KR20060017939A - Jig for joining thin plates of a cooling device - Google Patents

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KR20060017939A
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전교석
손권
문원규
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주식회사 써멀포스
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Abstract

반도체 집적회로 장치 등의 열을 냉각하기 위한 박판형 냉각 장치를 구성하는 박판을 보다 확실하게 접합시키기 위하여, 본 발명은 적어도 제1조각 및 제2조각을 포함하는 가공 대상물에 대하여 가공 중에 필요한 압력을 가하여 가공되는 동안 이를 유지하기 위한 지그에 있어서, 상기 가공 대상물의 제1조각에 접촉되도록 배치되는 제1몸체; 상기 가공 대상물의 제2조각에 접촉되도록 상기 제1몸체와 대향되는 위치에 배치되는 제2몸체; 상기 제1 및 제2몸체가 상호 대향하는 방향으로, 상기 제1 및 제2몸체에 탄성력을 가하는 탄성 부재; 및 상기 제1 및 제2몸체에 가해지는 상기 탄성 부재의 탄성력을 유지하기 위하여, 상기 탄성 부재를 고정하는 고정 부재를 포함하되, 상기 가공 대상물의 복수의 조각은 상기 제1 및 제2몸체에 가해지는 상기 탄성 부재의 탄성력에 의해 상호 밀착되어, 상기 가공 대상물의 가공 중에 상기 압력이 유지되는 지그에 관하여 개시한다.
In order to more reliably bond the thin plates constituting the thin plate-shaped cooling device for cooling heat of a semiconductor integrated circuit device or the like, the present invention applies a pressure required during processing to a processing object including at least a first piece and a second piece. A jig for holding it during processing, the jig comprising: a first body disposed to contact a first piece of the object; A second body disposed at a position opposite to the first body so as to contact a second piece of the object; An elastic member for applying an elastic force to the first and second bodies in a direction in which the first and second bodies face each other; And a fixing member for fixing the elastic member to maintain the elastic force of the elastic members applied to the first and second bodies, wherein a plurality of pieces of the object to be processed are applied to the first and second bodies. The paper closes to each other by the elastic force of the elastic member, and discloses a jig in which the pressure is maintained during the processing of the object.

지그, 박판, 접합, 탄성 부재Jig, Sheet, Bonding, Elastic Member

Description

냉각 장치 박판 접합용 지그 {Jig for joining thin plates of a cooling device}Jig for joining thin plates of a cooling device}

도 1은 본 발명의 제1실시예에 의한 지그 100의 사시도.1 is a perspective view of a jig 100 according to a first embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 지그 100의 평면도, 정면도 및 우측면도.2 is a plan view, front view and right side view of the jig 100 of FIG.

도 3은 도 2의 A부분을 확대하여 도시한 확대도.3 is an enlarged view illustrating an enlarged portion A of FIG. 2;

도 4는 본 발명의 제2실시예에 의한 지그 100의 사시도.4 is a perspective view of a jig 100 according to a second embodiment of the present invention.

도 5는 도 4의 지그 100의 평면도, 정면도 및 우측면도.5 is a plan view, front view and right side view of the jig 100 of FIG. 4.

도 6은 도 5의 A부분을 확대하여 도시한 확대도.6 is an enlarged view illustrating an enlarged portion A of FIG. 5;

도 7은 본 발명의 제3실시예에 의한 지그 100의 사시도.7 is a perspective view of a jig 100 according to a third embodiment of the present invention.

도 8은 도 7의 지그 100의 평면도, 정면도 및 우측면도.8 is a plan view, front view and right side view of the jig 100 of FIG. 7.

도 9는 도 8의 A부분을 확대하여 도시한 확대도.9 is an enlarged view illustrating an enlarged portion A of FIG. 8;

도 10은 본 발명의 제4실시예에 의한 지그 100의 개략적인 정면도.10 is a schematic front view of a jig 100 according to a fourth embodiment of the present invention.

도 11은 본 발명의 제5실시예에 의한 지그 100의 개략적인 정면도.11 is a schematic front view of a jig 100 according to a fifth embodiment of the present invention.

도 12은 본 발명의 제6실시예에 의한 지그 100의 개략적인 정면도.12 is a schematic front view of a jig 100 according to a sixth embodiment of the present invention.

도 13은 본 발명의 제7실시예에 의한 지그 100의 개략적인 정면도.13 is a schematic front view of a jig 100 according to a seventh embodiment of the present invention.

도 14는 본 발명의 제8실시예에 의한 지그 100의 개략적인 정면도.14 is a schematic front view of a jig 100 according to an eighth embodiment of the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 * Explanation of symbols for the main parts of the drawings                 

100 지그 10 제1몸체 20 제2몸체100 Jig 10 First Body 20 Second Body

30 탄성 부재 40 고정 부재 50 가공 대상물30 Elastic member 40 Fixed member 50 Object to be machined

70 제2가공 대상물 80 보조 탄성 부재
70 Second machining object 80 Auxiliary elastic member

본 발명은 냉각 장치 박판 접합용 지그에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 반도체 집적회로 장치 등의 열을 냉각하기 위한 박판형 냉각 장치를 구성하는 박판을 상호 접합하기 위한 지그에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a jig for thin plate bonding of cooling devices, and more particularly, to a jig for bonding together thin plates constituting a thin plate type cooling device for cooling heat such as semiconductor integrated circuit devices.

통상적으로, 반도체 집적회로 장치 등의 열을 냉각하기 위한 박판형 냉각 장치는 소정 형상의 구조물이 형성된 적어도 2이상의 박판을 상호 접합한 후, 그 내부에 냉매 주입구를 통하여 냉매를 주입함으로써 형성된다. 즉, 반도체 재료 등의 박판을 준비하고 그 일면에 에칭 또는 프레싱으로 원하는 구조를 형성한 후, 그 표면을 친수성 및 클리닝 처리하고, 상기와 같은 공정을 마친 2 이상의 박판에 접합제를 도포하거나 접합부를 코팅한 다음, 상기 박판을 접합용 지그에 결합하여, 가열로내에서 접합제의 용융점 이상으로 가열 및 서냉한 후, 접합된 박판의 냉매 주입구 막힘 검사 및 리크 검사를 함으로써 박판형 냉각 장치가 제조된다.Typically, a thin plate type cooling device for cooling heat, such as a semiconductor integrated circuit device, is formed by bonding at least two or more thin plates on which a structure of a predetermined shape is formed, and then injecting a refrigerant therein through a refrigerant inlet. That is, after preparing a thin plate of a semiconductor material or the like and forming a desired structure by etching or pressing on one surface thereof, the surface is hydrophilic and cleaned, and a bonding agent is applied to two or more thin plates which have been completed as described above, or After coating, the thin plate is bonded to the joining jig, heated and slow cooled above the melting point of the binder in a heating furnace, and then a thin film cooling device is manufactured by performing clogging and leak inspection of the refrigerant inlet of the joined thin plate.

