KR200319553Y1 - The surface inspect apparatus of glass for display device - Google Patents
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Abstract
본 고안은 표시장치용 글라스의 표면 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 글라스의 표면에 대한 물성을 향상시키기 위해 코팅이나 감광 및 식각 등의 가공 공정에서 글라스 표면에 남아 있는 식각액 또는 세정액 등에 의해서 글라스 표면에 발생될 수 있는 얼룩이나 각종 이물질에 의한 오염 등 육안으로는 제대로 식별할 수 없는 불량이 발생하였을 때, 글라스 표면에 분사되는 스팀에 의한 빛의 산란 현상과 분포 여부에 따라 오염 부위를 정확하고 신속하게 검사할 수 있는 표시장치용 글라스의 표면 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to a surface inspection apparatus of a glass for a display device, and more particularly, in order to improve physical properties of the glass surface, the glass may be formed by an etchant or cleaning liquid remaining on the glass surface in a processing process such as coating, photosensitive, and etching. When defects that cannot be identified with the naked eye, such as stains that may occur on the surface or contamination by various foreign substances, occur, the contaminated parts can be precisely determined according to the scattering phenomenon and distribution of light by steam sprayed on the glass surface. The present invention relates to a surface inspection apparatus for a glass for a display device that can be quickly inspected.
즉, 표시장치용 글라스의 측면에 접촉되는 복수개의 센터링 롤러가 구비됨과 아울러 상기 글라스의 둘레면을 지지하는 프레임과, 상기 글라스의 중앙부분을 지지하도록 프레임의 내부에 다수개 설치된 지지바와, 상기 글라스를 흡입 고정하도록 프레임의 지지바의 상면에 설치된 복수개의 흡착패드와, 상기 프레임에 고정된 글라스의 결함 여부를 외부에서 공급되는 스팀에 의해 검사하게 스팀을 분사하는 스팀빔과, 상기 스팀빔을 글라스의 일단에서 타탄으로 이동시키는 이동수단과, 상기 프레임의 일측에 장착되어 경사각도를 조정하는 지지장치를 구비한 구성을 특징으로 한다.That is, a plurality of centering rollers are provided in contact with the side of the glass for the display device, and a frame supporting a circumferential surface of the glass, a plurality of support bars installed inside the frame to support a central portion of the glass, and the glass And a plurality of suction pads installed on the upper surface of the support bar of the frame to suck and fix the steam, a steam beam for injecting steam to check whether the glass fixed to the frame is defective by steam supplied from the outside, and the steam beam Characterized in that the configuration having a moving means for moving from one end of the tartan, and a support device mounted on one side of the frame to adjust the inclination angle.
Description
본 고안은 표시장치용 글라스의 표면 검사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 글라스의 표면에 대한 물성을 향상시키기 위해 코팅이나 감광 및 식각 등의 가공 공정에서 글라스 표면에 남아 있는 식각액 또는 세정액 등에 의해서 글라스 표면에 발생될 수 있는 얼룩이나 각종 이물질에 의한 오염 등 육안으로는 제대로 식별할 수 없는 불량이 발생하였을 때 글라스 표면에 분사되는 스팀에 의한 빛의 산란 현상과 분포 여부에 따라 오염 부위를 정확하게 검사할 수 있는 표시장치용 글라스의 표면 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to a surface inspection apparatus of a glass for a display device, and more particularly, in order to improve physical properties of the glass surface, the glass may be formed by an etchant or cleaning liquid remaining on the glass surface in a processing process such as coating, photosensitive, and etching. When defects that cannot be identified with the naked eye such as stains that may occur on the surface or contamination by various foreign matters occur, the contaminated parts may be accurately inspected according to the scattering phenomenon and distribution of light caused by steam injected onto the glass surface. The present invention relates to a surface inspection apparatus of a glass for a display device.
