KR20030093959A - 유기 전자 발광 소자의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 - Google Patents
유기 전자 발광 소자의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (13)
- 개구부가 형성된 프레임; 및상기 프레임에 인장력이 가하여지도록 양단부가 고정되고, 각각 단위 마스킹 패턴부를 가지며, 상호 소정의 폭으로 중첩되는 적어도 두 개의 단위 마스크 부재로 구비된 것으로, 상기 단위 마스크부재들의 적어도 중첩되는 부분에는, 그 중첩부의 두께가 실질적으로 단위 마스크 부재의 두께와 동일하도록 각각 인입부가 형성된 마스크;를 포함하는 것을 특징으로하는 유기 전자 발광 소자의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
- 제 1항에 있어서,상기 단위 마스크 부재의 인입부는 소정의 폭을 가지며 길이 방향으로 하프 에칭되어 이루어진 것을 특징으로 하는 유기 전자 발광 표시소자의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 단위 마스크 부재의 인입부는 경사지거나 단차지게 형성된 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시소자의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
- 제1항에 있어서,상기 인입부의 폭은 실질적으로 상기 단위 마스크 부재의 두께와 동일하거나 넓게 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시소자의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
- 제4항에 있어서,상기 인입부의 폭은 30 내지 100㎛로 형성된 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시소자의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
- 제 4항에 있어서,단위 마스크 부재들의 상호 중첩되는 부분의 폭은 10㎛ 내지 70㎛ 인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시소자의 박막증착용 마스크 프레임 조립체.
- 제 1항에 있어서,상기 마스크는 상기 단위 마스크 부재들의 각 단위 마스킹 패턴부에 의해 단일의 마스킹 패턴부를 형성하도록 구비된 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시소자의 박막증착용 마스크 프레임 조립체.
- 제 1항에 있어서,상기 마스크는 상기 각 단위 마스크 부재들의 각 단위 마스킹 패턴부는 각각 독립된 마스킹 패턴부를 형성하도록 구비된 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시소자의 박막증착용 마스크 프레임 조립체.
- 개구부가 형성된 프레임; 및상기 프레임에 인장력이 가하여지도록 양단부가 고정되고, 각각 단위 마스킹 패턴부를 가지며, 상호 소정 간격 이격되는 적어도 두 개의 단위 마스크 부재로 구비된 것으로, 상기 단위 마스크부재들 사이의 이격된 틈이 별도의 시트부재에 의해 차폐되도록 형성된 마스크;를 포함하는 것을 특징으로하는 유기 전자 발광 소자의박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
- 제 9항에 있어서,상기 시트부재는 그 양단부가 상기 프레임에 접합 고정된 것을 특징으로 하는 유기 전자 발광 소자의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
- 제 9항에 있어서,상기 시트부재의 너비는 상기 단위 마스크 부재 사이의 상호 이격된 틈 이상이고, 서로 인접한 단위 마스크 부재의 인접한 단위 마스킹 패턴부 사이의 거리이하인 것을 특징으로 하는 유기 전자 발광 소자의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
- 제 9항 내지 제 11항 중 어느 한 항에 있어서,상기 마스크는 상기 단위 마스크 부재들의 각 단위 마스킹 패턴부에 의해 단일의 마스킹 패턴부를 형성하도록 구비된 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시소자의 박막증착용 마스크 프레임 조립체.
- 제 9항 내지 제 11항 중 어느 한 항에 있어서,상기 마스크는 상기 각 단위 마스크 부재들의 각 단위 마스킹 패턴부는 각각 독립된 마스킹 패턴부를 형성하도록 구비된 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시소자의 박막증착용 마스크 프레임 조립체.
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