KR200443471Y1 - 패드뒤집힘이 방지된 클린룸 바닥판넬 지지장치 - Google Patents

Abstract

클린룸 바닥판넬 지지장치가 개시된다. 본 고안의 클린룸 바닥판넬을 지지하는 장치는, 상단에 편평한 평면판넬의 포스트캡(10)을 포함하는 지지봉(130); 상기 포스트캡(10)의 상부에 놓여지는 평면형상의 금속성 판넬로서, 중앙부에 상기 클린룸 바닥판넬사이를 서로 격리하고 고정할 수 있도록 십자형상으로 돌출된 돌출부(122)를 포함하는 하부패드(120); 및 상기 클린룸 바닥판넬의 충격을 흡수할 수 있도록 상기 하부패드(120)의 상부에 놓여지는 평면형상의 고무재질의 판넬로서, 상기 돌출부(122)가 삽입될 수 있도록 상기 돌출부에 대응하는 위치에 상기 돌출부에 대응되는 형상으로 형성된 돌출부끼움공(112)을 포함하는 상부패드(110)를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 고안에 의하면, 상부패드의 뒤집힘이 방지되고, 바닥판넬의 고정력이 더욱 증가한다.

클린룸 바닥판넬, 지지장치, 패드

Description

패드뒤집힘이 방지된 클린룸 바닥판넬 지지장치{Apparatus for supporting ground panel of cleanroom with no pad-upset}

도 1 은 상기 종래의 클린룸 바닥판넬 지지장치를 나타내는 도면이다.

도 2는 종래의 패드(3)의 구조를 보다 상세히 나타낸 도면이다.

도 3은 종래의 러버패드의 뒤집히기 쉬운 부분을 나타낸 도면이다.

도 4는 본 고안에 따른 클린룸 바닥판넬 지지장치(100)를 나타내는 도면이다.

도 5는 본 고안에 따른 상부패드를 나타내는 도면이다.

도 6은 본 고안의 효과를 나타내는 도면이다.

도 7은 상부패드에서 돌출부끼움공의 위치를 보다 상세히 나타낸 도면이다.

본 고안은 클린룸 바닥판넬 지지장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 첫째 클린룸 바닥판넬 설치, 재조립등의 판넬 이동시에 상부패드의 접힘이 방지되고 둘째 상부패드 및 하부패드가 보다 견고하게 지지봉에 되는 클린룸 바닥판넬 지지장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 제조용 크린룸이나 실험실등의 바닥은 건축물 바닥으로부터 소정 간격 이격되게 설치되는 것이 보통이다. 이를 위해 건축물 바닥으로부터 수개의 지지봉을 설치하고 지지봉위에 평면형상의 포스트캡을 설치한 후 포스트캡의 상부에 바닥판넬을 동일한 간격으로 설치한다. 건축물 바닥과 바닥판넬사이의 공간은 반도체 제조장치나 실험기기들의 케이블, 급배수관, 공조기, 에어컨 통로등의 설치공간이 된다. 이러한 종래의 지지장치로서 한국특허 10-654577호는 아래 도 1 내지 3과 같은 지지장치를 개시하고 있다.

도 1 내지 2는 상기 종래의 클린룸 바닥판넬 지지장치를 나타내는 도면이다.

도 1 에서, 바닥판넬(4)은 지지봉(1)상부에 놓여진다. 이때 지지봉과 바닥판넬사이에는 포스트캡(2)과 패드(3)가 차례로 놓여진다. 포스트캡(2)은 바닥판넬을 보다 단단히 지지하기 위한 평면형상의 판넬로서 지지봉에 체결되고, 패드(3)는 바닥판넬(4)을 올바르게 배열하고 바닥판넬의 충격을 흡수한다.

도 2는 패드(3)의 구조를 보다 상세히 나타낸 도면이다.

패드(3)는 하부의 금속성의 지지패드(6)와 상부의 고무재질의 러버패드(7)로 구성된다. 러버패드(7)에는 외부면에서 중앙부로 만입된 슬릿(slit)형상의 만입부(9)가 형성되어 있으며, 이에 대향하는 위치에 지지패드(6)에는 돌출부(5)가 형성되어 있다. 즉 러버패드(7)가 지지패드(6)의 상부에 놓여지면 지지패드의 돌출부(5)가 러버패드의 만입부(9)를 통과하여 돌출된다. 돌출부(5)는 바닥판넬사이의 경계에 위치하여 바닥판넬을 고정시키고 정렬시키는 기능을 한다.