일반적으로, 각종 정보를 사용자에게 표시할 때에는 표시장치가 사용되고 있으며, 최근에는 전자산업의 발달로 두께가 얇은 표시장치(LCD, PDP, 유기EL 등)가 널리 보급되어 사용되고 있다.In general, a display device is used to display various types of information to a user. Recently, due to the development of the electronic industry, a thin display device (LCD, PDP, organic EL, etc.) has been widely used.
상기 표시장치는 그 표면에 두께가 얇은 글라스가 설치되어 있고, 그 글라스를 제조할 때에는 다양한 패턴이 형성되도록 식각 및 세정 공정을 수행하고 있으며, 상기 글라스를 각 공정으로 이동시킬 때에는 글라스가 파손되지 않도록 공기압을 이용한 흡착패드 또는 클램프를 이용하고 있다.The display device is provided with a thin glass on the surface thereof, and when the glass is manufactured, etching and cleaning processes are performed to form various patterns, and the glass is not damaged when the glass is moved to each process. Suction pads or clamps using pneumatic pressure are used.
또한 상기와 같이 제조된 글라스는 다양한 검사를 수행하고 있으며, 검사공정은 크게 특성검사와, 비주얼(visual)검사로 구분된다.In addition, the glass produced as described above is performing a variety of inspection, the inspection process is largely divided into a characteristic test, a visual (visual) test.
상기 특성검사는 글라스에 형성된 각종 패턴의 불량 상태를 검사하는 것이고, 비주얼검사는 작업자가 육안으로 글라스 표면의 얼룩 및 이물질 등을 확인하는 검사이다.The characteristic test is to check the defective state of the various patterns formed on the glass, the visual test is to check the stains and foreign matters on the glass surface with the naked eye.
상기 비주얼 검사는 매크로(광대역)검사와 매크로 검사에 의해서 발견된 불량부위를 확대하여 검사하는 마이크로(국소 부위)검사로 구분되고 있다.The visual inspection is classified into a macro (wideband) inspection and a micro (local region) inspection in which the defective portion found by the macro inspection is enlarged and inspected.
즉, 매크로 검사는 작업자의 육안에 의한 검사로서, 글라스 전체에 대하여 얼룩이나 이물질의 부착상태를 검사는 과정이고, 마이크로 검사는 매크로 검사에서 발견된 국소 부위를 마이크로 검사기(현미경, 카메라, 영상분석 프로그램 등)를 이용하여 확대(약 25 ~ 100배)한 상태에서 불량상태를 세밀하게 검사하는 과정으로서, 마이크로 검사를 위한 국소 부위는 매크로 검사를 통하여 결정되는 것이다.In other words, the macro inspection is a visual inspection of the operator, which is a process of inspecting the adhesion state of stains or foreign substances on the entire glass, and the micro inspection is a micro inspection device (microscope, camera, image analysis program) found in the macro inspection. Etc.) in a magnified (about 25 to 100 times) state in which a defect is examined in detail, and a local site for micro inspection is determined through macro inspection.
상술한 매크로 검사를 할 때에는 글라스 측으로 빛이 조사되도록 특수한 조명을 점등시킨 후 글라스를 다양한 각도로 변경시켜, 글라스를 통하여 반사 또는 투과되는 빛의 균일도와 글라스 표면에 발생된 얼룩 또는 이물질에 의한 결함을 확인하고 있다.When performing the macro inspection described above, turn on a special light so that light is irradiated to the glass side, and then change the glass at various angles to detect the uniformity of light reflected or transmitted through the glass and defects caused by stains or foreign substances generated on the glass surface. I am checking.
