KR20060034621A - 장입용 잠금 장치를 구비한 코팅 플랜트 및 이를 위한 장치 - Google Patents
장입용 잠금 장치를 구비한 코팅 플랜트 및 이를 위한 장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (20)
- 표면적이 특히 넓은 기재, 바람직하게는 건물 정면의 투명 유리를 코팅하기 위한 코팅 플랜트, 특히 진공 코팅 플랜트로서, 코팅 도중 상기 기재를 수용하기 위한 코팅실과, 상기 기재가 상기 코팅실로 도입되고 상기 코팅실로부터 제거될 때 통과하는 적어도 하나의 장입용 잠금 장치를 구비하며, 이 잠금 장치는 셔터(6)에 의해 폐쇄될 수 있는 개구(13)를 포함하고, 상기 셔터(6)는 적어도 하나의 래치(7)에 의해 고정될 수 있는 코팅 플랜트에 있어서, 상기 셔터(6)와 래치(7) 양자를 제1 개방 위치로부터 제2 폐쇄 위치로 이동시키기 위한 수단이 제공되며, 상기 셔터(6)와 래치(7)의 이동이 서로 결합(조합)됨으로써 상기 셔터(6)의 폐쇄 후에 상기 셔터(6)가 상기 래치(7)에 의해 자동으로 고정되고 상기 셔터(6)의 개방 전에 상기 셔터(6)가 해제되는 것을 특징으로 하는 코팅 플랜트.
- 제1항에 있어서, 상기 셔터(6) 및 래치(7)의 이동은 기계적으로 제어되는 이동인 것을 특징으로 하는 코팅 장치.
- 제1항 또는 제2항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 셔터(6)의 이동은 회전 또는 선회 이동이고 상기 래치(7)의 이동은 회전, 선회, 또는 병진 이동 또는 인상 이동인 것을 특징으로 하는 코팅 장치.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 셔터(6) 및 래치(7)를 이동시키기 위한 수단은 트랜스미션 기어를 포함하며, 이 트랜스미션 기어는 구동측에 위치하는 구동축(2)과, 상기 셔터(6) 및 래치(7)와 연결된 적어도 2개의 결합된 종동축(3 및 4)을 구비한 것을 특징으로 하는 코팅 장치.
- 제4항에 있어서, 상기 트랜스미션 기어는 캠 구동 장치, 특히 왕복형 또는 스윙형 캠 구동 장치 또는 회전-인상형 구동 장치인 것을 특징으로 하는 코팅 장치.
- 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 셔터(6)의 이동과 상기 래치(7)의 이동은 위상이 엇갈리며, 특히 상기 래치(7)의 이동은 폐쇄 도중 지연되고 개방 도중 진행되는 것을 특징으로 하는 코팅 장치.
- 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 잇어서, 상기 셔터(6)와 래치(7) 양자는 각각 회전 축선을 포함하며, 이들 셔터(6) 및 래치(7)의 회전 축선은 상기 잠금 장치 개구의 대향 측부에 위치하는 것을 특징으로 하는 코팅 장치.
- 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 셔터(6) 및 래치(7)를 이동시키기 위한 수단은 자기 억제식 또는 자기 잠금식 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 장치.
- 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 셔터(6)는 플랩 홀더(9) 및 상기 잠금 장치 개구(13)의 밀봉 시팅(14) 내부로 연장되어 이를 밀봉할 수 있는 밀봉 요소(8)를 포함하며, 이 밀봉 요소(8)는 상기 플랩 홀더(9)에 대해 이동할 수 있도록 탄성 수단, 특히 바 스프링을 구비하는 것이 바람직한 스프링 장치(10)에 의해 장착되는 것을 특징으로 하는 코팅 장치.
- 제9항에 있어서, 상기 바 스프링은 상기 잠금 장치 개구 및 밀봉 요소(8)의 길이 방향에 평행하게 배향되고, 상기 바 스프링은 특히 상기 잠금 장치 개구(13)의 방향으로 상기 플랩 홀더(9)에 대항하여 예장력 인가 받는 것을 특징으로 하는 코팅 장치.
- 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 셔터(6) 및 특히 상기 밀봉 요소(8)는 밀봉 측부를 구비하며, 이 밀봉 측부는 적어도 하나의 밀봉면(15) 및 상기 잠금 장치 개구(13) 내부로 연장되는 센터링 부재(16)를 포함하고, 상기 밀봉면(15)은 폐쇄 위치에서 상기 잠금 장치 개구(13)의 밀봉 시팅(14)의 밀봉부와 접촉하는 것을 특징으로 하는 코팅 장치.
- 제11항에 있어서, 상기 셔터(6)는 대체로 상기 잠금 장치 개구(13)의 밀봉 시팅(14)의, 특히 상기 밀봉 시팅(14)의 밀봉부 및 상기 셔터(6)의 밀봉면(15)의 평면에 배치된 회전 축선(20)를 갖는 것을 특징으로 하는 코팅 장치.
