KR101305089B1 - Testing apparatus of glass for flat display panel - Google Patents

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Abstract

본 발명은 평판표시패널용 글라스를 장착하기 위한 검사 테이블과, 상기 검사 테이블을 틸팅시키는 틸팅 유닛과, 증기를 발생시키는 증기발생부와, 상기 검사 테이블의 하부에 설치되어 증기발생부에 의해 발생된 증기를 상기 평판표시패널용 글라스의 표면으로 공급하는 증기공급부를 포함하는 평판표시패널용 글라스의 표면 검사장치에 있어서, 상기 증기공급부는 쌍으로 구비되어 상호 이격되도록 배치되되, 양측이 상기 증기발생부와 연결되어 증기를 공급받는 공급파이프와, 상기 각 공급파이프를 상호 연결하도록 설치되되, 공급파이프의 내부와 상호 연통되도록 설치되며, 외측에 증기를 분사하는 다수의 분사홀이 형성되는 분사파이프를 포함하되, 상기 검사 테이블은 내부에 평판표시패널용 글라스의 면적에 대응되는 공간이 형성되는 사각 형상의 프레임으로 형성되며, 상기 검사 테이블의 테두리를 따라 설치되어 평판표시패널용 글라스를 지지하는 지지핀을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 글라스의 표면으로 증기를 공급할 때 분사파이프 상에 천공되는 다수의 분사홀을 통해 지속적으로 증기를 공급하게 되므로, 글라스의 표면에 증기가 오랫동안 존재하게 되어 작업자가 글라스 표면을 정밀하게 검사할 수 있는 효과가 있으며, 압축공기를 사용하지 않고 글라스 표면에 증기를 공급하므로 압축공기 생성을 위한 별도의 장치가 필요치 않아 검사비용이 감소되는 효과가 있다.
According to the present invention, a test table for mounting a glass for a flat panel display panel, a tilting unit for tilting the test table, a steam generator for generating steam, and a lower portion of the test table are generated by a steam generator. In the surface inspection apparatus for a flat panel display glass including a steam supply unit for supplying steam to the surface of the glass for a flat panel display panel, the steam supply unit is provided in pairs and arranged to be spaced apart from each other, both sides of the steam generating unit A supply pipe connected to and supplied with steam and connected to each of the supply pipes, the injection pipes being installed to communicate with the inside of the supply pipes, and the injection pipes having a plurality of injection holes for injecting steam to the outside. However, the inspection table is a square in which a space corresponding to the area of the glass for the flat panel display panel is formed therein. It is formed as a frame of the shape, characterized in that it comprises a support pin is installed along the edge of the inspection table for supporting the glass for the flat panel display panel.
According to the present invention, when the steam is supplied to the surface of the glass, the steam is continuously supplied through a plurality of injection holes drilled on the injection pipe, so that the steam exists on the surface of the glass for a long time, and the operator precisely measures the glass surface. There is an effect that can be inspected, and since the steam is supplied to the glass surface without using compressed air, there is no need for a separate device for generating compressed air, thereby reducing the inspection cost.

Description

평판표시패널용 글라스의 표면 검사장치 {TESTING APPARATUS OF GLASS FOR FLAT DISPLAY PANEL}Surface inspection device for glass for flat panel display {TESTING APPARATUS OF GLASS FOR FLAT DISPLAY PANEL}

본 발명은 평판표시패널용 글라스의 표면 검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 글라스의 표면으로 증기를 공급할 때 분사파이프 상에 천공되는 다수의 분사홀을 통해 지속적으로 증기를 공급함으로써, 평판표시패널용 글라스의 검사를 보다 용이하게 수행할 수 있는 평판표시패널용 글라스의 표면 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to a surface inspection apparatus for a glass for a flat panel display panel, and more particularly, by continuously supplying steam through a plurality of injection holes drilled on the injection pipe when steam is supplied to the surface of the glass. The present invention relates to a surface inspection apparatus of a glass for a flat panel display panel which can more easily perform inspection of glass for a glass.