그러나, 종래의 표시장치용 글라스의 매크로 검사 장치와 그에 따른 방법은 글라스의 둘레 면을 지지하는 사각형의 프레임이 마련되고, 상기 프레임의 가장자리 양측면에 장착되어 회전 및 이동이 가능하게 변경하여 육안으로 결함 여부를 확인하는 지지장치가 구비되고, 이러한 상태에서 글라스 표면으로 빛이 조사되도록 조명을 점등시키고 상기 글라스가 다양한 각도로 위치되도록 프레임을 이동시키면서, 작업자는 육안으로 글라스의 표면의 이물질 여부 등의 검사를 하게 된다.However, the conventional macro inspection apparatus of the glass for the display device and the method thereof are provided with a rectangular frame supporting the circumferential surface of the glass, and are mounted on both sides of the edge of the frame to be rotated and moved so that the naked eye is defective. A support device is provided for checking whether the light is turned on so that light is irradiated onto the glass surface in this state, and while the frame is moved so that the glass is positioned at various angles, the operator visually inspects whether there is a foreign material on the surface of the glass. Will be
따라서, 상기 매크로 검사를 통하여 발견되는 국소부위의 결함중에는 일반적인 크린룸 환경과 특수조명에서도 발견되지 않거나 발견하기 지극히 어려운 유형의 결함이 있는데 이러한 결함을 발견하지 못하게 됨에 따라 불량이 많이 발생되는 문제점이 있었다.Therefore, among the defects of the local area found through the macro inspection, there are defects of the type that are not found in the general clean room environment and the special lighting or are extremely difficult to detect, and thus many defects are generated as these defects are not found.
본 고안은 위와 같은 종래의 표시장치용 글라스의 매크로 검사 장치와 그에 따른 방법의 문제점을 감안하여 안출한 것으로, 그 목적은 글라스 표면에 발생될 수 있는 얼룩이나 각종 이물질에 의한 오염 등 육안으로는 제대로 식별할 수 없는 불량이 발생하였을 때 글라스 표면에 분사되는 스팀에 의한 빛의 산란 현상과 분포 여부에 따라 오염 부위를 정확하고 신속하게 검사할 수 있는 표시장치용 글라스의 표면 검사장치를 제공하는 것이다.The present invention is conceived in view of the problems of the conventional macro inspection apparatus of the glass for the display device and the method according to the above, the purpose is properly with the naked eye, such as stains or contamination by various foreign substances that may occur on the glass surface The present invention provides a surface inspection apparatus for a glass for a display device that can accurately and quickly inspect a contaminated part according to a scattering phenomenon and distribution of light caused by steam injected onto a glass surface when an indistinguishable defect occurs.
도 1은 본 고안에 따른 표시장치용 글라스의 표면 검사장치를 도시한 사시도,1 is a perspective view showing a surface inspection apparatus of a glass for a display device according to the present invention,
도 2는 상기 표시장치용 글라스의 표면 검사장치에 조명의 빛을 조사시켜 검사하는 상태를 도시한 측면도,2 is a side view showing a state of inspecting by irradiating the light of illumination to the surface inspection device of the glass for the display device;
도 3은 상기 표시장치용 글라스의 표면 검사장치가 적용되는 검사 시스템을 도시한 계략도이다.3 is a schematic diagram showing an inspection system to which the surface inspection apparatus of the glass for display device is applied.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
10 : 글라스 20 : 프레임10: glass 20: frame
21 : 센터링 롤러 22 : 지지바21 centering roller 22 support bar
23 : 흡착패드 30 : 이동모터23: adsorption pad 30: moving motor
32 : 스팀빔 33 : 스팀분출구32: steam beam 33: steam outlet
40 : 지지장치40: support device
이러한 목적을 달성하기 위한 본 고안은, 표시장치용 글라스의 측면에 접촉되는 복수개의 센터링 롤러가 구비됨과 아울러 상기 글라스의 둘레면을 지지하는 프레임과, 상기 글라스의 중앙부분을 지지하도록 프레임의 내부에 다수개 설치된 지지바와, 상기 글라스를 흡입 고정하도록 프레임의 지지바의 상면에 설치된 복수개의 흡착패드와, 상기 프레임에 고정된 글라스의 결함 여부를 외부에서 공급되는 스팀에 의해 검사하게 스팀을 분사하는 스팀빔과, 상기 스팀빔을 글라스의 일단에서 타탄으로 이동시키는 이동수단과, 상기 프레임의 일측에 장착되어 경사각도를 조정하는 지지장치를 구비한 구성을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object is provided with a plurality of centering rollers in contact with the side of the glass for the display device, and a frame for supporting the circumferential surface of the glass, and the inside of the frame to support the central portion of the glass A plurality of support bars installed, a plurality of suction pads provided on the upper surface of the support bar of the frame to secure the glass suction, and the steam to inject steam to examine the defects of the glass fixed to the frame by the steam supplied from the outside And a beam, a moving means for moving the steam beam from one end of the glass to the tartan, and a support device mounted on one side of the frame to adjust the inclination angle.
또한, 상기 이송수단은 프레임에 안착되는 글라스를 수용할 수 있는 길이를 갖는 스팀빔을 이동모터에 장착된 벨트에 의해 직선왕복운동하는 것을 특징으로 한다.In addition, the transfer means is characterized in that the linear reciprocating motion of the steam beam having a length that can accommodate the glass seated on the frame by a belt mounted to the moving motor.
또한, 상기 스팀빔은 외부에서 유입되는 스팀을 글라스의 상부면에 배출이가능하게 하부면에 다수개의 스팀분출구가 형성된 것을 특징으로 한다.In addition, the steam beam is characterized in that a plurality of steam outlets are formed on the lower surface to enable the discharge of steam introduced from the outside on the upper surface of the glass.
이하, 본 고안의 표시장치용 글라스의 표면 검사장치를 첨부도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the surface inspection apparatus of the glass for display device of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 고안에 따른 표시장치용 글라스의 표면 검사장치를 도시한 사시도이고, 도 2는 상기 표시장치용 글라스의 표면 검사장치에 조명의 빛을 조사시켜 검사하는 상태를 도시한 측면도이다.1 is a perspective view showing a surface inspection apparatus of the glass for a display device according to the present invention, Figure 2 is a side view showing a state of the inspection by irradiating light to the surface inspection apparatus of the glass for a display device.
본 고안의 바람직한 일실시예의 표시장치용 글라스의 표면 검사장치는 표시장치용 글라스(10)의 둘레 면을 지지하도록 사각 형상의 프레임(20)이 마련되고, 상기 프레임(20)의 중앙부분에는 프레임(20)에 의해서 지지된 글라스(10)의 중앙부분이 하부로 처지지 않도록 지지하는 복수개의 지지바(22)가 설치되어 있으며, 상기 프레임(20)의 각 모서리부분에는 글라스(10)를 항상 일정한 위치로 고정시키기 위한 센터링 롤러(21)가 설치되어 있다.In the surface inspection apparatus of the glass for a display device according to the preferred embodiment of the present invention, a square frame 20 is provided to support a circumferential surface of the glass 10 for a display device, and a frame is provided at the center of the frame 20. A plurality of support bars 22 are installed to support the central portion of the glass 10 supported by the 20 so as not to sag downward. The glass 10 is always provided at each corner of the frame 20. The centering roller 21 for fixing to a fixed position is provided.
그리고, 상기 프레임(20)과 지지바(22)의 상면에는 글라스(10)를 흡입 고정하기 위한 복수개의 흡착패드(23)가 각각 설치되어 있고, 상기 프레임(20)은 작업자가 프레임(20)을 회전 및 이동시킬 수 있도록 별도의 지지장치(40)에 안착되어 있다.And, the upper surface of the frame 20 and the support bar 22 is provided with a plurality of suction pads 23 for suction fixing the glass 10, respectively, the frame 20 is an operator frame 20 It is seated on a separate support device 40 to rotate and move.