상기와 같은 박판형 냉각 장치의 제조 공정에서, 상기 2 이상의 박판의 접합을 위하여 종래의 접합용 지그는 단순히 나사 등의 체결 수단을 이용하여 가공 대 상물을 고정하는 정도에 그쳤다. 따라서, 상기 접합용 지그에 의하면, 박판의 고정이 견실하지 못하여 박판의 접합이 양호하지 못하였으며, 또한 박판형 냉각 장치의 양산을 위한 콘베이어 시스템 등을 이용한 연속 공정에 적합하지 못하다는 단점이 있었다.
In the manufacturing process of the thin plate-like cooling device as described above, the conventional joining jig for joining the two or more thin plates is merely to fix the object to be processed using a fastening means such as a screw. Therefore, according to the joining jig, there is a disadvantage that the fixing of the thin plate is not firm, and the bonding of the thin plate is not good, and also it is not suitable for the continuous process using a conveyor system for mass production of the thin plate type cooling device.

상기 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 반도체 집적회로 장치 등의 열을 냉각하기 위한 박판형 냉각 장치를 구성하는 박판을 보다 확실하게 접합시키기 위한 지그를 제공하는 것을 목적으로 한다.In order to solve the above problem, an object of the present invention is to provide a jig for more reliably joining a thin plate constituting a thin plate type cooling device for cooling heat of a semiconductor integrated circuit device or the like.

또한, 본 발명은 반도체 집적회로 장치 등의 열을 냉각하기 위한 박판형 냉각 장치를 구성하는 박판을 접합함에 있어서 콘베이어 시스템 등을 이용한 연속 공정에 적합한 지그를 제공하는 것을 목적으로 한다.
Moreover, an object of this invention is to provide the jig suitable for the continuous process using a conveyor system etc. in joining the thin plates which comprise the thin plate-shaped cooling apparatus for cooling heat, such as a semiconductor integrated circuit device.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 적어도 제1조각 및 제2조각을 포함하는 가공 대상물에 대하여 가공 중에 필요한 압력을 가하여 가공되는 동안 이를 유지하기 위한 지그에 있어서, 상기 가공 대상물의 제1조각에 접촉되도록 배치되는 제1몸체; 상기 가공 대상물의 제2조각에 접촉되도록 상기 제1몸체와 대향되는 위치에 배치되는 제2몸체; 상기 제1 및 제2몸체가 상호 대향하는 방향으로, 상기 제1 및 제2몸체에 탄성력을 가하는 탄성 부재; 및 상기 제1 및 제2몸체에 가해지는 상 기 탄성 부재의 탄성력을 유지하기 위하여, 상기 탄성 부재를 고정하는 고정 부재를 포함하되, 상기 가공 대상물의 복수의 조각은 상기 제1 및 제2몸체에 가해지는 상기 탄성 부재의 탄성력에 의해 상호 밀착되어, 상기 가공 대상물의 가공 중에 상기 압력이 유지되는 지그를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a jig for maintaining the process object by applying the necessary pressure during processing to the object to be processed, including at least a first piece and a second piece, to the first piece of the object to be processed. A first body disposed to be in contact; A second body disposed at a position opposite to the first body so as to contact a second piece of the object; An elastic member for applying an elastic force to the first and second bodies in a direction in which the first and second bodies face each other; And a fixing member for fixing the elastic member so as to maintain the elastic force of the elastic members applied to the first and second bodies, wherein the plurality of pieces of the workpiece are attached to the first and second bodies. The jig is provided in close contact with each other by the elastic force of the elastic member to be applied, so that the pressure is maintained during processing of the workpiece.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 바람직한 실시예를 통하여 본 발명을 상세히 설명한다. 도 1은 본 발명의 제1실시예에 의한 지그 100의 사시도이다. 도 2는 도 1의 지그 100의 평면도, 정면도 및 우측면도이다. 도 3은 도 2의 A부분을 확대하여 도시한 확대도이다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. 1 is a perspective view of a jig 100 according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a plan view, front view and right side view of the jig 100 of FIG. 1. 3 is an enlarged view illustrating an enlarged portion A of FIG. 2.

본 실시예에 의한 냉각 장치 박판 접합 지그 (이하, “지그”라고도 함) 100은 반도체 집적회로 장치 등의 열을 냉각하기 위한 박판형 냉각 장치 50 (도 3 참조)을 구성하는 2 이상의 박판에 대하여 가공 중에 필요한 압력을 유지하기 위한 치구이다. 본 실시예에서의 박판형 냉각 장치 50은 3개의 박판 52, 54 및 56이 상호 접합되어 형성되는 것으로 한다. 한편, 본 실시예에서의 박판은 본 발명에 있어서 복수의 조각으로 조합되는 가공 대상물의 일례이다.The cooling apparatus thin plate bonding jig (hereinafter also referred to as a “jig”) 100 according to the present embodiment is processed to two or more thin plates that constitute a thin plate cooling apparatus 50 (see FIG. 3) for cooling heat of a semiconductor integrated circuit device or the like. It is a jig for maintaining the required pressure in the middle. In the thin plate type cooling device 50 in this embodiment, three thin plates 52, 54 and 56 are formed to be bonded to each other. In addition, the thin plate in a present Example is an example of the process object combined with several pieces in this invention.

본 실시예에 의한 지그 100은, 도시된 바와 같이, 제1몸체 10, 제2몸체 20, 탄성 부재 30 및 고정 부재 40을 포함한다.The jig 100 according to the present embodiment includes a first body 10, a second body 20, an elastic member 30, and a fixing member 40, as shown.

제1몸체 10은 평판 형상을 가지며, 복수개의 박판 중 상측에 위치한 박판 52를 지지한다. 제2몸체 20은 제1몸체 10과 마찬가지로 평판 형상을 가지며, 박판 중 하측에 위치한 박판 56을 지지한다.The first body 10 has a flat plate shape, and supports the thin plate 52 located above the plurality of thin plates. Like the first body 10, the second body 20 has a flat plate shape and supports the thin plate 56 located below the thin plate.