일반적으로 평판표시패널용 글라스의 제조공정에서 수행하고 있는 비주얼 검사는 매크로 검사와 마이크로 검사로 구분된다. 매크로 검사는 작업자의 육안에 의한 검사로서 글라스 전체에 대하여 얼룩이나 이물질의 부착 등을 관찰하는 검사이고, 마이크로 검사는 매크로 검사에서 발견된 국소 부위를 현미경을 이용하여 확대 관찰하는 검사이다.In general, the visual inspection performed in the manufacturing process of the glass for flat panel display panels is divided into macro inspection and micro inspection. Macro inspection is inspection by the naked eyes of the operator, and inspection of stains or foreign matters on the entire glass, and micro inspection is inspection in which the local area found in the macro inspection is magnified using a microscope.

상기한 매크로 검사는 공정상의 불량 추적 및 개선 발명의 모색을 위해서 얼룩이나 이물질 부착 등의 불량 유형을 정확하게 파악할 필요가 있다. 그리하여 종래에는 글라스 표면의 이물질이나 오염물 등을 육안으로 확실히 식별할 수 있도록 글라스 표면에 증기를 분사한다. 상기와 같이 분사된 증기에 의해 작업자가 보다 쉽게 글라스 표면의 불량부위를 검사하고 있다.The macro inspection needs to accurately grasp the defect type such as stain or foreign matter adhesion for process defect tracking and search for improvement invention. Thus, conventionally, steam is sprayed on the glass surface so that foreign matters or contaminants on the glass surface can be clearly identified with the naked eye. As described above, the sprayed steam makes it easier for the worker to inspect the defective surface of the glass surface.

상기와 같은 증기를 분사하여 글라스를 검사하는 종래의 글라스 검사장치는, 한국등록특허 10-0530272호에 개시된 바와 같이, 1차 증기발생기로부터 발생된 입자가 크고 습한 1차 증기를 2차 증기발생기에서 재차 증발시켜 입자가 미세하고 습기가 감소된 2차 증기로 만든 다음, 만들어진 2차 증기를 다수의 노즐을 통해 글라스 표면에 분사하여 검사하게 된다.Conventional glass inspection apparatus for inspecting the glass by injecting the steam as described above, as disclosed in Korean Patent Registration No. 10-0530272, the large and wet primary steam generated from the primary steam generator in the secondary steam generator It is evaporated again to produce secondary steam with finer and less moisture, and then the secondary steam produced is sprayed on the glass surface through a number of nozzles for inspection.

상기와 같은 종래의 글라스 검사장치는 노즐을 통하여 증기를 순간적으로 분사하여 글라스의 검사를 수행하기 때문에, 글라스 표면에 분사된 증기가 일시적으로만 존재했다가 사라지게 되어 작업자가 글라스 표면을 정밀하게 검사할 수 없는 문제점이 있었다.Since the conventional glass inspection apparatus as described above performs the inspection of the glass by instantaneous injection of steam through the nozzle, the sprayed vapor on the glass surface is present only temporarily disappears and the operator can inspect the glass surface precisely. There was a problem that could not be.

또한, 노즐을 통해 증기를 분사할 때, 순간적으로 글라스의 표면에 증기를 분사하기 위해 압축공기를 사용하고 있어 압축공기를 생성하기 위한 별도의 장치 등이 추가되므로 검사비용이 증가하게 되는 문제점이 있었다.In addition, when injecting steam through the nozzle, compressed air is used to instantaneously inject steam to the surface of the glass, there is a problem in that the inspection cost increases because a separate device for generating compressed air is added. .

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 글라스의 표면으로 증기를 공급할 때 분사파이프 상에 천공되는 다수의 분사홀을 통해 지속적으로 증기를 공급함으로써, 평판표시패널용 글라스의 검사를 보다 용이하게 수행할 수 있는 평판표시패널용 글라스의 표면 검사장치를 제공하는 것이다.The present invention is to solve the above problems, an object of the present invention by supplying steam continuously through a plurality of injection holes that are punctured on the injection pipe when supplying steam to the surface of the glass, the glass for a flat panel display panel It is to provide a surface inspection apparatus for a glass for a flat panel display panel that can be performed more easily.