한편, 상기 글라스(10)의 결함을 검사자가 육안으로 식별이 가능하게 하기 위해 프레임(20)의 일측에 장착된 이동수단(30)의 이동모터(M)와 상기 이동모터(M)에 장착된 벨트(31)에 의해 스팀이 분사되는 스팀빔(32)이 프레임(20)의 일단에서 부터 타단까지 이동하면서 글라스(10)의 표면에 스팀을 분사하면 이물질이나 제조시의 결함 부위에 도포된 수증기 물방울이 정상적인 부위의 다른면에 도포된 수증기 물방울과 다르게 빛이 산란함에 따라 육안으로 결함의 형태나 위치에 대한 식별이 가능한 것이다.Meanwhile, in order to enable the inspector to visually identify the defect of the glass 10, the moving motor M of the moving means 30 mounted on one side of the frame 20 and the moving motor M may be mounted. When the steam beam 32, from which steam is injected by the belt 31, sprays steam on the surface of the glass 10 while moving from one end to the other end of the frame 20, water vapor applied to a foreign material or a defect during manufacturing Unlike the water droplets applied to the other side of the normal part of the water droplets, light scatters the naked eye so that the shape or location of the defect can be identified.
즉, 글라스(10) 표면에 분사되는 스팀에 의한 빛의 산란 현상과 스팀의 분포 여부에 따라 이물질 등의 오염 부위를 정확하고 신속하게 검사할 수 있다.That is, according to the light scattering phenomenon and the distribution of steam by the steam sprayed on the glass 10 surface, it is possible to accurately and quickly inspect the contaminated parts such as foreign matter.
상기 이동수단(30)은 프레임(20)의 일측면에 이동모터(M)가 설치되어 있고, 상기 프레임(20)의 상면에는 프레임(20)의 수직방향으로 이동되는 스팀빔(32)이 설치되어 있되, 상기 이동모터(M)와 스팀빔(32)은 벨트(31)를 매개로 연결되어 있어 이동모터(M)의 구동에 의해 따라 벨트(31)에 의해 스팀빔(32)의 직선운동이 가능하다.The moving means 30 is provided with a moving motor (M) on one side of the frame 20, the steam beam 32 which is moved in the vertical direction of the frame 20 is installed on the upper surface of the frame (20) Although the moving motor (M) and the steam beam 32 is connected via the belt 31, the linear motion of the steam beam 32 by the belt 31 by the drive of the moving motor (M) This is possible.
한편, 상기 프레임(20)의 상면에 안착되어 이동되는 스팀빔(32)은 프레임(20)의 수직이동이나 수평이동에 상관없이 장착이 용이하다.On the other hand, the steam beam 32 that is seated on the upper surface of the frame 20 is easy to mount regardless of the vertical or horizontal movement of the frame 20.
그리고, 상기 프레임(20)은 양측 끝단에 검사자가 프레임(20)을 회전 및 이동시켜 글라스(10)의 결함여부를 특수한 조명(L)의 빛에 의해 용이하게 검사하기 위한 지지장치(40)에 장착된다.In addition, the frame 20 is provided to the support device 40 for easily inspecting the defect of the glass 10 by the light of the special illumination (L) by rotating and moving the frame 20 at both ends. Is mounted.
이와 같이 구성된 본 고안은 프레임(20)에 형성된 센터링 롤러(21)가 글라스(10)의 측면에 접촉되도록 프레임(20)의 상부에 글라스(10)를 안착시킨 후 상기 글라스(10)의 표면으로 빛이 조사되도록 조명(L)을 점등시키고 글라스(10)가 다양한 각도로 위치되도록 지지장치(40)에 장착된 프레임(20)을 이동시키면서, 작업자는 육안으로 글라스(10)를 검사(매크로 검사)하게 된다.According to the present invention configured as described above, the centering roller 21 formed in the frame 20 contacts the side surface of the glass 10 to seat the glass 10 on the top of the frame 20, and then to the surface of the glass 10. The worker inspects the glass 10 visually (macro inspection) while lighting the light L to irradiate the light and moving the frame 20 mounted on the support device 40 so that the glass 10 is positioned at various angles. )
즉, 프레임(20)의 상부에 안착된 글라스(10) 표면의 일단에서 타단으로 이동되는 스팀빔(32)의 하부에 스팀분출구(33)로 스팀이 분사되고 상기 스팀빔(32)이 이동 중에 이물질이나 결함부위에는 증기가 서리지 않아 결함 여부의 식별이 가능한 것이다.That is, steam is injected into the steam jet port 33 at the lower part of the steam beam 32 moving from one end to the other end of the surface of the glass 10 seated on the upper portion of the frame 20 and the steam beam 32 is in motion. There is no vapor in the foreign material or the defective part, so it is possible to identify the defect.
