KR20060025101A - Panel for a display device and method for manufacturing the same - Google Patents

Abstract

표시 장치용 표시판은 기판; 기판 상에 형성되어 있으며, 복수의 화소에 대응하여 개구부를 가지는 격벽 부재; 개구부에 형성되어 있으며, 고유의 색을 발현하는 복수개의 색필터; 및 격벽 부재의 가장자리 둘레 또는 기판의 외곽부에 배치되어 있으며, 색필터의 오정렬을 검사하기 위한 검사 패턴을 포함한다. 이러한 검사 패턴에 색필터를 형성하기 전에 색필터용 잉크를 적하시켜 잉크 적하 위치의 오정렬을 검사하여, 오정렬을 보정할 수 있기 때문에 색필터 상호간의 잉크 번짐 현상을 방지할 수 있다. A display panel for a display device includes a substrate; A partition member formed on the substrate and having an opening corresponding to the plurality of pixels; A plurality of color filters formed in the opening and expressing a unique color; And an inspection pattern disposed around the edge of the partition member or on the outer portion of the substrate, for inspecting misalignment of the color filters. Before forming the color filter in such a test pattern, the color filter ink is dropped to inspect the misalignment of the ink dropping position, and the misalignment can be corrected, thereby preventing the ink bleeding phenomenon between the color filters.

정렬, 색필터, 잉크젯, 표시장치, 격벽 Alignment, color filter, inkjet, display, bulkhead

Description

표시 장치용 표시판 및 그 제조 방법{PANEL FOR A DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}Display panel for display device and manufacturing method thereof {PANEL FOR A DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 색필터를 가지는 표시판의 평면도이다. 1 is a plan view of a display panel having a color filter according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 색필터를 가지는 표시판에서 검사(정렬) 패턴의 구조를 구체적으로 도시한 평면도이다. 2 is a plan view illustrating in detail a structure of an inspection (alignment) pattern in a display panel having a color filter according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사(정렬) 패턴 상에 한 방울의 잉크를 떨어뜨린 모습을 나타내는 평면도이다.3 is a plan view showing a drop of ink on the inspection (alignment) pattern according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치용 표시판에서 색필터 및 정렬 패턴의 구조를 구체적으로 도시한 평면도이다.4 is a plan view illustrating in detail a structure of a color filter and an alignment pattern in a display panel for a display device according to another exemplary embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 색필터를 포함하는 표시판의 제조 공정에 사용되는 잉크젯 인쇄 장치의 구조를 구체적으로 도시한 사시도이다.5 is a perspective view illustrating in detail a structure of an inkjet printing apparatus used in a manufacturing process of a display panel including a color filter according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 한 실시예에 따른 잉크젯 인쇄 장치에서 헤드의 구조를 구체적으로 도시한 배치도이다.6 is a layout view illustrating in detail the structure of the head in the inkjet printing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 7은 도 4의 색필터를 가지는 표시판의 제조 공정에서 색필터를 형성하기 전에 정렬 패턴을 이용하여 헤드를 정렬하는 공정을 도시한 공정도이다.FIG. 7 is a process diagram illustrating a process of aligning heads using an alignment pattern before forming a color filter in the manufacturing process of the display panel having the color filter of FIG. 4.

도 8a 내지 도 8d는 본 발명의 실시예에 따른 색필터를 가지는 표시판의 제조 공정에서 정렬 패턴을 이용한 오정렬의 형태를 각각 도시한 평면도이다. 8A to 8D are plan views illustrating shapes of misalignment using alignment patterns in a manufacturing process of a display panel having a color filter according to an exemplary embodiment of the present invention.                 

도 9는 본 발명의 실시예에 따른 제조 공정을 통하여 완성한 표시판을 포함하는 액정 표시 장치의 구조를 도시한 단면도이다.9 is a cross-sectional view illustrating a structure of a liquid crystal display including a display panel completed through a manufacturing process according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 10은 본 발명의 실시예에 따른 제조 공정을 통하여 완성한 유기 전계 발광 표시 장치용 박막 트랜지스터 표시판의 구조를 도시한 배치도이다.10 is a layout view illustrating a structure of a thin film transistor array panel for an organic light emitting display device completed through a manufacturing process according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 11 및 도 12는 도 10의 박막 트랜지스터 표시판을 XI-XI' 선 및 XII-XII' 선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.11 and 12 are cross-sectional views illustrating the thin film transistor array panel of FIG. 10 taken along lines XI-XI ′ and XII-XII ′.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

200 : 표시판 220 : 차광 부재200: display panel 220: light blocking member

230 : 색필터 240 : 검사(정렬) 패턴230: color filter 240: inspection (alignment) pattern

240a : 제1 정렬선 240b : 제2 정렬선240a: first alignment line 240b: second alignment line

240c : 정렬 눈금 235 : 정렬용 색필터240c: alignment scale 235: color filter for alignment

500: 스테이지 300: 이송 장치500: stage 300: transfer device

400:헤드 700: 헤드 유니트400: head 700: head unit

본 발명은 표시 장치용 표시판 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 잉크젯 프린팅 방식으로 형성한 색필터를 가지는 표시 장치용 표시판 및 그 제조 방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a display panel for a display device and a manufacturing method thereof, and more particularly, to a display panel for a display device having a color filter formed by an inkjet printing method and a manufacturing method thereof.

최근, 무겁고 큰 음극선관(cathode ray tube, CRT)을 대신하여 유기 전계 발 광 표시 장치(organic electroluminescence display, OLED), 플라스마 표시 장치(plasma display panel, PDP), 액정 표시 장치(liquid crystal display, LCD)와 같은 평판 표시 장치가 활발히 개발 중이다.Recently, organic electroluminescence display (OLED), plasma display panel (PDP), liquid crystal display (LCD) in place of heavy and large cathode ray tube (CRT) A flat panel display such as) is being actively developed.

PDP는 기체 방전에 의하여 발생하는 플라스마를 이용하여 문자나 영상을 표시하는 장치이며, 유기 EL 표시 장치는 특정 유기물 또는 고분자들의 전계 발광을 이용하여 문자 또는 영상을 표시한다. 액정 표시 장치는 두 표시판의 사이에 들어 있는 액정층에 전기장을 인가하고, 이 전기장의 세기를 조절하여 액정층을 통과하는 빛의 투과율을 조절함으로써 원하는 화상을 얻는다.PDP is a device for displaying characters or images using plasma generated by gas discharge, and the organic EL display device displays characters or images by using electroluminescence of specific organic materials or polymers. The liquid crystal display device applies an electric field to a liquid crystal layer interposed between two display panels, and adjusts the intensity of the electric field to adjust a transmittance of light passing through the liquid crystal layer to obtain a desired image.

이러한 평판 표시 장치(flat panel display) 중에서 예를 들어 액정 표시 장치(liquid crystal display)와 유기 전계 발광 표시 장치(organic electro-luminescence display)는 스위칭 소자를 포함하는 화소와 게이트선 및 데이터선을 포함하는 표시 신호선을 구비하고 있으며, 다양한 색으로 화상을 표시하기 위해 색필터를 구비하고 있다. 유기 EL 표시 장치에서는 유기 발광층이 색필터를 대신할 수 있다.Among such flat panel displays, for example, liquid crystal displays and organic electro-luminescence displays include pixels including switching elements, gate lines, and data lines. A display signal line is provided, and a color filter is provided to display an image in various colors. In the organic EL display device, the organic light emitting layer may replace the color filter.

색필터나 유기 발광층을 형성하기 위하여 최근에는 종래의 포토리소그래피 방식을 대체하기 위한 여러 가지 새로운 공정 방식이 사용되고 있는 데, 대표적인 것이 잉크젯 인쇄 방식이다. In order to form a color filter or an organic light emitting layer, a variety of new process methods have recently been used to replace the conventional photolithography method, and an inkjet printing method is typical.

잉크젯 인쇄 방식(ink-jet printing type)에서는 절연 기판 상에 블랙 매트릭스 등의 차광 부재를 적층하고 노광 및 현상 공정 등을 거쳐 화소에 대응하는 차광 부재에 개구부를 형성하고, 개구부에 색필터용 잉크를 떨어뜨리는 방식이다. 잉크젯 인쇄 방식은 색필터를 형성함에 있어서 별도의 코팅, 노광, 현상 등의 공정이 불필요하므로 공정에 필요한 재료를 절감할 수 있고 공정의 단순화를 가능하게 할 수 있다. In an ink-jet printing type, a light blocking member such as a black matrix is laminated on an insulating substrate, an opening is formed in the light blocking member corresponding to the pixel through an exposure and development process, and a color filter ink is applied to the opening. It is a way of dropping. Since the inkjet printing method does not require a separate coating, exposure, or development process in forming the color filter, the material required for the process can be reduced and the process can be simplified.

개구부에 떨어지는 색필터용 잉크는 안료, 용제, 기타 분산제 등을 포함하는 액상 조성물이다. 따라서 미세한 개구부에 액체 상태로 원하는 양만큼 원하는 위치로 잉크를 떨어뜨리는 공정은 매우 어려우며, 개구부에 떨어진 잉크의 모습으로 원하는 낙하 지점을 기준으로 어느 정도 벗어난 위치에 떨어졌는지 등의 오정렬(mis-align)을 수치화하기 어렵다. 떨어진 잉크는 개구부 내에서 자유롭게 퍼지기 때문에 잉크의 퍼진 모습만으로 오정렬의 위치를 판단하기는 어려운 일이다. 이로 인하여 잘못된 적하에 의하여 인접 색필터 상호간에 잉크의 번짐 현상이 발생할 수 있고 나아가 표시 장치의 표시 특성을 악화시킬 수 있다. The color filter ink falling in the opening is a liquid composition containing a pigment, a solvent, another dispersant, and the like. Therefore, it is very difficult to drop the ink to the desired position by the desired amount in the liquid state in the minute opening, and the mis-alignment such as how far it has fallen to the position where the desired drop point is due to the appearance of the ink dropped in the opening. Difficult to quantify Since the dropped ink spreads freely in the opening, it is difficult to determine the position of the misalignment only by the spread of the ink. As a result, bleeding of the ink may occur between adjacent color filters due to incorrect dropping, which may further deteriorate display characteristics of the display device.

본 발명은 잉크의 적하 지점을 검사하여 적하의 오정렬을 보정함으로써 정확한 잉크 적하를 가능하게 할 수 있는 표시 장치용 표시판 및 그 제조 방법을 제공한다. The present invention provides a display panel for a display device and a method for manufacturing the same, which can enable accurate ink dropping by inspecting a dropping point of ink and correcting misalignment of dropping.

