KR20050112315A - Method for manufacturing an electro-luminescence display device and the device - Google Patents

Abstract

본 발명은, 기판의 일면 상에, 전계 발광부를 구비하는 디스플레이 영역과 패드부를 포함하는 전계 발광 디스플레이 장치를 제조하는 방법에 있어서,The present invention relates to a method of manufacturing an electroluminescent display device comprising a display area and a pad portion including an electroluminescent portion on one surface of a substrate,

상기 패드부의 적어도 일부에 쉐도우 층을 형성하는 단계와,Forming a shadow layer on at least a portion of the pad part;

상기 기판 상부에 밀봉층을 전면 형성하는 단계와,Forming a sealing layer on the entire surface of the substrate;

상기 쉐도우 층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 발광 디스플레이 장치 제조 방법 및 이에 의한 장치를 제공한다.It provides a method of manufacturing an electroluminescent display device and apparatus thereby comprising the step of removing the shadow layer.

Description

전계 발광 디스플레이 장치 제조 방법 및 이에 의한 전계 발광 디스플레이 장치{Method for manufacturing an electro-luminescence display device and the device}Method for manufacturing an electroluminescent display device and an electroluminescent display device thereby

본 발명은 전계 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 및 이에 의한 전계 발광 디스플레이 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 전계 발광부가 구비되는 디스플레이 영역의 밀봉 구조를 보다 간단하게 제조할 수 있는 제조 방법 및 이에 의한 전계 발광 디스플레이 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a method of manufacturing an electroluminescent display device and an electroluminescent display device according to the present invention, and more particularly, a manufacturing method and an electroluminescence thereby, which can more easily manufacture the sealing structure of the display area provided with the electroluminescent unit It relates to a display device.

액정 디스플레이 소자나 유기 전계 발광 디스플레이 소자 또는 무기 전계 발광 디스플레이 소자 등 평판디스플레이 장치는 그 구동방식에 따라, 수동 구동방식의 패시브 매트릭스(Passive Matrix: PM)형과, 능동 구동방식의 액티브 매트릭스(Active Matrix: AM)형으로 구분된다. 상기 패시브 매트릭스형은 단순히 애노드와 캐소드가 각각 컬럼(column)과 로우(row)로 배열되어 캐소드에는 로우 구동회로로부터 스캐닝 신호가 공급되고, 이 때, 복수의 로우 중 하나의 로우만이 선택된다. 또한, 컬럼 구동회로에는 각 화소로 데이터 신호가 입력된다. 한편, 상기 액티브 매트릭스형은 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor, TFT)를 이용해 각 화소 당 입력되는 신호를 제어하는 것으로 방대한 양의 신호를 처리하기에 적합하여 동영상을 구현하기 위한 디스플레이 장치로서 많이 사용되고 있다.A flat panel display device such as a liquid crystal display device, an organic electroluminescent display device, or an inorganic electroluminescent display device has a passive matrix passive matrix type (PM) type and an active drive active matrix type depending on the driving method thereof. : AM) type. In the passive matrix type, the anode and the cathode are simply arranged in columns and rows, respectively, so that the cathode is supplied with a scanning signal from a row driving circuit. At this time, only one row of the plurality of rows is selected. In addition, a data signal is input to each pixel in the column driving circuit. On the other hand, the active matrix type is a thin film transistor (TFT) to control the input signal for each pixel is suitable for processing a large amount of signals are used as a display device for implementing a video.

한편, 상기 평판 디스플레이 장치 중 유기 전계 발광 디스플레이 장치는 애노우드 전극과 캐소오드 전극의 사이에 유기물로 이루어진 유기 발광층을 갖는다. 이 유기 전계 발광 디스플레이 장치는 이들 전극들에 애노드 및 캐소드 전압이 각각 인가됨에 따라 애노우드 전극으로부터 주입된 정공(hole)이 정공 수송층을 경유하여 유기 발광층으로 이동되고, 전자는 캐소오드 전극으로부터 전자 수송층을 경유하여 유기 발광층으로 주입되어, 이 유기 발광층에서 전자와 홀이 재결합하여 여기자(exiton)를 생성하고, 이 여기자가 여기상태에서 기저상태로 변화됨에 따라, 유기 발광층의 형광성 분자가 발광함으로써 화상을 형성한다. 풀컬러 유기 전계 발광 디스플레이 장치의 경우에는 상기 유기 전계 발광 소자로서 적(R), 녹(G), 청(B)의 삼색을 발광하는 화소를 구비토록 함으로써 풀컬러를 구현한다.On the other hand, the organic electroluminescent display device of the flat panel display device has an organic light emitting layer made of an organic material between the anode electrode and the cathode electrode. In the organic electroluminescent display device, as the anode and cathode voltages are applied to these electrodes, holes injected from the anode are moved to the organic light emitting layer via the hole transport layer, and electrons are transferred from the cathode electrode to the electron transport layer. Is injected into the organic light emitting layer via electrons and holes in the organic light emitting layer to recombine to generate excitons, and as the excitons change from the excited state to the ground state, the fluorescent molecules of the organic light emitting layer emit light to form an image. Form. In the full-color organic electroluminescent display device, full color is realized by including pixels emitting three colors of red (R), green (G), and blue (B) as the organic electroluminescent element.

한편, 상기한 바와 같은 유기 전계 발광 소자를 밀봉하는 데에는 다양한 방법이 사용된다.On the other hand, various methods are used to seal the organic electroluminescent element as described above.

일본특허공개공보 제 2002-170678호에는, 메탈캔과 같은 봉지용 박스를 구비하는 유기 전계 발광 소자가 개시되어 있다. 이와 같은 메탈캔과 같은 봉지용 박스 내에는 봉지 영역 내 흡습 기능을 강화하기 위하여 산화 바륨을 포함하는 질소 가스 등이 충진될 수도 있는데, 이는 환경 변화에 따른 기체 상태 변화로 봉지용 박스와 기판 간의 접합에 손상을 입힘으로써 급속한 열화 현상을 일으킬 수도 있다. 또한, 메탈캔과 같은 봉지용 박스를 기판과 밀접시키는 경우, 이들 사이에는 밀봉재로서의 접착제가 개재되는데, 이로부터 발생되는 가스 등에 의해 유기 발광 소자가 열화될 수도 있다.Japanese Patent Laid-Open No. 2002-170678 discloses an organic electroluminescent device having a sealing box such as a metal can. The encapsulation box, such as a metal can, may be filled with nitrogen gas containing barium oxide in order to enhance moisture absorption in the encapsulation area, which is a junction between the encapsulation box and the substrate due to a gas state change caused by environmental changes. Damage can cause rapid deterioration. In addition, when the sealing box, such as a metal can, is brought into close contact with the substrate, an adhesive as a sealing material is interposed therebetween, and the organic light emitting device may be deteriorated by a gas generated therefrom.

