KR200469191Y1 - 대면적 기판 세정용 퍼들나이프 - Google Patents

Abstract

본 고안은 퍼들나이프를 통해 기판의 상면에 세정수가 균일하게 도포되도록 하는 대면적 기판 세정용 퍼들나이프를 제공하고자 함에 그 목적이 있다.

이를 구현하기 위한 본 고안은, 소정의 각도로 경사져 이송되는 대면적 기판의 상부 전면에 세정수를 도포하는 대면적 기판 세정용 퍼들나이프에 있어서, 상기 퍼들나이프의 길이방향을 따라 상기 세정수가 통과하도록 복수 개의 노즐구멍들이 형성되고; 상기 노즐구멍들은 경사진 기판의 상부 측이 하부 측에 비하여 퍼들나이프의 단위길이당 구멍들 면적의 합이 더 큰 것을 특징으로 한다.

기판, 세정, 퍼들나이프, 세정수, 노즐

Description

대면적 기판 세정용 퍼들나이프{PUDDLE KNIFE FOR CLEANING LARGE-AREA SUBSTRATE}

본 고안은 대면적 기판 세정용 퍼들나이프에 관한 것으로, 보다 상세하게는 경사진 기판의 상부 측과 하부 측에 퍼들나이프에 의해 세정수가 균일하게 도포되도록 하는 대면적 기판 세정용 퍼들나이프에 관한 것이다.

일반적으로, 표시장치용 대면적 기판의 세정은 대면적 기판의 이송중에 세정노즐을 이용하여 그 대면적 기판에 세정약액을 포함하는 세정수를 분사하여, 대면적 기판의 이물을 제거하는 과정이다.

이와 같은 세정은 세정 대상 등에 대하여 세정수를 공급하는 방법 및 약액의 종류를 다르게 하여 분사할 수 있다.

상기 세정수를 분사하는 방법은 이송되는 대면적 기판에 소정의 압력으로 세정수를 분사하여 이물이 세정수와 함께 기판 외부로 흘러내리도록 하는 방법 또는 기판에 소정의 두께로 약액을 도포한 후 소정의 시간이 경과하도록 하는 퍼들(puddle) 방법이 있다.

상기 퍼들법이 적용되는 과정은 러빙된 대면적 기판을 세정하는 과정을 예로들 수 있다. 액정의 배향 전처리 과정으로서 러빙(rubbing)공정이 사용된다. 상기 러빙된 대면적 기판의 표면은 액정의 배향에 적당한 상태가 되나, 공정과정에서 먼지가 발생됨과 아울러 대면적 기판의 표면이 일부 연마된 부산물이 존재하게 된다. 이와 같은 먼지 등을 제거하기 위해 반드시 세정공정을 수행하여야 한다.

상기 러빙된 대면적 기판은 다수의 이송롤러를 포함하는 이송부에 의해 이송되며, 퍼들나이프를 통해 그 대면적 기판의 러빙된 면에 세정수가 도포된다.

이때, 퍼들나이프는 세정수를 가압 분사하는 방식이 아닌 세정수의 자유낙하에 의해 대면적 기판의 표면에 모여있도록 하는 퍼들(puddle) 방법으로 도포한다.

퍼들나이프 내부에서 세정수는 퍼들나이프의 길이방향으로 형성된 복수의 노즐구멍들을 통해 기판에 낙하된다.

이 경우 이송되는 기판은 수평면에 대하여 소정의 각도로 경사진 상태로 이송되므로 상기 퍼들나이프도 경사진 상태로 설치되어 있다.

이러한 구조로 인하여 기판의 상면에 도포되는 세정수는 도 1에 도시된 바와 같이 기판(G)의 상부 측에 비하여 하부 측이 더 많은 세정수가 도포되는 문제점이 있다. 즉, 퍼들나이프(10)에서 분사되는 세정수는, 기판의 상부(도 1에서 빗금 친 부분의 상부)에서 기판의 이송방향으로 도포되는 세정수의 길이가 90mm 정도일 때 기판의 하부(도 1에서 빗금 친 부분의 하부)에서 기판의 이송방향으로 도포되는 세정수의 길이는 850mm 정도가 되어 기판의 상면에 세정수가 불균일하게 도포되는 문제점이 있다.