본 발명의 실시예에 따른 표시 장치용 표시판은 기판; 기판 상에 형성되어 있으며, 복수의 화소에 대응하여 개구부를 가지는 격벽 부재; 개구부에 형성되어 있으며, 광에 응답하여 고유의 색을 발현하는 복수개의 색필터; 및 격벽 부재의 가장자리 둘레 또는 기판의 외곽부에 배치되어 있으며, 색필터의 오정렬을 검사하기 위한 검사 패턴을 포함한다.A display panel for a display device according to an embodiment of the present invention includes a substrate; A partition member formed on the substrate and having an opening corresponding to the plurality of pixels; A plurality of color filters formed in the openings and expressing unique colors in response to light; And an inspection pattern disposed around the edge of the partition member or on the outer portion of the substrate, for inspecting misalignment of the color filters.

검사 패턴은 격벽 부재의 가장자리 또는 기판의 외곽부에 적어도 하나가 형성되어 있으며, 격벽 부재는 누설되는 빛을 차단하는 차광 부재일 수 있다.At least one inspection pattern is formed at an edge of the barrier member or an outer portion of the substrate, and the barrier member may be a light blocking member that blocks light leakage.

검사 패턴의 중심점은 검사 패턴이 대응하는 색필터의 중심점과 동일 선상에 위치하며, 검사 패턴의 둘레 경계는 원형이고, 눈금이 새겨진 정렬선을 포함하는 것이 바람직하다. 정렬선은 제1 및 제2 정렬선을 포함하며, 제1 및 제2 정렬선은 서로 교차한다.It is preferable that the center point of the inspection pattern is located on the same line as the center point of the corresponding color filter, and the perimeter boundary of the inspection pattern is circular and includes an alignment line engraved with a scale. The alignment line includes first and second alignment lines, and the first and second alignment lines cross each other.

검사 패턴은 적하된 한 방울의 잉크보다 넓은 면적을 차지하는 것이 바람직하며, 색필터는 적색, 녹색, 청색 등의 원색 중 하나를 표시하며, 검사 패턴은 적색, 녹색, 청색의 원색 중 하나에 대하여 적어도 하나로 배치되어 있는 것이 바람직하다.Preferably, the test pattern occupies a larger area than the drop of ink dropped, and the color filter displays one of the primary colors of red, green, and blue, and the test pattern is at least one of the primary colors of red, green, and blue. It is preferable to arrange in one.

표시판은 액정 표시 장치 또는 유기 전계 발광 표시 장치에 사용될 수 있으며, 서로 교차하는 복수의 신호선, 신호선에 연결되어 있는 박막 트랜지스터 및 박막 트랜지스터를 통하여 신호선에 전기적으로 연결되어 있으며 화상 신호가 전달되는 화소 전극을 더 포함할 수 있다.The display panel may be used in a liquid crystal display or an organic light emitting display, and may include a plurality of signal lines crossing each other, a thin film transistor connected to the signal line, and a pixel electrode electrically connected to the signal line through the thin film transistor and transmitting an image signal. It may further include.

본 발명의 실시예에 따른 표시판의 제조 방법에서는, 화소에 대응하는 위치에 개구부를 가지는 격벽 부재 및 검사 패턴을 가지는 기판의 상기 검사 패턴에 잉크를 적하한다. 이어, 검사 패턴 상에 적하된 잉크의 위치를 검사하여, 작하된 잉크의 중심점이 검사 패턴의 중심점과 일치하도록 잉크젯 인쇄 장치의 헤드 또는 기판 위치를 조정하여 헤드 및 기판의 오정렬을 보정한다. 이어, 보정된 헤드 및 기 판의 위치로부터 개구부에 잉크를 적하한다.In the method of manufacturing the display panel according to the embodiment of the present invention, ink is dropped into the inspection pattern of the partition member having the opening at the position corresponding to the pixel and the substrate having the inspection pattern. Then, the position of the ink dropped on the inspection pattern is inspected, and the misalignment of the head and the substrate is corrected by adjusting the head or substrate position of the inkjet printing apparatus so that the center point of the dropped ink coincides with the center point of the inspection pattern. Subsequently, ink is dropped into the opening from the corrected head and substrate positions.

잉크 적하 단계는 복수의 검사 패턴에 잉크를 적하할 수 있으며, 적색, 녹색, 청색 등의 원색에 대하여 각각 실시할 수 있으며, 격벽 부재는 차광 부재로 형성할 수 있다.The ink dropping step may add ink to a plurality of inspection patterns, and may be performed on primary colors such as red, green, and blue, respectively, and the partition member may be formed as a light shielding member.

첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.DETAILED DESCRIPTION Embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention.

도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.In the drawings, the thickness of layers, films, panels, regions, etc., are exaggerated for clarity. Like parts are designated by like reference numerals throughout the specification. When a part of a layer, film, region, plate, etc. is said to be "on" another part, this includes not only the other part being "right over" but also another part in the middle. On the contrary, when a part is "just above" another part, there is no other part in the middle.

이하, 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명을 보다 상세하게 설명하고자 한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, it will be described in detail the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 색필터를 포함하는 표시판의 구조를 도시한 평면도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 정렬 패턴의 구조를 구체적으로 도시한 평면도이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 정렬 패턴 상에 한 방울의 잉크를 떨어뜨린 모양을 도시한 평면도이다.1 is a plan view illustrating a structure of a display panel including a color filter according to an exemplary embodiment of the present invention. 2 is a plan view showing in detail the structure of the alignment pattern according to an embodiment of the present invention. 3 is a plan view illustrating a drop of ink on an alignment pattern according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 표시 장치용 표시판(200)은 절연 기판(210), 절연 기판(210) 상에 형성되어 있으며, 화소에 대응하여 개구부를 가지는 차광 부재(220), 차광 부재(220)의 개구부에 형성되어 있는 복수의 색필터(230)들을 포함한다. 색필터(230)는 적색, 녹색 및 청색 등의 원색 중 하나를 표시할 수 있으며, 차광 부재(220)는 서로 이웃하는 화소 사이에서 누설되는 빛을 차단하여 휘도를 향상시키며, 제조 공정시 색필터용 잉크를 가두는 격벽 부재의 기능을 가진다.Referring to FIG. 1, a display panel 200 for a display device according to an exemplary embodiment of the present invention is formed on an insulating substrate 210 and an insulating substrate 210, and has a light blocking member 220 having an opening corresponding to a pixel. And a plurality of color filters 230 formed in the opening of the light blocking member 220. The color filter 230 may display one of primary colors such as red, green, and blue, and the light blocking member 220 may block light leakage between neighboring pixels to improve luminance, and the color filter during the manufacturing process. It has the function of the partition member which traps the ink.

상기 차광 부재(220)는 기판(210) 상에 크롬 등의 금속막을 진공 증착 등의 방법으로 형성하고 감광성 수지를 코팅한 후 사진 공정(Photo Process)으로 패터닝하고 감광성 수지를 식각 마스크로 크롬을 에칭하는 방법으로 형성된다. 또는 차광 부재(220)는 절연 기판(210) 상에 고분자 수지 용액을 적층하고 스핀 코팅 처리하여 형성될 수도 있으며, 관용적인 다양한 방법으로 형성될 수 있다.The light blocking member 220 forms a metal film such as chromium on the substrate 210 by vacuum deposition, coating the photosensitive resin, patterning the photosensitive resin, and etching the chromium with the photosensitive resin as an etching mask. It is formed by the method. Alternatively, the light blocking member 220 may be formed by laminating and spin coating a polymer resin solution on the insulating substrate 210, and may be formed by various conventional methods.

상기 색필터(230)들이 배치되어 있는 영역의 바깥, 즉 차광 부재(220)의 외곽 둘레에는 색필터(230)의 제조 공정시 잉크의 적하 위치를 정확하게 검사하기 위한 검사( 또는 정렬) 패턴(240)이 형성되어 있다. 본 실시예에서 검사 패턴(240)은 원형의 개구부로 이루어지는데, 다양한 모양을 취할 수 있으며, 수평 및 수직 방향으로 돌출부를 가지는 것이 바람직하다. 상기 검사 패턴(240)의 중심점(A)은 색필터(230)의 중심점(B)과 동일 직선 상에 배치된다. 색필터(230)의 모든 중심점 및 검사 패턴(240)의 중심점은 모두 도 1 에 도시된 I-I'라인 상에 배치되어야 한다. 만약, 이러한 배치 관계가 유지되지 않는다면, 제조 공정시 색필터용 잉크의 정확한 적하가 불가능해지고 검사 패턴(240)에 의하여 수행되는 정렬 검사의 신뢰 성이 크게 낮아질 수 있다. An inspection (or alignment) pattern 240 for accurately checking a dropping position of ink in the manufacturing process of the color filter 230 outside the area where the color filters 230 are disposed, that is, around the outside of the light blocking member 220. ) Is formed. In this embodiment, the inspection pattern 240 is formed of a circular opening, which may take various shapes, and preferably has protrusions in the horizontal and vertical directions. The center point A of the test pattern 240 is disposed on the same straight line as the center point B of the color filter 230. All of the center points of the color filter 230 and the center points of the inspection pattern 240 should be disposed on the line II ′ shown in FIG. 1. If this arrangement relationship is not maintained, accurate dropping of the color filter ink during the manufacturing process may be impossible, and the reliability of the alignment inspection performed by the inspection pattern 240 may be greatly lowered.

상기 정렬 패턴(240)은 차광 부재(220)의 외곽 둘레 상에 적어도 하나 이상이 배치될 수 있으며, 차광 부재(220)의 둘레 밖에 배치될 수도 있다. 잉크를 적하하기 위한 각각의 잉크 공급 노즐(미도시)의 간격들 및 색필터(230) 사이의 간격은 정확한 수치 계산에 의하여 사전에 구조를 균일하게 설정할 수 있다. 따라서, 하나의 검사 패턴(240) 상에서 잉크 적하 위치를 정확하게 검사하여 잉크 공급 노즐의 위치를 설정하면 나머지 부분에서의 잉크 적하도 정확하게 수행될 수 있다. 검사 패턴(240)은 복수 개로 이루어질 수 있다. 검사 패턴(240)이 복수 개인 경우에 검사의 신뢰성은 향상될 수 있다. 또는 검사 패턴(240)은 R(RED), G(GREEN), B(BLUE) 색필터(230)들이 배치된 선상의 전면에 하나씩 각각 배치될 수 도 있다.At least one alignment pattern 240 may be disposed on an outer periphery of the light blocking member 220 or may be disposed outside the perimeter of the light blocking member 220. The intervals between the respective ink supply nozzles (not shown) for dropping the ink and the intervals between the color filters 230 can uniformly set the structure in advance by accurate numerical calculation. Therefore, by accurately checking the ink dropping position on one inspection pattern 240 and setting the position of the ink supply nozzle, the ink dropping in the remaining portion can also be performed accurately. The test pattern 240 may be formed in plurality. In the case where there are a plurality of test patterns 240, the reliability of the test may be improved. Alternatively, the inspection patterns 240 may be arranged one by one on the front surface of the line on which the R (RED), G (GREEN), and B (BLUE) color filters 230 are arranged.