제1몸체 10 및 제2몸체 20은 알루미늄 합금으로 형성되는 것이 바람직하다. The first body 10 and the second body 20 is preferably formed of an aluminum alloy.                     

박판 52, 54 및 56은, 도 3에 도시된 바와 같이, 제1몸체 10 및 제2몸체 20의 사이에 중첩되어 배치되며, 제1몸체 10 및 제2몸체 20이 상호 마주보는 방향으로 밀착되는 것으로써 상호 접합된다.As shown in FIG. 3, the thin plates 52, 54, and 56 are disposed to overlap each other between the first body 10 and the second body 20, and the first bodies 10 and the second body 20 are in close contact with each other. By mutual bonding.

제1몸체 10의 소정 위치에는, 박판 52, 54 및 56이 제1몸체 10 및 제2몸체 20의 사이에서 바람직한 위치에 정렬되도록, 2 이상의 가이드 홀 12 (본 실시예에서는 3개)가 제1몸체 10을 관통하여 형성되어 있다.At a predetermined position of the first body 10, two or more guide holes 12 (three in this embodiment) are arranged so that the thin plates 52, 54, and 56 are aligned at a desired position between the first body 10 and the second body 20. It is formed through the body 10.

제2몸체 20의 제1몸체 10의 가이드 홀 12에 대응하는 위치에는, 박판 52, 54 및 56이 제1몸체 10 및 제2몸체 20의 사이에서 바람직한 위치에 정렬되도록, 2 이상의 가이드 홀 22 (본 실시예에서는 3개)가 소정 깊이로 형성되어 있다.At a position corresponding to the guide hole 12 of the first body 10 of the second body 20, the two or more guide holes 22 (so that the thin plates 52, 54, and 56 are aligned at a desired position between the first body 10 and the second body 20 ( In this embodiment, three) are formed to a predetermined depth.

탄성 부재 30은 박판 52, 54 및 56이 제1몸체 10 및 제2몸체 20의 사이에 배치된 상태로, 제1몸체 10 및 제2몸체 20이 상호 대향하는 방향으로 밀착되도록 제1몸체 10 및 제2몸체 20에 탄성력을 가한다. 본 실시예에 의한 지그 100은 4개의 탄성 부재 30을 구비한다. The elastic member 30 includes the first bodies 10 and the second plates 20, 54, and 56 disposed between the first body 10 and the second body 20 so that the first body 10 and the second body 20 are in close contact with each other. An elastic force is applied to the second body 20. The jig 100 according to the present embodiment includes four elastic members 30.

고정 부재 40은 탄성 부재 30이 제1몸체 10 및 제2몸체 20이 서로 밀착되는 방향으로 탄성력을 가지도록 제1몸체 10 및 제2몸체 20을 고정시킨다. 본 실시예에 의한 지그 100은 4개의 탄성 부재 30에 대응하여 4개의 고정 부재 40을 구비한다.The fixing member 40 fixes the first body 10 and the second body 20 so that the elastic member 30 has an elastic force in a direction in which the first body 10 and the second body 20 are in close contact with each other. The jig 100 according to the present embodiment includes four fixing members 40 corresponding to four elastic members 30.

본 실시예에 의한 고정 부재 40은 제1몸체 10 및 제2몸체 20을 관통하는 체결봉 42 및 탄성 부재 30이 제1몸체 10 및 제2몸체 20이 서로 밀착되는 방향으로 탄성을 가진 상태를 유지하도록 체결봉 42에 고정되는 체결핀 44를 포함한다. 체결봉 42는 대략 원통 형상으로 길이 방향으로 긴 형상을 가지며, 소정의 위치에 체결 핀 44의 삽입을 위한 체결공 (도시안됨)이 형성되어 있다. 또한, 본 실시예에 의한 체결봉 42의 일단은 후술하는 탄성 부재 30의 지지를 위하여 본체보다 단면적이 넓게 형성되어 있다.In the fixing member 40 according to the present embodiment, the fastening rod 42 and the elastic member 30 penetrating the first body 10 and the second body 20 maintain elasticity in a direction in which the first body 10 and the second body 20 are in close contact with each other. And a fastening pin 44 fixed to the fastening rod 42. The fastening rod 42 has a substantially cylindrical shape and has a long shape in the longitudinal direction, and a fastening hole (not shown) for inserting the fastening pin 44 is formed at a predetermined position. In addition, one end of the fastening rod 42 according to the present embodiment has a wider cross-sectional area than the main body for supporting the elastic member 30 to be described later.

체결핀 44는 예를 들면 단면적이 작은 원통 형상을 가지며, 제1몸체 10 및 제2몸체 20을 관통한 체결봉 42의 홀에 관통하여 삽입된다. 즉, 본 실시예에 의한 지그 100은 체결봉 42 및 체결핀 44의 체결 동작으로 제1몸체 10 및 제2몸체 20의 체결봉 42에 대한 위치가 고정된다. 또한, 본 실시예에 의한 제1몸체 10 및 제2몸체 20의 소정의 위치에는 체결봉 42가 관통하도록 4개의 홀 (도시 안됨)이 형성되어 있다.The fastening pin 44 has a cylindrical shape with a small cross-sectional area, for example, and is inserted through the hole of the fastening rod 42 penetrating the first body 10 and the second body 20. That is, the jig 100 according to the present embodiment is fixed to the fastening bar 42 of the first body 10 and the second body 20 by the fastening operation of the fastening bar 42 and the fastening pin 44. In addition, four holes (not shown) are formed at predetermined positions of the first body 10 and the second body 20 according to the present embodiment so that the fastening rods 42 penetrate.

