KR20040005359A - 기판 안착상태 감지장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 센서를 이용하여 기판의 비정상적인 안착상태를 감지할 수 있도록 함으로써 기판의 비정상적인 안착에 의한 기판의 불량발생을 줄일 수 있도록 한 기판 안착상태 감지장치를 제공한다.
이는 해당 유니트 내의 소정 위치에, 기판의 안착상태를 감지하기 위해 소정의 빛을 발광하는 복수개의 발광센서와 상기 발광센서로부터 발광되는 빛을 수광하는 복수개의 수광센서를 설치하거나 또는 플레이트의 상측에 마련된 커버에, 기판의 안착상태를 감지하기 위해 상기 기판으로부터의 거리를 감지하는 복수개의 감지센서를 소정 간격으로 설치함에 의해 달성될 수 있으며, 이러한 본 발명은 센서를 이용하여 간단히 기판의 비정상적인 안착상태를 감지하여 이에 따라 해당 조치를 취할 수 있도록 함으로써 기판의 비정상적인 안착에 의한 기판의 불량발생을 줄일 수 있어 생산성 증가 및 생산원가를 절감할 수 있게 된다.

Description

기판 안착상태 감지장치{SENSING APPARATUS FOR SUBSTRATE LOADING STSTUS}
본 발명은 기판 안착상태 감지장치에 관한 것으로, 특히 센서를 이용하여 기판의 비정상적인 안착을 감지할 수 있도록 하는 기판 안착상태 감지장치에 관한 것이다.
반도체 생산공정 중 포토리쏘그래피 공정에서 진행하는 핫 플레이트(Hot Plate), 쿨 플레이트(Cool Plate), 접착 유니트(Adhesion Unit)는 웨이퍼나 LCD 등의 기판이 각 처리 유니트 내부로 이송되어와 플레이트에 안착된 후, 각 유니트의 고유한 공정처리를 수행하도록 되어 있다.
이때, 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 유니트(1) 내의 플레이트(2)에는 도시하지 않은 핑거 등에 의해 이송되어 온 기판(3)을 정확히 안착시키기 위해 소정 간격으로 얼라인 가이드(4) 및 갭 스페이서(Gap Spacer)(5)가 구비되어 있어, 기판(3)가 플레이트(2)에 정확히 안착될 수 있도록 하고 있다.
그러나 기판을 이송하는 반송 로봇의 기판 전송시 오차와 각 유니트 내부에 설치되어 있는 얼라인 가이드, 갭 스페이서의 마찰로 인해서 기판이 플레이트에 비정상적으로 안착될 수 있으며, 기판의 비정상적인 안착시에도 소정의 공정이 그대로 진행될 수 있다.
이에 따라 소정 공정이 진행된 후에야 기판을 불량처리하게 되는 경우가 종종 발생하며, 이는 생산성 저하 및 원가상승의 원인이 된다.
본 발명은 이러한 점을 감안한 것으로, 기판의 불완전 안착을 감지할 수 있는 센서를 설치하여 기판의 비정상적인 안착상태를 감지할 수 있도록 함으로써 각각의 유니트의 공정 진행전에 기판의 비정상적인 안착의 감지가 가능토록 한 기판 안착상태 감지장치를 제공함에 그 목적이 있다.
도 1 및 도 2는 일반적인 기판 안착상태의 설명을 위한 도.
도 3 및 도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 개념 구성도 및 단면도.
도 5는 본 발명의 이해를 돕기 위한 비정상적인 기판 안착상태를 나타낸 도.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 동작 설명도.
도 7은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 구성도.
도 8은 도 7의 부가 설명도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1 : 유니트 2 : 플레이트
3 : 기판 4 : 얼라인 가이드
5 : 갭 스페이서 6a,7a : 발광센서
6b,7b : 수광센서 11 : 커버
12a-12c : 감지센서
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 안착상태 감지장치는, 해당 유니트 내의 플레이트에 기판의 안착을 안내하기 위해 소정 간격으로 얼라인 가이드 및 갭 스페이서가 설치되어 있는 기판 처리장치에 있어서, 상기 유니트 내의 소정 위치에, 상기 기판의 안착상태를 감지하기 위해 소정의 빛을 발광하는 복수개의 발광센서와 상기 발광센서로부터 발광되는 빛을 수광하는 복수개의 수광센서를 설치하되, 상기 발광센서 및 수광센서는 서로 쌍을 이루도록 설치됨과 더불어 쌍을 이루는 발광센서 및 수광센서는 서로 대각선 방향에 위치하도록 설치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 실시 예에 의하면, 해당 유니트 내의 플레이트에 기판의 안착을 안내하기 위해 소정 간격으로 얼라인 가이드 및 갭 스페이서가 설치되어 있는 기판 처리장치에 있어서, 상기 플레이트의 상측에 마련된 커버에, 상기 기판의 안착상태를 감지하기 위해 상기 기판으로부터의 거리를 감지하는 복수개의 감지센서가 소정 간격으로 구비된 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명을 첨부된 도면을 참조로 보다 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 안착상태 감지장치를 소정의 유니트에 구비시킨 경우에 대한 개념 구성도이고, 도 4는 이의 개략적인 단면도를 도시한 것이다.
