication date
CN1716138A (zh) 2006-01-04
EP1624355A3 (en) 2006-02-22
TW200625046A (en) 2006-07-16
SG118378A1 (en) 2006-01-27
JP2006059322A (ja) 2006-03-02
US20060000509A1 (en) 2006-01-05
EP1624355A2 (en) 2006-02-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20060049712A (ko) 유체 유동 제어 장치, 반도체 처리에 사용하는 시스템,다수의 유체의 유동의 제어에 사용하는 시스템 및 다수의유체의 혼합에 사용하는 시스템
EP1553339B1 (en) Flow control valve and flow control device
US5246026A (en) Fluid measuring, dilution and delivery system
CN101903840B (zh) 流量比率控制装置
US7731161B2 (en) Devices, systems, and methods for carbonation of deionized water
TWI629429B (zh) 群集質量流裝置及將其併入之複式線路質量流裝置
CN104081304A (zh) 半导体制造装置的气体分流供给装置
KR101632602B1 (ko) 반도체 제조 장치의 가스 분류 공급 장치
TWI593037B (zh) 用於工件之液體處理的設備及用於該設備中之流動控制系統
US11839860B2 (en) On-demand in-line-blending and supply of chemicals
JPS5944271A (ja) 医療装置用ガス配量装置
KR102555758B1 (ko) 액체 공급장치 및 액체 공급 방법
US10340159B2 (en) Cleaning chemical supplying device, cleaning chemical supplying method, and cleaning unit
US5141011A (en) Liquid proportioner apparatus and method
CN111656503B (zh) 维持恒压的液体供给装置
JP3801325B2 (ja) 研磨装置及び半導体ウエハの研磨方法
KR20080005700A (ko) 유량제어장치
KR20200007365A (ko) 액체 혼합 공급장치
SU1260747A1 (ru) Устройство дл измерени в зкости
US20230249145A1 (en) Chemical supply apparatus, cleaning system, and chemical supply method
JP6654720B2 (ja) 液体供給装置及び液体供給方法
CN220017019U (zh) 半导体工艺设备及其供液装置
CN220208145U (zh) 一种模块化气体控制***
US5067507A (en) Liquid proportioner apparatus and method
KR20220068638A (ko) 화학물질 이송 시스템과 그 방법

Legal Events

Date Code Title Description
N231 Notification of change of applicant
N231 Notification of change of applicant
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid