KR20040041012A - A pre-discharging apparatus for a slit coater - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 예를 들면 유리기판이나 반도체 웨이퍼 등의 판형상 피처리물 표면에 레지스트액이나 현상액, 컬러 필터 등의 도포액을 슬릿형상 개구부로부터 아래로 흘려서 도포하는 슬릿 코팅기의 예비 토출장치에 관한 것이다.The present invention relates to a preliminary ejection apparatus for a slit coater, for example, which flows a coating liquid, such as a resist liquid, a developing liquid, a color filter, or the like onto a surface of a plate-like object such as a glass substrate or a semiconductor wafer by flowing down from a slit-shaped opening. .
슬릿 코팅기를 사용하여 연속적으로 다수의 기판 표면에 도포액을 공급하는 경우, 도포작업과 도포작업 사이의 대기시간에 공기와의 접촉에 의해 토출 노즐 선단부의 도포액 일부의 농도가 상승한다. 그리고, 이 상태 그대로 다음 기판에 계속해서 도포하면, 고농도화된 도포액에 의해 세로 선이 발생하거나, 막 찢어짐이 발생한다.When the coating liquid is continuously supplied to the surfaces of a plurality of substrates using a slit coater, the concentration of the coating liquid portion at the distal end of the discharge nozzle increases due to contact with air during the waiting time between the coating operation and the coating operation. And if it apply | coats continuously to the next board | substrate as it is in this state, a vertical line will generate | occur | produce or a film will tear by the highly concentrated coating liquid.
상기의 불리한 점을 해결하기 위해 세척액을 보유하는 세척조 내에 회전 롤러를 배치하여, 이 회전 롤러의 상부(上部)를 세척액 보다도 윗쪽으로 돌출시키고, 돌출된 회전 롤러의 표면에 슬릿 코팅기의 토출 노즐을 근접시켜, 여분의 도포액을 토출 노즐로부터 빼내서 회전 롤러의 표면에 부착시켜 제거하도록 한 선행기술이 알려져 있다(특허문헌 1:일본국 특허공개 제2001-310147호).In order to solve the above disadvantages, the rotary roller is disposed in the washing tank holding the washing liquid, the upper portion of the rotating roller is projected upward than the washing liquid, and the discharge nozzle of the slit coater is placed close to the surface of the rotating roller. It is known that the prior art in which the excess coating liquid is removed from the discharge nozzle and attached to the surface of the rotating roller to be removed (Patent Document 1: Japanese Patent Laid-Open No. 2001-310147).
또한, 액체와 공기를 혼합하여 분출하는 2유체 노즐에 대해서는, 특허문헌 2(일본국 특허공개 제2003-145062호) 및 특허문헌 3(일본국 특허공개 제2003-145064호)에 기재되어 있다.In addition, the two-fluid nozzle which mixes and ejects a liquid and air is described in patent document 2 (Japanese Patent Laid-Open No. 2003-145062) and patent document 3 (Japanese Patent Laid-Open No. 2003-145064).
상술한 슬릿 코팅기의 예비 토출장치에 있어서는, 회전 롤러의 표면을 향해 세척액을 분출하는 샤워 노즐을 구비하고 있지만, 이 샤워 노즐로부터 분출하는 세척액은 회수 탱크에 회수된 세척액을 순환시켜 사용하고 있다.The preliminary discharge device of the slit coater described above is provided with a shower nozzle for ejecting the washing liquid toward the surface of the rotating roller, but the washing liquid sprayed from the shower nozzle is used by circulating the washing liquid recovered in the recovery tank.
이와 같이, 종래에는 샤워 노즐로부터 한번 사용한 세척액을 분출하고 있기 때문에, 세척 능력면에서 신액(新液)을 공급하는 경우에 비해 떨어진다. 반대로 신액만을 공급한 경우에는 비용적으로 불리해진다.Thus, since the washing liquid used once is ejected from the shower nozzle conventionally, it is inferior compared with the case of supplying a fresh liquid from a washing ability. On the contrary, when only fresh liquid is supplied, it becomes disadvantageous in cost.