상기 검사 패턴(240)을 형성하는 구체적인 방법은 잉크 공급 장치(미도시)의 특성이나 잉크 적하 방식에 따라 다양하게 변형될 수 있다.The specific method of forming the test pattern 240 may be variously modified according to the characteristics of the ink supply device (not shown) or the ink dropping method.

상기 검사 패턴(240)으로 정의되는 내부의 크기는 다양할 수 있는데, 적어도 색필터용 잉크 한 방울이 적하되었을 때, 잉크가 퍼진 면적보다는 넓어야 한다. 검사 패턴(240) 내부로 적하된 잉크가 검사 패턴(240)의 면적보다 커야만 잉크가 적하된 형태를 명확하게 알 수 있기 때문이다. 상기 검사 패턴(240)은 차광 부재(220)의 재질이 유기 고분자일 경우에는 차광 부재(220) 상에 포지티브(Positive) 또는 네가티브(Negative) 방식에 의하여 노광, 현상 등의 공정만으로 형성된다. 그러나 차광 부재의 재질이 무기물일 경우에는 별도의 포토레지스트(Photo resist)막을 적층한 후, 노광, 현상, 식각 등의 공정을 거쳐 검사 패턴(240)이 차광 부재 (220) 상에 함께 형성된다.The size of the interior defined by the test pattern 240 may vary. At least when a drop of the color filter ink is dropped, it should be wider than the ink spread area. This is because the ink dropped into the test pattern 240 must be larger than the area of the test pattern 240 so that the ink can be clearly seen. When the material of the light blocking member 220 is an organic polymer, the inspection pattern 240 may be formed on the light blocking member 220 only by a process such as exposure or development by a positive or negative method. However, when the material of the light blocking member is an inorganic material, after a separate photoresist layer is laminated, the inspection pattern 240 is formed together on the light blocking member 220 through a process such as exposure, development, and etching.

도 2를 참조하면, 검사 패턴(240)은 잉크 주입 방향 상에 형성된 제1 정렬선(240a), 중심점(A)에서 제1 정렬선(240a)과 직교하는 제2 정렬선(240b)을 포함한다. 상기 검사 패턴(240)의 돌출부는 제1 및 제2 정렬선(240a, 240b)의 연장선상에 배치되어 있다. 상기 돌출부는 상하 좌우의 위치 관계를 가이드 해 주어 잉크 적하 상태를 보다 쉽게 판단할 수 있게 해준다. 상기 제1 및 제2 정렬선(240a, 240b)에는 복수개의 정렬 눈금(240c)이 형성되어 있다. 검사 패턴(240)에 제1 및 제2 정렬선(240a, 240b)이 형성되어 있어, 적하된 잉크의 위치를 수치화 할 수 있으므로 정확한 잉크 적하의 오정렬 검사가 가능하다. 따라서, 잉크 공급 노즐(미도시)의 위치 조정이 보다 정교해질 수 있다. 나아가, 상기 검사 패턴(240) 상에 형성된 제1 및 제2 정렬선(240a, 240b)은 다양한 형태로 형성할 수 있다.Referring to FIG. 2, the test pattern 240 includes a first alignment line 240a formed on the ink injection direction, and a second alignment line 240b perpendicular to the first alignment line 240a at the center point A. Referring to FIG. do. The protrusions of the inspection pattern 240 are disposed on the extension lines of the first and second alignment lines 240a and 240b. The protrusion guides the positional relationship of up, down, left, and right to make it easier to determine the ink drop state. A plurality of alignment scales 240c are formed in the first and second alignment lines 240a and 240b. The first and second alignment lines 240a and 240b are formed in the inspection pattern 240, so that the position of the dropped ink can be digitized, so that an accurate misalignment inspection of the ink drop can be performed. Therefore, the position adjustment of the ink supply nozzle (not shown) can be more precise. Further, the first and second alignment lines 240a and 240b formed on the test pattern 240 may be formed in various forms.

제1 및 제2 정렬선(240a, 240b)은 검사 패턴(240)의 형태를 패터닝할 때 동시에 패터닝할 수도 있고, 원형의 검사 패턴(240) 형태를 패터닝한 후 별도로 패터닝할 수도 있으나, 제조 공정의 단순화를 위하여 일괄적으로 패터닝되는 것이 바람직하다. 또한 제1 및 제2 정렬선(240a, 240b)은 양각 또는 음각의 형태로 패터닝될 수 있는데, 제1 및 제2 정렬선(240a, 240b)의 외부 검사패턴 영역과 높이 차가 거의 없게 패터닝되는 것이 바람직하다. 이는 적하된 잉크의 유동을 방지하기 위해서이다. The first and second alignment lines 240a and 240b may be simultaneously patterned when the pattern of the test pattern 240 is patterned, or may be separately patterned after patterning the circular test pattern 240. It is preferable to pattern them collectively for the sake of simplicity. In addition, the first and second alignment lines 240a and 240b may be patterned in the form of an embossed or engraved pattern. The first and second alignment lines 240a and 240b may be patterned such that there is little height difference with the external inspection pattern areas of the first and second alignment lines 240a and 240b. desirable. This is to prevent the flow of the dropped ink.

도 3을 참조하여, 이하 본 발명의 실시예에 따른 검사 패턴을 포함하는 표시판의 제조 방법에서 색필터를 형성하는 방법을 구체적으로 설명하도록 하겠다. Referring to FIG. 3, a method of forming a color filter in the method of manufacturing a display panel including an inspection pattern according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail.                     

색필터 형성 방법은, 차광 부재(220) 및 검사 패턴(240)을 형성한 잉크젯 인쇄 장치의 헤드 및 노즐을 정렬한 다음, 다음 검사 패턴(240)에 색필터용 잉크(235)를 적하하는 단계, 상기 검사 패턴(130) 상에 적하된 잉크(235)의 위치를 검사하는 단계, 상기 적하된 잉크(235)의 중심점(C)이 상기 검사 패턴(130)의 중심점(A)과 일치하도록 잉크 적하 위치를 수평 또는 수직 방향으로 조정하는 단계, 및 상기 조정된 잉크 주입 위치를 통하여 차광 부재(220)로 정의되는 개구부에 잉크를 적하하는 단계를 포함한다.The color filter forming method includes aligning a head and a nozzle of an inkjet printing apparatus on which the light blocking member 220 and the test pattern 240 are formed, and then dropping the color filter ink 235 on the next test pattern 240. And inspecting the position of the ink 235 dropped on the inspection pattern 130, so that the center point C of the dropped ink 235 coincides with the center point A of the inspection pattern 130. Adjusting the dropping position in a horizontal or vertical direction, and dropping ink into an opening defined by the light blocking member 220 through the adjusted ink injection position.

상기 차광 부재(220, 도 1 참조)의 개구부는 잉크가 채워질 수 있는 공간으로서 일반적인 노광, 현상 등의 공정을 거쳐 형성되며, 잉크가 채워진 후 잉크는 경화 과정을 거쳐 색필터가 형성된다. 도 3에서 보는 바와 같이 검사 패턴(240)에 한 방울의 잉크(235)를 적하한다. 적하 후 적하된 잉크(235)의 중심점(C)의 위치를 검사한다. 검사 후, 적하된 잉크(235)의 중심점(C)과 검사 패턴(130)의 중심점(A)이 일치하도록 잉크젯 인쇄 장치의 헤드 또는 노즐의 위치를 조정한다. 구체적으로는 잉크 공급 노즐(미도시)의 위치를 조정한다. 조정된 위치를 고정하고 상기 잉크 공급 노즐을 이동시키면서 상기 개구부에 잉크를 적하한다. 상기 검사 패턴(240)에 잉크를 적하하는 단계에서 동시에 복수개의 검사 패턴(240)에 잉크를 적하할 수도 있다. 또는 색필터(230)의 색상(R, G, B) 별로 각 색상에 대응하는 검사 패턴(240)에 동시에 적하할 수도 있다. 검사 패턴(240)은 색상별로 하나씩 형성된다. 상기 색필터(230) 형성 과정에 사용되는 검사패턴의 개수 및 검사 패턴(240)의 배치 방법은 색필터(230)의 배치에 따라 다양하게 변경될 수 있다. The opening of the light blocking member 220 (refer to FIG. 1) is a space in which ink can be filled, and is formed through a general exposure or development process. After the ink is filled, the ink is cured to form a color filter. As shown in FIG. 3, a drop of ink 235 is dropped into the inspection pattern 240. After dropping, the position of the center point C of the dropped ink 235 is inspected. After the inspection, the position of the head or nozzle of the inkjet printing apparatus is adjusted so that the center point C of the dropped ink 235 coincides with the center point A of the inspection pattern 130. Specifically, the position of the ink supply nozzle (not shown) is adjusted. The ink is dropped into the opening while the adjusted position is fixed and the ink supply nozzle is moved. In the step of dropping ink on the test pattern 240, ink may be dropped on the plurality of test patterns 240 simultaneously. Alternatively, each of the colors R, G, and B of the color filter 230 may be dropped onto the inspection pattern 240 corresponding to each color. The inspection pattern 240 is formed one for each color. The number of inspection patterns used in the process of forming the color filter 230 and the arrangement method of the inspection patterns 240 may be variously changed according to the arrangement of the color filters 230.                     

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치용 표시판에서 색필터 및 정렬 패턴의 구조를 구체적으로 도시한 평면도이다.4 is a plan view illustrating in detail a structure of a color filter and an alignment pattern in a display panel for a display device according to another exemplary embodiment of the present invention.

도 4에서 보는 바와 같이 본 실시예에 따른 표시 장치용 표시판(200)의 구조는 대부분 도 1 내지 도 3의 표시판과 거의 동일하다. 즉, 절연 기판(210)의 상부에 화소에 개구부를 가지는 차광 부재(220)가 형성되어 있으며, 각각의 화소에 대응하는 개구부에는 복수의 색필터(230)가 형성되어 있으며, 기판(210)의 가장자리에는 정렬 패턴(240R, 240G, 240B, 240R', 240G', 240B')이 형성되어 있다.As shown in FIG. 4, the structure of the display panel 200 for a display device according to the present exemplary embodiment is almost the same as that of FIGS. 1 to 3. That is, the light blocking member 220 having an opening in the pixel is formed on the insulating substrate 210, and the plurality of color filters 230 are formed in the opening corresponding to each pixel, and the substrate 210 of the substrate 210 is formed. Alignment patterns 240R, 240G, 240B, 240R ', 240G', and 240B 'are formed at the edges.