이러한 문제점을 해결하기 위한 방안의 일예로, 일본특허공개공보 제 2002-056971호에는, 적어도 투명 전극층, 유기 발광체 박막층, 금속 전극층 및 봉지층이 순차적으로 적층된 유기 EL 소자로서, 봉지층을 퍼플루오로 올레핀의 중합물로 구성된 유기 EL 소자가 개시되어 있다. 이러한 봉지층의 형성은 챔버 내에서 CVD(화학 기상 증착)과 같은 증착 공정을 통하여 이루어지는데, 유기 EL 소자의 단자부를 노출시키기 위해, 마스크를 사용하게 된다. 하지만, 이와 같은 증착 챔버 내에, 봉지층 형성 과정시 단자부를 마스킹하기 위한 마스크 등과 같은 구성 요소가 배치되어, 챔버 내 구성 요소 증대 및 기구의 복잡화 등으로 인하여 CVD 공정을 통해 원하는 양질의 봉지층을 얻기 어렵다는 문제점이 수반되었다. As an example of a solution for solving such a problem, Japanese Patent Laid-Open No. 2002-056971 discloses an organic EL device in which at least a transparent electrode layer, an organic light-emitting layer, a metal electrode layer, and an encapsulation layer are sequentially stacked. An organic EL device composed of a polymer of olefins is disclosed. The formation of such an encapsulation layer is made through a deposition process such as CVD (chemical vapor deposition) in the chamber, and a mask is used to expose the terminal portion of the organic EL element. However, in such a deposition chamber, a component such as a mask for masking the terminal portion is disposed in the process of forming the encapsulation layer, thereby obtaining a desired quality encapsulation layer through the CVD process due to the increase of components in the chamber and the complexity of the mechanism. It was accompanied by the problem of difficulty.

본 발명은, 상기한 문제점을 해소하기 위한 것으로, 보다 간단한 방식으로 밀봉층을 형성할 수 있는 전계 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 및 이에 의한 전계 발광 디스플레이 장치를 제공하는 것이다.The present invention has been made to solve the above problems, and to provide a method of manufacturing an electroluminescent display device capable of forming a sealing layer in a simpler manner and an electroluminescent display device thereby.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일면에 따르면, In order to achieve the above object, according to one aspect of the invention,

기판의 일면 상에, 전계 발광부를 구비하는 디스플레이 영역과 패드부를 포함하는 전계 발광 디스플레이 장치를 제조하는 방법에 있어서,In the method for manufacturing an electroluminescent display device comprising a display portion and a pad portion having an electroluminescent portion on one surface of the substrate,

상기 패드부의 적어도 일부에 쉐도우 층을 형성하는 단계와,Forming a shadow layer on at least a portion of the pad part;

상기 기판 상부에 밀봉층을 전면 형성하는 단계와,Forming a sealing layer on the entire surface of the substrate;

상기 쉐도우 층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 발광 디스플레이 장치 제조 방법을 제공한다.It provides a method of manufacturing an electroluminescent display device comprising the step of removing the shadow layer.

본 발명의 다른 일면에 따르면, 상기 전계 발광부는 발광층을 포함하는 하나 이상의 유기물 층으로 구성되고,According to another aspect of the invention, the electroluminescent portion is composed of one or more organic layer including a light emitting layer,

상기 쉐도우 층은 상기 전계 발광부 유기물 층과 동일한 층의 적어도 일부를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 발광 디스플레이 장치 제조 방법을 제공한다.The shadow layer provides a method of manufacturing an electroluminescent display device, characterized in that it comprises at least a portion of the same layer as the electroluminescent part organic material layer.

본 발명의 또 다른 일면에 따르면, 상기 쉐도우 층 제거 단계는 세정 단계인 것을 특징으로 하는 전계 발광 디스플레이 장치 제조 방법을 제공한다.According to another aspect of the invention, the shadow layer removing step provides a method for manufacturing an electroluminescent display device, characterized in that the cleaning step.

본 발명의 또 다른 일면에 따르면, 상기 세정 단계에서, 탈이온수, 알코올계 세정액 및 중성 세제 중 하나 이상을 포함하는 세정액을 사용하는 것을 특징으로 하는 전계 발광 디스플레이 장치 제조 방법을 제공한다.According to another aspect of the invention, in the cleaning step, it provides a method for manufacturing an electroluminescent display device, characterized in that using a cleaning solution containing at least one of deionized water, alcohol-based cleaning solution and neutral detergent.

본 발명의 또 다른 일면에 따르면, 상기 세정 단계시, 초음파 진동 단계가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 전계 발광 디스플레이 장치 제조 방법을 제공한다.According to another aspect of the present invention, there is provided an electroluminescent display device manufacturing method characterized in that the ultrasonic vibration step is further provided during the cleaning step.

본 발명의 또 다른 일면에 따르면, 상기 쉐도우 층은 탈착 가능한 테이프인 것을 특징으로 하는 전계 발광 디스플레이 장치 제조 방법을 제공한다.According to another aspect of the invention, the shadow layer provides a method for manufacturing an electroluminescent display device, characterized in that the removable tape.

본 발명의 또 다른 일면에 따르면, 상기 밀봉층 형성 단계 및 상기 쉐도우 층 제거 단계 사이에, According to another aspect of the invention, between the sealing layer forming step and the shadow layer removing step,

밀봉재를 통하여 상기 기판과 밀봉 기판을 밀봉시키는 단계를 더 구비하되,Sealing the substrate and the sealing substrate through a sealant,

상기 밀봉 단계에 의하여 적어도 상기 디스플레이 영역이 밀봉되는 것을 특징으로 하는 전계 발광 디스플레이 장치를 제조하는 방법을 제공한다.The sealing step provides a method of manufacturing an electroluminescent display device, characterized in that at least the display area is sealed.

본 발명의 또 다른 일면에 따르면, 기판의 일면 상에, 전계 발광부를 구비하는 디스플레이 영역과 패드부를 포함하는 전계 발광 디스플레이 장치에 있어서,According to still another aspect of the present invention, an electroluminescent display device including a pad portion and a display area having an electroluminescent portion on one surface of a substrate,

적어도 상기 디스플레이 영역을 덮는 밀봉층을 구비하되,A sealing layer covering at least the display area,

상기 방법들 중의 어느 한 방법에 따라 제조되는 것을 특징으로 하는 전계 발광 디스플레이 장치를 제공한다.An electroluminescent display device is manufactured according to any one of the above methods.

본 발명의 또 다른 일면에 따르면, 기판의 일면 상에, 유기 전계 발광부를 구비하는 디스플레이 영역과 패드부를 포함하는 유기 전계 발광 디스플레이 장치에 있어서,According to still another aspect of the present invention, an organic electroluminescent display device including a pad portion and a display area having an organic electroluminescent portion on one surface of a substrate,

적어도 상기 디스플레이 영역의 상부에는 밀봉층과, 상기 디스플레이 영역의 외곽에 형성된 밀봉부를 통하여 상기 기판과 함께 적어도 상기 디스플레이 영역을 밀봉시키는 밀봉 기판을 구비하고,At least a sealing layer on top of the display area, and a sealing substrate for sealing at least the display area together with the substrate through a sealing portion formed outside the display area,

상기 밀봉층은, 적어도 밀봉부 하부에 연장 개재되는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 디스플레이 장치를 제공한다.The sealing layer provides an organic electroluminescent display device, which is interposed at least under the sealing part.