본 실시예에 의한 탄성 부재 30은 코일 스프링으로 형성된다. 또한, 탄성 부재 30의 일단은 체결봉 42의 일단에 지지되며, 그 타단은 제2몸체 20의 하부에 지지된다. 따라서, 탄성 부재 30이 지지된 상태에서 체결봉 42가 제1몸체 10 및 제2몸체 20에 관통된 후, 제1몸체 10 및 제2몸체 20에 소정의 힘이 주어져 탄성 부재 30의 코일 스프링이 수축 변형된 상태가 유지되도록 체결핀 44가 체결봉 42의 체결공에 삽입되어 고정된다. 따라서, 제1몸체 10 및 제2몸체 20에 탄성 부재 30의 탄성력이 유지된다. 상기 탄성 부재 30의 탄성력에 의해 박판 52 내지 56은 확실하게 접합될 수 있다.The elastic member 30 according to the present embodiment is formed of a coil spring. In addition, one end of the elastic member 30 is supported by one end of the fastening rod 42, and the other end thereof is supported by the lower part of the second body 20. Therefore, after the fastening rod 42 penetrates the first body 10 and the second body 20 while the elastic member 30 is supported, a predetermined force is applied to the first body 10 and the second body 20 so that the coil spring of the elastic member 30 is The fastening pin 44 is inserted into and fastened to the fastening hole of the fastening rod 42 so that the contracted deformation state is maintained. Therefore, the elastic force of the elastic member 30 is maintained in the first body 10 and the second body 20. The thin plates 52 to 56 can be reliably joined by the elastic force of the elastic member 30.

다른 실시예로서, 고정 부재 40은 체결봉 42 및 체결핀 44 대신에, 제1몸체 10 및 제2몸체 20의 탄성 부재 30에 대한 위치를 고정시킬 수 있는 나사 체결 수단 (도시 안됨)을 구비하여도 좋다. 이 경우, 고정 부재 40의 상기 나사 체결 수단의 나사 체결 동작에 의해 제1몸체 10 및 제2몸체 20에 탄성 부재 30의 탄성력이 유지된다.
In another embodiment, the fastening member 40 has screw fastening means (not shown) which can fix the position with respect to the elastic member 30 of the first body 10 and the second body 20 instead of the fastening rod 42 and the fastening pin 44. Also good. In this case, the elastic force of the elastic member 30 is maintained on the first body 10 and the second body 20 by the screwing operation of the screw fastening means of the fixing member 40.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 제2실시예에 대하여 상세히 설명한다. 도 4는 본 발명의 제2실시예에 의한 지그 100의 사시도이다. 도 5는 도 4의 지그 100의 평면도, 정면도 및 우측면도이다. 도 6은 도 5의 A부분을 확대하여 도시한 확대도이다. 본 실시예에 있어서, 상기 실시예와 중복되는 부분의 설명은 생략한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, a second embodiment of the present invention will be described in detail. 4 is a perspective view of a jig 100 according to a second embodiment of the present invention. 5 is a plan view, front view and right side view of the jig 100 of FIG. 4. 6 is an enlarged view illustrating an enlarged portion A of FIG. 5. In the present embodiment, description of portions overlapping with the above embodiment will be omitted.

본 실시예에 의한 지그 100은, 도시된 바와 같이, 제1몸체 10, 제2몸체 20, 탄성 부재 30 및 고정 부재 40을 포함한다.The jig 100 according to the present embodiment includes a first body 10, a second body 20, an elastic member 30, and a fixing member 40, as shown.

본 실시예에 의한 탄성 부재 30은 판 스프링으로서, 제1몸체 10 및 제2몸체 20의 3면을 둘러싸는 형상을 가진다. 또한, 탄성 부재 30은 제1몸체 10을 향하여 볼록하며 제1몸체 10의 제1몸체 20과 마주보는 면의 반대면을 지지하는 제1볼록부 32 및 제2몸체 20을 향하여 볼록하며 제2몸체 20의 제1몸체 10과 마주보는 면의 반대면을 지지하는 제2볼록부 34를 포함한다.The elastic member 30 according to the present embodiment is a leaf spring, and has a shape surrounding three surfaces of the first body 10 and the second body 20. In addition, the elastic member 30 is convex toward the first body 10 and convex toward the first convex portion 32 and the second body 20 supporting the opposite surface of the surface facing the first body 20 of the first body 10 and the second body. And a second convex portion 34 supporting an opposite surface of the face facing the first body 10 of 20.

본 실시예의 탄성 부재 30에 의하면, 제1 및 제2볼록부 32 및 34가 각각 제1몸체 10 및 제2몸체 20을 향하여 수축 변형된 상태로 고정됨으로써, 제1몸체 10 및 제2몸체 20이 상호 마주보는 방향으로 밀착되도록 제1몸체 10 및 제2몸체 20에 탄성력이 가해진다.According to the elastic member 30 of the present embodiment, the first and second protrusions 32 and 34 are fixed in a contracted state toward the first body 10 and the second body 20, respectively, whereby the first body 10 and the second body 20 are fixed. An elastic force is applied to the first body 10 and the second body 20 to be in close contact with each other.

고정 부재 40은 제1 및 제2볼록부 32 및 34를 각각 제1몸체 10 및 제2몸체 20을 향하여 수축 변형된 상태로 고정시킨다. 즉, 탄성 부재 30의 소정 위치에 형성되어 있는 홈 36에 고정 부재 40의 대응하는 위치에 형성된 돌기 46이 결합됨으로써, 제1 및 제2볼록부 32 및 34가 각각 제1몸체 10 및 제2몸체 20을 향하여 수축 변형된 상태로 고정된다. 본 실시예에서의 홈 36은 탄성 부재 30의 제1 및 제2볼록부 32 및 34 측에 각각 3개씩 형성되어 있으며, 돌기 46은 고정 부재 40의 이에 대응한 위치에 각각 3개씩 형성되어 있다. 탄성 부재 30과 고정 부재 40의 체결은 프레스와 같은 밀착용 장치를 이용하여 수행될 수 있다.The fixing member 40 fixes the first and second protrusions 32 and 34 in a contracted and deformed state toward the first body 10 and the second body 20, respectively. That is, the projections 46 formed at the corresponding positions of the fixing member 40 are coupled to the grooves 36 formed at the predetermined positions of the elastic member 30, so that the first and second protrusions 32 and 34 are respectively the first body 10 and the second body. It is fixed in the contracted strained state toward 20. In the present embodiment, three grooves 36 are formed on the first and second convex portions 32 and 34 on the elastic member 30, respectively, and three projections 46 are formed on the corresponding positions of the fixing member 40, respectively. The fastening of the elastic member 30 and the fixing member 40 may be performed using a close contact device such as a press.