상기 목적은 본 발명에 따라, 평판표시패널용 글라스를 장착하기 위한 검사 테이블과, 상기 검사 테이블을 틸팅시키는 틸팅 유닛과, 증기를 발생시키는 증기발생부와, 상기 검사 테이블의 하부에 설치되어 증기발생부에 의해 발생된 증기를 상기 평판표시패널용 글라스의 표면으로 공급하는 증기공급부를 포함하는 평판표시패널용 글라스의 표면 검사장치에 있어서, 상기 증기공급부는 쌍으로 구비되어 상호 이격되도록 배치되되, 양측이 상기 증기발생부와 연결되어 증기를 공급받는 공급파이프와, 상기 각 공급파이프를 상호 연결하도록 설치되되, 공급파이프의 내부와 상호 연통되도록 설치되며, 외측에 증기를 분사하는 다수의 분사홀이 형성되는 분사파이프를 포함하되, 상기 검사 테이블은 내부에 평판표시패널용 글라스의 면적에 대응되는 공간이 형성되는 사각 형상의 프레임으로 형성되며, 상기 검사 테이블의 테두리를 따라 설치되어 평판표시패널용 글라스를 지지하는 지지핀을 포함하는 것에 의해 달성된다.According to the present invention, an object of the present invention is to provide a test table for mounting a glass for a flat panel display panel, a tilting unit for tilting the test table, a steam generator for generating steam, and a steam generator installed under the test table. In the surface inspection apparatus for a flat panel display glass including a steam supply unit for supplying the steam generated by the portion to the surface of the glass for a flat panel display panel, the steam supply unit is provided in pairs and arranged to be spaced apart from each other, The supply pipe is connected to the steam generating unit and receives the steam and the supply pipes are installed to interconnect the supply pipes, and are installed to communicate with the inside of the supply pipes, and a plurality of injection holes are formed to inject steam to the outside. Including the injection pipe, the inspection table has a ball corresponding to the area of the glass for the flat panel display therein Is formed as a rectangular frame to be formed, it is provided along the rim of the examining table is achieved by a support pin for supporting the glass panel for a flat panel display.

또한, 상기 분사파이프는 다수로 구비되어 공급파이프의 길이 방향을 따라 상호 이격되도록 설치될 수 있다.In addition, the injection pipe may be provided in plural to be spaced apart from each other along the longitudinal direction of the supply pipe.

또한, 상기 분사홀은 분사파이프의 길이 방향을 따라 상호 이격되도록 반복적으로 천공되되, 상부 방향을 향하도록 천공될 수 있다.In addition, the injection hole is repeatedly drilled to be spaced apart from each other along the longitudinal direction of the injection pipe, it may be drilled to face the upper direction.

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이에 의해, 글라스의 표면으로 증기를 공급할 때 분사파이프 상에 천공되는 다수의 분사홀을 통해 지속적으로 증기를 공급하게 되므로, 글라스의 표면에 증기가 오랫동안 존재하게 되어 작업자가 글라스 표면을 정밀하게 검사할 수 있는 효과가 있으며, 압축공기를 사용하지 않고 글라스 표면에 증기를 공급하므로 압축공기 생성을 위한 별도의 장치가 필요치 않아 검사비용이 감소되는 효과가 있다.As a result, when the steam is supplied to the surface of the glass, the steam is continuously supplied through the plurality of injection holes drilled on the injection pipe, so that the steam exists on the surface of the glass for a long time, so that the operator can inspect the glass surface precisely. There is an effect that can be, because the supply of steam to the glass surface without using compressed air does not need a separate device for generating compressed air has the effect of reducing the inspection cost.

도 1은 본 발명에 따른 평판표시패널용 글라스의 표면 검사장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 평판표시패널용 글라스의 표면 검사장치의 측면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 평판표시패널용 글라스의 표면 검사장치의 부분 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 평판표시패널용 글라스의 표면 검사장치의 작동 상태도이다.
1 is a perspective view of a surface inspection apparatus of a glass for a flat panel display panel according to the present invention.
2 is a side view of a surface inspection apparatus of a glass for a flat panel display panel according to the present invention.
3 is a partial perspective view of a surface inspection apparatus of a glass for a flat panel display panel according to the present invention.
4 is an operational state diagram of the surface inspection apparatus of the glass for a flat panel display panel according to the present invention.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 상세하게 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

첨부된 도면은 본 발명의 예시적인 형태를 도시한 것으로, 이는 본 발명을 보다 상세히 설명하기 위해 제공되는 것일 뿐, 이에 의해 본 발명의 기술적인 범위가 한정되는 것은 아니다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The accompanying drawings, which are included to provide a further understanding of the invention and are incorporated in and constitute a part of this application, illustrate embodiments of the invention and, together with the description, serve to explain the principles of the invention.