도 1 내지 도 3과 달리 본 실시예에 따른 표시판(200)에는 적색, 녹색, 청색의 색필터(230)는 세로 방향으로 순차적으로 배치되어 있으며, 정렬 패턴(240R, 240G, 240B, 240R', 240G', 240B')은 차광 부재(220) 둘레 밖의 기판(210) 외곽부에 배치되어 있다. 이때, 정렬 패턴(240R, 240G, 240B, 240R', 240G', 240B')은 색필터(230)가 뻗은 장변 방향의 외곽부에 배치되어 차광 부재(220)를 중심으로 양쪽에 위치하고 있으며, 정렬 패턴(240R, 240G, 240B, 240R', 240G', 240B')의 가로 중심선과 색필터(230)의 가로 중심선은 동일선상에 위치한다. 정렬 패턴(240R, 240G, 240B, 240R', 240G', 240B')은 행의 색필터(230)에 대하여 각각 배치되어 있으며, 적의 색필터용 정렬 패턴(240R, 240R')과 녹의 색필터용 정렬 패턴(240G, 240G')과 청의 색필터용 정렬 패턴(240B, 240B')을 포함하는데, 서로 어긋나 위치한다. 이는, 정렬 패턴(240R, 240G, 240B, 240R', 240G', 240B')의 크기가 색필터(230)보다 1.5배 이상이기 때문이며, 동일한 색의 정렬 패턴(240R, 240G, 240B, 240R', 240G', 240B')들은 세로 방향의 중심선에 대하여 동일선 상에 위치한다. Unlike FIGS. 1 to 3, the red, green, and blue color filters 230 are sequentially disposed in the vertical direction in the display panel 200, and the alignment patterns 240R, 240G, 240B, 240R ', 240G 'and 240B' are disposed outside the substrate 210 outside the light blocking member 220. In this case, the alignment patterns 240R, 240G, 240B, 240R ', 240G', and 240B 'are disposed on the outer side of the long side direction in which the color filter 230 extends and are positioned at both sides of the light blocking member 220. The horizontal center line of the patterns 240R, 240G, 240B, 240R ', 240G', and 240B 'and the horizontal centerline of the color filter 230 are positioned on the same line. The alignment patterns 240R, 240G, 240B, 240R ', 240G', and 240B 'are arranged with respect to the color filters 230 of the rows, respectively, and the alignment patterns 240R and 240R' for the red color filters and the green color filters. Alignment patterns 240G and 240G 'and blue color filter alignment patterns 240B and 240B' are included, but are offset from each other. This is because the sizes of the alignment patterns 240R, 240G, 240B, 240R ', 240G', and 240B 'are 1.5 times or more than those of the color filter 230, and the alignment patterns 240R, 240G, 240B, 240R' of the same color are used. 240G 'and 240B' are located on the same line with respect to the longitudinal center line.                     

이때, 본 실시예와 달리 색필터(230)의 모양 및 정렬 패턴(240R, 240G, 240B, 240R', 240G', 240B')의 모양 또는 수는 다양하게 변경될 수 있으며, 정렬 패턴(240R, 240G, 240B, 240R', 240G', 240B')의 배치 또한 다양하게 변경될 수 있다.At this time, unlike the present embodiment, the shape and the number or shape of the color filter 230 and the alignment patterns 240R, 240G, 240B, 240R ', 240G', and 240B 'may be changed in various ways, and the alignment patterns 240R, The arrangement of 240G, 240B, 240R ', 240G', 240B 'may also be variously changed.

또한, 정렬 패턴(240R, 240G, 240B, 240R', 240G', 240B')은 차광 부재(220)와 동일한 층으로 이루어질 수 있으며, 차광 부재(220)를 형성하기 전에 선형으로 그리거나 다른 박막으로 패터닝하여 형성할 수도 있다. In addition, the alignment patterns 240R, 240G, 240B, 240R ', 240G', and 240B 'may be formed of the same layer as the light blocking member 220, and may be linearly drawn or formed with another thin film before the light blocking member 220 is formed. It may be formed by patterning.

여기서, 표시판은 색필터만을 가지는 색필터 표시판일 수 있으며, 차광 부재(220)는 이웃하는 화소 사이에서 누설되는 빛을 차단하여 표시 장치의 휘도를 향상시키는 기능을 가진다. 또한, 표시판은 액정 표시 장치 또는 유기 전계 발광 표시 장치에서는 박막 트랜지스터 표시판 또는 공통 전극 표시판일 수 있으며, 차광 부재(220)는 제조 공정시 적하된 액상의 색필터용 잉크를 가두는 격벽으로 대체될 수 있다. The display panel may be a color filter display panel having only a color filter, and the light blocking member 220 may block light leaking between neighboring pixels to improve brightness of the display device. In addition, the display panel may be a thin film transistor array panel or a common electrode display panel in a liquid crystal display or an organic electroluminescent display, and the light blocking member 220 may be replaced by a partition wall containing a liquid color filter ink dropped in a manufacturing process. have.

다음은, 본 발명의 실시예에 따른 표시판의 제조 공정에서 색필터를 형성하는 잉크젯 인쇄 장치에 대하여 도면을 참조하여 설명하기로 한다. Next, an inkjet printing apparatus for forming a color filter in a manufacturing process of a display panel according to an exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 표시판의 제조 방법에서 색필터를 형성하는 잉크젯 인쇄 장치의 구조를 구체적으로 도시한 사시도이다. 도 6은 본 발명의 한 실시예에 따른 색필터를 적하하는 헤드의 구조를 구체적으로 도시한 배치도이다.5 is a perspective view illustrating in detail a structure of an inkjet printing apparatus for forming a color filter in a method of manufacturing a display panel according to an exemplary embodiment of the present invention. 6 is a layout view illustrating in detail the structure of a head for dropping the color filter according to an embodiment of the present invention.

도 5 및 도 6에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 색필터의 제 조 공정에 사용하는 잉크젯 인쇄 장치는 표시 장치용 표시판(200)의 절연 기판(210)이 위치하는 스테이지(500), 기판(210) 위에 적어도 하나의 노즐(#1, #2, …, #n)을 통해 색필터용 잉크(230)를 적하하는 헤드 유니트(700)를 포함한다. 그리고, 헤드 유니트(700)를 소정 위치로 이동시키는 이송 장치(300)를 포함한다. 여기서, 화소에 대응하는 차광 부재(220)의 개구부에 적하된 색필터용 잉크는 앞에서 설명한 색필터와 동일하게 도면 부호 "230"으로 표시하였다.As shown in FIGS. 5 and 6, an inkjet printing apparatus used in a manufacturing process of a color filter according to an embodiment of the present invention includes a stage on which an insulating substrate 210 of a display panel 200 for a display device is located. 500, and a head unit 700 dropping the color filter ink 230 through at least one nozzle # 1, # 2,..., #N on the substrate 210. And it includes a transfer device 300 for moving the head unit 700 to a predetermined position. Here, the color filter ink dropped in the opening of the light blocking member 220 corresponding to the pixel is denoted by reference numeral 230, similarly to the color filter described above.

도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 스테이지(500) 위의 기판(210)에 색필터(230)를 형성하기 위해 헤드 유니트(700)를 이송 장치(300)를 이용하여 X 방향으로 이동시키면서 헤드(400)의 노즐(#1, #2, …, #n)을 통해 잉크(230)를 적하한다. 소정 위치에 잉크(23)가 적하되어 기판(210) 위에 색필터(230)가 형성된다. 기판(210)은 대형화되고 헤드(400)의 크기와 잉크를 분사하는 노즐(#1, #2, …, #n)의 개수는 한정되어 있어서 1회의 스캐닝으로 색필터(230)를 형성할 수 없으므로 헤드 유니트(700)는 여러 번의 반복 이송에 의해 기판(210)의 모든 영역에 색필터(230)를 형성한다. As shown in FIGS. 5 and 6, the head unit 700 is moved in the X direction using the transfer apparatus 300 to form the color filter 230 on the substrate 210 on the stage 500. The ink 230 is dropped through the nozzles # 1, # 2, ..., #n of the head 400. The ink 23 is dropped in a predetermined position to form the color filter 230 on the substrate 210. Since the substrate 210 is enlarged and the size of the head 400 and the number of nozzles # 1, # 2,..., And #n that spray ink are limited, the color filter 230 may be formed by one scanning. Therefore, the head unit 700 forms the color filter 230 in all regions of the substrate 210 by a plurality of repetitive transfers.

이송 장치(300)는 헤드 유니트(700)를 기판(210)과 소정 간격 이격되어 상방에 위치시키는 지지부(310), 헤드 유니트(700)를 X 또는 Y 방향으로 이송시키는 수평 이송부(330), 및 헤드 유니트(700)를 승강시키는 승강부(340)를 포함한다. The conveying apparatus 300 may include a support 310 which positions the head unit 700 above the substrate 210 at a predetermined distance, a horizontal conveyer 330 which conveys the head unit 700 in the X or Y direction, and Lifting unit 340 for lifting the head unit 700 is included.

그리고, 헤드 유니트(700)는 노즐(#1, #2, …, #n)을 지지하는 헤드(400)를 포함하는데, 헤드(400)는 적색용 헤드, 녹색용 헤드 및 청색용 헤드의 3개의 헤드인 것이 바람직하며, 긴 막대기 형상의 헤드(400)의 전면에 복수개의 노즐(#1, #2, …, #n)이 배치되어 있다.The head unit 700 includes a head 400 for supporting the nozzles # 1, # 2, ..., #n, and the head 400 includes three heads of a red head, a green head, and a blue head. It is preferable that it is a head, and several nozzles # 1, # 2, ..., #n are arrange | positioned in the front of the long stick-shaped head 400. FIG.

3개인 경우에 3개의 헤드(400)는 서로 평행하게 동일한 간격을 유지하고 있으며, 다수의 헤드는 수평 이동, 수직 이동 및 회전 이동을 통하여 개별 정렬이 가능한 것이 바람직하다. In the case of three, the three heads 400 maintain the same distance in parallel to each other, it is preferable that the plurality of heads can be individually aligned through the horizontal movement, vertical movement and rotational movement.