다른 실시예로서, 고정 부재 40의 일단은 탄성 부재 30의 제1 또는 제2볼록부 32 및 34 측의 일단과 일체로 형성되어도 좋다. 이 경우, 홈 36은 탄성 부재 30의 제1 또는 제2볼록부 32 및 34 측 어느 일방에만 소정 개수 형성되며, 돌기 46은 고정 부재 40의 이에 대응한 위치에 소정 개수 형성된다.
As another embodiment, one end of the fixing member 40 may be integrally formed with one end of the first or second protrusions 32 and 34 side of the elastic member 30. In this case, a predetermined number of grooves 36 are formed only on either one of the first or second convex portions 32 and 34 side of the elastic member 30, and a predetermined number of projections 46 are formed at positions corresponding thereto of the fixing member 40.

이하, 본 발명의 제3실시예에 대하여 상세히 설명한다. 도 7은 본 발명의 제3실시예에 의한 지그 100의 사시도이다. 도 8은 도 7의 지그 100의 평면도, 정면도 및 우측면도이다. 도 9는 도 8의 A부분을 확대하여 도시한 확대도이다. 본 실시예에 있어서, 상기 실시예와 중복되는 부분의 설명은 생략한다.Hereinafter, a third embodiment of the present invention will be described in detail. 7 is a perspective view of a jig 100 according to a third embodiment of the present invention. 8 is a plan view, a front view and a right side view of the jig 100 of FIG. 7. 9 is an enlarged view illustrating an enlarged portion A of FIG. 8. In the present embodiment, description of portions overlapping with the above embodiment will be omitted.

본 실시예에 의한 지그 100은 상기 제2실시예의 구성 요소에 더하여, 보조 탄성 부재 80을 더욱 구비한다.The jig 100 according to the present embodiment further includes an auxiliary elastic member 80 in addition to the components of the second embodiment.

방열핀 70은 박판형 냉각 장치의 구성 요소로서, 반도체 집적 회로의 열을 박판 52 내지 56으로부터 효율적으로 방출하기 위한 것이다. 또한, 본 실시예에서 의 방열핀 70은 본 발명에서의 가공 대상물에 포함되는 복수의 조각 중 어느 한 조각의 일례이다.The heat dissipation fin 70 is a component of the thin plate type cooling device, and is for efficiently dissipating heat of the semiconductor integrated circuit from the thin plates 52 to 56. In addition, the heat radiation fin 70 in this embodiment is an example of any one of the plurality of pieces contained in the object to be processed in the present invention.

본 실시예의 지그 100은 박판 52 내지 56의 접합과 함께 복수개의 방열핀 70을 박판 52 내지 56에 접합한다. 본 실시예의 각 방열핀 70은 예컨대“ㄷ”자의 형상을 가진다. 방열핀 70은 박판 50과 제1몸체 10 또는 제2몸체 20 간에 열의 방출을 위한 소정의 공간을 확보하도록 하는 형상을 가진다.The jig 100 of this embodiment joins the plurality of heat dissipation fins 70 to the thin plates 52 to 56 together with the bonding of the thin plates 52 to 56. Each of the heat sink fins 70 of the present embodiment has a shape of, for example, a letter “c”. The heat dissipation fin 70 has a shape to secure a predetermined space for the release of heat between the thin plate 50 and the first body 10 or the second body 20.

보조 탄성 부재 80은 방열핀 70을 박판 52 내지 56에 밀착시킨다. 본 실시예의 보조 탄성 부재 80은 판 스프링으로서, 방열핀 70의 보조 탄성 부재 80측의 일단으로부터 박판 52 내지 56을 향하는 방향으로 볼록한 볼록부 82를 포함한다. 따라서, 볼록부 82가 방열핀 70의 일단 및 제2몸체 20 사이에서 수축 변형됨으로써, 방열핀 70이 박판 52 내지 56에 밀착되도록 방열핀 70의 타단에 탄성력이 가해진다. The auxiliary elastic member 80 adheres the heat radiation fins 70 to the thin plates 52 to 56. The auxiliary elastic member 80 of the present embodiment is a leaf spring, and includes a convex portion 82 which is convex in a direction from the one end of the auxiliary elastic member 80 side of the heat dissipation fin 70 toward the thin plates 52 to 56. Accordingly, the convex portion 82 is contracted and deformed between one end of the heat dissipation fin 70 and the second body 20, so that an elastic force is applied to the other end of the heat dissipation fin 70 such that the heat dissipation fin 70 is in close contact with the thin plates 52 to 56.

한편, 지그 100은 볼록부 82의 탄성력이 각 방열핀 70의 타단에 균등히 작용하도록, 각 방열핀 70의 타단과 볼록부 82 사이에 배치되는 평판상의 지지 부재 72를 더욱 포함하여도 좋다.On the other hand, the jig 100 may further include a flat support member 72 disposed between the other end of each of the heat dissipation fins 70 and the convex portion 82 so that the elastic force of the convex portion 82 equally acts on the other end of each of the heat dissipation fins 70.

본 실시예에서의 보조 탄성 부재 80은 제2몸체 20의 소정 위치에 배치되며, 제2몸체 20의 박판 52 내지 56 측에는 대응하는 공간이 형성되어 있다. 다른 실시예로서, 보조 탄성 부재 80은 제1몸체 10의 소정 위치에 배치되어도 좋고, 제1몸체 10 및 제2몸체 20 모두에 배치되어도 좋다.
The auxiliary elastic member 80 in this embodiment is disposed at a predetermined position of the second body 20, and a corresponding space is formed on the thin plates 52 to 56 side of the second body 20. As another embodiment, the auxiliary elastic member 80 may be disposed at a predetermined position of the first body 10 or may be disposed at both the first body 10 and the second body 20.