이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예들에 대하여 보다 상세히 설명한다 . Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1a에는 본 발명의 일실시예에 따른 전계 발광 디스플레이 장치의 개략적인 사시도가 도시되어 있다. 기판(110)의 일면 상부에는 하나 이상의 화소들로 구성되는 디스플레이 영역(200)이 형성되고, 디스플레이 영역(200)의 외곽으로 적어도 일측에는 패드부(700)가 배치된다. 패드부는 하나 이상의 단자로 구성되는 단자부(600)를 포함한다. 1A is a schematic perspective view of an electroluminescent display device according to an embodiment of the present invention. The display area 200 including one or more pixels is formed on one surface of the substrate 110, and the pad part 700 is disposed on at least one side of the display area 200. The pad portion includes a terminal portion 600 composed of one or more terminals.

한편, 패드부(700)는 구동 드라이버와 같은 구동 회로부를 포함하는 전기 소자를 더 포함할 수도 있다. 즉, 본 발명에 따른 유기 전계 발광 디스플레이 영역(200)에 전기적 신호를 제공하는 전기 소자, 예를 들어 디스플레이 영역(200)을 구성하는 화소로 스캔 신호 및/또는 데이터 신호를 전달하는 스캔 드라이버/데이터 드라이버와 같은 수직/수평 구동 회로부가 디스플레이 영역(200) 외측에 배치될 수도 있는데, 이는 도 1a에 도시된 수평 구동 회로부(500)와 같이 디스플레이 영역(200)과 단자부(600) 사이에 배치될 수도 있다. 이러한 수직/수평 구동 회로부는 IC로서의 COG(chip on glass)로 구성될 수도 있으며, 패드부(700)에 포함되지 않고 FPC 등을 통한 외부 전기 요소로 구성될 수도 있는 등, 다양한 구성을 취할 수도 있다. Meanwhile, the pad part 700 may further include an electric element including a driving circuit part such as a driving driver. That is, a scan driver / data which transmits a scan signal and / or a data signal to an electric element for providing an electrical signal to the organic electroluminescent display area 200 according to the present invention, for example, a pixel constituting the display area 200. Vertical / horizontal drive circuitry, such as a driver, may be disposed outside the display area 200, which may be disposed between the display area 200 and the terminal portion 600, such as the horizontal drive circuitry 500 shown in FIG. 1A. have. The vertical / horizontal driving circuit unit may be configured as a chip on glass (COG) as an IC, and may be configured as an external electric element through an FPC, not included in the pad unit 700, or the like. .

도 1b에는 도 1a의 도면 부호 "A" 부분에 대한 일화소가 개략적으로 확대 도시되어 있다. 여기서는, 두 개의 톱 게이트 형 박막 트랜지스터와 한 개의 커패시터를 구비하는 구조의 일화소가 도시되었는데, 이는 본 발명의 설명을 위한 일예일뿐 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.FIG. 1B is a schematic enlarged view of one pixel for the portion “A” of FIG. 1A. Here, one pixel of the structure including two top gate type thin film transistors and one capacitor is illustrated, which is merely an example for describing the present invention and the present invention is not limited thereto.

화소의 선택 여부를 결정하는 제 1 박막 트랜지스터(TFT1)의 게이트 전극(55)은 스캔 신호를 인가하는 스캔 라인으로부터 연장된다. 스캔 라인에 스캔 신호와 같은 전기적 신호가 인가되는 경우, 데이터 라인을 통하여 입력되는 데이터 신호가 제 1 박막 트랜지스터(TFT1)의 소스 전극(57a)으로부터, 제 1 박막 트랜지스터(TFT1)의 반도체 활성층(53)을 통하여 제 1 박막 트랜지스터(TFT1)의 드레인 전극(57b)으로 전달된다. The gate electrode 55 of the first thin film transistor TFT1 that determines whether to select the pixel extends from the scan line to which the scan signal is applied. When an electrical signal such as a scan signal is applied to the scan line, the data signal input through the data line is transferred from the source electrode 57a of the first thin film transistor TFT1 to the semiconductor active layer 53 of the first thin film transistor TFT1. ) Is transferred to the drain electrode 57b of the first thin film transistor TFT1.

제 1 박막 트랜지스터(TFT1) 드레인 전극(57b)의 연장부(57c)는 커패시터의 제 1 전극(58a)과 연결되고, 커패시터 제 1 전극의 다른 일단은 구동 박막 트랜지스터로서의 제 2 박막 트랜지스터(TFT2)의 게이트 전극(150)을 형성하며, 커패시터의 제 2 전극은 구동 전원 공급 라인(미도시)과 소통되는 구동 라인(31)과 전기적으로 연결된다. The extension 57c of the first thin film transistor TFT1 drain electrode 57b is connected to the first electrode 58a of the capacitor, and the other end of the first thin film transistor TFT2 is a driving thin film transistor TFT2. The gate electrode 150 is formed, and the second electrode of the capacitor is electrically connected to the driving line 31 in communication with the driving power supply line (not shown).

한편, 도 1c는 도 1b의 선 Ⅰ-Ⅰ를 따라 취한 부분 단면도로, 선 Ⅰ-Ⅰ의 (a)-(e)로 표시된 부분은 구동 박막 트랜지스터로서의 제 2 박막 트랜지스터(TFT2)가 배치된 부분의 단면을 도시하고, (e)-(f) 부분은 화소 개구부(194)를 도시하고, (g)-(h)부분은 구동 라인의 단면을 도시한다. 제 2 박막 트랜지스터(TFT2)의 경우, 기판(110)의 일면 상에 형성된 버퍼층(120)의 상부에는 제 2 박막 트랜지스터(TFT2)의 반도체 활성층(130)이 형성된다. 반도체 활성층(130)은 비정질 실리콘 층으로 구성되거나, 다결정 실리콘 층으로 구성될 수도 있다. 도면에서 자세히 도시되지는 않았으나, 반도체 활성층(130)은 N+형 또는 P+형의 도펀트 들로 도핑되는 소스 및 드레인 영역과, 채널 영역으로 구성되는데, 반도체 활성층(130)은 유기 반도체로 이루어질 수 있는 등, 다양한 구성이 가능하다.FIG. 1C is a partial cross-sectional view taken along the line I-I of FIG. 1B, and the portion indicated by lines (a)-(e) of the line I-I is a portion in which the second thin film transistor TFT2 as the driving thin film transistor is disposed. Section (e)-(f) shows the pixel opening 194, and (g)-(h) shows the cross section of the drive line. In the case of the second thin film transistor TFT2, the semiconductor active layer 130 of the second thin film transistor TFT2 is formed on the buffer layer 120 formed on one surface of the substrate 110. The semiconductor active layer 130 may be composed of an amorphous silicon layer or may be composed of a polycrystalline silicon layer. Although not shown in detail in the drawing, the semiconductor active layer 130 is composed of a source and drain region doped with N + or P + type dopants, a channel region, and the semiconductor active layer 130 may be formed of an organic semiconductor. Various configurations are possible.