또한, 종래에는 세척 후의 회전 롤러 표면의 건조를 배기(排氣)에 의해 행하도록 하고 있지만, 건조에 시간이 걸리고, 또한 회전 롤러 표면에 부착되어 농축된 도포액을 박리하기 어렵다는 문제도 있다.In addition, although drying of the surface of the rotating roller after washing is conventionally performed by exhaust, there also exists a problem that it takes time to dry and it is difficult to peel off the coating liquid concentrated and adhered to the rotating roller surface.
도 1은 본 발명의 예비 토출장치를 일부로서 넣은 도포장치의 전체도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is an overall view of a coating apparatus in which a preliminary ejection apparatus of the present invention is put as a part.
도 2는 본 발명의 예비 토출장치의 전체도이다.2 is an overall view of a preliminary ejection apparatus of the present invention.
도 3은 액면 조정에 대해서 설명한 도면이다.3 is a diagram explaining liquid level adjustment.
도 4는 본 발명의 예비 토출장치의 별도 실시예의 전체도이다.4 is an overall view of another embodiment of the preliminary ejection apparatus of the present invention.
부호의 설명Explanation of the sign
1…베이스One… Base
2…다리2… Bridge
3…테이블3... table
4…수평 플레이트4… Horizontal plate
5…핀5... pin
6…관통구멍6... Through hole
7…리니어 모터7... Linear motor
8…이동부재8… Moving member
9…슬릿 노즐9... Slit nozzle
11…세척조11... Washing tank
12…원통형상 프라이밍 롤러12... Cylindrical Priming Roller
13,14…뚜껑체13,14... Valve body
15…제1 순환액 샤워 노즐15... First circulating fluid shower nozzle
16…건조 가스를 분출하는 노즐16... Nozzle to Blow Dry Gas
17…제1 스퀴지(squeegee)17... First squeegee
17a,20a…나사부재17a, 20a... Screw member
18…제2 순환액 샤워 노즐18... Second circulating fluid shower nozzle
19…브러쉬 롤러19... Brush roller
20…제2 스퀴지20... Second squeegee
21…신액 샤워 노즐21... New liquid shower nozzle
22…배기 덕트22... Exhaust duct
23…회전 막대23... Rotating rod
24…세척액 또는 질소가스를 분출하는 노즐24... Nozzle to eject cleaning liquid or nitrogen gas
25…회수로25... Recovery
26…배수구26... waterspout
27…액면 조정용 배액부재(排液部材)27... Drainage member for liquid level adjustment
28…제1 순환액 2유체(流體) 노즐28... First circulating fluid two-fluid nozzle
29…제2 순환액 샤워 노즐29... Second circulating fluid shower nozzle
30…신액 2유체 노즐30... New liquid two fluid nozzle
31…버블링 노즐31... Bubbling nozzle
32…폐액통로(트랩 탱크)32... Waste passage (trap tank)
33…폐액통로(순환용 버퍼 탱크)33.. Waste passage (circulation buffer tank)
C…도포장치C… Coating device
P…예비 토출장치P… Preliminary Discharge Device
상기 과제를 해결하기 위해 본 발명은 세척조 내에 회전 롤러와 회전 롤러의 표면을 향해 세척액을 분출하는 샤워 노즐을 배치한 예비 토출장치로서, 상기 샤워 노즐은 신액을 분출하는 신액 샤워 노즐과 순환액을 분출하는 순환액 샤워 노즐로 구성되고, 신액 샤워 노즐은 회전 롤러의 회전방향을 기준으로 하여 순환액 샤워 노즐 보다도 앞쪽에 위치시켰다.In order to solve the above problems, the present invention provides a preliminary ejection apparatus including a rotating nozzle and a shower nozzle for ejecting a cleaning liquid toward a surface of the rotating roller in a washing tank, wherein the shower nozzle ejects a new liquid shower nozzle and a circulating fluid for ejecting new liquid. It consists of a circulating fluid shower nozzle, and the new liquid shower nozzle was located ahead of the circulating fluid shower nozzle on the basis of the rotation direction of the rotating roller.
이러한 구성으로 함으로써, 순환액(세척액)으로 거친 세척을 행하고, 신액(세척액)으로 마무리 세척을 행할 수 있다.By setting it as such a structure, coarse washing with a circulating fluid (washing liquid) can be performed and finishing washing with a new liquid (washing liquid) can be performed.
순환액 샤워 노즐로서는 하나에 한정되지 않고, 상부 순환액 샤워 노즐과 하부 순환액 샤워 노즐로 나눔으로써 세척효과가 더욱 향상된다.The circulating fluid shower nozzle is not limited to one, and the cleaning effect is further improved by dividing into an upper circulating fluid shower nozzle and a lower circulating fluid shower nozzle.
또한, 회전 롤러의 표면 건조를 빠르게 하기 위해, 신액 샤워 노즐의 윗쪽에 건조 가스를 분출하는 가스 분출 노즐을 배치해도 된다.Moreover, in order to accelerate the surface drying of a rotating roller, you may arrange | position the gas blowing nozzle which blows out drying gas on the upper side of a new liquid shower nozzle.
또한, 스퀴지를 조정 가능하게 설치함으로써, 회전 롤러의 표면에 부착되어 농축된 도포액을 효과적으로 긁어 떨어뜨릴 수 있다.In addition, by providing the squeegee in an adjustable manner, the coating liquid attached to the surface of the rotating roller can be effectively scraped off.
또한, 세척조 내의 세척액 중에 일부가 침지되는 브러쉬 롤러로 회전 롤러 표면을 세척해도 된다. 브러쉬 롤러를 사용함으로써 효과적으로 회전 롤러의 표면을 청소할 수 있다. 더욱이 브러쉬 롤러에 부착되어 농축된 도포액을 제거하기 위해 브러쉬 롤러의 근방에 회전 막대, 가스 또는 세척액을 분출하는 노즐을 설치해도 된다.In addition, you may wash the surface of a rotating roller with the brush roller in which one part is immersed in the washing | cleaning liquid in a washing tank. By using a brush roller, the surface of the rotating roller can be cleaned effectively. Furthermore, in order to remove the coating liquid concentrated and attached to a brush roller, you may provide the nozzle which ejects a rotating rod, gas, or a washing | cleaning liquid in the vicinity of a brush roller.
더욱이, 세척조 내에 상하 위치가 가변적인 액면 조정용 배액구(排液口)를 설치하여, 세척액의 액면을 회전 롤러의 하단(下端) 보다도 윗쪽 또는 아랫쪽이 되도록 조정할 수 있는 구성으로 하는 것이 가능하다.In addition, it is possible to provide a liquid level adjusting drainage opening having a variable vertical position in the washing tank so that the liquid level of the washing liquid can be adjusted to be above or below the lower end of the rotary roller.
이상 설명한 바와 같이 본 발명의 슬릿 노즐의 예비 토출장치에 의하면, 샤워 노즐을 신액용과 순환액용으로 나눠, 회전 롤러(프라이밍 롤러)의 회전방향을 기준으로 하여 신액 샤워 노즐을 순환액 샤워 노즐 보다도 앞쪽에 위치시켰기 때문에, 거친 세척과 마무리 세척을 효율적으로 행할 수 있다.As described above, according to the preliminary ejection apparatus of the slit nozzle of the present invention, the shower nozzle is divided into a new liquid and a circulating liquid, and the new liquid shower nozzle is placed in front of the circulating fluid shower nozzle on the basis of the rotation direction of the rotating roller (priming roller). Because of the positioning, coarse washing and finishing washing can be efficiently performed.
또한, 샤워 노즐의 아랫쪽에 스퀴지를 설치함으로써, 회전 롤러 표면에 부착되어 있는 도포액을 효과적으로 긁어서 떨어뜨릴 수 있다.In addition, by providing a squeegee under the shower nozzle, the coating liquid adhering to the rotating roller surface can be effectively scraped off.
또한, 샤워 노즐 외에 브러쉬 롤러를 설치함으로써, 회전 롤러 표면에 부착되어 농축된 도포액을 효과적으로 박리할 수 있어, 회전 롤러 표면을 청정하게 유지할 수 있다.In addition, by providing a brush roller in addition to the shower nozzle, the coating liquid attached to the surface of the rotating roller can be effectively peeled off, and the surface of the rotating roller can be kept clean.