본 발명에 따른 평판표시패널용 글라스의 표면 검사장치는, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 평판표시패널용 글라스(100)를 장착하기 위한 검사 테이블(200)과, 검사 테이블(200)을 틸팅시키는 틸팅 유닛(300)과, 증기를 발생시키는 증기발생부(400)와, 검사 테이블(200)의 하부에 설치되어 증가발생부(400)에 의해 발생된 증기를 평판표시패널용 글라스(100)의 표면으로 공급하는 증기공급부(500)를 포함하여 구성된다.Surface inspection apparatus for a flat panel display glass according to the present invention, as shown in Figures 1 to 4, the test table 200 for mounting the glass 100 for a flat panel display panel, and the examination table 200 The tilting unit 300 for tilting the steam, the steam generating unit 400 for generating steam, and the steam generated by the increase generating unit 400 installed at the lower portion of the inspection table 200 are used for flat panel display glass. It is configured to include a steam supply unit 500 for supplying to the surface of 100.

먼저, 검사 테이블(200)은 내부에 평판표시패널용 글라스(100)(이하, 글라스라 함)의 면적에 대응되는 공간이 형성되는 사각 형상의 프레임으로서, 검사 테이블(200)의 테두리를 따라 다수의 지지핀(210)이 형성된다. 상기한 지지핀(210)에 의해 검사 대상인 글라스(100)가 지지되어 검사 테이블(200)에 장착된다.First, the examination table 200 is a rectangular frame in which a space corresponding to the area of the flat panel display glass 100 (hereinafter, referred to as glass) is formed, and is arranged along the edge of the examination table 200. The support pin 210 is formed. The glass 100 to be inspected by the support pin 210 is supported and mounted to the examination table 200.

그리고, 틸팅 유닛(300)은 검사 테이블(200)을 좌우로 틸팅시키거나 반전시킬 수 있도록 하는 장치로서, 검사 테이블(200)의 일 측면 중앙부에 설치되는 축과 상기 축과 결합되어 동력을 전달하는 구동모터 등으로 구성되어 상기 구동모터의 구동에 의해 축이 회전되고, 이에 따라 검사 테이블(200)이 틸팅되거나 반전되게 된다. 본 실시예에서는, 틸팅 유닛(300)을 축과 구동모터로 설명하고 있지만, 반드시 이에 한정되지 않고, 검사 테이블(200)을 틸팅시키거나 반전시킬 수 있는 모든 수단을 포함한다.The tilting unit 300 is a device for tilting or inverting the examination table 200 from side to side. The tilting unit 300 is coupled to an axis installed at a central portion of one side of the examination table 200 and transmits power. It is composed of a drive motor and the like, the shaft is rotated by the drive of the drive motor, thereby the inspection table 200 is tilted or reversed. In the present embodiment, the tilting unit 300 is described as an axis and a driving motor, but the present disclosure is not limited thereto, and includes all means capable of tilting or inverting the examination table 200.

한편, 증기발생부(400)는 물을 가열하여 1차적으로 증기를 발생시키는 1차 증기발생기와, 상기 1차 증기발생기로부터 생성된 습증기를 재차 증발시켜 미세한 입자의 건증기를 생성하는 2차 증기발생기로 구성된다. 상기와 같이 구성되는 증기발생부(400)는 검사 테이블(200)의 하부 측에 다수로 구비되어 설치된다.On the other hand, the steam generator 400 is a primary steam generator for heating the water primarily to generate steam, and secondary steam for generating dry steam of fine particles by evaporating again the wet steam generated from the primary steam generator It consists of a generator. The steam generator 400 configured as described above is provided in a plurality at the lower side of the examination table 200.

상술한 검사 테이블(200), 틸팅 유닛(300) 및 증기발생부(400)는 종래의 글라스 검사장치 등에 이미 적용되어 사용되는 것으로 자세한 설명은 생략한다.The above-described inspection table 200, the tilting unit 300 and the steam generating unit 400 is already applied to the conventional glass inspection apparatus, etc. and will not be described in detail.

이하에서는, 본 발명의 주요 특징부인 증기공급부(500)에 대해 상세하게 설명한다.Hereinafter, the steam supply unit 500, which is a main feature of the present invention, will be described in detail.