반도체 활성층(130)의 상부에는 제 2 박막 트랜지스터의 게이트 전극(150)이 배치되는데, 게이트 전극(150)은 인접층과의 밀착성, 적층되는 층의 표면 평탄성 그리고 가공성 등을 고려하여, 예를 들어 MoW, Al/Cu 등과 같은 물질로 형성되는 것이 바람직하나 이에 한정되는 것은 아니다. The gate electrode 150 of the second thin film transistor is disposed on the semiconductor active layer 130. The gate electrode 150 may be formed in consideration of adhesion to an adjacent layer, surface planarity and processability of the stacked layer, and the like. It is preferably formed of a material such as MoW, Al / Cu, but is not limited thereto.

게이트 전극(150)과 반도체 활성층(130)의 사이에는 이들을 절연시키기 위한 게이트 절연층(140)이 위치한다. 게이트 전극(150) 및 게이트 절연층(140)의 상부에는 절연층으로서의 중간층(interlayer, 160)이 단일층 및/또는 복수층으로서 형성되고, 그 상부에는 제 2 박막 트랜지스터(TFT2)의 소스/드레인 전극(170a,b)이 형성되는데, 소스/드레인 전극(170a,b)은 MoW 등과 같은 금속으로 형성될 수 있으며, 반도체 활성층(130)과의 보다 원활한 오믹-컨택(ohmic contact)을 이루기 위하여 추후 열처리될 수 있다. A gate insulating layer 140 is disposed between the gate electrode 150 and the semiconductor active layer 130 to insulate them. An interlayer 160 as an insulating layer is formed on the gate electrode 150 and the gate insulating layer 140 as a single layer and / or a plurality of layers, and the source / drain of the second thin film transistor TFT2 is formed thereon. The electrodes 170a and b are formed, and the source / drain electrodes 170a and b may be formed of a metal such as MoW and the like, and may be formed later to achieve smoother ohmic contact with the semiconductor active layer 130. It may be heat treated.

소스/드레인 전극(170a,b)의 상부에는 보호 및/또는 평탄화시키기 위한 페시베이션 층 및/또는 평탄화 층으로 구성될 수 있는 보호층(180)이 형성되고, 그 상부에는 제 1 전극층(190)이 형성되는데, 제 1 전극층(190)은 보호층(180)에 형성된 비아홀(181)을 통하여 소스/드레인 전극(170a,b)과 전기적 소통을 이룬다. 제 1 전극층(190)은, 배면 발광형인 경우, 인듐-틴-옥사이드(ITO) 등의 투명 전극으로 구성될 수 있고, 전면 발광형인 경우, Al/Ca의 반사 전극과 ITO 등의 투명 전극으로 형성될 수도 있는 등, 다양한 변형예를 구비할 수 있다. 여기서, 본 발명의 설명을 명확하게 하기 위하여 제 1 전극층(190)이 애노드 전극으로 작용하는 경우에 대하여 기술되지만, 본 발명이 이에 한정되지는 않고, 제 1 전극층이 캐소드 전극으로서 구성될 수도 있는 등 다양한 구성이 가능하다. A protective layer 180 may be formed on the source / drain electrodes 170a and b, which may be a passivation layer and / or a planarization layer for protecting and / or planarization, and a first electrode layer 190 thereon. The first electrode layer 190 is in electrical communication with the source / drain electrodes 170a and b through the via hole 181 formed in the protective layer 180. In the case of the bottom emission type, the first electrode layer 190 may be formed of a transparent electrode such as indium tin oxide (ITO). In the case of the top emission type, the first electrode layer 190 may be formed of a reflective electrode of Al / Ca and a transparent electrode such as ITO. Various modifications may be provided, for example. Here, in order to clarify the description of the present invention, the case where the first electrode layer 190 functions as an anode electrode is described, but the present invention is not limited thereto, and the first electrode layer may be configured as a cathode electrode, and the like. Various configurations are possible.

한편, 본 발명의 일실시예에 따른 보호층(180)은 다양한 형태로 구성될 수 있는데, 무기물 또는 유기물로 형성될 수도 있고, 단층으로 형성되거나 또는 하부에 SiNx 층을 구비하고 상부에 예를 들어 BCB(benzocyclobutene) 또는 아크릴(acryl) 등과 같은 유기물 층을 구비하는 이중층으로 구성될 수도 있는 등, 다양한 구성이 가능하다. On the other hand, the protective layer 180 according to an embodiment of the present invention may be formed in a variety of forms, it may be formed of an inorganic material or an organic material, formed as a single layer or provided with a SiNx layer on the bottom, for example Various configurations are possible, such as being composed of a bilayer having an organic layer such as BCB (benzocyclobutene) or acryl.

보호층(180)의 상부에는, 제 1 전극층(190)에 대응하는 영역인 화소 개구부(194)를 제외하고 화소를 정의하기 위한 화소 정의층(191)이 형성된다. 화소 개구부(194)로 제 1 전극층(190)의 일면 상에는 발광층을 포함하는 유기 전계 발광부(192)가 배치된다. A pixel defining layer 191 for defining pixels is formed on the passivation layer 180 except for the pixel opening 194, which is a region corresponding to the first electrode layer 190. An organic electroluminescence unit 192 including an emission layer is disposed on one surface of the first electrode layer 190 through the pixel opening 194.

유기 전계 발광부(192)는 저분자 또는 고분자 유기막으로 구성될 수 있는데, 저분자 유기막을 사용할 경우 홀 주입층(HIL: Hole Injection Layer), 홀 수송층(HTL: Hole Transport Layer), 유기 발광층(EML: Emission Layer), 전자 수송층(ETL: Electron Transport Layer), 전자 주입층(EIL: Electron Injection Layer) 등이 단일 혹은 복합의 구조로 적층되어 형성될 수 있으며, 사용 가능한 유기 재료도 구리 프탈로시아닌(CuPc: copper phthalocyanine), N,N-디(나프탈렌-1-일)-N,N'-디페닐-벤지딘 (N,N'-Di(naphthalene-1-yl)-N,N'-diphenyl-benzidine: NPB) , 트리스-8-하이드록시퀴놀린 알루미늄(tris-8-hydroxyquinoline aluminum)(Alq3) 등을 비롯해 다양한 재료를 적용할 수 있다. 이들 저분자 유기막은 진공증착의 방법으로 형성된다.The organic electroluminescent unit 192 may be formed of a low molecular or polymer organic film. When the low molecular organic film is used, a hole injection layer (HIL), a hole transport layer (HTL), and an organic light emitting layer (EML) An emission layer, an electron transport layer (ETL), and an electron injection layer (EIL) may be formed by stacking a single or a complex structure, and the usable organic material may be copper phthalocyanine (CuPc: copper). phthalocyanine), N, N-di (naphthalen-1-yl) -N, N'-diphenyl-benzidine (N, N'-Di (naphthalene-1-yl) -N, N'-diphenyl-benzidine: NPB A variety of materials can be applied, including tris-8-hydroxyquinoline aluminum (Alq3). These low molecular weight organic films are formed by the vacuum deposition method.

고분자 유기막의 경우에는 대개 홀 수송층(HTL) 및 유기 발광층(EML)으로 구비된 구조를 가질 수 있으며, 이 때, 상기 홀 수송층으로 PEDOT를 사용하고, 발광층으로 PPV(Poly-Phenylenevinylene)계 및 폴리플루오렌(Polyfluorene)계 등 고분자 유기물질을 사용하며, 이를 스크린 인쇄나 잉크젯 인쇄방법 등으로 형성할 수도 있는 등 다양한 구성이 가능하다. In the case of the polymer organic film, the structure may include a hole transporting layer (HTL) and an organic light emitting layer (EML). In this case, PEDOT is used as the hole transporting layer, and polyvinylvinylene (PPV) and polyflu as the light emitting layer. Polymeric organic materials such as orene (Polyfluorene) are used, and various configurations are possible, such as being formed by screen printing or inkjet printing.