본 고안은 상술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 퍼들나이프를 통해 기판의 상면에 세정수가 균일하게 도포되도록 하는 대면적 기판 세정용 퍼들나이프를 제공하고자 함에 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 퍼들나이프는, 소정의 각도로 경사져 이송되는 대면적 기판의 상부 전면에 세정수를 도포하는 대면적 기판 세정용 퍼들나이프에 있어서, 상기 퍼들나이프의 길이방향을 따라 상기 세정수가 통과하도록 복수 개의 노즐구멍들이 형성되고; 상기 노즐구멍들은 경사진 기판의 상부 측이 하부 측에 비하여 퍼들나이프의 단위길이당 구멍들 면적의 합이 더 크고, 상기 상부 측 노즐구멍들에서부터 하부 측 노즐구멍들에 이르기까지 노즐구멍의 면적이 일정한 비율로 점차 작아지도록 형성되며, 상기 퍼들나이프의 단위길이당 상부 측 노즐구멍들의 개수는 하부 측 노즐구멍들의 개수에 비하여 더 많은 것을 특징으로 한다.

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본 고안의 다른 사상으로는, 소정의 각도로 경사져 이송되는 대면적 기판의 상부 전면에 세정수를 도포하는 대면적 기판 세정용 퍼들나이프에 있어서, 상기 퍼들나이프의 길이방향을 따라 상기 세정수가 분사되도록 복수 개의 노즐구멍들이 형성되고; 상기 경사진 기판의 상부 측에 위치된 노즐구멍들을 통해 분사되는 세정수 의 유량은 하부 측에 위치된 노즐구멍들을 통해 분사되는 세정수의 유량보다 크게 되도록 상기 노즐구멍들의 개수 및 크기가 결정되는 것을 특징으로 한다.

본 고안에 의하면, 퍼들나이프의 노즐구멍을 통해 세정수가 기판의 전면에 걸쳐 균일하게 도포되어 기판의 불량을 방지할 수 있는 효과가 있다.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 고안의 일실시예에 의한 퍼들나이프의 설치상태를 보여주는 정면도, 도 3은 도 2에 도시된 퍼들나이프의 설치상태를 보여주는 평면도이다.

소정의 각도로 경사져 이송되는 대면적 기판의 상부 전면에 세정수를 도포하기 위하여 퍼들나이프(100)가 기판 이송용 롤러(R)의 상부에 설치된다. 기판의 경사이송으로 인하여 퍼들나이프(100)도 경사진 상태로 설치된다.

기판의 상부 전면에 도포되는 세정수는 기판면에 균일하게 도포되어야 하므로 상기 퍼들나이프(100)의 노즐 하부에는 대략 사다리꼴 모양의 가이드판(110)이 설치되고, 상기 가이드판(110)은 도 3에서와 같이 평면도 상에서 보면 끝단(110a)이 기판의 이송방향에 대해 수직선을 형성하도록 설치된다.

즉, 퍼들나이프(100)의 노즐구멍을 통과한 세정수는 가이드판(110)의 상면을 따라 흘러 가이드판(110)의 끝단(110a)에서 기판의 상면에 자연 낙하하도록 되어 있다.

도 4는 본 고안의 일실시예에 의한 퍼들나이프의 측단면 투시도이다.

도 4에서 퍼들나이프(100)의 내부 구조는 단면을 나타낸 것이고, 가이드판(110)은 측방향에서 바라본 상태를 나타낸 것이다.

세정수는 퍼들나이프(100)의 입구(101)로 유입되어 내부를 화살표 방향을 따라 순환한 후 가이드판(110)의 상면으로 흐르게 된다.

이 경우 세정수는 가이드판(110)의 상면과 노즐판(120)에 형성된 노즐구멍 사이의 공간을 통해 흘러나오게 된다.

도 5는 본 고안의 일실시예에 의한 퍼들나이프 노즐구멍을 보여주는 도면이다.

퍼들나이프(100)의 노즐판(120)에는 퍼들나이프(100)의 길이방향을 따라 복수 개의 노즐구멍(120a,120b)들이 형성되어 있다.