샤워 노즐을 2유체 노즐로 변경함으로써 적은 액량으로 효율적으로 세척할 수 있고, 그 밖에 버블링 노즐을 설치함으로써 회전 롤러 표면에 부착되어 있는 도포액을 더욱 효과적으로 박리할 수 있다.By changing the shower nozzle to a two-fluid nozzle, it is possible to efficiently wash with a small amount of liquid. In addition, by providing a bubbling nozzle, the coating liquid adhering to the rotating roller surface can be more effectively peeled off.
더욱이, 액면 조정용 배액부재에 의해 세척조 내의 세척액의 액면을 조정 가능하게 함으로써, 세척액의 오염정도에 따른 세척방법을 채용할 수 있고, 세척액의 유효한 이용을 꾀할 수 있다.Furthermore, by enabling the liquid level of the washing liquid in the washing tank to be adjusted by the liquid level adjusting drainage member, a washing method according to the degree of contamination of the washing liquid can be adopted, and the effective use of the washing liquid can be attained.
이하에 본 발명의 실시형태를 첨부하는 도면을 토대로 설명한다. 여기에서 도 1은 본 발명의 예비 토출장치를 일부로서 넣은 도포장치의 전체도이고, 도 2는 본 발명의 예비 토출장치를 나타내는 전체도이며, 도 3은 액면 조정에 대해 설명한 도면이고, 도 4는 본 발명의 예비 토출장치의 별도 실시예를 나타내는 전체도이다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Below, embodiment of this invention is described based on drawing attached. Here, FIG. 1 is a whole view of the coating device which put the preliminary discharge apparatus of this invention as a part, FIG. 2 is a whole view which shows the preliminary discharge apparatus of this invention, FIG. 3 is a figure explaining liquid level adjustment, FIG. Is an overall view of another embodiment of the preliminary ejection apparatus of the present invention.
도 1에 있어서 C는 도포장치이고, P는 예비 토출장치이며, 본 실시예에서는 도포장치(C)로서 리니어 모터를 이용한 비접촉타입을 나타내고 있지만, 도포장치는 이것에 한정되지 않는다.In FIG. 1, C is a coating apparatus, P is a preliminary discharge apparatus, and in this embodiment, although the non-contact type which used the linear motor as the coating apparatus C is shown, a coating apparatus is not limited to this.
먼저, 도포장치(C)는 베이스(1)의 윗면에 높이 조정기구를 구비한 다리(2)를 매개로 하여 테이블(3)을 설치하고, 도시하지 않는 실린더 유닛에서 오르고 내리는 수평 플레이트(4)에 피처리기판(W)를 테이블(3)으로부터 들어 올리기 위한 핀(5)를설치하여, 이 핀(5)를 테이블(3)의 관통구멍(6)에 면하게 하고 있다.First, the applicator C installs a table 3 via a leg 2 having a height adjusting mechanism on the upper surface of the base 1, and the horizontal plate 4 which rises and falls in a cylinder unit (not shown). A pin 5 for lifting the substrate W from the table 3 is provided so that the pin 5 faces the through hole 6 of the table 3.
또 베이스(1)의 윗면에는 리니어 모터(7)을 매개로 하여 이동부재(8)이 도 1에 있어서 좌우방향으로 이동 가능하게 지지되고, 이 이동부재(8)에 슬릿 노즐(9)가 자유자재로 오르고 내리도록 설치되어 있다.Moreover, the movable member 8 is supported by the upper surface of the base 1 via the linear motor 7 so that a movement to the left-right direction in FIG. 1 is possible, and the slit nozzle 9 is free in this movable member 8 is possible. It is installed to climb up and down.
한편, 베이스(1)의 한쪽 끝(도 1의 왼쪽 끝)에는 예비 토출장치(P)가 배치되어 있다. 예비 토출장치(P)는 도 2에 나타내는 바와 같이, 세척액을 저류(貯留)하는 세척조(11) 내에 원통형상 프라이밍 롤러(12)가 자유자재로 회전되도록 배치되어 있다. 이 원통형상 프라이밍 롤러(12)는 스테인레스, 알루미늄, 티탄 등으로 형성되고, 그 치수는 직경이 30~100 mm, 길이가 슬릿 노즐(9)의 길이방향의 길이 보다도 약간 크게 설정되며, 예비 토출시에는 슬릿 노즐(9) 하단(노즐 구멍)과의 간격은 25~300 ㎛가 된다.On the other hand, the preliminary ejection apparatus P is arrange | positioned at one end (left end of FIG. 1) of the base 1. As shown in FIG. As shown in FIG. 2, the preliminary discharge apparatus P is arrange | positioned so that the cylindrical priming roller 12 may rotate freely in the washing tank 11 which stores a washing | cleaning liquid. The cylindrical priming roller 12 is formed of stainless steel, aluminum, titanium, or the like, the dimension of which is set to a diameter of 30 to 100 mm and a length slightly larger than the length of the slit nozzle 9 in the longitudinal direction. The distance from the lower end (nozzle hole) of the slit nozzle 9 is 25 to 300 m.