유기 전계 발광부(192)의 일면 상부에는 캐소드 전극으로서의 제 2 전극층(210)이 전면 증착되는데, 제 2 전극층(210)은 이러한 전면 증착 형태에 한정되는 것은 아니고, 또한 발광 유형에 따라 Al/Ca, ITO, Mg-Ag 등과 같은 재료로 형성될 수도 있고, 단일층이 아닌 복수의 층으로 형성될 수도 있으며, LiF 등과 같은 알칼리 또는 알칼리 토금속 플루오라이드 층이 더 구비될 수도 있는 등, 다양한 유형으로 구성될 수 있다.The second electrode layer 210 as a cathode is deposited on the top of one surface of the organic light emitting unit 192, and the second electrode layer 210 is not limited to this type of front deposition. , May be formed of a material such as ITO, Mg-Ag, etc., may be formed of a plurality of layers instead of a single layer, and may be further provided with an alkali or alkaline earth metal fluoride layer such as LiF, etc. Can be.

또한, 제 2 전극층(210)의 일면 상에는 적어도 디스플레이 영역을 보호하기 위한 밀봉층(220)이 형성된다. 밀봉층(220)은 SiO2, Sinx 등의 무기물 이외에도 유기물을 포함할 수도 있으며, 도면에서는 한 개의 층으로 도시되었으나 이에 국한되지 않고 복수의 층으로 형성될 수도 있는 등, 본 발명의 밀봉층은 다양한 구성을 취할 수도 있다.In addition, a sealing layer 220 is formed on at least one surface of the second electrode layer 210 to protect the display area. The sealing layer 220 may include an organic material in addition to inorganic materials such as SiO 2, Sinx, and the like, but the sealing layer of the present invention may be formed of a plurality of layers. You can also take

한편, 도 2a 내지 도 2d에는 이와 같은 밀봉층을 구비하는 본 발명에 따른 유기 전계 발광 디스플레이 장치의 제조 과정이 도시되어 있다. 2A to 2D illustrate a manufacturing process of the organic light emitting display device according to the present invention having such a sealing layer.

먼저, 디스플레이 영역 외측에 형성된 패드부의 적어도 일부에 쉐도우 층을 형성한다. 도 2a에서, 기판(110)의 디스플레이 영역(200)이 형성된 후, 패드부(700) 위치에는 쉐도우 층(500',600')이 형성되는데, 쉐도우 층(500', 600')이 형성되는 패드부(700)의 위치에는, COG와 같은 형태로 차후 기판 상에 형성될 수평 구동 회로부(500)가 배치되는 위치(500a, 도 2c 참조)와, 디스플레이 영역(200) 및 차후 형성될 수평 구동 회로부(500)과 전기적 소통을 이루는 각종 단자들로 구성되는 단자부(600)가 포함된다. First, a shadow layer is formed on at least a portion of the pad portion formed outside the display area. In FIG. 2A, after the display area 200 of the substrate 110 is formed, shadow layers 500 'and 600' are formed at the pad part 700, and the shadow layers 500 'and 600' are formed. In the position of the pad portion 700, a position (500a, FIG. 2C) where the horizontal driving circuit portion 500 to be formed later on the substrate is disposed in the form of COG, the display area 200 and the horizontal driving to be formed later. The terminal unit 600 including various terminals in electrical communication with the circuit unit 500 is included.

쉐도우 층은 다양한 방법에 의하여 형성될 수 있는데, 그 일예로서 쉐도우 층을 유기물로 구성할 수도 있다. 이 때 사용되는 유기물은 개별적인 공정으로 형성될 수도 있으나, 공정을 단순하게 하고 공정 단가를 저감시키기 위하여, 디스플레이 영역(200)의 일화소(도 1c 참조)에 구비되는 제 1 전극층(191)과 제 2 전극층(210) 사이에 개재되는 유기 전계 발광부(210)와 동일층의 적어도 일부를 사용할 수도 있다. 즉, 유기 전계 발광부(192)는 상기한 바와 같이, 빛을 생성하는 발광층을 구비하고, 경우에 따라서 정공 전달층, 정공 수송층, 전자 전달층, 전자 수송층 등의 다양한 층을 더 구비할 수도 있는데, 유기 전계 발광부를 형성하는데 사용되는 마스크(미도시)의 패드부 대응 위치를 개방시킴으로써, 유기 전계 발광부를 형성함과 동시에 패드부에 쉐도우 층을 형성할 수도 있다. 이러한 쉐도우 층(500', 600')은 유기 전계 발광부의 적어도 일부로 구성될 수도 있으나, 공정 상의 용이함을 위하여, 유기 전계 발광부의 모든 층을 함께 구비할 수도 있다.The shadow layer may be formed by various methods. For example, the shadow layer may be formed of an organic material. In this case, the organic material used may be formed in a separate process, but in order to simplify the process and reduce the process cost, the first electrode layer 191 and the first electrode layer 191 and the first electrode provided in the display area 200 (see FIG. 1C) may be formed. At least a part of the same layer as the organic electroluminescent unit 210 interposed between the two electrode layers 210 may be used. That is, the organic electroluminescent unit 192 may include a light emitting layer that generates light as described above, and may further include various layers such as a hole transport layer, a hole transport layer, an electron transport layer, and an electron transport layer in some cases. By opening the pad portion corresponding position of the mask (not shown) used to form the organic electroluminescent portion, the organic electroluminescent portion may be formed and a shadow layer may be formed on the pad portion. The shadow layers 500 ′ and 600 ′ may be formed of at least a portion of the organic electroluminescent portion, but may be provided with all the layers of the organic electroluminescent portion for ease of processing.

쉐도우 층의 또 다른 일예로서, 쉐도우 층을 별도의 구성 요소로 형성될 수도 있다. 즉, 쉐도우 층(500', 600')은 하부 적층부에 탈착 가능한 테이프로 구성될 수도 있는데, 쉐도우 층을 테이프로 구성함으로써, 밀봉층 형성 전 및 후에 기판 하부에 적층된 부분에 용이하게 탈부착이 가능하다. As another example of the shadow layer, the shadow layer may be formed as a separate component. That is, the shadow layers 500 'and 600' may be made of a tape that can be detached from the lower stack. The shadow layer is formed of a tape, so that the detachable layer can be easily attached to a portion laminated under the substrate before and after the sealing layer is formed. It is possible.

쉐도우 층을 패드부에 형성한 후, 도 2b에 도시된 바와 같이, 밀봉층(220)을 전면 형성하는 단계를 수행한다. 밀봉층(220)은 디스플레이 영역을 포함한 기판 상부의 전면에 형성됨으로써, 별도의 마스킹 공정을 요하지 않는다.After the shadow layer is formed on the pad part, as shown in FIG. 2B, the front surface of the sealing layer 220 is formed. The sealing layer 220 is formed on the front surface of the substrate including the display area, and thus does not require a separate masking process.