이에 도시한 바와 같이, 유니트(1) 내의 플레이트(2)에는 도시하지 않은 핑거에 의해 이송되어 온 웨이퍼나 LCD 등의 기판(3)의 안착을 안내하기 위해 소정 간격으로 얼라인 가이드(4) 및 갭 스페이서(5)가 설치되어 있다.
또한, 상기 유니트(1)내의 소정 위치에 상기 기판(3)의 비정상적인 안착을 감지하기 위한 발광센서(6a),(7a) 및 수광센서(6b),(7b)가 설치되어 있다.
상기 발광센서(6a),(7a)와 수광센서(6b),(7b)는 기판(3)이 플레이트(2)에 정상적으로 안착될 경우, 발광센서(6a),(7a)에서 발광되는 빛을 수광센서(6b),(7b)가 수광할 수 없도록, 상기 플레이트(2)에 정상적으로 안착될 경우의 기판(3)과 평행을 이루도록 설치되며, 서로 쌍을 이루는 발광센서(6a)와 수광센서(6b), 발광센서(7a)와 수광센서(7b)는 유니트(1) 내에서 서로 대각선 방향에 위치하도록 설치되는 것으로, 상기 발광센서(6a),(7a)에는 레이저 다이오드가 사용되고, 수광센서(6b),(7b)에는 투수과형 화이버 센서(Fiber Sensor)가 사용된다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 일 실시 예에서 플레이트(2)에 기판(3)이 정상적으로 안착된 경우, 발광센서(6a),(7a)는 기판(3)과 평행을 이루게 되므로 상기 발광센서(6a),(7a)에서 발광된 빛은 기판(3)에 의해 가려져 수광센서(6b),(7b)에 수광되지 않으며, 이에 따라 도시하지 않은 제어부 등에서 수광센서(6b),(7b)에 수광되는 빛이 없으므로 기판(3)이 플레이트(2)에 정상적으로 안착된 것으로 인식하여 정상적으로 해당 기판 처리 공정을 진행한다.
그러나, 도 5와 같이, 기판(3)이 플레이트(2)에 비정상적으로 안착된 경우, 보다 상세히는 도 3에서 발광센서(6a)가 설치된 측이 도 5와 같이 비정상적으로 안착되었을 경우, 기판(3)은 평행한 상태가 되지 못하고 발광센서(6a)가 설치된 측이 약간 상측으로 들려있게 되며, 도 6a와 같이, 이 공간을 통해 발광센서(7a)에 의해 발광된 빛이 수광센서(7b)에 수광될 수 있게 된다.
또한, 발광센서(7a)가 설치된 측이 도 5와 같이 비정상적으로 안착되었을 경우, 기판(3)은 평행한 상태가 되지 못하고 발광센서(7a)가 설치된 측이 도 5a와 같이, 약간 상측으로 들려있게 되며, 도 6b와 같이, 이 공간을 통해 발광센서(6a)에 의해 발광된 빛이 수광센서(6b)에 수광될 수 있게 된다.
이와 같이, 기판(3)의 비정상적인 안착으로 인하여 상기 발광센서(7a)에서 발광된 빛이 수광센서(7b)에 수광되거나 또는 발광센서(6a)에서 발광된 빛이 수광센서(6b)에 수광될 경우, 도시하지 않은 제어부 등에서는 기판(3)의 안착이 정상적으로 이루어지지 않은 것으로 판단하여 에러 처리하거나 경보음을 발생토록 하여 작업자가 해당 기판을 제거하거나 또는 적절한 조치를 할 수 있도록 한다.
즉, 도시하지 않은 제어부 등에서는 상기 수광센서(6b),(7b)중 어느 하나라도 발광센서(6a),(7a)에서 발광된 빛을 수광할 경우, 기판(3)이 플레이트(2)에 비정상적으로 안착된 것으로 판단하여 해당 조치가 가능토록 한다.