또한, 개방된 세척조(11) 윗면에는 뚜껑체(13,14)를 설치하고, 이들 뚜껑체(13,14)의 안쪽 끝을 원통형상 프라이밍 롤러(12)에 접근시켜 세척액의 증발을 가능한 한 막고 있다. 그리고, 뚜껑체(13)에는 순환하는 세척액을 분출하는 제1 순환액 샤워 노즐(15)를 형성하고, 뚜껑체(14)에는 공기, 질소가스 등의 건조 가스를 분출하는 노즐(16)을 형성하고 있다.In addition, the lids 13 and 14 are installed on the upper surface of the open washing tank 11, and the inner ends of the lids 13 and 14 are approached to the cylindrical priming roller 12 to prevent evaporation of the washing liquid as much as possible. have. And the lid body 13 is formed with the 1st circulating fluid shower nozzle 15 which blows out the circulating washing | cleaning liquid, and the nozzle body 14 is formed with the nozzle 16 which blows out dry gas, such as air and nitrogen gas, in the lid body 14. Doing.
또한, 원통형상 프라이밍 롤러(12)의 회전방향을 기준으로 하여, 뚜껑체(13)으로부터 뚜껑체(14)를 향해 제1 스퀴지(17), 제2 순환액 샤워 노즐(18), 브러쉬 롤러(19), 제2 스퀴지(20) 및 새로운 세척액을 분출하는 신액 샤워 노즐(21)을 배치하고 있다.Further, the first squeegee 17, the second circulating fluid shower nozzle 18, and the brush roller (from the lid body 13 toward the lid body 14 on the basis of the rotational direction of the cylindrical priming roller 12). 19), the 2nd squeegee 20 and the new liquid shower nozzle 21 which ejects a fresh washing | cleaning liquid are arrange | positioned.
상기 제1 스퀴지(17) 및 제2 스퀴지(20)은 세척조(11)의 측벽에 나사부재(17a,20a)를 매개로 하여 설치되고, 나사부재의 조이는 양을 조정함으로써 프라이밍 롤러(12)에 대한 돌출량이 변화된다.The first squeegee 17 and the second squeegee 20 are installed on the side walls of the washing tank 11 via the screw members 17a and 20a, and the tightening amount of the screw members is adjusted to the priming roller 12. The amount of protrusion relative to is changed.
또한, 세척조(11)의 측벽에는 배기 덕트(22)가 개구하는 동시에, 세척조(11)의 바닥부에는 브러쉬 롤러(19)를 세척하는 회전 막대(23) 및 브러쉬 롤러(19)를 향해 세척액 또는 질소가스를 분출하는 노즐(24)를 설치하고 있다.In addition, the exhaust duct 22 is opened at the side wall of the washing tank 11, and at the bottom of the washing tank 11, the washing liquid or the cleaning liquid is directed toward the rotating rod 23 and the brush roller 19 for washing the brush roller 19. The nozzle 24 which blows out nitrogen gas is provided.