헤드(400)는 소정 각도(θ)로 Y 방향과 경사지게 설치되어 있다. 이는 노즐(#1, #2, …, #n) 피치가 색필터(230)가 차지하는 화소의 피치보다 크므로 노즐(#1, #2, …, #n)의 피치를 화소의 피치와 일치시키기 위함이다.The head 400 is installed to be inclined with the Y direction at a predetermined angle θ. This is because the pitches of the nozzles # 1, # 2, ..., #n are larger than the pitches of the pixels occupied by the color filter 230, so that the pitches of the nozzles # 1, # 2, ..., #n match the pitches of the pixels. To do so.

다음은, 본 발명의 실시예에 따른 표시판의 제조 공정에서 도 5 및 도 6의 잉크젯 인쇄 장치를 이용하여 색필터를 형성하는 제조 공정에 대하여 구체적으로 설명하기로 한다.Next, a manufacturing process of forming a color filter using the inkjet printing apparatus of FIGS. 5 and 6 in the manufacturing process of the display panel according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail.

도 7은 도 5의 표시판을 제조하는 공정에서 색필터를 형성하기 전에 정렬 패턴을 이용하여 헤드를 정렬하는 공정을 도시한 공정도이다. 여기서는 대표적으로 하나의 색필터를 형성하는 방법에 대해서만 설명한다. FIG. 7 is a flowchart illustrating a process of aligning a head using an alignment pattern before forming a color filter in the process of manufacturing the display panel of FIG. 5. Here, only a method of forming one color filter will be described.

도 7에서 보는 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 표시 장치용 표시판의 제조 공정에서 색필터(230)를 형성하는 방법에서는, 우선 정렬 패턴(240, 240')과 화소에 대응하여 개구부(221)를 가지는 차광 부재(220)가 형성되어 있는 색필터를 포함하는 표시판(200)을 스테이지(500)의 상부에 정렬하여 배치한다. 이어, 이미 입력된 정렬 패턴(240)의 위치 정보에 따라 이송 장치(300)를 이용하여 헤드 유니트(700)를 이동시킨 다음 노즐(#1)을 통하여 정렬 패턴(240)에 색필터용 잉크를 한 방울의 잉크(235)를 적하한다. 이와 같은 공정은 하나의 색필터에 대하여 실시할 수 있으며, 둘 또는 셋의 색필터에 대하여 함께 실시할 수도 있다. 이어, 적하된 잉크(235)의 중심점(C) 위치를 검사하여 잉크(235)의 중심점(C)과 정렬 패턴(240)의 중심점(A)이 일치하도록 잉크젯 인쇄 장치의 헤드(700) 또는 노즐(#1)의 위치를 조정한다. 구체적으로는 잉크 공급 노즐(#1)의 위치를 조정한다. 이와 같은 정렬 공정을 복수의 정렬 패턴 및 복수의 노즐에 대하여 반복적으로 실시하며, 차광 부재(220)를 중심으로 양쪽에 배치되어 있는 정렬 패턴(240, 240')에 모두에 대하여 실시할 수 있다. 이때, 노즐(#1, #2, …, #n)과 기판(210)의 오정렬을 검사하기 위해 둘 이상의 정렬 패턴(240. 240')을 설정할 때에는 서로 멀리 배치되어 있는 정렬 패턴(240. 240')을 선택하여 위치를 검사하는 것이 바람직하다. 이어, 조정된 위치로 노즐(#1, #2, …, #n) 또는 기판(210)을 고정하고 잉크 공급 노즐을 이동시키면서 개구부(221)에 잉크를 적하한다. As shown in FIG. 7, in the method of forming the color filter 230 in the manufacturing process of the display panel for the display device according to the exemplary embodiment of the present invention, first, the openings 221 correspond to the alignment patterns 240 and 240 'and the pixels. The display panel 200 including the color filter having the light blocking member 220 having the () is arranged on the stage 500. Subsequently, the head unit 700 is moved using the transfer device 300 according to the position information of the alignment pattern 240 already input, and then the ink for the color filter is applied to the alignment pattern 240 through the nozzle # 1. A drop of ink 235 is dripped. This process may be performed on one color filter, or may be performed on two or three color filters together. Next, the center point C of the ink 235 is inspected and the head 700 or the nozzle of the inkjet printing apparatus is aligned so that the center point C of the ink 235 coincides with the center point A of the alignment pattern 240. Adjust the position of (# 1). Specifically, the position of the ink supply nozzle # 1 is adjusted. Such an alignment process may be repeatedly performed on the plurality of alignment patterns and the plurality of nozzles, and may be performed on all of the alignment patterns 240 and 240 'disposed on both sides of the light blocking member 220. At this time, when setting the two or more alignment patterns (240.240 ') to check the misalignment of the nozzles (# 1, # 2, ..., #n) and the substrate 210, the alignment patterns (240, 240) are disposed far away from each other. It is desirable to check the position by selecting '). Next, ink is dropped into the opening portion 221 while the nozzles # 1, # 2, ..., #n or the substrate 210 are fixed to the adjusted position and the ink supply nozzle is moved.

정렬 패턴(240)에 잉크를 적하하는 단계에서 동시에 복수개의 정렬 패턴(240)에 잉크를 적하하여 오정렬을 검사할 수도 있다. 또는 색필터(230)의 적, 녹, 청의 색필터별로 각 색필터에 대응하는 검사 패턴(240)에 동시에 적하할 수도 있다. 정렬 패턴(240, 240')의 수 및 배치 방법은 색필터(230)의 배치에 따라 다양하게 변경될 수 있다.In the step of dropping ink on the alignment pattern 240, ink may be dropped on the plurality of alignment patterns 240 at the same time to check for misalignment. Alternatively, the red, green, and blue color filters of the color filter 230 may be simultaneously dropped onto the inspection pattern 240 corresponding to each color filter. The number and arrangement methods of the alignment patterns 240 and 240 ′ may be variously changed according to the arrangement of the color filters 230.

도 8a 내지 도 8d는 본 발명의 실시예에 따른 색필터의 제조 공정에서 정렬 패턴을 이용한 오정렬의 형태를 각각 도시한 평면도이다.8A to 8D are plan views illustrating shapes of misalignment using alignment patterns in a manufacturing process of a color filter according to an embodiment of the present invention, respectively.

도 8a에서 보는 바와 같이, 정렬 패턴(240) 내에 떨어진 잉크(235)의 중심점(C)과 정렬 패턴(240)의 중심점(A)이 X축 방향으로 d1의 거리만큼 오정렬 되었을 때에는 헤드(400)의 초기 고정 위치를 d1의 거리만큼 조정하여 오정렬을 보정한다.As shown in FIG. 8A, when the center point C of the ink 235 dropped in the alignment pattern 240 and the center point A of the alignment pattern 240 are misaligned by a distance of d1 in the X-axis direction, the head 400 is disposed. Correct the misalignment by adjusting the initial fixed position of by the distance of d1.

도 8b에서 보는 바와 같이, 정렬 패턴(240) 내에 떨어진 잉크(235)의 중심점(C)과 정렬 패턴(240)의 중심점(A)이 Y축 방향으로 d2의 거리만큼 오정렬되었을 때에는 기판(210) 또는 스테이지(500)의 초기 고정 위치를 d2의 거리만큼 조정하여 오정렬을 보정한다.As shown in FIG. 8B, when the center point C of the ink 235 dropped in the alignment pattern 240 and the center point A of the alignment pattern 240 are misaligned by a distance of d2 in the Y-axis direction, the substrate 210 is misaligned. Alternatively, the misalignment is corrected by adjusting the initial fixed position of the stage 500 by a distance of d2.

도 8c에서 보는 바와 같이, 하나의 정렬 패턴(240) 내에 떨어진 잉크(235)의 중심점(C)과 정렬 패턴(240)의 중심점(A)은 일치했는데, 위치를 보정하지 않은 상태에서 동일한 헤드(400)에 포함되어 있는 다른 노즐, 예를 둘어 두 번째 노즐(#2)을 통하여 두 번째 정렬 패턴(240)에 잉크(235)를 떨어뜨렸을 때 잉크(235)의 중심점(C)의 위치를 측정한 결과 정렬 패턴(240)의 중심점(A)과 일치하지 않았을 때, 이는 헤드(400)의 경사각이 오정렬된 것으로, 헤드(400)의 경사각을 조정하여 오정렬을 보정한다.As shown in FIG. 8C, the center point C of the ink 235 dropped within one alignment pattern 240 and the center point A of the alignment pattern 240 coincide with each other. To measure the position of the center point C of the ink 235 when the ink 235 is dropped into the second alignment pattern 240 through another nozzle included in 400, for example, the second nozzle # 2. As a result, when it does not coincide with the center point A of the alignment pattern 240, the inclination angle of the head 400 is misaligned, and the misalignment is corrected by adjusting the inclination angle of the head 400.

도 8d에서 보는 바와 같이, 하나의 정렬 패턴(240) 내에 떨어진 잉크(235)의 중심점(C)과 정렬 패턴(240)의 중심점(A)은 일치했는데, 위치를 보정하지 않은 상태에서 다른 정렬 패턴(240') 내에 떨어진 잉크(235')의 중심점(C')의 위치를 측정한 결과 정렬 패턴(240')의 중심점(A')에 대하여 Y축 방향으로 d4의 거리만큼 오정렬되었을 때에는 기판(210) 또는 스테이지(500)의 경사각이 오정렬될 것으로, 기판(210) 또는 스테이지(500)의 경사각을 조정하여 d4의 거리만큼 오정렬을 보정한다.As shown in FIG. 8D, the center point C of the ink 235 dropped in one alignment pattern 240 and the center point A of the alignment pattern 240 coincide with each other. When the position of the center point C 'of the ink 235' dropped within the 240 'is measured and misaligned by the distance d4 in the Y-axis direction with respect to the center point A' of the alignment pattern 240 ', the substrate ( The inclination angle of the 210 or the stage 500 is misaligned, and the inclination of the substrate 210 or the stage 500 is adjusted to correct the misalignment by the distance of d4.

이와 같은 본 실시예에 따른 표시판은 앞에서 설명한 바와 같이 액정 표시 장치의 공통 전극 표시판 또는 유기 전계 발광 표시 장치의 박막 트랜지스터 표시 판일 수 있다.As described above, the display panel according to the present exemplary embodiment may be a common electrode display panel of a liquid crystal display or a thin film transistor display panel of an organic light emitting display.

도 9는 본 발명의 실시예에 따른 제조 공정으로 완성한 표시판을 포함하는 액정 표시 장치의 구조를 도시한 단면도이다.9 is a cross-sectional view illustrating a structure of a liquid crystal display including a display panel completed by a manufacturing process according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 9에서 보는 바와 같이, 본 실시예에 따른 액정 표시 장치는 박막 트랜지스터 표시판(100), 공통 전극 표시판(200), 이들 두 표시판(100, 200) 사이에 삽입되어 있는 액정층(3)을 포함한다.As shown in FIG. 9, the liquid crystal display according to the present exemplary embodiment includes a thin film transistor array panel 100, a common electrode display panel 200, and a liquid crystal layer 3 interposed between the two display panels 100 and 200. do.