밀봉층 형성 단계 후, 도 2c에 도시된 바와 같이, 쉐도우 층(500', 600')을 제거함으로써, 차후 형성될 수평 구동 회로부(500) 배치 위치 및 단자부(600)를 외부로 노출시킨 후, 도 2d에 도시된 바와 같이, 쉐도우 층(500')이 제거된 위치(500a, 도 2c 참조)에 COG 형태로 구성될 수도 있는 수평 구동 회로부(500) 등을 설치한다.After the sealing layer forming step, as shown in FIG. 2C, by removing the shadow layers 500 ′ and 600 ′, the horizontal driving circuit portion 500 arrangement position and the terminal portion 600 to be formed later are exposed to the outside. As shown in FIG. 2D, the horizontal driving circuit unit 500, which may be configured in the form of COG, may be installed at a position 500a (see FIG. 2C) where the shadow layer 500 ′ is removed.

쉐도우 층을 제거하는 단계는, 쉐도우 층(500', 600')이 유기 전계 발광부와 동일한 층의 적어도 일부로 구성되는 경우, 세정액에 의한 리프트-오프 현상을 이용한, 유기물을 제거시키는 세정 단계일 수도 있다. 도 2e 및 도 2f에는 유기물을 리프트-오프 시키는 실험의 일예가 도시되어 있는데, 여기서는 적층부가 형성된 유리 기판을 시료로 사용하였다. 유리 기판 일면의 일부(하부)에는 유기막이 형성되고, 유기막이 형성된 부위를 포함한 유리 기판 전면에 SiNx 층이 형성되어 있다. 도 2e에 도시된 바와 같이, 유기막 및 SiNx 층 등이 형성된 유리 기판을 세정액 속에 처리한 후, SiNx 층 일면을 따라 일정한 힘을 가해진 상태로 면봉을 이동시킨 결과, 하부에 유기막이 형성된 SiNx 층의 부위만 박리(peeling) 현상이 발생하여, 도 2f에 도시된 바와 같이 SiNx 층 중 하부에 유기막이 형성되었던 부분만 완전히 제거되었음을 확인할 수 있다. The removing of the shadow layer may be a cleaning step of removing the organic material by using a lift-off phenomenon by the cleaning liquid when the shadow layers 500 'and 600' are formed of at least a part of the same layer as the organic electroluminescent unit. have. 2E and 2F show an example of an experiment in which the organic material is lifted off. Here, a glass substrate on which a laminate is formed is used as a sample. An organic film is formed in one part (lower part) of the glass substrate, and the SiNx layer is formed in the whole glass substrate including the site | part in which the organic film was formed. As shown in FIG. 2E, after treating the glass substrate on which the organic film and the SiNx layer and the like are formed in the cleaning solution, the cotton swab is moved with a constant force applied along one surface of the SiNx layer. Peeling phenomenon occurs only in the site, and as shown in FIG. 2F, it may be confirmed that only a portion of the SiNx layer in which the organic layer was formed is completely removed.

따라서, 본 발명의 일예에 따른 쉐도우 층 제거 단계는 유기물을 용해시키는 세정액으로 실시되는 세정 단계로 구성될 수도 있다. 세정 단계시 사용되는 세정액으로는, 예를 들어 탈이온수(deionized water), 알코올계 세정액 및 중성 세재 중의 어느 하나 이상일 수도 있는 등, 사용되는 유기층의 종류에 따라 다양하게 선택될 수도 있다. Therefore, the shadow layer removing step according to an embodiment of the present invention may be composed of a cleaning step performed with a cleaning liquid for dissolving organic matter. The washing liquid used in the washing step may be variously selected depending on the type of organic layer used, for example, deionized water, alcohol-based washing liquid or neutral detergent.

또한, 유기물로 구성된 쉐도우 층 제거 단계로서의 세정 단계시, 쉐도우 층을 더욱 용이하게 제거하기 위한 별도의 단계가 더 구비될 수도 있다. 즉, 세정액을 통한 진동에 의하여 유기물로 구성된 쉐도우 층의 박리가 보다 원활하게 이루어질 수 있도록, 상부에 밀봉층이 형성된 기판을 세정액 내에 배치한 후, 세정액에 일정한 초음파에 의한 진동을 가할 수도 있는 등, 다양한 방법이 사용될 수 있다.In addition, during the cleaning step of removing the shadow layer made of the organic material, a separate step may be further provided to more easily remove the shadow layer. That is, a substrate having a sealing layer formed thereon may be disposed in the cleaning liquid so that the shadow layer composed of the organic material may be more smoothly removed by vibration through the cleaning liquid, and then vibration may be applied to the cleaning liquid by a certain ultrasonic wave. Various methods can be used.

한편, 쉐도우 층을 탈착 가능한 테이프로 구성하는 경우, 쉐도우 층 제거 단계시 제거되는 쉐도우 층 인접부의 밀봉층이 손상되어 밀봉층 하부의 디스플레이 영역이 손상을 입지 않도록, 테이프로 형성되는 쉐도우 층 형성 위치와 디스플레이 영역이 적절하게 이격된 경우에 사용하고, 과도한 힘이 가해지지 않도록 하는 등 세심한 주의가 요구된다.On the other hand, when the shadow layer is formed of a removable tape, the shadow layer forming position formed of tape is used so that the sealing layer adjacent to the shadow layer removed during the shadow layer removing step is not damaged and the display area under the sealing layer is not damaged. Careful attention is required, such as when the display area is properly spaced apart and to avoid applying excessive force.

본 발명의 또 다른 일실시예에 따르면, 디스플레이 영역의 밀봉을 더욱 공고히 하기 위하여, 도 3에 도시된 바와 같이, 유기 전계 발광 장치는 밀봉 기판(300)을 더 구비할 수도 있다. 기판(110)의 일면 상부에는 하나 이상의 화소들로 구성되는 디스플레이 영역(200) 및 패드부(700)가 배치된다. 디스플레이 영역(200)과 패드부(700) 사이에는 기판(110)과 함께 밀봉재(310)를 통하여 적어도 디스플레이 영역(200)을 밀봉시키는 밀봉부(300, 도 4a 참조)가 배치된다. According to another embodiment of the present invention, in order to further solidify the sealing of the display area, as shown in FIG. 3, the organic electroluminescent device may further include a sealing substrate 300. The display area 200 and the pad part 700 including one or more pixels are disposed on one surface of the substrate 110. Between the display area 200 and the pad part 700, a sealing part 300 (see FIG. 4A) for sealing at least the display area 200 through the sealing material 310 together with the substrate 110 is disposed.

도 4a 내지 도 4e에는 밀봉 기판을 구비하는 유기 전계 발광 디스플레이 장치 제조 과정이 도시된다. 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 먼저 디스플레이 영역 외측에 형성된 패드부의 적어도 일부에 쉐도우 층을 형성하고, 밀봉층(220)을 쉐도우 층이 형성된 부분을 포함한 기판 전면에 형성한다.4A to 4E illustrate a process of manufacturing an organic electroluminescent display device having a sealing substrate. As shown in FIGS. 4A and 4B, first, a shadow layer is formed on at least a portion of the pad portion formed outside the display area, and a sealing layer 220 is formed on the entire surface of the substrate including the portion where the shadow layer is formed.