물론, 상기에서는 발광센서(6a),(7a)가 설치된 측의 기판(3) 측이 비정상적으로 안착된 경우를 설명하였으나, 기판(3)의 어떤 방향으로 비정상적 안착이 일어나도 상기 발광센서(6a),(7a) 및 수광센서(6b),(7b)에 의해 이에 대한 감지가 가능하게 된다.
도 7은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 안착상태 감지장치의 구성도를 도시한 것으로, 각각의 유니트의 커버에 기판으로부터의 거리를 감지하기 위한 감지센서를 설치한 실시 예이다.
이에 도시한 바와 같이, 유니트(1) 내의 플레이트(2)에는 도시하지 않은 핑거에 의해 이송되어 온 기판(3)의 안착을 안내하기 위해 소정 간격으로 얼라인 가이드(4) 및 갭 스페이서(5)가 설치되어 있으며, 상기 플레이트(2)의 상측에는 해당 커버(11)가 마련되어 있고, 상기 커버(11)에는 기판(3)으로부터의 거리를 감지하는 감지센서(12a-12c)가 설치되어 있다.
상기 감지센서(12a-12c)에는 거리감지센서나 또는 CCD등이 이용될 수 있으며, 도 8에 도시한 바와 같이, 플레이트(2)의 중심(센터)을 기준으로 소정 각도(예:90도, 120도, 180도)에서 감지할 수 있도록 3개 설치되거나 또는 90도 간격으로 4개 또는 그 이상 설치될 수 있다.
이와 같이 구성된 본 발명의 다른 실시 예에서는 기판(3)이 정상적으로 안착된 경우 각각의 감지센서(12a-12c)에서 감지하는 거리값은 동일하다.
그러나, 기판(3)이 비정상적으로 안착된 경우, 예를 들어 도 7에서 감지센서(12a)가 위치한 측의 기판(3)이 도 5와 같이 약간 들려 있을 경우, 감지센서(12a)에서 감지하는 거리값은 감지센서(12b),(12c)에서 감지하는 거리값보다 작아 감지센서(12a)와 감지센서(12b),(12c)에서 감지한 거리값은 서로 상이하게 된다.
따라서 도시하지 않은 제어부 등에서는 기판(3)이 비정상적으로 안착된 것으로 판단하여, 상기 실시 예와 마찬가지로 에러 처리하거나 경보음을 발생토록 하여 작업자가 해당 기판을 제거하거나 또는 적절한 조치를 취할 수 있도록 한다.
즉, 본 발명의 다른 실시 예는 감지센서(12a-12c)에서 감지하는 거리값이 서로 상이할 경우, 기판이 비정상적으로 안착된 것으로 판단하며, 이에 따른 해당 조치가 행해질 수 있도록 한다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은, 센서를 이용하여 간단히 웨이퍼나 LCD 등 기판의 비정상적인 안착상태를 감지하여 이에 따라 해당 조치를 취할 수 있도록 함으로써 기판의 비정상적인 안착에 의한 기판의 불량발생을 줄일 수 있어 생산성 향상 및 수율저하 방지, 원가절감이 가능케 된다.

Claims (3)

  1. 해당 유니트 내의 플레이트에 기판의 안착을 안내하기 위해 소정 간격으로 얼라인 가이드 및 갭 스페이서가 설치되어 있는 기판 처리장치에 있어서,
    상기 유니트 내의 소정 위치에, 상기 기판의 안착상태를 감지하기 위해 소정의 빛을 발광하는 복수개의 발광센서와 상기 발광센서로부터 발광되는 빛을 수광하는 복수개의 수광센서를 설치하여서 된 것을 특징으로 하는 기판 안착상태 감지장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 발광센서 및 수광센서는 서로 쌍을 이루도록 설치되되, 쌍을 이루는 발광센서 및 수광센서는 서로 대각선 방향에 위치하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 안착상태 감지장치.
  3. 해당 유니트 내의 플레이트에 기판의 안착을 안내하기 위해 소정 간격으로 얼라인 가이드 및 갭 스페이서가 설치되어 있는 기판 처리장치에 있어서,
    상기 플레이트의 상측에 마련된 커버에, 상기 기판의 안착상태를 감지하기 위해 상기 기판으로부터의 거리를 감지하는 복수개의 감지센서가 소정 간격으로 구비된 것을 특징으로 하는 기판 안착상태 감지장치.
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