도 3은 상기 표시장치용 글라스의 표면 검사장치가 적용되는 검사 시스템을 도시한 계략도로서, 글라스(10)의 결함을 검사하기 위해 상기 글라스(10)의 둘레면을 지지하는 프레임(20)의 상부면에 상기 글라스(10)의 일단에서 타단까지 이동되는 스팀바(32)의 일측에 히터(미도시)에 의해 스팀이 발생하게 가열식 가습기(50)로 연결되는 공급관(51)이 구비되고, 상기 스팀바(32)에 스팀이 분사되고 잔류된 스팀은 배출관(54)을 통해 이동하면서 온도의 하강으로 인해 액화(液化)된 응축수가 가열식 가습기(50)의 내부로 유입된다.3 is a schematic diagram illustrating an inspection system to which the surface inspection apparatus of the glass for the display device is applied, wherein the frame 20 supporting the circumferential surface of the glass 10 for inspecting a defect of the glass 10 is illustrated in FIG. On one side of the steam bar 32 which is moved from one end of the glass 10 to the other end of the upper surface is provided with a supply pipe 51 connected to the heated humidifier 50 to generate steam by a heater (not shown), Steam is injected into the steam bar 32 and the remaining steam moves through the discharge pipe 54 and the condensed water liquefied due to the temperature decreases is introduced into the heated humidifier 50.
또한, 상기 가열식 가습기(50)의 내부에 구비되어 공급관(51)으로 공급되는 스팀을 원할하게 이송시키는 송풍팬(F)과, 상기 공급관(51)의 관로 도중에 풍량을 감지하는 풍량감지센서(52)와, 스팀바(32)로 유입되는 스팀의 온도를 감지하는 온도감지센서(53)를 제어하는 가습기 컨트롤러(C)가 장착된다.In addition, a blowing fan (F) provided inside the heated humidifier (50) to smoothly transfer the steam supplied to the supply pipe 51, and the air flow rate sensor (52) for detecting the air flow in the middle of the pipeline of the supply pipe (51). And, a humidifier controller (C) for controlling the temperature sensor 53 for sensing the temperature of the steam flowing into the steam bar (32) is mounted.
이와 같은 본 고안의 표시장치용 글라스의 표면 검사장치는 식별이 어렵거나 불가능한 결함부위가 수증기 물방울을 글라스 표면 전체에 도포함으로써 빛의 산란 정도와 분포 여부에 따라 식별이 용이하여 신속하고 정확하게 더 많은 결함부위를 검출할 수 있는 효과가 있다.The surface inspection apparatus of the glass for display device of the present invention is difficult or impossible to identify defects by applying water vapor droplets to the entire glass surface, so that it is easy to identify them according to the scattering degree and distribution of light, so that more defects are made. There is an effect that can detect the site.
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- 2003-04-07 KR KR20-2003-0010451U patent/KR200319553Y1/en not_active IP Right Cessation
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| T201 | Request for technology evaluation of utility model | ||
| J210 | Request for trial for objection to revocation decision | ||
| J301 | Trial decision |
Free format text: TRIAL DECISION FOR APPEAL AGAINST DECISION OF CANCELLATION REQUESTED 20041013 Effective date: 20060719 |
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| S901 | Examination by remand of revocation | ||
| T701 | Written decision to grant on technology evaluation | ||
| G701 | Publication of correction | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20120618 Year of fee payment: 10 |
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| EXPY | Expiration of term |