그러나, 상기와 같은 종래의 지지장치는 바닥판넬의 설치 및 재조립시에 러 버패드가 뒤집히기 쉽다는 문제점이 있다.

도 3은 종래의 러버패드의 단점을 나타낸 도면으로서 뒤집히기 쉬운 부분을 나타낸 도면이다.

도 3에서, 종래의 형상과 같은 러버패드는 만입부가 외부면으로부터 만입된 형상이기 때문에 러버패드의 일면이 좌우로 벌어진 형상이 된다(소위 슬릿 형상, slit). 즉 일반적으로 사각형형상인 러버패드에서 만입부(9)의 형성 때문에 한쪽면은 두개의 면으로 갈라지게 되어 x 부분이 8부분 발생하게 되고, 이 x 부분은 바닥판넬의 설치 및 재조립시에 바닥판넬과의 마찰력으로 인해 뒤집히기 쉽다. 뒤집히게 설치된 러버패드는 충격흡수등의 재기능을 발휘할 수 없을 뿐아니라 바닥판넬이 균일하게 표면이 형성되지 않기 때문에 재조립하여야 하고 이는 설치시에 노동력증가를 필요하게 되어 비효율적이다. 또한 러버패드를 지지패드에 고정시키기 위해 고정부(도 3의 점선부분)를 형성한다하더라도 중간의 x 부분은 여전히 뒤집히기 쉬운 채 남아 있기 때문에 문제점은 여전하다.

따라서, 본 고안은 상기 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 러버패드의 뒤집힘이 방지되는 클린룸 바닥판넬 지지장치를 제공하고자 한다.

또한 본 고안은 바닥판넬을 더욱 더 고정시킬 수 있는 지지장치를 제공하고자 한다.

또한 본 고안은 패드와 지지봉의 체결이 더욱 단단하면서 고정력이 증가된 지지장치를 제공하고자 한다.

전술한 과제를 해결하기 위해 본 고안은, 클린룸 바닥판넬을 지지하는 장치로서, 상단에 편평한 평면판넬의 포스트캡(10)을 포함하는 지지봉(130); 상기 포스트캡(10)의 상부에 놓여지는 평면형상의 금속성 판넬로서, 중앙부에 상기 클린룸 바닥판넬사이를 서로 격리하고 고정할 수 있도록 십자형상으로 돌출된 돌출부(122)를 포함하는 하부패드(120); 및 상기 클린룸 바닥판넬의 충격을 흡수할 수 있도록 상기 하부패드(120)의 상부에 놓여지는 평면형상의 고무재질의 판넬로서, 상기 돌출부(122)가 삽입될 수 있도록 상기 돌출부에 대응하는 위치에 상기 돌출부에 대응되는 형상으로 형성된 돌출부끼움공(112)을 포함하는 상부패드(110)를 포함하고, 상기 상부패드의 돌출부끼움공(112)은, 상기 클린룸 바닥판넬 이동시에 상기 상부패드가 상기 클린룸 바닥판넬과의 마찰에 의해 상기 상부패드의 외부면이 뒤집히지 않도록, 상기 상부패드의 중앙부에 위치하고 옆이 막힌 슬롯(slot)형태로 형성되고, 상기 상부패드(110), 하부패드(120), 및 포스트캡(10)은 서로 동일한 위치에 형성된 체결공(114,124,12)을 관통하는 고정수단(113)에 의해 고정되는데, 여기서 상기 체결공(114,124,12)의 위치는 상기 십자형상으로 형성된 돌출부끼움공(112)에서 서로 인접하는 돌출부끼움공의 사이에 위치하는 것을 특징으로 한다.

일 실시예에서, 상기 상부패드 및 하부패드는 사각형상이고, 상기 상부패드의 하부모서리에는 상기 하부패드방향으로 돌출된 상부패드고정돌출부(116)이 형성되고, 상기 하부패드의 모서리에는 상기 상부패드고정돌출부에 대향하는 위치에 상기 상부패드고정돌출부가 삽입되기 위한 상부패드고정홀(126)이 형성되는 것을 특 징으로 한다.

일 실시예에서, 돌출부끼움공의 길이 a 는 상기 돌출부끼움공의 위치 l 보다 10% 내지 20% 큰 것을 특징으로 한다.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 일 실시예를 상세하게 설명하기로 한다.