먼저, 박막 트랜지스터 표시판(100)에 대하여 상세하게 설명한다.First, the thin film transistor array panel 100 will be described in detail.

절연 기판(110) 위에 게이트 신호 또는 주사 신호를 전달하는 게이트선(도시하지 않음)에 연결되어 있는 복수의 게이트 전극(gate electrode)(124)이 형성되어 있다. 게이트선을 덮는 게이트 절연막(gate insulating layer)(140) 상부에는 수소화 비정질 규소(hydrogenated amorphous silicon)(비정질 규소는 약칭 a-Si로 씀) 등으로 이루어진 반도체(154)가 형성되어 있다. 반도체(154)의 상부에는 실리사이드(silicide) 또는 인 따위의 n형 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 n+ 수소화 비정질 규소 따위의 물질로 만들어진 저항성 접촉 부재(ohmic contact)(163, 165)가 형성되어 있다. 저항 접촉 부재(163, 165) 및 게이트 절연막(140) 위에는 데이터 전압(data voltage)을 전달하는 데이터선(data line)(171)과 이로부터 분리되어 있는 복수의 드레인 전극(drain electrode)(175)이 형성되어 있다. 하나의 게이트 전극(124), 데이터선(171)에 연결된 소스 전극(173) 및 드레인 전극(175)은 반도체(154)와 함께 하나의 박막 트랜지스터(thin film transistor, TFT)를 이루며, 박막 트랜지스터의 채널(channel)은 소스 전극(173)과 드레인 전극(175) 사이의 반도체 (154)에 형성된다. 저항성 접촉 부재(163, 165)는 그 하부의 반도체(154)와 그 상부의 데이터선(171) 및 드레인 전극(175) 사이에만 존재하며 접촉 저항을 낮추어 주는 역할을 한다. 데이터선(171) 및 드레인 전극(175)과 이들로 덮이지 않고 노출된 반도체(154) 부분의 위에는 보호막(passivation layer)(180)이 형성되어 있다. 보호막(180)은 평탄화 특성이 우수하며 감광성(photosensitivity)을 가지는 유기 물질, 플라스마 화학 기상 증착(plasma enhanced chemical vapor deposition, PECVD)으로 형성되는 a-Si:C:O, a-Si:O:F 등 4.0 이하의 저유전율 절연 물질, 또는 무기 물질인 질화 규소나 산화 규소 따위로 이루어진 것이 바람직하다. 보호막(180)에는 드레인 전극(175)을 드러내는 복수의 접촉 구멍(contact hole)(185)이 형성되어 있으며, 보호막(180) 위에는 ITO 또는 IZO로 이루어진 화소 전극(pixel electrode)(190)이 형성되어 있다. 이와는 달리, 화소 전극(190)은 투명한 도전성 폴리머로 만들어질 수도 있고, 반사형 액정 표시 장치의 경우에는 화소 전극(190)이 불투명한 반사성 금속으로 만들어질 수도 있다. A plurality of gate electrodes 124 connected to a gate line (not shown) for transmitting a gate signal or a scan signal are formed on the insulating substrate 110. On the gate insulating layer 140 covering the gate line, a semiconductor 154 made of hydrogenated amorphous silicon (amorphous silicon is abbreviated a-Si) is formed. On the semiconductor 154, ohmic contacts 163 and 165 made of a material such as n + hydrogenated amorphous silicon doped with a high concentration of n-type impurities such as silicide or phosphorus are formed. A data line 171 transmitting a data voltage and a plurality of drain electrodes 175 separated from the resistive contact members 163 and 165 and the gate insulating layer 140. Is formed. One gate electrode 124, the source electrode 173 and the drain electrode 175 connected to the data line 171 together with the semiconductor 154 form one thin film transistor (TFT), A channel is formed in the semiconductor 154 between the source electrode 173 and the drain electrode 175. The ohmic contacts 163 and 165 exist only between the semiconductor 154 below and the data line 171 and the drain electrode 175 thereon, and serve to lower the contact resistance. A passivation layer 180 is formed on the data line 171 and the drain electrode 175 and the portion of the semiconductor 154 that is not covered by them. The passivation layer 180 is a-Si: C: O, a-Si: O: F, which is formed of an organic material having excellent planarization characteristics and photosensitivity, and plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD). The low dielectric constant insulating material of 4.0 or less, or an inorganic material, such as silicon nitride and silicon oxide, is preferable. A plurality of contact holes 185 exposing the drain electrode 175 are formed in the passivation layer 180, and a pixel electrode 190 made of ITO or IZO is formed on the passivation layer 180. have. Alternatively, the pixel electrode 190 may be made of a transparent conductive polymer, and in the case of a reflective liquid crystal display, the pixel electrode 190 may be made of an opaque reflective metal.

화소 전극(190)과 공통 전극(270)은 축전기[이하 “액정 축전기(liquid crystal capacitor)”라 함]를 이루어 박막 트랜지스터가 턴 오프된 후에도 인가된 전압을 유지하는데, 전압 유지 능력을 강화하기 위하여 액정 축전기와 병렬로 연결된 다른 축전기를 두며 이를 유지 축전기(storage capacitor)라 한다. The pixel electrode 190 and the common electrode 270 form a capacitor (hereinafter referred to as a "liquid crystal capacitor") to maintain an applied voltage even after the thin film transistor is turned off. There is another capacitor connected in parallel with the liquid crystal capacitor, which is called a storage capacitor.

다음, 공통 전극 표시판(200)에 대하여 설명한다.Next, the common electrode display panel 200 will be described.

투명한 유리등으로 이루어진 절연 기판(210) 위에 차광 부재(220)가 형성되어 있으며, 차광 부재(220)는 화소 전극(190)과 마주보며 화소 전극(190)과 거의 동일한 모양을 가지는 복수의 개구부를 가지고 있다. 이와는 달리 차광 부재(220)는 데이터선(171)에 대응하는 부분과 박막 트랜지스터에 대응하는 부분으로 이루어질 수도 있다. 기판(210) 위에는 또한 복수의 색필터(230)가 형성되어 있으며 차광 부재(230)로 둘러싸인 영역 내에 위치한다. 색필터(230)의 위에는 덮개막(250)이 형성되어 있으며, 그 상부에는 ITO, IZO 등의 투명한 도전체 따위로 이루어진 공통 전극(270)이 형성되어 있다.The light blocking member 220 is formed on an insulating substrate 210 made of transparent glass, and the light blocking member 220 faces the pixel electrode 190 and has a plurality of openings having substantially the same shape as the pixel electrode 190. Have. Alternatively, the light blocking member 220 may include a portion corresponding to the data line 171 and a portion corresponding to the thin film transistor. A plurality of color filters 230 are also formed on the substrate 210 and are located in an area surrounded by the light blocking member 230. An overcoat 250 is formed on the color filter 230, and a common electrode 270 made of a transparent conductor such as ITO and IZO is formed on the color filter 230.

도 10은 본 발명의 실시예에 따른 제조 공정을 통하여 완성한 유기 전계 발광 표시 장치용 박막 트랜지스터 표시판의 구조를 도시한 배치도이다. 도 11 및 도 12는 도 10의 박막 트랜지스터 표시판을 XI-XI' 선 및 XII-XII' 선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.10 is a layout view illustrating a structure of a thin film transistor array panel for an organic light emitting display device completed through a manufacturing process according to an exemplary embodiment of the present invention. 11 and 12 are cross-sectional views illustrating the thin film transistor array panel of FIG. 10 taken along lines XI-XI ′ and XII-XII ′.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 절연 기판(110) 위에는 산화 규소 또는 질화 규소 등으로 이루어진 차단층(111)이 형성되어 있고, 차단층(111) 위에 제1 및 제2 다결정 규소층(150a, 150b)이 형성되어 있고, 제2 다결정 규소층(150b)에는 축전기용 다결정 규소층(157)이 연결되어 있다. 제1 다결정 규소층(150a)은 제1 트랜지스터부(153a, 154a, 155a)를 포함하고 있으며, 제2 다결정 규소층(150b)은 제2 트랜지스터부(153b, 154b, 155b)를 포함한다. 제1 트랜지스터부(153a, 154a, 155a)의 소스 영역(제1 소스 영역, 153a)과 드레인 영역(제1 드레인 영역, 155a)은 n형 불순물로 도핑되어 있고, 제2 트랜지스터부(153b, 154b, 155b)의 소스 영역(제2 소스 영역, 153b)과 드레인 영역(제2 드레인 영역, 155b)은 p형 불순물로 도핑되어 있다. 이 때, 구동 조건에 따라서는 제1 소스 영역(153a) 및 드레인 영역(155a)이 p형 불순물로 도핑되고 제2 소스 영역(153b) 및 드레인 영역(155b)이 n형 불순물로 도핑될 수도 있다. 여기서, 제1 트랜지스터부(153a, 154a, 155a)는 스위칭 박막 트랜지스터의 반도체이며, 제2 트랜지스터부(153b, 154b, 155b)는 구동 박막 트랜지스터의 반도체이다.1 to 3, a blocking layer 111 made of silicon oxide, silicon nitride, or the like is formed on the insulating substrate 110, and the first and second polycrystalline silicon layers 150a, 150b) is formed, and the capacitor polycrystalline silicon layer 157 is connected to the second polycrystalline silicon layer 150b. The first polycrystalline silicon layer 150a includes first transistor portions 153a, 154a, and 155a, and the second polycrystalline silicon layer 150b includes second transistor portions 153b, 154b, and 155b. The source region (first source region 153a) and the drain region (first drain region, 155a) of the first transistor portions 153a, 154a, and 155a are doped with n-type impurities, and the second transistor portions 153b and 154b. The source region (second source region 153b) and the drain region (second drain region 155b) of 155b are doped with p-type impurities. In this case, depending on the driving conditions, the first source region 153a and the drain region 155a may be doped with p-type impurities, and the second source region 153b and the drain region 155b may be doped with n-type impurities. . Here, the first transistor portions 153a, 154a, and 155a are semiconductors of the switching thin film transistor, and the second transistor portions 153b, 154b, and 155b are semiconductors of the driving thin film transistor.