상기 회전 막대(23)은 그 자체가 회전하는 것이 아니라, 회전하는 브러쉬 롤러(19)에 접촉하여 브러쉬 롤러(19)에 부착된 고형상 도포액 등의 오염을 제거하는 작용을 발휘한다. 상기 노즐(24)는 브러쉬 롤러(19)에 부착된 고형상 도포액 등의 오염을 제거하기 위해 세척액 또는 질소가스를 분출하고 있다. 또 노즐(24)로부터 공기를 분출시키지 않고 질소가스를 분출하도록 한 것은 세척액의 열화(劣化)를 방지하기 위함이다. 이들 회전 막대(23)과 노즐(24)는 병용해서 사용해도 되고, 개별적으로 사용해도 된다.The rotating rod 23 does not rotate itself, but functions to contact the rotating brush roller 19 to remove contamination such as a solid coating liquid attached to the brush roller 19. The nozzle 24 ejects a cleaning liquid or nitrogen gas to remove contamination such as a solid coating liquid attached to the brush roller 19. The purpose of preventing nitrogen gas from being blown out of the nozzle 24 is to prevent deterioration of the washing liquid. These rotating rod 23 and the nozzle 24 may be used together and may be used individually.
또한, 도 3에 나타내는 바와 같이, 세척조(11)의 바닥부에는 회수로(25)로 연결되는 배수구(26)이 형성되고, 세척조(11) 내의 세척액을 필터를 매개로 해서 회수하여, 다시 제1 및 제2 순환액 샤워 노즐(15,18)로부터 프라이밍 롤러(12)를 향해 분출되도록 하고 있다. 또한, 배수구(26)의 형상은 윗쪽을 향해 넓어지는 테이퍼형상을 이뤄, 용제가 증발함으로써 농축된 도포액 등의 회수를 용이하게 행할 수 있도록 하고 있다. 배수구(26)을 테이퍼형상으로 하는 대신에 세척조(11)의 바닥면 전체를 배수구(26)를 향해 경사지게 해도 된다.In addition, as shown in FIG. 3, a drain port 26 connected to the recovery passage 25 is formed at the bottom of the washing tank 11, and the washing liquid in the washing tank 11 is recovered through a filter, and again From the 1st and 2nd circulating fluid shower nozzles 15 and 18, it blows toward the priming roller 12. As shown in FIG. Moreover, the shape of the drain port 26 forms the taper shape which spreads upwards, and it is easy to collect | recover the concentrated coating liquid etc. by evaporating a solvent. Instead of making the drain port 26 tapered, the entire bottom surface of the washing tank 11 may be inclined toward the drain port 26.
또한, 회수로(25)로부터 뻗어 있는 액면 조정용 배액부재(27)이 세척조(11)의 바닥부를 관통하여 세척조(11) 내에 면하고 있다. 이 액면 조정용 배액부재(27)은 상단(上端)을 배액구로 하는 동시에 상하 위치 조종이 가능해져, 가장 높은 위치에서 세척액의 액면이 프라이밍 롤러(12)의 하단 보다도 위가 되고, 가장 낮은 위치에서 세척액의 액면이 프라이밍 롤러(12)의 하단 보다도 아래가 되도록 하고 있다. 또한, 브러쉬 롤러(19)에 대해서는 액면 조정용 배액부재(27)이 가장 높은 위치에서 세척액의 액면이 브러쉬 롤러(19)의 상단 보다도 아래가 되고, 가장 낮은 위치에서 세척액의 액면이 브러쉬 롤러(19)의 하단 보다도 위가 되도록 설정하고 있다.In addition, the liquid level adjustment drain member 27 extending from the recovery passage 25 passes through the bottom of the washing tank 11 and faces the washing tank 11. The liquid level adjusting drainage member 27 has an upper end as a drainage port and can be controlled in an up and down position, so that the liquid level of the washing liquid is higher than the lower end of the priming roller 12 at the highest position, and the washing liquid at the lowest position. The liquid level of is lower than the lower end of the priming roller 12. For the brush roller 19, the liquid level of the cleaning liquid is lower than the upper end of the brush roller 19 at the position where the liquid level adjusting drainage member 27 is the highest, and the liquid level of the cleaning liquid is at the lowest position of the brush roller 19. It is set to be above the bottom of.
이상과 같이 구성함으로써, 세척액이 청정한 경우에는 액면 조정용 배액부재(27)을 높은 위치로 하여 프라이밍 롤러(12)의 하단을 직접 세척액 중에 침지시키고, 세척액 중에 도포액 농도 등이 증대된 경우에는 액면 조정용 배액부재(27)을 내리고 세척액의 액면에서 프라이밍 롤러(12)를 부유시켜, 샤워 노즐(15,18,21) 및 브러쉬 롤러(19)에 의해 프라이밍 롤러(12) 표면을 세척한다.With the above construction, when the washing liquid is clean, the liquid level adjusting drainage member 27 is set to a high position, and the lower end of the priming roller 12 is directly immersed in the washing liquid, and when the coating liquid concentration is increased in the washing liquid, the liquid level is adjusted. The draining member 27 is lowered and the priming roller 12 is floated at the liquid level of the washing liquid, and the surface of the priming roller 12 is washed by the shower nozzles 15, 18, 21 and the brush roller 19.