그런 후, 도 4c에 도시된 바와 같이, 밀봉층(220)의 일면 상으로 밀봉부(300, 도 4a 및 도 4b에서 점선)에 밀봉재(310)를 형성하고, 도 4d에 도시된 바와 같이, 밀봉 기판(400)을 기판(110)과 정렬시킨 후 접합시킴으로써, 적어도 디스플레이 영역(200)을 밀봉시킨다. 그런 후, 도 4e에 도시된 바와 같이, 쉐도우 층을 제거하고 수평 구동 회로부(500) 등과 같은 전기 요소를 배치시킨다. Thereafter, as shown in FIG. 4C, a sealing material 310 is formed on the sealing portion 300 (dotted lines in FIGS. 4A and 4B) on one surface of the sealing layer 220, and as shown in FIG. 4D, At least the display area 200 is sealed by aligning and sealing the sealing substrate 400 with the substrate 110. Then, as shown in FIG. 4E, the shadow layer is removed and an electrical element such as horizontal drive circuitry 500 or the like is placed.

이와 같이 밀봉 기판(400)을 사용하여 디스플레이 영역(200)을 더욱 공고히 밀봉시키는 구조는 유기물로 구성된 쉐도우 층(500', 600')을 제거하는 경우에 특히 유리하다. 즉, 밀봉층(220)은 통상적인 증착 공정에 의하여 이루어질 수 있는데, 별도의 고온 처리를 거치지 않게 됨으로써, 층의 구조가 치밀함이 약한 경우가 있다. 이러한 층 구조의 느슨함으로 인하여 마이크로포어(micropore) 등과 같은 통공이 형성되고, 적층부를 포함한 기판을 세정액에 담그는 경우 이들 통공을 통하여 세정액을 포함한 습기 및/또는 공기 등이 유출입함으로써 디스플레이 영역에 구비되는 유기 전계 발광부에 손상을 가할 수도 있는데, 밀봉재(310)를 통하여 밀봉 기판(400)과 기판(110)을 접합시킴으로써, 디스플레이 영역(200)을 덮는 밀봉층(220)이 세정액을 포함한 유체에 노출됨을 줄일 수 있다. 도 4e의 선 Ⅱ-Ⅱ를 따라 취한 단면이 도 5a 및 도 5b에 도시되어 있다. 도 5a에서, 기판(110)의 일면 상에는 디스플레이 영역(200)을 전면 커버하는 밀봉층(220)이 적어도 밀봉부(300)까지 연장 형성되어, 밀봉부(300)의 밀봉재(310)는 밀봉층(220)과 접하게 된다. 경우에 따라서는, 도 5b에 도시된 바와 같이, 디스플레이 영역(200)을 전면 커버하는 밀봉층(220)은 기판(110) 상에 형성된 적층부, 예를 들어 디스플레이 영역(200)으로부터 연장 형성된 층과 접할 수도 있다. Such a structure of more tightly sealing the display area 200 using the sealing substrate 400 is particularly advantageous when removing the shadow layers 500 'and 600' made of organic material. That is, the sealing layer 220 may be made by a conventional deposition process, and may not be subjected to a separate high temperature treatment, so that the structure of the layer may be weak in some cases. Due to the looseness of the layer structure, pores such as micropores are formed, and when the substrate including the lamination part is immersed in the cleaning liquid, moisture and / or air including the cleaning liquid flows in and out through these holes, thereby providing organic light in the display area. The electroluminescent part may be damaged, and the sealing substrate 400 and the substrate 110 are bonded to each other through the sealing material 310 to prevent the sealing layer 220 covering the display area 200 from being exposed to the fluid including the cleaning liquid. Can be reduced. A cross section taken along line II-II of FIG. 4E is shown in FIGS. 5A and 5B. In FIG. 5A, on one surface of the substrate 110, a sealing layer 220 covering the display area 200 is formed to extend at least to the sealing part 300, so that the sealing material 310 of the sealing part 300 is a sealing layer. It comes in contact with (220). In some cases, as shown in FIG. 5B, the sealing layer 220 that covers the display area 200 is a layer formed on the substrate 110, for example, a layer extending from the display area 200. It may be encountered.

상기한 실시예들은 본 발명을 설명하기 위한 일예들로서, 본 발명이 이에 한정되지는 않는다. 상기한 실시예들은 AM 구동형 유기 전계 발광 디스플레이 장치에 대하여 기술되었으나, 무기 전계 발광 디스플레이 장치 및 PM 구동형에도 적용될 수 있는 등, 다양한 변형예를 도출할 수 있다. The above embodiments are examples for describing the present invention, but the present invention is not limited thereto. Although the above embodiments have been described with respect to an AM driven organic electroluminescent display device, various modifications can be derived, such as those applicable to an inorganic electroluminescent display device and a PM driven type.

상기한 바와 같은 본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.According to the present invention as described above, the following effects can be obtained.

첫째, 본 발명에 따른, 밀봉층을 구비하는 전계 발광 디스플레이 장치의 제조 방법은 밀봉층 형성 단계시 별도의 마스크없이 밀봉층을 기판 전면에 형성할 수 있음으로써, 증착 챔버 내의 기구부를 단순화시켜 불필요한 마스크를 제거시킴으로써 증착되는 밀봉층의 성막 특성을 개선시킬 수 있다.First, the manufacturing method of the electroluminescent display device having a sealing layer according to the present invention can form the sealing layer on the entire surface of the substrate without a separate mask during the sealing layer forming step, thereby simplifying the mechanical part in the deposition chamber, unnecessary mask It is possible to improve the film forming properties of the sealing layer deposited by removing.

둘째, 우수한 특성의 밀봉층을 형성함과 동시에, 쉐도우 층의 형성 및 제거를 통한 패드부 노출을 보다 용이하게 함으로써, 전계 발광 디스플레이 장치의 공정 시간을 포함한 공정 단가를 상당히 저감시킬 수도 있다.Second, by forming a sealing layer of excellent characteristics, and by making the pad portion exposed through the formation and removal of the shadow layer more easily, the process cost including the process time of the electroluminescent display device can be significantly reduced.

셋째, 밀봉층을 전면 형성하는 과정에 있어 사용되는 쉐도우 층으로 유기 전계 발광부의 적어도 일부를 사용함으로써, 별도의 공정 및 비용 추가없이 유기 전계 발광 장치의 제조를 용이하게 실시할 수도 있다.Third, by using at least a portion of the organic electroluminescent unit as a shadow layer used in the entire process of forming the sealing layer, it is possible to easily manufacture the organic electroluminescent device without additional process and cost.

넷째, 쉐도우 층을 유기 전계 발광부 동일층의 적어도 일부를 사용하는 경우, 디스플레이 영역을 밀봉재를 통하여 밀봉 기판 및 기판에 의하여 밀봉시킴으로써, 쉐도우 층을 제거하는 단계시 디스플레이 영역을 보다 확실하게 밀봉시킬 수도 있다.Fourth, when the shadow layer is used at least a part of the same layer of the organic electroluminescent portion, the display area may be sealed by the sealing substrate and the substrate through the sealing material, so that the display area may be more reliably sealed during the step of removing the shadow layer. have.