다결정 규소층(150a, 150b, 157) 위에는 산화 규소 또는 질화 규소로 이루어진 게이트 절연막(140)이 형성되어 있다. 게이트 절연막(140) 위에는 알루미늄 또는 알루미늄 합금 등과 같이 저저항의 도전 물질로 이루어진 도전막을 포함하는 게이트선(121)과 제1 및 제2 게이트 전극(124a, 124b) 및 유지 전극(133)이 형성되어 있다. 제1 게이트 전극(124a)은 게이트선(121)에 연결되어 가지 모양으로 형성되어 있고 제1 트랜지스터의 채널부(154a)와 중첩하고 있으며, 제2 게이트 전극(124b)은 게이트선(121)과는 분리되어 있고 제2 트랜지스터의 채널부(154b)와 중첩하고 있다. 유지 전극(133)은 제2 게이트 전극(124b)과 연결되어 있고, 다결정 규소층의 유지 전극부(157)와 중첩되어 있다. A gate insulating layer 140 made of silicon oxide or silicon nitride is formed on the polycrystalline silicon layers 150a, 150b, and 157. On the gate insulating layer 140, a gate line 121 including a conductive film made of a low resistance conductive material such as aluminum or an aluminum alloy, first and second gate electrodes 124a and 124b, and a storage electrode 133 are formed. have. The first gate electrode 124a is connected to the gate line 121 to have a branch shape, and overlaps the channel portion 154a of the first transistor. The second gate electrode 124b is connected to the gate line 121. Are separated and overlap with the channel portion 154b of the second transistor. The storage electrode 133 is connected to the second gate electrode 124b and overlaps the storage electrode portion 157 of the polysilicon layer.

게이트선(121)과 제1 및 제2 게이트 전극(124a, 124b) 및 유지 전극(133)의 위에는 제1 층간 절연막(801)이 형성되어 있고, 제1 층간 절연막(801) 위에는 데이터 신호를 전달하는 데이터선(171), 전원 전압을 공급하는 선형의 전원 전압용 전극(172), 제1 및 제2 소스 전극(173a, 173b) 및 제1 및 제2 드레인 전극(175a, 175b)이 형성되어 있다. 제1 소스 전극(173a)은 데이터선(171)의 일부이며 분지의 형태를 취하고 있으며 제1 층간 절연막(801)과 게이트 절연막(140)을 관통하고 있는 접촉구(181)를 통하여 제1 소스 영역(153a)과 연결되어 있고, 제2 소스 전극 (173b)은 전원 전압용 전극(172)의 일부로 분지의 형태를 취하고 있으며 제1 층간 절연막(801)과 게이트 절연막(140)을 관통하고 있는 접촉구(184)를 통하여 제2 소스 영역(153b)과 연결되어 있다. 제1 드레인 전극(175a)은 제1 층간 절연막(801)과 게이트 절연막(140)을 관통하고 있는 접촉구(182, 183)를 통하여 제1 드레인 영역(155a) 및 제2 게이트 전극(124b)과 접촉하여 이들을 서로 전기적으로 연결하고 있다. 제2 드레인 전극(175b)은 제1 층간 절연막(801)과 게이트 절연막(140)을 관통하고 있는 접촉구(186)를 통하여 제2 드레인 영역(155b)과 연결되어 있으며, 데이터선(171)과 동일한 물질로 이루어져 있다. A first interlayer insulating layer 801 is formed on the gate line 121, the first and second gate electrodes 124a and 124b, and the storage electrode 133, and transmits a data signal on the first interlayer insulating layer 801. A data line 171, a linear power supply voltage electrode 172 for supplying a power supply voltage, first and second source electrodes 173a and 173b, and first and second drain electrodes 175a and 175b are formed. have. The first source electrode 173a is a part of the data line 171 and has a branch shape, and the first source region is formed through the contact hole 181 penetrating the first interlayer insulating layer 801 and the gate insulating layer 140. The contact hole 153a is connected to the second source electrode 173b and has a branch shape as part of the electrode 172 for the power supply voltage, and penetrates the first interlayer insulating film 801 and the gate insulating film 140. It is connected to the second source region 153b through 184. The first drain electrode 175a is connected to the first drain region 155a and the second gate electrode 124b through the contact holes 182 and 183 penetrating the first interlayer insulating layer 801 and the gate insulating layer 140. They are in electrical contact with each other by contact. The second drain electrode 175b is connected to the second drain region 155b through a contact hole 186 penetrating through the first interlayer insulating layer 801 and the gate insulating layer 140, and the data line 171. It is made of the same material.

데이터선(171), 전원 전압용 전극(172) 및 제1 및 제2 드레인 전극(175a, 175b) 위에는 평탄화 특성이 우수한 유기 절연 물질 등으로 이루어진 제2 층간 절연막(802)이 형성되어 있으며, 제2 층간 절연막(802)은 제2 드레인 전극(175b)을 드러내는 접촉구(185)를 가진다. 이때, 제2 층간 절연막(802)은 1.0-10.0 ㎛ 범위의 두께를 가지며, 폴리 이미드(poly imide) 또는 폴리 아크릴(poly achryl) 등을 포함한다. On the data line 171, the power voltage electrode 172, and the first and second drain electrodes 175a and 175b, a second interlayer insulating film 802 made of an organic insulating material having excellent planarization characteristics, etc. is formed. The two interlayer insulating film 802 has a contact hole 185 exposing the second drain electrode 175b. In this case, the second interlayer insulating layer 802 has a thickness in the range of 1.0-10.0 μm, and includes polyimide, polyacryl, or the like.

제2 층간 절연막(802) 상부에는 접촉구(185)를 통하여 제2 드레인 전극(175b)과 연결되어 있는 화소 전극(190)이 형성되어 있다. 화소 전극(190)은 크롬 또는 알루미늄 또는 은 합금 등의 반사성이 우수한 물질로 형성하는 것이 바람직하며, 10-500 nm 범위의 두께를 가진다. 그러나, 필요에 따라서는 화소 전극(190)을 ITO (Indium Tin Oxide) 또는 IZO(Indium zinc Oxide) 등의 투명한 도전 물질로 형성할 수도 있다. 투명한 도전 물질로 이루어진 화소 전극(190)은 표시판의 아래 방향으로 화상을 표시하는 배면 방출 (bottom emission) 방식의 유기 발광에 적용한다. 본 실시예와 같이 불투명한 도전 물질로 이루어진 화소 전극(190)은 표시판의 상부 방향으로 화상을 표시하는 전면 방출(top emission) 방식의 유기 발광에 적용한다. The pixel electrode 190 connected to the second drain electrode 175b is formed on the second interlayer insulating layer 802 through the contact hole 185. The pixel electrode 190 is preferably formed of a material having excellent reflectivity, such as chromium, aluminum, or silver alloy, and has a thickness in the range of 10-500 nm. However, if necessary, the pixel electrode 190 may be formed of a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO). The pixel electrode 190 made of a transparent conductive material is applied to organic emission of a bottom emission type in which an image is displayed in a downward direction of the display panel. As in the present exemplary embodiment, the pixel electrode 190 made of an opaque conductive material is applied to organic light emission of a top emission method in which an image is displayed in an upper direction of the display panel.

제2 층간 절연막(802) 상부에는 유기 절연 물질 및 무기 절연 물질로 이루어져 있으며, 유기 발광 셀을 분리시키기 위한 격벽(803)이 형성되어 있다. 격벽(803)은 화소 전극(190) 가장자리 주변을 둘러싸서 유기 발광층(70)이 채워질 영역을 한정하고 있다. An organic insulating material and an inorganic insulating material are formed on the second interlayer insulating film 802, and a partition 803 for separating the organic light emitting cell is formed. The partition 803 surrounds the edge of the pixel electrode 190 to define a region in which the organic emission layer 70 is to be filled.

격벽(803)에 둘러싸인 화소 전극(190) 위의 영역에는 유기 발광층(70)이 형성되어 있다. 유기 발광층(70)은 적색, 녹색, 청색 중 어느 하나의 빛을 내는 유기 물질로 이루어지며, 적색, 녹색 및 청색 유기 발광층(70)이 순서대로 반복적으로 배치되어 있다. An organic emission layer 70 is formed in an area on the pixel electrode 190 surrounded by the partition 803. The organic light emitting layer 70 is formed of an organic material emitting one of red, green, and blue light, and the red, green, and blue organic light emitting layers 70 are repeatedly arranged in sequence.

격벽(803) 및 유기 발광층(70) 위에는 공통 전극(270)이 형성되어 있다. 공통 전극(270)은 ITO 또는 IZO 등의 투명한 도전 물질로 이루어져 있다. 만약 화소 전극(190)이 ITO 또는 IZO 등의 투명한 도전 물질로 이루어지는 경우에는 공통 전극(270)은 알루미늄 등의 저저항 금속으로 이루어질 수 있다.The common electrode 270 is formed on the partition wall 803 and the organic light emitting layer 70. The common electrode 270 is made of a transparent conductive material such as ITO or IZO. If the pixel electrode 190 is made of a transparent conductive material such as ITO or IZO, the common electrode 270 may be made of a low resistance metal such as aluminum.

이러한 유기 발광 표시판의 구동에 대하여 간단히 설명한다.The driving of such an organic light emitting panel will be briefly described.

게이트선(121)에 온(on) 펄스가 인가되면 제1 트랜지스터가 온되어 데이터선(171)을 통하여 인가되는 화상 신호 전압 또는 데이터 전압이 제2 게이트 전극(124b)으로 전달된다. 제2 게이트 전극(124b)에 화상 신호 전압이 인가되면 제2 트랜지스터가 온되어 데이터 전압에 의한 전류가 화소 전극(190)과 유기 발광층(70)으로 흐르게 되며, 유기 발광층(70)은 특정 파장대의 빛을 방출한다. 이때, 제2 박막 트랜지스터를 통하여 흐르는 전류의 양에 따라 유기 발광층(70)이 방출하는 빛의 양이 달라져 휘도가 변하게 된다. 이 때, 제2 트랜지스터가 전류를 흘릴 수 있는 양은 제1 트랜지스터를 통하여 전달되는 화상 신호 전압과 전원 전압용 전극(172)을 통하여 전달되는 전원 전압과 차이의 크기에 의하여 결정된다. When an on pulse is applied to the gate line 121, the first transistor is turned on, and an image signal voltage or data voltage applied through the data line 171 is transferred to the second gate electrode 124b. When the image signal voltage is applied to the second gate electrode 124b, the second transistor is turned on so that a current caused by the data voltage flows to the pixel electrode 190 and the organic light emitting layer 70, and the organic light emitting layer 70 has a specific wavelength band. Emits light. In this case, the amount of light emitted from the organic light emitting layer 70 varies according to the amount of current flowing through the second thin film transistor, thereby changing the luminance. At this time, the amount of current that the second transistor can flow is determined by the magnitude of the difference between the image signal voltage transmitted through the first transistor and the power supply voltage transmitted through the power supply voltage electrode 172.