또한 도 4에 나타내는 바와 같이, 제1 순환액 샤워 노즐(15)를 제1 순환액 2유체 노즐(28)로, 제2 순환액 샤워 노즐(18)을 제2 순환액 샤워 노즐(29)로, 신액 샤워 노즐(21)을 신액 2유체 노즐(30)으로 치환하는 것도 가능하다. 2유체 노즐은 액체에 기체를 불어 넣어 안개상태로 하기 때문에, 액체의 표면적이 커져 원통형상 프라이밍 롤러(12)에 부착된 도포액에도 잘 어우러져 제거하기 쉬워진다. 더욱이, 세척액의 사용량도 대폭으로 삭감할 수 있다.As shown in FIG. 4, the first circulating fluid shower nozzle 15 is the first circulating fluid two-fluid nozzle 28, and the second circulating fluid shower nozzle 18 is the second circulating fluid shower nozzle 29. It is also possible to replace the new liquid shower nozzle 21 with the new liquid two-fluid nozzle 30. Since the two-fluid nozzle blows gas into the liquid to form a fog state, the surface area of the liquid is increased, so that the two-fluid nozzle is also well matched with the coating liquid attached to the cylindrical priming roller 12 to be easily removed. In addition, the amount of washing liquid used can be significantly reduced.
또한, 세척조(11)의 바닥부에 버블링 노즐(31)을 설치하여 브러쉬 롤러(19)와 치환해도 되고, 병용해도 된다. 버블링 노즐(31)의 액 분출수단으로서는 예를 들면 분수와 같이 어느 일정량의 세척액을 분출시켜 원통형상 프라이밍 롤러(12)에 부착된 도포액을 씻어 흘리는 방법이나, 기체를 포함한 거품형상의 세척액으로 도포액을 씻어 흘리는 방법 등이 있다.Moreover, the bubbling nozzle 31 may be provided in the bottom part of the washing tank 11, and may be substituted with the brush roller 19, or may be used together. As the liquid ejecting means of the bubbling nozzle 31, a predetermined amount of washing liquid, such as a fountain, is ejected to wash the coating liquid attached to the cylindrical priming roller 12, or a foaming washing liquid containing gas is used. The method of washing and pouring a coating liquid is mentioned.
또한, 제1 순환액 2유체 노즐(28)쪽에는 트랩 탱크(도시하지 않음)로 연결되는 폐액통로(32)가, 신액 2유체 노즐(30)쪽에는 순환용 버퍼 탱크(도시하지 않음)로 연결되는 폐액통로(33)이 개구하고 있다.In addition, a waste passage 32 connected to a trap tank (not shown) is connected to the first circulating fluid two-fluid nozzle 28, and a circulation buffer tank (not shown) is connected to the new liquid two-fluid nozzle 30. The waste liquid path 33 to be connected is opened.
또한, 실시예에 있어서는 신액 샤워 노즐을 설치한 예비 토출장치에 대해 설명하였지만, 신액 샤워 노즐을 설치하지 않고 순환액 샤워 노즐만을 설치한 예비 토출장치로 해도 된다.In addition, although the preliminary discharge apparatus provided with the new liquid shower nozzle was demonstrated in the Example, it is good also as a preliminary discharge apparatus provided only the circulating liquid shower nozzle, without providing a new liquid shower nozzle.
본 발명에 의한 슬릿 코팅기의 예비 토출장치는 반도체 제조장치 뿐 아니라 액정표시장치나 플라즈마 디스플레이 등 IT관련 제조장치로의 응용이 가능하다.The preliminary ejection apparatus of the slit coater according to the present invention can be applied not only to a semiconductor manufacturing apparatus but also to an IT related manufacturing apparatus such as a liquid crystal display or a plasma display.
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