도 4는 본 고안에 따른 클린룸 바닥판넬 지지장치(100)를 나타내는 도면이다.

본 고안의 클린룸 바닥판넬 지지장치(100)는 지지봉(130), 하부패드(120) 및 상부패드(110)를 포함한다.

지지봉(130)은 기둥형상의 부재로서 상부말단에 편평한 평면판넬형상의 포스트캡(10)을 포함한다. 포스트캡(10)에는 체결공(12)가 형성되어 있으며, 체결수단(13)을 통해 지지봉(130)에 체결 및 고정된다.

하부패드(120)는 포스트캡(10)의 상부에 놓여지는 평면형상의 판넬로서, 일반적으로 금속성 재료로 형성된다. 하부패드(120)는 중앙부에 클린룸 바닥판넬의 사이를 서로 격리하고 고정시킬 수 있도록 하는 돌출부(122)를 포함한다. 돌출부(122)는 하부패드(122)의 중앙부에서 외부방향을 향해 방사형으로 십자형상으로 배열된다. 4개의 바닥판넬의 모서리를 감싸면서 고정시키기 위함이다.

상부패드(110)는 상기 하부패드(120)의 상부에 놓여지는 평면형상의 판넬로서, 클린룸 바닥판넬의 충격을 흡수할 수 있도록 탄성을 가지는 재료, 바람직하게는 고무재질로 구성된다. 상부패드(110)는 하부패드(120)의 돌출부(122)가 삽입될 수 있는 공간인 돌출부끼움공(112)을 포함한다.

여기서, 돌출부끼움공(112)는 하부패드의 돌출부(122)에 대응하는 위치에 돌출부(122)에 대응하는 형상으로 배열된다. 즉 돌출부(122)와 같이 하부패드의 중심으로부터 방사형의 십자형상으로 배열된다. 특히 상기 돌출부끼움공(112)은 상부패드의 중앙부에서 슬롯(slot)형태로 형성된다. 슬롯(slot)형태란 가늘고 긴 구멍 형상을 말하며, 외부가 터여져 있지 않고 밀폐되어 있다. 즉 돌출부(122)는 슬롯형태의 돌출부끼움공(112)사이를 통과하여 상부방향으로 돌출되며, 돌출부끼움공(112)은 슬롯형태이므로 상부패드(110)의 측면은 갈라져있지 않고 연결되어 있다. 즉 종래와 같이 한쪽이 트여진 슬릿형상(slit)이 아니다.

일 실시예에서, 상부패드(110) 및 하부패드(120)는 사각형상이고, 상부패드의 모서리에는 그 하부표면에 하부패드방향으로 돌출된 상부패드고정돌출부(116)가 형성된다. 또한 하부패드의 모서리에는 상기 상부패드고정돌출부(116)에 대응하는 위치에 상기 상부패드고정돌출부가 삽입되기 위한 상부패드고정홀(126)이 형성된다. 4개의 상부패드고정돌출부(116)가 4개의 상부패드고정홀(126)에 삽입됨으로서 상부패드(110)는 하부패드(120)에 단단하게 고정된다.

도 5는 본 고안에 따른 상부패드를 나타내는 도면이다.

도 4에 나타난 바와 같이, 본 고안에서 상부패드(110), 하부패드(120) 및 포스트캡(10)은 서로 동일한 위치에 형성된 체결공(114,124,12)을 관통하는 고정수단(113)에 의해 고정된다. 즉 고정수단(113) 즉 바람직하게는 볼트가 상부패드의 체결공(114) 및 하부패드의 체결공(122)을 차례로 통과하여 포스트캡의 체결공(12) 에 체결됨으로써, 상부패드 및 하부패드는 포스트캡 즉 지지봉(130)에 고정된다.

특히, 도 5에 나타난 바와 같이, 본 고안에서 체결공(114,124,12)은 십자형상으로 형성된 돌출부끼움공(112)에서 서로 인접하는 돌출부끼움공의 사이에 위치한다. 즉 십자형상으로 배열된 4개의 돌출부끼움공중에서 서로 인접한 돌출부끼움공 사이의 공간에 체결공이 위치한다. 체결공의 위치는 상부패드, 하부패드 및 포스트캡에서 동일하다. 도 5에서는 체결공(114)이 북서방향 및 남동방향에 2개가 형성되어 있지만, 대향하는 나머지 위치 즉 남서방향 및 북동방향에도 위치하는 실시예도 가능하다.