다음으로, 본 발명의 제4실시예에 대하여 설명한다. 도 10은 본 발명의 제4실시예에 의한 지그 100의 개략적인 정면도이다. 본 실시예에 있어서, 상기 실시예와 중복되는 부분의 설명은 생략한다. 본 실시예에 의한 지그 100의 탄성 부재 30은 제1 및 제2몸체 10 및 20에 접촉되도록 배치되며, 지지 부재 38에 의해 지지된다. 또한, 고정 부재 40의 체결봉 42는 지지 부재 38을 관통하며, 체결핀 44는 지지 부재 38의 위치를 고정함으로써, 탄성 부재 30이 수축 변형된 상태로 제1 및 제2몸체 10 및 20에 탄성력을 유지하도록 한다. 본 실시예에서의 지그 100은 제1 및 제2몸체 10 및 20 양측에 대하여 탄성 부재 30을 구비하고 있으나, 어느 한쪽만 탄성 부재 30을 구비하여도 좋다. 또한, 탄성 부재 30의 수도 다양하게 변형될 수 있다. 다른 실시예로서, 고정 부재 40은 체결봉 42 및 체결핀 44 대신에, 제1실시예의 나사 체결 수단 (도시 안됨)을 구비하여도 좋다.
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described. 10 is a schematic front view of a jig 100 according to a fourth embodiment of the present invention. In the present embodiment, description of portions overlapping with the above embodiment will be omitted. The elastic member 30 of the jig 100 according to the present embodiment is disposed to contact the first and second bodies 10 and 20, and is supported by the supporting member 38. In addition, the fastening bar 42 of the fixing member 40 penetrates the supporting member 38, and the fastening pin 44 fixes the position of the supporting member 38, thereby providing elastic force to the first and second bodies 10 and 20 while the elastic member 30 is contracted and deformed. To keep. Although the jig 100 in this embodiment is provided with the elastic member 30 with respect to both the 1st and 2nd bodies 10 and 20, only one may be provided with the elastic member 30. As shown in FIG. In addition, the number of the elastic members 30 may be variously modified. As another embodiment, the fixing member 40 may be provided with the screw fastening means (not shown) of the first embodiment instead of the fastening bar 42 and the fastening pin 44.

다음으로, 본 발명의 제5실시예에 대하여 설명한다. 도 11은 본 발명의 제5실시예에 의한 지그 100의 개략적인 정면도이다. 본 실시예에 있어서, 상기 실시예와 중복되는 부분의 설명은 생략한다. 본 실시예에 의한 지그 100은 제4실시예의 탄성 부재 30와 제2실시예의 고정 부재 40가 결합된 형태이다. 따라서, 고정 부재 40의 돌기 46과 지지 부재 38에 형성된 홈 (도시안됨)이 결합됨으로써, 제1 및 제2몸체 10 및 20에 탄성 부재 30의 탄성력이 유지된다. 본 실시예에 있어서도, 탄성 부재 30이 구비되는 위치 및 수는 다양하게 변형될 수 있다.
Next, a fifth embodiment of the present invention will be described. 11 is a schematic front view of a jig 100 according to a fifth embodiment of the present invention. In the present embodiment, description of portions overlapping with the above embodiment will be omitted. Jig 100 according to the present embodiment is a form in which the elastic member 30 of the fourth embodiment and the fixing member 40 of the second embodiment are combined. Therefore, the projection 46 of the fixing member 40 and the groove (not shown) formed in the support member 38 are engaged, so that the elastic force of the elastic member 30 is maintained on the first and second bodies 10 and 20. Also in this embodiment, the position and number where the elastic member 30 is provided can be variously modified.

다음으로, 본 발명의 제6실시예에 대하여 설명한다. 도 12는 본 발명의 제6실시예에 의한 지그 100의 개략적인 정면도이다. 본 실시예에 있어서, 상기 실시예와 중복되는 부분의 설명은 생략한다. 본 실시예에 의한 지그 100의 탄성 부재 30은 제2 또는 제3실시예의 탄성 부재 30와 같이 제1 및 제2볼록부 32 및 34를 구비하되, 두 부분으로 분리되어 각각 제1 및 제2몸체 10 및 20에 접촉하도록 배치된다. 또한, 본 실시예에 의한 지그 100의 고정 부재 40은 제1실시예의 고정 부재 40과 유사한 구성 및 기능을 가진다. 즉, 고정 부재 40의 체결봉 42는 제1 및 제2몸체 10 및 20에 각각 접촉하도록 배치된 탄성 부재 30를 관통하며, 체결핀 44는 탄성 부재 30의 체결봉 42에 대한 위치를 고정함으로써, 제1 및 제2볼록부 32 및 34가 제1 및 제2몸체 10 및 20를 향하는 방향으로 수축 변형된 상태로 제1 및 제2몸체 10 및 20에 탄성력을 유지하도록 한다. 다른 실시예로서, 고정 부재 40은 체결봉 42 및 체결핀 44 대신에, 제1실시예의 나사 체결 수단 (도시 안됨)을 구비하여도 좋다.
Next, a sixth embodiment of the present invention will be described. 12 is a schematic front view of a jig 100 according to a sixth embodiment of the present invention. In the present embodiment, description of portions overlapping with the above embodiment will be omitted. The elastic member 30 of the jig 100 according to the present embodiment has the first and second protrusions 32 and 34 like the elastic member 30 of the second or third embodiment, and is separated into two parts, respectively, so that the first and second bodies are respectively. Arranged to contact 10 and 20. In addition, the fixing member 40 of the jig 100 according to the present embodiment has a configuration and a function similar to that of the fixing member 40 of the first embodiment. That is, the fastening bar 42 of the fixing member 40 penetrates the elastic member 30 disposed to contact the first and second bodies 10 and 20, respectively, and the fastening pin 44 fixes the position of the fastening bar 42 of the elastic member 30 by The first and second convex portions 32 and 34 maintain elastic force in the first and second bodies 10 and 20 in a state in which the first and second convex portions 32 and 34 are contracted and deformed in the direction toward the first and second bodies 10 and 20. As another embodiment, the fixing member 40 may be provided with the screw fastening means (not shown) of the first embodiment instead of the fastening bar 42 and the fastening pin 44.

다음으로, 본 발명의 제7실시예에 대하여 설명한다. 도 13은 본 발명의 제7실시예에 의한 지그 100의 개략적인 정면도이다. 본 실시예에 있어서, 상기 실시예와 중복되는 부분의 설명은 생략한다. 본 실시예에 의한 지그 100은 상기 제4 또는 제5실시예의 탄성 부재 30 및 제6실시예의 탄성 부재 30을 조합한 형태이다. 즉, 제1몸체 10에 접촉하도록 배치되는 탄성 부재 30은 판 스프링이며, 제2몸체 20에 접촉하도록 배치되는 탄성 부재 30은 코일 스프링이다. 다른 실시예로서, 제2몸체 20에 접촉하도록 배치되는 탄성 부재 30은 판 스프링이며, 제1몸체 10에 접촉하도록 배치되는 탄성 부재 30은 코일 스프링이어도 좋다. Next, a seventh embodiment of the present invention will be described. 13 is a schematic front view of a jig 100 according to a seventh embodiment of the present invention. In the present embodiment, description of portions overlapping with the above embodiment will be omitted. The jig 100 according to the present embodiment combines the elastic member 30 of the fourth or fifth embodiment and the elastic member 30 of the sixth embodiment. That is, the elastic member 30 disposed to contact the first body 10 is a leaf spring, and the elastic member 30 disposed to contact the second body 20 is a coil spring. As another example, the elastic member 30 disposed to contact the second body 20 may be a leaf spring, and the elastic member 30 disposed to contact the first body 10 may be a coil spring.