증기공급부(500)는 쌍으로 구비되어 상호 이격되도록 배치되되 양측이 증기발생부(400)와 연결되어 증기를 공급받는 공급파이프(510)와, 각 공급파이프(510)를 상호 연결하도록 설치되되 공급파이프(510)의 내부와 상호 연통되도록 설치되며 외측에 증기를 분사하는 다수의 분사홀(530)이 형성되는 분사파이프(520)로 구성된다.The steam supply unit 500 is provided in pairs and disposed to be spaced apart from each other, and both sides are connected to the steam generating unit 400 so as to be connected to the supply pipes 510 for supplying steam, and to supply the supply pipes 510 to each other. It is installed to be in communication with the inside of the pipe 510 is composed of a injection pipe 520 is formed with a plurality of injection holes 530 for injecting steam to the outside.

상기한 각 공급파이프(510)는 소정 직경을 갖는 파이프로서, 검사 테이블(200)의 하부 측에 수평 방향으로 설치된다. 이때, 각 공급파이프(510)는 상호 이격되도록 나란히 배치되며, 각 공급파이프(510)의 양측이 연결파이프(410)에 의해 증기발생부(400)와 연결되어 증기발생부(400)에 의해 발생된 증기가 공급파이프(510)의 내부로 인입된다.Each of the supply pipes 510 is a pipe having a predetermined diameter and is installed in the horizontal direction on the lower side of the inspection table 200. At this time, each supply pipe 510 is arranged side by side to be spaced apart from each other, both sides of each supply pipe 510 is connected to the steam generating unit 400 by the connection pipe 410 is generated by the steam generating unit 400 Steam is introduced into the supply pipe 510.

그리고, 분사파이프(520)는 소정 직경을 갖는 파이프로서, 각 공급파이프(510)를 상호 연결하도록 설치되되, 공급파이프(510)의 내부 유동공간과 상호 연통하도록 설치되어 공급파이프(510)로부터 증기를 공급받는다. 이때, 분사파이프(520)는 다수로 구비되어 공급파이프(510)의 길이 방향을 따라 상호 이격하여 반복적으로 설치된다.In addition, the injection pipe 520 is a pipe having a predetermined diameter, which is installed to interconnect each supply pipe 510, and is installed to communicate with the internal flow space of the supply pipe 510 is steam from the supply pipe 510 Get supplied. At this time, the injection pipe 520 is provided with a plurality is repeatedly installed spaced apart from each other along the longitudinal direction of the supply pipe 510.

그리고, 각 분사파이프(520)의 외측에는 분사파이프(520)의 내부 증기를 분사하는 분사홀(530)이 다수로 천공된다. 상기한 분사홀(530)은 각 분사파이프(520)의 길이 방향을 따라 상호 이격되도록 반복적으로 천공되며, 이때 각 분사홀(530)은 상부 방향 즉, 글라스(100)가 위치된 방향 측으로 천공된다.In addition, a plurality of injection holes 530 for injecting the internal steam of the injection pipe 520 are drilled outside the injection pipe 520. The injection holes 530 are repeatedly drilled to be spaced apart from each other along the longitudinal direction of each injection pipe 520, wherein each injection hole 530 is drilled toward the upper direction, that is, the direction in which the glass 100 is located. .

상기와 같이 구성되는 증기공급부(500)는 연결파이프(410)를 통해 증기발생부(400)에서 발생된 증기가 공급파이프(510)로 인입되고, 공급파이프(510)로 인입된 증기는 분사파이프(520)로 이동된 후, 분사파이프(520)의 각 분사홀(530)을 통해 상부로 분사된다. In the steam supply unit 500 configured as described above, steam generated from the steam generator 400 is introduced into the supply pipe 510 through the connection pipe 410, and steam introduced into the supply pipe 510 is injected into the injection pipe. After moving to 520, it is injected upward through each injection hole 530 of the injection pipe 520.

상기한 증기공급부(500)는 증기발생부(400)가 작동되어 증기를 발생하는 한, 지속적으로 증기를 글라스(100)의 표면으로 공급하게 되므로, 글라스(100)의 표면에 증기가 오랫동안 존재할 수 있게 하여 작업자가 글라스(100) 표면을 정밀하게 검사할 수 있게 한다.Since the steam supply unit 500 continuously supplies steam to the surface of the glass 100 as long as the steam generator 400 operates to generate steam, steam may exist on the surface of the glass 100 for a long time. This allows the operator to inspect the surface of the glass 100 precisely.