도 6은 본 고안의 효과를 나타내는 도면이다.

상부패드(110)에서 돌출부끼움공(112, 슬롯)은 상부패드의 중앙부에서 방사형으로 십자형상으로 배열된다. 위치 F 는 상부패드고정돌출부(116) 및 상부패드고정홀(126)의 위치이다. 즉 위치 f 는 상부패드가 하부패드에 고정되는 고정점의 위치이다.

도 6에 나타난 바와 같이, 돌출부끼움공(112)은 종래와 같이 옆이 트여진 슬릿형상이 아닌 옆이 막힌 슬롯형상으로 형성되므로, 상부패드의 외곽부분 A 가 뒤집힘이 방지된다. 도 3에 나타난 바와 같이 만입된 형상의 슬릿형상으로 된 종래의 상부패드는 슬릿형상의 만입부로 인해 모서리가 4 + 8 = 12 로 늘어나기 때문에 바닥판넬의 설치 및 이동시에 바닥판넬과 상부패드의 마찰력으로 인해 상부패드의 뒤집히는 부분이 더욱 증가한다. 그러나 본 고안에서는 도 7에 나타난 바와 같이 모서리 부분이 4개 밖에 되지 않고 이 4개 마저도 상부패드고정돌출부 및 상부패드 고정홀의 결합에 의해 고정되어 있으므로( F 점), 상부패드의 뒤집히는 문제점이 방지된다.

또한 본 고안에서, 상부패드, 하부패드 및 포스트캡은 하나의 체결수단을 통해 모두 연결되어 있으므로, 첫째 상부패드의 뒤집힘이 더욱 방지되는 동시에 둘째 서로 단단히 고정된다. 특히, 체결공(114,124,12)은 지지봉(130)의 중앙을 향해 관통하는 것이 아니라 상부패드(110)에서 서로 인접하는 돌출부끼움공의 중간 즉 십자형상의 돌출부끼움공의 각각의 사분면의 여유공간에 위치함으로써 돌출부의 길이가 더욱 중앙으로 연장될 수 있기 때문에, 바닥판넬을 고정시킬 수 있는 힘이 더욱 증가한다(도 1에 나타난 종래의 지지장치는 포스트캡을 지지봉에 연결하는 수단이 중앙에 있기 때문에 돌출부의 길이에 제한이 있었다).

도 7은 상부패드에서 돌출부끼움공의 위치를 보다 상세히 나타낸 도면이다.

앞서 말한 바와 같이 돌출부끼움공(112)은 가늘고 긴 구멍형상의 슬롯형태로 형성되기 때문에 상부패드의 일면이 트여져 있지 않다. 슬롯의 길이 a 는 상부패드의 한 면의 길이의 1/2 길이 즉 c 보다 작으며, 클린룸 바닥판넬을 고정시킬 수 있는 고정력의 크기를 결정한다. a 가 클수록 돌출부의 길이가 길어져서 바닥판넬을 비틀어지지않도록 고정시키고 배열시키는 힘이 강해지기 때문이다.

상부패드의 중심으로부터 슬롯의 바깥측일단까지의 길이 b 는 역시 c 보다 작다. c - b = l 은 슬롯의 위치로 정의된다. l 이 클수록 슬롯은 상부패드의 내부에 치우쳐져 있으므로, 바닥판넬을 고정시키는 힘이 약해지지만 상부패드가 뒤집혀질 가능성은 더욱 낮아진다. 왜냐하면 슬롯에서 비워있는 부분이 아닌 막혀있는 부 분이 더욱 커지기 때문이다. 즉 l 의 길이가 작아지면 슬롯의 길이가 커지고 돌출부의 길이가 커져서 고정력은 증가하지만, 상부패드 외곽부분의 힘이 약해지기 때문에 뒤집혀지기 쉽다(다만 이 경우에도 도 1과 같이 트여진 슬릿형상은 아니기 때문에 뒤집힘은 방지될 수 있는 효과는 여전하다). l 의 길이가 커지면 반대이다.