또한, 본 실시예에 의한 지그 100은 제1실시예의 고정 부재 40과 유사한 구성 및 기능을 가진다. 즉, 고정 부재 40의 체결봉 42는 제1몸체 10에 접촉하도록 배치된 탄성 부재 30를 관통하며, 제2몸체 20에 접촉하도록 배치된 탄성 부재 30을 지지하는 지지 부재 38을 관통한다. 또한, 체결핀 44는 제1몸체 10측 탄성 부재 30 및 지지 부재 38의 체결봉 42에 대한 위치를 고정함으로써, 탄성 부재 30이 수축 변형된 상태로 제1 및 제2몸체 10 및 20에 탄성력을 유지하도록 한다. 다른 실시예로서, 고정 부재 40은 체결봉 42 및 체결핀 44 대신에, 제1실시예의 나사 체결 수단 (도시 안됨)을 구비하여도 좋다.
Further, the jig 100 according to the present embodiment has a configuration and a function similar to that of the fixing member 40 of the first embodiment. That is, the fastening bar 42 of the fixing member 40 penetrates the elastic member 30 disposed to contact the first body 10, and penetrates the support member 38 supporting the elastic member 30 arranged to contact the second body 20. In addition, the fastening pin 44 fixes the positions of the first body 10 side elastic member 30 and the support member 38 with respect to the fastening rod 42, thereby applying elastic force to the first and second bodies 10 and 20 in a state in which the elastic member 30 is contracted and deformed. Keep it. As another embodiment, the fixing member 40 may be provided with the screw fastening means (not shown) of the first embodiment instead of the fastening bar 42 and the fastening pin 44.

다음으로, 본 발명의 제8실시예에 대하여 설명한다. 도 14는 본 발명의 제8실시예에 의한 지그 100의 개략적인 정면도이다. 본 실시예에 있어서, 상기 실시예와 중복되는 부분의 설명은 생략한다. 본 실시예에 의한 지그 100은 제7실시예의 탄성 부재 30 및 제2실시예의 고정 부재 40을 구비한다. 따라서, 고정 부재 40의 돌기 46과 탄성 부재 30 및 지지 부재 38에 형성된 홈 (도시안됨)이 결합됨으로써, 제1 및 제2몸체 10 및 20에 탄성 부재 30의 탄성력이 유지된다.
Next, an eighth embodiment of the present invention will be described. 14 is a schematic front view of a jig 100 according to an eighth embodiment of the present invention. In the present embodiment, description of portions overlapping with the above embodiment will be omitted. The jig 100 according to the present embodiment includes the elastic member 30 of the seventh embodiment and the fixing member 40 of the second embodiment. Therefore, the projection 46 of the fixing member 40 and the grooves (not shown) formed in the elastic member 30 and the support member 38 are engaged, so that the elastic force of the elastic member 30 is maintained on the first and second bodies 10 and 20.

이상, 바람직한 실시예를 통하여 본 발명에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 기술 사상은 이에 한정되지 않으며, 하기 특허청구범위 내에서 다양하게 변형 실시 될 수 있다. 예컨대, 상기 제1, 제2 및 제4 내지 제8실시예의 지그 100은 제3실시예에의 보조 탄성 부재 80을 더욱 포함하여도 좋다. 나아가, 본 발명에서의 가공 대상물 50은 하나에 한정되지 않으며, 지그 100은 2 이상의 가공 대상물 50에 대하여 동시에 압력을 가하여 이를 유지하여도 좋다.
The present invention has been described above through the preferred embodiments, but the technical idea of the present invention is not limited thereto, and various modifications can be made within the following claims. For example, the jig 100 of the first, second, and fourth to eighth embodiments may further include the auxiliary elastic member 80 of the third embodiment. Furthermore, the object 50 to be processed in the present invention is not limited to one, and the jig 100 may simultaneously maintain pressure by applying pressure to two or more object 50 to be processed.

본 발명에 의하면, 반도체 집적회로 장치 등의 열을 냉각하기 위한 박판형 냉각 장치를 구성하는 박판을 보다 확실하게 접합하는 것이 가능하다.According to the present invention, it is possible to more reliably join the thin plates constituting the thin plate type cooling device for cooling heat such as a semiconductor integrated circuit device.

또한, 본 발명에 의하면, 반도체 집적회로 장치 등의 열을 냉각하기 위한 박판형 냉각 장치를 구성하는 박판의 접합 공정을 콘베이어 시스템 등을 이용한 연속 공정으로 수행하는 것이 가능하다.
Moreover, according to this invention, it is possible to perform the bonding process of the thin plate which comprises the thin plate type | mold cooling apparatus for cooling heat, such as a semiconductor integrated circuit device, in a continuous process using a conveyor system.

Claims (14)