따라서, 본 발명에서는 색필터를 가지는 표시판 및 그 제조 방법에서는 색필터용 잉크의 적하 위치를 검사할 수 있는 정렬 패턴을 통하여 적하 위치의 오정렬을 보정함으로써 화소에 잉크를 정확하게 적하할 수 있으며, 이를 통하여 색필터 상호간의 잉크 번짐 현상을 방지할 수 있고 나아가, 표시 장치의 색 특성을 향상시킬 수 있다. Accordingly, in the present invention, a display panel having a color filter and a method of manufacturing the same can accurately drop ink onto a pixel by correcting misalignment of the dropping position through an alignment pattern capable of inspecting the dropping position of the color filter ink. The ink bleeding phenomenon between the color filters can be prevented, and further, the color characteristics of the display device can be improved.

이상에서는 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
Although described above with reference to the embodiments, those skilled in the art can be variously modified and changed within the scope of the present invention without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims below. I can understand.

Claims (27)

기판;Board; 상기 기판 상에 형성되어 있으며, 복수의 화소에 대응하여 개구부를 가지는 격벽 부재; A partition member formed on the substrate and having an opening corresponding to the plurality of pixels; 상기 개구부에 형성되어 있으며, 광에 응답하여 고유의 색을 발현하는 복수개의 색필터; 및A plurality of color filters formed in the openings and expressing unique colors in response to light; And 상기 격벽 부재의 가장자리 둘레 또는 상기 기판의 외곽부에 배치되어 있으며, 상기 색필터의 오정렬을 검사하기 위한 검사 패턴An inspection pattern disposed around an edge of the barrier member or an outer portion of the substrate and inspecting a misalignment of the color filter; 을 포함하는 표시 장치용 표시판. Display panel for a display device comprising a. 제1항에서, In claim 1, 상기 검사 패턴은 상기 격벽 부재의 가장자리 또는 상기 기판의 외곽부에 적어도 하나가 형성된 표시 장치용 표시판.And at least one inspection pattern is formed at an edge of the barrier member or an outer portion of the substrate. 제1항에서, In claim 1, 상기 격벽 부재는 누설되는 빛을 차단하는 차광 부재인 표시 장치용 표시판.The partition member is a light blocking member that blocks light from leaking. 제1항에서,In claim 1, 상기 검사 패턴의 중심점은 상기 검사 패턴이 대응하는 색필터의 중심점과 동일 선상에 위치하는 표시 장치용 표시판.And a center point of the test pattern is on the same line as the center point of the corresponding color filter. 제1항에서,In claim 1, 상기 검사 패턴의 둘레 경계는 원형이고, 눈금이 새겨진 정렬선을 포함하는 표시 장치용 표시판.The display panel of claim 1, wherein the perimeter boundary of the test pattern is circular and includes alignment lines engraved with graduations. 제1항에서, In claim 1, 상기 정렬선은 제1 및 제2 정렬선을 포함하며, 상기 제1 및 제2 정렬선은 서로 교차하는 표시 장치용 표시판.The alignment line includes a first alignment line and a second alignment line, and the first and second alignment lines cross each other. 제1항에서, In claim 1, 상기 검사 패턴은 적하된 한 방울의 잉크보다 넓은 면적을 차지하는 표시 장치용 표시판.And the inspection pattern occupies a larger area than a drop of ink dropped therein. 제1항에서, In claim 1, 상기 색필터는 적색, 녹색, 청색 등의 원색 중 하나를 표시하는 표시 장치용 표시판.The color filter is a display panel for displaying one of the primary colors, such as red, green, blue. 제1항에서, In claim 1, 상기 검사 패턴은 적색, 녹색, 청색의 원색 중 하나에 대하여 적어도 하나로 배치되어 있는 표시 장치용 표시판.And at least one of the test patterns and at least one of primary colors of red, green, and blue. 제1항에서, In claim 1, 상기 표시판은 액정 표시 장치에 사용되는 표시 장치용 표시판.The display panel is a display panel for a display device used for a liquid crystal display device. 제10항에서, In claim 10, 서로 교차하는 복수의 신호선, 상기 신호선에 연결되어 있는 박막 트랜지스터 및 상기 박막 트랜지스터를 통하여 상기 신호선에 전기적으로 연결되어 있으며 화상 신호가 전달되는 화소 전극을 더 포함하는 표시 장치용 표시판.And a plurality of signal lines crossing each other, a thin film transistor connected to the signal line, and a pixel electrode electrically connected to the signal line through the thin film transistor, and to which an image signal is transmitted. 화소에 대응하는 위치에 개구부를 가지는 격벽 부재 및 검사 패턴을 가지는 기판의 상기 검사 패턴에 잉크를 적하하는 단계;Dropping ink on the inspection pattern of the barrier member having an opening at a position corresponding to the pixel and the substrate having the inspection pattern; 상기 검사 패턴 상에 적하된 잉크의 위치를 검사하는 단계;Inspecting the position of the ink dropped on the inspection pattern; 상기 적하된 잉크의 중심점이 상기 검사 패턴의 중심점과 일치하도록 잉크젯 인쇄 장치의 헤드 또는 상기 기판 위치를 조정하여 상기 헤드 및 상기 기판의 오정렬을 보정하는 단계; 및Correcting misalignment of the head and the substrate by adjusting a head or the substrate position of the inkjet printing apparatus so that the center point of the loaded ink coincides with the center point of the inspection pattern; And 보정된 상기 헤드 및 상기 기판의 위치로부터 개구부에 잉크를 적하하는 단계Dropping ink into an opening from the corrected head and position of the substrate 를 포함하는 표시 장치용 표시판의 제조 방법.Method of manufacturing a display panel for a display device comprising a. 제12항에서,In claim 12, 상기 잉크 적하 단계는 복수의 상기 검사 패턴에 잉크를 적하하는 표시 장치용 표시판의 제조 방법.In the ink dropping step, a method of manufacturing a display panel for a display device in which ink is dropped into a plurality of the test patterns. 제12항에서, In claim 12, 상기 잉크 적하 단계는 적색, 녹색, 청색 등의 원색에 대하여 각각 실시하는 표시 장치용 표시판의 제조 방법. The ink dropping step is performed for each of the primary colors such as red, green, blue, and the like. 제12항에서, In claim 12, 상기 격벽 부재는 차광 부재로 형성하는 표시 장치용 표시판의 제조 방법.The partition member is formed of a light blocking member. 제12항에서, In claim 12, 상기 표시판은 액정 표시 장치 또는 유기 전계 발광 표시 장치에 사용되는 표시 장치용 표시판의 제조 방법.The display panel is a manufacturing method of a display panel for a display device used in a liquid crystal display device or an organic electroluminescent display device. 제12항에서, In claim 12, 상기 표시판은 서로 교차하는 복수의 신호선, 상기 신호선에 연결되어 있는 박막 트랜지스터 및 상기 박막 트랜지스터를 통하여 상기 신호선에 전기적으로 연결되어 있으며 화상 신호가 전달되는 화소 전극을 포함하는 표시 장치용 표시판의 제조 방법.The display panel includes a plurality of signal lines crossing each other, a thin film transistor connected to the signal line, and a pixel electrode electrically connected to the signal line through the thin film transistor, and to which an image signal is transmitted. 기판;Board; 상기 기판 상에 형성되어 있으며, 복수의 화소에 대응하여 개구부를 가지는 격벽 부재; A partition member formed on the substrate and having an opening corresponding to the plurality of pixels; 상기 개구부에 형성되어 있으며, 고유의 색을 발현하는 복수의 유기 발광층; 및A plurality of organic light emitting layers formed in the openings and expressing inherent colors; And 상기 격벽 부재의 가장자리 둘레 또는 상기 기판의 외곽부에 배치되어 있으며, 상기 색필터의 오정렬을 검사하기 위한 검사 패턴An inspection pattern disposed around an edge of the barrier member or an outer portion of the substrate and inspecting a misalignment of the color filter; 을 포함하는 표시 장치용 표시판. Display panel for a display device comprising a. 제18항에서, The method of claim 18, 상기 검사 패턴은 상기 격벽 부재의 가장자리 또는 상기 기판의 외곽부에 적어도 하나가 형성된 표시 장치용 표시판.And at least one inspection pattern is formed at an edge of the barrier member or an outer portion of the substrate. 제18항에서,The method of claim 18, 상기 검사 패턴의 중심점은 상기 검사 패턴이 대응하는 유기 발광층의 중심점과 동일 선상에 위치하는 표시 장치용 표시판.The center point of the test pattern is on the same line as the center point of the organic light emitting layer to which the test pattern corresponds. 제18항에서,The method of claim 18, 상기 검사 패턴의 둘레 경계는 원형이고, 눈금이 새겨진 정렬선을 포함하는 표시 장치용 표시판.The display panel of claim 1, wherein the perimeter boundary of the test pattern is circular and includes alignment lines engraved with graduations. 제18항에서, The method of claim 18, 상기 정렬선은 제1 및 제2 정렬선을 포함하며, 상기 제1 및 제2 정렬선은 서로 교차하는 표시 장치용 표시판.The alignment line includes a first alignment line and a second alignment line, and the first and second alignment lines cross each other. 제18항에서, The method of claim 18, 상기 검사 패턴은 적하된 한 방울의 잉크보다 넓은 면적을 차지하는 표시 장치용 표시판.And the inspection pattern occupies a larger area than a drop of ink dropped therein. 제18항에서, The method of claim 18, 상기 유기 발광층은 적색, 녹색, 청색 등의 원색 중 하나를 표시하는 표시 장치용 표시판.The organic light emitting layer is a display panel for a display device that displays one of the primary colors, such as red, green, blue. 제18항에서, The method of claim 18, 상기 검사 패턴은 적색, 녹색, 청색의 원색 중 하나에 대하여 적어도 하나로 배치되어 있는 표시 장치용 표시판.And at least one of the test patterns and at least one of primary colors of red, green, and blue. 제18항에서, The method of claim 18, 상기 표시판은 유기 전계 발광 표시 장치에 사용되는 표시 장치용 표시판.The display panel is a display panel for a display device used in an organic light emitting display device. 제26항에서, The method of claim 26, 서로 교차하는 복수의 신호선, 상기 신호선에 연결되어 있는 박막 트랜지스터 및 상기 박막 트랜지스터를 통하여 상기 신호선에 전기적으로 연결되어 있으며 화상 신호가 전달되는 화소 전극을 더 포함하는 표시 장치용 표시판.And a plurality of signal lines crossing each other, a thin film transistor connected to the signal line, and a pixel electrode electrically connected to the signal line through the thin film transistor, and to which an image signal is transmitted.

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