본 출원인은 반복된 실험을 통해 뒤집의 정도가 감소되는 l 의 범위는 슬롯의 길이와도 연관이 있음을 착안할 수 있었다. 즉 l 이 클수록 뒤집힘이 감소되지만 이미 막혀있기 때문에 그 효과는 그리 크지 않다. 오히려 l이 클수록 슬롯의 길이기 작아지기 때문에 바닥판넬 고정력이 감소되는 위험이 있다. 반복실험결과 슬롯의 길이 a 가 슬롯의 위치 길이 l 가 거의 동일한 위치관계에서, 두 가지 조건을 모두 만족하는 즉 가장 안전한 고정력과 뒤집힘의 방지정도효과를 얻을 수 있었다. 특히 슬롯의 길이 a 가 슬롯의 위치길이 l의 10%~20%의 허용범위내에서 l 보다 큰 것이 바람직하다. 이는 슬롯의 길이를 희생하지 않으면서도 뒤집힘을 방지할 수 있는 최적의 길이이다.

이제까지 본 고안에 대하여 그 바람직한 실시예들을 중심으로 살펴보았다. 본 고안이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 고안이 본 고안의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 개시된 실시예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 고안의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 고안에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.

전술한 바와 같이 본 고안에 의하면, 돌출부끼움공이 옆이 트여진 슬릿형상이 아니라 옆이 막힌 슬롯형상이므로 상부패드의 모서리의 수가 감소되어 바닥판넬의 설치 및 이동시에 바닥판넬과의 마찰에 의해 상부패드가 뒤집히는 문제점이 방지된다.

또한 본 고안에 의하면, 지지봉으로의 체결수단이 통과하는 위치는 상부패드의 중앙이 아니라 십자형상으로 배열된 돌출부끼움공의 여유공간 즉 십자형상의 사분면의 여유공간에 위치하므로, 돌출부의 길이를 중앙방향으로 더욱 증가시킬 수 있기 때문에 클린룸 바닥판넬을 더욱 단단히 고정시킬 수 있다.

또한 본 고안에 의하면, 상부패드, 하부패드 및 포스트캡이 체결수단을 통해 한꺼번에 체결되므로, 서로 더욱 단단히 고정되며 상부패드의 뒤집힘이 더욱 방지된다.

또한 본 고안에 의하면, 바닥판넬의 고정력을 희생하지 않고도 뒤집힘이 방지되는 돌출부끼움공의 위치를 결정할 수 있다.

Claims (3)

1. 클린룸 바닥판넬을 지지하는 장치로서,

   상단에 편평한 평면판넬의 포스트캡(10)을 포함하는 지지봉(130);

   상기 포스트캡(10)의 상부에 놓여지는 평면형상의 금속성 판넬로서, 중앙부에 상기 클린룸 바닥판넬사이를 서로 격리하고 고정할 수 있도록 십자형상으로 돌출된 돌출부(122)를 포함하는 하부패드(120); 및

   상기 클린룸 바닥판넬의 충격을 흡수할 수 있도록 상기 하부패드(120)의 상부에 놓여지는 평면형상의 고무재질의 판넬로서, 상기 돌출부(122)가 삽입될 수 있도록 상기 돌출부에 대응하는 위치에 상기 돌출부에 대응되는 형상으로 형성된 돌출부끼움공(112)을 포함하는 상부패드(110)를 포함하고,

   상기 상부패드의 돌출부끼움공(112)은, 상기 클린룸 바닥판넬 이동시에 상기 상부패드가 상기 클린룸 바닥판넬과의 마찰에 의해 상기 상부패드의 외부면이 뒤집히지 않도록, 상기 상부패드의 중앙부에 위치하고 옆이 막힌 슬롯(slot)형태로 형성되고,

   상기 상부패드(110), 하부패드(120), 및 포스트캡(10)은 서로 동일한 위치에 형성된 체결공(114,124,12)을 관통하는 고정수단(113)에 의해 고정되는데, 여기서 상기 체결공(114,124,12)의 위치는 상기 십자형상으로 형성된 돌출부끼움공(112)에서 서로 인접하는 돌출부끼움공의 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 클린룸 바닥판넬 지지장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 상부패드 및 하부패드는 사각형상이고,

   상기 상부패드의 하부모서리에는 상기 하부패드방향으로 돌출된 상부패드고정돌출부(116)이 형성되고,

   상기 하부패드의 모서리에는 상기 상부패드고정돌출부에 대향하는 위치에 상기 상부패드고정돌출부가 삽입되기 위한 상부패드고정홀(126)이 형성되는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 클린룸 바닥판넬 지지장치.
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