또한, 증기공급부(500)는 압축공기에 의해 증기를 순간적으로 분사하는 방식이 아닌 자연적으로 증기를 상부로 상승시켜 글라스(100)의 표면에 공급하기 때문에, 압축공기 생성을 위한 별도의 장치가 필요치 않게 되고, 이에 따라 검사비용이 절감되는 효과가 있다.
In addition, since the steam supply unit 500 naturally raises the steam to the upper portion and supplies it to the surface of the glass 100 instead of the method of instantaneously injecting steam by the compressed air, a separate device for generating compressed air is required. Therefore, there is an effect that reduces the inspection cost.

본 실시예 및 본 명세서에 첨부된 도면은 본 발명에 포함되는 기술적 사상의 일부를 명확하게 나타내고 있는 것에 불과하며, 본 발명의 명세서 및 도면에 포함된 기술적 사상의 범위 내에서 당업자가 용이하게 유추할 수 있는 변형예와 구체적인 실시예는 모두 본 발명의 기술적 사상의 범위에 포함되는 것은 자명하다.It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description of the present invention are exemplary and explanatory and are intended to provide further explanation of the invention as claimed. It will be understood that various changes and modifications may be made without departing from the scope of the present invention.

100 : 글라스 200 : 검사 테이블
210 : 지지핀 300 : 틸팅 유닛
400 : 증기발생부 410 : 연결파이프
500 : 증기공급부 510 : 공급파이프
520 : 분사파이프 530 : 분사홀
100: glass 200: examination table
210: support pin 300: tilting unit
400: steam generator 410: connection pipe
500: steam supply 510: supply pipe
520: injection pipe 530: injection hole

Claims (4)

평판표시패널용 글라스를 장착하기 위한 검사 테이블과, 상기 검사 테이블을 틸팅시키는 틸팅 유닛과, 증기를 발생시키는 증기발생부와, 상기 검사 테이블의 하부에 설치되어 증기발생부에 의해 발생된 증기를 상기 평판표시패널용 글라스의 표면으로 공급하는 증기공급부를 포함하는 평판표시패널용 글라스의 표면 검사장치에 있어서,
상기 증기공급부는,
쌍으로 구비되어 상호 이격되도록 배치되되, 양측이 상기 증기발생부와 연결되어 증기를 공급받는 공급파이프와;
상기 각 공급파이프를 상호 연결하도록 설치되되, 공급파이프의 내부와 상호 연통되도록 설치되며, 외측에 증기를 분사하는 다수의 분사홀이 형성되는 분사파이프를 포함하되,
상기 검사 테이블은 내부에 평판표시패널용 글라스의 면적에 대응되는 공간이 형성되는 사각 형상의 프레임으로 형성되며,
상기 검사 테이블의 테두리를 따라 설치되어 평판표시패널용 글라스를 지지하는 지지핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시패널용 글라스의 표면 검사장치.
A test table for mounting a glass for a flat panel display panel, a tilting unit for tilting the test table, a steam generator for generating steam, and steam provided by a steam generator installed under the test table. In the surface inspection apparatus of the glass for flat panel display comprising a vapor supply unit for supplying the surface of the glass for a flat panel display panel,
The steam supply unit,
A supply pipe provided in pairs and spaced apart from each other, the both sides being connected to the steam generating unit and receiving steam;
It is installed to interconnect each of the supply pipes, installed to be in communication with the inside of the supply pipe, including the injection pipe is formed a plurality of injection holes for injecting steam to the outside,
The inspection table is formed as a rectangular frame having a space corresponding to the area of the glass for the flat panel display panel therein,
And a support pin installed along an edge of the inspection table to support the glass for the flat panel display panel.
제1항에 있어서,
상기 분사파이프는 다수로 구비되어 공급파이프의 길이 방향을 따라 상호 이격되도록 설치되는 것을 특징으로 하는 평판표시패널용 글라스의 표면 검사장치.
The method of claim 1,
The injection pipe is provided with a plurality of surface inspection apparatus for a flat panel display glass, characterized in that the installation spaced apart from each other along the longitudinal direction of the supply pipe.
제1항에 있어서,
상기 분사홀은 분사파이프의 길이 방향을 따라 상호 이격되도록 반복적으로 천공되되, 상부 방향을 향하도록 천공되는 것을 특징으로 하는 평판표시패널용 글라스의 표면 검사장치.
The method of claim 1,
The injection hole is repeatedly drilled to be spaced apart from each other along the longitudinal direction of the injection pipe, the surface inspection apparatus of the glass for a flat panel display panel, characterized in that perforated to face upward.
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