- 제9항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 밀봉 요소(8) 및/또는 상기 밀봉 시팅(14)은 적어도 하나의 밀봉 링(17)을 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 장치.
- 제9항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 센터링 부재(16)는 원추형 또는 테이퍼 형상이고, 보다 구체적으로, 상기 센터링 부재(16)는 상기 셔터(6)의 둘러싸는 밀봉면(15)으로부터 돌출하는 것을 특징으로 하는 코팅 장치.
- 제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 셔터(6) 및 래치(7)는 각각 맞물림면, 특히 굴곡진 맞물림면을 포함하며, 이들 맞물림면은 매우 원활하게 마찰 및 마모가 거의 없이 서로 맞물릴 수 있도록 서로에 대해 실질적으로 상보적으로 설계된 것을 특징으로 하는 코팅 장치.
- 제1항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 셔터(6) 및 래치(7)는 상기 셔터(6)를 고정시킬 때 상기 셔터(6)와의 간단한 접촉이 가능하도록 회전 가능하게 지지되는 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 장치.
- 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 래치(7)는 제2 폐쇄 위치에 있을 때 상기 셔터(6)를 상기 잠금 장치 개구(13)에 대해 압박하는 것을 특징으로 하는 코팅 장치.
- 잠금 장치, 특히 제1항 내지 제17항 중 어느 한 항에 따른 코팅 플랜트를 위한 장치로서, 잠금 장치 개구(13)를 폐쇄하기 위한 셔터(6)와, 이 셔터(6)를 고정시키기 위한 적어도 하나의 래치(7)를 구비한 장치에 있어서, 제1항의 특징부 및/또는 제2항 내지 제16항의 구성을 특징으로 하는 장치.
- 제18항에 있어서, 잠금 장치 개구(13) 및 추가의 개구(19)가 마련되어 있고 상기 셔터(6) 및 래치(7)를 수용하는 하우징(5)을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제18항 또는 제19항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 하우징(5)에는 밀봉, 특히 기밀 연결을 위한 수단 및 인접 구성품으로의 장착 부재가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
WOPCT/EP03/14749 | 2003-12-22 | ||
EP0314749 | 2003-12-22 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20060034621A true KR20060034621A (ko) | 2006-04-24 |
KR100692585B1 KR100692585B1 (ko) | 2007-03-13 |
Family
ID=34717119
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020057013920A KR100692585B1 (ko) | 2003-12-22 | 2004-03-11 | 장입용 잠금 장치를 구비한 코팅 플랜트 및 이를 위한 장치 |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7479189B2 (ko) |
EP (1) | EP1716268B1 (ko) |
JP (1) | JP4448825B2 (ko) |
KR (1) | KR100692585B1 (ko) |
CN (1) | CN1745192B (ko) |
AT (1) | ATE474073T1 (ko) |
DE (1) | DE602004028165D1 (ko) |
PL (1) | PL1716268T3 (ko) |
TW (1) | TWI250047B (ko) |
WO (1) | WO2005064038A1 (ko) |
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-
2004
- 2004-03-11 DE DE602004028165T patent/DE602004028165D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2004-03-11 EP EP04719416A patent/EP1716268B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2004-03-11 WO PCT/EP2004/002542 patent/WO2005064038A1/en not_active Application Discontinuation
- 2004-03-11 US US10/547,718 patent/US7479189B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-03-11 PL PL04719416T patent/PL1716268T3/pl unknown
- 2004-03-11 KR KR1020057013920A patent/KR100692585B1/ko active IP Right Grant
- 2004-03-11 AT AT04719416T patent/ATE474073T1/de not_active IP Right Cessation
- 2004-03-11 CN CN200480003300XA patent/CN1745192B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2004-03-11 JP JP2005518676A patent/JP4448825B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2004-03-15 TW TW093106817A patent/TWI250047B/zh not_active IP Right Cessation
-
2007
- 2007-12-13 US US11/955,876 patent/US20080086948A1/en not_active Abandoned
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
PL1716268T3 (pl) | 2010-12-31 |
US20080086948A1 (en) | 2008-04-17 |
CN1745192B (zh) | 2010-08-18 |
CN1745192A (zh) | 2006-03-08 |
TWI250047B (en) | 2006-03-01 |
US20060162659A1 (en) | 2006-07-27 |
DE602004028165D1 (de) | 2010-08-26 |
US7479189B2 (en) | 2009-01-20 |
WO2005064038A1 (en) | 2005-07-14 |
JP2006522727A (ja) | 2006-10-05 |
ATE474073T1 (de) | 2010-07-15 |
EP1716268A1 (en) | 2006-11-02 |
TW200529934A (en) | 2005-09-16 |
JP4448825B2 (ja) | 2010-04-14 |
EP1716268B1 (en) | 2010-07-14 |
KR100692585B1 (ko) | 2007-03-13 |
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A201 | Request for examination | ||
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