상기 노즐구멍들 중 경사진 기판에 대하여 상부 측의 노즐구멍들(120a)이 하부 측의 노즐구멍(120b)들에 비하여 더 크게 형성되어 있다. 따라서 상부 측의 노즐구멍들(120a)을 통과하는 세정수가 하부 측의 노즐구멍들(120b)을 통과하는 세정수에 비하여 더 많게 되어 종래 경사진 기판의 상부 측과 하부 측에 세정수가 불균일하게 도포되는 문제점을 방지할 수 있다.

이 경우 단위길이(L)당 노즐구멍들의 면적의 합은 상부 측 노즐구멍들(120a) 의 면적의 합이 하부 측 노즐구멍들(120b)의 면적의 합보다 더 크게 되도록 구성할 수 있다.

또한 상기 상부 측 노즐구멍들(120a)에서부터 하부 측 노즐구멍들(120b)에 이르기까지 각각의 노즐구멍의 면적이 일정한 비율로 점차 작아지도록 형성될 수도 있다.

도 6은 본 고안의 다른 실시예에 의한 퍼들나이프 노즐구멍을 보여주는 도면이다.

본 실시예의 노즐구멍은 상부 측의 노즐구멍들(120c)에서부터 하부 측의 노즐구멍들(120d)에 이르기까지 각각의 노즐구멍의 면적은 모두 동일하게 되어 있으나, 퍼들나이프(100)의 단위길이(L)당 상부 측 노즐구멍(120c)들의 개수는 하부 측 노즐구멍들(120d)의 개수에 비하여 더 많게 형성되어 있다.

이 경우에도 상부 측의 노즐구멍들(120c)을 통과하는 세정수가 하부 측의 노즐구멍들(120d)을 통과하는 세정수에 비하여 더 많게 된다.

도 5에서는 노즐구멍들의 크기를 일정하게 변화하도록 한 실시예를 보여주고 있고, 도 6에서는 노즐구멍들의 개수를 상부 측과 하부 측을 다르게 한 실시예를 보여주고 있다.

다른 실시예에서는 노즐구멍들의 크기와 노즐구멍들의 개수를 함께 조절하여 (즉, 도 5와 도 6의 노즐구멍 형상을 조합하여) 경사진 기판의 상부 측에 위치된 노즐구멍들을 통해 분사되는 세정수의 유량이 하부 측에 위치된 노즐구멍들을 통해 분사되는 세정수의 유량보다 크게 되도록 상기 노즐구멍들의 개수 및 크기를 결정하는 것으로 구성할 수도 있다.

이상, 본 고안의 실시 예를 사용하여 설명하였으나 이들 실시예는 예시적인 것에 불과하며 본 고안이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 지닌 자라면 본 고안의 사상에서 벗어나지 않으면서 다양한 수정과 변경을 가할 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

도 1은 기판의 상부에 퍼들나이프가 설치된 상태에서 세정수의 도포 상태를 보여주는 평면개략도,

도 2는 본 고안의 일실시예에 의한 퍼들나이프의 설치상태를 보여주는 정면도,

도 3은 도 2에 도시된 퍼들나이프의 설치상태를 보여주는 평면도,

도 4는 본 고안의 일실시예에 의한 퍼들나이프의 측단면 투시도,

도 5는 본 고안의 일실시예에 의한 퍼들나이프 노즐구멍을 보여주는 도면,

도 6은 본 고안의 다른 실시예에 의한 퍼들나이프 노즐구멍을 보여주는 도면.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

100 : 퍼들나이프 110 : 가이드판

120 : 노즐판 120a,120b,120c,120d : 노즐구멍

Claims (4)

1. 소정의 각도로 경사져 이송되는 대면적 기판의 상부 전면에 세정수를 도포하는 대면적 기판 세정용 퍼들나이프에 있어서,

   상기 퍼들나이프의 길이방향을 따라 상기 세정수가 통과하도록 복수 개의 노즐구멍들이 형성되고;

   상기 노즐구멍들은 경사진 기판의 상부 측이 하부 측에 비하여 퍼들나이프의 단위길이당 구멍들 면적의 합이 더 크고,

   상기 상부 측 노즐구멍들에서부터 하부 측 노즐구멍들에 이르기까지 노즐구멍의 면적이 일정한 비율로 점차 작아지도록 형성되며,

   상기 퍼들나이프의 단위길이당 상부 측 노즐구멍들의 개수는 하부 측 노즐구멍들의 개수에 비하여 더 많은 것을 특징으로 하는 대면적 기판 세정용 퍼들나이프.
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