본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to one embodiment shown in the accompanying drawings, this is merely exemplary, and it will be understood by those skilled in the art that various modifications and equivalent other embodiments are possible. Could be. Therefore, the true scope of protection of the present invention should be defined only by the appended claims.

도 1a는 본 발명의 일실시예에 따른 유기 전계 발광 디스플레이 장치의 개략적인 사시도,1A is a schematic perspective view of an organic electroluminescent display device according to an embodiment of the present invention;

도 1b는 도 1a의 도면 부호 "A"에 대한 개략적인 단면도,FIG. 1B is a schematic cross sectional view taken along the line “A” of FIG. 1A;

도 1c는 도 1b의 선 Ⅰ-Ⅰ을 따라 취한 개략적인 단면도,1C is a schematic cross-sectional view taken along the line I-I of FIG. 1B,

도 2a 내지 도 2d는 본 발명의 일실시예에 따른 유기 전계 발광 디스플레이 장치를 제조하는 과정을 도시하는 평면도,2A to 2D are plan views illustrating a process of manufacturing an organic electroluminescent display device according to an embodiment of the present invention;

도 2f 및 도 2g는 유기막의 리프트-오프 실험을 도시하는 선도,2F and 2G are diagrams showing lift-off experiments of organic films,

도 3은 본 발명의 또 다른 일실시예에 따른 유기 전계 발광 디스플레이 장치의 개략적인 사시도,3 is a schematic perspective view of an organic electroluminescent display device according to another embodiment of the present invention;

도 4a 내지 도 4e는 본 발명의 또 다른 일실시예에 따른 유기 전계 발광 디스플레이 장치를 제조하는 과정을 도시하는 평면도,4A to 4E are plan views illustrating a process of manufacturing an organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention;

도 5a 및 도 5b는 도 4e의 선 Ⅱ-Ⅱ를 따라 취한 단면들의 일예들을 도시하는 단면도.5A and 5B are cross-sectional views showing examples of cross sections taken along the line II-II of FIG. 4E.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 간단한 설명><Brief description of symbols for the main parts of the drawings>

110...기판 120...버퍼층110 substrate 120 buffer layer

130...반도체 활성층 140...게이트 절연층130 ... semiconductor active layer 140 ... gate insulation layer

150...게이트 전극 160...중간층150 ... gate electrode 160 ... intermediate layer

170a,b...소스/드레인 전극 180...보호층170a, b ... source / drain electrode 180 ... protective layer

190...제 1 전극층 191...화소 정의층190 first electrode layer 191 pixel defining layer

192...유기 전계 발광부 200...디스플레이 영역192 Organic electroluminescent 200 Display area

210...제 2 전극층 220...밀봉층210 ... second electrode layer 220 ... sealing layer

300...밀봉부 310...밀봉재300 ... sealing unit 310 ... sealing material

400...밀봉 기판 500...수평 구동 회로부400 ... Sealed board 500 ... Horizontal drive circuit

600...단자부 700..패드부600 ... terminal part 700..pad part

Claims (9)

기판의 일면 상에, 전계 발광부를 구비하는 디스플레이 영역과 패드부를 포함하는 전계 발광 디스플레이 장치를 제조하는 방법에 있어서,In the method for manufacturing an electroluminescent display device comprising a display portion and a pad portion having an electroluminescent portion on one surface of the substrate, 상기 패드부의 적어도 일부에 쉐도우 층을 형성하는 단계와,Forming a shadow layer on at least a portion of the pad part; 상기 기판 상부에 밀봉층을 전면 형성하는 단계와,Forming a sealing layer on the entire surface of the substrate; 상기 쉐도우 층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 발광 디스플레이 장치 제조 방법.And removing the shadow layer. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 전계 발광부는 발광층을 포함하는 하나 이상의 유기물 층으로 구성되고,The electroluminescent unit is composed of at least one organic layer including a light emitting layer, 상기 쉐도우 층은 상기 전계 발광부 유기물 층과 동일한 층의 적어도 일부를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 발광 디스플레이 장치 제조 방법.And the shadow layer comprises at least a portion of the same layer as the organic light emitting layer. 제 2항에 있어서, The method of claim 2, 상기 쉐도우 층 제거 단계는 세정 단계인 것을 특징으로 하는 전계 발광 디스플레이 장치 제조 방법.And removing the shadow layer is a cleaning step. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 세정 단계에서, 탈이온수, 알코올계 세정액 및 중성 세제 중 하나 이상을 포함하는 세정액을 사용하는 것을 특징으로 하는 전계 발광 디스플레이 장치 제조 방법. In the cleaning step, using a cleaning liquid containing at least one of deionized water, alcohol-based cleaning liquid and neutral detergent. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 세정 단계시, 초음파 진동 단계가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 전계 발광 디스플레이 장치 제조 방법. During the cleaning step, an ultrasonic vibration step is further provided. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 쉐도우 층은 탈착 가능한 테이프인 것을 특징으로 하는 전계 발광 디스플레이 장치 제조 방법.The shadow layer is a method of manufacturing an electroluminescent display device, characterized in that the removable tape. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 밀봉층 형성 단계 및 상기 쉐도우 층 제거 단계 사이에, Between the sealing layer forming step and the shadow layer removing step, 밀봉재를 통하여 상기 기판과 밀봉 기판을 밀봉시키는 단계를 더 구비하되,Sealing the substrate and the sealing substrate through a sealant, 상기 밀봉 단계에 의하여 적어도 상기 디스플레이 영역이 밀봉되는 것을 특징으로 하는 전계 발광 디스플레이 장치를 제조하는 방법.And at least the display area is sealed by the sealing step. 기판의 일면 상에, 전계 발광부를 구비하는 디스플레이 영역과 패드부를 포함하는 전계 발광 디스플레이 장치에 있어서,An electroluminescent display device comprising a display area and a pad portion having an electroluminescent portion on one surface of a substrate, 적어도 상기 디스플레이 영역을 덮는 밀봉층을 구비하되,A sealing layer covering at least the display area, 제 1항 내지 제 7항 중의 어느 한 항에 따라 제조되는 것을 특징으로 하는 전계 발광 디스플레이 장치. An electroluminescent display device according to any one of claims 1 to 7. 기판의 일면 상에, 유기 전계 발광부를 구비하는 디스플레이 영역과 패드부를 포함하는 유기 전계 발광 디스플레이 장치에 있어서,An organic electroluminescent display device comprising a display portion and a pad portion having an organic electroluminescent portion on one surface of a substrate, 적어도 상기 디스플레이 영역의 상부에는 밀봉층과, 상기 디스플레이 영역의 외곽에 형성된 밀봉부를 통하여 상기 기판과 함께 적어도 상기 디스플레이 영역을 밀봉시키는 밀봉 기판을 구비하고,At least a sealing layer on top of the display area, and a sealing substrate for sealing at least the display area together with the substrate through a sealing portion formed outside the display area, 상기 밀봉층은, 적어도 밀봉부 하부에 연장 개재되는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 디스플레이 장치.And the sealing layer extends at least under the sealing part.