적어도 제1조각 및 제2조각을 포함하는 가공 대상물에 대하여 가공 중에 필요한 압력을 가하여 가공되는 동안 이를 유지하기 위한 지그에 있어서,In the jig for holding the processing object including at least the first piece and the second piece to maintain it during the processing by applying the necessary pressure during the processing, 상기 가공 대상물의 제1조각에 접촉되도록 배치되는 제1몸체;A first body disposed to contact the first piece of the object to be processed; 상기 가공 대상물의 제2조각에 접촉되도록 상기 제1몸체와 대향되는 위치에 배치되는 제2몸체;A second body disposed at a position opposite to the first body so as to contact a second piece of the object; 상기 제1 및 제2몸체가 상호 대향하는 방향으로, 상기 제1 및 제2몸체에 탄성력을 가하는 탄성 부재; 및An elastic member for applying an elastic force to the first and second bodies in a direction in which the first and second bodies face each other; And 상기 제1 및 제2몸체에 가해지는 상기 탄성 부재의 탄성력을 유지하기 위하여, 상기 탄성 부재를 고정하는 고정 부재를 포함하되,In order to maintain the elastic force of the elastic member applied to the first and second body, including a fixing member for fixing the elastic member, 상기 가공 대상물의 복수의 조각은 상기 제1 및 제2몸체에 가해지는 상기 탄성 부재의 탄성력에 의해 상호 밀착되어, 상기 가공 대상물의 가공 중에 상기 압력이 유지되는 지그.A plurality of pieces of the object to be processed are in close contact with each other by the elastic force of the elastic member applied to the first and the second body, the jig to maintain the pressure during processing of the object. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 탄성 부재는 코일 스프링인 지그.And the elastic member is a coil spring. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 고정 부재는,The fixing member, 상기 제1 및 제2몸체를 관통하는 체결봉; 및A fastening rod penetrating the first and second bodies; And 상기 체결봉에 형성되어 있는 체결공에 삽입됨으로써, 상기 제1 및 제2몸체의 상기 체결봉에 대한 위치를 고정하는 체결핀을 포함하는 지그.A jig including a fastening pin which is inserted into a fastening hole formed in the fastening bar, thereby fixing a position of the first and second bodies with respect to the fastening bar. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 탄성 부재를 지지하는 지지 부재를 더욱 포함하되,Further comprising a support member for supporting the elastic member, 상기 고정 부재는 상기 지지 부재에 형성되어 있는 홈에 결합되는 돌기를 포함하며,The fixing member includes a projection coupled to the groove formed in the support member, 상기 돌기 및 홈이 결합됨으로써, 상기 탄성 부재가 수축 변형된 상태로 고정되는 지그.The jig is fixed in the state that the elastic member is contracted and deformed by coupling the protrusion and the groove. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 고정 부재는,The fixing member, 상기 제1 및 제2몸체의 상기 탄성 부재에 대한 위치를 고정하는 나사 체결 수단을 포함하는 지그.And a screw fastening means for fixing a position with respect to said elastic member of said first and second bodies. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 탄성 부재는 판 스프링인 지그.The elastic member is a jig. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 탄성 부재는The elastic member is 상기 제1몸체에서 제2몸체를 향하는 방향으로 볼록하며, 상기 제1몸체의 상기 제2몸체와 대향하는 면의 반대면에 접촉하도록 배치되는 제1볼록부; 및A first convex portion convex in a direction from the first body toward the second body, the first convex portion being disposed to contact an opposite surface of a surface of the first body that faces the second body; And 상기 제2몸체에서 제1몸체를 향하는 방향으로 볼록하며, 상기 제2몸체의 상기 제1몸체와 대향하는 면의 반대면에 접촉하도록 배치되는 제2볼록부를 포함하며,A second convex portion convex in a direction from the second body toward the first body, the second convex portion disposed to contact an opposite surface of a surface of the second body that faces the first body; 상기 제1 및 제2볼록부가 각각 상기 제1및 제2몸체를 향하여 수축 변형된 상태로 고정됨으로써, 상기 제1및 제2몸체에 탄성력을 가하는 지그.A jig for applying elastic force to the first and the second body by fixing the first and second convex portions are contracted and deformed toward the first and the second body, respectively. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 고정 부재는,The fixing member, 상기 탄성 부재를 관통하는 체결봉; 및A fastening rod penetrating the elastic member; And 상기 체결봉에 형성되어 있는 체결공에 삽입됨으로써, 상기 제1 및 제2볼록부를 각각 상기 제1및 제2몸체를 향하여 수축 변형된 상태로 고정하는 체결핀을 포함하는 지그.A jig including a fastening pin inserted into a fastening hole formed in the fastening rod to fix the first and second convex portions in a contracted and deformed state toward the first and second bodies, respectively. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 고정 부재는 상기 탄성 부재에 형성되어 있는 홈에 결합되는 돌기를 포함하며,The fixing member includes a protrusion coupled to the groove formed in the elastic member, 상기 돌기 및 홈이 결합됨으로써, 상기 제1 및 제2볼록부가 각각 상기 제1및 제2몸체를 향하여 수축 변형된 상태로 고정되는 지그.The jig is fixed to the first and second convex portions are contracted and deformed toward the first and the second body, respectively, by coupling the protrusion and the groove. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 고정 부재는,The fixing member, 상기 제1 및 제2볼록부를 각각 상기 제1및 제2몸체를 향하여 수축 변형된 상태로 고정하는 나사 체결 수단을 포함하는 지그.And a screw fastening means for fixing the first and second convex portions in a contracted and deformed state toward the first and second bodies, respectively. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1 또는 제2몸체에 접하도록 배치되는 상기 탄성 부재는 코일 스프링이며,The elastic member disposed in contact with the first or second body is a coil spring, 상기 제1 또는 제2몸체에 대향하여 상기 제2 또는 제1몸체에 접하도록 배치되는 상기 탄성 부재는 판 스프링인 지그.The jig according to the first or second body, wherein the elastic member disposed to contact the second or first body is a leaf spring. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1 및/또는 제2몸체의 상호 대향하는 면에 배치되며, 상기 가공 대상물의 제3조각에 대하여 필요한 압력을 가하여 가공되는 동안 이를 유지하기 위한 보조 탄성 부재를 더욱 포함하는 지그.And a secondary elastic member disposed on the mutually opposing surfaces of said first and / or second bodies, said auxiliary elastic member for holding it during application by applying a necessary pressure to said third piece of said object to be processed. 제12항에 있어서,The method of claim 12, 상기 보조 탄성 부재는 판 스프링으로서, 상기 가공 대상물의 제3조각을 향하는 방향으로 볼록한 볼록부를 포함하며,The auxiliary elastic member is a leaf spring, and includes a convex portion that is convex in a direction toward the third piece of the object, 상기 볼록부가 상기 제3조각의 일면 및 상기 제1 및/또는 제2몸체의 대향하는 면에 접촉하도록 배치되어 수축 변형됨으로써, 상기 제3조각에 탄성력을 가하는 지그.And a convex portion arranged in contact with one surface of the third piece and opposing surfaces of the first and / or second bodies to contract and deform, thereby applying an elastic force to the third piece. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 적어도 2이상의 상기 가공 대상물에 대하여 가공 중에 필요한 압력을 가하여 가공되는 동안 이를 유지하는 지그.A jig for holding at least two or more of the object to be processed during the processing by applying the necessary pressure during processing.
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KR101329592B1 (en) * 2011-12-15 2013-11-14 한국생산기술연구원 Junction jig and junction method using the same

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